JP2012163527A - パワーデバイス用コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スリーブを、先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成することによって、コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定とすることができる。また、スリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱性の材料から形成された絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の絶縁性チューブ内に位置させて、前記プランジャーに固定した絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成することによって、長寿命のコンタクトプローブとすることができる。
【選択図】 図4
Description
前記スリ割りの位置の内周に凸部を形成し、前記スリ割りの外周には、伸縮自在のバネ性リングを嵌合するのが好ましい(請求項6)。
2,2´ プランジャー
3,3´ コイルスプリング
4,4´ ストッパー
5,6,13 耐熱・絶縁性チューブ
7 耐熱絶縁体
10 スリ割り
11 リング状凸条
12 バネ性リング
14,15 耐熱・絶縁リング
16 金属リング
17 耐熱・絶縁体
測定電流:10A、測定電圧:15V、コンタクト時間:1秒、押し込み量:0.1mm:放電時間:1秒、測定間隔:1秒、試験回数:100回:室内温度:22℃
結果を次表1及び図5に示す。
測定電流:13A、測定電圧:15V、コンタクト時間:1秒、押し込み量:2.0mm:放電時間:1秒、測定間隔:1秒、試験回数:100回:室内温度:22℃
結果を次表2及び図6に示す。
Claims (12)
- 先端から後方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱・絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱・絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の耐熱・絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱・絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成したことを特徴とする半導体パワーデバイス検査用コンタクトプローブ。
- 先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに外嵌固定した耐熱・絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱・絶縁性チューブの外周に固定し、前記コイルスプリングの両端は、前記プランジャーに外嵌した耐熱・絶縁性リングに接触している請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 前記コイルスプリングの後端に接触した耐熱・絶縁性リングは、直接若しくはスリーブに外嵌した金属製リングを介して前記スリーブ先端に接触している請求項2記載のコンタクトプローブ。
- 先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーの後端に耐熱・絶縁性チューブを固定し、コイルスプリングは、スリーブに嵌合させた別の耐熱・絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱・絶縁性チューブの後端開口に耐熱・絶縁性部材を嵌合して、前記別の耐熱・絶縁性チューブに摺動自在に嵌合し、該耐熱・絶縁性部材でコイルスプリングを押圧する請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 前記耐熱・絶縁性部材は、金属線状体に耐熱・絶縁性チューブを外嵌し、該耐熱・絶縁性チューブ後端を押し潰したものである請求項4記載のコンタクトプローブ。
- 前記スリ割りの位置の内周に凸部を形成し、前記スリ割りの外周には、伸縮自在のバネ性リングを嵌合する請求項1〜5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記スリ割りの位置の外周を凹ませて、内周に凸部を形成する請求項1〜5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記凸部は、対向して若しくはリング状に形成されている請求項1〜7のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記スリーブ後端には、耐熱・絶縁体が嵌合装着され、コイルスプリングの後端は、該耐熱・絶縁体に接触している請求項4〜8のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記スリーブに細径部を形成して、スリーブの後部に段部を形成し、該段部が当接する位置決め用ストッパーを前記スリーブ内周に形成する請求項1〜9のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記バネ性を有する部材が、銅とベリリウム合金のベリリウム銅材又はリン青銅材である請求項1〜10のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記耐熱・絶縁性チューブ、耐熱・絶縁リング及び耐熱・絶縁体は、耐熱・絶縁性部材から形成されるが、該耐熱・絶縁性部材は、耐熱性のポリイミド樹脂である請求項1〜11のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
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