JP2000501874A - フラッシュeprom消去のための、電源とは独立した電流源 - Google Patents

フラッシュeprom消去のための、電源とは独立した電流源

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Abstract

(57)【要約】 フラッシュEPROMに対して、消去中に、電源の変動に影響されない一定の電界を提供するための、システムおよび方法。該システムは、複数のセクタソースドライバと、電源に影響されない定電流源とを含む。各セクタは、少なくとも1つの2進記憶素子を有する。各記憶素子は、ソースを有する。セクタソースドライバは、消去されるセクタの少なくとも1つのソースを電源に影響されない定電流源に結合する。電源に影響されない定電流源は、電源の変動に影響されない一定の電界を、トンネル酸化物にわたって提供する。これにより、2進記憶素子の消耗特性および寿命が改善される。加えて、このシステムは、短チャネル効果、電子トラップ、および種々の電圧源の使用に関する問題を解消する。

Description

【発明の詳細な説明】 フラッシュEPROM消去のための、電源とは独立した電流源 発明の分野 この発明はフラッシュEPROM装置に関し、より特定的には、その消去を改 良するための方法およびシステムに関する。 発明の背景 典型的なフラッシュEPROMメモリチップは、複数の2進記憶素子を含む。 記憶素子のアレイは、セクタに配列される。フラッシュEPROMの各セクタは 、他のセクタとは独立して消去することができる。セクタを消去する場合、その セクタ内のすべての記憶素子が消去される。 2進記憶素子は、ソースとドレインとゲートから構成される。通常、2進記憶 素子は、記憶素子のソースに定電圧を提供することによって消去される。消去中 、トンネル酸化物にわたって生成される電界は、そのトンネル酸化物に過度の応 力がかかることのないよう、一定に保たれなければならない。記憶素子のソース に、電圧電位が直接加えられると、消去の開始時に非常に高いピーク電界が生成 され、トンネル酸化物に過度の応力がかけられる。また、最高±10%の電源の 変動は一般的であり、このような変動もまた、トンネル酸化物にわたって電界の 変動を引起こしかねない。 これまで、このような問題は、電圧供給源と記憶素子のソースとの間に抵抗を 置くことによって対処された。しかし、生成される電界はやはり一定ではない。 加えて、この方法では電源の変動の問題に対処できない。この方法はまた、消去 中に生成される、ソースから基板への大量のバンド間トンネル電流の問題に対処 できない。 2進記憶素子を消去するための先の方法に付随する他の問題が、タング(Tang )等による米国特許出願連続番号第08/440,046号(「タング」)に記 載されている。タングは、2進記憶素子のトンネル酸化物にわたって 一定の電界を提供することによってこれらの間題の多くを取除くための方法を開 示している。具体的には、タングは、2進記憶素子のソースにカレントミラーを 結合して、ソースに対して定電流を提供する方法を開示している。この定電流は 、トンネル酸化物にわたって一定の電界を生成する。タングの方法はその所期の 目的についてはうまく機能するが、電源の変動の問題に対処することはできない 。 したがって、必要とされているのは、フラッシュEPROMのセクタの消去中 に、電源電圧の変動の影響を受けない、一定の電界を提供するためのシステムお よび方法である。この発明は、このような必要に対処する。 発明の概要 この発明は、フラッシュEPROMメモリチップのセクタを消去するための方 法およびシステムを提供する。消去中、トンネル酸化物にわたる電界は一定であ って、電源の変動とは独立している。特定のセクタを消去するためのシステムは 、複数のセクタソースドライバおよび電源に影響されない定電流源から構成され る。特定のセクタソースドライバは、消去すべきセクタを電源に影響されない定 電流源に選択的に結合する。定電流源は、ソースによって引出される電流を制限 して、ソースから基板へのバンド間トンネル電流を制限する。これにより、電源 に影響されない定電流源によって、消去されるべきセクタ内の各記憶素子のトン ネル酸化物にわたって、一定の電界が確実に加えられるようになる。 ここに開示するシステムおよび方法に従って、この発明は、各記憶素子のトン ネル酸化物およびソース接合部に過度の応力をかけることなくセクタを消去し、 それにより、記憶素子の耐久性を向上させる。記憶素子の消耗を減じるばかりで なく、この発明は、その特性に影響を及ぼすことなく、種々の電源を用いて使用 することができる。この発明はまた、ソースから基板への大きいバンド間トンネ ル電流の問題を取除く。加えて、トンネル酸化物内の電子トラップ問題、短チャ ネル効果、および、ソース−基板間の高ピーク電流の問題も解消できる。 図面の簡単な説明 図1は、フラッシュEPROM記憶素子を消去するための、従来の回路の概略 図である。 図1aは、フラッシュEPROM記憶素子の消去中に、より安定した電界を提 供するための、システムの概略図である。 図2は、この発明に従った、フラッシュEPROMセクタを消去するための、 電源に影響されない回路のブロック図である。 図3は、この発明に従った、電源に影響されない電流源の一実施例を示す概略 図である。 発明の説明 この発明は、フラッシュEPROMのセクタの消去に関し、その消去中、電界 が一定であって電源の変動からの影響を受けない、フラッシュEPROMのセク タの消去に関する。以下の説明は、当業者がこの発明を実行および使用すること ができるように提示されたものであり、かつ、特許出願およびその要件に関して 述べたものである。これらの好ましい実施例に対する種々の修正案が、当業者に は容易に明らかであろう。また、ここに述べた包括的原理は、他の実施例にも当 てはまるであろう。したがって、この発明は、示された実施例に限定されるもの ではなく、ここに記載する原理および特徴と矛盾しない、最も広い範囲が与えら れるものである。 図1は、フラッシュEPROM記憶素子のソースをバイアスするための、先行 技術の回路を示す概略図である。図1に示すように、この先行技術においては、 値VCCを有する電圧供給源と2進記憶素子10のソース12との間に抵抗器20 が配される。このシステムにおいては、しかし、トンネル酸化物にわたる電界は 、消去中、一定ではない。加えて、電源の変動もまた、トンネル酸化物にわたる 電界のばらつきを引き起こす。したがって、2進記憶素子上には、応力がやはり かかる。また、消去中、ソースから基板へのバンド間トンネル電流を制限または 制御するための機構が存在しない。加えて、この構成では、短チャネル効果、電 子トラップ、および種々の電圧供給源の使用という問題に対処できない。 図1aは、米国特許出願連続番号第08/440,046号に記載されている 、2進記憶素子を消去するための電流を示す。この実施例においては、ソースか ら 基板へのバンド間トンネル電流IBBが一定である限り、トンネル酸化物にわたる 電界は一定である。トンネル電流IBBは、2進記憶素子のソースに加えられる電 流ISが一定である場合に一定である。したがって、ソースに定電流を提供する ことで、一定の電界が確実に得られる。 図1aでは、カレントミラー40が記憶素子50のソース52に、安定なIS を提供する。したがって、比較的一定の電界がトンネル酸化物内に生成される。 このシステムはまた、短チャネル効果、電子トラップ、および、ソース−基板間 の高ピーク電流に関する問題を解決する。 このシステムは、上述の所期の目的のためには有効に作動するが、電源の変動 により電界が変動するという問題に対処することができない。カレントミラー4 0は、可変抵抗器46を通じて流れる電流IBによってバイアスされる。オーム の法則により、IBは、電圧供給源の電圧に依存する。典型的に、この電圧は±1 0%程度変動する。電圧供給源における変動はしたがって、IBのばらつきを引き 起こす。IBのばらつきは、IBのばらつきを引き起こす。したがって、電源におけ る変動は、トンネル酸化物にわたる電界のばらつきを引き起こす。 この発明は、一定でありかつ電源VCCの変動の影響を受けない電界を供給する ための、システムを提供する。この発明を、フラッシュEPROMのためのバイ アス電流発生器、カレントミラー、およびソースセクタセレクトドライバに関し て記載するが、当業者には、この方法およびシステムが他の種類の構成要素を使 用しても有効に動作することは、容易に理解されるであろう。したがって、ここ に記載する包括的な原理を他の実施例を作成するのに使用できることは、当業者 には理解されるであろう。 先に記載した理由により、一定でかつ電源の変動に影響されない電界は、一定 でかつ電源の影響を受けない電流をセクタの2進記憶素子のソースに提供するこ とによって、確実に得ることができる。 この発明に従った電源の変動の影響を受けない一定の電界を選択的に供給する ためのシステム90をより具体的に説明するために、ここで図2を参照されたい 。図2は、そのようなシステム90の一実施例のブロック図を示す。このブロッ ク図は、電源に影響されない定電流源100を含む。定電流源100は、フラッ シ ュのn個のセクタに、セクタソースドライバ110−1から110−nによって 選択的に結合される。好ましい実施例においては、各セクタソースドライバ11 0−iは、セクタ論理ブロック108−iと、プルアップ装置104−iおよび プッシュダウン装置106−iからなるプッシュ−プル装置とから構成される。 好ましい実施例においては、プルアップ装置104−iはPMOSトランジスタ であって、プッシュダウン装置106−iはNMOSトランジスタである。プル アップ装置104−1から104−nは、共通線112に並列に結合される。プ ッシュダウン装置106−1から106−nは、接地に並列に結合される。プッ シュ−プルの組合せの各々は、対応するセクタの2進記憶素子のソースに、ソー スノード114−iによって結合される。各セクタソースドライバ110−iは また、プルアップ装置104−iかプッシュダウン装置106−iのどちらを活 性化するかを判定するための、論理ブロック108−iを有する。 セクタを消去する際、論理ブロック108−iは、対応するプルアップ装置1 04−iを「オン」にする。このため、ソースノード114−iは、共通線11 2を介して、電源の影響を受けない電流源100に結合される。消去されないセ クタの論理ブロックは、対応するプッシュダウン装置を「オン」にし、かつ対応 するプルアップ装置を「オフ」にする。したがって、消去されないセクタのソー スノードは接地に駆動され、一方、消去されるセクタのソースノードは、電源に 影響されない定電流源100に結合される。 電源に影響されない定電流源の一実施例を、図3に、より詳細に示す。電源に 影響されない電流源100の好ましい実施例は、バイアス電流発生器200およ びカレントミラー300から構成される。バイアス電流発生器200は、電源に 影響されないバイアス電流IBIASを、抵抗器206を介して提供する。 バイアス電流発生器200は、差動増幅器202とNMOSソースホロワ20 4と抵抗器206とから構成される。抵抗器206は値Rを有する。電源に影響 されない基準電圧VREFが、差動増幅器202の非反転入力に与えられる。電源 に影響されない基準電圧を生成する手段は当業者には理解されているため、ここ で説明はしない。差動増幅器202およびソースホロワ204は、VREFにほぼ 等しい電圧を、ノード208に提供する。抵抗器206がノード208と接地と の間に結合されているため、バイアス電流IBIAS=VREF/Rが抵抗器206を介 して流れる。したがって、バイアス電流IBIASもまた、電源の変動の影響を受け ることはない。 好ましい実施例においては、IBIASは、カレントミラー300のためのバイア ス電流としての役割を果たす。カレントミラー300は、ダイオード結合された PMOSデバイス302および304から構成される。カレントミラーの出力は ソース電流ISる。IBIASあって電源の変動に影響されないため、ISもまた一定 であり電源の変動の影響を受けない。ソース電流ISは線112に供給され、線 112は、図2に示すように、消去されるセクタのソースに選択的に結合される 。セクタのソースに一定でありかつ電源に影響されない電流ISが提供されるた め、ソースから基板へのバンド間のトンネル電流は、一定の、予測可能な方法で 制限される。したがって、生成される電界もまた、一定でありかつ電源の変動の 影響を受けることはない。 当業者には、バイアス電流IBIASに対するソース電流Isの比率が、装置30 4の形状係数に対する装置302の形状係数の比率に依存することが理解される であろう。したがって、Is/IBIAS=S304/S302であり、ここでSjは装置j の形状係数である。 