JP2000323023A

JP2000323023A - Ａｃ型ガス放電表示装置の製造方法

Info

Publication number: JP2000323023A
Application number: JP12893499A
Authority: JP
Inventors: Susumu Sakamoto; 進阪本; Eiji Naraki; 英二楢木
Original assignee: Noritake Co Ltd; Noritake Electronics Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd; Noritake Electronics Ltd
Priority date: 1999-05-10
Filing date: 1999-05-10
Publication date: 2000-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】絶縁体膜に覆われる電極の製造過程における断
線検査が容易なガス放電表示装置の製造方法を提供す
る。【解決手段】オーバ・コート形成工程において、オーバ
・コート３２が窓部４０を備えた穴明き形状に形成され
てその窓部４０内に書込電極１８の先端部３８が露出さ
せられる一方、窓部閉塞工程において、露出させられて
いたその先端部３８がその窓部４０を低軟化点ガラス４
２で塞ぐことによって覆われる。そのため、オーバ・コ
ート３２の形成後においても、書込電極１８はその両端
部が露出させられていることから、窓部４０を閉塞する
までの期間はその書込電極１８の断線検査を随時実施し
得る。一方、その先端部３８も製造工程の何れかの段階
で低軟化点ガラス４２で覆われることになるため、それ
が露出させられていることに起因する放電空間１６内の
雰囲気変化やマイグレーション等の不都合は何ら生じな
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、電極を絶縁体膜で覆った形式の
ＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】一対の平行平板間に形成された気密空間
内に物理的或いは電気的に区画形成されて縦横に並ぶ複
数の発光区画（セル）と、それら複数の発光区画内で選
択的に放電を発生させるための複数本の放電電極とを備
え、その気密空間内のガス放電を利用して発光させるこ
とにより、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表
示する形式のガス放電表示装置が知られている。例え
ば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオ
ン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画
内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線
により励起させられたその蛍光体の発光を利用する形式
のプラズマ・ディスプレイ・パネル（PlasmaDisplay Pa
nel：ＰＤＰ）等がそれである。このようなガス放電表
示装置は、平板型で大画面化、薄型化、および軽量化が
容易であると共に、ＣＲＴ並の広い視野角および早い応
答速度を有しているため、ＣＲＴに代わる画像表示装置
として期待されている。

【０００３】上記のようなガス放電表示装置は、電極構
造でＡＣ型パネルとＤＣ型パネルとに大別される。前者
のＡＣ型パネルは、放電電極が鉛含有ガラス等の無機材
料から成る絶縁体（誘電体）膜で覆われていることか
ら、その上に蓄積される電荷によって好適にメモリ効果
が得られて放電を容易に持続させ得ると共に、放電ガス
・イオンによる放電電極のスパッタが生じ難い等の利点
がある。例えば一対の平行平板のうちの光の射出側とな
る前面板の内面に一方向に沿って伸びる長手状の放電電
極対を縞（ストライプ）状に設けると共に、他方の背面
板内面にその放電電極と直交する方向に沿って伸びる長
手状の書込電極を縞状に設けた３電極構造は、ＡＣ型パ
ネルの代表的な電極構成例である。なお、放電電極は各
対間で表示放電を発生させるためのものであり、書込電
極は放電電極との間で発光区画（セル）を選択するため
の書込（アドレス）放電を発生させるためのものであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ＡＣ型パネ
ルに備えられる複数本の電極には、極めて細幅に設けら
れるその電極の幅寸法よりも大きい幅寸法を有する端子
部が各々の端部に設けられ、その端子部を介して外部回
路に接続されている。このとき、端子部相互の短絡を防
止するため、複数本の電極は、各々の一端および他端に
交互に端子部が備えられた「千鳥」に配設されることが
多く、精細度の高い表示装置ではそのような配設形状が
必須となる。

【０００５】上記のようなＡＣ型パネルを製造するに際
しては、一対の平行平板の内面に電極を厚膜印刷法、リ
フトオフ法、感光法や薄膜法等によって形成した後、そ
れを覆うように無機絶縁体膜がその内面上に設けられ
る。このとき、無機絶縁体膜は、上記の端子部が露出し
且つその端子部の反対側に位置する電極の先端部が覆わ
れるように形成される。そのため、個々の電極はその一
端だけが露出していることから、無機絶縁体膜を形成し
た後にはその両端間に電圧を印加して断線検査をするこ
とができないという問題があった。無機絶縁体膜の形成
後にも、気密空間内を複数の放電空間に区分する隔壁を
形成し或いは蛍光体層を塗着するために乾燥や焼成等の
熱処理が繰り返し施されることから、製造過程において
断線検査を随時実施することが望まれるのである。な
お、電極パターンを光学的に拡大してその外観を目視に
て検査するように電極の断線を非接触で検査する方法も
あるが、このような方法では測定精度が低い。しかも、
使用中に断線するような電流容量が不十分な電極を発見
するためには、上記のような電極が断線する大きさの検
査電流を印加する断線検査方法が望ましいといえる。

