JP2000334621A - 工作機械の加工域にワークを正確に位置決めするホルダ - Google Patents

工作機械の加工域にワークを正確に位置決めするホルダ

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    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
    • B23H11/003—Mounting of workpieces, e.g. working-tables

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄溶液の圧力で悪影響を受けず、加工域を
制限することのない改善されたワークのホルダを提供す
る。 【解決手段】 下部7にホルダを固定するための調整ね
じ3,4およびばねセット5,6と、ワークを保持するための
掴み9,11をもつ精密万力8とを有して放電加工機の加工
域にワークを正確に位置決めするためのホルダ。ワーク
を放電加工する際の変動する洗浄溶液圧力に対してホル
ダの位置決め精度が損なわれないようにすべく、ホルダ
およびワークの少なくとも一方に、少なくとも１つの振
動緩衝器を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械、特に放
電加工機の加工域にワークを正確に位置決めするための
ホルダに関し、このホルダは、堅い支持構造へ固定する
ための固定要素と、ワークを保持するためのホルダ部分
とを有する。
【０００２】
【従来の技術】ワークを放電加工する場合、所望の加工
精度に悪影響が出ないように、ワークの切断で生じた微
細粒子を直接の加工域から完全に除去する必要がある。
この微細粒子の除去には、通常は水溶性で加工域のワー
クに向けられる洗浄液が用いられる。放電加工の切断速
度が増すに伴って、除去すべき微細粒子の量も増加し、
これを除去するのに、洗浄溶液の圧力を高めざるを得な
くなる。
【０００３】放電加工の過程は、例えば切断電極の形態
の放電電極がワークに接触しないので、ワークに外力が
加わることなく進行するから、ワークの位置に悪影響が
出ることはない。しかし、高圧で通常、正確には一定で
ない洗浄溶液の圧力が、ワークに作用して、ワークおよ
びこれを保持するホルダに振動を生じさせ、それによっ
て、ワークの位置精度、ひいてはワーク加工の仕上がり
精度が損なわれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような問題の解決
策として、通常要求される強度以上にホルダの質量(重
さ)を増やすことが考えられる。ところが、これによっ
てホルダが取り扱いにくくなったり、加工域が制限され
たりする。
【０００５】ドイツ国特許公開公報DE-A-4139272号で
は、非金属材料からなる充填物で覆われた支持体をもつ
切欠き付きのブロックが知られている。この非金属材料
は、音と振動を緩衝する役割を果たす。
【０００６】本発明の目的は、洗浄溶液の圧力で悪影響
を受けず、加工域を制限することのない改善されたホル
ダを提供することにある。
【０００７】
【本発明の構成、作用、効果】上記目的を達成するため、
本発明は、冒頭で述べたホルダに、少なくとも１つの振
動緩衝器を備えたことを特徴とする。これによって、洗
浄溶液からワークおよびこのワークのホルダに伝わる振
動エネルギが、吸収されてワークの位置精度が損なわれ
なくなる。さらに、本発明のホルダでは、振動緩衝器を
加工域の外に設けることができるので、加工域が制限さ
れない。
【０００８】相対振動する２つの部分がある場合、本発
明の好ましい実施の形態では、第１種の振動緩衝器が用
いられ、この振動緩衝器は、両端で上記２つの部分と連
結され、２つの部分の相対運動が互いに緩和し合うとと
もに、緩和特性を調整することができる。さらに、振動
緩衝器はばね定数を有する。この振動緩衝器の緩和特性
を高めると、そのばね定数も高まる。このような振動緩
衝器をホルダに設けると、ワークが固定されたホルダの
固有振動数が高くなる。生じた振動の周波数が上記固有
振動数に近い場合は、生じた振動の周波数から上記固有
振動数が遠く離れるように振動緩衝器を調整する。
【０００９】１つの部分が例えば固定された堅い壁から
突出し、この部分の自由端にワークが取り付けられる場
合、本発明の更なる実施の形態では、第２種の振動緩衝
器の使用が考慮に値する。上記部分は、生じた振動で引
張および圧縮荷重を受ける。従って、固有の緩和特性を
もつ振動緩衝器は、その表面を例えばゴムで覆われる。
ここで、適する振動緩衝器の他のグループは、合金(高
緩衝能合金：ＨＤＣＭ)を含み、この合金は、大抵クロ
ム-鉄基合金で、上記部分およびホルダの表面に目的に
適って負圧で吹き付けることができる。吹き付けられた
合金層の厚さは、２〜３mmの範囲である。
【００１０】この第２種の振動緩衝器は、２つの部材、
つまりクランプ装置の２つの鋼板の間に配置することが
できる。この場合、緩衝材は、主に動力学的に変動する
シェル応力を受ける。第２種の振動緩衝器の具体的な実
施の形態として、高い緩和特性をもつ緩衝箔が考慮の対
象となる。この緩衝箔として、例えば米国セントポール
に在るミネソタ-マイニング-アンド-マニファクチャリ
ング社によって販売されている緩衝箔2552がある。従っ
て、本発明の変形例に対応して、この種の緩衝箔を加工
テーブルとクランプチャックの間に特別なワークホルダ
として設けることができる。本発明の更なる実施の形態
では、ゴムなどの緩衝材を例えば米国特許US-A-5,769,5
61に記載のように水準ヘッドの上、下板上に加硫するこ
とができる。
【００１１】第３種の振動緩衝器は、例えば表面にゴム
を加硫した鋼球などの緩衝材をもつバルクを含む。ゴム
体は、本発明の目的に適った形態において、ワークの近
傍のホルダ上に被覆される。鋼のバルクは、片面が緩衝
材で被覆されたホルダ自体とすることができる。ゴム状
の緩衝材の固有振動数は、ホルダの固有振動数よりも遥
かに小さい。従って、洗浄溶液からホルダに与えられる
振動エネルギは、緩衝材によって大幅に吸収される。他
方、緩衝材の固有振動数が緩衝すべきワークをもつホル
ダの固有振動数と略等しい場合、緩衝材は、逆位相、つ
まりホルダに対して180°の位相差で振動するので、ホ
ルダの振動エネルギの吸収は、緩衝材によって改善され
る。本発明は、その１つの態様において、少し変化させ
ることができる振動緩衝器をホルダに設けることを企図
している。
【００１２】本発明の更なる実施の形態は、究極的に第
４種の振動緩衝器を企図しており、この振動緩衝器で
は、互いに接合されて振動時に剪断応力が加わる複数の
板間の摩擦によって振動エネルギが吸収され、上記複数
の板は、同じ大きさの２つ以上の板をねじ止めまたは接
着によって板セットに接合してなる。場合によっては、
より大きい摩擦係数をもつ更なる板を、板セットの板の
間に付加的に積層することもできる。
【００１３】従って、本発明は、ホルダの特別な形状ま
たは用途に応じて種々の振動緩衝器を企図しており、こ
の振動緩衝器は、目的に適って調整できるばね定数およ
び緩和(減衰)定数をもつことができる。
【００１４】本発明の根底にある課題の他の解決策は、
積層状のホルダを企図しており、このホルダの積層は、
互いに堅く接合され、互いに当接する積層面は、目的に
適ってより大きい摩擦係数をもつ。ホルダに生じる振動
は、積層間の相対運動を生じさせ、この相対運動のエネ
ルギは、積層相互間の摩擦によって吸収される。その結
果、振動が緩和される。
【００１５】さて、本発明の下位請求項に記載の好まし
い実施の形態を述べることにする。本発明は、添付の図
を参照しつつホルダの一例としての水準ヘッドについて
詳細に次に説明される。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１の水準ヘッド１は、米国特許
US-A-5,769,561号に詳細に述べられているので、この特
許の記載を明文をもって引き合いに出すことにする。
【００１７】上記水準ヘッド１は上部２を有し、この上
部２は、ｘ−ｙ平面内で互いにずらせて配置された調整
ねじ３,４によって、同様にｘ−ｙ平面内で互いにずら
せて配置された２つのばねセット５,６によって与えら
れる予圧縮力に抗して下部７に対してｚ方向に水準が調
整できるようになっている。米国特許US-A-4,925,168号
に記載の精密万力８が、下部７の前方に位置するように
上部２に取り付けられ、上記精密万力の掴み９,１１の
間に図１に図示しないワークを挟み込むことができる。
精密万力８をもつ上部は、本発明の趣旨からワーク１５
(図１１)のためのホルダを成し、上記ワークは、放電加
工機１３,１４の放電電極１２による加工のため、加工
域１６内でｘ,ｙ,ｚの各方向に正確に位置決めされるこ
とができる。
【００１８】下部７は、図示の実施形態では下面にあり
溝１８を有し、このあり溝は、反対のプロフィルである
ありをもつ堅い、例えば米国特許US-A-4,786,776に記載
の支持構造上に、ｘ方向およびこれに直交する放電電極
１２と平行なｚ方向に一意的に固定することができる。
上記支持構造は、下部７のｙ方向への一意的な位置決め
をも可能にするストッパを更に有する。
【００１９】洗浄溶液と洗浄溶液を加工域１６に対して
供給および排出する管とは、図示されていない。ともか
く、洗浄溶液は、放電電極１２がワーク１５に対して行
なう切断の面１７に沿って高圧でワーク１５を洗浄す
る。
【００２０】ホルダ１０は、本発明によって１つまたは
複数の振動緩衝器を備える。図２に示された第１の実施
形態では、ｙ方向に隔てられた２つのねじ穴２０,２２
が上部２にｚ方向に設けられる。これら２つのねじ穴２
０,２２の夫々に、第１種の振動緩衝器が、図３の実施
形態または図４の実施形態にしたがって設けられる。
【００２１】図３の実施形態では、第１種の振動緩衝器
３０は、外周ねじをもち、上面に六角穴３１をもつねじ
３２からなり、このねじ３２は、六角穴３１に対向する
下面３３から穴を明けて盲穴３４を形成している。盲穴
３４内には円筒ボルト３６が挿入され、この円筒ボルト
は、下部７の上面に当接するとともに、緩衝材３８を介
してねじ３２と連結される。緩衝材３８は、ゴム状の材
料からなり、盲穴３４の内面にも円筒ボルト３６の外面
にも接着されている。図から判るように、ねじ３２は、
全長に亘ってねじ穴２０または２２にねじ込むことがで
きる。振動の際に剪断応力が加わる緩衝材３８は、洗浄
溶液によってホルダ１０に与えられる振動エネルギを受
けて、緩衝材の弾性で振動エネルギを吸収することがで
きるので、ホルダ１０は振動することがない。
【００２２】図４の実施形態では、第１種の振動緩衝器
４０は、頭部４４に外周ねじ４２をもつ形状を有し、頭
部４４に比して比較的細くなった軸部４６が短くなって
いる。軸部４６の自由端面には、ゴム状の材料からなる
緩衝材４８が接着されており、この緩衝材は、応力の加
わらない状態で軸部４６よりも小さい直径をもつ。緩衝
材４８の自由下面には、ピン４９が接着されており、こ
のピン４９は、軸部４６と同じ直径を有し、上部２の下
面から突出して下部７の上面に当接しうるような軸方向
寸法を有する。緩衝材４８は、緩衝材３８と同じエネル
ギ吸収特性をもつ。ボルト頭部４４の六角穴は、図示さ
れていない。ボルト４２が図示されている状態よりも更
にねじ穴(貫通穴)２０にねじ込まれると、緩衝材４８の
断面積はより大きくなり、その結果、ばね定数および緩
和(ダンパ)係数が変化する。従って、緩衝材４８の特性
は、ボルト４２によって調整できる。この振動緩衝器４
０は、上部のみに内周ねじを有し、下方へ向かって内周
が平滑な円筒穴部分４１に連なるような貫通穴２０,２
２に特に適している。
【００２３】本発明の図５,６による実施形態では、上
部２の上面１９は、第２種の振動緩衝器であるゴム状の
振動を吸収する材料からなるマット５０で覆われ、この
マットは、接着または加硫によって上部２に堅く接合さ
れている。調整ねじ３,４とばねセット５,６のために、
マット５０に切抜き５１,５２,５３,５４が設けられて
いる。マット５０の厚さは、上部２の厚さの略１／３で
ある。しかし、厚さの選択には何ら制限はない。上面１
９をゴム状の材料で覆う代わりに、冒頭で述べたＨＤＣ
Ｍ合金を上面１９に吹き付けることもきる。
【００２４】図７は、第２種の振動緩衝器の更なる実施
形態を示している。水準ヘッド１は、ワーク１５をもつ
万力８が固定された上部２と下部７とを有する。第２種
の振動緩衝器５８は、上部２の下面および下部７の上面
に目的に適って加硫された例えばゴムなどの緩衝材を含
む。上記水準ヘッドは、その他の点では図１に示された
水準ヘッドに相当している。
【００２５】第２種の振動緩衝器の更なる実施形態が、
図８に示されている。先の実施形態で一体物として述べ
た水準ヘッド７０の上部７２は、ｘ-ｙ平面内で目的に
適って同じ大きさでねじによって連結される２つの板７
４,７６に分割されていて、これらの板の間に緩衝材と
してゴムまたは例えば既述のミネソタ-マイニング-アン
ド-マニファクチャリング社の緩衝箔2552などの緩衝箔
７５が挟まれている。ワーク１５を掴んで上部７２に固
定された万力８と下部７とは、既述の形状に類似する。
【００２６】第２種の振動緩衝器の更なる実施形態は、
図９,図１０に示されている。図９では、ホルダ８２の
下面にワーク８５が固定され、ワーク８５とホルダ８２
の間に既述の緩衝箔８４などの緩衝材が例えば接着によ
って挟まれている。ワーク８５は、ホルダ８２にねじ止
めされる。図１０には、加工テーブル８６の概略が示さ
れており、この加工テーブル上に、図示しないワークの
ためのホルダとしての機械チャック８８が緩衝箔８９を
介して固定されている。
【００２７】図１１,図１２は、図１による水準ヘッド
のための第３種の振動緩衝器を示している。ここでは、
２つの振動緩衝器６０,６５が設けられ、振動緩衝器６
０は上部２の側面２４に、振動緩衝器６５は上部２の反
対の側面２６に、精密万力８の極近傍に夫々位置して設
けられている。側面２４には、固定板６１がねじ止めで
固定され、この固定板の表面にゴム状の材料からなる板
状の緩衝材６２が設けられている。緩衝材６２の表面に
は、バルクブロック６３が固定されている。これと択一
的に、バルクブロック６３は、緩衝材６２の材料中に例
えばバルキーな鋼球などを埋め込んで作ることもでき
る。バルクブロック６３は、上部２に生じる振動に比し
て低い固有振動数を有するので、上部２の振動エネルギ
を吸収することができる。上部２の側方に設けられた振
動緩衝器６０は、明らかに水準ヘッド１の高さを増さな
いので、利用できる加工域は狭められない。
【００２８】振動緩衝器６５も、振動緩衝器６０と同様
に作られている。つまり、バルクブロック６７は、上部
２の側面２６にねじ止めされている固定板６８の表面に
板状の緩衝材６６を介して堅く接合されている。固定板
６１,６８を一方で緩衝材６２,６６と上部２との間へ、
他方で緩衝材６２,６６とバルクブロック６３,６７との
間へ夫々挿入することは、振動緩衝器６０,６５の交換
を可能にするので、固有振動数、緩和特性、寸法に関し
て、振動緩衝器を各適用例に適合させることができる。
【００２９】場合によっては、両振動緩衝器６０,６５
は、例えば精密万力８の掴み９,１１の間などの放電電
極１２によって加工されないワーク１５の部分の上下に
直接取り付けることができる。
【００３０】図１３は、ホルダ、つまり上述の適用例で
は水準ヘッドの上部２のための第４種の振動緩衝器９０
を究極的に示している。この振動緩衝器９０は、ここで
は板９２,９４である同じ大きさの平坦な多くの板をね
じ止めや接着で互いに堅牢に接合し、これを上部２の上
面にねじ９１,９３,９５で接合した板セットで構成され
る。この板セットは、上部２の上面と平行に延在すると
ともに、この上面と略同じ大きさである。この振動緩衝
器の振動緩和効果は、上部２が振動する際に剪断応力を
受ける板９２,９４相互間の摩擦によって生じる。上記
板は、金属またはより硬い合成樹脂製にすることができ
る。上記振動緩和効果は、上部２に隣接する板９２と上
部の上面との間に、高い摩擦係数をもつ薄い板９６を更
に挟むことによって増大させることができる。
【００３１】その他の点で本発明の範囲にあるのは、上
部２自体を積層板によって分割することであり、上部２
は、板セット９２,９４に相当するサンドイッチ状の積
層板セットから作られ、各積層板の向かい合う面は、摩
擦係数を高めるために粗くしたり、上記板９６に相当す
る摩擦板を介して継ぎ合わせたりすることができる。
【００３２】図１４は、本発明の更なる実施形態として
の機械テーブル100上に載せられた板101を示しており、
この板101には、機械万力102が載っている。機械万力10
2上には、ワーク105を載せたワークホルダ104が取り付
けられている。機械万力102とワークホルダ104は、米国
特許US-4,855,558号に記載のものにすることができる。
この特許の内容にここで言及すると、締付けられた万力
側に向いたワークホルダ104の面は、参照番号106,108で
示す平坦な面部分を有し、この面部分は、機械万力102
から突出するプラグ103,107の自由端面(軸方向の基準
面)に締付けの際に当接する。プラグ103,107の各自由端
面は、本発明によって冒頭に述べたＨＤＣＭ(高緩衝能)
合金で被覆され、この合金は、上記軸方向基準面の共振
を防止、あるいは少なくとも本質的に緩和する。上記合
金は、目的に適って負圧により２mm以下の厚さに吹付け
によって塗布され、続いて基準面を作るため研磨される
ことができる。より簡素な実施形態では、上記研磨を省
略することができる。本発明の趣旨から、上記機械万力
102はホルダと解される。
【００３３】図１５も、水準ヘッドの側面図を究極的に
示しており、この水準ヘッドは、第２種の振動緩衝器の
他の実施形態を備えている。下部７に載せられた上部12
0は、例えば金属の鋳物部材のような開いたセルをもつ
ポーラスな材料からなり、この材料のセルは、緩衝材で
概ね完全に充填されている。そのために、完成した鋳物
部材は、例えば天然ゴムまたはゴムの溶液中に浸され、
この溶液で鋳物部材が飽和した後、溶媒を例えば熱処理
で除去して、鋳物部材にゴムが加硫される。上部120の
機械的強度は、鋳物部分が受け持ち、振動の緩和は、加
硫されたゴム122が受け持つ。これと択一的な実施形態
では、上部120を金属の堅い箱で構成することができ、
この箱の中空の内部に例えば加硫ゴムやゴム球やゴムパ
ックなどの形態の緩衝材を固定することができる。
【００３４】本発明の水準ヘッドを例に挙げた上述の説
明は、本発明の範囲内で適用することができる振動緩衝
器の４つの根本的な種類を示している。図２〜図４に示
した第１種の振動緩衝器は、この例ではねじ３２と円筒
ボルト３６あるいはねじ頭部４４とピン４９である２つ
の部材の間に嵌装されたゴムまたはゴム状の材料を備
え、上記２つの部材は、この例では上部２に固定された
ワーク１５に作用する洗浄溶液の圧力によって、一方３
２,４４が他方３６,４９に対して相対振動する。そし
て、緩衝材３８,４８の緩衝能およびばね定数は、ワー
クおよびワークの半径方向と軸方向の寸法を、緩衝材３
８,４８、上部２、ワーク１５からなる系の固有振動数
が、洗浄溶液によって起こされる振動の固有振動数から
遠く離れるように選択することによって調整可能なもの
(緩衝能およびばね定数)にできる。
【００３５】第２種の振動緩衝器は、図５〜図１０に示
され、この振動緩衝器では、ホルダ１０の動力学的特性
は、例えば中実のバルクのような堅い材料の動力学的特
性と考えることができる。それ故、この振動緩衝器では
２つの部材間の相対振動はない。従って、内的緩衝能を
もつ堅い材料からなる例えばゴムなどの緩衝材を、ホル
ダ１０の外面に被覆するだけで十分対応できる。
【００３６】図１１と図１２による第３種の振動緩衝器
では、緩衝材６２,６６がバルク(バルクブロック６３,
６７)に固定されていて、バルクは、常に同じゴム状の
材料を用いたままで、各適用例、例えば種々の洗浄溶液
の圧力に緩衝特性を容易に適合させることができる。さ
らに、振動緩衝器６０,６５は、振動が起こる箇所に可
能な限り近い所に設け得るような寸法にすることができ
る。特に図１１に明瞭に示されるように、放電電極１
３,１４における特にｚ方向などの空間的関係は、極め
て制限される。この場合、振動緩衝器６０,６５の寸法
的に自由な形態は、振動緩衝器を用いる際にホルダ１０
のｚ方向の空間必要性を増さないという限りにおいて、
特に有利である。
【００３７】図１３による第４種の振動緩衝器では、接
合された複数の板または積層板相互間の摩擦力が、究極
的に振動エネルギの吸収に利用し尽くされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 水準ヘッドの斜視図である。
【図２】 振動緩衝器をもつ図１の水準ヘッドの平面図
である。
【図３】 第１種の振動緩衝器の第１の実施形態をもつ
図２の水準ヘッドの部分詳細図である。
【図４】 第１種の振動緩衝器の第２の実施形態をもつ
図２の水準ヘッドの部分詳細図である。
【図５】 第２種の振動緩衝器をもつ水準ヘッドの更な
る実施形態の側面図である。
【図６】 図５の水準ヘッドの平面図である。
【図７】 第２種の振動緩衝器をもつ水準ヘッドの更な
る実施形態の側面図である。
【図８】 他の第２種の振動緩衝器をもつ水準ヘッドの
側面図である。
【図９】 ワークと第２種の振動緩衝器とをもつホルダ
の側面図である。
【図１０】 第２種の振動緩衝器をもって加工テーブル
上に固定された機械チャックの側面図である。
【図１１】 破線で示された放電加工機の基本部分と第
３種の振動緩衝器とをもつ水準ヘッドの側面図である。
【図１２】 放電加工機をもたない図１１の水準ヘッド
の平面図である。
【図１３】 本発明の択一的選択例による水準ヘッドの
側面図である。
【図１４】 第２種の振動緩衝器と工具ホルダとをもつ
機械チャックを示す図である。
【図１５】 第２種の振動緩衝器をもつ水準ヘッドの側
面図である。
【符号の説明】
１,７０ 水準ヘッド ２,７２,120 上部 ３,４ 調整ねじ ５,６ ばねセット ７ 下部 ８,102 精密万力 ９,１１ 掴み １０,８２,104 ホルダ １２ 放電電極 １３,１４ 放電加工機 １５,８５,105 ワーク １６ 加工域 １７ 切断面 １８ あり溝 ２０,２２ ねじ穴 ２４,２６ 側面 ３０,４０,５８,６０,６５,９０ 振動緩衝器 ３１ 六角穴 ３２,９１,９３,９５ ねじ ３３ 下面 ３４ 盲穴 ３６ 円筒ボルト ３８,４８,６２,６６,109,110,122 緩衝材 ４１ 円筒穴部分 ４２ ボルト ４４ 頭部 ４６ 軸部 ４９ ピン ５０ マット ５１,５２,５３,５４ 切抜き ６１,６８ 固定板 ６３,６７ バルクブロック ７４,７６,９２,９４,９６,101 板 ７５,122 ゴム ８４,８９ 緩衝箔 ８６ 加工テーブル ８８ チャック 100 機械テーブル 103,107 プラグ

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 堅い支持構造(7)に固定するための固定
    要素(3,4,5,6)と、ワークを保持するための保持部分(8,
    9,11)とを有して工作機械、特に放電加工機(13,14)の加
    工域にワーク(15)を正確に位置決めするためのホルダ(1
    0)において、 上記ホルダ(10)および上記ワーク(15)の少なくとも一方
    は、少なくとも１つの振動緩衝器(30,40,50,60,65;109,
    110;122)を備えたことを特徴とするホルダ。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のホルダにおいて、上記
    振動緩衝器は、上記ホルダ(10,88)と上記支持構造(7,8
    9)との間に配置されたゴムまたはゴム状の材料からなる
    緩衝材(38,48,89)を有することを特徴とするホルダ。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載のホルダにおいて、上記
    緩衝材(38)には、圧縮応力および引張応力が加わること
    を特徴とするホルダ。
  4. 【請求項４】 請求項２に記載のホルダにおいて、上記
    緩衝材(48)には、剪断応力が加わることを特徴とするホ
    ルダ。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の
    ホルダにおいて、上記振動緩衝器は、緩和特性およびば
    ね特性が調整できる緩衝材を有することを特徴とするホ
    ルダ。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１つに記載の
    ホルダにおいて、上記振動緩衝器(60,65)は、堅いバル
    ク(63,67)に連結されるゴムまたはゴム状の材料からな
    る緩衝材を有することを特徴とするホルダ。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載のホルダにおいて、上記
    材料内に目的に適って球状のバルクが埋め込まれている
    ことを特徴とするホルダ。
  8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１つに記載の
    ホルダにおいて、上記振動緩衝器(60,65)は、上記ホル
    ダ(10)または上記材料(15)に取り外し可能に連結されて
    いることを特徴とするホルダ。
  9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれか１つに記載の
    ホルダにおいて、上記振動緩衝器(60,65)は、上記ホル
    ダ(10)の側部(24,26)に固定されていることを特徴とす
    るホルダ。
  10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれか１つに記載
    のホルダにおいて、上記振動緩衝器は、上記ホルダ(10)
    の自由表面(19)上に被覆されたゴムまたはゴム状の材料
    からなるマット(50)を有することを特徴とするホルダ。
  11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器(40)は、ねじ(44)
    の短い軸部(46)に設けられた緩衝材(48)を有し、この緩
    衝材は、上記ホルダ(10)の穴(41)に挿入されるととも
    に、ピン(49)を介して上記支持構造(7)に当接すること
    を特徴とするホルダ。
  12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器(30)は、円筒状の
    ねじ(32)の盲穴(34)に挿入された円筒殻状の緩衝材(38)
    を有し、この緩衝材は、上記支持構造(7)に当接するピ
    ン(36)を包み込んでいることを特徴とするホルダ。
  13. 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器は、上記ホルダの
    表面に被覆、特に吹き付けられた例えばＨＤＣＭ(高緩衝
    能合金)などの合金を有することを特徴とするホルダ。
  14. 【請求項１４】 請求項１乃至１３のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器は、上記ホルダと
    バルク(76;92,94)との間に挟まれた緩衝箔(75,96)を有
    することを特徴とするホルダ。
  15. 【請求項１５】 請求項１乃至１４のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器は、上記ホルダ(8
    2,88)と支持構造(86)との間に挟まれた緩衝箔(84,89)を
    有することを特徴とするホルダ。
  16. 【請求項１６】 請求項１乃至１５のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記振動緩衝器は、複数枚連結さ
    れてセットになった１枚以上の板セットまたは積層板(9
    2,94)を有し、これらの板セットまたは積層板(92,94)
    は、互いに摩擦接触することを特徴とするホルダ。
  17. 【請求項１７】 請求項１６に記載のホルダにおいて、
    上記板セットまたは積層板(92,94)の間に、摩擦係数の
    大きい更なる板(96)が挟まれていることを特徴とするホ
    ルダ。
  18. 【請求項１８】 請求項１乃至１７のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、上記ホルダは互いに平面接触する
    連結された複数の板からなり、このホルダに上記振動緩
    衝器が一体化されていることを特徴とするホルダ。
  19. 【請求項１９】 請求項１８に記載のホルダにおいて、
    上記複数の板の間に、摩擦係数の大きい少なくとも１つ
    の更なる板が挟まれていることを特徴とするホルダ。
  20. 【請求項２０】 ワークホルダ(104)を正確に位置決め
    して締め付けるための基準面を有する請求項１乃至１９
    のいずれか１つに記載のホルダにおいて、上記基準面
    は、振動を緩和する合金からなる層(109,110)を有し、
    この層は、積層後に好都合に研磨されていることを特徴
    とするホルダ。
  21. 【請求項２１】 請求項２０に記載のホルダにおいて、
    上記層の厚さは、２mm以下であることを特徴とするホル
    ダ。
  22. 【請求項２２】 請求項１乃至２１のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、開いたセルをもつ鋳物部材(120)
    のセルが、少なくとも部分的に緩衝材(122)で充填され
    ていることを特徴とするホルダ。
  23. 【請求項２３】 請求項２２に記載のホルダにおいて、
    上記緩衝材は、加硫されたゴムからなることを特徴とす
    るホルダ。
  24. 【請求項２４】 請求項１乃至２３のいずれか１つに記
    載のホルダにおいて、金属の中空体が、少なくとも部分
    的に緩衝材によって充填され、この緩衝材は、上記中空
    体の内面に固定されていることを特徴とするホルダ。
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