JP2001024475A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

Info

Publication number
JP2001024475A
JP2001024475A JP11195928A JP19592899A JP2001024475A JP 2001024475 A JP2001024475 A JP 2001024475A JP 11195928 A JP11195928 A JP 11195928A JP 19592899 A JP19592899 A JP 19592899A JP 2001024475 A JP2001024475 A JP 2001024475A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
surface acoustic
acoustic wave
filter
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11195928A
Other languages
English (en)
Inventor
Naganori Ebara
永典 江原
Hajime Shimamura
一 島村
Yoshiaki Fujita
義昭 藤田
Tomokazu Komazaki
友和 駒崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP11195928A priority Critical patent/JP2001024475A/ja
Priority to EP00104656A priority patent/EP1067686B1/en
Priority to DE60044597T priority patent/DE60044597D1/de
Priority to KR1020000011582A priority patent/KR100804460B1/ko
Priority to US09/526,490 priority patent/US6377140B1/en
Publication of JP2001024475A publication Critical patent/JP2001024475A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/6483Ladder SAW filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプリアス規格用の別のフィルタを用いるこ
となく中心周波数の2倍及び3倍のスプリアス帯域の規
格も同時に達成することができ、小型化及び高性能化を
図ることができる弾性表面波フィルタを提供する。 【解決手段】 橋絡T型SAWフィルタ20は、所定の
共振周波数を有する直列腕共振器(SR1)21、直列
腕共振器(SR1)21の反共振周波数に略一致する共
振周波数を持つ並列腕共振器(PR1)23、所定の共
振周波数を有する直列腕共振器(SR2)22、入力端
子(IN)25、出力端子(OUT)26、及びアース
端子(E)27,28からなるT型構成の弾性表面波フ
ィルタにおいて、T型構成の弾性表面波フィルタの入力
と出力間を橋絡するSAW共振器(BR1)24を備え
て構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関し、詳細には、携帯電話等の小型移動体通信機器
に用いられるRF(Radio Frequency)フィルタに使用
される共振器型弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、小型で軽量化された携帯電話等の
移動体通信機器端末の開発が急速に進められている。こ
れに伴い、用いられる部品の小型・軽量化、高性能化が
求められている。これらの要求に対応する部品の一つと
して 弾性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)
フィルタの開発が進められている。SAWフィルタは小
型、軽量、無調整という特長を持ち、その製造プロセス
には半導体デバイスの製造に用いられるフォトリソグラ
フィ技術を利用できるため量産性にも優れている。SA
Wフィルタは振幅特性と位相特性が独立に任意に制御で
きることからPIF(映像中間周波)フィルタ、VSB
(残留側波帯)フィルタ等の通信フィルタ、各種ディジ
タル信号処理用のフィルタとしてますます用途が拡大し
ている。
【0003】弾性表面波フィルタに関する文献には、例
えば、「特開平5−167388号公報」(文献1)、
「SURFACE ACOUSTIC FILTER,USP 5.559.481,富士通」
(文献2)、「SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER,USP 5.6
31.612,富士通」(文献3)、「共振器型SAWフィル
タの集中定数等価回路による考察、1996、電子情報
通信学会総合大会、A−312」(文献4)がある。
【0004】特に、携帯電話等の移動体通信機器の多様
化、多チャンネル化に伴い、送信帯域と受信帯域の間隔
の近接化及び各通過帯域の広帯域化方式の採用が進んで
おり、これに対応するフィルタとして小型化の観点から
メリットの大きいSAWフィルタの開発が注目されてい
る。SAWフィルタは、RF部の形状及び性能が携帯電
話の小型化、高性能化に大きく貢献するデバイスである
ため、最適設計による実用化が強く求められている。
【0005】SAWフィルタとしては、小型で、通過帯
域の挿入損失が小さいこと、減衰帯域の減衰が大きいこ
と、狭帯域であること、整合回路が不要であること等の
理由により、SAW共振器を用いた梯子型構成の共振器
型SAWフィルタが主に用いられている。
【0006】一般に、共振器型SAWフィルタは、ID
Tとその両端に配置したグレーティング反射器で構成さ
れた反射器型SAW共振器を利用してフィルタ構成する
ものである。
【0007】図6は共振器型SAWフィルタの回路構成
図、図7はその共振器型SAWフィルタの等価回路図で
ある。
【0008】図6において、11,12は直列腕共振器
