JP2001006400A - メモリデバイス - Google Patents

メモリデバイス

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JP2001006400A
JP2001006400A JP11173250A JP17325099A JP2001006400A JP 2001006400 A JP2001006400 A JP 2001006400A JP 11173250 A JP11173250 A JP 11173250A JP 17325099 A JP17325099 A JP 17325099A JP 2001006400 A JP2001006400 A JP 2001006400A
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clock
data
delay
time
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JP11173250A
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Hiroyoshi Tomita
浩由 富田
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】セットアップ時間及びホールド時間を正確に測
定できる試験回路を有するメモリデバイスを提供する。 【解決手段】基準クロックを第1の設定信号に対応して
第1の遅延時間だけ遅延させ、第1のクロックを生成す
る第1の遅延回路と、基準クロックを第2の設定信号に
対応して第2の遅延時間だけ遅延させ、第2のクロック
を生成する第2の遅延回路と、前記第2のクロックに基
づいて生成したダミーデータを、前記第1のクロックに
基づいて生成したダミークロックのタイミングで取り込
むダミー入力ラッチとを有し、前記第1又は第2の設定
信号により前記第1又は第2の遅延時間を可変設定し、
前記ダミークロックのタイミング又は前記ダミーデータ
の生成タイミングを変えながら、前記ダミーデータを前
記ダミー入力ラッチに取り込み、前記ダミーデータと前
記ダミー入力ラッチの取り込んだデータを比較する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セットアップ時間
及びホールド時間を正確に測定できる試験回路を有する
メモリデバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】メモリデバイスにおいては、クロックに
より入力データを取り込む場合にはセットアップ時間及
びホールド時間の仕様が定められ、又、データを出力す
る場合には出力データの確定期間についての仕様が定め
られており、製造したメモリデバイスがこの仕様を満た
すか否かが試験される。
【0003】ここでセットアップ時間とは、取り込みタ
イミングの前に入力データが確定していなければならな
い時間であり、ホールド時間とは、取り込みタイミング
の後にその入力データを維持していなければならない時
間である。
【0004】図14は、本出願人による特開平11−7
2540公報に記載されたセットアップ時間及びホール
ド時間の試験回路である。この試験回路は、メモリデバ
イスに内蔵されており、メモリデバイスで大量に使用さ
れる入力ラッチと同じ特性を有するダミー入力ラッチ3
06のセットアップ時間及びホールド時間を測定するこ
とができる。
【0005】この試験回路は、測定の基準となる内部ク
ロックCLK20を発生させる内部クロック発生回路3
12と、テスト信号Test21を入力し内蔵されるD
LL回路の可変ディレイを制御することにより、内部ク
ロックCLK20に任意の遅延を与えてクロックCLK
21を生成する出力クロックタイミング安定化回路31
0と、同様に、テスト信号Test22により内部クロ
ックCLK20に任意の遅延を与えてクロックCLK2
2を生成する入力クロックタイミング安定化回路311
とを有する。
【0006】また、この試験回路は、ダミーデータD−
DQを発生させるダミーデータ発生回路301と、ダミ
ーデータD−DQをクロックCLK21に同期してシフ
トさせるシフトレジスタ302と、シフトレジスタ30
2から出力されるダミーデータD−DQ21を分周する
分周器303と、ダミーデータD−DQをクロックCL
K21に同期させダミーデータD−DQ23を出力する
ダミー出力バッファ304と、ダミーデータD−DQ2
3が入力されダミーデータD−DQ24を出力するダミ
ー入力バッファ305と、ダミーデータD−DQ24を
クロックCLK22のタイミングでラッチするダミー入
力ラッチ306と、ダミー入力ラッチ306から出力さ
れるダミーデータD−DQ25を分周する分周器307
とを有する。
【0007】ここで、シフトレジスタ302は、ダミー
出力バッファ304、ダミー入力バッファ305及びダ
ミー入力ラッチ306による信号遅延を補償するために
挿入される。また、分周器303、307は同じ分周比
を有するので、ダミーデータD−DQ22、D−DQ2
6は、ほぼ同じタイミングで比較器308に入力され
る。比較器308は、ダミーデータD−DQ22、D−
DQ26を比較し、比較信号Nをデータ出力パッド30
9から出力する。
【0008】次に、セットアップ時間及びホールド時間
の測定方法について説明する。ダミーデータ発生回路3
01は、例えば(H、L、L)からなるダミーデータD
−DQを生成する。ダミーデータD−DQは、シフトレ
ジスタ302でクロックCLK21に同期した3クロッ
ク分の(H、L、L)からなるダミーデータD−DQ2
1に変換され、また所定の遅延を与えられる。ダミーデ
ータD−DQ21は、分周器303で例えば1/2に分
周され、周期が2倍になった(H、L、L)からなるダ
ミーデータD−DQ22に変換される。
【0009】一方、ダミーデータ発生回路301で生成
されたダミーデータD−DQは、ダミー出力バッファ3
04でクロックCLK21に同期した3クロック分の
(H、L、L)からなるダミーデータD−DQ23に変
換される。ダミーデータD−DQ23は、ダミー入力バ
ッファ305を介してダミーデータD−DQ24にな
り、クロックCLK22に同期したタイミングでダミー
入力ラッチ306によりラッチされ、ダミーデータD−
DQ25になる。ダミーデータD−DQ25は、分周器
307で1/2に分周されてダミーデータD−DQ26
に変換される。
【0010】図15は、セットアップ時間とホールド時
間の説明図であり、ダミー入力ラッチ306におけるク
ロックCLK22とダミーデータD−DQ24のタイミ
ングを示す。ダミー入力ラッチ306は、クロックCL
K22の立ち上がりのタイミングで、ダミーデータD−
DQ24のLレベルのデータをラッチするものとする。
【0011】ここで、図14に示したテスト信号Tes
t22又はTest21を変化させ、クロックCLK2
2又はダミーデータD−DQ24のタイミングを変化さ
せる。テスト信号Test22は、クロックCLK22
のタイミングを直接変化させるが、テスト信号Test
21は、クロックCLK21のタイミングを変化させ
て、間接的にダミーデータD−DQ24のタイミングを
変化させる。
【0012】この場合、セットアップ時間又はホールド
時間は、クロックCLK22とダミーデータD−DQ2
4の相対的なタイミングに依存するため、セットアップ
時間又はホールド時間を測定するために、テスト信号T
est21又はTest22の一方を変化させてもよい
し、両方を変化させてもよい。
【0013】例えば、クロックCLK22のタイミング
を変化させ、図15(1)に示すように、ダミーデータ
D−DQ24がLレベルになってから、セットアップ時
間Tsuより長い時間Tm1が経過した後に、クロック
CLK22が立ち上がった場合は、ダミー入力ラッチ3
06は、ダミーデータD−DQ24のLレベルのデータ
をラッチすることができる。しかし、クロックCLK2
2が立ち上がるタイミングを矢印321に示すように早
めてダミーデータD−DQ24がLレベルになってから
クロックCLK22が立ち上がるまでの時間Tm1を短
縮し、時間Tm1がセットアップ時間Tsuより短くな
った場合は、ダミー入力ラッチ306は、ダミーデータ
D−DQ4のLレベルのデータをラッチすることはでき
ない。
【0014】また、図15(2)に示すように、クロッ
クCLK22が立ち上がった後で、ホールド時間Tho
より長い時間Tm2が経過した後に、ダミーデータD−
DQ24がHレベルになった場合は、ダミー入力ラッチ
306は、ダミーデータD−DQ24のLレベルのデー
タをラッチすることができる。しかし、クロックCLK
22が立ち上がるタイミングを矢印322に示すように
遅らせてクロックCLK22が立ち上がってからダミー
データD−DQ24がHレベルになるまでの時間Tm2
を短縮し、時間T2がホールド時間Thoより短くなっ
た場合は、ダミー入力ラッチ306は、ダミーデータD
−DQ24のLレベルのデータをラッチすることはでき
ない。
【0015】従って、図14に示すように、ダミーデー
タD−DQのデータを保存しているダミーデータD−D
Q22と、ダミーデータD−DQから生成したダミーデ
ータD−DQ24を、ダミー入力ラッチ306によりラ
ッチしたダミーデータD−DQ26を、比較器307で
比較することにより、ダミー入力ラッチ306がダミー
データD−DQ24を正しくラッチしたか否かを測定す
ることができる。
【0016】即ち、図15(1)において、クロックC
LK22の立ち上がりのタイミングを矢印321のよう
に早めていく場合に、ダミーデータD−DQ24のLレ
ベルのデータをラッチできなくなる時間Tm1がセット
アップ時間Tsuである。また、図15(2)におい
て、クロックCLK22の立ち上がりのタイミングを矢
印322のように遅らせていく場合に、ダミーデータD
−DQ24のLレベルのデータをラッチできなくなる時
間Tm2がホールド時間Thoである。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
試験回路では、ダミー入力ラッチ306がダミーデータ
D−DQ24をラッチするタイミングの精度は、入力ク
ロックタイミング安定化回路311のクロックCLK2
2の精度、及び出力クロックタイミング安定化回路31
0のクロックCLK21の精度に依存していた。
【0018】クロックCLK22は、入力クロックタイ
ミング安定化回路311に設けられているディレイ・ロ
ックド・ループ回路(以下、DLL(Delay Locked Loo
p) 回路という。)により生成され、ダミーデータD−
DQ24は、出力クロックタイミング安定化回路310
に設けられている別のDLL回路により生成される。従
って、ダミー入力ラッチ306がダミーデータD−DQ
24のデータをラッチするタイミングは、双方のDLL
回路のフィードバックループ回路に特有のジッタにより
変動する。
【0019】図16は、DLL回路により発生するジッ
タの説明図である。クロックCLK22の位相は、図1
4に示したテスト信号Test22により、DLL回路
に内蔵される遅延素子の最小の遅延時間Trごとに変化
させることができる。このため、クロックCLK22の
位相を制御して時間Tm1を変化させ、セットアップ時
間Tsuを測定することができるが、クロックCLK2
2の位相は、DLL回路のジッタにより±Tjの範囲で
変動する。
【0020】図16では、クロックCLK22の位相が
ジッタにより変動する場合を示したが、ダミーデータD
−DQ24のタイミングもDLL回路のジッタにより変
動するので、セットアップ時間Tsu等の測定値の変動
は更に拡大する。従って、従来の測定回路では、ダミー
入力ラッチ306のセットアップ時間Tsu又はホール
ド時間Thoを測定した場合、信頼性の観点から、その
測定値にDLL回路のジッタTjを加算しなければなら
なかった。
【0021】例えば、セットアップ時間Tsuの測定結
果が0.4nsであり、DLL回路のジッタTjが0.
2nsの場合は、そのメモリデバイスのセットアップ時
間Tsuは0.6nsであるとしなければならず、セッ
トアップ時間Tsuの規格が0.5nsの場合は、実力
的には規格内に入るメモリデバイスを、規格外としなけ
ればならない場合が生じ、製造歩留りの低下を招いてい
た。
【0022】また、近年高速化の傾向が著しいDRAM
等のメモリデバイスは、クロックの立ち上がりと立ち下
がりの両方で入力データを取り込む、いわゆるダブルデ
ータレートで動作させる場合が多い。このため、入力デ
ータのセットアップ時間及びホールド時間は極めて短く
なり、DLL回路のジッタのレベルに近づいている。従
って、DLL回路のジッタは、入力ラッチのセットアッ
プ時間及びホールド時間に対して無視できなくなり、D
LL回路で生成されるクロックを使用して、正確なセッ
トアップ時間及びホールド時間を測定することは不可能
である。
【0023】そこで、本発明の目的は、セットアップ時
間及びホールド時間を正確に測定できる試験回路を有す
るメモリデバイスを提供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の一つの側面は、セットアップ時間及びホ
ールド時間を測定する試験回路に、DLL回路を使用せ
ず、遅延時間を可変設定できる遅延回路を使用すること
にある。従って、本発明によれば、DLL回路に付随す
るジッタがなく、正確にセットアップ時間及びホールド
時間を測定することができる。
【0025】上記の目的を達成するために、本発明の別
の側面は、基準クロックを第1の設定信号に対応して第
1の遅延時間だけ遅延させ、第1のクロックを生成する
第1の遅延回路と、前記基準クロックに基づいて生成し
たダミーデータを、前記第1のクロックに基づいて生成
したダミークロックのタイミングで取り込むダミー入力
ラッチとを有し、前記第1の設定信号により前記第1の
遅延時間を可変設定し、前記ダミークロックのタイミン
グを変えながら前記ダミーデータを前記ダミー入力ラッ
チに取り込み、前記ダミーデータと前記ダミー入力ラッ
チの取り込んだデータを比較して前記ダミー入力ラッチ
の取り込み動作を試験することを特徴とする。
【0026】本発明によれば、第1の設定信号によりダ
ミークロックのタイミングを設定できる。従って、第1
の設定信号を調整してダミークロックとダミーデータの
相対的なタイミング差を変化させ、ダミー入力ラッチの
セットアップ時間及びホールド時間を測定することがで
きる。しかも、本発明によれば、ダミークロックとダミ
ーデータの相対的なタイミング差は、第1の遅延回路に
より設定できるので、DLL回路に付随するジッタがな
く、正確にセットアップ時間及びホールド時間を測定す
ることができる。
【0027】上記の目的を達成するために、本発明の別
の側面は、基準クロックを第2の設定信号に対応して第
2の遅延時間だけ遅延させ、第2のクロックを生成する
第2の遅延回路と、前記第2のクロックに基づいて生成
したダミーデータを、前記基準クロックに基づいて生成
したダミークロックのタイミングで取り込むダミー入力
ラッチとを有し、前記第2の設定信号により前記第2の
遅延時間を可変設定し、前記ダミーデータの生成タイミ
ングを変えながら前記ダミーデータを前記ダミー入力ラ
ッチに取り込み、前記ダミーデータと前記ダミー入力ラ
ッチの取り込んだデータを比較して前記ダミー入力ラッ
チの取り込み動作を試験することを特徴とする。
【0028】本発明によれば、第2の設定信号によりダ
ミーデータのタイミングを設定できる。従って、第2の
設定信号を調整してダミークロックとダミーデータの相
対的なタイミング差を変化させ、ダミー入力ラッチのセ
ットアップ時間及びホールド時間を測定することができ
る。しかも、本発明によれば、ダミークロックとダミー
データの相対的なタイミング差は、第2の遅延回路によ
り設定できるので、DLL回路に付随するジッタがな
く、正確にセットアップ時間及びホールド時間を測定す
ることができる。
【0029】上記の目的を達成するために、本発明の別
の側面は、基準クロックを第1の設定信号に対応して第
1の遅延時間だけ遅延させ、第1のクロックを生成する
第1の遅延回路と、前記基準クロックを第2の設定信号
に対応して第2の遅延時間だけ遅延させ、第2のクロッ
クを生成する第2の遅延回路と、前記第2のクロックに
基づいて生成したダミーデータを、前記第1のクロック
に基づいて生成したダミークロックのタイミングで取り
込むダミー入力ラッチとを有し、前記第1又は第2の設
定信号により前記第1又は第2の遅延時間を可変設定
し、前記ダミークロックのタイミング又は前記ダミーデ
ータの生成タイミングを変えながら、前記ダミーデータ
を前記ダミー入力ラッチに取り込み、前記ダミーデータ
と前記ダミー入力ラッチの取り込んだデータを比較して
前記ダミー入力ラッチの取り込み動作を試験することを
特徴とする。
【0030】本発明によれば、第1の設定信号によりダ
ミークロックのタイミングを設定でき、第2の設定信号
によりダミーデータのタイミングを設定できる。従っ
て、第1、第2の設定信号を調整してダミークロックと
ダミーデータの相対的なタイミング差を変化させ、ダミ
ー入力ラッチのセットアップ時間及びホールド時間を測
定することができる。しかも、本発明によれば、ダミー
クロックとダミーデータの相対的なタイミング差は、第
1、第2の遅延回路により設定できるので、DLL回路
に付随するジッタがなく、正確にセットアップ時間及び
ホールド時間を測定することができる。
【0031】更に、上記の発明において、その好ましい
態様は、前記第1又は第2の遅延回路が、直列に接続さ
れた複数の遅延ユニットを有し、前記基準クロックを、
前記第1又は第2の設定信号に対応して有効化された前
記遅延ユニットの遅延時間だけ遅延させることを特徴と
する。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を説明する。しかしながら、かかる実施の形
態例が、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【0033】図1は、本発明の実施の形態のメモリデバ
イスの試験回路の構成図である。本実施の形態の試験回
路は、メモリデバイスに内蔵されており、メモリデバイ
スで大量に使用される入力ラッチと同じ特性を有するダ
ミー入力ラッチ21のセットアップ時間及びホールド時
間を正確に測定することができる。
【0034】本実施の形態の試験回路は、設定信号td
1又はtd2により遅延時間を設定できる遅延回路1
1、12、17、18等を有し、遅延回路11、12、
17、18には、基準クロックCLK及び/CLKが入
力される。ここで、遅延回路11等に基準クロックCL
K及び/CLKが供給されるのは、本メモリデバイスの
入力と出力とがダブルデータレートで動作する場合に対
応できるためである。
【0035】基準クロックCLK及び/CLKは、第1
の遅延回路11、12により設定信号td1に対応した
第1の遅延時間Td1を与えられて第1のクロックCL
K1になり、ダミー出力バッファ15に入力される。ダ
ミー出力バッファ15は、ダミーデータ発生回路14で
生成されたダミーデータD−DQ1をもとに、第1のク
ロックCLK1のタイミングに同期させてダミークロッ
クD−CLKを生成する。
【0036】ここでダミーデータD−DQ1は、クロッ
クに応答して反転するデータであり、ダミークロックD
−CLKは、クロックCLK1に同期してH→L→H→
L→・・と反転するクロックになる。ダミークロックD
−CLKは、ダミー入力バッファ16を介してダミーク
ロックD−CLK1になり、ダミー入力ラッチ21に供
給される。
【0037】また、基準クロックCLK及び/CLK
は、第2の遅延回路17、18により設定信号td2に
対応した第2の遅延時間Td2を与えられて第2のクロ
ックCLK2になり、ダミー出力バッファ19に入力さ
れる。ダミー出力バッファ19は、ダミーデータ発生回
路26で生成されたダミーデータD−DQ2を、第2の
クロックCLK2のタイミングに同期させダミーデータ
D−DQ3を出力する。
【0038】ダミーデータ発生回路26は、データ設定
信号DSにより生成するデータが設定され、ダミー入力
ラッチ21に試験的にラッチさせるダミーデータD−D
Q2を生成する。本実施の形態では、ダミーデータD−
DQ2がダミー入力ラッチ21で正しくラッチされる最
短の時間を測定することにより、セットアップ時間及び
ホールド時間を測定する。
【0039】ダミーデータD−DQ3は、ダミー入力バ
ッファ20を介してダミーデータD−DQ4になり、ダ
ミー入力ラッチ21に供給される。ダミー入力ラッチ2
1は、ダミーデータD−DQ4をダミークロックD−C
LK1のタイミングで取り込んでラッチし、ダミーデー
タD−DQ5、D−DQ5Bをタイミング回路22に出
力する。タイミング回路22は、ダミーデータD−DQ
5、D−DQ5Bを、第1のクロックCLK1のタイミ
ングに同期させ、比較器23に出力する。
【0040】この場合、ダミー入力ラッチ21は、2つ
のラッチ部を有し、ダミーデータD−DQ4をダミーク
ロックD−CLK1の立ち上がりと立ち下がりのタイミ
ングで別々に取り込んでラッチし、シングルデータレー
トのダミーデータD−DQ5、D−DQ5Bを出力す
る。
【0041】一方、ダミーデータ発生回路26で生成さ
れたダミーデータD−DQ2は、シフトレジスタ27に
入力される。シフトレジスタ27は、ダミー出力バッフ
ァ19、ダミー入力バッファ20及びダミー入力ラッチ
21で発生する遅延時間を生成するために設けられる。
このため、タイミング回路22に入力されるダミーデー
タD−DQ5、D−DQ5Bと、分周器29に入力され
るダミーデータD−DQ7は、ほぼ同じタイミングにな
る。なお、シフトレジスタ27には、第1のクロックC
LK1、/CLK1が入力される。
【0042】ダミーデータD−DQ7は、分周器29に
より、シングルデータレートの2つのダミーデータD−
DQ8に変換され、比較器23に入力される。分周器2
9とタイミング回路22にはともに第1のクロックCL
K1、/CLK1が入力されるので、ダミーデータD−
DQ8とダミーデータD−DQ6はほぼ同じタイミング
で比較器23に入力される。
【0043】ここで、ダミーデータD−DQ8は、ダミ
ーデータD−DQ2をシフトレジスタ27で遅延させ、
分周器29で分周したものであり、そのデータの状態は
変化しない。一方、ダミーデータD−DQ6は、ダミー
データD−DQ2をダミー出力バッファ19、ダミー入
力バッファ20で遅延させたダミーデータD−DQ4を
ダミー入力ラッチ21により取り込んでラッチしたもの
である。従って、ダミーデータD−DQ6は、ダミー入
力ラッチ21がダミーデータD−DQ4を正しく取り込
んでラッチしなかった場合は、ダミーデータD−DQ2
と異なるデータになる。
【0044】従って、ダミーデータD−DQ6とダミー
データD−DQ8は、ダミー入力ラッチ21が、ダミー
データD−DQ4を正しく取り込んでラッチしていれば
一致し、正しく取り込んでラッチしていなければ一致し
ない。このため、比較器23の比較結果N3により、ダ
ミー入力ラッチ21が、ダミーデータD−DQ4を正し
く取り込んでラッチしたか否かを検出することができ
る。
【0045】この場合、セットアップ時間及びホールド
時間の測定は以下のように行う。即ち、第1の遅延回路
11、12の第1の遅延時間Td1を第1の設定信号t
d1により設定し、第2の遅延回路17、18の第2の
遅延時間Td2を第2の設定信号td2により設定し
て、ダミー入力ラッチ21に入力されるダミークロック
D−CLK1とダミーデータD−DQ4の相対的なタイ
ミングの差を変化させる。この時、比較器23の比較結
果N3により、ダミー入力ラッチ21がダミーデータD
−DQ4を正しく取り込んでラッチするか否かを測定す
る。この場合、正しく取り込んでラッチできる場合にお
ける第1の遅延時間Td1と第2の遅延時間Td2の差
の最短時間が、ダミー入力ラッチ21のセットアップ時
間又はホールド時間となる。
【0046】また、セレクタ13は、第1のクロックC
LK1、/CLK1を直接外部から測定するために、第
1のクロックCLK1、/CLK1の一方を選択して信
号N2としてセレクタ24に出力する。また、セレクタ
30は、第2のクロックCLK2、/CLK2を直接外
部から測定するために、第2のクロックCLK2、/C
LK2の一方を選択して信号N4としてセレクタ24に
出力する。
【0047】また、第3の遅延回路は、遅延回路11、
12と同じ特性の遅延回路31、32、33がn段直列
に接続されており、それぞれの遅延回路31、32、3
3に第1の設定信号td1が入力される。従って、基準
クロックCLKは、n段の遅延回路31、32、33に
より遅延時間Td1×nだけ遅延され、クロックCLK
d1となる。
【0048】同様に、第4の遅延回路は、遅延回路1
7、18と同じ特性の遅延回路34、35、36がn段
直列に接続されており、それぞれの遅延回路34、3
5、36に第2の設定信号td2が入力される。従っ
て、基準クロックCLKは、n段の遅延回路34、3
5、36により遅延時間Td2×nだけ遅延され、クロ
ックCLKd2となる。また、セレクタ37は、クロッ
クCLKd1とクロックCLKd2の一方を選択して信
号N5とし、セレクタ24に出力する。
【0049】基準クロックからTd1×nの遅延時間を
有するクロックCLKd1とTd2×nの遅延時間を有
するクロックCLKd2を出力させるのは、第1、第2
の遅延時間の差(Td1−Td2、Td2−Td1)の
測定を容易にするためである。即ち、本実施の形態の試
験回路では、セットアップ時間又はホールド時間とし
て、第1の遅延時間Td1と第2の遅延時間Td2の差
の時間ΔTを測定する必要があるが、この時間ΔTは極
めて短く、直接測定するには高価格のテスタが必要であ
る。
【0050】そこで、本実施の形態では、低価格のテス
タでも測定可能な遅延時間Td1×nと遅延時間Td2
×nの差の時間ΔT×nを生成し、その測定値を1/n
することにより、時間ΔTを求める。これにより、低価
格のテスタでも高速メモリデバイスのセットアップ時間
及びホールド時間を正確に測定することができる。
【0051】セレクタ24は、上記の信号N2、N3、
N4、N5、及び通常動作で生成されるデータ信号DQ
(N1)を選択してDQパッド25から出力するが、信
号N3を論理合成した信号を出力することも可能であ
る。なお、セレクタ24から信号を出力する端子は、D
Qパッド25に限らず、他の信号出力が可能な端子、例
えばDQS端子、又は専用PAD端子等でもかまわな
い。
【0052】図2は、本実施の形態の試験回路におい
て、セットアップ時間を測定する場合のタイムチャート
である。試験回路に入力される基準クロックCLK、/
CLKは、第1の遅延回路11、12により第1の遅延
時間Td1だけ遅延されると共に、その立ち上がりに対
応して、第1のクロックCLK1、/CLK1が生成さ
れる。但し、基準クロック/CLKは、基準クロックC
LKの反転クロックであり、図2には示されない。第1
のクロックCLK1は、ダミー出力バッファ15及びダ
ミー入力バッファ16により時間Te1だけ遅延され、
ダミークロックD−CLK1になる。
【0053】一方、基準クロックCLK、/CLKは、
第2の遅延回路17、18により第2の遅延時間Td2
だけ遅延されると共に、その立ち上がりに対応して、第
2のクロックCLK2、/CLK2が生成される。ダミ
ー出力バッファ19は、ダミーデータD−DQ2を第2
のクロックCLK2/CLK2に同期して、ダミー入力
ラッチ21に入力するダミーデータD−DQ4を生成す
る。なお、第2のクロックCLK2とダミーデータD−
DQ4の時間差Te2は上記の時間Te1とほぼ等し
い。これは、ダミー出力バッファ15、19とダミー入
力バッファ16、20の遅延特性がほぼ等しいからであ
る。
【0054】ダミーデータD−DQ2は、ダミー入力ラ
ッチ21の動作を検出できるように、例えば(H、L、
L)とする。従って、ダミーデータD−DQ4は、第2
のクロックCLK2及びその反転クロック/CLK2に
応答してダミー出力バッファ19により生成され、ダミ
ー入力バッファ20を介して出力され、H→L→Lのパ
ターンのデータになる。
【0055】ダミーデータD−DQ4は、ダミー入力ラ
ッチ21に入力され、ダミークロックD−CLK1の立
ち上がりと立ち下がりのタイミングで取り込まれラッチ
される。この場合、ダミーデータD−DQ4が確定して
から、ダミークロックD−CLK1の立ち上がり又は立
ち下がりまでの時間Tm1=Td1−Td2を、第1の
遅延時間Td1又は第2の遅延時間Td2を可変して測
定する。なお、ダミー入力ラッチ21でダミーデータD
−DQ4が正しく取り込まれラッチできる最短の時間T
m1がセットアップ時間Tsuである。
【0056】ダミー入力ラッチ21から出力されるダミ
ーデータD−DQ5、D−DQ5Bは、タイミング回路
22で、第1のクロック/CLK1のタイミングに合わ
され、ダミーデータD−DQ6−O、D−DQ6−Eに
なる。
【0057】ダミーデータD−DQ6−O、D−DQ6
−Eは、比較器23において、ダミーデータD−DQ2
のデータの状態を保存しているダミーデータD−DQ8
−O、D−DQ8−Eと比較され、各データの排他的論
理和(EOR)である比較結果N3−O、N3−Eが出
力される。
【0058】従って、ダミー入力ラッチ21がダミーデ
ータD−DQ4を正しく取り込んでラッチしていれば、
ダミーデータD−DQ6−O、D−DQ6−Eとダミー
データD−DQ8−O、D−DQ8−Eは一致し、比較
結果N3−O、N3−EはLレベルになる。一方、ダミ
ー入力ラッチ21がダミーデータD−DQ4を正しく取
り込んでラッチしていなければ、ダミーデータD−DQ
6−O、D−DQ6−EとダミーデータD−DQ8−
O、D−DQ8−Eは一致せず、比較結果N3−O、N
3−EはHレベルになる。
【0059】これにより、ダミー入力ラッチ21がダミ
ーデータD−DQ4を正しく取り込んでラッチする最短
の時間Tm1を測定することができ、セットアップ時間
Tsuを測定することができる。
【0060】なお、ダミーデータD−DQ4はダブルデ
ータレートであるため、ダミー入力ラッチ21は、ダミ
ークロックD−CLK1の立ち下がりでもダミーデータ
D−DQ4を取り込みラッチする必要がある。このた
め、本実施の形態のダミー入力ラッチ21は、後述する
通り2つのラッチ部を備え、内部でダミークロックD−
CLK1の反転クロックを生成し、ダミークロックD−
CLK1の立ち下がりでもダミーデータD−DQ4を取
り込みラッチできるようにしている。
【0061】図3は、本実施の形態の試験回路におい
て、ホールド時間を測定する場合のタイムチャートであ
る。図2の場合と同様に、ダミーデータD−DQ4は、
ダミー入力ラッチ21に入力され、ダミークロックD−
CLK1の立ち上がりと立ち下がりのタイミングで取り
込まれラッチされる。この場合、ダミークロックD−C
LK1の立ち上がり又は立ち下がりからダミーデータD
−DQ4が変化するまでの時間Tm2=Td2−Td1
を、第1の遅延時間Td1又は第2の遅延時間Td2を
可変して測定する。なお、ダミー入力ラッチ21でダミ
ーデータD−DQ4が正しく取り込まれラッチできる最
短の時間Tm2がホールド時間Thoである。
【0062】図4は、本発明の実施の形態の遅延回路の
構成図である。本実施の形態の遅延回路は、インバータ
41〜50、71〜78と、p型トランジスタとn型ト
ランジスタとから構成されるトランスファゲート51〜
58と、コンデンサ61〜68と、NAND回路81〜
88と、インバータとコンデンサとNAND回路とで構
成されるエッジ検出回路89とを有する。なお、第1の
遅延回路11、12と第2の遅延回路17、18は、同
じ構成にすることが可能であるので、以下第1、第2の
遅延回路の区別をしないで説明する。
【0063】本実施の形態の遅延回路17、18等は、
tdostz端子に入力されるテスト信号Test1が
Hレベルの場合に、設定信号td1又はtd2が入力さ
れる1端子、例えばtd01z端子がHレベルになる
と、NAND回路81の出力がLレベルになり、トラン
スファゲート51が導通する。このため、インバータ4
2の出力にコンデンサ61が接続され、基準クロックC
LKは、インバータ42の出力抵抗とコンデンサ61に
より決まる単位遅延時間だけ遅延する。
【0064】この場合、本実施の形態では、例えば、イ
ンバータ42、71、トランスファゲート51、コンデ
ンサ61、NAND回路81が単位遅延時間を生成する
1つの遅延ユニットを構成する。そして、遅延ユニット
が複数個直列に接続されて遅延回路が構成され、td0
1z端子等に入力される設定信号td1により、有効化
される遅延ユニットが選択される。従って、遅延回路1
1、17等の遅延時間は、有効化された遅延ユニットの
合計の遅延時間となる。そして、遅延された基準クロッ
クCLKは、エッジ検出回路89で立ち上がりエッジが
検出され、立ち上がりエッジから所定時間Hレベルにな
る第1のクロック信号CLK1になって出力される。
【0065】従って、設定信号td1又はtd2によ
り、基準クロックCLKを単位遅延時間ごとに遅延させ
て、メモリデバイスのセットアップ時間Tsu又はホー
ルド時間Thoを測定することができる。しかも、本実
施の形態では、遅延時間の設定にDLL回路を使用しな
いので、DLL回路のジッタが測定結果に含まれず、正
確にセットアップ時間Tsu又はホールド時間Thoを
測定することができる。
【0066】図5は、本発明の他の実施の形態の遅延回
路の構成図である。本実施の形態の遅延回路11、17
等は、インバータ91〜93、114〜121と、p型
トランジスタとn型トランジスタとから構成されるトラ
ンスファゲート94〜101と、コンデンサ104〜1
11と、NAND回路131〜138と、インバータと
コンデンサとNAND回路とで構成されるエッジ検出回
路139とを有する。
【0067】本実施の形態の遅延回路11、17等は、
tdostz端子に入力されるテスト信号Test1が
Hレベルの場合に、設定信号td1又はtd2の1端
子、例えばtd01z端子がHレベルになると、NAN
D回路131の出力がLレベルになり、トランスファゲ
ート94が導通する。このため、インバータ91の出力
にコンデンサ104が接続され、基準クロックCLK
は、インバータ91の出力抵抗とコンデンサ104によ
り決まる単位遅延時間だけ遅延する。
【0068】本実施の形態の遅延回路11、17等は、
インバータ91、92等の間に微小なコンデンサ104
〜107を接続して単位遅延時間を短くし、全体の遅延
時間をより細かく設定することができる。この場合、本
実施の形態では、例えば、インバータ114、トランス
ファゲート94、コンデンサ104、NAND回路13
1が単位遅延時間を生成する1つの遅延ユニットを構成
する。
【0069】本実施の形態の遅延回路は、単位遅延時間
を短くすることができ、また、遅延時間の設定にDLL
回路を使用しないので、DLL回路のジッタが測定結果
に含まれず、正確にセットアップ時間Tsu又はホール
ド時間Thoを測定することができる。
【0070】図6は、本発明の他の実施の形態の遅延回
路の構成図である。本実施の形態の遅延回路11、17
等は、インバータ150〜153、158〜160と、
抵抗140〜143と、p型トランジスタとn型トラン
ジスタとから構成されるトランスファゲート144〜1
47と、コンデンサ148、149と、NAND回路1
54〜157と、インバータとコンデンサとNAND回
路とで構成されるエッジ検出回路177とを有する。
【0071】本実施の形態の遅延回路11、17等は、
tdostz端子に入力されるテスト信号Test1が
Hレベルの場合に、設定信号td1又はtd2の1端
子、例えばtd01z端子がHレベルになると、NAN
D回路154の出力がLレベルになり、トランスファゲ
ート144が非導通となる。このため、インバータ15
8、159の間に抵抗140が挿入され、基準クロック
CLKは、抵抗140とコンデンサ148でより決まる
遅延時間だけ遅延する。なお、インバータ159とイン
バータ160の抵抗142、143は、td03z端
子、td04z端子に入力される設定信号td1又はt
d2により挿入、非挿入が選択される。なお、本実施の
形態では、抵抗140、トランスファゲート144、イ
ンバータ150、NAND回路154が1つの遅延ユニ
ットを構成する。
【0072】従って、本実施の形態の遅延回路11、1
7等は、インバータ158、159等の間に微小な抵抗
140等を接続して制御できる遅延時間を短くし、全体
の遅延時間を細かく設定することができる。また、遅延
時間の設定にDLL回路を使用しないので、DLL回路
のジッタが測定結果に含まれず、正確にセットアップ時
間Tsu又はホールド時間Thoを測定することができ
る。
【0073】図7は、本発明の実施の形態のダミー出力
バッファの構成図である。本実施の形態のダミー出力バ
ッファ19は、インバータ161〜165、176と、
p型トランジスタとn型トランジスタとから構成される
トランスファゲート168、169と、ラッチ回路16
6、167と、p型トランジスタ170と、n型トラン
ジスタ171と、NOR回路175とを有する。
【0074】第2のクロックCLK2、/CLK2は、
NOR回路175及びインバータ176で合成されてト
ランスファゲート168、169に供給される。このた
め、ダミーデータD−DQ2は、第2のクロックCLK
2、/CLK2の立ち上がりでラッチ回路166、16
7によりラッチされる。従って、ダミーデータD−DQ
3は、第2のクロックCLK2、/CLK2に同期した
タイミングで出力される。なお、ダミー出力バッファ1
5もダミー出力バッファ19と同様の構成を有する。
【0075】図8は、本発明の実施の形態のダミー入力
バッファの構成図である。本実施の形態のダミー入力バ
ッファ20は、インバータ181〜185と、p型トラ
ンジスタ186〜189と、n型トランジスタ190〜
192とを有する。
【0076】イネーブル信号en1がLレベルの場合は
n型トランジスタ192が非導通となり、ダミー入力バ
ッファ20は非活性状態である。イネーブル信号en1
がHレベルになるとn型トランジスタ192が導通し、
ダミー入力バッファ20は活性状態となる。この場合
に、n型トランジスタ190のゲートに入力されるダミ
ーデータD−DQ3が、n型トランジスタ191のゲー
トに供給されているレファレンス電圧Vrefを超える
と、n型トランジスタ190が導通し、ダミーデータD
−DQ3は反転されて増幅され、インバータ183〜1
85を介して、ダミーデータD−DQ4として出力され
る。なお、ダミー入力バッファ16もダミー入力バッフ
ァ20と同様の構成を有する。
【0077】図9は、本発明の実施の形態のダミー入力
ラッチの構成図である。本実施の形態のダミー入力ラッ
チ21は、ダミーデータD−DQ5を出力する第1ラッ
チ部228と、ダミーデータD−DQ5Bを出力する第
2ラッチ部229とから構成され、各ラッチ部は、p型
トランジスタ211〜214とn型トランジスタ215
〜221とから構成される取り込み回路227と、p型
トランジスタとn型トランジスタとから構成されるバッ
ファ224、225と、インバータで構成されるラッチ
回路226と、p型トランジスタとn型トランジスタと
から構成されるトランスファゲート223と、n型トラ
ンジスタ222と、インバータ201〜208とを有す
る。
【0078】また、第1ラッチ部228には、ダミーデ
ータD−DQ4、ダミークロックD−CLK1、イネー
ブル信号en2が入力され、第2ラッチ部229には、
ダミーデータD−DQ4、ダミークロックD−CLK1
をインバータ230で反転したダミークロック/D−C
LK1、イネーブル信号en2が入力される。
【0079】例えば、本実施の形態の第1ラッチ部22
8は、イネーブル信号en2がLレベルの場合は、ノー
ドN11がHレベルになり、n型トランジスタ222が
導通してn型トランジスタ221が非導通となり、取り
込み回路227が非活性状態になる。また、p型トラン
ジスタ211、214が導通するため、ノードN12、
N13がHレベルになり、バッファ224、225のp
型トランジスタは非導通となる。また、ノードN12、
N13のHレベルの電圧はインバータ207、208で
反転されるため、バッファ224、225のn型トラン
ジスタも非導通となる。従って、ダミーデータD−DQ
5は高インピーダンス状態である。
【0080】イネーブル信号en2がHレベルになる
と、ノードN11がLレベルになり、n型トランジスタ
222が非導通となりトランスファゲート223が導通
状態になる。この場合に、ダミークロックD−CLK1
がHレベルになると、n型トランジスタ221が導通
し、取り込み回路227が活性状態になってダミーデー
タD−DQ4をラッチする。
【0081】例えば、ダミーデータD−DQ4がLレベ
ルの場合は、ノードN14がHレベルになるのでn型ト
ランジスタ215が導通し、ノードN15がLレベルに
なるので差動回路を構成するn型トランジスタ215、
218のうち、n型トランジスタ215が導通し、n型
トランジスタ218が非導通になる。
【0082】非活性状態ではノードN12、N13はと
もにHレベルであり、n型トランジスタ219、220
は導通している。また、ノードN12、N13のHレベ
ルはインバータ207、208で反転されてn型トラン
ジスタ216、217に入力されるため、n型トランジ
スタ216、217はともに非導通である。
【0083】ここで、活性状態になってn型トランジス
タ215が導通することにより、ノードN12がLレベ
ルになるが、ノードN13はHレベルのままである。ノ
ードN12がLレベルに下がることにより、インバータ
207の出力はHレベルに変化し、それがフィードバッ
クされてn型トランジスタ216を導通させ、ノードN
12のLレベルへの変化を加速する。かかるフィードバ
ック動作により取り込み回路227のラッチ動作が高速
に行われる。そしてノードN12のLレベルにより、バ
ッファ224のp型トランジスタ及びバッファ225の
n型トランジスタが導通し、ラッチ回路226において
ダミーデータD−DQ5はLレベルにラッチされる。
【0084】一方、ダミーデータD−DQ4がHレベル
の場合は、ノードN14がLレベルになるのでn型トラ
ンジスタ215が非導通となり、ノードN15がHレベ
ルになるのでn型トランジスタ218が導通する。
【0085】このため、上記の場合と反対の動作によ
り、ノードN13がLレベルになり、ノードN12はH
レベルのままである。このため、バッファ224のn型
トランジスタ及びバッファ225のp型トランジスタが
導通し、ダミーデータD−DQ5はHレベルにラッチさ
れる。
【0086】図10は、本発明の実施の形態のタイミン
グ回路の構成図である。本実施の形態のタイミング回路
22は、p型トランジスタとn型トランジスタにより構
成されるトランスファゲート232〜234と、インバ
ータによるラッチ回路235〜237と、インバータ2
38,239とを有する。
【0087】第1のクロックCLK1はトランスファゲ
ート232に入力され、第1のクロックCLK1がHレ
ベルの期間トランスファゲート232を導通させる。従
って、ダミーデータD−DQ5がラッチ回路235にラ
ッチされる。
【0088】第1のクロック/CLK1はトランスファ
ゲート233、234に入力され、第1のクロック/C
LK1がHレベルの期間トランスファゲート233、2
34を導通させる。従って、ダミーデータD−DQ5B
がラッチ回路237にラッチされると共に、ラッチ回路
235にラッチされていたダミーデータD−DQ5がラ
ッチ回路236にラッチされる。従って、タイミング回
路22は、ダミーデータD−DQ5を第1のクロックC
LK1のHレベル時にラッチし、ダミーデータD−DQ
5、D−DQ5Bを反転クロック/CLK1のHレベル
時にラッチして、ダミーデータD−DQ6−O、D−D
Q6−Eを出力する。
【0089】図11は、本発明の実施の形態の比較器の
構成図である。本実施の形態の比較器23は、EOR回
路241、242と、インバータによるラッチ回路24
5〜248と、p型トランジスタとn型トランジスタに
より構成されるトランスファゲート249、250とイ
ンバータ251、252とを有する。
【0090】EOR回路241、242には、ダミーデ
ータD−DQ6とダミーデータD−DQ8が入力される
が、ダミーデータD−DQ6はダミー入力ラッチ21を
経由した信号であり、ダミーデータD−DQ8は当初の
データが保存された信号である。
【0091】従って、ダミー入力ラッチ21がダミーデ
ータD−DQ4を正しく取り込んでラッチしていれば、
ダミーデータD−DQ6−OとダミーデータD−DQ8
−Oは一致し、EOR回路241の出力はLレベルにな
る。また、ダミーデータD−DQ6−Eとダミーデータ
D−DQ8−Eは一致し、EOR回路242の出力はL
レベルになる。
【0092】一方、ダミー入力ラッチ21がダミーデー
タD−DQ4を正しく取り込んでラッチしていなけれ
ば、ダミーデータD−DQ6−OとダミーデータD−D
Q8−Oは一致せず、EOR回路241の出力はHレベ
ルになる。また、ダミーデータD−DQ6−Eとダミー
データD−DQ8−Eは一致せず、EOR回路242の
出力はHレベルになる。
【0093】EOR回路241、242の出力は、それ
ぞれラッチ回路245、247にラッチされ、第1のク
ロックCLK1のHレベルの時導通するトランスファゲ
ート249、250を通過し、ラッチ回路246、24
8にラッチされ、比較結果N3−O、N3−Eとして出
力される。従って、比較結果N3−O、N3−Eを測定
することにより、ダミー入力ラッチ21がダミーデータ
D−DQ4を正しく取り込みラッチしたか否かを検出す
ることができ、メモリデバイスのセットアップ時間及び
ホールド時間を測定することができる。
【0094】図12は、本発明の実施の形態のシフトレ
ジスタ27の構成図である。本実施の形態のシフトレジ
スタ27は、インバータによるラッチ回路264〜26
6と、p型トランジスタとn型トランジスタにより構成
されるトランスファゲート267、268と、インバー
タ261〜263とを有する。
【0095】ダミーデータD−DQ2はラッチ回路26
4でラッチされ、第1のクロックCLK1のタイミング
でトランスファゲート267を通過し、ラッチ回路26
5でラッチされる。ラッチ回路265でラッチされたデ
ータは、第1のクロック/CLK1のタイミングでトラ
ンスファゲート268を通過し、ラッチ回路266でラ
ッチされる。そして、インバータ263で反転され、ダ
ミーデータD−DQ7として出力される。
【0096】本シフトレジスタ27は、ダミーデータD
−DQ2を遅延させ、ダミー出力バッファ19、ダミー
入力バッファ20及びダミー入力ラッチ21の遅延時間
を補償し、タイミング回路22に入力されるダミーデー
タD−DQ5と、分周器29に入力されるD−DQ7の
タイミングを略等しくする。
【0097】図13は、本発明の実施の形態の分周器の
構成図である。本実施の形態の分周器29は、p型トラ
ンジスタとn型トランジスタにより構成されるトランス
ファゲート271〜273と、インバータによるラッチ
回路274〜276と、インバータ278,279とを
有する。
【0098】第1のクロックCLK1はトランスファゲ
ート271に入力され、第1のクロックCLK1がHレ
ベルになる期間トランスファゲート271を導通させ
る。従って、ダミーデータD−DQ7がダブルデータレ
ートの場合、例えば、奇数期間のデータはラッチ回路2
74にラッチされる。
【0099】第1のクロック/CLK1はトランスファ
ゲート272、273に入力され、第1のクロック/C
LK1がHレベルになる期間トランスファゲート27
2、273を導通させる。従って、ダミーデータD−D
Q7の偶数期間のデータは、ラッチ回路276にラッチ
されると共に、ラッチ回路274にラッチされていた奇
数期間のデータは、ラッチ回路275にラッチされる。
従って、分周器29は、ダブルデータレートをシングル
データレートに変換し、ダミーデータD−DQ7の奇数
期間のデータをダミーデータD−DQ8−Oとし、ダミ
ーデータD−DQ7の偶数期間のデータをダミーデータ
D−DQ8−Eとした2つのダミーデータを出力する。
【0100】以上説明したように、セットアップ時間及
びホールド時間を測定する試験回路では、ダミークロッ
クとダミーデータの相対的なタイミング差を調整すれば
よい。従って、第1の遅延回路によりダミークロックの
タイミングを調整してもよいし、第2の遅延回路により
ダミーデータのタイミングを調整してもよい。また、第
1の遅延回路によりダミークロックのタイミングを調整
し、かつ、第2の遅延回路によりダミーデータのタイミ
ングを調整してもよい。
【0101】ただし、最も好ましい実施例では、図1に
示した如く、第1の遅延回路と第2の遅延回路の両者を
設け、セットアップ時間の測定時は、まず第1の遅延回
路と第2の遅延回路の遅延時間を、ともに最小の遅延時
間(初期値)にする。次に、図2に示したように、第1
の遅延回路の第1の遅延時間Td1を調整してセットア
ップ時間を測定する。一方、ホールド時間の測定時は、
まず第1の遅延回路と第2の遅延回路の遅延時間を、と
もに最小の遅延時間(初期値)にし、次に、図3に示し
たように、第2の遅延回路の第2の遅延時間Td2を調
整してホールド時間を測定する。
【0102】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のメモリデバ
イスは、セットアップ時間及びホールド時間を測定する
試験回路にDLL回路を含まず、遅延時間を安定に可変
できる遅延回路を使用してラッチタイミングを設定す
る。従って、測定結果にDLL回路に付随するジッタの
影響がなく、正確にセットアップ時間及びホールド時間
を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のメモリデバイスの試験回
路の構成図である。
【図2】セットアップ時間を測定する場合のタイムチャ
ートである。
【図3】ホールド時間を測定する場合のタイムチャート
である。
【図4】本発明の実施の形態の遅延回路の構成図であ
る。
【図5】本発明の実施の形態の遅延回路の構成図であ
る。
【図6】本発明の実施の形態の遅延回路の構成図であ
る。
【図7】本発明の実施の形態のダミー出力バッファの構
成図である。
【図8】本発明の実施の形態のダミー入力バッファの構
成図である。
【図9】本発明の実施の形態のダミー入力ラッチの構成
図である。
【図10】本発明の実施の形態のタイミング回路の構成
図である。
【図11】本発明の実施の形態の比較器の構成図であ
る。
【図12】本発明の実施の形態のシフトレジスタの構成
図である。
【図13】本発明の実施の形態の分周器の構成図であ
る。
【図14】従来のメモリデバイスの構成図である。
【図15】セットアップ時間とホールド時間の説明図で
ある。
【図16】DLL回路によるジッタの説明図である。
【符号の説明】
11、12、17、18 遅延回路 13、24、30、37 セレクタ 14、26 ダミーデータ発生回路 15、19 ダミー出力バッファ 16、20 ダミー入力バッファ 21 ダミー入力ラッチ 22 タイミング回路 23 比較器 25 DQパッド 27 シフトレジスタ 29 分周器 41〜50、71〜78 インバータ 51〜58 トランスファゲート 61〜68 コンデンサ 81〜88 NAND回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/66 G11C 11/34 362S 371A Fターム(参考) 2G032 AA07 AB06 AD06 AE07 AE08 AG07 AK11 4M106 AA08 AB07 AC02 AC10 CA02 CA05 CA09 DJ17 DJ18 DJ20 5B018 GA03 HA32 HA33 JA04 JA21 NA02 QA13 RA20 5B024 AA15 BA21 BA23 CA27 EA01 5L106 AA01 DD00 DD12 GG03

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基準クロックを第1の設定信号に対応して
    第1の遅延時間だけ遅延させ、第1のクロックを生成す
    る第1の遅延回路と、 前記基準クロックに基づいて生成したダミーデータを、
    前記第1のクロックに基づいて生成したダミークロック
    のタイミングで取り込むダミー入力ラッチとを有し、 前記第1の設定信号により前記第1の遅延時間を可変設
    定し、前記ダミークロックのタイミングを変えながら前
    記ダミーデータを前記ダミー入力ラッチに取り込み、前
    記ダミーデータと前記ダミー入力ラッチの取り込んだデ
    ータを比較して前記ダミー入力ラッチの取り込み動作を
    試験することを特徴とするメモリデバイス。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記第1の遅延回路と同一構成の遅延回路が複数個直列
    に接続され、前記基準クロックを前記第1の設定信号に
    対応して前記第1の遅延時間の複数倍の遅延時間だけ遅
    延させる第3の遅延回路を有し、前記第3の遅延回路の
    出力が外部に出力されることを特徴とするメモリデバイ
    ス。
  3. 【請求項3】基準クロックを第2の設定信号に対応して
    第2の遅延時間だけ遅延させ、第2のクロックを生成す
    る第2の遅延回路と、 前記第2のクロックに基づいて生成したダミーデータ
    を、前記基準クロックに基づいて生成したダミークロッ
    クのタイミングで取り込むダミー入力ラッチとを有し、 前記第2の設定信号により前記第2の遅延時間を可変設
    定し、前記ダミーデータの生成タイミングを変えながら
    前記ダミーデータを前記ダミー入力ラッチに取り込み、
    前記ダミーデータと前記ダミー入力ラッチの取り込んだ
    データを比較して前記ダミー入力ラッチの取り込み動作
    を試験することを特徴とするメモリデバイス。
  4. 【請求項4】基準クロックを第1の設定信号に対応して
    第1の遅延時間だけ遅延させ、第1のクロックを生成す
    る第1の遅延回路と、 前記基準クロックを第2の設定信号に対応して第2の遅
    延時間だけ遅延させ、第2のクロックを生成する第2の
    遅延回路と、 前記第2のクロックに基づいて生成したダミーデータ
    を、前記第1のクロックに基づいて生成したダミークロ
    ックのタイミングで取り込むダミー入力ラッチとを有
    し、 前記第1又は第2の設定信号により前記第1又は第2の
    遅延時間を可変設定し、前記ダミークロックのタイミン
    グ又は前記ダミーデータの生成タイミングを変えなが
    ら、前記ダミーデータを前記ダミー入力ラッチに取り込
    み、前記ダミーデータと前記ダミー入力ラッチの取り込
    んだデータを比較して前記ダミー入力ラッチの取り込み
    動作を試験することを特徴とするメモリデバイス。
  5. 【請求項5】請求項4において、 前記第1の遅延回路と同一構成の遅延回路が複数個直列
    に接続され、前記基準クロックを前記第1の設定信号に
    対応して前記第1の遅延時間の複数倍の遅延時間だけ遅
    延させる第3の遅延回路と、 前記第2の遅延回路と同一構成の遅延回路が複数個直列
    に接続され、前記基準クロックを前記第2の設定信号に
    対応して前記第2の遅延時間の複数倍の遅延時間だけ遅
    延させる第4の遅延回路とを有し、 前記第3及び第4の遅延回路の出力が外部に出力される
    ことを特徴とするメモリデバイス。
  6. 【請求項6】請求項1において、 前記ダミー入力ラッチの出力データのタイミングを調整
    するタイミング回路と、 前記ダミーデータを分周する分周器とを有し、 前記タイミング回路から出力されたデータと、前記分周
    器により分周されたデータを比較することを特徴とする
    メモリデバイス。
  7. 【請求項7】請求項4において、 前記ダミー入力バッファが前記ダミーデータを取り込み
    可能な、前記第1の遅延時間と前記第2の遅延時間との
    時間差の最小値を求め、当該最小値を前記ダミー入力バ
    ッファのセットアップ時間又はホールド時間とすること
    を特徴とするメモリデバイス。
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