JP3267753B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
コンタクトプローブInfo
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Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、微小なピッチ間隔の
半導体、液晶等の基板の電極若しくはパターン等の断
線、ショート等を精密にトライ検査することができるコ
ンタクトプローブに関するものである。
半導体、液晶等の基板の電極若しくはパターン等の断
線、ショート等を精密にトライ検査することができるコ
ンタクトプローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線基板の電気回路の断線、シ
ョート等を点検するため従来から一体型コンタクトプロ
ーブが使用されている。従来の一体型コンタクトプロー
ブは、図２に示すように、筒状スリーブ１に中心導体２
を嵌合させ、細径に形成した中心導体２後部とスリーブ
１との間にコイルスプリング３を介装させるか、或は図
３に示すように、筒状スリーブ１に中心導体２を嵌合さ
せ、スリーブ１の後端に形成した突起部４と中心導体２
の後端とにコイルスプリング３を固定し、前記中心導体
２の先端部がプリント基板の被測定面に押し当てられた
ときに、中心導体２がスリーブ１に対して相対移動可能
に構成されてなるコンタクトプローブが知られていた。
ョート等を点検するため従来から一体型コンタクトプロ
ーブが使用されている。従来の一体型コンタクトプロー
ブは、図２に示すように、筒状スリーブ１に中心導体２
を嵌合させ、細径に形成した中心導体２後部とスリーブ
１との間にコイルスプリング３を介装させるか、或は図
３に示すように、筒状スリーブ１に中心導体２を嵌合さ
せ、スリーブ１の後端に形成した突起部４と中心導体２
の後端とにコイルスプリング３を固定し、前記中心導体
２の先端部がプリント基板の被測定面に押し当てられた
ときに、中心導体２がスリーブ１に対して相対移動可能
に構成されてなるコンタクトプローブが知られていた。
【０００３】しかして、最近検査するプリント基板のピ
ッチ間隔が非常に狭くなってきているので、中心導体の
先端が中心からできるだけ移動しないコンタクトプロー
ブが強く求められている。中心導体の先端が若干でも移
動すると、中心導体の先端が目的としない被測定面に当
たる恐れが生じるからである。中心導体の先端をできる
だけ移動させないようにするには、中心導体をできるだ
け細くし、中心導体とスリーブとの間のクリアランスを
できるだけ少なくする必要がある。
ッチ間隔が非常に狭くなってきているので、中心導体の
先端が中心からできるだけ移動しないコンタクトプロー
ブが強く求められている。中心導体の先端が若干でも移
動すると、中心導体の先端が目的としない被測定面に当
たる恐れが生じるからである。中心導体の先端をできる
だけ移動させないようにするには、中心導体をできるだ
け細くし、中心導体とスリーブとの間のクリアランスを
できるだけ少なくする必要がある。
【０００４】しかしながら、従来の図２に示すコンタク
トプローブでは、構造的に中心導体２の嵌合直径を細く
するには限界があった。即ち、中心導体２の後方は、ス
プリング３を介装するため、更に細く形成しなければな
らなかったので、嵌合直径は極端に細く形成することは
できなかったからである。また、従来の図３に示すコン
タクトプローブは、スプリング３の固定の仕方に起因し
て、バネ性が不安定になるため、中心導体２とスリーブ
１との間のクリアランスを大きくしないと作動しないか
ら、当然クリアランスは大きくなる問題があった。従っ
て、従来のコンタクトプローブは、いずれも狭いピッチ
間隔のプリント基板の検査には到底満足し得ないもので
あった。
トプローブでは、構造的に中心導体２の嵌合直径を細く
するには限界があった。即ち、中心導体２の後方は、ス
プリング３を介装するため、更に細く形成しなければな
らなかったので、嵌合直径は極端に細く形成することは
できなかったからである。また、従来の図３に示すコン
タクトプローブは、スプリング３の固定の仕方に起因し
て、バネ性が不安定になるため、中心導体２とスリーブ
１との間のクリアランスを大きくしないと作動しないか
ら、当然クリアランスは大きくなる問題があった。従っ
て、従来のコンタクトプローブは、いずれも狭いピッチ
間隔のプリント基板の検査には到底満足し得ないもので
あった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な問題点を解消しようとするものであり、中心導体を従
来よりも極端に細くすることができるようにし、中心導
体とスリーブとのクリアランスをできるだけ小さくし
て、プリント基板の狭いピッチ間隔の電極等を支障なく
精密にトライ検査することができるようにしたコンタク
トプローブを提供することを目的とする。
な問題点を解消しようとするものであり、中心導体を従
来よりも極端に細くすることができるようにし、中心導
体とスリーブとのクリアランスをできるだけ小さくし
て、プリント基板の狭いピッチ間隔の電極等を支障なく
精密にトライ検査することができるようにしたコンタク
トプローブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的に沿う本発明の
構成は、筒状のスリーブに、細長い中心導体を摺動自在
に嵌合してなる一体型コンタクトプローブに於いて、前
記スリーブ後端にスリーブよりも内径の大きい筒状の連
結部材を連結し、前記中心導体の後端は、前記連結部材
から突出すると共に該連結部材内の前記中心導体にはコ
イルスプリングが外嵌し、該コイルスプリングの一端は
中心導体に設けられた円筒状の突起部に当接し、該突起
部は前記連結部材に摺動自在に嵌合したことを特徴とす
る。
構成は、筒状のスリーブに、細長い中心導体を摺動自在
に嵌合してなる一体型コンタクトプローブに於いて、前
記スリーブ後端にスリーブよりも内径の大きい筒状の連
結部材を連結し、前記中心導体の後端は、前記連結部材
から突出すると共に該連結部材内の前記中心導体にはコ
イルスプリングが外嵌し、該コイルスプリングの一端は
中心導体に設けられた円筒状の突起部に当接し、該突起
部は前記連結部材に摺動自在に嵌合したことを特徴とす
る。
【０００７】要するにこの発明は、スリーブ後端に筒状
の連結部材を連結し、該連結部材と中心導体との間にコ
イルスプリングを介装させることによって、連結部材は
自在に太くすることができ、スプリングも自在に大きく
することができるので、中心導体を極端に細くし、スリ
ーブとの間のクリアランスを極端に小さくして、微小の
ピッチ間隔の電極を正確にトライ検査することができる
ようにしたことを要旨とするものである。
の連結部材を連結し、該連結部材と中心導体との間にコ
イルスプリングを介装させることによって、連結部材は
自在に太くすることができ、スプリングも自在に大きく
することができるので、中心導体を極端に細くし、スリ
ーブとの間のクリアランスを極端に小さくして、微小の
ピッチ間隔の電極を正確にトライ検査することができる
ようにしたことを要旨とするものである。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明の実施例を示す断面図であり、筒
状のスリーブ１１に、細長い中心導体１２が摺動自在に
嵌合され、前記スリーブ１１の後端には、筒状の連結部
材１４が外嵌螺合され、該連結部材１４と中心導体１２
との間には、コイルスプリング１３が介装され、前記連
結部材１４に連設してソケット１５が嵌合されている。
する。図１は、本発明の実施例を示す断面図であり、筒
状のスリーブ１１に、細長い中心導体１２が摺動自在に
嵌合され、前記スリーブ１１の後端には、筒状の連結部
材１４が外嵌螺合され、該連結部材１４と中心導体１２
との間には、コイルスプリング１３が介装され、前記連
結部材１４に連設してソケット１５が嵌合されている。
【０００９】筒状スリーブ１１の内壁先端と後方には、
筒状の突起部１６が形成され、中心導体１２は、この突
起部１６に密嵌しているので、中心導体１２は摺動し易
すくなっている。更に、本発明の効果を十分発揮させる
ため、上記実施例に於いては、中心導体１２の外周に、
潤滑性皮膜が形成されている。このように潤滑性皮膜を
形成することによって、摺動トルクが小さくなり、摺動
し易すくなる。具体的には、上記実施例に於いては、潤
滑性皮膜として、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）のメッキ皮膜を形成している。このメッキ皮膜は、
皮膜中に２０〜２４重量％のＰＴＦＥを含有しており、
潤滑性及び耐摩耗性に極めて優れているから、摺動トル
クが小さくなり、長期間使用してもクリアランスは大き
くならないので特に効果的である。従来の中心導体は、
金若しくはニッケルメッキにより形成されているので、
潤滑性及び耐摩耗性にはあまり優れていないので、本発
明に使用するにはあまり効果的ではない。
筒状の突起部１６が形成され、中心導体１２は、この突
起部１６に密嵌しているので、中心導体１２は摺動し易
すくなっている。更に、本発明の効果を十分発揮させる
ため、上記実施例に於いては、中心導体１２の外周に、
潤滑性皮膜が形成されている。このように潤滑性皮膜を
形成することによって、摺動トルクが小さくなり、摺動
し易すくなる。具体的には、上記実施例に於いては、潤
滑性皮膜として、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）のメッキ皮膜を形成している。このメッキ皮膜は、
皮膜中に２０〜２４重量％のＰＴＦＥを含有しており、
潤滑性及び耐摩耗性に極めて優れているから、摺動トル
クが小さくなり、長期間使用してもクリアランスは大き
くならないので特に効果的である。従来の中心導体は、
金若しくはニッケルメッキにより形成されているので、
潤滑性及び耐摩耗性にはあまり優れていないので、本発
明に使用するにはあまり効果的ではない。
【００１０】上記と同様の理由で、筒状スリーブ１１と
突起部１６とを同材質の潤滑性及び耐摩耗性に優れた材
質を使用するか、或は突起部１６の表面に潤滑性及び耐
摩耗性に優れた皮膜を形成すると良い。中心導体１２と
コイルスプリング１３先端との当接面には、短円筒状の
突起部１７が形成されており、該突起部１７がコイルス
プリング１３によって付勢されている。
突起部１６とを同材質の潤滑性及び耐摩耗性に優れた材
質を使用するか、或は突起部１６の表面に潤滑性及び耐
摩耗性に優れた皮膜を形成すると良い。中心導体１２と
コイルスプリング１３先端との当接面には、短円筒状の
突起部１７が形成されており、該突起部１７がコイルス
プリング１３によって付勢されている。
【００１１】本発明のコンタクトプローブは、１本のコ
ンタクトプローブを専用の機械に保持し、プリント基板
の多数の電極に連続的にトライ検査するのに特に好適で
ある。即ち、このような方法でプリント基板を検査する
場合には、コンタクトプローブは、２０００回／分程度
上下動させるので、遠心力等によって、中心導体の先端
が多少でもブレれば、ピッチ間隔の狭い電極を正確にと
らえることはできないが、本発明のコンタクトプローブ
は、中心導体先端のブレが極めて少ないので、ピッチ間
隔の狭い電極でも正確にとらえることができるからであ
る。従来のコンタクトプローブでは、コンタクトプロー
ブの内径を１ｍｍ以下に形成するのは不可能であった
が、本発明のコンタクトプローブは、内径０．４ｍｍに
形成することもできる。そのため、本発明のコンタクト
プローブの中心電極(中心導体)の先端のブレは、従来の
コンタクトプローブと比べて約１／５に減少させること
ができるようになり、微小なピッチ間隔の半導体基板等
の電極を高精度で検査することが可能となった。
ンタクトプローブを専用の機械に保持し、プリント基板
の多数の電極に連続的にトライ検査するのに特に好適で
ある。即ち、このような方法でプリント基板を検査する
場合には、コンタクトプローブは、２０００回／分程度
上下動させるので、遠心力等によって、中心導体の先端
が多少でもブレれば、ピッチ間隔の狭い電極を正確にと
らえることはできないが、本発明のコンタクトプローブ
は、中心導体先端のブレが極めて少ないので、ピッチ間
隔の狭い電極でも正確にとらえることができるからであ
る。従来のコンタクトプローブでは、コンタクトプロー
ブの内径を１ｍｍ以下に形成するのは不可能であった
が、本発明のコンタクトプローブは、内径０．４ｍｍに
形成することもできる。そのため、本発明のコンタクト
プローブの中心電極(中心導体)の先端のブレは、従来の
コンタクトプローブと比べて約１／５に減少させること
ができるようになり、微小なピッチ間隔の半導体基板等
の電極を高精度で検査することが可能となった。
【００１２】
【効果】以上述べたごとく、本発明によれば、中心電極
は同一の太さに形成することができ、しかもコイルスプ
リングは安定したバネ性が得られるように内装している
ので、中心電極を極めて細く形成することができると共
に、中心電極とスリーブとのクリアランスも小さくする
ことができるから、中心電極先端のブレが極端に小さく
なるので、狭いピッチ間隔の電極を極めて正確にトライ
検査することができるというこの種従来のコンタクトプ
ローブには全く見られない著しく顕著な効果を奏する。
は同一の太さに形成することができ、しかもコイルスプ
リングは安定したバネ性が得られるように内装している
ので、中心電極を極めて細く形成することができると共
に、中心電極とスリーブとのクリアランスも小さくする
ことができるから、中心電極先端のブレが極端に小さく
なるので、狭いピッチ間隔の電極を極めて正確にトライ
検査することができるというこの種従来のコンタクトプ
ローブには全く見られない著しく顕著な効果を奏する。
【００１３】
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】従来のコンタクトプローブの断面図である。
【図３】従来のコンタクトプローブの他の例を示す断面
図である。
図である。
１１ スリーブ １２ 中心導体 １３ コイルスプリング １４ 連結部材 １６ 突起部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 1/067 H01L 21/66
Claims (3)
- 【請求項１】筒状のスリーブに、細長い中心導体を摺動
自在に嵌合してなる一体型コンタクトプローブに於い
て、前記スリーブ後端にスリーブよりも内径の大きい筒
状の連結部材を連結し、前記中心導体の後端は、前記連
結部材から突出すると共に該連結部材内の前記中心導体
にはコイルスプリングが外嵌し、該コイルスプリングの
一端は中心導体に設けられた円筒状の突起部に当接し、
該突起部は前記連結部材に摺動自在に嵌合したことを特
徴とするコンタクトプローブ。 - 【請求項２】前記中心導体の前方と後方とのスリーブ内
壁に突起部を形成し、該突起部で前記中心導体を摺動自
在に保持してなる請求項１に記載のプローブ。 - 【請求項３】前記中心導体の外周部に、潤滑性皮膜を形
成してなる請求項１に記載のコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17205593A JP3267753B2 (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17205593A JP3267753B2 (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | コンタクトプローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712847A JPH0712847A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3267753B2 true JP3267753B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=15934702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17205593A Expired - Fee Related JP3267753B2 (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3267753B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6802361B2 (en) | 2000-06-22 | 2004-10-12 | Air Techno Company Limited | Ceiling panel structure for a ceiling-mounted air-conditioning apparatus or the like |
| JP2010281790A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Micronics Japan Co Ltd | コンタクトピンとそれを用いる電気的接続装置 |
-
1993
- 1993-06-21 JP JP17205593A patent/JP3267753B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0712847A (ja) | 1995-01-17 |
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Legal Events
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