KR100804460B1

KR100804460B1 - 브리지드 ｔ 구성을 갖는 탄성 표면파 공진기 필터

Info

Publication number: KR100804460B1
Application number: KR1020000011582A
Authority: KR
Inventors: 에하라히사노리; 시마무라하지메; 후지따요시아끼; 고마자끼도모까즈
Original assignee: 오끼 덴끼 고오교 가부시끼가이샤
Priority date: 1999-07-09
Filing date: 2000-03-08
Publication date: 2008-02-20
Also published as: KR20010014545A; US6377140B1; EP1067686B1; EP1067686A2; EP1067686A3; JP2001024475A; DE60044597D1

Abstract

탄성 표면파 필터가 T 배열로 결합된 션트(shunt)암 탄성 표면파 공진기 및 한쌍의 시리즈 암 탄성 표면파 공진기를 가진다. 추가적인 브릿징 탄성 표면파 공진기는 직렬 암과 병렬로, 입력 및 출력 단자 사이에서 결합된다. 이 브리징 탄성 표면파 공진기는 통과 대역폭 주파수의 배수에서 스퓨리어스 신호의 강화된 감쇠를 제공한다.

탄성 표면파 공진기 필터

Description

브리지드 Ｔ 구성을 갖는 탄성 표면파 공진기 필터 {SAW RESONATOR FILTER WITH BRIDGED-T CONFIGURATION}

도 1 은 종래 래더 형의 탄성 표면파 공진기 필터의 회로도.

도 2 는 도 1 의 필터의 이등분의 등가 회로도.

도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태를 도시하는 탄성 표면파 공진기 필터의 회로도.

도 4 는 도 3 의 필터의 이등분의 등가 회로도.

도 5 는 종래 탄성 표면파 공진기 필터 및 본 발명에 의한 필터의 감쇠 특성의 그래프.

도 6 은 본 발명의 제 2 실시형태를 도시하는 탄성 표면파 공진기 필터의 회로도.

도 7 은 본 발명의 제 3 실시형태를 도시하는 탄성 표면파 공진기 필터의 회로도.

※도면 주요 부분에 대한 부호의 설명※

20 : 필터 21, 22 : 직렬 암 SAW 공진기

23 : 션트 암 SAW 공진기 24 : 브리징 SAW 공진기

25 : 입력단자 26 : 출력단자

27, 28 : 접지 단자

본 발명은 이동 통신 장치 내의 무선 주파수 필터로서 유용한, 공진기 형의 탄성 표면파 필터에 관한 것이다.

콤팩트하고, 저중량의 이동 전화 세트 및 기타 이동 통신 장비는 최근에 크게 발전하고 있다. 작고 가벼운 고성능의 소자들이 요구되고 있다.

탄성 표면파 (SAW) 필터는 작고 가볍고 조절을 요하지 않으며, 반도체 장치의 제조에 사용되는 것과 동일한 포토리소그래픽 기술에 의해 대량으로 제조될 수 있다. 또한, SAW 필터의 진폭 특성 및 위상 특성은 독립적으로 제어될 수 있다. SAW 필터는 화상 신호 중간 주파수 (PIF) 필터, 잔류 측파대 (VSB) 필터, 및 다른 형태의 통신 필터로서, 그리고, 디지털 신호 프로세싱에 대한 필터로서의 사용이 증가되고 있음이 발견된다.

SAW 필터는 또한 이동 전화 세트의 무선 주파수 (RF) 섹션 내에 사용되는 데, 그것은 향상된 성능과 소형화에 있어서 중요한 역할을 수행하였다. 주로 사용돼왔던 SAW 필터의 형태는 SAW 공진기를 채용하는 래더(ladder) 필터이다. 작은 크기에 더하여, 이 형태의 필터는 좁은 대역폭, 통과 대역 내에서의 낮은 삽입 손실, 및 인접한 저지대역에서의 높은 감쇠를 제공하고, 또한 매칭 회로를 필요로 하지 않는다.

도 1 은 종래의 SAW 공진기 형 래더 필터를 나타내는데, 2 개의 직렬-암 SAW 공진기 (11, 12) 및 하나의 션트-암 즉 평행-암 SAW 공진기 (13) 을 갖는다. 직렬-암 SAW 공진기 (11,12) 는, 아래에서 SR1 및 SR2 로 지시되는데, 입력단자 (14) 와 출력단자 (15) 사이에 직렬로 결합되어 있다. 입력단자 (14) 는 그라운드(ground) 또는 접지(earth) (E) 단자 (16) 과 짝을 이루어 필터의 입력 포트를 형성한다. 출력단자 (15) 는 또다른 접지 단자 (17) 과 짝을 이루어 출력 포트를 형성한다. 션트-암 SAW 공진기 (13) 은, 아래에서 PR1 으로 지시되는데, 일측 상에서 양 접지 단자 (16, 17) 에 결합되고, 다른 일측 상에서 2 개의 직렬-암 SAW 공진기 (SR1 및 SR2) 사이에 위치한 노드에 결합되어 있다.

각 SAW 공진기 (SR1, SR2, PR1) 는 한 쌍의 그레이팅 리플렉터(grating reflector; 도시되어 있지 않음) 의 측면에 선 인터디지털 트랜스듀서 (IDT, 도시되어 있지 않음) 를 구비한다. 도 2 는 도 1 내에서의 SAW 필터의 이등분의 등가 회로를 나타내고, IDT 의 커패시턴스에 등가이고, 커패시턴스 (C)와 직렬로 연결된 인덕턴스 (L), 이와 병렬로 연결된 커패시턴스 (C₀) 에 의해 각 SAW 공진기를 나타낸다. 이것은 또한 크리스탈 공진기를 나타내는 데 사용되는 등가 회로 구성이다. 이런식으로 나타낼 수 있는 공진기는 공진 주파수 및 반공진 주파수 모두를 갖는 리액턴스 특성을 가지고 있다. 대역통과 필터는 인덕턴스-커패시터 (LC) 대역통과 필터가 구성되는 것과 동일한 방법으로, 션트-암 공진기 (PRE11) 의 반공진 주파수를 직렬-암 공진기 (SRE10) 의 공진 주파수와 동일하게 함으로써, 그런 공진기의 래더 구성에 의해서 제조된다.

SRE10 은 도 1 에서 SR1 을 나타내는 반면, PRE11 은 도 1 의 PR1 의 이등분을 나타낸다.

도 1 의 구성은 T-형 필터 구성로서 알려져 있다. T-형 필터는 상대적으로 작은 감쇠를 가지고 있으나, 그 감쇠는 더 큰 SAW 공진 단계를 부가함으로써 증가될 수 있다.

이동 전화 시스템 및 다른 이동 통신 시스템은 점점 다양화되가고 있다. 채널 수의 증가, 송신 및 수신 주파수 대역 사이의 갭의 감소, 및 통과대역의 확장이 유행한다. 작은 크기의 장점때문에, 필요한 요구사항들을 만족하는 SAW 필터는 매우 바람직하지만, 종래 래더 형의 SAW 필터는 한정된 범위의 요구사항만을 만족한다.

예를 들어, 광범위하게 개선된 코드 분할 다중 접속 (CDMA) 시스템에서의 이동 전화는 하나의 대역 (824 내지 849 메가헤르쯔 또는 MHz) 에서 송신하고, 또다른 대역 (869 내지 894 MHz) 에서 수신한다. 이런 이동 전화 세트의 RF 필터는 이러한 대역에서 삽입 손실 및 감쇠 요구사항들을 만족하여야 하고, 또한 이러한 대역들의 중심 주파수의 2 및 3 배 (2f_c 및 3f_c) 에서 스퓨리어스 신호의 감쇠에 대한 조건을 만족하여야 한다. 종래 래더 형의 SAW 필터는 이러한 스퓨리어스-신호 감쇠 요건을 만족할 수 없다.

이러한 문제점의 종래 해결책은 스퓨리어스 신호 콤포넌트를 없애도록 RF 패키지 내에 분리된 럼프트-콘스탄트 필터 또는 쿼터-웨이브 (λ/4) 스트립 선로를 제공하는 것이지만, SAW 필터 그 자체에 의해서 스퓨리어스 콤포넌트가 제거되도록 하는것이 바람직하다.

따라서, 본 발명의 목적은 중심 주파수의 배수에서 스퓨리어스 신호 감쇠에 대한 요건을 만족하는 SAW 필터를 제공하는 것이다.

본 발명의 SAW 필터는 직렬 암, 션트 암, 입력 단자, 출력 단자, 및 접지 단자를 가지는 T 형 구성을 갖는다. 이 직렬 암은 입력 단자 및 출력 단자 사이에서 직렬로 연결된 제 1 SAW 공진기 및 제 2 공진기를 갖는다. 이 션트 암은 접지 단자와 상기 그 직렬 암 상에서의 제 1 및 제 2 SAW 공진기 사이에 위치한 접지 단자 및 노드 사이에 연결된 제 3 SAW 공진기를 갖는다. 또한, SAW 필터는, 직렬 암과 병렬로, 입력 단자와 출력 단자 사이에 연결된 제 4 SAW 공진기를 가지고 있다.

제 4 SAW 공진기는 또다른 폴(pole) 을 SAW 필터의 감쇠 특성에 추가한다. 이 폴은, SAW 필터의 통과대역의 중심 주파수의 2 배보다 크거나 실질적으로 같은 주파수에서, 추가적인 감쇠를 제공하도록 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예들은 첨부된 도면을 참조하여 설명되고, 동일한 부분은 동일한 참조 부호로 지시된다.

도 3 을 참조하면, 제 1 실시형태는 CDMA 이동전화 세트 용으로 적합한 SAW 공진기 필터이다. 필터 (20) 는 브리지드 T 구성을 가지고 있고, 직렬 암 SAW 공진기 (SR1 (21) 및 SR2 (22)), 션트-암 SAW 공진기 (PR1 (23)) 및 브리징 SAW 공진기 (BR1 (24)) 를 구비하고 있다. 직렬-암 SAW 공진기 (SR1, SR2) 는 입력 단자 (25) 및 출력 단자 (26) 사이에 직렬로 연결되어 있다. 브리징 SAW 공진기 (BR1) 은 또한 입력 단자 (25) 및 출력 단자 (26) 사이에 2 개의 직렬-암 SAW 공진기 (SR1, SR2) 와 병렬로 연결되어 있다. 션트-암 SAW 공진기 (PR1) 은 일측 상에서 한 쌍의 접지 단자 (27, 28) 에 연결되고, 다른 일측 상에 2 개의 직렬-암 SAW 공진기 (SR1, SR2) 사이의 직렬 암 상의 노드(29) 에 연결되어 있다. 모든 4 개의 SAW 공진기 (SR1, SR2, PR1, BR1) 단일 압전 기판 또는 칩상에 형성된다. 이 브리지드 T 형 필터의 회로 구성 (20) 은 새로운 브리징 SAW 공진기 (BR1) 가 있는 종래 T 형 필터의 구성이다.

CDMA 이동 전화에서의 사용을 위해, IDT 전극 핑거의 개구 수와 브리징 SAW 공진기 (BR1) 의 공진 주파수는, 송신 대역 (824 - 849 MHz) 또는 수신 대역 (869 - 894 MHz) 에서의 동작에 영향을 미치지 않고서, 필터 (20) 의 통과 대역의 중심 주파수 (f_c) 의 2 및 3 배와 동일한 주파수에서 분명한 감쇠를 제공하도록 선택된다. 다른 SAW 공진기 (SR1, SR2, PR1) 은 종래의 T 형의 래더 필터를 설계하는 데 이용되는 동일한 기술에 의해 설계된다.

도 4 는 도 3 의 필터의 이등분에 해당하는 등가 럼프트-콘스탄트 회로도이다. BRE10 (200) 은 도 3 의 브리징 SAW 공진기 (BR1) 의 이등분에 해당한다. SRE (210) 은 도 3 의 SAW 공진기 (SR1) 에 해당한다. PRE30 (220) 은 도 3 의 SAW 공진기 (PR1) 의 이등분에 해당한다. 검은 점 OUT (90), OUT (91), E (9) 는 이 이등분부의 출력단자를 나타낸다.

이 등가 회로의 특성은 OUT (90), OUT (91), 및 E(9) 가 상호 접속될 때의 임피던스인 Zshort 및 OUT (90), OUT (91), 및 E(9) 가 오픈된 상태일 때의 임피던스인 Zopen 으로부터 계산될 수 있다. 다음 관계가 유지된다.

1/Zshort = 1/Zbre10 + 1/Zsre30

Zopen = Zsre30 + Zpre30

여기서,

Zbre10 = (1 + S²L₂₀₀C₂₀₀)/(S(C₂₀₀ + C₂₀₁) + S ³L₂₀₀C₂₀₀C₂₀₁))

Zbre30 = (1 + S²L₂₁₀C₂₀₀)/(S(C₂₁₀ + C₂₁₁) + S ³L₂₁₀C₂₁₀C₂₁₁))

Zbre30 = (1 + S²L₂₂₀C₂₂₀)/(S(C₂₂₀ + C₂₂₁) + S ³L₂₂₀C₂₂₀C₂₂₁))

이 등식에서, S 는 마이너스 일의 제곱 근에 의해 곱해진 입력 신호의 각 주파수이다. L₂₀₀, C₂₀₀, 및 C₂₀₁ 은 BRE10 (200) 내의 럼프트 인덕터 및 커패시터의 인덕턴스 및 커패시턴스 값을 나타낸다. L₂₁₀, C₂₁₀, 및 C₂₁₁ 은 SRE30 (210) 내의 럼프트 인덕터 및 커패시터의 인덕턴스 및 커패시턴스 값을 나타낸다. L₂₂₀, C₂₂₀, 및 C₂₂₁ 은 PRE30 (220) 내의 럼프트 인덕터 및 커패시터의 인덕턴스 및 커패시턴스 값을 나타낸다.

제 1 실시예에서의 4 개의 SAW 공진기 (BR1, SR1, SR2, PR1) 가 표 1 에서 마이크로미터 (㎛), 나노헨리 (nH), 및 피코패럿 (pF) 으로 나타낸 파라미터를 가진다. 예를들어, SAW 공진기 (BR1) 내의 IDT 는 22 마이크로미터의 개구 또는 길이를 넘어 메쉬 (mesh) 하는 22 개의 전극 핑거를 가지고 있고, 1603 MHz 의 주파수에서 감쇠의 폴 (pole) 을 생성하고, 이는 0.0138-pF 커패시턴스와 직렬로 연결되고, 0.2-pF 의 커패시턴스와 병렬로 연결된 761.2-nH 인덕턴스와 동등하다.

표 1

공진기	BR1	SR1	SR2	PR1
개구(㎛);핑거	22:22	100:100	100:100	100:100
폴 주파수(MHz)	1603	918.1	918.1	853.1
등가 L₁ (nH)	761.2	182	182	113
등가 C₁ (pF)	0.01318	0.176	0.176	0.308
등가 C₀ (pF)	0.2	2.67	2.67	3.90

이 파라미터는 다음의 등식으로 대체된다.

L₂₀₀ = 380.6 (nH), C₂₀₀= 0.0276 (pF), C₂₀₁= 0.4 (pF)

L₂₁₀ = 182.0 (nH), C₂₁₀= 0.176 (pF), C₂₁₁= 2.67 (pF)

L₂₂₀ = 226.0 (nH), C₂₂₀= 0.154 (pF), C₂₂₁= 1.95 (pF)

필터 (20) 의 감쇠 특성 ATT(ω) 는 다음의 등식을 사용하여 Zshort 및 Zopen 으로부터 계산될 수 있다. 변수 (ω) 는 입력 신호의 각 주파수를 나타내고, ABS 는 절대값을 지시한다.

ATT(ω) = 20Log(ABS((Zopen + Zshort)/(Zopen - Zshort)))

이 등식은 다음 조건 중 임의의 조건 하에서 무한(infinite) 감쇠의 폴을 나타낸다.

Zopen = Zshort

Zopen =

Zshort =

도 3 의 필터 (20) 에 대해서, 상기 세트의 조건은 다음 세트의 조건과 등가이다.

Zopen = Zshort

Zbre10 =

Zsre30 =

Zpre30 =

도 1 의 종래 T 형 필터에 대해서, 감쇠의 폴은 다음 조건 하에서만 얻어진다.

Zopen = Zshort

Zsre30 =

Zpre30 =

브리징 SAW 공진기 (24) 를 도 3 의 필터 (20) 로 추가하는 것은 감쇠의 또다른 폴을 더하는 것이다. 역으로, 도 1 의 종래 T 형 필터는 도 3 의 필터 (20) 로부터 다음 세팅에 의해서 얻을 수 있고, 이는 감쇠의 한 폴을 제거한다.

L₂₀₀ =

(nH)

C₂₀₀= 0.0 (pF)

C₂₀₁ = 0.0 (pF)

종래 T 형 SAW 필터 및 본 발명의 SAW 필터 (20) 의 동작 수행이 양 필터에 대한 표 1 에서 주어진 파라미터를 사용하며, 종래 필터에서는 생략된 BR1을 가진 럼프트 콘스탄트 등가 회로에 의해 시뮬레이트되었다. 도 5 에 나타난 결과가얻어졌다. 입력 주파수는, 지수 표기 (8.12E+08 은 8.12 x 10⁸ Hz 또는 812 MHz 를 지시함) 를 사용하여 수평축 상에서 헤르쯔로 지시된다. 감쇠는 수직축 상에 데시벨로 지시되어 있다. 실선 (30) 은 도 1 의 종래 T 형 필터의 감쇠 특성이다. 점선 (31) 은 제 1 실시형태에서의 필터 (20) 의 감쇠 특성이다.

이들 특성의 비교로부터, 양 필터가 CDMA 수신 대역 (850 MHz 및 920 MHz) 주위의 감쇠의 폴을 가지고 있으나, 제 1 실시형태에서의 필터 (20) 는 2f_c 스퓨리어스 주파수 약간 아래의 주파수 (1580 MHz) 에서 추가적인 폴을 가지고 있다. 이 폴은 2f_c 및 3f_c 스퓨리어스 대역에서 추가적인 감쇠를 가지고 있어서, 이 스퓨리어스 주파수에서의 감쇠 요건은 추가적인 필터의 사용 없이 만족될 수 있다.

따라서, 종래 SAW 필터에서, 추가적인 럼프트 콘스탄트 필터 또는 λ/4 스트립 선로가 RF 패키지 내에 필요했던 반면에, 제 1 실시형태는 RF 패키지의 차수가 감소되게 할 수 있으서 SAW 필터 칩 자체에 동등한 성능을 제공한다.

도 6 을 참조하여, 제 2 실시예는 4 개의 직렬-암 SAW 공진기 (SR1 (41), SR2 (42), SR3 (43), SR4 (44)) 를 갖춘 필터 (40) 이다. 션트-암 SAW 공진기 (PR1 (23)), 브리징 SAW 공진기 (BR1 (24)), 입력 및 출력단자 (25, 26), 및 접지 단자 (27, 28) 은 제 1 실시예에서 설명한 바와 같다. 션트-암 SAW 공진기 (PR1) 은 직렬 암 SAW 공진기 (SR2 및 SR3) 사이에 노드 (29) 에 연결되어 있다. 브리징 SAW 공진기 (BR1) 은 입력 및 출력단자 (25, 26) 에 연결되고 직렬 암과는 병렬로 연결되어 있다.

제 2 실시예에서의 SAW 공진기는 표 2 에 기재된 파라미터를 가지고 있고, Ap 는 개구를 의미한다.

표 2

공진기	BR1	SR1	SR2	SR3	SR4	PR1
Ap: 핑거	22:22	100:100	100:100	100:100	100:100	100:100
폴 (MHz)	1603	918.1	928	918.1	928	858
Eq. L₁ (nH)	761.2	182	180.0	182	180	112.4
Eq. C₁ (pF)	0.0138	0.176	0.174	0.176	0.174	0.308
Eq. C₀ (pF)	0.02	2.67	2.64	2.67	2.64	3.88

제 2 실시예에서의 감쇠 특성은 표 2 에 지시된 값을 가진 럼프트 콘스탄트의 기초하에서 시뮬레이트되었다. 이 결과는 도 5 에서의 점선 (32) 에 의해 지시된다. 제 1 실시형태에서와 같이, 감쇠의 폴은 CDMA 수신 대역 (850 MHz 및 920 MHz 에서) 의 양쪽 상에 그리고 2f_c스퓨리어스 주파수 (1600 MHz) 약간 아래에 존재한다. 그러나, 2f_c 및 3f_c스퓨리어스 대역에서의 감쇠는 제 1 실시예에서의 감쇠보다 매우 높다. 제 2 실시형태는 RF 패키지에서의 추가적인 콤포넌트의 사용 없이, 스퓨리어스 신호에 대한 우수한 제거를 제공한다.

도 7 에 관하여, 제 3 실시형태는 제 2 션트-암 SAW 공진기 (PR2 (52)) 를 제 2 실시예의 구성에 추가한 필터 (50) 이다. 제 2 션트-암 SAW 공진기 (PR2) 은 제 1 션트-암 SAW 공진기 (PR1) 과 병렬인 상태에서, 시리즌 암 SAW 공진기 (SR2 및 SR3) 사이의 노드 (29) 에, 그리고 접지 단자 (27, 28) 에 연결되어 있다. 제 2 실시형태에서의 스퓨리어스 신호 감쇠 효과와 유사한 효과가 얻어진다.

이동 전화와 같은, CDMA 통신 장치에서의 RF 필터로 사용될 때, 상기 실시형태들은 2f_c 및 3f_c 스퓨리어스 대역 감쇠 요건이 RF 패키지의 크기를 증가시키는 추가적인 콤포넌트의 사용없이 만족될 수 있도록 한다. 제 2 및 3 실시형태는 매우 바람직한 스퓨리어스 신호 제거 수행이 작은 RF 패키지 내에서 이뤄질 수 있게 한다.

본 발명은 상기 실시예에 의해 도시된 특정한 래더 필터 구성에 한정되지 않지만, 직렬 암과 병렬로, 입력 및 출력단자 사이에 추가적인 SAW 공진기를 삽입함으로써 T 형 구성으로 결합된 직렬 암 및 션트 암을 갖는 임의의 필터 구성으로 수행될 수 있다.

칩 또는 패키지 재료, 또는 패키지 내의 상호 접속 패턴, 접지 패턴 등의 어떠한 제한도 주어지지 않는다.

본 발명의 적용은 CDMA 통신 장비에 한정되지 않는다.

더 많은 변형예들이 이하의 특허청구범위 내에서 가능하다.

따라서, 상술한 구성을 통하여, 종래 SAW 필터에서, 추가적인 럼프트 콘스탄트 필터 또는 λ/4 스트립 선로가 RF 패키지 내에 필요했던 반면에, 본 발명에서는 RF 패키지의 치수가 감소되게 할 수 있으면서 SAW 필터 그자체에 동등한 성능을 제공한다.

또한, 이동 전화와 같이, CDMA 통신 장치의 RF 필터로 사용될 때, RF 패키지의 크기를 증가시키는 추가적인 콤포넌트의 사용없이, 본 발명은 2f_c 및 3f_c 스퓨리어스 대역 감쇠 요건이 만족될 수 있도록 한다. 작은 RF 패키지 내에서 스퓨리어스 신호를 제거하는 상당히 바람직한 수행이 이뤄질 수 있게 한다.

Claims

직렬 암, 션트 암, 입력단자, 출력단자, 및 접지 단자가 있는 T 형 구성을 포함하는 탄성 표면파 필터로서,

상기 직렬 암은 노드, 상기 노드와 입력단자 사이에 연결되어 있는 제 1 탄성 표면파 공진기, 및 상기 노드와 상기 출력단자 사이에 연결되어 있는 제 2 탄성 표면파 공진기를 구비하며,

상기 션트 암은 상기 노드와 상기 접지 단자 사이에 연결된 제 3 탄성 표면파 공진기를 가지고,

상기 제 3 탄성 표면파 공진기는 반공진 주파수를 가지고,

상기 제 1 탄성 표면파 공진기는 상기 반공진 주파수와 실질적으로 동일한 공진 주파수를 가지며,

상기 직렬 암과 병렬로, 상기 입력단자 및 상기 출력단자 사이에 연결된 제 4 탄성 표면파 공진기를 더 포함하고,

상기 제 4 탄성 표면파 공진기는 필터의 통과대역의 중심 주파수의 배수에서 감쇠를 제공하도록 폴을 부가하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
제 1 항에 있어서,

상기 직렬 암은 상기 입력단자와 상기 노드 사이에 상기 제 1 탄성 표면파 공진기와 직렬로 연결된 제 5 탄성 표면파 공진기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
제 1 항에 있어서,

상기 직렬 암은, 상기 노드와 상기 출력단자 사이에 상기 제 2 탄성 표면파 공진기와 직렬로 연결된 제 5 탄성 표면파 공진기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
제 1 항에 있어서,

상기 직렬 암은, 상기 입력단자와 상기 노드 사이에 상기 제 1 탄성 표면파 공진기와 직렬로 연결된 제 5 탄성 표면파 공진기와, 상기 노드와 상기 출력단자 사이에서 상기 제 2 탄성 표면파 공진기와 직렬로 연결된 제 6 탄성 표면파 공진기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
제 1 항에 있어서,

상기 션트 암은, 상기 노드와 상기 접지 단자 사이에 상기 제 3 탄성 표면파 공진기와 병렬로 연결된 제 5 탄성 표면파 공진기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.