消去中にソースセクタをバイアスするのに、電源に影響されない電流源を使用 することで、以下のような顕著な利点が得られる。第1に、電流源が電源の変動 とは独立しているため、ソース電流Isは一定の、予測可能な方法で制限される 。ソースから基板へのバンド間のトンネル電流もまたしたがって、制御された、 予測可能な方法で制限される。したがって、トンネル酸化物にわたる電界は一定 となり、電源の変動の影響を受けることはない。このため、トンネル酸化物に過 度の応力がかけられることはなく、記憶素子の耐久性が改善される。 第2に、セクタの2進記憶素子を消去するのに、種々の値を有する電圧供給源 を使用することができる。電界はISによって一定に保たれるため、消去電圧を 提供するのに使用される電圧供給源を上下に傾斜させる必要はない。加えて、出 願連続番号第08/440,046号に記載されるように、この発明は、短チャ ネル効果、トンネル酸化物における電子トラップ、および大きい傾斜段による問 題にも対処できる。 以上に、セクタのソースに対して、消去中に、一定でありかつ電源に影響され ない電流を提供するための、方法およびシステムについて説明した。このシステ ムは、トンネル酸化物にわたって一定でかつ電源の影響を受けない電界を提供し て、フラッシュEPROMの耐久性、精密度および信頼性を向上させる。 この発明を、実施例を示しそれに従って説明したが、当業者には、それらの実 施例に変更が加えられ得ること、および、それらの変更がこの発明の精神および 範囲内であることは、容易に理解されるであろう。したがって、添付の請求の範 囲で述べられた精神および範囲から離れることなく、多くの修正が当業者によっ てなされ得るであろう。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】1997年10月16日(1997.10.16) 【補正内容】 明細書 フラッシュEPROM消去のための、電源とは独立した電流源 発明の分野 この発明はフラッシュEPROM装置に関し、より特定的には、その消去を改 良するための方法およびシステムに関する。 発明の背景 Symposium on VLSI Circuits,4−6 June 1992の第22頁から第23頁に記 載の、ナカヤマ等による、「5Vの、セクタのみ消去可能なフラッシュメモリの ための、新しいデコーディング方法および消去シーケンス(“A new decodingsc heme and erase sequence for 5V only sector erasable flash memory”)」は 、フラッシュEPROMに対して消去中に電界を提供するための公知のシステム について説明している。 IEICET ransactions on Electronics,vol e77c,no 5,May 1994 の第791 頁から798頁に記載の、アツミシゲル等による、「セクタ消去動作のための新 しいセルフデータリフレッシュ方式を有する、16-Mb フラッシュEEPR OM(“A 16-Mb FLASH EEPROM with a new self-data refresh scheme for ase ctor erase operation”)」は、選択されないセクタのセルに対するドレイン妨 害問題を克服するためにセルフデータリフレッシュ方式を有する、先行技術によ るフラッシュEEPROMについて説明している。 EP−A−0 668 593号は、不揮発性メモリセルの消去段階のための 、先行技術による調整回路および方法を開示している。 典型的なフラッシュEPROMメモリチップは、複数の2進記憶素子を含む。 記憶素子のアレイは、セクタに配列される。フラッシュEPROMの各セクタは 、他のセクタとは独立して消去することができる。セクタを消去する場合、その セクタ内のすべての記憶素子が消去される。 2進記憶素子は、ソースとドレインとゲートから構成される。通常、2進記憶 素子は、記憶素子のソースに定電圧を提供することによって消去される。消去中 、トンネル酸化物にわたって生成される電界は、そのトンネル酸化物に過度の応 力がかかることのないよう、一定に保たれなければならない。記憶素子のソース に、電圧電位が直接加えられると、消去の開始時に非常に高いピーク電界が生成 され、トンネル酸化物に過度の応力がかけられる。また、最高±10%の電源の 変動は一般的であり、このような変動もまた、トンネル酸化物にわたって電界の 変動を引起こしかねない。 これまで、このような問題は、電圧供給源と記憶素子のソースとの間に抵抗を 置くことによって対処された。しかし、生成される電界はやはり一定ではない。 加えて、この方法では電源の変動の問題に対処できない。この方法はまた、消去 中に生成される、ソースから基板への大量のバンド間トンネル電流の問題に対処 できない。 2進記憶素子を消去するための先の方法に付随する他の問題が、タング(Tang )等による米国特許出願連続番号第08/440,046号(「タング」)に記 載されている。タングは、2進記憶素子のトンネル酸化物にわたって一定の電界 を提供することによってこれらの問題の多くを取除くための方法を開示している 。具体的には、タングは、2進記憶素子のソースにカレントミラーを結合して、 ソースに対して定電流を提供する方法を開示している。この定電流は、トンネル 酸化物にわたって一定の電界を生成する。タングの方法はその所期の目的につい てはうまく機能するが、電源の変動の問題に対処することはできない。 したがって、必要とされているのは、フラッシュEPROMのセクタの消去中 に、電源電圧の変動の影響を受けない、一定の電界を提供するためのシステムお よび方法である。この発明は、このような必要に対処する。 発明の概要 第1の局面に従えば、この発明は、フラッシュEPROMに対して、消去中に 、電源の変動に影響されない一定の電界を提供するための、システムを提供する 。このシステムにおいて、フラッシュEPROMは複数のセクタを含み、その各 々は少なくとも1つの2進記憶素子をその中に有し、各2進記憶素子はソースを 有 し、上記システムは、 消去が行なわれる特定のセクタの少なくとも1つのソースに対して一定でかつ 電源に影響されない電流を提供し、それにより、電源の変動に影響されない一定 の電界を生成するための、電源に影響されない定電流源と、 消去が行なわれる特定のセクタの少なくとも1つのソースに対して電源に影響 されない定電流源を選択的に結合するための複数のセクタソースドライバとを含 み、 電源に影響されない定電流源がさらに、 一定でかつ電源に影響されないバイアス電流を提供するためのバイアス電流発 生器と、 バイアス電流発生器に結合されたカレントミラーとを含み、カレントミラーが 入力として、一定でかつ電源に影響されないバイアス電流を有することを特徴と する、システムである。 第2の局面に従えば、この発明は、フラッシュEPROMに対して消去中に、 電源の変動に影響されない一定の電界を提供するための方法を提供する。ここで 、フラッシュEPROMは複数のセクタを含み、各セクタは少なくとも1つの2 進記憶素子を有し、各2進記憶素子はソースを有し、上記方法は、 一定でかつ電源に影響されない電流を提供するステップと、その一定でかつ電 源に影響されない電流を消去が行われるセクタの少なくとも1つのソースに選択 的に結合し、それにより、電源の変動に影響されない一定の電界を生成するステ ップとを含み、上記方法は、 一定でかつ電源に影響されないバイアス電流をカレントミラーに提供し、それ により、一定でかつ電源に影響されない電流を生成するステップを含むことを特 徴とする、方法である。 ここに開示するシステムおよび方法に従って、この発明は、各記憶素子のトン ネル酸化物およびソース接合部に過度の応力をかけることなくセクタを消去し、 それにより、記憶素子の耐久性を向上させる。記憶素子の消耗を減じるばかりで なく、この発明は、その特性に影響を及ぼすことなく、種々の電源を用いて使用 することができる。この発明はまた、ソースから基板への大きいバンド間トンネ ル電流の問題を取除く。加えて、トンネル酸化物内の電子トラップ問題、短チャ ネル効果、および、ソース−基板間の高ピーク電流の問題も解消できる。 図面の簡単な説明 図1は、フラッシュEPROM記憶素子を消去するための、従来の回路の概略 請求の範囲 1.フラッシュEPROMに対して消去中に、電源の変動に影響されない一定の 電界を提供するためのシステム(90)であって、フラッシュEPROMは複数 のセクタを含み、各セクタはその中に少なくとも1つの2進記憶素子を有し、各 2進記憶素子はソースを有し、前記システムは、 消去が行なわれる特定のセクタの少なくとも1つのソースに対して一定であり かつ電源に影響されない電流を提供して、それにより、電源の変動に影響されな い一定の電界を生成するための、電源に影響されない定電流源(100)と、 電源に影響されない定電流源を消去される特定のセクタの少なくとも1つのソ ースに選択的に結合するための複数のセクタソースドライバ(110−1から1 10−n)とを含み、 前記電源に影響されない定電流源(100)がさらに、 一定でかつ電源に影響されないバイアス電流を提供するためのバイアス電流発 生器(200)と、 バイアス電流発生器(200)に結合されたカレントミラー(300)とを含 み、カレントミラーが入力として、一定でかつ電源に影響されないバイアス電流 を有することを特徴とする、システム(90)。 2.前記一定でありかつ電源に影響されない電流は、前記一定でありかつ電源に 影響されないバイアス電流の倍数である、請求項1に記載のシステム。 3.前記バイアス電流発生器(200)はさらに、 差動増幅器(202)を含み、差動増幅器は入力として電源に影響されない基 準電圧を有し、さらに、 ソースホロワ装置(204)を含む、請求項1または2に記載のシステム。 4.前記複数のセクタソースドライバ(110−1から110−n)の各々はさ らに、 対応のセクタの少なくとも1つのソースが電源に影響されない定電流源に結合 されるべきかどうかを判定するための論理回路(108−i)と、 論理回路に結合されたプッシュ−プルの組合せ(104−i,106−i)と を含み、プッシュ−プルの組合せは、論理回路からの信号に応答して、対応のセ クタの少なくとも1つのソースを電源に影響されない定電流源に選択的に結合し 、プッシュ−プルの組合せはプルアップ装置(104−i)およびプッシュダウ ン装置(106−i)を有する、請求項1に記載のシステム。 5.消去が行なわれる特定のセクタに対応するセクタドライバ(110−i)の 論理回路(108−i)は、結合されたプルアップ装置(104−i)を「オン 」にして、それにより、消去が行なわれるセクタを電源に影響されない定電流源 に結合し、さらに、 消去が行なわれない特定のセクタに対応するセクタソースドライバの論理回路 (108−i)は、結合されたプッシュダウン装置(106−i)を「オン」に しかつ結合されたプルアップ装置を「オフ」にして、それにより、消去が行なわ れないセクタを接地に結合する、請求項4に記載のシステム。 6.フラッシュEPROMに対して消去中に電源の変動に影響されない一定の電 界を提供するための方法であって、フラッシュEPROMは複数のセクタを含み 、各セクタは少なくとも1つの2進記憶素子を有し、各2進記憶素子はソースを 有し、前記方法は、 一定でかつ電源に影響されない電流(200)を提供するステップと、 一定で電源に影響されない電流を消去が行なわれるセクタの少なくとも1つの ソースに選択的に結合し、それにより、電源の変動に影響されない一定の電界を 生成するステップとを含み、 上記方法は、 一定でかつ電源に影響されないバイアス電流をカレントミラー(300)に提 供し、それにより、一定でかつ電源に影響されない電流を生成するステップを含 むことを特徴とする、方法。 7.一定でかつ電源に影響されない電流は、一定でかつ電源に影響されないバイ アス電流の倍数である、請求項6に記載の方法。 8.電源に影響されない基準電圧をソースホロワに結合された差動増幅器に提供 し、それにより、電源に影響されないバイアス電流を提供するステップをさらに 含む、請求項6に記載の方法。 9.前記複数のセクタの各々が消去されるかどうかを判定するステップと、 消去される特定のセクタに結合されたプルアップ装置(104−i)を「オン 」にして、それにより、一定でかつ電源に影響されない電流を消去が行なわれる セクタの少なくとも1つのソースに選択的に結合するステップと、 消去が行なわれない特定のセクタに結合されたプッシュダウン装置(106− i)を「オン」にして、それにより、消去が行われないセクタを接地に結合する ステップとをさらに含む、請求項6に記載の方法。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユウ,ジェイムズ アメリカ合衆国、95120 カリフォルニア 州、サン・ノゼ、バレィ・クエイル・サー クル、1134

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.フラッシュEPROMに対して消去中に、電源の変動に影響されない一定の 電界を提供するためのシステムであって、フラッシュEPROMは複数のセクタ を含み、各セクタはその中に少なくとも1つの2進記憶素子を有し、各2進記憶 素子はソースを有し、前記システムは、 消去が行なわれる特定のセクタの少なくとも1つのソースに対して一定であり かつ電源に影響されない電流を提供して、それにより、電源の変動に影響されな い一定の電界を生成するための、電源に影響されない定電流源と、 電源に影響されない定電流源を消去される特定のセクタの少なくとも1つのソ ースに選択的に結合するための複数のセクタソースドライバとを含む、システム 。 2.前記電源に影響されない定電流源はさらに、 一定でありかつ電源に影響されないバイアス電流を提供するためのバイアス電 流発生器と、 バイアス電流発生器に結合されたカレントミラーとを含み、カレントミラーは 入力として一定でありかつ電源に影響されないバイアス電流を有する、請求項1 に記載のシステム。 3.前記一定でありかつ電源に影響されない電流は、前記一定でありかつ電源に 影響されないバイアス電流の倍数である、請求項2に記載のシステム。 4.前記バイアス電流発生器はさらに、 差動増幅器を含み、差動増幅器は入力として電源に影響されない基準電圧を有 し、さらに、 ソースホロワ装置を含む、請求項2に記載のシステム。 5.前記複数のセクタソースドライバの各々はさらに、 対応のセクタの少なくとも1つのソースが電源に影響されない定電流源に結合 されるべきかどうかを判定するための論理回路と、 論理回路に結合されたプッシュ−プルの組合せとを含み、プッシュ−プルの組 合せは、論理回路からの信号に応答して、対応のセクタの少なくとも1つのソー スを電源に影響されない定電流源に選択的に結合し、プッシュ−プルの組合せは プルアップ装置およびプッシュダウン装置を有する、請求項1に記載のシステム 。 6.消去が行なわれる特定のセクタに対応するセクタソースドライバの論理回路 は、結合されたプルアップ装置を「オン」にして、それにより、消去が行なわれ るセクタを電源に影響されない定電流源に結合し、さらに、 消去が行なわれない特定のセクタに対応するセクタソースドライバの論理回路 は、結合されたプッシュダウン装置を「オン」にしかつ結合されたプルアップ装 置を「オフ」にして、それにより、消去が行なわれないセクタを接地に結合する 、請求項5に記載のシステム。 7.フラッシュEPROMに対して消去中に電源の変動に影響されない一定の電 界を提供するための方法であって、フラッシュEPROMは複数のセクタを含み 、各セクタは少なくとも1つの2進記憶素子を有し、各2進記憶素子はソースを 有し、前記方法は、 一定でかつ電源に影響されない電流を提供するステップと、 一定で電源に影響されない電流を消去が行なわれるセクタの少なくとも1つの ソースに選択的に結合し、それにより、電源の変動に影響されない一定の電界を 生成するステップとを含む、方法。 8.一定でかつ電源に影響されないバイアス電流をカレントミラーに提供し、そ れにより、一定で電源に影響されない電流を生成するステップをさらに含む、請 求項7に記載の方法。 9.一定でかつ電源に影響されない電流は、一定でかつ電源に影響されないバイ アス電流の倍数である、請求項8に記載の方法。 10.電源に影響されない基準電圧をソースホロワに結合された差動増幅器に提 供し、それにより、電源に影響されないバイアス電流を提供するステップをさら に含む、請求項8に記載の方法。 11.前記複数のセクタの各々が消去されるかどうかを判定するステップと、 消去される特定のセクタに結合されたプルアップ装置を「オン」にして、それ により、一定でかつ電源に影響されない電流を消去が行なわれるセクタの少なく とも1つのソースに選択的に結合するステップと、 消去が行なわれない特定のセクタに結合されたプッシュダウン装置を「オン」 にして、それにより、消去が行われないセクタを接地に結合するステップとをさ らに含む、請求項7に記載の方法。
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