JP2001023555A

JP2001023555A - 回転陽極型ｘ線管の製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2001023555A
Application number: JP11190467A
Authority: JP
Inventors: Hideo Abu; 秀郎阿武; Hiroyuki Sugiura; 弘行杉浦
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1999-07-05
Filing date: 1999-07-05
Publication date: 2001-01-26

Abstract

(57)【要約】【課題】液体金属潤滑材との濡れ性のよい動圧式すべ
り軸受を有する回転陽極型Ｘ線管の製造方法および製造
装置を提供すること。【解決手段】動圧式すべり軸受の軸受面が表面に設け
られるスラストリング１８を形成する第１工程と、スラ
ストリング１８の軸受面に液体金属潤滑材Ｌを接触させ
る第２工程と、スラストリング１８と接触している液体
金属潤滑材Ｌに対して超音波振動子２２が発生した超音
波振動を加える第３工程と、この第３工程の後、スラス
トリング１８と他の部品とを組み合わせ、回転陽極型Ｘ
線管を組み立てる第４工程とからなっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は回転陽極型Ｘ線管
の製造方法および製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は全体が真空容器で構
成され、その真空容器内に、電子ビームを発生する陰極
や、電子ビームの衝突でＸ線を放出する陽極ターゲット
などが配置されている。陽極ターゲットは円盤状回転陽
極上に設けられ、円盤状回転陽極は軸などを介して回転
体に連結されている。また、回転体は、たとえばその内
側に嵌め込まれる固定体シャフトとの間に軸受部が形成
され、回転できる構造になっている。

【０００３】上記した構造において、真空容器外に配置
されたステータが回転磁場を発生し、これによって回転
体が回転する。回転体が回転すると、軸で連結した円盤
状回転陽極が回転し、同時に陽極ターゲットが回転す
る。この状態で、陽極ターゲットに対して陰極から電子
ビームを照射し、陽極ターゲットからＸ線が放出され
る。

【０００４】ところで、回転陽極型Ｘ線管は、陽極ター
ゲットが回転できるように、円盤状回転陽極に連結した
回転体と固定体シャフトとの間に軸受が設けられてい
る。軸受としては、たとえば、ボールベアリングのよう
なころがり軸受け、あるいは、ガリウム（Ｇａ）やガリ
ウムーインジウムー錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金などの
液体金属潤滑材を、軸受部分に形成したらせん溝および
軸受間隙などに充填した動圧式すべり軸受が用いられて
いる。

【０００５】動圧式すべり軸受、あるいは、動圧式すべ
り軸受を用いた回転陽極型Ｘ線管は、特公昭６０−２１
４６３号公報、特開平２−２４４５４５号公報、特開平
２−２２７９４７号公報、特開平２−２２７９４８号公
報、特公平３−７７６１７号公報、特開平７−１０５８
８５号公報、および、米国特許第５８３８７６３号明細
書などに開示されている。また、その製造方法について
は、たとえば、特開平５−１２９９７号公報や特開平５
−２９０７３４号公報に開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型Ｘ線
管に用いられている動圧式すべり軸受の場合、回転体と
固定体シャフトとの間に形成される軸受間隙は、たとえ
ば２０μｍ程度の微小な値に設定されている。そして、
軸受間隙や、軸受面に形成されたらせん溝に液体金属潤
滑材が充填される。

【０００７】上記した構造の動圧式すべり軸受は、液体
金属潤滑材が軸受間隙の全体にくまなく行き渡らない
と、動圧式すべり軸受に十分な動圧が得られず、安定な
動作が維持されない。極端な場合には、軸受面どうしが
かじり合いを起こし、回転不能になったり、破損事故を
引き起こしたりする。

【０００８】液体金属潤滑材が軸受間隙の全体にくまな
く行き渡るためには、軸受面が液体金属潤滑材によって
完全に濡れていること、言い換えれば、原子レベルで接
触し合っていることが理想である。そのためには、原子
レベルでの接触を妨げる要因、たとえば、回転体や固定
体シャフトそれぞれの軸受面、あるいは、液体金属潤滑
材そのものに、汚れや酸化膜がないことが必要となる。

【０００９】回転体や固定体シャフトの軸受面の汚れは
脱脂洗浄などで比較的容易に除去できる。液体金属潤滑
材の汚れも、液体金属潤滑材を高純度化することで除去
できる。また、液体金属潤滑材表面の酸化膜は、液体金
属潤滑材の流動で容易に破壊される。そのため、軸受面
と液体金属潤滑材との濡れをよくするためには、軸受面
の酸化膜の除去が重要となる。

【００１０】軸受面の酸化膜を除去する方法としては、
水素還元処理が知られている。しかし、この方法は、水
素還元処理した軸受を大気中に取り出すと、時間の経過
とともに軸受面の酸化が進み、液体金属潤滑材との濡れ
性が悪くなる。そのため、水素還元処理した後に、軸受
面を大気にさらさずに水素雰囲気中で液体金属潤滑材と
接触させる方法がある（特公昭６０−２１４６３号公報
参照）。この方法は、液体金属潤滑材を軸受面全体に接
触させることが困難で、実用的ではない。

【００１１】この発明は、上記した欠点を解決し、液体
金属潤滑材との濡れ性のよい動圧式すべり軸受を有する
回転陽極型Ｘ線管の製造方法および製造装置を提供する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の回転陽極型Ｘ線
管の製造装置は、超音波振動を発生する超音波振動子
と、この超音波振動子が発生する前記超音波振動を伝達
し、その先端に、回転陽極型Ｘ線管を構成する固定体シ
ャフトが嵌合するリング状部分が形成され、かつ、前記
固定体シャフトとの隙間に液体金属潤滑材が配置される
ホーン部分とを具備している。

【００１３】また、本発明の回転陽極型Ｘ線管の製造方
法は、動圧式すべり軸受の軸受面が設けられる回転陽極
型Ｘ線管用の第１構成部品を形成する第１工程と、前記
第１構成部品の軸受面に液体金属潤滑材を接触させる第
２工程と、前記第１構成部品と接触している前記液体金
属潤滑材に対して超音波振動子が発生した超音波振動を
加える第３工程と、この第３工程の後、前記第１構成部
品と回転陽極型Ｘ線管用の第２構成部品とを組み合わ
せ、回転陽極型Ｘ線管を組み立てる第４工程とからなっ
ている。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、陽極
ターゲットが設けられた円盤状回転陽極、および、この
円盤状回転陽極を回転させる回転機構部分を抜き出した
図１の概略の構造図を参照して説明する。

【００１５】符号１１は円盤状回転陽極で、円盤状回転
陽極１１上に陽極ターゲッ１２が環状に形成されてい
る。円盤状回転陽極１１は軸１３を介して回転体１４に
連結されている。回転体１４はたとえば有底円筒構造
で、回転体１４内側の空間に固定体シャフト１５が嵌め
込まれている。固定体シャフト１５は、径の大きい円柱
状径大部１６と、径の小さい円柱状径小部１７とで構成
され、径大部１６が回転体１４内側の空間に嵌め込まれ
ている。そして、径小部１７が図の下方に伸びている。
この場合、径大部１６の側面１６ａと回転体１４の内側
面１４ａとの間に、２０μｍ程度の微小な軸受間隙が設
けられている。また、固定体シャフト１５の径大部１６
の上端面１６ｂと回転体１４の底面１４ｂとの間にも、
２０μｍ程度の微小な軸受間隙が設けられている。

【００１６】回転体１４の開口部分はスラストリング１
８で封止されている。スラストリング１８は、径小部１
９と径大部２０とで構成され、径小部１９と径大部２０
の境に段部１８ａが設けられている。スラストリング１
８の中央には、固定体シャフト１５の径小部１７が通る
透孔が設けられている。なお、固定体シャフト１５の径
大部１６の下端面１６ｃとスラストリング１８の径小部
１９の上面１９ａとの間に、２０μｍ程度の微小な軸受
間隙が設けられている。

【００１７】上記した構造において、軸受間隙を挟んで
対向する固定体シャフト１６の側面１６ａおよび回転体
１４の内側面１４ａの一方あるいは双方の一部にらせん
溝（図示せず）が形成されている。そして、この両者間
の軸受間隙やらせん溝に液体金属潤滑材Ｌが充填され、
ラジアル方向の動圧式すべり軸受が形成されている。ま
た、軸受間隙を挟んで対向する固定体シャフト１５の径
大部１６の上端面１６ｂおよび回転体１４の底面１４ｂ
の一方あるいは双方の一部にもらせん溝（図示せず）が
形成されている。そして、この両者間の軸受間隙やらせ
ん溝にも液体金属潤滑材Ｌが充填され、スラスト方向の
動圧滑り軸受が形成されている。さらに、軸受間隙を挟
んで対向する固定体シャフト１５の径大部１６の下端面
１６ｃおよびスラストリング１８の径小部１９の上面１
９ａの一方あるいは双方の一部にもらせん溝（図示せ
ず）が形成されている。そして、この両者間の軸受間隙
やらせん溝にも液体金属潤滑材Ｌが充填され、スラスト
方向の動圧式すべり軸受が形成されている。

【００１８】ここで、上記した回転機構部分を構成する
スラストリング１８の製造方法について図２を参照して
説明する。図２では、図１に対応する部分には同一の符
号を付し、重複する説明を一部省略する。

【００１９】まず、段部１８ａを境にして、径小部１９
と径大部２０をもち、固定体シャフト１５が通過する透
孔２１が中央に設けられたスラストリング１８を形成す
る。そして、固定体シャフト１５との間に形成される軸
受面、すなわち、スラストリング１８の径小部１９の上
面１９ａに所定量の液体金属潤滑材Ｌを配置する。次
に、超音波振動子２２が発生する超音波振動を伝達する
ホーン部分２３の先端面２３ａを液体金属潤滑材Ｌに接
触させ、ホーン部分２３の先端面２３ａと径小部１９の
上面１９ａとの間に液体金属潤滑材Ｌをはさむ。次に、
超音波振動子２２を動作状態とし、超音波振動子２２が
発生する超音波振動を液体金属潤滑材Ｌに加える。

【００２０】このとき、液体金属潤滑材Ｌの中にキャビ
テーションが発生し、それが消滅する時の衝撃波によ
り、軸受面となる径小部上面１９ａの酸化皮膜が壊さ
れ、清浄な金属面が露出する。また、この場合、清浄な
金属面と液体金属潤滑材との間に良好な濡れ接触が実現
する。この段階では、スラストリング１８の軸受面に液
体金属潤滑材Ｌが薄く残っており、このままの状態で他
の部品、たとえば、回転体などとの組み立てが行われ、
回転陽極型Ｘ線管が製造される。

【００２１】上記の方法の場合、液体金属潤滑材Ｌに超
音波振動が加えられると、液体金属潤滑材Ｌは径小部１
９の上面１９ａに沿って薄く伸びていく。そして、液体
金属潤滑材Ｌの量が少なくなり、液体金属潤滑材Ｌが伸
びなくなった際に、液体金属潤滑材Ｌをその場所に補充
し、超音波振動を加える。このような作業を繰り返し、
ホーン部分２３の先端面２３ａを径小部１９の上面１９
ａ全体に順に移動して酸化皮膜を破壊し、液体金属潤滑
材との良好な濡れ接触を実現する。この方法によれば、
酸化皮膜が壊されていない領域には液体金属潤滑材が付
着していない。このため、超音波振動を加えた領域と、
超音波振動を加えない領域とを区別でき、酸化皮膜が壊
されていない領域を取り残すようなことがなくなる。

【００２２】次に、図１の回転機構部分を構成する固定
体シャフト１５の製造方法について図３を参照して説明
する。図３では、図１に対応する部分には同一の符号を
付し、重複する説明を一部省略する。

【００２３】符号３１は液体金属潤滑材Ｌを溜めた貯蔵
槽で、貯蔵槽３１の側壁部分３１ａには、４個の振動子
３２がたとえば９０°の等間隔で張りつけられている。
また、貯蔵槽３１の底部３１ｂにも、１個の超音波振動
子３２が張りつけられている。そして、貯蔵槽３１内の
液体金属潤滑材Ｌの中に、別途製造された固定体シャフ
ト１５を浸す。このとき、軸受面が形成される固定体シ
ャフト１５の径大部１６の側面全体が液体金属潤滑材Ｌ
の中に沈むようにする。次に、貯蔵槽３１に張りつけた
各超音波振動子３２を動作状態とし、液体金属潤滑材Ｌ
に超音波振動を加える。

【００２４】このとき、貯蔵槽３１内の液体金属潤滑材
Ｌの中にキャビテーションが発生し、軸受面を形成する
固定体シャフト１５の側面１６ａの酸化皮膜が壊され、
清浄な金属面が露出する。同時に、清浄になった金属面
と液体金属潤滑材との良好な濡れ接触が実現する。

【００２５】この方法の場合、貯蔵槽３１の底面３１ｂ
を含む複数個所に、互いに相違する向きに超音波振動子
３２を配置し、同時に動作させている。このため、固定
体シャフト１５の側面１６ａに形成されるラジアル軸受
面、および、端面１６ｂに形成されるスラスト軸受面の
両方の酸化皮膜を同時に処理できる。なお、この処理
は、酸化皮膜を除去した後の軸受面の酸化を防止するた
めに、真空中で実施することが望ましい。

【００２６】また、酸化皮膜が壊され、金属面が液体金
属潤滑材との良好な濡れ接触が実現した固定体シャフト
１５は、回転体に嵌め込まれるなどして、回転陽極型Ｘ
線管に組み立てられる。

【００２７】次に、図１の回転機構部分を構成する固定
体シャフト１５のもう１つの製造方法について図４を参
照して説明する。図４（ａ）は、固定体シャフト１５を
その軸方向からみた平面図で、図４（ｂ）は、固定体シ
ャフト１５をその横方向からみた側面図で、図３に対応
する部分には同一の符号を付し、重複する説明を一部省
略する。なお、符号Ｍ１、Ｍ２は、固定体シャフト１５
の軸を通る中心線を示している。

【００２８】符号４１は超音波振動を発生する超音波振
動子で、超音波振動子４１には超音波振動を伝達するホ
ーン部分４２が設けられてる。そして、ホーン部分４２
の先端にリング状部分４３が形成されている。また、リ
ング状部分４３の内側には、たとえば段部４４が設けら
れ、段部４４の上向きの面などを利用して液体金属潤滑
材Ｌの溜めが形成されている。

【００２９】そして、別途製造された固定体シャフト１
５の径大部１６がリング状先端４３の内側に嵌め込まれ
る。固定体シャフト１５は、その円柱状径小部１７が支
持装置（図示せず）に支持され、また、ラジアル軸受面
が形成される径大部１６の側面１６ａのたとえば一部が
液体金属潤滑材Ｌと接触するようにする。

【００３０】上記の配置で超音波振動子４１を動作状態
とし超音波振動を発生させる。発生した超音波振動はリ
ング状部分４３に伝達され、液体金属潤滑材Ｌ中にキャ
ビテーションが発生する。これによって、ラジアル軸受
面の酸化皮膜が壊されて清浄な軸受け金属面が露出し、
同時に、清浄金属面と液体金属潤滑材との完全な濡れ接
触が実現する。

【００３１】その後、固定体シャフト１５をリング状部
分４３に対して、たとえば図の上方へ軸Ｍ２方向に移動
し、径大部１６のラジアル軸受け面全体を処理する。こ
の方法の場合も、酸化皮膜を除去した後の軸受面の酸化
を防止するために、真空中で実施することが望ましい。

【００３２】酸化皮膜が壊され、金属面が液体金属潤滑
材との良好な濡れ接触が実現した固定体シャフト１５
は、その後、回転体に嵌め込まれるなどして、回転陽極
型Ｘ線管に組み立てられる。

【００３３】次に、図１の回転機構部分を構成する回転
体１４の製造方法について図５を参照して説明する。図
５では、図１および図４に対応する部分には同一の符号
を付し、重複する説明を一部省略する。

【００３４】符号４１は超音波振動子で、超音波振動子
４１には超音波振動を伝達するホーン部分４２が設けら
れてる。また、ホーン部分４２先端の外周部分に凹凸の
窪み５０が設けられ、液体金属潤滑材Ｌの溜めが形成さ
れている。

【００３５】そして、円盤状回転陽極１１と回転体１４
とを軸１３で連結した回転部分の構造を別途構成し、わ
ずかの隙間を保って回転体１４内にホーン部分４２の先
端を嵌合配置する。このとき、回転部分は、円盤状回転
陽極１１が下に位置するように支持具５１で支持されて
いる。また、ホーン部分４２と円盤状回転陽極１１との
隙間、たとえばホーン部分４２先端の窪み５０、およ
び、有底円筒状回転体１４の底面１４ｂに、それぞれ液
体金属潤滑材Ｌが配置される。

【００３６】上記の構成において、超音波振動子４１を
動作状態とし超音波振動を発生させる。発生した超音波
振動はホーン部分４２の先端に伝達し、液体金属潤滑材
Ｌ中にキャビテーションを発生させる。これにより、回
転体１４のラジアル軸受面の酸化皮膜が壊されて清浄な
軸受け金属面が露出し、同時に、清浄金属面と液体金属
潤滑材との完全な濡れ接触が実現する。

【００３７】その後、回転体部分をホーン部分４２に対
し、たとえば図の上方へと軸Ｍ方向に移動させ、ラジア
ル軸受面全体を処理する。

【００３８】この場合、有底円筒状回転体１４の底面１
４ｂに、液体金属潤滑材Ｌが、予め、少量滴らされてい
る。したがって、有底円筒状回転体１４の底面１４ｂが
ホーン部分４２の先端がに近づくと、液体金属潤滑材Ｌ
中にキャビテーションが発生し、有底円筒状回転体１４
のスラスト軸受け面の酸化皮膜が壊され、清浄な軸受け
金属面が露出する。同時に、清浄金属面と液体金属潤滑
材との完全な濡れ接触が実現する。このようにして、有
底円筒状回転体１４のラジアル軸受面とスラスト軸受け
面の両方を同時に処理できる。この方法の場合も、酸化
皮膜を除去した後の軸受面の酸化を防止するために、真
空中で実施することが望ましい。

【００３９】また、酸化皮膜が壊され、金属面が液体金
属潤滑材との良好な濡れ接触が実現した回転体１４は、
その後、固定体シャフト１５が嵌め込まれるなどして、
回転陽極型Ｘ線管に組み立てられる。

【００４０】次に、図１の回転機構部分を構成する回転
体１４と固定体シャフト１５の両方の軸受面を同時に処
理する製造方法について図６を参照して説明する。図６
は、軸受面の酸化皮膜を除去する際に利用される真空槽
装置の概略の構造を示している。符号６１が真空槽で、
真空槽６１には、真空槽６１内を真空にするロータリポ
ンプ６２が開閉弁Ｖ１を介して連結されている。真空槽
６１と開閉弁Ｖ１との間から分岐する分岐路には、真空
槽６１内の真空を解除するリーク弁Ｖ２が設けられてい
る。また、真空槽６１内の真空度を測定する圧力計が６
３が設けられている。

【００４１】ここで、上記した真空槽６１を用いて、回
転体１４および固定体シャフト１５それぞれの軸受面の
酸化皮膜を除去する方法について図７を参照して説明す
る。図７では、図１に対応する部分には同一の符号を付
し、重複する説明を一部省略する。

【００４２】真空槽６１は筒状の有底容器部分６１ａや
容器６１ａの開口部分を封止する蓋部分６１ｂなどから
構成されている。そして、円盤状回転陽極１１と回転体
１４とを軸１３で連結した回転部分の構造を別途構成す
る。また、別途構成された固定体シャフト１５が、回転
体１４の空間部分に軸受間隙を保って嵌め込まれ、軸受
間隙に液体金属潤滑材Ｌが注入される。次に、固定体シ
ャフト１５が嵌め込まれ、かつ、軸受間隙に液体金属潤
滑材Ｌが注入された回転体１４などを真空槽６１内に移
し、円盤状回転陽極１１が下に位置するようにして、円
盤状回転陽極１１の部分を支持具６２で支持する。支持
具６２は、たとえばその上端が容器の蓋部分６１ｂに固
定されている。次に、固定体シャフト１５の端部を支持
装置６３で支持する。次に、超音波振動子６５のホーン
部分６６を支持装置６３の端部６３ａに接触させる。な
お、ホーン部分６６は支持部６７で蓋部分６１ｂに支持
される。次に、超音波振動子６５を動作状態にする。こ
のとき、超音波振動がホーン部分６６を経て固定体シャ
フト１５に伝わり、液体金属潤滑材Ｌの中にキャビテー
ションが発生し、軸受け面の酸化皮膜が壊され、清浄な
軸受け金属面が露出する。同時に、清浄金属面と液体金
属潤滑材Ｌとの良好な濡れ接触が実現される。

【００４３】この場合、超音波振動を加える方向は固定
体シャフト１５の軸Ｍ方向になっている。しかし、固定
体シャフト１５の径大部１６の側面１６ａにスパイラル
溝などの窪みが設けられている。このため、固定体シャ
フト１５や回転体１４のラジアル軸受け面の隙間に位置
する液体金属潤滑材Ｌにもキャビテーションが発生す
る。その結果、ラジアル軸受け面とスラスト軸受け面の
両方に、同時に、清浄な軸受け金属面が露出し、清浄金
属面と液体金属潤滑材との完全な濡れ接触が実現する。

【００４４】この方法の場合、ラジアル軸受け面および
スラスト軸受け面の処理を、液体金属を軸受けに真空充
填する工程を兼ねて実施できる。

【００４５】なお、上記した構成の回転機構部分は、そ
の後、陰極などとともに真空容器内に配置され、回転陽
極型Ｘ線管に組み立てられる。

【００４６】上記した構成によれば、液体金属潤滑材と
良好な濡れ接触をもつ動圧式すべり軸受が構成される。
したがって、長期に亙って安定な軸受け動作を維持する
回転陽極型Ｘ線管の製造装置および製造方法を実現でき
る。また、製造工程が簡略化し、工程時間が短縮する回
転陽極型Ｘ線管の製造方法および製造装置を実現でき
る。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、液体金属潤滑材と良好
な濡れ接触をもつ動圧式すべり軸受をもつ陽極型Ｘ線管
の製造方法および製造装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を説明するための概略の断面
図である。

【図２】本発明をスラストリングに適用した場合の例を
説明するための概略の断面図である。

【図３】本発明を固定体シャフトに適用した場合の例を
説明するための概略の断面図である。

【図４】本発明を固定体シャフトに適用した場合の他の
例を説明するための概略の断面図である。

【図５】本発明を回転体に適用した場合の例を説明する
ための概略の断面図である。

【図６】本発明に使用される真空槽を説明するための概
略の構成図である。

【図７】本発明を固定体シャフトおよび回転体に同時に
適用した場合の例を説明するための概略の断面図であ
る。

【符号の説明】１１…円盤状回転陽極１２…陽極ターゲット１３…軸１４…回転体１５…固定体シャフト１６…固定体シャフトの径大部１７…固定体シャフトの径小部１８…スラストリング１９…スラストリングの径小部２０…スラストリングの径大部２１…スラストリングの透孔２２…超音波振動子２３…超音波振動子のホーン部分Ｌ…液体金属潤滑材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波振動を発生する超音波振動子と、
この超音波振動子が発生する前記超音波振動を伝達し、
その先端に、回転陽極型Ｘ線管を構成する固定体シャフ
トが嵌合するリング状部分が形成され、かつ、前記固定
体シャフトとの隙間に液体金属潤滑材が配置されるホー
ン部分とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造装置。
【請求項２】リング状部分の内側の面に段部が環状に
形成された請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管の製造装
置。
【請求項３】超音波振動を発生する超音波振動子と、
この超音波振動子が発生した前記超音波振動を伝達し、
かつ、回転陽極型Ｘ線管を構成する筒状回転体の内部に
嵌合される先端部分の外周面に凹凸が形成され、前記凹
凸と前記筒状回転体の内面との隙間に液体金属潤滑材が
配置されるホーン部分とを具備した回転陽極型Ｘ線管の
製造装置。
【請求項４】動圧式すべり軸受の軸受面が設けられる
回転陽極型Ｘ線管用の第１構成部品を形成する第１工程
と、前記第１構成部品の軸受面に液体金属潤滑材を接触
させる第２工程と、前記第１構成部品と接触している前
記液体金属潤滑材に対して超音波振動子が発生した超音
波振動を加える第３工程と、この第３工程の後、前記第
１構成部品と回転陽極型Ｘ線管用の第２構成部品とを組
み合わせ、回転陽極型Ｘ線管を組み立てる第４工程とか
らなる回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項５】Ｘ線を発生するタ一ゲットが設けられた
円盤状回転陽極と動圧式すべり軸受の軸受面が設けられ
る回転体とを連結する第１工程と、軸受間隙を保って前
記回転体に固定体シャフトを嵌合する第２工程と、前記
回転体と前記固定体シャフトとの軸受間隙に液体金属潤
滑材を充填する第３工程と、軸受間隙に充填された前記
液体金属潤滑材に対して超音波振動子が発生した超音波
振動を加える第４工程とからなる回転陽極型Ｘ線管の製
造方法。
【請求項６】液体金属潤滑材に対して超音波振動を与
える工程が真空中で実施される請求項４または請求項５
記載の回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項７】超音波振動子が複数設けられている請求
項４または請求項５記載の回転陽極型Ｘ線管の製造方
法。