JP2001012465A - 直動案内ユニット - Google Patents

直動案内ユニット

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JP2001012465A
JP2001012465A JP11177708A JP17770899A JP2001012465A JP 2001012465 A JP2001012465 A JP 2001012465A JP 11177708 A JP11177708 A JP 11177708A JP 17770899 A JP17770899 A JP 17770899A JP 2001012465 A JP2001012465 A JP 2001012465A
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slider
track rail
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guide unit
linear motion
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寛 植木
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勝章 中野
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Nippon Thompson Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/063Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body, e.g. a carriage or part thereof, provided between the legs of a U-shaped guide rail or track

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、軌道レールとスライダとをそれぞ
れベッド又はテーブルに基準面で位置決めされた状態で
取り付けることにより、テーブルのベッドに対する位置
ずれや姿勢の変化を防止した直動案内ユニットを提供す
る。 【解決手段】 直動案内ユニット1の軌道レール11
は、軌道レール取付け基準側面27と軌道レール取付け
基準底面28を、それぞれベッド2の軌道レール取付け
側面4と軌道レール取付け上面5に対して、突き合わせ
て位置決めされた状態で取付けボルト6により取り付け
られる。スライダ12も、スライダヘッド部50におい
て、スライダ取付け基準側面51とスライダ取付け基準
頂面53をテーブル3のスライダ取付け側面57とスラ
イダ取付け下面58に対して、突き合わせて位置決めさ
れた状態で取付けボルト56により取り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、工作機
械、各種組立装置、又は試験装置等の直線摺動部に適用
される軌道レールに対して長手方向に沿って移動するス
ライダを備えた直動案内ユニットの取付け構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、メカトロ技術の発展が目覚まし
く、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動案内ユニットがある。直動案内ユニットは、現在で
は、工作機械、半導体製造装置、搬送装置、検査装置、
測定器、加工機、組立機、産業用ロボット等の各技術分
野の装置に組み込まれて多用されているが,技術の発展
と共にその用途は拡大しており、高精度、高速摺動化、
組立容易性、汎用化等の要求が益々高まっている。
【0003】図8には、従来の直動転がり案内ユニット
の一例が一部破断して示されている。直動転がり案内ユ
ニット60は、一般に、ベッドとテーブルのような相互
に相対移動する部材間に適用されている。直動転がり案
内ユニット60は、軌道レール61と、軌道レール61
上を摺動可能なスライダ62とを備えている。軌道レー
ル61の外側に面した一対の長手方向側壁面63に軌道
溝64が形成されている。軌道レール61の上面65に
は、軌道レール61をベッド68に取り付けるための取
付け孔66が開口している。
【0004】スライダ62は、軌道レール61の上面6
5を跨ぐケーシング70、ケーシング70の長手方向両
端面に当接して取り付けられたエンドキャップ71、及
び軌道レール61とエンドキャップ71との間の隙間を
シールするためエンドキャップ71の端面に配置された
エンドシール72から構成されている。エンドキャップ
71とエンドシール72とは、取付けねじ73によって
ケーシング70に取り付けられている。ケーシング70
とエンドキャップ71との下面には、下面シール(図示
せず)が配置されている。また、ケーシング70には、
軌道レール61の軌道溝64に対向する位置に軌道溝7
4と、ケーシング70をテーブル78に取り付けるため
に、頂面75に開口するねじ穴76が形成されている。
【0005】スライダ62を軌道レール61に対して摺
動可能に案内するため、軌道レール61に形成されてい
る軌道溝64とケーシング70に形成されている軌道溝
74との間に形成される負荷軌道路81にボール等の転
動体80を介して転走可能に配設されている。転動体8
0は、保持バンド84によってケーシング70に保持さ
れており、スライダ62を軌道レール61から分離した
状態であっても、ケーシング70に保持される。転動体
80は、負荷軌道路81、転動体80を循環させるため
のケーシング70に形成された無負荷軌道路としてのリ
ターン孔82、及び負荷軌道路81とリターン孔82と
に連通するエンドキャップ71に形成された無負荷軌道
路としての方向転換路(図示せず)から成る無限循環路
を無限循環して転走するように直動転がり案内ユニット
60に組み込まれている。また、無限循環路に潤滑剤を
供給するためのグリースニップル85が、エンドシール
72の外面から突出した状態でエンドキャップ71に取
り付けられている。
【0006】図9は、図8に示す直動転がり案内ユニッ
トのベッド及びテーブルへの取付け状態を一部を破断し
て示す正面図である。図9に示すように、直動転がり案
内ユニット60の軌道レール61は、軌道レール61の
取付け孔66に挿通した取付けボルト69をベッド68
にねじ込むによってベッド68に取り付けられる。軌道
レール61は、底面86と長手方向側壁面63の下側面
87とを、それぞれベッド68の対応する上面90と側
面91に当接させた位置決め状態でベッド68に取り付
けられている。また、スライダ62は、テーブル78に
挿通させた取付けボルト79をケーシング70のねじ穴
76にねじ込むことにより、テーブル78に取り付けら
れる。スライダ62は、頂面75と一方の側面77と
を、それぞれテーブル78の底面92と側面93とに当
接させた状態でテーブル78に取り付けられている。こ
のとき、スライダ62の側面77は、ケーシング70の
上部が横方向に張り出した張出し部70aに形成されて
おり、側面77が横方向の取付け基準面となっている。
【0007】上記の直動転がり案内ユニットとは別に、
両端固定のトラックレール、前記トラックレールに跨架
される上段スライドユニット、及び前記トラックレール
に垂架される下段スライドユニットから成り、両スライ
ドユニットをそれぞれトラックレールに沿って直動自在
にした直動転がり案内ユニットが提案されている(特開
平4−347009号公報)。
【0008】また、ボールねじに螺合した角型ナット
と、角型ナットが軸方向に移動自在に遊嵌する凹溝が形
成されたガイドレールとを備え、ボールねじを駆動する
ことにより、角型ナットの両側面に形成されたボール転
動溝とガイドレールに形成されたボール転動溝とにボー
ルを転動させて、角型ナットをガイドレールに対して軸
方向に移動可能とした、ボールねじとリニアガイド装置
とを一体的に組み合わせて構成されるボールねじ一体型
リニアガイド装置が提案されている(実開昭63−19
3637号公報)。角型ナットは、ガイドレール上面か
ら上の高さがかなり高いものである。
【0009】更に、断面コ字状のガイドレールにテーブ
ルを転動体を介してガイドレールの内側面によって挟み
込むようにして移動自在に支持し、転動体を互いに対向
するテーブル側面とガイドレール内側面に上下2条づつ
設けられた転動体転走面に転動自在に介在させ、テーブ
ルにその両側面に設けられた上下2条の転動体転走面の
スパンの略中心を結ぶ線状に位置するように送りねじ軸
が螺合されるねじ孔を設けたテーブル移送装置におい
て、前記ガイドレールを一体成形とし、前記各転動体の
転動体転走面との接触方向を、各転動体のテーブル側と
ガイドレール側のそれぞれの転動体転走面との接点を結
ぶ仮想線が、送りねじ軸の中心に向かってその間隔が狭
まるような外開き接触又は間隔が拡がるような内開き接
触としたテーブル移送装置が提案されている(特開平2
−298446号公報)。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、特にボ
ールねじによって駆動されるナット体から成るスライダ
がスライドレールに形成された凹溝内を移動する直動案
内ユニットにおいては、テーブルは、スライダの平坦な
外面に対してボルト穴に取付けボルトを螺合させること
によって取り付けられているだけであり、スライダへの
取付け位置については、取付け基準となるものが特段、
配慮がなされていないのが通常である。
【0011】そこで、スライダが軌道レールの凹溝内で
長手方向に案内される直動案内ユニットにおいては、直
動案内ユニットをコンパクトに構成し、テーブルとベッ
ドをそれぞれスライダと軌道レールに対して取付け位置
及び姿勢を予め決められた状態で取り付けることによ
り、長期に渡って使用されても、スライダと軌道レール
とがそれぞれテーブルとベッドに対して予め定められた
位置と姿勢が確保される直動案内ユニットが望まれてい
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は、上記
の課題を解決することであり、ベッドやテーブルに対し
て軌道レールとスライダを取付け基準面で予め定められ
た位置と姿勢で規制した状態で取り付けることにより、
テーブルがスライダと共に軌道レールに沿って移動して
も、ベッドとテーブルとを精度良い姿勢に保ち、半導体
製造装置、検査装置、測定器、加工機、組立機等におい
て、ワークの加工や搬送を行う際に、ワークの位置及び
姿勢を好ましい状態に維持することを可能にする直動案
内ユニットを提供することである。
【0013】この発明は、互いに連結された一対の側部
を有し且つベッドに取り付けられる軌道レール、及び前
記ベッドと相対移動するテーブルに取り付けられ前記軌
道レールの前記両側部間に形成された案内路内を前記軌
道レールの長手方向に沿って摺動可能であるスライダか
ら成り、前記スライダは前記軌道レールの前記各側部の
内側で且つ前記側部の上面を超えて突出するスライダヘ
ッド部を備えており、前記軌道レールには前記ベッドに
形成された軌道レール取付け面に対して位置決めされる
第1取付け基準面が形成されており、前記スライダヘッ
ド部には前記テーブルに形成されたスライダ取付け面に
対して位置決めされる第2取付け基準面が形成されてい
ることから成る直動案内ユニットに関する。
【0014】この直動案内ユニットによれば、スライダ
は軌道レールの各側部の上面を超えて突出するスライダ
ヘッド部を備えており、軌道レールをベッドに取り付け
るに際して、軌道レールに形成された前記第1取付け基
準面がベッドに形成された前記軌道レール取付け面に対
して位置決めされた状態で取り付けられ、また、スライ
ダをテーブルに取り付けるに際して、スライダヘッド部
に形成された前記第2取付け基準面がテーブルに形成さ
れたスライダ取付け面に対して位置決めされた状態で取
り付けられるので、スライダが軌道レールに対して摺動
しても、テーブルとベッドとは、摺動方向の位置以外に
ついては、長期に渡って所定の相対位置及び姿勢に維持
することが可能である。
【0015】前記第1取付け基準面は、前記軌道レール
の少なくともどちらか一方の側面と底面とにおいてそれ
ぞれ前記軌道レールの長手方向と平行に延びるように形
成された軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け
基準底面とから構成されている。即ち、軌道レールは、
軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面
との二つの基準面でベッドの軌道レール取付け面に対し
て位置決めされ、その位置決めされた状態でベッドに取
り付けられる。前記ベッドに形成された前記軌道レール
取付け面は、軌道レール取付け側面と軌道レール取付け
上面とから成り、前記軌道レールは、前記軌道レール取
付け基準側面が前記軌道レール取付け側面に当接され且
つ前記軌道レール取付け基準上面が前記軌道レール取付
け底面に当接された状態で前記ヘッドに対して位置決め
される。
【0016】前記軌道レールは前記各側部の下部を互い
に連結する底部を備えており、前記スライダが摺動可能
な前記案内路は、前記各側部と前記底部とによって形成
される前記軌道レールの断面U字状凹部内に形成されて
いる。即ち、軌道レールには、各側部と底部とによって
断面U字状の凹部が形成され、スライダは軌道レールの
断面U字状凹部内を摺動自在に走行する。また、前記軌
道レールの前記底部には、前記軌道レールを前記ベッド
へ取り付けるための取付ボルトが挿通される取付け孔が
形成されている。軌道レールは、底部に形成された取付
け孔に挿通した取付ボルトをベッドに螺合させることに
より、ベッドに位置決めされた状態で固定される。
【0017】この直動案内ユニットにおいて、前記第2
取付け基準面は、前記スライダヘッド部の少なくともど
ちらか一方の側面と頂面とにおいてそれぞれ前記スライ
ダの摺動方向と平行に延びるように形成されたスライダ
取付け基準側面とスライダ取付け基準頂面とから構成さ
れている。即ち、スライダは、スライダ取付け基準側面
とスライダ取付け基準底面との二つの基準面でテーブル
のスライダ取付け面に対して位置決めされた状態でテー
ブルに取り付けられる。前記テーブルに形成された前記
スライダ取付け面は、スライダ取付け側面とスライダ取
付け下面とから成り、前記スライダは、前記スライダ取
付け基準側面が前記スライダ取付け側面に当接され且つ
前記スライダ取付け基準頂面が前記スライダ取付け下面
に当接された状態で前記テーブルに対して位置決めされ
る。前記スライダヘッド部には、前記スライダを前記テ
ーブルに取り付けるため、前記スライダ取付け基準頂面
に開口し且つ前記テーブルに挿通された取付けボルトが
螺合されるねじ穴が形成されている。
【0018】前記軌道レール取付け基準側面と前記スラ
イダ取付け基準側面とは、互いに平行であり且つ反対側
になっている。軌道レール取付け基準側面と前記スライ
ダ取付け基準側面とに作用する力は互いに直動案内ユニ
ット1において相殺され、直動案内ユニット1を傾転さ
せるモーメントが抑制される。
【0019】この直動案内ユニットにおいて、前記スラ
イダヘッド部が前記軌道レールの前記側部の上面を超え
て突出する突出量は、5〜10mmの範囲内である。前
記スライダ取付け基準側面は、この突出量の範囲内に設
けられており、前記テーブル取付け側面に対して実質的
に全面に渡って付き当てられる平面である。スライダヘ
ッド部の突出量が少ないので、直動案内ユニットがコン
パクトに構成される。また、スライダ取付け基準側面が
5〜10mmの範囲内にある幅を有していれば、スライ
ダの大きさにかかわらず、スライダをテーブルに対して
確実に位置決めして取り付けることが可能である。前記
スライダは、前記軌道レールの前記各側部において長手
方向に沿って互いに向かい合った両内側壁面に形成され
た第1軌道溝と前記スライダに前記第1軌道溝に対向し
た位置に形成された第2軌道溝とで形成される軌道路を
転走する転動体を介在して、前記軌道レールに対して摺
動自在である。また、前記スライダは、前記軌道溝が形
成されたケーシング、前記ケーシングの両端面に配設さ
れたエンドキャップ、及び前記エンドキャップの端面に
配設されたエンドシールから構成されている。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
による直動案内ユニットの実施例を説明する。図1はこ
の発明による直動案内ユニットの一例を示す斜視図、図
2は図1に示す直動案内ユニットの矢視Aの方向で見た
断面図、図3は図1に示す直動転がり案内ユニットの平
面図、図4は図1に示す直動転がり案内ユニットの側面
図、図5は図1〜図4に示すこの発明による直動案内ユ
ニット1が相対的に移動するベッド2とテーブル3との
間に適用された状態を一部破断して示す正面図である。
この発明の実施例を説明するに際して、上面、下面、頂
面及び底面等の上下に関する概念は、直動案内ユニット
を通常の姿勢で置いた場合における上下であり、横置き
や逆さ置きの場合を含む実際の使用状態を何ら制限する
ものではない。
【0021】図1〜図4に示す直動案内ユニット1は、
相対的に移動するベッド2とテーブル3(図5を参照)
との間の案内ユニットであり、基本的に、長尺な軌道レ
ール11と、軌道レール11の長手方向に沿って摺動可
能に嵌挿されたスライダ12とから構成される。軌道レ
ール11及びスライダ12は、それぞれ取付けボルト等
の固着手段によってベッド2又はテーブル3に取り付け
られ、スライダ12が軌道レール11に対して移動する
ことにより、テーブル3はベッド2に対して移動するこ
とができる。図1〜図4では、軌道レール11に対して
1つのスライダ12のみを示しているが、二つ以上のス
ライダ12を軌道レール11に配設してもよい。
【0022】軌道レール11は、一対の側部13と各側
部13の下部を連結する底部14とから成り、両側部1
3と底部14との内側に断面U字状の凹部15が形成さ
れている。軌道レール11の両側部13間、即ち、凹部
15内において、スライダ12が走行可能な案内路が形
成されている。スライダ12は、軌道レール11との間
において後述する直動転がり案内機構を介して摺動自在
である。軌道レール11には、直動転がり案内機構の転
動体を転走可能とするため、各側部13の内側に長手方
向に沿って互いに向かい合った内側壁面16において、
互いに対向した一対の第1軌道溝17が形成されてい
る。
【0023】軌道レール11は、その断面はU字形であ
り、例えば、棒状の軌道レールと比較して、高い断面二
次モーメントを有しているので、スライダ12との間で
作用する曲げや捩じりに対する剛性を大幅に高めること
が可能である。その結果、軌道レール11を全底面で支
持させる使用形態以外にも、軌道レール11の一端だけ
を支持した片持ち支持や軌道レール11の両端を支持し
た両端支持の態様で使用することが可能である。更に、
軌道レール11は、直動案内ユニットが適用される機械
や装置の構造材料として使用することも可能である。軌
道レール11の高さは、極力低くされており、直動案内
ユニットがコンパクトに形成される。また、図示しない
が、軌道レール11には直動案内ユニット1の駆動機構
等の周辺機器を直接追加して取り付けることも可能であ
る。
【0024】スライダ12は、軌道レール11の凹部1
5内に大部分が収容されたケーシング20、ケーシング
20の両端面に配設されたエンドキャップ21、及び軌
道レール11とエンドキャップ21との隙間をシールす
るため各エンドキャップ21の端面に配設されたエンド
シール22から構成されている。エンドキャップ21と
エンドシール22とは、取付けねじ25によってケーシ
ング20に取り付けられる。ケーシング20には、取付
けねじ25が螺着される複数のねじ穴26が形成されて
いる。軌道レール11の各内側壁面16にそれぞれ対向
したケーシング20の側面23には、各第1軌道溝17
に対向した第2軌道溝24が形成されている。軌道レー
ル11に形成されている第1軌道溝17とその第1軌道
溝17に対向して第2軌道溝24とは、転動体としての
複数のボール30が転動する負荷軌道路31を形成して
いる。ボール30が負荷軌道路31を転走することによ
り、スライダ12は軌道レール11に対してスムーズに
摺動可能である。
【0025】スライダ12のケーシング20は、略直方
体の形状を有しており、軌道レール11の内幅の範囲内
に納まっている。ケーシング20の高さは、軌道レール
11と同様、極力低くされている。即ち、ケーシング2
0は、軌道レール11の側部13の上面18より上方に
突出するスライダヘッド部50を備えているが、その突
出量Dは、略5mm、高くても10mm以内にある。し
たがって、スライダ12は、軌道レール11の上面18
よりも突出する突出量Dが極力小さくなるように構成さ
れている。スライダ12は、軌道レール11と共に直動
案内ユニット1をコンパクトに構成しており、スライダ
12を軌道レール11に対して駆動するボールねじや駆
動モータ等の駆動機構等、周辺機器の設計自由度が拡が
り、直動案内ユニット1が適用される機械、装置の小形
・軽量を図ることが可能である。
【0026】転動体30は無限循環して転走するように
直動案内ユニット1に組み込まれており、無限循環路
は、対向する軌道溝17,24から成る負荷軌道路3
1、ボール30を帰還させるためのケーシング20に形
成された無負荷軌道路としてのリターン孔32、及び負
荷軌道路31とリターン孔32とに連通するエンドキャ
ップ21に形成された無負荷軌道路としての方向転換路
33(図6参照)から構成される。負荷軌道路31を含
む無限循環路とボール30とにより、スライダ12を軌
道レール11に対して摺動案内する直動転がり案内機構
が構成されている。スライダ12の各側に配設されてい
る列状に転走するボール30は比較的大径のボールであ
り、軌道レール11の各第1軌道溝17に対して、微視
的に見れば上下2つの接触域で接触している。したがっ
て、スライダ12は軌道レール11に対して合計4つの
線状領域で接触することになり、方向や大きさが変動す
る負荷荷重や複合荷重が作用する用途で使用しても、直
動案内ユニット1に安定した高い精度と剛性を得ること
ができる。
【0027】スライダ12には、無限循環路に潤滑剤を
供給するためのグリースニップル35が、一方のエンド
シール22の外面から突出した状態でエンドキャップ2
1に取り付けられており、外部からの潤滑油が各無限循
環路内に供給される。他方のエンドキャップ21には、
潤滑油が漏れるのを封じる止め栓36が取り付けられて
いる。負荷軌道路31の上面において、ケーシング20
と軌道レール11との隙間は上面シール(図示せず)に
よってシールされており、上方からの塵埃や異物等が負
荷軌道路31に侵入するのを防止している。
【0028】エンドキャップ21の詳細が図6に示され
ている。図6は、エンドキャップ21のケーシング20
側に面する背面図である。エンドキャップ21は、ケー
シング20の長手方向両端面に取り付けられており、ボ
ール30を負荷軌道路31とリターン孔32との間で方
向転換させるため、ケーシング20に面する側に一対の
方向転換路33が形成されている。方向転換路33は、
ボール30が伝動しながら方向転換できる形状に溝状に
形成されている。エンドキャップ21には、グリースニ
ップル35が接続される接続孔40、接続孔40に繋が
り且つ各方向転換路33に潤滑油を供給する供給溝41
が形成されている。また、ケーシング20に螺入される
取付けねじ25が挿通するための複数のねじ挿通孔42
が所定の位置に形成されている。
【0029】エンドシール22の詳細が図7に示されて
いる。図7は、エンドシール22の正面図である。エン
ドシール22の本体45には、グリースニップル35が
挿通される挿通孔46、ケーシング20に螺入される取
付けねじ25が挿通するためのねじ挿通孔47が、所定
の位置に形成されている。挿通孔46及びねじ挿通孔4
7は、それぞれ、エンドキャップ21の接続孔40又は
ねじ挿通孔42に整合した位置に設けられている。エン
ドシール22は、負荷軌道路31の長手方向両端部を覆
うように且つ輪郭が第1軌道溝17に整合するように本
体45から突出して形成されたリップ部48を備えてい
る。
【0030】次に、直動案内ユニット1のベッド2及び
テーブル3への取付けに関して、図5を参照して説明す
る。軌道レール11の一方の側部13には軌道レール1
1の長手方向に沿って延びる軌道レール取付け基準側面
27が形成されており、軌道レール取付け基準側面27
に対応して、ベッド2には軌道レール取付け側面4が形
成されている。軌道レール取付け基準側面27と軌道レ
ール取付け側面4とは、軌道レール11の長手方向と平
行に延び且つ互いに当接する平面に形成されている。軌
道レール11は、軌道レール取付け基準側面27が軌道
レール取付け側面4に対して突き当てられることによ
り、横方向に位置と姿勢が決められた状態となる。
【0031】軌道レール11の各側部13の下部を互い
に連結する底部14の底面は、軌道レール11のベッド
2への取付け基準となる軌道レール取付け基準底面28
となっており、軌道レール取付け基準側面27と軌道レ
ール取付け基準底面28とは、互いに直交する平面に形
成されている。軌道レール取付け基準底面28に対応し
て、ベッド2には軌道レール取付け上面5が形成されて
おり、軌道レール取付け側面4と軌道レール取付け上面
5とは、互いに直交する段状の面に形成されている。軌
道レール取付け側面4と軌道レール取付け上面5との交
差部には加工用の逃げ溝8が形成されている。軌道レー
ル11は、軌道レール取付け基準底面28が軌道レール
取付け上面5に突き当てられることにより、縦方向に位
置と姿勢が決められた状態となる。軌道レール11の底
部14には、軌道レール11の長手方向に適当な間隔で
2列に並ぶ取付孔19が形成されている。軌道レール1
1は、軌道レール取付け基準側面27及び軌道レール取
付け基準底面28をそれぞれベッド2の軌道レール取付
け側面4と軌道レール取付け上面5とに突き合わせて縦
及び横方向に位置と姿勢が決められた状態で、取付孔1
9を挿通する取付けボルト6をベッド2に形成されてい
るねじ穴7に螺合させることにより、ベッド2に固定さ
れる。
【0032】直動案内ユニット1において、スライダ1
2のケーシング20は、軌道レール11の両側部13の
上面18よりも上方に長さDだけ突出したスライダヘッ
ド部50を有している。スライダヘッド部50の横方向
に面する一方の側面は、仕上げ面を精度良くしたスライ
ダ取付け基準側面51となっている。スライダヘッド部
50の両方の側面をスライダ取付け基準側面51に形成
しておき、いずれか一方のスライダ取付け基準側面51
のみを利用してもよい。スライダ取付け基準側面51
は、スライダ12の摺動方向に平行な平面である。スラ
イダヘッド部50の頂面52の一部はテーブル3に取り
付けられるスライダ取付け基準頂面53となっており、
スライダ取付け基準頂面53にはテーブル取付け用の4
個のねじ穴54が開口している。取付けボルト56が螺
入されるねじ穴54は、中心線B−Bに平行に穿孔され
ている。スライダ取付け基準側面51とスライダ取付け
基準頂面53とは、互いに直交する平面として形成され
ている。テーブル3にはねじ穴54に対応して4個で1
組の取付け孔55が形成されており、取付けボルト56
を、テーブル3の取付け孔55を通してスライダ12の
ねじ穴54に螺入することにより、スライダ12がテー
ブル3に取り付けられる。
【0033】テーブル3には、スライダ12の取付け時
において、スライダ12のスライダ取付け基準側面51
が当接するスライダ取付け側面57と、スライダ12の
スライダ取付け基準頂面53が当接するスライダ取付け
下面58とが、互いに直交する面として段状に形成され
ている。スライダ取付け側面57とスライダ取付け下面
58との交差部には、加工用の逃げ溝59が形成されて
いる。スライダ取付け基準側面51は、幅がD以内(5
mm〜10mm)の平面であり、実質的に全面に渡って
充分な剛性を以てスライダ取付け側面57に突き当てら
れ、スライダ12のテーブル3への取付けに際してスラ
イダ12を横方向に位置決めし且つ姿勢を規制してい
る。スライダ取付け基準側面51とスライダ取付け側面
57とによってスライダ12を横方向に規制し、且つス
ライダ12のスライダ取付け基準頂面53をスライダ取
付け下面58に当接させて縦方向に規制した状態で、取
付けボルト56により、スライダ12がテーブル3に取
り付けられる。スライダ12のスライダ取付け基準側面
51は、軌道レール11の軌道レール取付け基準側面2
7と平行な面に形成されているので、テーブル3を軌道
レール11の基準側面に沿って精度良く取り付けること
ができる。
【0034】軌道レール11の取付けのための軌道レー
ル取付け基準側面27とスライダ12の取付けのための
スライダ取付け基準側面51とは互いに反対側になって
いる。即ち、スライダ取付け側面57と軌道レール取付
け側面4とは、互いに対向している。両側面4,57に
面する方向の力は互いに直動案内ユニット1において相
殺され、直動案内ユニット1を傾転させるモーメントが
抑制される。特には、直動案内ユニット1を図5に示す
状態から90°回転してなる横置き状態で使用する場合
に、有効な取付けとなる。
【0035】
【発明の効果】この発明による直動案内ユニットの取付
け構造によれば、スライダは軌道レールの各側部の上面
を超えて突出するスライダヘッド部に形成された前記第
2取付け基準面がテーブルに形成されたスライダ取付け
面に対して位置決めされた状態で取り付けられ、また、
軌道レールをベッドに取り付けるに際しても、軌道レー
ルに形成された前記第1取付け基準面がベッドに形成さ
れた前記軌道レール取付け面に対して位置決めされた状
態で取り付けられるので、スライダが軌道レールに対し
て摺動しても、相対的な姿勢を所定の姿勢に維持するこ
とができる。その結果、この発明による直動案内ユニッ
トによれば、半導体製造装置、検査装置、測定器、加工
機、組立機等において、ワークの加工や搬送を行う際
に、ワークの位置及び姿勢を好ましい状態に維持するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による直動案内ユニットの一例を示す
斜視図である。
【図2】図1に示す直動案内ユニットの矢視Aの方向で
見た断面図である。
【図3】図1に示す直動案内ユニットの平面図である。
【図4】図1に示す直動案内ユニットの側面図である。
【図5】図1〜図4に示す直動案内ユニットをベッドと
テーブルとに取り付けて適用された状態を示す一部破断
して示す正面図である。
【図6】図1に示す直動案内ユニットに用いられるエン
ドキャップの背面図である。
【図7】図1に示す直動案内ユニットに用いられるエン
ドシールの正面図である。
【図8】従来の直動転がり案内ユニットを示す一部破断
して示す斜視図である。
【図9】図8に示す従来の直動転がり案内ユニットのベ
ッド及びテーブルへの取付け状態を一部破断して示す正
面図である。
【符号の説明】
1 直動案内ユニット 2 ベッド 3 テーブル 4 軌道レール取付け側面 5 軌道レール取付け上面 6 取付けボルト 11 軌道レール 12 スライダ 13 側部 15 凹部 16 内側壁面 17 第1軌道溝 18 側部の上面 19 取付け孔 20 ケーシング 21 エンドキャップ 22 エンドシール 24 第2軌道溝 27 軌道レール取付け基準側面 28 軌道レール取付け基準底面 30 ボール(転動体) 31 負荷軌道路 32 リターン孔 33 方向転換路 50 スライダヘッド部 51 スライダ取付け基準側面 53 スライダ取付け基準頂面 54 ねじ穴 56 取付けボルト 57 スライダ取付け側面 58 スライダ取付け下面
【手続補正書】
【提出日】平成12年3月17日(2000.3.1
7)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】前記第1取付け基準面は、前記軌道レール
の少なくともどちらか一方の側面と底面とにおいてそれ
ぞれ前記軌道レールの長手方向と平行に延びるように形
成された軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け
基準底面とから構成されている。即ち、軌道レールは、
軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面
との二つの基準面でベッドの軌道レール取付け面に対し
て位置決めされ、その位置決めされた状態でベッドに取
り付けられる。前記ベッドに形成された前記軌道レール
取付け面は、軌道レール取付け側面と軌道レール取付け
上面とから成り、前記軌道レールは、前記軌道レール取
付け基準側面が前記軌道レール取付け側面に当接され且
つ前記軌道レール取付け基準上面が前記軌道レール取付
け底面に当接された状態で前記ッドに対して位置決め
される。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】この直動案内ユニットにおいて、前記スラ
イダヘッド部が前記軌道レールの前記側部の上面を超え
て突出する突出量は、5〜10mmの範囲内である。前
記スライダ取付け基準側面は、この突出量の範囲内に設
けられており、前記テーブル取付け側面に対して実質的
に全面に渡って付き当てられる平面である。スライダヘ
ッド部の突出量が少ないので、直動案内ユニットがコン
パクトに構成される。また、スライダ取付け基準側面が
5〜10mmの範囲内にある幅を有していれば、スライ
ダの大きさにかかわらず、スライダをテーブルに対して
確実に位置決めして取り付けることが可能である。前記
スライダは、前記軌道レールの前記各側部において長手
方向に沿って互いに向かい合った両内側壁面に形成され
た第1軌道溝と前記スライダに前記第1軌道溝に対向し
た位置に形成された第2軌道溝とで形成される軌道路を
転走する転動体を介在して、前記軌道レールに対して摺
動自在である。また、前記スライダは、前記第2軌道溝
が形成されたケーシング、前記ケーシングの両端面に配
設されたエンドキャップ、及び前記エンドキャップの端
面に配設されたエンドシールから構成されている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】エンドキャップ21の詳細が図6に示され
ている。図6は、エンドキャップ21のケーシング20
側に面する背面図である。エンドキャップ21は、ケー
シング20の長手方向両端面に取り付けられており、ボ
ール30を負荷軌道路31とリターン孔32との間で方
向転換させるため、ケーシング20に面する側に一対の
方向転換路33が形成されている。方向転換路33は、
ボール30が動しながら方向転換できる形状に溝状に
形成されている。エンドキャップ21には、グリースニ
ップル35が接続される接続孔40、接続孔40に繋が
り且つ各方向転換路33に潤滑油を供給する供給溝41
が形成されている。また、ケーシング20に螺入される
取付けねじ25が挿通するための複数のねじ挿通孔42
が所定の位置に形成されている。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに連結された一対の側部を有し且つ
    ベッドに取り付けられる軌道レール、及び前記ベッドと
    相対移動するテーブルに取り付けられ前記軌道レールの
    前記両側部間に形成された案内路内を前記軌道レールの
    長手方向に沿って摺動可能であるスライダから成り、前
    記スライダは前記軌道レールの前記各側部の内側で且つ
    前記側部の上面を超えて突出するスライダヘッド部を備
    えており、前記軌道レールには前記ベッドに形成された
    軌道レール取付け面に対して位置決めされる第1取付け
    基準面が形成されており、前記スライダヘッド部には前
    記テーブルに形成されたスライダ取付け面に対して位置
    決めされる第2取付け基準面が形成されていることから
    成る直動案内ユニット。
  2. 【請求項2】 前記第1取付け基準面は、前記軌道レー
    ルの少なくともどちらか一方の側面と底面とにおいてそ
    れぞれ前記軌道レールの長手方向と平行に延びるように
    形成された軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付
    け基準底面とから構成されていることから成る請求項1
    に記載の直動案内ユニット。
  3. 【請求項3】 前記ベッドに形成された前記軌道レール
    取付け面は、軌道レール取付け側面と軌道レール取付け
    上面とから成り、前記軌道レールは、前記軌道レール取
    付け基準側面が前記軌道レール取付け側面に当接され且
    つ前記軌道レール取付け基準底面が前記軌道レール取付
    け上面に当接された状態で前記ヘッドに対して位置決め
    されることから成る請求項2に記載の直動案内ユニッ
    ト。
  4. 【請求項4】 前記軌道レールは前記各側部の下部を互
    いに連結する底部を備えており、前記スライダが摺動可
    能な前記案内路は、前記各側部と前記底部とによって形
    成される前記軌道レールの断面U字状凹部内に形成され
    ていることから成る請求項1〜3のいずれか1項に記載
    の直動案内ユニット。
  5. 【請求項5】 前記軌道レールの前記底部には、前記軌
    道レールを前記ベッドへ取り付けるための取付ボルトが
    挿通される取付け孔が形成されていることから成る請求
    項4に記載の直動案内ユニット。
  6. 【請求項6】 前記第2取付け基準面は、前記スライダ
    ヘッド部の少なくともどちらか一方の側面と頂面とにお
    いてそれぞれ前記スライダの摺動方向と平行に延びるよ
    うに形成されたスライダ取付け基準側面とスライダ取付
    け基準頂面とから構成されていることから成る請求項1
    〜5のいずれか1項に記載の直動案内ユニット。
  7. 【請求項7】 前記テーブルに形成された前記スライダ
    取付け面は、スライダ取付け側面とスライダ取付け下面
    とから成り、前記スライダは、前記スライダ取付け基準
    側面が前記スライダ取付け側面に当接され且つ前記スラ
    イダ取付け基準頂面が前記スライダ取付け下面に当接さ
    れた状態で前記テーブルに対して位置決めされることか
    ら成る請求項6に記載の直動案内ユニット。
  8. 【請求項8】 前記スライダヘッド部には、前記スライ
    ダを前記テーブルに取り付けるため、前記スライダ取付
    け基準頂面に開口し且つ前記テーブルに挿通された取付
    けボルトが螺合されるねじ穴が形成されていることから
    成る請求項6〜又は7に記載の直動案内ユニット。
  9. 【請求項9】 前記軌道レール取付け基準側面と前記ス
    ライダ取付け基準側面とは、互いに平行であり且つ反対
    側になっていることから成る請求項6〜8のいずれか1
    項に記載の直動案内ユニット。
  10. 【請求項10】 前記スライダヘッド部が前記軌道レー
    ルの前記側部の上面を超えて突出する突出量は、5〜1
    0mmの範囲内であることから成る請求項1〜9のいず
    れか1項に記載の直動案内ユニット。
  11. 【請求項11】 前記スライダは、前記軌道レールの前
    記各側部において長手方向に沿って互いに向かい合った
    両内側壁面に形成された第1軌道溝と前記スライダに前
    記第1軌道溝に対向した位置に形成された第2軌道溝と
    で形成される軌道路を転走する転動体を介在して、前記
    軌道レールに対して摺動自在であることから成る請求項
    1〜10のいずれか1項に記載の直動案内ユニット。
  12. 【請求項12】 前記スライダは、前記軌道溝が形成さ
    れたケーシング、前記ケーシングの両端面に配設された
    エンドキャップ、及び前記エンドキャップの端面に配設
    されたエンドシールから構成されていることから成る請
    求項1〜11のいずれか1項に記載の直動案内ユニッ
    ト。
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