JP2000329789A - 針状接点プローブ - Google Patents
針状接点プローブInfo
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- JP2000329789A JP2000329789A JP31967299A JP31967299A JP2000329789A JP 2000329789 A JP2000329789 A JP 2000329789A JP 31967299 A JP31967299 A JP 31967299A JP 31967299 A JP31967299 A JP 31967299A JP 2000329789 A JP2000329789 A JP 2000329789A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 平板接点の内部抵抗をｍΩオーダーで測定す
る際に、長期に亘って安定して測定できる針状接点プロ
ーブを提供する。 【解決手段】 棒部材３の先端に少なくとも２つの針状
突起１、２を有する針状接点プローブにおいて、棒部材
３を横切り且つ棒部材の軸３ａを鉛直線とする任意の水
平面４から針状突起１、２の先端１ａ、２ａまでの距離
（高さ（Ｌａ、Ｌｂ））を、針状突起毎に異なるように
する。針状突起を棒部材の先端に螺旋状に配置すること
が好ましい。
る際に、長期に亘って安定して測定できる針状接点プロ
ーブを提供する。 【解決手段】 棒部材３の先端に少なくとも２つの針状
突起１、２を有する針状接点プローブにおいて、棒部材
３を横切り且つ棒部材の軸３ａを鉛直線とする任意の水
平面４から針状突起１、２の先端１ａ、２ａまでの距離
（高さ（Ｌａ、Ｌｂ））を、針状突起毎に異なるように
する。針状突起を棒部材の先端に螺旋状に配置すること
が好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、接触抵抗を測定す
る際に使用する針状接点プローブに関する。
る際に使用する針状接点プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子機器には平板接点を有するも
のが多い。そのような平板接点の内部抵抗を測定する場
合、１ｍｍ前後の軸直径を有する針状接点プローブの先
端を平板接点に接触させて測定している。
のが多い。そのような平板接点の内部抵抗を測定する場
合、１ｍｍ前後の軸直径を有する針状接点プローブの先
端を平板接点に接触させて測定している。
【０００３】このような針状接点プローブとしては、図
６に示すように、球状型（同図（ａ））、円錐型（同図
（ｂ））及び王冠型（同図（ｃ））の先端形状を有する
ものが一般的である。
６に示すように、球状型（同図（ａ））、円錐型（同図
（ｂ））及び王冠型（同図（ｃ））の先端形状を有する
ものが一般的である。
【０００４】ところで、平板接点表面の絶縁性酸化皮膜
を破壊する針状接点プローブの能力が高くなると、平板
接点に対する針状接点プローブの接触抵抗は低くなる傾
向がある。また、プローブの先端が鋭利になると平板接
点表面の絶縁性酸化皮膜を破壊する能力が高まる傾向が
ある。従って、図６に示した針状接点プローブの接触抵
抗は、球状型＞円錐型＞王冠型の順で低くなっている。
を破壊する針状接点プローブの能力が高くなると、平板
接点に対する針状接点プローブの接触抵抗は低くなる傾
向がある。また、プローブの先端が鋭利になると平板接
点表面の絶縁性酸化皮膜を破壊する能力が高まる傾向が
ある。従って、図６に示した針状接点プローブの接触抵
抗は、球状型＞円錐型＞王冠型の順で低くなっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、平板接点の
内部抵抗をｍΩオーダーで測定する場合、接触抵抗の低
い王冠型の針状接点プローブの使用が必要となる。しか
し、王冠型の針状接点プローブは、先端の接触面積が小
さくなるために摩耗しやすく、先端形状がフラット化し
て接触抵抗が増大し、内部抵抗を安定して測定できない
という問題がある。このため、針状接点プローブの交換
頻度が増加し、測定コストも上昇していた。
内部抵抗をｍΩオーダーで測定する場合、接触抵抗の低
い王冠型の針状接点プローブの使用が必要となる。しか
し、王冠型の針状接点プローブは、先端の接触面積が小
さくなるために摩耗しやすく、先端形状がフラット化し
て接触抵抗が増大し、内部抵抗を安定して測定できない
という問題がある。このため、針状接点プローブの交換
頻度が増加し、測定コストも上昇していた。
【０００６】本発明は、以上の従来技術の課題を解決し
ようとするものであり、平板接点の内部抵抗をｍΩオー
ダーで測定した場合であっても、長期に亘って安定して
測定できる針状接点プローブを提供することを目的とす
る。
ようとするものであり、平板接点の内部抵抗をｍΩオー
ダーで測定した場合であっても、長期に亘って安定して
測定できる針状接点プローブを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、針状接点
プローブの先端の針状突起がある程度摩耗した時点で、
針状接点プローブの先端に鋭利な針状突起を新たに出現
させることにより上述の目的を達成できることを見出
し、本発明を完成させるに至った。
プローブの先端の針状突起がある程度摩耗した時点で、
針状接点プローブの先端に鋭利な針状突起を新たに出現
させることにより上述の目的を達成できることを見出
し、本発明を完成させるに至った。
【０００８】即ち、本発明は、棒部材の先端に少なくと
も２つの針状突起を有する針状接点プローブにおいて、
棒部材を横切り且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水
平面から針状突起の先端までの距離が、針状突起毎に異
なることを特徴とする針状接点プローブを提供する。
も２つの針状突起を有する針状接点プローブにおいて、
棒部材を横切り且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水
平面から針状突起の先端までの距離が、針状突起毎に異
なることを特徴とする針状接点プローブを提供する。
【０００９】また、本発明は、棒部材の先端に少なくと
も３つの針状突起を有する針状接点プローブにおいて、
棒部材を横切り且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水
平面から針状突起の先端までの距離について、少なくと
も２つの針状突起については同じであるが、該２つの針
状突起と他の針状突起とは異なることを特徴とする針状
接点プローブを提供する。
も３つの針状突起を有する針状接点プローブにおいて、
棒部材を横切り且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水
平面から針状突起の先端までの距離について、少なくと
も２つの針状突起については同じであるが、該２つの針
状突起と他の針状突起とは異なることを特徴とする針状
接点プローブを提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。
ら詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の針状接点プローブの先端
部分の正面図（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））で
ある。この態様においては、２個のコーン型の針状突起
１及び２を棒部材３の先端に設けている。ここで、針状
突起１及び２の長さは、棒部材３を横切り且つ棒部材の
軸３ａを鉛直線とする任意の水平面４から針状突起の先
端１ａ及び２ａまでの距離（高さ（Ｌａ、Ｌｂ））が互
いに異なるようにする（図１の場合には、Ｌａ＞Ｌ
ｂ）。従って、針状突起１がある程度摩耗すると針状突
起２の鋭利な先端２ａが被抵抗測定材に接触するように
なるので、接触抵抗の増加を抑制することができる。
部分の正面図（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））で
ある。この態様においては、２個のコーン型の針状突起
１及び２を棒部材３の先端に設けている。ここで、針状
突起１及び２の長さは、棒部材３を横切り且つ棒部材の
軸３ａを鉛直線とする任意の水平面４から針状突起の先
端１ａ及び２ａまでの距離（高さ（Ｌａ、Ｌｂ））が互
いに異なるようにする（図１の場合には、Ｌａ＞Ｌ
ｂ）。従って、針状突起１がある程度摩耗すると針状突
起２の鋭利な先端２ａが被抵抗測定材に接触するように
なるので、接触抵抗の増加を抑制することができる。
【００１２】なお、針状突起の形状は、折れなどの強度
上の問題等がない限り、コーン型に限らず四角錐や三角
錐でもよい。また、先端が丸くなったコーン型でもよ
い。
上の問題等がない限り、コーン型に限らず四角錐や三角
錐でもよい。また、先端が丸くなったコーン型でもよ
い。
【００１３】針状接点プローブの先端に設ける針状突起
の数は、針状接点プローブの測定精度を向上させ且つ長
寿命化するという点で、針状突起の強度に問題等が生じ
ない範囲で多くすることが好ましい。例えば、図２（同
図（ａ）正面図、同図（ｂ）下面図）に示すように、コ
ーン型の針状突起２１〜２７を棒部材２８の先端に螺旋
状に配置することもできる。更に針状突起の数を増やし
て二重螺旋に配置してもよい（図示せず）。このように
螺旋状に設置すると、単位面積あたりの針状突起密度を
高めることができ、プローブの長寿命化と測定精度の向
上とを計ることができるので好ましい。
の数は、針状接点プローブの測定精度を向上させ且つ長
寿命化するという点で、針状突起の強度に問題等が生じ
ない範囲で多くすることが好ましい。例えば、図２（同
図（ａ）正面図、同図（ｂ）下面図）に示すように、コ
ーン型の針状突起２１〜２７を棒部材２８の先端に螺旋
状に配置することもできる。更に針状突起の数を増やし
て二重螺旋に配置してもよい（図示せず）。このように
螺旋状に設置すると、単位面積あたりの針状突起密度を
高めることができ、プローブの長寿命化と測定精度の向
上とを計ることができるので好ましい。
【００１４】針状突起の先端角は、狭すぎると強度的に
問題があり、広すぎると接触抵抗が大きくなるので、好
ましくは４５°〜１２０°である。
問題があり、広すぎると接触抵抗が大きくなるので、好
ましくは４５°〜１２０°である。
【００１５】本発明の針状接点プローブの棒部材の太さ
や材質などは、従来の針状接点プローブと同様とするこ
とができる。例えば、棒部材の太さは、通常０．４〜
２．０ｍｍである。材質としては、ＳＫ鋼、ＳＫＨ鋼、
リン青銅、ベリリウム銅などを挙げることができる。
や材質などは、従来の針状接点プローブと同様とするこ
とができる。例えば、棒部材の太さは、通常０．４〜
２．０ｍｍである。材質としては、ＳＫ鋼、ＳＫＨ鋼、
リン青銅、ベリリウム銅などを挙げることができる。
【００１６】なお、針状突起の表面をＮｉ−Ａｕメッ
キ、Ｎｉ−Ｒｈメッキなどにより表面処理してもよい。
キ、Ｎｉ−Ｒｈメッキなどにより表面処理してもよい。
【００１７】本発明の針状接点プローブは、棒部材の先
端部から所期の形状と数の針状突起を機械的切削法によ
り削り出したり、棒部材の先端部にメッキ法により針状
突起を形成することにより製造することができる。ま
た、針状突起を棒部材の先端に溶接法やロウ付け法など
により接合することにより製造することもできる。
端部から所期の形状と数の針状突起を機械的切削法によ
り削り出したり、棒部材の先端部にメッキ法により針状
突起を形成することにより製造することができる。ま
た、針状突起を棒部材の先端に溶接法やロウ付け法など
により接合することにより製造することもできる。
【００１８】以上説明した図１及び図２の態様は、針状
突起の高さがすべて異なる態様であるが、棒部材の先端
に少なくとも３つの針状突起を設け、そのうちの２つの
針状突起の高さを同一とし、それらと他の針状突起の高
さと異ならせてもよい。特に、奇数個のコーン型の針状
突起を棒部材の先端に設け、そのうち一つを棒部材の中
心軸に配置し、残り偶数個の針状突起を棒部材の中心軸
の周囲に配置する場合に、棒部材の中心軸に対して対称
の位置に配置される針状突起同士の高さを同一にするこ
とが好ましい。このように針状突起を配置すると、図１
や図２の場合に比べて、針状接点プローブをワークに接
触させた際のバランスを保ちやすいので、針状突起の偏
った摩耗を防止することができ、測定のバラツキを大き
く抑制することができる。なお、この場合、棒部材の中
心軸に配置した針状突起を省略しても、同様の効果が得
られる。
突起の高さがすべて異なる態様であるが、棒部材の先端
に少なくとも３つの針状突起を設け、そのうちの２つの
針状突起の高さを同一とし、それらと他の針状突起の高
さと異ならせてもよい。特に、奇数個のコーン型の針状
突起を棒部材の先端に設け、そのうち一つを棒部材の中
心軸に配置し、残り偶数個の針状突起を棒部材の中心軸
の周囲に配置する場合に、棒部材の中心軸に対して対称
の位置に配置される針状突起同士の高さを同一にするこ
とが好ましい。このように針状突起を配置すると、図１
や図２の場合に比べて、針状接点プローブをワークに接
触させた際のバランスを保ちやすいので、針状突起の偏
った摩耗を防止することができ、測定のバラツキを大き
く抑制することができる。なお、この場合、棒部材の中
心軸に配置した針状突起を省略しても、同様の効果が得
られる。
【００１９】具体的な態様としては図３（同図（ａ）正
面図、同図（ｂ）下面図）に示すように、７個のコーン
型の針状突起３１〜３７を棒部材３８の先端に設け、針
状突起３１を棒部材３８の軸中心に配置し、残りの針状
突起３２〜３７を針状突起３１の周囲に配置する際に、
互いに高さの等しい針状突起３２と３５とを棒部材３８
の中心軸に対して対称の位置に配設し、同じく互いに高
さの等しい針状突起３３と３６とを棒部材３８の中心軸
に対して対称の位置に配設し、そして互いに高さの等し
い針状突起３４と３７とを棒部材３８の中心軸に対して
対称の位置に配設することが好ましい。このとき、針状
突起３１と３２（３５）と３３（３６）と３４（３７）
は互いに高さが異なることが好ましい。
面図、同図（ｂ）下面図）に示すように、７個のコーン
型の針状突起３１〜３７を棒部材３８の先端に設け、針
状突起３１を棒部材３８の軸中心に配置し、残りの針状
突起３２〜３７を針状突起３１の周囲に配置する際に、
互いに高さの等しい針状突起３２と３５とを棒部材３８
の中心軸に対して対称の位置に配設し、同じく互いに高
さの等しい針状突起３３と３６とを棒部材３８の中心軸
に対して対称の位置に配設し、そして互いに高さの等し
い針状突起３４と３７とを棒部材３８の中心軸に対して
対称の位置に配設することが好ましい。このとき、針状
突起３１と３２（３５）と３３（３６）と３４（３７）
は互いに高さが異なることが好ましい。
【００２０】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。
る。
【００２１】実施例 直径１ｍｍのベリリウム銅の先端に、７個の針状突起
（先端角６０°、突起径０．３３ｍｍ）を機械的切削法
により形成した。そして針状突起の表面に３μｍ厚のＮ
ｉ−Ａｕメッキ被膜を形成することにより、図２に示し
たような針状接点プローブを作製した。
（先端角６０°、突起径０．３３ｍｍ）を機械的切削法
により形成した。そして針状突起の表面に３μｍ厚のＮ
ｉ−Ａｕメッキ被膜を形成することにより、図２に示し
たような針状接点プローブを作製した。
【００２２】この針状接点プローブを図４に示したよう
な構成の表面抵抗測定装置に設置し、評価用ワーク
（０．５ｍｍ厚のアルミナセラミックス基板にＡｇ−Ｐ
ｄペーストを回路印刷し焼成した後、回路にＡｕメッキ
を施したもの）の表面抵抗を測定した（測定荷重 ５０
ｇ）。得られた結果を図５に示す。
な構成の表面抵抗測定装置に設置し、評価用ワーク
（０．５ｍｍ厚のアルミナセラミックス基板にＡｇ−Ｐ
ｄペーストを回路印刷し焼成した後、回路にＡｕメッキ
を施したもの）の表面抵抗を測定した（測定荷重 ５０
ｇ）。得られた結果を図５に示す。
【００２３】なお、比較例として、従来の王冠型の針状
接点プローブについても同様に評価用ワークの表面抵抗
を測定した。その結果も図５に示す。
接点プローブについても同様に評価用ワークの表面抵抗
を測定した。その結果も図５に示す。
【００２４】図５からわかるように、本実施例の針状接
点プローブは、測定回数が１００万回を超えても安定し
た低い接触抵抗を示し、高い測定精度と長寿命化とを実
現できた。
点プローブは、測定回数が１００万回を超えても安定し
た低い接触抵抗を示し、高い測定精度と長寿命化とを実
現できた。
【００２５】
【発明の効果】本発明の針状接点プローブによれば、平
板接点の内部抵抗をｍΩオーダーで測定する際に、長期
に亘って安定して測定できる。
板接点の内部抵抗をｍΩオーダーで測定する際に、長期
に亘って安定して測定できる。
【図１】本発明の針状接点プローブの先端部分の正面図
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
【図２】本発明の針状接点プローブの先端部分の正面図
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
【図３】本発明の針状接点プローブの先端部分の正面図
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
（同図（ａ））と下面図（同図（ｂ））である。
【図４】表面抵抗測定装置の構成図である。
【図５】表面抵抗測定結果図である。
【図６】従来の針状接点プローブの正面図（同図（ａ）
〜（ｃ））である。
〜（ｃ））である。
１、２、２１〜２７、３１〜３７ 針状突起 ３、２８、３８ 棒部材
Claims (5)
- 【請求項１】 棒部材の先端に少なくとも２つの針状突
起を有する針状接点プローブにおいて、棒部材を横切り
且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水平面から針状突
起の先端までの距離が、針状突起毎に異なることを特徴
とする針状接点プローブ。 - 【請求項２】 針状突起が棒部材の先端に螺旋状に配置
されている請求項１記載の針状接点プローブ。 - 【請求項３】 針状突起の先端角が４５°〜１２０°で
ある請求項１又は２記載の針状接点プローブ。 - 【請求項４】 棒部材の先端に少なくとも３つの針状突
起を有する針状接点プローブにおいて、棒部材を横切り
且つ棒部材の軸を鉛直線とする任意の水平面から針状突
起の先端までの距離について、少なくとも２つの針状突
起については同じであるが、該２つの針状突起と他の針
状突起とは異なることを特徴とする針状接点プローブ。 - 【請求項５】 棒部材を横切り且つ棒部材の軸を鉛直線
とする任意の水平面から針状突起の先端までの距離が等
しい２つの針状突起が、棒部材の中心軸に対して対称の
位置に配設されている請求項４記載の針状接点プロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31967299A JP2000329789A (ja) | 1999-03-12 | 1999-11-10 | 針状接点プローブ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6589599 | 1999-03-12 | ||
| JP11-65895 | 1999-03-12 | ||
| JP31967299A JP2000329789A (ja) | 1999-03-12 | 1999-11-10 | 針状接点プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000329789A true JP2000329789A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=26407063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31967299A Pending JP2000329789A (ja) | 1999-03-12 | 1999-11-10 | 針状接点プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000329789A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100653636B1 (ko) | 2005-08-03 | 2006-12-05 | 주식회사 파이컴 | 수직형 프로브, 그 제조 방법 및 프로브의 본딩 방법 |
| JP2007139567A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Nec Electronics Corp | プローブおよびこれを備えた検査装置 |
| JP2007218675A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Fujitsu Ltd | プローブ及びプローブの製造方法 |
| JP2012132717A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Unitechno Inc | 検査用コンタクトプローブ |
| TWI512299B (zh) * | 2013-04-18 | 2015-12-11 | Isc Co Ltd | 彈簧針用探針部材 |
| US9726693B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-08-08 | Isc Co., Ltd. | Probe member for pogo pin |
| US10274517B2 (en) | 2016-02-15 | 2019-04-30 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive probe for inspection and semiconductor inspection device |
-
1999
- 1999-11-10 JP JP31967299A patent/JP2000329789A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100653636B1 (ko) | 2005-08-03 | 2006-12-05 | 주식회사 파이컴 | 수직형 프로브, 그 제조 방법 및 프로브의 본딩 방법 |
| WO2007015600A1 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Phicom Corporation | Vertical probe and methods of fabricating and bonding the same |
| US7830162B2 (en) | 2005-08-03 | 2010-11-09 | Phicom Corporation | Vertical probe and methods of fabricating and bonding the same |
| JP2007139567A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Nec Electronics Corp | プローブおよびこれを備えた検査装置 |
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