JP2010008132A - 2探針ケルビンプローブ - Google Patents
2探針ケルビンプローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010008132A JP2010008132A JP2008165533A JP2008165533A JP2010008132A JP 2010008132 A JP2010008132 A JP 2010008132A JP 2008165533 A JP2008165533 A JP 2008165533A JP 2008165533 A JP2008165533 A JP 2008165533A JP 2010008132 A JP2010008132 A JP 2010008132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- sleeve
- probes
- storage sleeve
- inspection plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 126
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【解決手段】断面横長のバネ性を有し且つ絶縁被膜でコーティングした二本のプローブを(一方は電圧用、他方は電流用)プローブ収納スリーブに各々独立して弾性屈曲し得るように装入し、該プローブ収納スリーブを検査用板取付用のスリーブに嵌合させ、前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端との間にコイルスプリングを外嵌させ、前記二本のプローブ後端部は、前記プローブ収納スリーブ及び/又は検査用板取付用のスリーブに固定し、2探針ケルビンプローブとした。
【選択図】 図1
Description
従って従来は、被測定電極の配置がランダムの場合は、ケルビン法による測定ではなく、プローブを1本1本回路電極にコンタクトさせる方法により測定していた。そのため、検査効率及び検査の信頼性が劣る欠点があった。
プローブ2と2´の材質としては、鋼鉄、ベリリウム、リン青銅、ステンレス、モリブデンなどの金属から、その用途に応じて最適な材質を選択すればよい。プローブ2と2´とに被覆する絶縁被膜の種類は特に限定されないが、上記実施例では、ポリイミド樹脂が使用されている。
プローブ収納スリーブ1、検査用板取付用のスリーブ4及び筒体9の材質は、プローブ2,2´の材質と同様に、鋼鉄、ベリリウム、リン青銅、ステンレス、モリブデンなどの金属から選択すればよい。
このようなプローブとするには、前記プローブ収納スリーブ1の内径が0.2〜0.6mmであり、前記2本のプローブの長辺又は直線部の長さが0.1〜0.5mmとするのが良い。
スリーブ1内に、断面半円形又は断面長方形の2本のプローブ2,2´を、若干隙間があるように装着し、スリーブ1後端で、圧接又は接着固定し、2本のプローブ2,2´(図2のプローブA及びB)は、図3に示すように、被測定物10に対し、独立して弾性屈曲し得るようにし、被測定物の表面の微細な凹凸を吸収して確実に2探針の役目を実現する。
それから、スリーブ1とスリーブ4との間のバネ圧を調整するストッパーリング9を、プローブ1に圧接又は接着により固定し、プローブ全体の機能性を完成させる。
コイルスプリング8のバネ圧は、前記二本のプローブ2,2´が被測定物の微小な凹凸に当って、独立して屈曲した後、前記プローブ収納スリーブが前記コイルスプリング8のバネ力に抗して移動するように調整する。
2,2´・・………プローブ
3・・………接着固定部
4・・………スリーブ
5・・………プローブ取付板
6・・………バネ抜け防止鍔
7・・………バネ抜け防止鍔
8・・………コイルスプリング
9・・………筒体
10・・………被測定物
Claims (8)
- 断面横長のバネ性を有し且つ絶縁被膜でコーティングした二本のプローブをプローブ収納スリーブに各々独立して弾性屈曲し得るように装入し、該プローブ収納スリーブを検査用板取付用のスリーブに嵌合させ、前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端との間にコイルスプリングを外嵌させ、前記二本のプローブ後部は、前記プローブ収納スリーブに固定したことを特徴とする2探針ケルビンプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの前記検査用板取付用スリーブ後端からの突出部には、ストッパー及び前記コイルスプリングのバネ圧調整用筒体を嵌合装着する請求項1記載のプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端に鍔を形成し、両方の鍔の間に前記コイルスプリングを外嵌させる請求項1又は2記載のプローブ。
- 断面横長のバネ性を有する二本のプローブは、断面半円径若しくは長方形であり、前記プローブ収納スリーブ及び検査用板取付用スリーブは、断面円形である請求項1〜3のいずれかに記載のプローブ。
- 前記二本のプローブが被測定物の微小な凹凸に当って、独立して屈曲した後、前記プローブ収納スリーブが前記コイルスプリングのバネ力に抗して移動するようにバネ圧が調整されている請求項1〜4のいずれかに記載のプローブ。
- 前記検査用板取付用のスリーブ外径が、0.3〜0.8mmであり、前記プローブ収納スリーブの外径が0.2〜0.7mmである請求項1〜5のいずれかに記載のプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの内径が0.2〜0.6mmであり、前記2本のプローブの長辺又は直線部の長さが0.1〜0.5mmである請求項1〜6のいずれかに記載のプローブ。
- 前記ケルビンプローブは、被測定電極の配置がランダムである回路電極を検査する請求項1〜7のいずれかに記載のプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165533A JP5190943B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 2探針ケルビンプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165533A JP5190943B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 2探針ケルビンプローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010008132A true JP2010008132A (ja) | 2010-01-14 |
JP5190943B2 JP5190943B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=41588831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008165533A Active JP5190943B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 2探針ケルビンプローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5190943B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2360933A2 (en) | 2010-01-18 | 2011-08-24 | Sony Corporation | Image Processing Apparatus, Image Processing Method, and Program |
JP2012163527A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Kiyota Seisakusho:Kk | パワーデバイス用コンタクトプローブ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333472U (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-03 | ||
JPH02128963U (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-24 | ||
JP2000011990A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-01-14 | Toyo System Kk | 温度ヒューズ機能付き導電接触ピン |
JP2002286752A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Tokyo Weld Co Ltd | プローブ計器及びその製作方法 |
JP2007248133A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hioki Ee Corp | プローブおよび測定装置 |
-
2008
- 2008-06-25 JP JP2008165533A patent/JP5190943B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6333472U (ja) * | 1986-08-20 | 1988-03-03 | ||
JPH02128963U (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-24 | ||
JP2000011990A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-01-14 | Toyo System Kk | 温度ヒューズ機能付き導電接触ピン |
JP2002286752A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Tokyo Weld Co Ltd | プローブ計器及びその製作方法 |
JP2007248133A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hioki Ee Corp | プローブおよび測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2360933A2 (en) | 2010-01-18 | 2011-08-24 | Sony Corporation | Image Processing Apparatus, Image Processing Method, and Program |
JP2012163527A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Kiyota Seisakusho:Kk | パワーデバイス用コンタクトプローブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5190943B2 (ja) | 2013-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10649005B2 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection device | |
JP6317270B2 (ja) | 電気的接続装置およびポゴピン | |
US8816710B2 (en) | Inspection contact element and inspecting jig | |
JP5325085B2 (ja) | 接続装置 | |
WO2012108066A1 (ja) | 検査治具 | |
JP2010060316A (ja) | 異方性導電部材および異方導電性を有する測定用基板 | |
JP6367249B2 (ja) | プローブユニット | |
JP2015090335A (ja) | 検査治具 | |
JP2010281592A (ja) | プローブ及び検査用治具 | |
WO2017208690A1 (ja) | 接触導電治具、及び検査装置 | |
JPWO2012067126A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
JP2012506992A (ja) | 検査用治具、検査方法、及び、それに用いる検査用プローブ | |
JP5394264B2 (ja) | プローブユニット | |
JP2009008579A (ja) | 基板検査用接触子及び基板検査用治具 | |
JP5190943B2 (ja) | 2探針ケルビンプローブ | |
WO2009102029A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
JP2014127407A (ja) | 電気接触子及び電気部品用ソケット | |
JP4008408B2 (ja) | プローブカード | |
JP2008008624A (ja) | コンタクトプローブ | |
Amin et al. | A practical investigation on the root causes of the mechanical damages of pogo pin type test sockets to IC packages in final test | |
JP2007178311A (ja) | プローブ | |
JP2007178311A5 (ja) | ||
JP2013217862A (ja) | 電気的接触子 | |
JP3267753B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP3908230B2 (ja) | プローブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121115 |
|
R155 | Notification before disposition of declining of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R155 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5190943 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160208 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |