JP2000340718A - 電力用半導体装置 - Google Patents
電力用半導体装置Info
- Publication number
- JP2000340718A JP2000340718A JP15126099A JP15126099A JP2000340718A JP 2000340718 A JP2000340718 A JP 2000340718A JP 15126099 A JP15126099 A JP 15126099A JP 15126099 A JP15126099 A JP 15126099A JP 2000340718 A JP2000340718 A JP 2000340718A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- power semiconductor
- exposed
- resin
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19107—Disposition of discrete passive components off-chip wires
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
樹脂を充填した電力用半導体装置における前記電極端子
間の沿面距離を短くし、前記枠体の小型化を図った。 【解決手段】 上側開口部1bの開口端面1cからイン
サートされた電極端子6、6Aが露出すると共に、上側
開口部1bの外周端縁に全周にわたって開口端面1cよ
りも突出した突起1dが形成された構成のケース1に、
内包された電力用半導体素子4を封止すべく上側開口部
1bから注型樹脂9を充填するに際して、突起1dを溢
流防止壁として注型樹脂9を充填し、電極端子6、6A
の露出部周辺を覆う注型樹脂9の薄層9aを形成し、耐
トラッキング性を改善して電極端子6、6Aの隣合う露
出部間の沿面距離を短く形成可能にした。
Description
サートされた枠体内に熱硬化性樹脂を充填し、電力用半
導体素子を樹脂封止した電力用半導体装置の改良に関す
るものである。
である。図において、11はこの半導体装置のパッケー
ジを構成するケースで、半導体素子101を載置した絶
縁基板102が放熱板103に接合されると共に、ケー
ス11が放熱板103上に半導体素子101を囲繞する
ように接着によって固定されている。12および13は
全体がそれぞれ断面略L字状に形成された電極端子で、
その一端をケース11の内側底部に露出させると共に他
端をケース11の上側へ突出させた状態でケース11内
に一体的に埋設されている。
電極端子12、13の一端と半導体素子101上の電極
とをボンディングにより接続している。さらに、ケース
11内は下側に充填剤10aが、上側に充填剤10bが
充填され、ケース11の上側開口部を封止している。
端子12、13がケース11に埋設されて固定され、か
つ電極端子12、13と絶縁基板102とが金属ワイヤ
14、15のみによって接続される構造である。
およびコスト低減のために、熱可塑性樹脂を用いて射出
成形により製造されるのが一般的である。
置は以上のように構成されているので、熱可塑性樹脂で
成形された枠体としてのケース11の耐トラッキング性
が比較的低く、電極端子としての隣合う電極端子12間
の沿面距離を比較的長寸法に形成する必要があり、枠体
としてのケース11の小形化を阻害するなどの問題点が
あった。
ためになされたものであり、電極端子間の距離を短くで
き、結果的に小型化された電力用半導体装置を提供する
ことを目的とする。
半導体装置は、両端に開口部を有し、一方の開口部が電
力用半導体素子を搭載した基板で塞がれ、前記電力用半
導体素子を囲繞する筒状の枠体と、該枠体にインサート
され、一端が前記枠体の内壁側に露出して前記電力用半
導体素子と接続されると共に他端が他方の開口部の開口
端面に外部接続可能に露出した電極端子と、前記電力用
半導体素子を封止すべく前記他方の開口部を密閉する封
止樹脂とを備えた電力用半導体装置において、前記枠体
は前記他方の開口部の外周端縁に前記開口端面における
前記電極端子の露出部周辺よりも突出した壁部が形成さ
れ、前記封止樹脂は前記壁部を溢流防止壁として前記電
極端子の露出部周辺を覆う薄層を形成するように充填さ
れたものである。
1の発明に係る電力用半導体装置において、枠体が熱可
塑性樹脂にて成形され、封止樹脂がエポキシ系の注型用
熱硬化性樹脂であるものである。
1または第2の発明に係る電力用半導体装置において、
電極端子が露出し、封止樹脂にて覆われた開口端面と内
壁面とが交差する他方の開口部の内周端縁が曲面状に面
取りされたものである。
形態1としての電力用半導体装置を図1乃至図2により
説明する。図1は実施の形態1としての電力用半導体装
置の断面図、図2は図1に示した電力用半導体装置のケ
ースにおける外部露出端子が露出した開口端面の近傍を
拡大した断面図である。
ケージを構成する両端が開口した枠体としてのケースで
あり、熱可塑性樹脂であるPPS(ポリフェニレンサル
ファイト)を用いて射出成形により得たものである。ケ
ース1は、一方の開口部としての下側開口部1a、他方
の開口部としての上側開口部1b、上側開口部1bに形
成された開口端面1c、上側開口部1bの外周端縁の全
周にわたって形成された壁部1dを備える。そして、図
2より明らかのように開口端面1cと内壁面1eとが交
差する内周端縁1fは曲率半径3mm以上の曲面状に面
取りされている。
ベース板、3は表主面上に回路パターン(図示せず)が
形成され、該回路パターン上に電力半導体素子4や回路
構成に必要なダイオードや抵抗器等からなる電子部材5
が実装されると共に、裏主面が金属ベース板2の主面上
に固着された絶縁基板としての電力回路基板である。な
お、金属ベース板2および電力回路基板3により所謂基
板を構成しており、また、ケース1の下側開口部1aの
内周に金属ベース板2を嵌挿し、金属ベース板2の外周
縁を接着により下側開口部1aの内周に嵌着し、下側開
口部1aを金属ベース板2で塞いでいる。また、電力半
導体素子4は金属ブロック4Aを介して電力回路基板3
に載置されている。
力半導体素子4や電子部材5と外部回路とを接続する電
極端子であり、その下端が内壁面1eから露出し、上端
が開口端面1cから外部へ露出している。7は電力半導
体素子4、電子部材5と電極端子6、6Aの下端との間
を接続するボンディングワイヤであり、Al細線の他、
Au細線が用いられる。
う、注型樹脂9よりも柔軟性、弾力性、良好な熱伝導
性、電気的絶縁性を備えたポッティング樹脂であり、電
力半導体素子4を包むように局部的にポッティングす
る。9はケース1と電力回路基板3とで区画される領域
に充填された封止樹脂としての熱硬化性樹脂であるエポ