【０００６】また、前記の無機絶縁体膜を形成する際に
電極の先端部も露出させておけば、製造過程における断
線検査が可能となる。しかしながら、ＡＣ型パネルの電
極は、導電性や経済性等の観点から厚膜銀等の厚膜導電
材料で構成されることが多く、しかも、微小な相互間隔
を以て配設される。例えば、３電極構造の場合の前面板
内面に備えられる放電電極は、光の透過率を可及的に高
くする目的で酸化インジウム錫（ＩＴＯ）等の透明電極
材料で構成されるが、その透明電極の導電性を補うため
に厚膜導電材料から成るバス電極（金属電極）がそれに
重ねて設けられるのが通例である。また、書込電極も一
般に厚膜銀等で構成される。そのため、気密空間外で電
極が露出させられている場合においては、使用中のマイ
グレーション等によって電極が相互に短絡し得、気密空
間内で電極が露出させられている場合には、そのアウト
・ガスで真空度が変化すると共に蛍光体層が備えられて
いればそれが汚染されて発光効率が低下し得るという問
題がある。特に、前者の問題は、表示の精細度が高めら
れるほど電極間隔が小さくなるため著しく、表面にNa
（ナトリウム）の存在するソーダ・ライム・ガラス等が
安価であることを理由に平板材料として用いられること
が一層マイグレーションを加速させる。したがって、電
極の先端部を露出させたままにすることはできない。な
お、書込電極は露出していても機能上何ら支障はない
が、上記のような理由からオーバ・コートと称される無
機絶縁体膜で覆われている。

【０００７】また、前記の端子部は、外部回路と接続し
た後にマイグレーションや腐食等を防止するために合成
樹脂で覆われる。したがって、電極の先端部も同様に合
成樹脂で覆うことが考えられる。しかしながら、一般
に、電極の相互間隔は千鳥に配設された端子部の相互間
隔に比較して極めて小さい。そのため、先端部の露出部
分を合成樹脂で覆うことによってマイグレーション等を
十分に抑制しようとすると、能力の高い高価な合成樹脂
を必要となる。しかも、そのような合成樹脂を用いたと
しても、無機絶縁体膜で覆った場合ほどの信頼性は得ら
れないため、ガス放電表示装置の使用環境が制限され
る。なお、外部回路からの配線を端子部に接続するに先
立って、先端部だけをガラス等の無機材料で覆うことも
考えられるが、先端部と端子部との電極の長手方向にお
ける相互間隔は小さいため、端子部の好適な露出状態を
保ちつつ先端部だけを覆うことは困難である。因みに、
表示装置の有効な表示領域は前記の無機絶縁体膜が設け
られている範囲の内周側に限定されることから、先端部
と端子部との間隔を大きくすることは表示領域の周縁部
に形成される無効領域の拡大を意味するため好ましくな
いのである。

【０００８】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的は、絶縁体膜に覆われる電極
の製造過程における断線検査が容易なガス放電表示装置
の製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
め、本発明の要旨とするところは、相互間に気密空間を
形成する第１平板および第２平板と、その気密空間に面
するその第１平板の内面上において一方向に沿って伸び
る互いに平行な長手状の複数本の電極と、それら複数本
の電極を覆う無機絶縁体膜と、外部の配線と接続するた
めにその無機絶縁体膜よりも外側の位置にそれら複数本
の電極の一端および他端に交互に設けられた端子部とを
備え、前記気密空間内でガス放電を発生させて発光させ
る形式のＡＣ型ガス放電表示装置を製造する方法であっ
て、(a) 前記複数本の電極の前記端子部の反対側に位置
する先端部をそれぞれ露出させるための窓部を内周側に
備えた穴明き形状で前記無機絶縁体膜を設ける無機絶縁
体膜形成工程と、(b) 前記窓部を無機絶縁体材料で塞ぐ
ことにより前記複数本の電極の先端部を覆う窓部閉塞工
程とを、含むことにある。

【００１０】

【発明の効果】このようにすれば、ガス放電表示装置を
製造するに際しては、無機絶縁体膜形成工程において、
無機絶縁体膜が窓部を備えた穴明き形状に形成されてそ
の窓部内に電極の先端部が露出させられる一方、窓部閉
塞工程において、その窓部を無機絶縁体材料で塞ぐこと
によって露出させられていた電極の先端部が覆われる。
そのため、無機絶縁体膜の形成後においても、電極はそ
の両端部が露出させられていることから、窓部を閉塞す
るまでの期間は断線検査を随時実施し得る。一方、その
先端部も製造工程の何れかの段階で無機絶縁体材料で覆
われることになるため、それが露出させられていること
に起因する不都合は何ら生じない。しかも、電極先端部
を露出させるための無機絶縁体膜の窓部はその内周側に
設けられているため、その窓部を閉塞するための無機絶
縁体材料はその窓部内に略留まり、端子部まで広がるこ
とが抑制される。このため、端子部を汚染することなく
無機絶縁体膜の形成後に先端部を無機絶縁体材料で覆う
ことができる。したがって、窓部閉塞工程を所望の時期
に実施することにより、無機絶縁体膜で覆われる電極の
断線検査を製造過程において適宜実施することができ
る。

【００１１】

【発明の他の態様】ここで、好適には、前記のガス放電
表示装置の製造方法は、(c) 前記窓部閉塞工程以後に実
施され、前記窓部上およびそれよりも外周側の範囲内に
おいて前記第１平板と前記第２平板とを封着する封着工
程を含むものである。このようにすれば、封着工程にお
いては、窓部を前記の無機絶縁体材料で閉塞すると同時
に或いはそれ以降に、第１平板と第２平板とがその窓部
上或いはそれよりも外側の位置で封着される。そのた
め、表示装置の有効な表示領域は、無機絶縁体膜が設け
られている範囲のうち窓部が設けられている部分よりも
内周側に限定されるが、第１平板と第２平板との封着部
分はそれよりも外側に設定されていることから、その内
周側の部分全体を有効に表示領域として利用し得る。し
たがって、予め定められた表示領域を確保するために必
要となる第１平板の面積を小さくできる利点がある。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一適用例の
ＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法を用いて製造された
ＡＣ型ＰＤＰ８の構成を一部を切り欠いて示す斜視図で
ある。図において、ＰＤＰ８は、例えばソーダ・ライム
・ガラス製の平板から成り、透光性を有する前面板１０
と、同様にソーダ・ライム・ガラス製の平板から成る背
面板１２と、それら前面板１０および背面板１２との間
に形成された気密空間を一方向に沿って配列された複数
の放電空間１６に区画形成する複数本の長手状の隔壁
（ストライプ状リブ）１４とを備えて構成されている。
本実施例においては、背面板１２が基板に相当する。

【００１３】上記の前面板１０上には、上記隔壁１４の
長手方向と直交する一方向に沿って互いに平行に配置さ
れた複数対の表示放電電極２４ａ、２４ｂ（以下、特に
区別しないときは単に表示放電電極２４という）が、例
えば各対の中心間隔が600(μm)程度となるように、硼珪
酸ガラス等の低軟化点ガラスから成る誘電体層２０およ
びMgO 等から成る保護膜２２で覆われて設けられてい
る。この表示放電電極２４は、例えばＩＴＯ（Indium T
in Oxide：酸化インジウム錫）やＡＴＯ（Antimon Tin
Oxide ：酸化アンチモン錫）等の透明導体材料から成る
透明電極２８と、その透明電極２８の導電性を補うため
に表示放電電極２４の各対毎の外側位置に重ねて設けら
れ、例えば銀（Ag）、クロム（Cr）、銅（Cu）等の金属
材料（厚膜導電材料）から成る金属電極３０とから構成
されている。これらを覆う誘電体層２０は、表面に電荷
を蓄えることにより電極２４に交流放電をさせるために
設けられたものであるが、金属電極３０が厚膜材料で構
成される場合にはそのアウト・ガスによる放電空間１６
内の雰囲気変化を抑制する役割も有し、金属電極３０が
放電空間１６内に全く露出しないように設けられる。な
お、保護膜２２は、その誘電対層２０のスパッタリング
を防止する目的で設けられたものであるが、二次電子放
出係数の高い誘電体から構成されていることから、実質
的に放電電極として機能する。

【００１４】一方、上記の背面板１２上には、その略全
面を覆うアンダ・コート３４が設けられ、その上に後述
のように上記の表示放電電極２４ａとの間で書込放電さ
せられる複数本の書込電極１８が、前記複数の隔壁１４
に沿ってそれらの間の位置にオーバ・コート３２に覆わ
れて設けられている。この書込電極１８は、例えば厚膜
銀等の導電性の高い金属から形成されたものであり、相
互の中心間隔は200 〜500(μm)程度である。また、上記
のアンダ・コート３４は例えば低アルカリガラス或いは
無アルカリガラス等から成り、オーバ・コート３２は例
えば低軟化点ガラスおよび無機フィラーから成るもので
ある。これらアンダ・コート３４およびオーバ・コート
３２は、書込電極１８が加熱処理によって拡散し易く且
つ不純ガスを吸着し易い厚膜銀から成ることから、その
書込電極１８と背面板１２との反応（放電空間１６外に
おいてはマイグレーション等）、後述する蛍光体層２６
の汚染、およびアウト・ガスによる放電空間１６内の雰
囲気変化等を防止する目的で設けられている。そのた
め、書込電極１８は、放電空間１６内に全く露出せず、
且つ背面板１２とも全く接触しない状態にある。また、
オーバ・コート３２に含まれる無機フィラーは、例えば
酸化チタン等から成る白色フィラーであり、オーバ・コ
ート３２を白色化することで蛍光体の発光を表示側へ反
射させて輝度を高める目的で添加されている。

【００１５】なお、書込電極１８がニッケル（Ni）厚膜
や、アルミニウム（Al）、クロム−銅（Cr−Cu−Cr）、
金（Au）等の薄膜から構成される場合には、上述したよ
うな反応やガス発生の虞がないため、アンダ・コート３
４やオーバ・コート３２は設けられなくともよい。しか
しながら、これらの薄膜材料で電極１８を構成すること
は経済性の観点で問題があり、一般には上記のように厚
膜銀電極が用いられている。

【００１６】図２は、背面板１２上に形成されている各
厚膜層（アンダ・コート３４、書込電極１８、およびオ
ーバ・コート３２）の配設状態を説明するための平面図
である。アンダ・コート３４は、背面板１２の外周縁よ
りも僅かに内周側の範囲に設けられており、複数本の書
込電極１８は、全体がそのアンダ・コート３４上に位置
する。図における左右方向に沿った書込電極１８の長手
方向の一方の端部には、表示領域Ｄ内等に位置する他の
部分よりも幅広の端子部３６が備えられる。この端子部
３６は、外部回路配線と接続するために設けられたもの
であって、書込電極１８の長手方向の一端および他端の
一方に、図の上下方向となるその配列方向において交互
に位置する。すなわち、書込電極１８は、端子部３６が
千鳥に並ぶように設けられている。なお、この端子部３
６が設けられている範囲は、前記の図１においては省略
した。

【００１７】また、オーバ・コート３２は、前述のよう
に全体がアンダ・コート３４上に設けられているが、そ
の配設範囲は、複数本の書込電極１８の長手方向におけ
るその配設範囲よりも狭い範囲であり、書込電極１８の
各々に備えられた端子部３６は全てオーバ・コート３２
の外側に露出する。また、各々の書込電極１８の端子部
３６とは反対側の先端部３８は、その先端部３８側に位
置する他の書込電極１８の端子部３６よりもその長手方
向において手前側に位置している。そのため、書込電極
１８の長手方向における両端の何れにおいても、配列方
向における端子部３６、３６間には他の書込電極１８の
先端部３８が位置せず、それらの相互間隔は表示領域Ｄ
内における書込電極１８の相互間隔よりも十分に大き
い。オーバ・コート３２は、このように配設された書込
電極１８の先端部３８と端子部３６との間にその長手方
向における両端縁が位置する。したがって、複数本の書
込電極１８は、何れも端子部３６だけがオーバ・コート
３２から露出した状態でその略全体を覆われている。

【００１８】また、上記の端子部３６側に位置するオー
バ・コート３２の両端縁の僅かに内側の位置には、書込
電極１８の配列方向（すなわちその長手方向に垂直な方
向）に沿って伸びる長手矩形状に厚膜絶縁体材料が欠落
させられた一対の窓部４０、４０が備えられており、そ
の窓部４０は低軟化点ガラス４２で塞がれている。この
窓部４０は、オーバ・コート３２を厚膜スクリーン印刷
法等を用いて形成するに際して、穴明きパターンを用い
ることによって設けられたものであり、書込電極１８の
先端部３８上に位置する。このため、オーバ・コート３
２を形成した直後においては、製造方法を後述するよう
に、書込電極１８は端子部３６が備えられた一端がオー
バ・コート３２の外側において、先端部３８すなわち他
端がその窓部４０内において、それぞれ露出させられた
状態にある。但し、その先端部３８は、最終的には低軟
化点ガラス４２で覆われることとなるため、放電空間１
６内で書込電極１８が露出させられている部分は全くな
い。なお、前記の図１に示される隔壁１４が蛍光体層２
６等が設けられている表示領域Ｄは、上記の窓部４０、
４０間よりも内側の範囲である。

【００１９】図１に戻って、前記隔壁１４は、例えば、
B₂O₃、PbO 系等の低軟化点ガラスを主成分とするもので
あり、幅80〜150(μm)程度、高さｈ＝100 〜200(μm)程
度の寸法に、書込電極１８の中心間隔に略等しい200 〜
500(μm)程度の中心間隔で上記のオーバ・コート３２上
に設けられている。オーバ・コート３２は背面板１２の
略全面を覆うものであるため、隔壁１４は実質的に背面
板１２上から立設されていると言える。この隔壁１４
は、例えばアルミナ等の無機充填材（フィラ−）やその
他の無機顔料等を適量含んで構成された多孔質のガラス
膜である。

【００２０】また、背面板１２の内面（厳密にはオーバ
・コート３２の表面）および隔壁１４の側面、すなわち
放電空間１６の内壁面のうち前面板１０の内面を除く位
置には、各放電空間１６毎に塗り分けられた蛍光体層２
６が例えば 50(μm)程度以下の範囲で色毎に定められた
厚みで設けられている。各発光色の蛍光体層２６の厚さ
は、それぞれ放電空間１６の長手方向の全域において、
すなわち端部近傍の部分も内側の部分も略一様である。
また、蛍光体層２６は、例えば紫外線励起により発光さ
せられるＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）等の発光色に対
応する蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放
電空間１６相互に異なる発光色となるように設けられて
いる。

【００２１】なお、本実施例においては、前面板１０と
背面板１２との間に形成される気密空間内においてマト
リクス状（縦横）に配列された発光の最小単位を成す発
光区画（セル）は、一対の表示放電電極２４ａ、２４ｂ
と書込電極１８との交点毎に形成されている。すなわ
ち、発光区画の中心間隔はこれらの交点の中心間隔に等
しい。ＲＧＢ３色から成るＰＤＰ８の一画素は、書込電
極１８に沿った方向に一列および表示放電電極２４に沿
った方向に３列の発光区画から構成されており、書込電
極１８に沿った方向においては上記交点の中心間隔で、
表示放電電極２４に沿った方向においては上記交点の３
倍の中心間隔で配列されている。但し、図１から明らか
なように、隔壁１４による物理的な放電空間１６の区分
は、書込電極１８の長手方向に沿った方向だけで為され
ている。そのため、各発光区画は、相互に異なる発光色
が並ぶ表示放電電極２４に沿った方向においては、隔壁
１４によって物理的に区分されているが、書込電極１８
に沿った方向においては、各対の表示放電電極２４ａ、
２４ｂの間の中央位置近傍すなわち表示放電の効果が及
ぶ範囲の境界によって電気的な作用で実質的に区分され
ている。

【００２２】以上のように構成されるＰＤＰ８は、例え
ば、以下のように駆動される。すなわち、先ず、一方の
表示放電電極２４ａに所定の負電圧を印加して順次走査
すると同時に、その走査のタイミングに同期して所定の
書込電極１８に所定の正電圧を印加することにより、正
電圧が印加された書込電極１８と表示放電電極２４ａと
の間で順次書込放電させて、表示放電電極２４ａを覆う
誘電体層２０上（厳密にはそれを更に覆う保護膜２２
上）に電荷を蓄積して発光させる区画（表示区画）を選
択する。その後、全ての表示放電電極２４ａ、２４ｂに
所定の放電維持パルスを印加して表示放電を発生させ且
つ所定時間維持して、選択された表示区画内の蛍光体層
２６を励起して発光させ、その光を前面板１０を通して
射出することにより、一画像を表示する。上記の表示区
画の選択および発光が一定周期で繰り返されることによ
り所望の画像が連続的に表示される。なお、詳細な駆動
方法は本実施例の理解に不要であるため説明を省略す
る。

【００２３】ところで、上記のＰＤＰ８は、例えば、図
３に工程図の概略を示される製造工程に従って製造され
る。以下、製造工程の各段階における背面板１２表面の
状態を表す図４(a) 〜(d) を参照してＰＤＰ８の製造方
法を説明する。背面板１２の処理工程においては、先
ず、アンダ・コート形成工程Ｓ１ａにおいて、厚膜絶縁
ペーストを背面板１２の一面に繰り返し塗布して焼成す
ることにより前記アンダ・コート３４を形成する。次い
で書込電極形成工程Ｓ２ａにおいては、そのアンダ・コ
ート３４上に例えば厚膜スクリーン印刷法やリフトオフ
法等を用いて厚膜銀ペースト等の厚膜導電材料ペースト
で前記書込電極１８を形成する。図４(a)は、この状態
を示している。

【００２４】続くオーバ・コート形成工程Ｓ３ａにおい
ては、この書込電極１８上から低軟化点ガラスおよび無
機フィラーを含む厚膜絶縁ペーストをアンダ・コート３
４の略全面を覆って繰り返し塗布して焼成することによ
り前記オーバ・コート３２を形成する。図４(b) は、こ
の状態を示している。本実施例においては、オーバ・コ
ート３２が無機絶縁体膜に相当する。このとき、オーバ
・コート３２は、図に示されるように、複数本の書込電
極１８の一端或いは他端に備えられた端子部３６、３６
よりも内側の範囲に前述した窓部４０、４０を内周側に
有する穴明き形状で設けられることから、その端子部３
６およびそれと反対側の先端部３８は、何れも露出した
ままの状態である。そのため、このオーバ・コート３２
を形成した後にも、複数本の書込電極１８の各々につい
てその両端間すなわち端子部３６および先端部３８間に
電圧を印加することにより、断線検査をすることが可能
である。したがって、書込電極１８が断線している不良
基板がそのまま工程を流れることが抑制される。

【００２５】因みに、従来の製造方法においては、オー
バ・コート３２は、複数本の書込電極１８の各々の端子
部３６だけを露出させる形状、すなわち当初から窓部４
０が閉塞された形状に設けられていた。そのため、オー
バ・コート３２を形成した後には、信頼性の低い非接触
式（光学式）の断線検査方法でなければ実施することが
できず、後述するように前面板１０と封着して放電ガス
を封入した後に発光させるまでは確実に断線不良を識別
することができなかったのである。

【００２６】図３に戻って、隔壁形成工程Ｓ４ａにおい
ては、低軟化点ガラスを主成分とする厚膜絶縁ペースト
を厚膜スクリーン印刷法等によってオーバ・コート３２
上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの
種類に応じて定められる例えば500 〜650(℃) 程度の熱
処理温度で焼成する。この隔壁１４を形成するための厚
膜絶縁ペーストにも無機フィラーおよび無機顔料が適宜
混合される。これにより、ペースト中の有機成分が焼失
させられると共にガラス成分が軟化・溶融し、更に焼結
して冷却に伴って硬化させられ、前記の隔壁１４が生成
される。このようにして隔壁１４を形成した後、加熱に
より書込電極１８が断線或いは劣化させられている可能
性を考慮して、先端部３８および端子部３６間に電圧を
印加して断線検査を実施する。なお、乾燥温度は有機溶
剤の種類に応じて定められ、例えば80〜200(℃) であ
る。また、これらの厚膜印刷を利用する各工程におい
て、厚膜ペーストの一回の塗布厚みは 20(μm)程度と薄
いことから上記のように塗布および乾燥が繰り返される
が、その回数は形成する膜厚みに応じて適宜定められ
る。

【００２７】隔壁１４が所望の高さに形成された後、続
く蛍光体層形成工程Ｓ５ａにおいては、例えば樹脂成分
が有機溶剤中に溶解させられたビヒクル中に蛍光体粉末
を分散させた蛍光体ペーストを用いて、前記の蛍光体層
２６を形成する。この蛍光体層２６の形成は、例えば、
隔壁１４の頂部から蛍光体ペーストを流し込んで隔壁１
４、１４間に充填して乾燥、加熱処理を施すことで行
う。すなわち、有機溶剤の揮発或いは蒸発に伴う体積収
縮を利用することで、蛍光体粒子を隔壁１４の側面およ
び背面板１２の内面に所望の厚さで固着することができ
る。この段階においても、必要に応じて書込電極１８の
断線検査が実施される。なお、蛍光体層２６は発光色毎
に形成するため、ペースト塗布および乾燥処理はその色
数だけ繰り返す必要がある。

【００２８】そして、窓部閉塞工程Ｓ６において、例え
ば厚膜スクリーン印刷法やディスペンサ塗布方等によっ
て封着用ガラス・フリットを窓部４０内に塗布して、熱
処理を施すことにより、その封着用ガラス・フリットか
ら生成される低軟化点ガラス４２によってその窓部４０
が塞がれる。図４(c) は、この状態を示しており、窓部
４０内に露出させられていた先端部３８は低軟化点ガラ
ス４２によって覆われているが、オーバ・コート３２よ
りも外側に位置する端子部３６は露出したままである。
なお、上記の熱処理は、ガラス・フリットの軟化点に応
じて定められるが、蛍光体層２６の熱処理をこのときに
同時に行う場合には、蛍光体ペーストに含まれる樹脂成
分の熱分解温度等も考慮される。本実施例においては、
低軟化点ガラス４２が無機絶縁体材料に相当する。

【００２９】一方、前面板１０の処理工程においては、
先ず、透明電極形成工程Ｓ１ｂにおいて、例えばＩＴＯ
等の透明電極材料を用いて薄膜・フォトリソ法等により
透明電極２８を形成し、次いで、金属電極形成工程Ｓ２
ｂにおいて例えば厚膜銀ペースト等の厚膜導電ペースト
を用いて厚膜スクリーン印刷法等によって金属電極３０
を形成する。なお、これら透明電極２８および金属電極
３０の形成方法は薄膜法や厚膜法等の中から材料等に応
じて適宜決定される。その後、誘電体層形成工程Ｓ３ｂ
において厚膜絶縁ペーストを前面板１０の一面に繰り返
し塗布して焼成することにより電極２８、２８を覆って
前記誘電体層２０を形成する。このとき、この誘電体層
２０は、前記のオーバ・コート３２と同様に図４(b) に
示されるような穴明きパターンで設けられる。そのた
め、背面板１２の処理工程の場合と同様に、誘電体層２
０の形成後にも金属電極３０の断線検査をすることが可
能である。

【００３０】続く保護膜形成工程Ｓ４ｂにおいては、例
えば蒸着法等を用いてMgO 等から成る保護膜２２を誘電
体層２０上に形成する。この段階でも、金属電極３０の
断線検査を、直接電圧を印加することで実施できる。そ
して、前記窓部閉塞工程Ｓ６と同様にして窓部閉塞工程
Ｓ５ｂを実施することにより、誘電体層２０に設けられ
ている窓部を低軟化点ガラス等で閉塞し、露出させられ
ていた金属電極３０の先端部を覆うことで、前面板１０
上への膜形成工程は終了する。

【００３１】上記のようにして背面板１２および前面板
１０上にそれぞれ膜形成した後、封着工程Ｓ７において
は、それら背面板１２および前面板１０の周縁部に沿っ
てフリット・ガラス等の封着材４４をそれぞれ塗布し、
必要に応じてスペーサを介して重ね合わせた状態で加熱
処理を施す。これにより、前面板１０および背面板１２
が相互に封着され、内部に気密空間が形成される。図４
(d) は、背面板１２上に封着剤４４を塗布した状態を示
している。この封着剤４４の塗布位置は、表示領域Ｄよ
りも十分に外側であって、窓部４０の僅かに外側の位置
である。そして、放電ガス封入工程Ｓ７において、例え
ば、放電空間１６内を一旦真空状態にし、更に、例えば
He，Ne，Xe等の放電ガスを 200〜500(Torr) 程度の所定
圧力で封入することによって、前記ＰＤＰ８が製造され
る。なお、前面板１０と隔壁１４とは突き合わされてい
るだけで互いに接合されてはいない。

【００３２】以上、説明したように、本実施例によれ
ば、ＰＤＰ８を製造するに際しては、オーバ・コート形
成工程Ｓ３ａにおいて、オーバ・コート３２が窓部４０
を備えた穴明き形状に形成されてその窓部４０内に書込
電極１８の先端部３８が露出させられる一方、窓部閉塞
工程Ｓ６において、露出させられていたその先端部３８
がその窓部４０を低軟化点ガラス４２で塞ぐことによっ
て覆われる。そのため、オーバ・コート３２の形成後に
おいても、書込電極１８はその両端部が露出させられて
いることから、窓部４０を閉塞するまでの期間はその書
込電極１８の断線検査を随時実施し得る。一方、その先
端部３８も製造工程の何れかの段階で低軟化点ガラス４
２で覆われることになるため、それが露出させられてい
ることに起因する放電空間１６内の雰囲気変化やマイグ
レーション等の不都合は何ら生じない。しかも、書込電
極先端部３８を露出させるための窓部４０はオーバ・コ
ート３２の内周側に設けられているため、その窓部４０
を閉塞するための低軟化点ガラス４２はその窓部４０内
に略留まり、端子部３６まで広がることが抑制される。
このため、端子部３６を汚染することなく先端部３８を
低軟化点ガラス４２で覆うことができる。

【００３３】また、本実施例においては、窓部閉塞工程
Ｓ６において窓部４０を低軟化点ガラス４２で閉塞した
後に、封着工程Ｓ７において、前面板１０と背面板１２
とがその窓部４０上よりも外側の位置で封着される。そ
のため、ＰＤＰ８の有効な表示領域Ｄは、オーバ・コー
ト３２が設けられている範囲のうち窓部４０が設けられ
ている部分よりも内周側に限定されるが、前面板１０と
背面板１２との封着部分はそれよりも外側に設定されて
いることから、その内周側の部分全体を有効に表示領域
Ｄとして利用し得る。したがって、予め定められた表示
領域Ｄを確保するために必要となる背面板１２の面積を
小さくできる利点がある。

【００３４】次に、本発明の他の実施例を説明する。な
お、以下の実施例において前述の実施例と共通する部分
は同一の符号を付して説明を省略する。

【００３５】図５は、書込電極１８をオーバ・コート３
２で覆うに際して、その先端部３８を個々に露出させる
ための窓部４６をそのオーバ・コート３２に設けた構成
例である。このようにしても、複数本の書込電極１８の
各々はその両端を露出させられているため、オーバ・コ
ート３２の形成後に随時断線検査を実施できる。すなわ
ち、書込電極１８の先端部３８を露出させるための窓部
４６は、少なくともその先端部３８上を含む範囲に形成
されていればよく、その形状や大きさを任意に定めるこ
とができる。なお、図においては書込電極１８をオーバ
・コート３２で覆う場合について説明したが、このよう
な構成例も、表示放電電極２４を誘電体層２０で覆う場
合に同様に適用できる。なお、その場合には、表示放電
電極２４を構成する２種類の電極のうち金属電極３０の
先端部だけが露出させられていれば十分である。

【００３６】以上、本発明の一実施例を図面を参照して
詳細に説明したが、本発明は、更に別の態様でも実施さ
れる。

【００３７】例えば、実施例においては、ＰＤＰ８の前
面板１０および背面板１２上にそれぞれ形成された金属
電極３０および書込電極１８の先端部３８等を露出させ
る場合について説明したが、それらのうち一方だけを露
出させる場合にも本発明は同様に適用される。例えば、
誘電体層２０を形成した後に金属電極３０の断線する可
能性が殆どないのであれば、背面板１２の処理工程だけ
に本発明が適用されてもよい。

【００３８】また、実施例においては、前面板１０と背
面板１２との封着は窓部４０よりも外側の位置で為され
ていたが、その封着位置は窓部４０よりも内側とするこ
ともでき、或いは、窓部４０上で封着してもよい。内側
で封着する場合にも、書込電極１８の先端部３８が露出
したままであることは、マイグレーション延いては電極
相互の短絡をもたらすため、製造工程の何れかの段階で
低軟化点ガラス４２等によって先端部３８を覆う必要が
ある。このように封着位置を内側に設定することは、表
示領域Ｄがそれだけ小さくなることを意味するため、図
４(d) に示したように窓部４０の外側で封着する構成と
することが望ましい。なお、窓部４０上で封着する場合
には、窓部４０の閉塞と封着とを封着剤４４で兼ねるこ
とができる。

【００３９】また、実施例においては、蛍光体層２６を
形成した後に窓部４０を閉塞していたが、窓部４０を閉
塞するタイミングは、その後に書込電極１８等が断線す
る可能性を考慮して適宜定められる。例えば、蛍光体層
２６の形成時には断線する可能性が殆どないのであれ
ば、隔壁１４を形成した後等に窓部４０を閉塞しても差
し支えない。また、このように蛍光体層２６の形成前に
窓部４０を閉塞する場合には、窓部４０を閉塞するため
の低軟化点ガラス４２を隔壁１４の端部に接触し且つオ
ーバ・コート３２上に盛り上がるように塗布し、低軟化
点ガラス４２を隔壁１４間に塗布される蛍光体ペースト
の流れ止めとして機能させることもできる。

【００４０】その他、一々例示はしないが、本発明はそ
の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の製造方法が適用されたＰＤ
Ｐの構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。

【図２】図１のＰＤＰの背面板上の厚膜構成を説明する
図である。

【図３】図１のＰＤＰの製造工程を説明する工程図であ
る。

【図４】(a) 〜(d) は、図３の製造工程の各段階におけ
る背面板内面の状態を説明するための平面図である。

【図５】本発明の他の実施例を説明するための図２に対
応する図である。

【符号の説明】

８：ＰＤＰ（ガス放電表示装置）１０：前面板（第２平板）１２：背面板（第１平板）１６：放電空間１８：書込電極３２：オーバ・コート（無機絶縁体膜）３６：端子部３８：先端部４０：窓部４２：低軟化点ガラス（無機絶縁体材料）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者楢木英二愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号ノリタケ電子工業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA01 AA06 5C040 FA01 GB03 GB14 GC19 GD01 GD09 JA02 JA12 JA26 MA10 MA21 MA24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相互間に気密空間を形成する第１平板お
よび第２平板と、その気密空間に面するその第１平板の
内面上において一方向に沿って伸びる互いに平行な長手
状の複数本の電極と、それら複数本の電極を覆う無機絶
縁体膜と、外部の配線と接続するためにその無機絶縁体
膜よりも外側の位置にそれら複数本の電極の一端および
他端に交互に設けられた端子部とを備え、前記気密空間
内でガス放電を発生させて発光させる形式のＡＣ型ガス
放電表示装置を製造する方法であって、前記複数本の電極の前記端子部の反対側に位置する先端
部をそれぞれ露出させるための窓部を内周側に備えた穴
明き形状で前記無機絶縁体膜を設ける無機絶縁体膜形成
工程と、前記窓部を無機絶縁体材料で塞ぐことにより前記複数本
の電極の先端部を覆う窓部閉塞工程とを、含むことを特
徴とするＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【請求項２】前記窓部閉塞工程以後に実施され、前記
窓部上およびそれよりも外周側の範囲内において前記第
１平板と前記第２平板とを封着する封着工程を含むもの
である請求項１のＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。