JP2000503344A - 複合材料およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、結合金属相および少なくとも１つの硬質相を有し、実質的に結合金属相３〜３０質量％、残り少なくとも１つのカルボニトリド相を有するサーメット材料または少なくとも１つの硬質物質相６５〜９９質量％、残り結合金属相を有する超硬合金からなる酸化物不含の複合材料に関し、硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合によりほかの金属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素化合物が炭素および／または窒素の供与体としてもっぱらそれぞれ粉末の形で生素地に圧縮され、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利には圧力をかけずに、マイクロ波領域で反応焼結され、その際形成される硬質相は残りのほかの、硬質相反応に関与しない物質とともに液相を形成する。本発明は更に、請求の範囲１から１６までのいずれか１項に記載の複合材料を製造する方法に関し、硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合によりほかの金属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素化合物を炭素および／または窒素の供与体としてもっぱらそれぞれ粉末の形で成形体に予備圧縮し、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利には圧力をかけずに反応焼結し、特に少なくとも一時的にエネルギー密度０．０１〜１０Ｗ／ｃm³のマイクロ波領域で反応焼結することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】 複合材料およびその製造方法 本発明は、結合金属相および少なくとも１つの硬質相を有し、実質的に 結合金属相２〜３０質量％、残り少なくとも１つのカルボニトリド相（Carbon itrid phase）を有するサーメット材料または 少なくとも１つの硬質物質相６５〜９９質量％、残り結合金属相を有する超硬 合金 からなる酸化物不含の複合材料に関する。 本発明は更に、前記複合材料の製造方法に関する。 冒頭に記載された形式の複合材料はドイツ特許出願公開第４３４０６５２号明 細書に記載されている。これらの複合材料は特に切削作業用の切削盤および高温 材料として使用される。従来の技術により予め用意した硬質物質粉末および金属 からなるこの材料を、可塑剤を添加して混合した後、成形体に予備圧縮し、引き 続き、例えばグラファイト加熱部材が装備されている電気加熱炉中で焼結し、こ の場合に試料の加熱は間接的に加熱部材から放出される放射線によりおよび対流 もしくは熱伝導により行う。多くの場合に最適な成形のための硬質物質粉末の強 力な粉砕、多数の添加物および結合金属の混合および粉砕を伴う予備処理は加圧 焼結、焼結−ホットアイソスタティックプレスまたはホットアイソスタティック プレスと結びついている。使用される出発粉末の細粒度を、技術水準により、粒 子成長抑制剤として用いられる添加物により維持することが試みられた。この付 加的な物質は焼結後に脆い相として存在し、従って複合材料の粘性および耐食性 が低下する。これらの複合材料の曲げ強さおよび硬度を改良するために、ドイツ 特許第４３４０６５２号明細書においては予備圧縮した成形体をマイクロ波領域 で焼結することが提案されている。この場合に予備成形した圧縮成形体の結合金 属含量が多くなるとともにマイクロ波による加熱の効果が高まる。この成形体は マイクロ波焼結により直接加熱する。 この技術水準から出発して、本発明の課題は、粘性が改良され、同時に高い硬 度および強度が改良される微粒構造の超硬合金およびサーメットを提供すること である。 前記課題は、冒頭に記載の形式の酸化物不含の複合材料により、硬質相、すな わちカルボニトリド相（サーメットの場合）または硬質物質相もしくは硬質相（ 超硬合金の場合）の形成に必要な金属、炭素および場合によりほかの金属および 金属炭化物および金属窒化物を、もっぱらそれぞれ粉末の形で、すなわち固形物 として生素地に圧縮し、引き続きマイクロ波領域で５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下 に、有利には圧力をかけず に反応焼結することにより解決され、その際形成される硬質相は残りのほかの、 硬質相反応に関与しない結合金属相の物質とともに液相を形成し、その際超硬合 金複合材料の少なくとも７０容量％が０．５μｍ以下の平均粒度を有するかまた はサーメット複合材料の少なくとも７０容量％が０．４μｍ以下の平均粒度を有 する。これにより得られる成形体は使用されるエダクト粉末の粒度に関係して最 終生成物中の粒度の著しい減少により際立っている。その構造は微粒であり、均 質である。この複合材料はきわめて高い粘性および同時に高い硬度および強度を 有する。液相の形成により焼結の際の複合材料の完全な圧縮が達成される。同様 に本発明による複合材料の製造の場合に従来必要な作業工程、例えば出発物質の 炭化および引き続く粉砕および後処理工程が省かれる。硬質相は炭化反応に必要 な出発物質からその場で、成形体の焼結を生じる同じ熱処理中に得られる。硬質 相の形成反応の遊離する反応熱は焼結のために必要な活性化エネルギーを調達す るために利用することができる。成形体の完全な圧縮は、従来技術の水準で必要 であった圧力の調達またはカプセル化のような付加的な手段を用いずに達成され る。 出発物質、すなわちチタンおよび炭素を炉内で熱の作用下に混合することによ り人工的にＴｉＣのような材料を製造する従来の試みは、その際生じるカルボサ ーマル還元（carbothermischen Reduktion）からのガス状の副生成物が問題を 生じ、その際生じるＣＯまたはＣＯ₂のようなガス副生成物は好ましくない封入 物を生じ、それと共に多孔質の成形体を生じる。高い外部圧力を調達することに よってのみ制限された対策を講じることができ、これは製造経費をかなり高くす る。チタンおよびクロムまたは珪素のような金属粉末に不活性助剤または有機化 合物を装入し、生じるガスを熱分解処理することはすでに提案されている。これ らすべての場合において焼結の際に存在する気相は十分に良好な圧縮を困難にす るかまたは阻止する。 意想外にも、複数の金属粉末種類および非金属粉末からなる固体の圧縮成形体 中で、反応を制御するためにマイクロ波で加熱することにより、物質に特有の特 性の直接的利用に成功し、この場合に１種以上の硬質相のほかに焼結を促進する 液相が生じる。マイクロ波照射の使用は技術水準から常用の加熱法および点火法 と異なり炭化もしくはカルボニトロ化および焼結の同時の開始を可能にする。焼 結装入物はマイクロ波加熱の際に装入物内部の熱の移動に独立に、マイクロ波の 散逸により焼結装入物の容積で反応することができる。更にマイクロ波の加熱に より、反応熱が周囲に失われずに急速な後加熱が可能であり、むしろ出発物質を 結合する際に反応熱を利用し、その際硬質相の形成反応はマイクロ波領域の存在 で電磁変換領域のない場合 より著しく速く、液体の状態と同じように固体で、結合金属からなる硬質相の溶 解および再析出と同様に進行する。これにより急速な圧縮と結びついた粒子の極 端な微細化がはじめて可能になる。例えば特に平均中間粒度１μｍのタングステ ン粉末、およびＣｏ粉末およびカーボンブラックから出発して複合材料を製造す る際に粒度０．４〜０．８μｍを有するＷＣ−Ｃｏ超硬合金が得られ、従って粒 度はタングステン粉末の出発粒度より小さい。特に硬度、腐食傾向、磁気的特性 値、電気的特性値および熱的機械的特性値のような個々の特性を相当して選択さ れる出発混合物により組み合わせることができる。 マイクロ波領域の作用により、金属と炭素が直接反応して硬質相を形成し、例 えばタングステンと炭素が反応してＷＣを生じ、または相当する硬質相の形成が 行われ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＶＣ、ＮｂＣ、ＴａＣ、Ｃｒ₂Ｃ₃またはＭｏ₂ Ｃを生じる。前記反応は従来の加熱の場合より著しく速くかつ低い温度で進行 する。マイクロ波反応焼結を使用する場合は、まず部分的に結合剤金属に溶解す る硬質相が形成される。例えば共融温度での（結合剤として）コバルト中の硬質 相の溶解度はＴａＣ、ＨｆＣ：３モル％、ＴｉＣ：５モル％、ＺｒＣ、ＮｂＣ： ６モル％、ＶＣ：１０モル％、Ｃｒ₂Ｃ₃：１２モル％、ＷＣ：２０モル％、Ｍｏ₂ Ｃ：３０モル％である。従って溶解した炭化物がか なり少ない量の場合はすでに硬質相の結晶化が予測される。形成される共融溶融 物は誘電性の不均一な成形体により電磁変換領域の作用下に急速にすべての毛細 管に吸収される。これにより多孔質の成形体は、そうでなければ高い外部圧力を 使用してのみ達成されるように、容積において均一に圧縮される。結合剤金属に 溶解した硬質相はなお存在する硬質相−残留粒子上で結晶化する。これによりは じめてきわめて微細な粒子の硬質相が得られ、その粒子の形状は典型的な角状の 粒子になる。 マイクロ波反応焼結の際に、特にわずかの可溶性の炭化物からなるサーメット が従来のすべての製造方法に比べて決定的に減少した硬質相の粒度を有すること が理解される。出発混合物中に存在する金属と炭素の反応によりマイクロ波領域 でまずきわめて小さい硬質相粒子が生じ、その溶解度はきわめて高い。形成され る液相は構造中に毛細管力および焼結部分の誘電性の不均一性の結果として、電 気変換領域のない場合よりきわめて速く分配される。それと共に結合剤金属中の 炭化物の飽和濃度が同様に局所的に急速に超過し、従って未溶解の硬質相からの なお十分な種結晶が存在し、これに溶解した硬質相が結晶化することができる。 マイクロ波反応焼結の結果は、従来の焼結、マイクロ波焼結または従来の反応焼 結により達成されるよりきわめて多くのより微細な構造である。マイクロ波領域 の反応促進作用により、硬質相形成反応を開始するために融点の低い共融混合物 を予め入れることは不要である。硬質相および結合剤金属から少ない量の液相が 形成されれば十分である。更に毛細管力により圧縮を促進する液相の分配は電気 的変換領域の電気的重体運動作用により促進され、従って外部圧力を省くことが できる。マイクロ波−反応焼結技術を使用すると、従来の焼結の際に生じる、加 熱部材の化学特性により炉の雰囲気の選択が制限されるという欠点を回避するこ とができる。更に外から中への超硬合金またはサーメットの加熱が行われ、実質 的に試料の熱伝導率および放射率により調整される。試料の熱伝導率に応じて加 熱速度および冷却速度の変動幅は著しく制限され、そのために、例えば超微粒の 超硬合金を十分に焼結できるためには、部分的に高い装置および方法技術的手段 が必要である。 本発明の複合材料の有利な構成は請求の範囲２から１６に記載されている。 複合材料は、有利には粒子成長抑制剤を有せず、従って特にバナジウムおよび ／またはクロムを有しない。本発明の超硬合金複合材料は技術の水準に比べて、 少なくとも７０容量％が最大０．５μｍ、有利には最大０．４μｍの平均粒度を 有することにより優れている。本発明のサーメット複合材料は少なくとも７０容 量％が０．４μｍ以下、有利には０．３μｍ以下の平均 粒度を有する。本発明の複合材料の量による組成および質による組成は請求の範 囲５から１６に記載された本発明の有利な構成により得られる。 本発明は更に、冒頭に記載された形式の酸化物不含の複合材料の製造方法に関 し、この方法では硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合によりほ かの金属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素化合物を 、炭素および／または窒素の供与体として、もっぱらそれぞれ粉末の形で成形体 に予備圧縮し、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利には圧力をかけず に、少なくとも一時的にエネルギー密度０．０１〜１０Ｗ／ｃｍ³のマイクロ波 領域で反応焼結する。マイクロ波焼結により製造される複合材料はきわめて微細 な粒子構造を有し、これは使用されるマイクロ波反応焼結技術により、出発粒度 より細かい。製造すべき超硬合金成形体の基礎として用いられる金属炭化物は、 特に金属およびカーボンブラックまたはグラファイトから製造し、これらは出発 混合物中に粉末の形で存在する。 サーメットに関しては、窒素供与体として金属窒化物または固体の窒素化合物 が粉末の形で出発混合物中に存在するという条件で同様のものが該当する。 それぞれの粉末状の出発混合物から炭化物またはカルボニトリドを生じるマイ クロ波反応焼結はかなり速く、かつ熱の発生（発熱）下に進行する。炭化物また はカルボニトリドを形成後、焼結された試料を従来の方法で最終焼結することが でき、すなわちマイクロ波領域を作用させずに行う。これは、当該試料を、最終 焼結のために、従来の方法で加熱される炉空間に移動する方法で行うことができ る。従って一時的におよび局所的にマイクロ波加熱と従来の加熱の組み合わせが 可能である。 このために、選択的に、硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合 によりほかの金属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素 化合物を、炭素および／または窒素の供与体として、５×１０⁵Ｐａまでの圧力 下に、有利には圧力をかけずに電気加熱炉中で、すなわちマイクロ波放射線を作 用せずに反応焼結することが可能である。意想外にも反応焼結法を使用すること により、圧力をかけずにもしくは小さな圧力を使用してかなり大きな密度を達成 することができ、これはそうでなければ加圧焼結またはホットアイソスタティッ クプレスと組み合わせた焼結の場合にのみ達成可能である。超硬合金基体または サーメット基体を決定する基礎炭化物もしくはカルボニトリドは少なくとも出発 混合物中に、純粋な粉末状の金属およびグラファイトおよび／またはカーボンブ ラックの形でまたは純粋な金属、グラファイトおよび／またはカーボンブラック および窒素供与体の形で存在し、窒素供与体は金属窒化物および／または固体の 窒素化合物であってもよい。 前記方法の有利な構成は請求の範囲１９から３０に記載されている。 マイクロ波焼結の際は、この場合に、焼結だけでなく、マイクロ波領域による 炭化またはカルボニトロ化が開始するという条件で、すでにドイツ特許出願公開 第４３４０６５２号明細書から公知の技術に原則的に依拠することができる。 本発明の実験により、５〜３０分、有利には１０分の少ない保持時間ですでに 焼結成形体の完全な圧縮を生じることが確認された。焼結温度は同様にかなり低 く、使用される金属の粒度に依存しておよび炭素供給源に応じて１２５０〜１４ ００℃で選択することができる。具体的な使用例においては以下の特性を有する 超硬合金を製造することができる。 Ｈ_V30：２０００〜２５００ Ｋ_IC：１５〜２０ＭＰａ√ｍ σ_B：３５００〜４５００ＭＰａ。 本発明の方法は複合材料に関係する請求の範囲に記載された硬質相−結合金属 組成物に適しており、その際粒子の成長でなく、固体の出発物質の適当な粒度お よび組成の選択によりおよびマイクロ波を用いる加熱により、粒子が微細化して 、結合剤相中の微粒の硬質物質を生じる反応を達成し、同時に焼結により処理工 程中の硬質相および結合剤金属の圧縮が行われ、これ により、直接、特に理論的密度の９９．８％以上の密度を有する切断工具のよう な構造部材として複合材料が得られる。 超硬合金基体またはサーメット基体を製造するために、有利には可塑剤として ワックスを使用し、これを焼結前に前記温度で除去しなければならない。技術水 準により使用可能な常用のワックスはそれ自体マイクロ波放射線を吸収しない。 マイクロ波加熱を用いる金属粉末および非金属粉末の選択的加熱により、全部の 焼結成形体容積中のワックスの均質な加熱が行われる。焼結成形体自体はマイク ロ波の照射により炉空間より高い温度に加熱され、これはワックス除去生成物の 排出を著しく簡単にする。ワックスの除去は毎分約５℃のかなり高い加熱速度で 実施する。この処理方法の場合はワックスの分解速度を制御した熱分解が可能で あり、特にマイクロ波照射を用いる物質に特有の熱の発生は技術水準により常用 の対流および熱伝導の場合より微細なプロセス制御を可能にする。反応焼結中に 再現可能な導入可能の炭素量は相の組成を調整するために利用する。サーメット を製造する場合は、窒素供与体として、それ自体窒素を含有し、製造すべきカル ボニトリド相のために窒素供給源として用いられる可塑剤を使用してもよい。こ の窒素供与体は、例えばウロトロピンである。 マイクロ波反応焼結は著しく短い時間で製造方法の かなりの簡略化を生じる。装入物の加熱速度は、ワックス除去のためには、有利 には毎分１０〜１℃の範囲であり、マイクロ波焼結の際は毎分１００℃〜１０３ ℃までの範囲、有利には毎分２０℃〜１００℃までの範囲であり、または従来の 焼結、炭化もしくはカルボニトロ化の際は１０００℃より高い反応温度まで毎分 ２〜２０℃の範囲である。マイクロ波反応焼結が炉壁の温度より高い試験温度で 進行するので、エネルギー供給を中断後、急速な冷却を実施することが可能であ り、従ってサーメットもしくは超硬合金複合材料の起こりうる付加的な粒子の成 長が妨げられる。反応焼結のためにマイクロ波を使用する際に加熱結果を平均化 するための保持時間が必要でないことが製造に特徴的であり、これにより粒子の 成長を回避するためのほかの前提が満たされる。 従来の炉の加熱を用いる反応焼結に関しては請求の範囲１９以下の内容が相当 する。 本発明を以下の実施例により詳細に説明する。 コバルト重量２５％、残りＷＣを有する超硬合金を製造するために、それぞれ 粉末の形でコバルト、タングステンおよび炭素を、可塑剤としてワックス１．８ 重量％と一緒に混合し、生素地に予備圧縮する。引き続き生素地を炉内に均一に 分配し、マイクロ波を用いて出力密度０．０５Ｗ／ｃｍ³で加熱し、その際加熱 速度は約３５０℃まで毎分０．１℃から毎分最大３℃で ある。この時間内にワックスは完全に燃焼する。ワックスの燃焼後、約３５０℃ の試験温度で加熱速度を段階的に高め、すなわちまず１０００℃まで毎分５℃に 、引き続き約１２５０℃の焼結温度が達成されるまでこれより高い値に高める。 引き続き焼結した成形体を毎分２０℃の速度で冷却する。 サーメットの製造は、カルボニトリド相に必要な金属、結合剤金属および炭素 のほかになお窒素供与体が存在しなければならない付加的な条件つきで、相当す る方法で進行する。窒素供与体は、例えばチタン、ジルコニウム、ハフニウム、 ニオブ、タンタルおよび／またはモリブデンの金属の窒化物の形で存在してもよ く、この場合にこれらの金属はそれ自体引き続き炭素と一緒に反応してカルボニ トリドを形成する。選択的に窒素供与体として、同時に可塑剤であってもよい、 ウロトロピンのような有機物質を使用することが可能である。 具体的な実施例において、硬質相形成剤および金属窒化物から炭化物およびカ ルボニトリドへの完全な反応を保証するために、ニッケル、コバルトおよび／ま たは鉄のような１種以上の結合剤金属、場合により３〜３０％の量のモリブデン の添加物、例えばタングステン、モリブデン、チタン、ジルコニウム、ハフニウ ム、バナジウム、ニオブまたはタンタルのような１種以上の硬質相形成剤、窒素 供与体として１種以上の熱 的に不安定な窒化物および化学量論の量の遊離炭素からなる混合物が混合されて いる。混合物を予備圧縮し、マイクロ波領域で１２００〜１５００℃の温度に焼 成する。炭素との反応により、および窒化物と炭化物との転換により、例えば以 下の反応式により、硬質相形成剤成分および窒化物から炭化物もしくはカルボニ トリドが生じる。 （１）TiＮ＋Ti＋２Ｃ→TiＣＮ・TiＣ （２）ＷＮ＋Ti＋２Ｃ→ＷＣ＋TiＣＮ （３）Mo₂Ｎ＋Ta＋Ｗ＋２Ｃ→Mo₂Ｃ＋TaＮ・ＷＣ すでに記載した反応例はＴｉＣＮの形成に関するが、同じ意味でほかの種類の サーメット組成物に転用できる。従ってそれぞれ、例えばチタンと同じ金属は窒 化物を供給し、炭化物およびカルボニトリドを形成し、または金属が、カルボニ トリドもしくは炭化物に反応する窒化物を供給し、硬質相形成剤として第２の金 属が安定なカルボニトリドまたは窒化物を形成する。窒素供給源として使用可能 である熱的に不安定な窒化物の例は、ＣｒＮ、Ｃｒ₂Ｎ、ＭｏＮ，Ｍｏ₂Ｎ、Ｍｏ₃ Ｎ、ＷＮ、Ｗ₂Ｎ、ＡｌＮである。この場合に、これから生じる安定な窒化物は 、それぞれチタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブおよび／ま たはタンタルの窒化物である。 反応焼結の際に使用可能な可塑剤中の考えられる窒 素供与体として、芳香族の、窒素の多い複素環化合物、例えばトリアジン、ピラ ゾール、ポリピラゾールおよび相当する金属塩が該当する。 反応焼結は常圧−炉雰囲気中で進行する。 ほかの実施例において、Ｃｏ６重量％、残りＷＣを有する超硬合金を製造する ために、それぞれ粉末の形でコバルト、タングステンおよびカーボンブラック（ 炭素）を、可塑剤としてワックス１．８重量％と混合し、生素地に予備圧縮する 。引き続き生素地を抵抗加熱炉中に分配し、毎時１００℃の加熱速度で４００℃ まで加熱する。引き続き、すなわちワックスを排出した後で、所望の圧縮が終了 するまで、炉を焼結温度１４００℃に加熱する。最終焼結した成形体を毎分１０ ℃の速度で冷却する。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モニカ ヴィレルト−ポラダ ドイツ連邦共和国 ドルトムント シュヴ ェールター シュトラーセ 104 (72)発明者 トルステン ゲルデス ドイツ連邦共和国 カストロップ−ラウク セル ヴェスターホルトシュトラーセ 27

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．結合金属相および少なくとも１つの硬質相を有し、実質的に 結合金属相３〜３０質量％、残り少なくとも１つのカルボニトリド相を有する サーメット材料または 少なくとも１つの硬質物質相６５〜９９質量％、残り結合金属相を有する超硬 合金 からなる酸化物不含の複合材料であり、硬質相を形成するために必要な金属、炭 素および場合によりほかの金属および金属炭化物および金属窒化物および／また は固体の窒素化合物が炭素および／または窒素の供与体としてもっぱらそれぞれ 粉末の形で生素地に圧縮され、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利に は圧力をかけずに、マイクロ波領域で反応焼結され、その際形成される硬質相は 残りのほかの、硬質相反応に関与しない物質とともに液相を形成し、超硬合金複 合材料の少なくとも７０容量％が０．５μｍ以下の平均粒度を有するかまたはサ ーメット複合材料の少なくとも７０容量％が０．４μｍ以下の平均粒度を有する 、酸化物不含の複合材料。 ２．粒子成長抑制剤、特にＶおよび／またはＣｒを含有しない請求の範囲１記載 の複合材料。 ３．超硬合金複合材料の少なくとも７０容量％が０． ４μｍ以下の平均粒度を有する請求の範囲１または２記載の複合材料。 ４．サーメット複合材料の少なくとも７０容量％が０．３μｍ以下の平均粒度を 有する請求の範囲１または２記載の複合材料。 ５．サーメットまたは超硬合金がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ，Ｔａ、Ｍｏおよび／ またはＷを基礎とする硬質相およびＣｏ、Ｎｉおよび／またはＦｅからなる結合 金属相を有する請求の範囲１から４までのいずれか１項記載の複合材料。 ６．超硬合金が相１として六方晶系のＷＣおよび相２としてＷ、Ｔｉ、Ｔａおよ び／またはＮｂからなる混合結晶の立方晶系の炭化物を有し、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ またはこれらの混合物からなる結合金属相を有する請求の範囲１から５までのい ずれか１項記載の複合材料。 ７．超硬合金がＣｏ、Ｆｅおよび／またはＮｉからなる結合金属相を有するＷＣ とＭｏＣの六方晶系の混合炭化物および／または元素Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎ ｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏおよび／またはＷの立方晶系の混合炭化物からなる請求の 範囲１、３から６までのいずれか１項記載の複合材料。 ８．結合金属相がＭｏ、Ｗおよび／またはＴｉを結合金属相の全質量に対して１ ５質量％まで有する請求の範囲１から７までのいずれか１項記載の複合材料 。 ９．結合金属相がＭｎおよび／またはＡｌを結合金属相の全質量に対して５質量 ％まで、有利には３質量％まで有する請求の範囲１から８までのいずれか１項記 載の複合材料。 10．結合金属相がＮｉ：Ａｌ比９０：１０〜７０：３０を有するＮｉ／Ａｌ合金 からなる請求の範囲９記載の複合材料。 11．結合金属相が１質量％までのホウ素（結合金属相の全質量に対して）を有す る請求の範囲１０記載の方法。 12．結合金属相がＮｉ₃Ａｌ，ＴｉＳｉ₃、Ｔｉ₂Ｓｉ₃、Ｔｉ₃Ａｌ、Ｔｉ₅Ｓｉ₃ 、ＴｉＡｌ、Ｎｉ₂ＴｉＡｌ、ＴｉＳｉ₂、ＮｉＳｉ、ＭｏＳｉ₂またはこれらの 混合物からなる請求の範囲１から１１までのいずれか１項記載の複合材料。 13．Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅおよび／または希土類金属からなる０〜１６質量％の添加 物を有する請求の範囲１２記載の複合材料。 14．結合金属相がＮｉおよびＣｒからなる請求の範囲１記載の複合材料。 15．０．０１〜５質量％の量のＭｏ、Ｍｎ、Ａｌ、ＳｉおよびＣｕの添加物を有 する請求の範囲１４記載の複合材料。 16．ＰＶＤ、ＣＶＤおよび／またはＰＣＶＤを用いて 、有利にはマイクロ波領域で被覆された１個以上の層を有する請求の範囲１から １５までのいずれか１項記載の複合材料。 17．請求の範囲１から１６までのいずれか１項に記載の複合材料を製造する方法 において、硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合によりほかの金 属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素化合物を炭素お よび／または窒素の供与体としてもっぱらそれぞれ粉末の形で成形体に予備圧縮 し、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利には圧力をかけずに、少なく とも一時的にエネルギー密度０．０１〜１０Ｗ／ｃｍ³のマイクロ波領域で反応 焼結することを特徴とする、複合材料の製造方法。 18．請求の範囲１から１６までのいずれか１項に記載の複合材料を製造する方法 において、硬質相を形成するために必要な金属、炭素および場合によりほかの金 属および金属炭化物および金属窒化物および／または固体の窒素化合物を炭素お よび／または窒素の供与体としてもっぱらそれぞれ粉末の形で成形体に予備圧縮 し、引き続き５×１０⁵Ｐａ以下の圧力下に、有利には圧力をかけずに反応焼結 することを特徴とする、複合材料の製造方法。 19．成形体を連続的にまたはパルスしてマイクロ波を少なくとも一時的に照射し および／または毎分０． １〜１０⁴℃の加熱速度で加熱する請求の範囲１７または１８記載の方法。 20．予備圧縮した成形体が場合により窒素を含有する可塑剤を有し、可塑剤が、 有利には加熱中に分解されおよび／または排出される請求の範囲１７から１９ま でのいずれか１項記載の方法。 21．窒素を含有する可塑剤が固体であり、有利にはウロトロピンまたは芳香族の 、窒素の多い複素環化合物、例えばトリアジン、ピラゾール、ポリピラゾールお よびこれらの塩である請求の範囲２０記載の方法。 22．分解および／または排出するために加熱速度が毎分１０〜１℃、有利には毎 分５℃である請求の範囲２０または２１記載の方法。 23．排出後に、加熱速度が、マイクロ波焼結の場合は毎分１０⁰℃〜１０³℃まで 、有利には毎分２０℃〜１００℃までであるか、または一般的な焼結の場合は、 １２５０℃以上の反応焼結温度まで毎分２〜２０℃までである請求の範囲１７か ら２２までのいずれか１項記載の方法。 24．マイクロ波焼結の場合に反応焼結温度が１２５０〜１７００℃、有利には１ ２５０〜１４００℃である請求の範囲１７から２３までのいずれか１項記載の方 法。 25．反応焼結を真空雰囲気、不活性ガス雰囲気または 還元性雰囲気中で行う請求の範囲１７から２４までのいずれか１項記載の方法。 26．不活性ガス雰囲気が５容量％までのＨ₂を含有するかまたは還元性雰囲気が 水素、メタンまたはこれらの混合物からなる請求の範囲２５記載の方法。 27．焼結を最大２×１０⁵Ｐａの圧力下に行う請求の範囲２５または２６に記載 の方法。 28．反応焼結に続いて中間に冷却せずにＰＶＤ、ＣＶＤまたはＰＣＶＤ被覆を施 す請求の範囲１７から２７までのいずれか１項記載の方法。 29．ガス組成の交換によりＰＶＤ、ＣＶＤまたはＰＣＶＤ被覆を施す請求の範囲 ２８記載の方法。 30．グラファイトおよび／またはカーボンブラックとしておよび／または固体の 中間相または活性炭の形で炭素を添加する請求の範囲１７から２９までのいずれ か１項記載の方法。