キシ系の注型樹脂であり、上側開口部1bから注入さ
れ、加熱硬化により、ポッティング樹脂8で包まれた電
力半導体素子4や電子部材5等に関し、気密性、耐湿
性、電気的絶縁性等の必要な性能を得る。
素子4を封止すべく上側開口部1bから注型樹脂9を充
填するに際して、電力半導体素子4をポッティング樹脂
8で包むようにポッティングし、ポッティング樹脂8を
キュアした後、壁部1dを溢流防止壁として注型樹脂9
を充填して加熱硬化し、電極端子6、6Aの露出部周辺
を覆う注型樹脂9による薄層9aを開口端面1c上に形
成する。この結果、前記露出部周辺の耐トラッキング性
が、注型樹脂の薄層を形成しない従来のものに比し著し
く向上する。
型樹脂9の場合には、CTI(Contaminet Track Inde
x)>600V(RMS)のものが容易に得られるが、熱可
塑性樹脂であるPPS(ポリフェニレンサルファイト)
系のケース1の成形樹脂の場合には、CTI>125〜
225V(RMS)程度(何れも試験法IEC-122による)で
あり、耐トラッキング指数が大きく異なる。例えば、常
時、200V(RMS)程度の電圧が印加される環境で
は、前記熱可塑性樹脂を用いた場合には2mm以上の沿
面距離を必要とするが、前記熱硬化性樹脂を用いた場合
には1mm程度の沿面距離を備えればよい(UL840
テーブル6.1に基づく)。
の隣合う端子の露出部間、および電極端子6、6Aの露
出部とその他の露出充電部(図示せず)や接地部(図示
せず)間に必要な沿面距離は、絶縁に有害な塵埃や湿度
等に関する雰囲気条件等により異なるが、電極端子6、
6Aの露出部周辺の沿面を覆うようにエポキシ系の熱硬
化性樹脂である注型樹脂9の薄層9aを形成することに
よって、耐トラッキング性が著しく向上し、前記露出部
間の沿面距離をより短くできるものが得られる。
グ性が低い熱可塑性樹脂製のケース1の開口端面1cか
ら露出していたので、比較的長寸法の沿面距離が必要で
あり、その結果として、電力用半導体装置の外形寸法が
大きかったが、実施の形態1のように開口端面1cを耐
トラッキング性の優れた熱硬化性の注型樹脂9で覆うこ
とにより耐トラッキング性が著しく向上するので電極端
子6、6Aの露出部における隣合う端子間の沿面距離、
即ち幅寸法を従来の1/2以下に形成でき、結果的に、
電力用半導体装置の小型化および低コスト化を図ること
ができる。
面1cを覆う注型樹脂9の薄層9aの層厚は、通常、約
1mm厚さ程度に形成するが、より薄くても耐トラッキ
ング性の向上を図れる。一方、熱硬化性の注型樹脂9
は、突起した角部が存在すると、この角部に加熱硬化に
より応力が集中して薄層9aの前記角部近傍にクラック
等が発生する。しかし、電極端子6、6Aの立上げ面で
ある開口端面1cと内壁面1eとが交差する内周端縁1
fにおいては曲率半径3mm以上の曲面状に面取りを行
ったので、内周端縁1f近傍の注型樹脂9の加熱硬化に
よる応力集中を緩和でき、クラック等が生じる恐れのな
い電力用半導体装置を得ることができる。
面1cを覆う注型樹脂9の層厚が約1mm厚さ程度の場
合に内周端縁1fの曲率半径を3mm以上に形成した
が、前記層厚と前記曲率半径とは逆比例の関係にあり、
前記層厚をより薄く形成する場合においても前記曲率半
径をより大きく形成することによりクラック等が生じる
恐れのない電力用半導体装置を得ることができる。
されているので、以下に記載されるような効果を奏す
る。
た基板で前記電力用半導体素子を囲繞するように塞が
れ、電極端子がインサートされ、他方の開口部の開口端
面より前記電極端子が外部接続可能に露出すると共に前
記電力用半導体素子を封止すべく前記他方の開口部を封
止樹脂で密閉した構成の枠体における、前記他方の開口
部の外周端縁に前記開口端面における前記電極端子の露
出部周辺よりも突出した壁部を形成し、前記壁部を溢流
防止壁として前記電極端子の露出部周辺を覆う薄層を形
成するように前記封止樹脂を充填したので、即ち、前記
封止樹脂の上部で前記開口端面を覆う極めて簡単な構成
で、前記枠体の素材の耐トラッキング性に関係なく前記
電極端子の露出部周辺の表面の耐トラッキング性を改善
でき、結果的に複数の前記電極端子におけるそれらの露
出部間の沿面距離を短く形成でき、小型化された電力用
半導体装置が得られる。
止樹脂として耐トラッキング性の優れた熱硬化性の注型
樹脂を用いたので、小型で安価な電力用半導体装置を得
られる。
覆われた開口端面と内壁面とが交差する他方の開口部の
内周端縁が曲面状に面取りされたので、前記封止樹脂の
局部的な応力集中の発生を緩和でき、前記封止樹脂にク
ラック等のトラブルの発生の恐れのない高信頼性の電力
用半導体装置が得られる。
体装置の断面図である。
ける外部露出端子が露出した開口端面の近傍を拡大した
断面図である。
c 開口端面、1d 壁部、1e 内壁面、1f 内周
端縁、2 金属ベース板、3 電力回路基板、4電力半
導体素子、6、6A 電極端子、8 ポッティング樹
脂、9 注型樹脂、9a 薄層
Claims (3)
- 【請求項1】 両端に開口部を有し、一方の開口部が電
力用半導体素子を搭載した基板で塞がれ、前記電力用半
導体素子を囲繞する筒状の枠体と、該枠体にインサート
され、一端が前記枠体の内壁側に露出して前記電力用半
導体素子と接続されると共に他端が他方の開口部の開口
端面に外部接続可能に露出した電極端子と、前記電力用
半導体素子を封止すべく前記他方の開口部を密閉する封
止樹脂とを備えた電力用半導体装置において、前記枠体
は前記他方の開口部の外周端縁に前記開口端面における
前記電極端子の露出部周辺よりも突出した壁部が形成さ
れ、前記封止樹脂は前記壁部を溢流防止壁として前記電
極端子の露出部周辺を覆う薄層を形成するように充填さ
れたことを特徴とする電力用半導体装置。 - 【請求項2】 枠体は熱可塑性樹脂にて成形され、封止
樹脂はエポキシ系の注型用熱硬化性樹脂であることを特
徴とする請求項1記載の電力用半導体装置。 - 【請求項3】 電極端子が露出し、封止樹脂にて覆われ
た開口端面と内壁面とが交差する他方の開口部の内周端
縁が曲面状に面取りされたことを特徴とする請求項1ま
たは請求項2に記載の電力用半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15126099A JP3797021B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 電力用半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15126099A JP3797021B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 電力用半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000340718A true JP2000340718A (ja) | 2000-12-08 |