(SR1,SR2)、13は並列腕共振器(PR1)、
14は入力端子(IN)、15は出力端子(OUT)、
16,17はアース端子(E)であり、図示のようにS
AW共振器は二段梯子型回路で構成される。
【0009】また図7に示すように、共振器型SAWフ
ィルタのSAW共振器は、水晶振動子と同様にL、Cの
直列回路とこれに並列接続されたIDTの静電容量C0
で表すことができる。この電気的等価回路のリアクタン
ス特性は、共振周波数と反共振周波数を持つ二重共振特
性を持っている。したがって、SAW共振器を従来公知
のLCフィルタと同様に梯子型回路構成とすることによ
りバンドパスフィルタを構成することができる。
【0010】図7に示すような直列腕共振器11,12
と並列腕共振器13からなる梯子型回路構成の共振器型
フィルタでは減衰量が小さいため、通常は減衰量を大き
くするためにSAW共振器を多段梯子型回路構成にす
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の梯子型SAWフィルタによる実現可能な特性
は、要求特性が限定された範囲内の特性しか実現できな
い欠点があった。
【0012】例えば、CDMA(Code Division Multip
le Access)方式の携帯電話においては、送信帯域(8
24〜849MHz)、受信帯域(869〜894MH
z)を用いている。したがって、この携帯電話のRF回
路に用いるSAWフィルタは、前記送受信帯域の規格に
加えて、2×(中心周波数)及び3×(中心周波数)の
スプリアス帯域にも減衰の規格が課される。このスプリ
アス帯域の減衰規格は、梯子型SAWフィルタでは満足
できない。このようなスプリアス規格を満足するために
は、通常、上記梯子型SAWフィルタと共に別のフィル
タが必要となることが知られている。
【0013】本発明は、スプリアス規格用の別のフィル
タを用いることなく中心周波数の2倍及び3倍のスプリ
アス帯域の規格も同時に達成することができ、小型化及
び高性能化を図ることができる弾性表面波フィルタを提
供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明に係る弾性表面波
フィルタは、所定の共振周波数を有する弾性表面波共振
器を第1の直列腕に、該第1の直列腕共振器の反共振周
波数に略一致する共振周波数を持つ弾性表面波共振器を
並列腕に、さらに所定の共振周波数を有する弾性表面波
共振器を第2の直列腕により構成したT型構成の弾性表
面波フィルタにおいて、T型構成の弾性表面波フィルタ
の入力と出力間を橋絡する弾性表面波共振器を設けたこ
とを特徴とする。
【0015】本発明に係る弾性表面波フィルタは、第1
の直列腕共振器または第2の直列腕共振器の少なくとも
何れか1つを、複数の弾性表面波共振器で構成したもの
であってもよい。
【0016】本発明に係る弾性表面波フィルタは、並列
腕共振器を、複数の弾性表面波共振器で構成したもので
あってもよい。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。 第1の実施形態 図1は本発明の第1の実施形態に係る共振器型SAWフ
ィルタの回路構成図である。本実施形態は、CDMA方
式の携帯電話の移動体通信機器用いられるSAWフィル
タに適用した例である。
【0018】図1において、20は本実施形態に係る共
振器型SAWフィルタであり、形状の特徴から橋絡T型
SAWフィルタと呼ぶ。橋絡T型SAWフィルタ20
は、直列腕共振器(SR1,SR2)21,22、並列
腕共振器(PR1)23、SAW共振器(BR1)2
4、入力端子(IN)25、出力端子(OUT)26、
及びアース端子(E)27,28から構成される。
【0019】橋絡T型SAWフィルタ20の特徴的な構
成としては、T型SAWフィルタの入力端子(IN)2
5と出力端子(OUT)26の間にSAW共振器24
(BR1)を設けたことにある。
【0020】SAW共振器24(BR1)は、CDMA
方式の携帯電話においては、送信帯域(824〜849
MHz)、受信帯域(869〜894MHz)の両帯域
には影響を及ぼさず、2×(中心周波数)及び3×(中
心周波数)のスプリアス帯域においてのみ、所要の減衰
を有するように交差長、対数及び共振周波数を設定した
ものである。
【0021】以下、上述のように構成された橋絡T型S
AWフィルタ20の動作を説明する。
【0022】橋絡T型SAWフィルタ20は、直列腕共
振器21,22及び並列腕共振器23により構成される
従来の梯子型SAWフィルタ(前記図6)に、新たに入
力端子(IN)25と出力端子(OUT)26の間にS
AW共振器24(BR1)を設けたものである。したが
って、従来の梯子型SAWフィルタの部分の各共振器
(直列腕共振器21,22及び並列腕共振器23)に
は、前記各文献に示す従来の梯子型フィルタ構成手法の
適用が可能である。
【0023】また、入力端子(IN)25と出力端子
(OUT)26の間に接続したSAW共振器24(BR
1)は、CDMA方式の携帯電話においては、送信帯域
(824〜849MHz)、受信帯域(869〜894
MHz)の両帯域には影響を及ぼさず、2×(中心周波
数)及び3×(中心周波数)のスプリアス帯域において
のみ、所要の減衰を有するように交差長、対数及び共振
周波数が設定されている。
【0024】次に、上記各共振器の具体的な設計方法に
ついて説明する。動作の説明にあたり、前記文献4に示
すSAW共振器の集中定数等価回路を例にとる。また、
橋絡T型SAWフィルタ20の特性を説明するため、図
1の回路の2等分回路を用いる。
【0025】図2は、図1に示す橋絡T型SAWフィル
タ20の2等分回路の等価回路図であり、図1の回路を
2等分した入力側の等価回路を示し、図中●はその2等
分回路の出力端子である。
【0026】上記2等分回路の等価回路における直列腕
共振器(SR1)をSRE30(210)、並列腕共振
器(PR1)をPRE30(220)、SAW共振器
(BR1)をBRE10(200)、入力端子(IN)
をIN(9)、SRE30(210)及びPRE30
(220)の出力端子をOUT(91)、BRE10
(200)の出力端子をOUT(90)、アース端子を
E(9),E(9)と表し、この2等分回路の集中定数
等価回路の数値を設定する。
【0027】まず、図2の2等分回路の集中定数等価回
路において、端子OUT(90)、OUT(91)、E
(9)を短絡した場合のインピーダンスZshort及び端
子OUT(90)、OUT(91)、E(9)を開放し
た場合のインピーダンスZopenをそれぞれ次式(1)、
(2)に従って求める。
【0028】
【数1】
【0029】表1は、各共振器の構成を示す交差長、対
数及び集中定数等価素子数を表す表である。
【0030】
【表1】
【0031】上記式(1)、(2)における各LCの具
体的な数値は〔表1〕の各共振器の交差長、対数及び共
振周波数から次式(3)で示される。
【0032】
【数2】
【0033】上記式(1)、(2)のZshort及びZope
nを用いると、図1に示す橋絡T型SAWフィルタ20
の特性ATT(ω)は、次式(4)により求めることが
できる。
【0034】
【数3】
【0035】よって、上記式(4)から図1に示す橋絡
T型SAWフィルタ20の特性は、Zopen=Zshort、
Zopen=∞、及びZshort=∞の周波数において減衰が
∞になることがわかる。
【0036】また、図1に示す橋絡T型SAWフィルタ
20の減衰極の周波数は、Zopen=Zshort、Zbre10=
∞、Zsre30=∞、及びZpre30=∞の場合である。
【0037】一方、前記図6に示す従来の梯子型SAW
フィルタの減衰極の周波数は、Zopen=Zshort、Zsre
30=∞、及びZpre30=∞の場合である。すなわち、本
実施形態に係る橋絡T型SAWフィルタ20は、従来の
梯子型SAWフィルタと比較して減衰極が一つ多く形成
することが可能である。ここで、従来の梯子型SAWフ
ィルタは、上記式(3)において各LCが次式(5)に
示される場合である。
【0038】
【数4】
【0039】図3は本実施形態に係る橋絡T型SAWフ
ィルタ20と従来の梯子型SAWフィルタの特性ATT
(ω)を比較して示す特性図である。
【0040】この特性図は、〔表1〕に示す各共振器の
交差長、対数、共振周波数及び集中定数等価回路の等価
L、Cを基にシミュレーションにより求めたものであ
る。また、上述したように前記図6に示す従来の回路の
交差長、対数は、〔表1〕のBR1がなく、SR1=S
R11、SR2=SR12、PR1=PR13の場合で
ある。
【0041】図3の一点鎖線が本実施形態に係る橋絡T
型SAWフィルタ20の特性を示し、図3の実線が従来
例の特性を示す。特性を比較して明らかなように、本実
施形態に係る橋絡T型SAWフィルタ20は、減衰極が
850MHz、920MHzに存在することに加えて、
スプリアス帯域である1580MHzにも存在する。
【0042】以上説明したように、第1の実施形態に係
る橋絡T型SAWフィルタ20は、所定の共振周波数を
有する直列腕共振器(SR1)21(第1の直列腕共振
器)、直列腕共振器(SR1)21の反共振周波数に略
一致する共振周波数を持つ並列腕共振器(PR1)2
3、所定の共振周波数を有する直列腕共振器(SR2)
22(第2の直列腕共振器)、入力端子(IN)25、
出力端子(OUT)26、及びアース端子(E)27,
28からなるT型構成の弾性表面波フィルタにおいて、
T型構成の弾性表面波フィルタの入力と出力間を橋絡す
るSAW共振器(BR1)24を備えて構成したので、
スプリアス規格用の別のフィルタを用いることなく中心
周波数の2倍及び3倍のスプリアス帯域の規格も同時に
達成することができ、小型化及び高性能化を図ることが
できる。
【0043】例えば、従来例の梯子型SAWフィルタの
減衰極は、図3実線に示すように850MHz、920
MHzに存在するのみである。したがって、スプリアス
帯域において減衰が必要な場合には、SAWフィルタと
は別に集中定数フィルタまたはλ/4線路をバッケージ
内に形成する必要があった。これに対して、本実施形態
では、チップ内に設けることが可能になり、SAWフィ
ルタの一層の小型化が可能になる。 第2の実施形態 図4は本発明の第2の実施形態に係る橋絡T型SAWフ
ィルタの回路構成図であり、直列腕共振器を2つの共振
器を用いて構成した例である。本実施形態の説明にあた
り、前記図1と同一構成部分又は対応する要素は同一の
符号を付して重複部分の説明を省略する。
【0044】図4において、本実施形態に係る橋絡T型
SAWフィルタ40は、直列腕共振器(SR1,SR
2,SR3,SR4)41,42,43,44、並列腕
共振器(PR1)23、SAW共振器(BR1)24、
入力端子(IN)25、出力端子(OUT)26、及び
アース端子(E)27,28から構成される。
【0045】このように、本橋絡T型SAWフィルタ4
0は、前記図1の各直列腕共振器(SR1,SR2)2
1,22を、2つの直列腕共振器(SR1,SR2)4
1,42、及び直列腕共振器(SR3,SR4)43,
44により構成したものである。
【0046】表2は、各共振器の構成を示す交差長、対
数及び集中定数等価素子数を表す表である。
【0047】
【表2】
【0048】本実施形態に係る橋絡T型SAWフィルタ
40の特性ATT(ω)は、前記図3の破線で示され
る。
【0049】図3破線に示す特性は、〔表2〕に示す各
共振器の交差長、対数、共振周波数及び集中定数等価回
路の等価L、Cを基にシミュレーションにより求めたも
のである。
【0050】図3の特性からわかるように、本実施形態
に係る橋絡T型SAWフィルタ40は、減衰極が850
MHz、920MHzに存在することに加えて、スプリ
アス帯域である1600MHzにも存在するが、その減
衰量は第1の実施形態と比較して非常に大きい。すなわ
ち、第1の実施形態に比較して、直列腕に2つの共振器
を設けた本実施形態では、スプリアス帯域においてより
高減衰化を得ることがてきる。したがって、チップ内に
おいてスプリアスを除去できることは、第1の実施形態
と同様であり、第1の実施形態よりスプリアス帯域にお
いて高減衰を得ることができる。 第3の実施形態 図5は本発明の第3の実施形態に係る橋絡T型SAWフ
ィルタの回路構成図であり、直列腕共振器を2つの共振
器を用いて構成し、さらに並列腕共振器を2つの共振器
を用いて構成した例である。本実施形態の説明にあた
り、前記図1及び図4と同一構成部分又は対応する要素
は同一の符号を付している。
【0051】図5において、本実施形態に係る橋絡T型
SAWフィルタ50は、直列腕共振器(SR1,SR
2,SR3,SR4)41,42,43,44、並列腕
共振器(PR1,PR2)51,52、SAW共振器
(BR1)24、入力端子(IN)25、出力端子(O
UT)26、及びアース端子(E)27,28から構成
される。
【0052】このように、本橋絡T型SAWフィルタ5
0は、前記図4の並列腕共振器(PR1)23を、2つ
の並列腕共振器(PR1,PR2)51,52で構成し
たものである。
【0053】本実施形態に係る橋絡T型SAWフィルタ
50においても、第1の実施形態、第2の実施形態と同
様にスプリアス帯域において高減衰を得ることができ、
同様の効果を得ることができる。
【0054】したがって、このような特長を有するSA
WフィルタをCDMA通信方式を用いた移動体通信機器
に用いられるRFフィルタに適用して好適である。
【0055】なお、上記各実施形態では、梯子型回路構
成した共振器型SAWフィルタについて適用した例であ
るが、直列腕弾性表面波器と並列腕弾性表面波共振器と
を持ち、入力と出力間に弾性表面波共振器を設けるもの
であればどのような弾性表面波フィルタにも適用できる
ことは言うまでもなく、例えばSAW共振器を一段以上
梯子型回路構成した共振器型SAWフィルタ全てにおい
て同様に適用可能であり、同様の効果を得ることができ
る。
【0056】また、梯子型回路のパターン構造やその梯
子型回路の段数、入出力アース端子の配線パターン形状
等、更には適用されるチップやパッケージの種類、接続
状態等は上記各実施形態に限定されない。
【0057】
【発明の効果】本発明に係る弾性表面波フィルタでは、
T型構成の弾性表面波フィルタにおいて、T型構成の弾
性表面波フィルタの入力と出力間を橋絡する弾性表面波
共振器を設けているので、スプリアス規格用の別のフィ
ルタを用いることなく中心周波数の2倍及び3倍のスプ
リアス帯域の規格も同時に達成することができ、小型化
及び高性能化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した第1の実施形態に係る弾性表
面波フィルタの回路構成図である。
【図2】上記弾性表面波フィルタの2等分回路の等価回
路図である。
【図3】上記弾性表面波フィルタと従来の梯子型SAW
フィルタの特性を比較して示す特性図である。
【図4】本発明を適用した第2の実施形態に係る弾性表
面波フィルタの回路構成図である。
【図5】本発明を適用した第3の実施形態に係る弾性表
面波フィルタの回路構成図である。
【図6】従来の弾性表面波フィルタの回路構成図であ
る。
【図7】従来の弾性表面波フィルタの等価回路図であ
る。
【符号の説明】
20,40,50 橋絡T型SAWフィルタ、21,2
2,41,42,43,44 直列腕共振器(SR1,
SR2,SR1〜SR4)、23,51,52並列腕共
振器(PR1)、24 SAW共振器(BR1)、25
入力端子(IN)、26 出力端子(OUT)、2
7,28 アース端子(E)
フロントページの続き (72)発明者 藤田 義昭 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 駒崎 友和 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 Fターム(参考) 5J097 AA14 AA29 BB01 BB11 CC01 CC02 KK04 5J108 AA07 JJ04

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の共振周波数を有する弾性表面波共
    振器を第1の直列腕に、該第1の直列腕共振器の反共振
    周波数に略一致する共振周波数を持つ弾性表面波共振器
    を並列腕に、さらに所定の共振周波数を有する弾性表面
    波共振器を第2の直列腕により構成したT型構成の弾性
    表面波フィルタにおいて、 前記T型構成の弾性表面波フィルタの入力と出力間を橋
    絡する弾性表面波共振器を設けたことを特徴とする弾性
    表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記第1の直列腕共振器または前記第2
    の直列腕共振器の少なくとも何れか1つを、複数の弾性
    表面波共振器で構成したことを特徴とする請求項1記載
    の弾性表面波フィルタ。
  3. 【請求項3】 前記並列腕共振器を、複数の弾性表面波
    共振器で構成したことを特徴とする請求項1記載の弾性
    表面波フィルタ。
JP11195928A 1999-07-09 1999-07-09 弾性表面波フィルタ Pending JP2001024475A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11195928A JP2001024475A (ja) 1999-07-09 1999-07-09 弾性表面波フィルタ
EP00104656A EP1067686B1 (en) 1999-07-09 2000-03-03 Saw resonator filter with bridged-t configuration
DE60044597T DE60044597D1 (de) 1999-07-09 2000-03-03 SAW Resonatorfilter mit überbrücktem T-Glied
KR1020000011582A KR100804460B1 (ko) 1999-07-09 2000-03-08 브리지드 t 구성을 갖는 탄성 표면파 공진기 필터
US09/526,490 US6377140B1 (en) 1999-07-09 2000-03-15 Saw resonator filter with bridged-T configuration

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11195928A JP2001024475A (ja) 1999-07-09 1999-07-09 弾性表面波フィルタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001024475A true JP2001024475A (ja) 2001-01-26

Family

ID=16349318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11195928A Pending JP2001024475A (ja) 1999-07-09 1999-07-09 弾性表面波フィルタ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6377140B1 (ja)
EP (1) EP1067686B1 (ja)
JP (1) JP2001024475A (ja)
KR (1) KR100804460B1 (ja)
DE (1) DE60044597D1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009207116A (ja) * 2008-01-31 2009-09-10 Fujitsu Ltd 弾性波デバイス、デュープレクサ、通信モジュール、および通信装置
US11082030B2 (en) 2018-11-06 2021-08-03 Taiyo Yuden Co., Ltd. High-pass filter and multiplexer

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4056798B2 (ja) * 2002-06-06 2008-03-05 沖電気工業株式会社 弾性表面波フィルタ
DE10304470B4 (de) * 2003-02-04 2013-09-05 Epcos Ag Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes elektronisches Bauelement
WO2010125934A1 (ja) * 2009-04-30 2010-11-04 株式会社村田製作所 弾性波装置
US9099986B2 (en) 2011-09-30 2015-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Cross-sectional dilation mode resonators
CN107431478B (zh) * 2015-04-01 2020-10-13 株式会社村田制作所 双工器
KR101626470B1 (ko) 2015-09-16 2016-06-01 (주)계림건축사사무소 비발포체형 소음 저감재 및 이를 포함하는 바닥구조
US10700666B2 (en) * 2017-02-08 2020-06-30 Taiyo Yuden Co., Ltd. Filter circuit, multiplexer, and module
US11206009B2 (en) 2019-08-28 2021-12-21 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with interdigital transducer with varied mark and pitch
US11323096B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with periodic etched holes
US11929731B2 (en) 2018-02-18 2024-03-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode mark, and pitch
US10756697B2 (en) 2018-06-15 2020-08-25 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator
US20220116015A1 (en) 2018-06-15 2022-04-14 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode thickness, mark, and pitch
US11936358B2 (en) 2020-11-11 2024-03-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance
US11509279B2 (en) 2020-07-18 2022-11-22 Resonant Inc. Acoustic resonators and filters with reduced temperature coefficient of frequency
US11323089B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Filter using piezoelectric film bonded to high resistivity silicon substrate with trap-rich layer
US11323090B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using Y-X-cut lithium niobate for high power applications
US11146232B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced spurious modes
US10790802B2 (en) 2018-06-15 2020-09-29 Resonant Inc. Transversely excited film bulk acoustic resonator using rotated Y-X cut lithium niobate
US20210328574A1 (en) 2020-04-20 2021-10-21 Resonant Inc. Small transversely-excited film bulk acoustic resonators with enhanced q-factor
US11901878B2 (en) 2018-06-15 2024-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes with a wider top layer
US11329628B2 (en) 2020-06-17 2022-05-10 Resonant Inc. Filter using lithium niobate and lithium tantalate transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11146238B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Film bulk acoustic resonator fabrication method
US11916539B2 (en) 2020-02-28 2024-02-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Split-ladder band N77 filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11949402B2 (en) 2020-08-31 2024-04-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resonators with different membrane thicknesses on the same die
US11264966B2 (en) 2018-06-15 2022-03-01 Resonant Inc. Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator with diamond layers in Bragg reflector stack
US11349452B2 (en) 2018-06-15 2022-05-31 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic filters with symmetric layout
US11728785B2 (en) 2018-06-15 2023-08-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities
US11909381B2 (en) 2018-06-15 2024-02-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes having a narrower top layer
US11349450B2 (en) 2018-06-15 2022-05-31 Resonant Inc. Symmetric transversely-excited film bulk acoustic resonators with reduced spurious modes
US12009798B2 (en) 2018-06-15 2024-06-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with electrodes having irregular hexagon cross-sectional shapes
US11374549B2 (en) 2018-06-15 2022-06-28 Resonant Inc. Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators with divided frequency-setting dielectric layers
US10826462B2 (en) 2018-06-15 2020-11-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with molybdenum conductors
US11323091B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with diaphragm support pedestals
US11967945B2 (en) 2018-06-15 2024-04-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters
US11171629B2 (en) 2018-06-15 2021-11-09 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities
US11876498B2 (en) 2018-06-15 2024-01-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method
US11996822B2 (en) 2018-06-15 2024-05-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wide bandwidth time division duplex transceiver
US11323095B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Rotation in XY plane to suppress spurious modes in XBAR devices
US11201601B2 (en) 2018-06-15 2021-12-14 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method
US11228296B2 (en) 2018-06-15 2022-01-18 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with a cavity having a curved perimeter
US11888463B2 (en) 2018-06-15 2024-01-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multi-port filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11329626B2 (en) 2018-11-30 2022-05-10 Resonant Inc. Bandpass filter with improved upper band edge sharpness
DE112020001227T5 (de) 2019-03-14 2022-02-10 Resonant Inc. Transversal angeregter akustischer Filmresonator mit Lambda-Halbe-Dielektrikumschicht
US11901873B2 (en) 2019-03-14 2024-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with partial BRAGG reflectors
US20210273629A1 (en) 2020-02-28 2021-09-02 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multi-pitch interdigital transducer
US11811391B2 (en) 2020-05-04 2023-11-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etched conductor patterns
US11469733B2 (en) 2020-05-06 2022-10-11 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress
US11817845B2 (en) 2020-07-09 2023-11-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for making transversely-excited film bulk acoustic resonators with piezoelectric diaphragm supported by piezoelectric substrate
US11264969B1 (en) 2020-08-06 2022-03-01 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator comprising small cells
US11271539B1 (en) 2020-08-19 2022-03-08 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with tether-supported diaphragm
US11671070B2 (en) 2020-08-19 2023-06-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators using multiple dielectric layer thicknesses to suppress spurious modes
US11894835B2 (en) 2020-09-21 2024-02-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Sandwiched XBAR for third harmonic operation
US11405017B2 (en) 2020-10-05 2022-08-02 Resonant Inc. Acoustic matrix filters and radios using acoustic matrix filters
US11476834B2 (en) 2020-10-05 2022-10-18 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with switches in parallel with sub-filter shunt capacitors
US11929733B2 (en) 2020-10-05 2024-03-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with input and output impedances matched to radio frequency front end elements
US11658639B2 (en) 2020-10-05 2023-05-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with noncontiguous passband
US11728784B2 (en) 2020-10-05 2023-08-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with split die sub-filters
US12003226B2 (en) 2020-11-11 2024-06-04 Murata Manufacturing Co., Ltd Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance
US11405020B2 (en) 2020-11-26 2022-08-02 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with structures to reduce acoustic energy leakage
US11239816B1 (en) 2021-01-15 2022-02-01 Resonant Inc. Decoupled transversely-excited film bulk acoustic resonators

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2800905B2 (ja) 1991-10-28 1998-09-21 富士通株式会社 弾性表面波フィルタ
JP3388475B2 (ja) 1991-12-16 2003-03-24 富士通株式会社 分波器
US5847626A (en) * 1994-02-22 1998-12-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Balanced-type surface acoustic wave lattice filter
EP0738039B1 (en) * 1995-04-12 2000-06-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Resonator ladder surface acoustic wave filter
JPH09167937A (ja) * 1995-12-18 1997-06-24 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フィルタ
JP3887037B2 (ja) * 1996-05-27 2007-02-28 株式会社東芝 弾性表面波フィルタ装置
US5939957A (en) * 1996-07-26 1999-08-17 Ngk Spark Plug Co., Ltd. 6-elements ladder type piezoelectric filter
JP3378151B2 (ja) * 1996-09-17 2003-02-17 沖電気工業株式会社 表面弾性波フィルタ回路
JP3746579B2 (ja) * 1996-11-29 2006-02-15 沖電気工業株式会社 Sawフィルタ
DE69722168T2 (de) * 1997-02-12 2003-12-18 Oki Electric Ind Co Ltd Akustische Oberflächenwellenfilter mit erzeugten Dämpfungspolen durch Impedanzschaltungen
JP3285790B2 (ja) * 1997-05-13 2002-05-27 富士通株式会社 発振回路
TW404091B (en) * 1997-05-16 2000-09-01 Murata Manufacturing Co Ladder filter having edge-reflection type resonators
FI108583B (fi) * 1998-06-02 2002-02-15 Nokia Corp Resonaattorirakenteita

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009207116A (ja) * 2008-01-31 2009-09-10 Fujitsu Ltd 弾性波デバイス、デュープレクサ、通信モジュール、および通信装置
US11082030B2 (en) 2018-11-06 2021-08-03 Taiyo Yuden Co., Ltd. High-pass filter and multiplexer

Also Published As

Publication number Publication date
US6377140B1 (en) 2002-04-23
DE60044597D1 (de) 2010-08-12
EP1067686A3 (en) 2004-06-30
KR100804460B1 (ko) 2008-02-20
EP1067686B1 (en) 2010-06-30
KR20010014545A (ko) 2001-02-26
EP1067686A2 (en) 2001-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001024475A (ja) 弾性表面波フィルタ
KR100434411B1 (ko) 탄성 표면파 장치
US7902940B2 (en) Duplexer
JP4335922B2 (ja) 挿入損が低減されている回路および該回路を有する構成素子
US6034577A (en) Integrated interdigital electrode saw filter with specified distances between input/output electrodes
JP2002208835A (ja) 有極型sawフィルタ
JP4294632B2 (ja) 弾性表面波装置
US20030006859A1 (en) Surface acoustic wave device and communication apparatus
JP2001069031A (ja) 無線端末
JP6835041B2 (ja) マルチプレクサ
JP3576367B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
JP3148471B2 (ja) 分波器およびこれを用いた移動無線機
US6366179B1 (en) Surface acoustic wave element having two filters with more IDTs in the lower frequency filter
GB2365639A (en) Lattice-type surface acoustic wave filter
JP3720900B2 (ja) 弾性表面波フィルタ装置における阻止帯域の設定方法
US20040080384A1 (en) Surface acoustic wave filter and communication device
JPH0865097A (ja) 弾性表面波フィルタ装置
JPH07231241A (ja) 弾性表面波装置
JPH10294644A (ja) 有極型弾性表面波フィルタ
JPH06350391A (ja) 弾性表面波装置
JP2002217680A (ja) ラダー型弾性表面波フィルタ
JPH07154200A (ja) 共振器型弾性表面波フィルタ
JP2000151456A (ja) 送信帯域分割型弾性表面波分波器
JPH10303696A (ja) 有極型sawフィルタ
JP2003332881A (ja) 弾性表面波デバイス

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20021029