JP3797021B2 JP3797021B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=15514784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15126099A Expired - Lifetime JP3797021B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 電力用半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3797021B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003243609A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 電力半導体装置及びその製造方法 |
JP2004273570A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
JP2008053586A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Daikin Ind Ltd | パワーモジュール |
JP2009200415A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2010127756A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Yaskawa Electric Corp | 真空用エンコーダセンサおよびそれを備えた真空用モータ |
JP2011509525A (ja) * | 2008-01-10 | 2011-03-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電子部品及び電子部品を製造する方法 |
CN105706230A (zh) * | 2013-11-07 | 2016-06-22 | 贺利氏德国有限两合公司 | 具有覆盖半导体构件的由水泥构成的包封物料的半导体模块 |
JP2017520111A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-07-20 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 少なくとも1つの半導体部品を覆う封止化合物を含む半導体モジュール |
JP2018098442A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2018206825A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 新電元工業株式会社 | 電子モジュール |
WO2020094411A1 (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-14 | Danfoss Silicon Power Gmbh | Mold tool for molding a semiconductor power module with top-sided pin connectors and method of manufacturing such a semiconductor power module |
JP2021052151A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
-
1999
- 1999-05-31 JP JP15126099A patent/JP3797021B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003243609A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 電力半導体装置及びその製造方法 |
JP2004273570A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
JP2008053586A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Daikin Ind Ltd | パワーモジュール |
JP2011509525A (ja) * | 2008-01-10 | 2011-03-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電子部品及び電子部品を製造する方法 |
EP2243342B1 (de) * | 2008-01-10 | 2019-03-20 | Robert Bosch GmbH | Elektronisches bauteil und verfahren zur herstellung des elektronischen bauteiles |
JP2009200415A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2010127756A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Yaskawa Electric Corp | 真空用エンコーダセンサおよびそれを備えた真空用モータ |
KR101931005B1 (ko) * | 2013-11-07 | 2018-12-19 | 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게 | 반도체 부품을 덮어 봉지하는 시멘트 물질이 구비된 반도체 모듈 |
CN105706230A (zh) * | 2013-11-07 | 2016-06-22 | 贺利氏德国有限两合公司 | 具有覆盖半导体构件的由水泥构成的包封物料的半导体模块 |
JP2016535464A (ja) * | 2013-11-07 | 2016-11-10 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 半導体部品を覆う封止セメント材を有する半導体モジュール |
US10685894B2 (en) | 2013-11-07 | 2020-06-16 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Semi-conductor module with an encapsulating cement mass that covers a semi-conductor component |
KR101899740B1 (ko) * | 2014-06-18 | 2018-09-17 | 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게 | 적어도 하나의 반도체 소자를 덮는 코팅 재료를 포함하는 반도체 모듈 |
US10593608B2 (en) | 2014-06-18 | 2020-03-17 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Semiconductor module comprising an encapsulating compound that covers at least one semiconductor component |
JP2017520111A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-07-20 | ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー | 少なくとも1つの半導体部品を覆う封止化合物を含む半導体モジュール |
JP2018098442A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2018206825A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 新電元工業株式会社 | 電子モジュール |
WO2020094411A1 (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-14 | Danfoss Silicon Power Gmbh | Mold tool for molding a semiconductor power module with top-sided pin connectors and method of manufacturing such a semiconductor power module |
CN112969563A (zh) * | 2018-11-07 | 2021-06-15 | 丹佛斯硅动力有限责任公司 | 用于模制具有顶侧引脚连接器的半导体功率模块的模制工具和制造这种半导体功率模块的方法 |
CN112969563B (zh) * | 2018-11-07 | 2023-06-30 | 丹佛斯硅动力有限责任公司 | 用于模制半导体功率模块的模制工具和方法 |
JP2021052151A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP7262356B2 (ja) | 2019-09-26 | 2023-04-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3797021B2 (ja) | 2006-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3797021B2 (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP4465906B2 (ja) | パワー半導体モジュール | |
US11362008B2 (en) | Power semiconductor module embedded in a mold compounded with an opening | |
JP2003258141A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP6797951B2 (ja) | パワー半導体モジュール装置及びその製造方法 | |
JP3533159B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4967701B2 (ja) | 電力半導体装置 | |
KR20200011890A (ko) | 중첩 전기 전도성 영역을 갖는 반도체 패키지 및 그 제조 방법 | |
KR930004247B1 (ko) | 수지밀봉형 반도체장치 | |
JPS6394645A (ja) | 電子装置 | |
US20050161778A1 (en) | Power module and power module assembly | |
US20220310536A1 (en) | Housing, semiconductor module and methods for producing the same | |
JPH09237869A (ja) | 樹脂封止型パワーモジュール装置及びその製造方法 | |
CN210182363U (zh) | 半导体模块 | |
JP7131436B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010219385A (ja) | 半導体装置 | |
US20230420271A1 (en) | Semiconductor power module and method for manufacturing a semiconductor power module for a semiconductor device and semiconductor device | |
JP2000208655A (ja) | 電子部品内蔵モジュ―ル | |
JP7479307B2 (ja) | 半導体装置 | |
EP3806142A1 (en) | Semiconductor module and method for producing the same | |
CN116705747A (zh) | 芯片封装结构和芯片封装方法 | |
JPH0638352Y2 (ja) | 電磁リレー | |
JP2549633Y2 (ja) | パワーモジュール | |
JPH05166970A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6314466Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040625 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060410 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3797021 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110428 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |