JP2000315457A - プラズマディスプレイ装置製造方法、及びリアパネル - Google Patents
プラズマディスプレイ装置製造方法、及びリアパネルInfo
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Abstract
マディスプレイ装置を提供する。 【解決手段】リアパネル7のガラス基板51上に封着材
58を設け、真空雰囲気中で加熱して封着材58を発泡
させる。所定時間発泡させ、封着材58中に含まれる気
体を放出させる。所定時間経過後、気体を導入して発泡
を終了させ、冷却する。リアパネル7にフロントパネル
を張り合わせる際に、封着材58から不純物ガスが放出
されることがない。張り合わせの際も、封着材58を気
体雰囲気中で溶融させるようにすると、封着材58が発
泡することがない。封着材58は、ガラス基板51上に
設けた突条551、552間に配置しておくとよい。
Description
マディスプレイ装置の製造方法、及び、その製造方法に
適したパネルに関する。
ラズマディスプレイ装置が注目されている。図8の符号
101は、AC型のプラズマディスプレイ装置であり、
フロントパネル120とリアパネル130とを有してい
る。
の表面には、複数の電極121、131がそれぞれ設け
られており、電極121、131が互いに垂直になるよ
うに、各電極121、131が形成された面を対向させ
て組み立てられている。
間には、放電用のガスが封入されており、各電極12
1、131のうち、適当な電極121、131を選択
し、電圧を印加すると、その電極121、131間にプ
ラズマが形成され、プラズマディスプレイ装置101上
のその部分を発光させられるように構成されている。
パネル130は、真空雰囲気中で脱ガス処理され、プラ
ズマディスプレイ101間には不純物ガスが残留しない
ようにされているが、フロントパネル120とリアパネ
ル130とを組み立てる際には、リアパネル130表面
に設けられた封着材にフロントパネル120を当接させ
た状態で、封着材を溶融・固化させ、封着材を接着剤と
してパネル間を接着しているが、封着材は溶融する際に
発泡し、放出されたガスがフロントパネル120やリア
パネル130表面に吸着すると、プラズマディスプレイ
101の特性を劣化させるという問題がある。
の不都合を解決するために創作されたものであり、その
目的は、封着材から放出されたガスが残留していないプ
ラズマディスプレイ装置を提供することにある。
に、請求項1記載の発明は、2枚のパネル間に配置され
た封着材を溶融、固化させ、前記2枚のパネルを接着す
るプラズマディスプレイ装置製造方法であって、前記2
枚のパネルのうち、少なくとも一方のパネルに前記封着
材を配置し、真空雰囲気中で前記封着材を加熱して溶融
させた後、該封着材を気体雰囲気中に置き、前記封着材
の発泡を停止させることを特徴とする。
ラズマディスプレイ装置製造方法であって、前記気体雰
囲気の圧力は、5000Pa以上にすることを特徴とす
る。
ラズマディスプレイ装置製造方法であって、前記気体雰
囲気中で前記封着材を冷却して固化させた後再度加熱し
て溶融させ、前記2枚のパネル間を前記封着材で接着す
ることを特徴とする。
項3のいずれか1項記載のプラズマディスプレイ装置製
造方法であって、前記2枚のパネルは、気体雰囲気中で
張り合わせられることを特徴とする。
ラズマディスプレイ装置製造方法であって、前記張り合
わせを行う気体雰囲気の圧力を、5000Pa以上にす
ることを特徴とする。
項5のいずれか1項記載のプラズマディスプレイ装置製
造方法であって、前記2枚のパネルのうち、少なくとも
1枚のパネル表面に2本以上の突条を設け、前記封着材
を、前記突条間に配置しておくことを特徴とする。
記ガラス基板上に平行に配置された複数本の突条とを有
するパネルであって、前記平行に配置された突条の外周
位置に突条が設けられ、前記外周位置の突条間に封着材
が配置されたことを特徴とするプラズマディスプレイ装
置用のパネル。
レイ装置であって、請求項7記載のパネルと他のパネル
とが、前記封着材によって互いに固定されたことを特徴
とする。
られる封着材は低融点ガラスで構成されているが、封着
材中には揮発成分が含まれているため、2枚のパネルを
組み立ててプラズマディスプレイ装置を製造する際に、
封着材を加熱して溶解させると封着材が発泡し、不純物
ガスが放出されてしまう。
封着材を加熱しており、封着材を溶融させて発泡させ、
封着材中から揮発成分を除去している。
温度ではガラス基板を搬送できないため、一旦冷却する
必要がある。
表面に発泡の凹凸が形成された状態で封着材が固化して
しまう。そのような封着材を用いて2枚のパネルを接着
すると、密着性が悪くなってしまう。
窒素ガスやアルゴンガス等の不活性な気体を導入し、封
着材を気体雰囲気中に置くことで発泡を終了させてお
り、その状態で冷却すると、表面に凹凸が無い状態で封
着材を固化させることができる。
50℃に加熱し、封着材を発泡させた場合の放出ガス量
の経時変化を示すグラフである。加熱開始から6000
秒程度経過すると、放出ガスが無くなることが分かる。
てプラズマディスプレイ装置を接着する場合には、封着
材を再度溶融させても封着材から放出されるガスは少な
くなっている。
後、再度加熱し、放出ガス量を測定した。その結果を図
7に示す。放出ガス量は非常に少なくなっていることが
分かる。
て2枚のパネルを当接させ、加熱してパネル間を接着す
る場合には、封着材からの放出ガスが非常に少ない状態
でプラズマディスプレイ装置を組み立てることができ
る。
が、封着材中に気体成分が残留し、接着時に再度発泡し
てしまう場合には、発泡後、一旦固化させた封着材を気
体雰囲気中で加熱し、溶融させることで接着時の発泡を
防ぐことができる。接着後の冷却・固化も、気体雰囲気
中で行うことができる。
せた場合には、封着材が流動化し、広がってしまう。プ
ラズマディスプレイ装置に用いられるパネルには、プラ
ズマを維持する空間を形成するために、発光領域には複
数の突条が平行に設けられており、封着材が広がり、そ
の高さが突条よりも低くなった場合には、突条が邪魔に
なってパネル同士を接着できなくなってしまう。
位置に、更にリング形状の突条を設け、その突条間に封
着材を配置している。封着材を多めに配置しておくと、
封着材が溶融しても、その高さが突条よりも低くなら
ず、パネル間の接着を確実に行えるようになる。
着材層をパターニングし、発光空間の突条を形成する際
に、一緒にパターニングすることで形成することができ
る。
合、発泡させるときには接着時よりも高温に加熱するこ
とができる。例えば、接着時の加熱温度が450℃の場
合、500℃で発泡させ、接着時に不純物がすが放出さ
れないようにすることができる。
a程度の圧力が望ましく、封着材を冷却するときや接着
時の気体雰囲気は、5000Pa以上が適当である。真
空装置では、圧力の上限は大気圧であるが、大気圧より
も高圧であっても差し支えない。
製造方法に用いることができる製造装置の一例を示して
いる。この製造装置1は、フロントパネル側製造ライン
20と、リアパネル側製造ライン30と、位置合わせ室
11と、組立ライン40とを有している。
ネル側製造ライン30は、製造工程上、位置合わせ室1
1の前工程にあたり、位置合わせ室11の搬入口に接続
されている。他方、組立ライン40は、位置合わせ室1
1の後工程にあたり、位置合わせ室11の搬出口に接続
されている。
入室21と、成膜室22とを有している。この成膜室2
2は、搬入室21と位置合わせ室11の間に配置されて
いる。
1と、脱ガス室31とを有している。脱ガス室32は、
搬入室31と位置合わせ室11との間に配置されてい
る。
空排気可能に構成されており、各室は予め真空雰囲気に
されているものとする。
用いる製造工程を説明すると、搬入室21を大気に開放
し、図8の符号130に示すようなフロントパネルを、
搬入室21内に搬入する。
21内を成膜室22内部に接続し、フロントパネルを成
膜室22内に搬送する。
料が配置されており、成膜室22内に酸素ガスを導入
し、蒸着材料に電子ビームを照射し、MgO蒸気を放出
させ、フロントパネル上の透明誘電体層の表面に、Mg
Oから成る保護膜を成長させる。
ントパネルを成膜室22内から位置合わせ室11内に搬
送する。図1の符号6は、位置合わせ室11内に搬入さ
れたフロントパネルを示している。
行して、リアパネル側製造ライン30では、図2(e)の
符号7で示したリアパネルが脱ガス室32内に搬入さ
れ、脱ガス処理が行われている。
も前の工程において、予め図2(a)〜(c)に示すような
工程によって表面にリブが形成されている。
(e)を参照し、同図(a)の符号51はガラス基板を示し
ており、その表面には、多数のデータ電極52が互いに
平行に配置されている。データ電極52は、複数本平行
に配置されており、ガラス基板51及びデータ電極52
の表面には誘電体膜53が形成されている。
を形成し(同図(b))、フォトリソグラフによって表面に
パターニングしたレジスト膜を形成し、サンドブラスト
等によってフォトレジスト膜の窓開部分からリブ材54
を部分的に除去すると、誘電体膜53上にリブ55が立
設される(同図(c))。
リング部突条551、552と、直線状の多数の発光部突
条553とで構成されている。
中間位置に配置されており、従って、各発光部突条55
3は互いに平行になっている。他方、2本の周辺リング
部突条551、552は、図3に示すように、ガラス基板
51表面の端部位置に配置されている。2本の周辺リン
グ部突条551、552は同心状に配置されており、内側
の周辺リング部突条552のが、発光部突条553の周囲
を取り囲むようにされている。
553間に蛍光層56を形成し(同図(d))、次いで、周
辺リング部突条551、552間に封着材58を流し込む
とリアパネル7が得られる(同図(e))。
介して脱ガス室32内に搬入し、10×10-4Paの真
空雰囲気下で加熱し、400℃〜500℃の温度に昇温
させると、ガラス基板51表面に吸着されている気体成
分が放出されると共に、封着材58が発泡し、封着材5
8内に混入していた気体成分が放出される(脱ガス処
理)。それら放出ガスは脱ガス室32内から真空排気さ
れる。
材58が溶融している状態で脱ガス室32内に乾燥窒素
を導入し、脱ガス室32内の雰囲気圧力を5000Pa
乃至大気圧程度にする。
度であっても、気体を導入して封着材58周囲の圧力を
上昇させると、封着材58は発泡しない。従って、気体
の導入により、封着材58の発泡は終了する。
が、リアパネル7を気体雰囲気(乾燥窒素雰囲気)に置い
た状態で冷却すると、封着材58は発泡がない状態で冷
却され、表面は、凹凸がなく滑らかな状態で固化する。
るためには、リアパネル7を高温に維持しておく方が望
ましいが、搬送ロボットや、脱ガス処理後の工程で用い
られる装置の耐熱温度は200℃程度であるため、実際
にはリアパネル7はその温度以下まで冷却する。
7が同時に脱ガス処理されており、冷却が完了したリア
パネル7を位置合わせ室11内に1枚搬送する。
真空槽61を有しており、該真空槽61底壁上には、フ
ロントパネル用の載置台62が設けられている。該載置
台62底面には、軸65が設けられており、その下端部
は、ベローズ66を介して真空槽61の外部に導出さ
れ、モータ67に接続されている。
保持台63が配置されており、該保持台63には、基板
保持機構64が設けられている。
ネル6は、MgO保護膜を上方に向けて載置台62上に
載置し、リアパネル7は、基板保持機構64によって封
着材58が形成された面を下方に向けて保持台63に保
持させる。
ネル7は互いに平行になっており、モータ66を動作さ
せ、軸65を動かしてフロントパネル6とリアパネル7
との位置合わせを行い、クリップ等で互いに仮留めす
る。
は、エージング室41と、検査室42と、封着室43
と、搬出室44とがその順序で設けられている。仮止め
されたフロントパネル6とリアパネル66は、エージン
グ室41に搬送する。
電極が設けられており、真空排気しながら不活性ガスを
導入し、搬入されたフロントパネル6とリアパネル7に
電圧を印加してエージング放電を行った後、検査室42
内に搬送する。
室42は、真空槽91と、電源93、94a、94bと、
検査電極95、96a、96bとを有している。検査電極
95、96a、96bは、その一端が真空槽91内に配置
され、他端が真空槽91外に気密に導出されている。
部に配置されており、各検査電極95、96a、96bの
真空槽91外へ導出された部分は、電源93、94a、
94bにそれぞれ接続されている。
は、電極がそれぞれ露出しており、検査室42内への搬
入後、その露出している電極に対し、検査電極95、9
6a、96bの先端部分を当接させる。
オン・キセノンガス等の不活性ガスを所定圧力まで導入
し、電源93、94a、94bを起動し、フロントパネル
6とリアパネル7に電圧を印加すると、リブ55間にプ
ラズマが形成される。
であった場合には、欠陥の無い発光が得られる。良品で
あった場合には、封着室43内に搬送し、後述する封着
処理を行う。不良であった場合には、封着室43での処
理を行うことなく大気中に取り出し、再生可能なものや
使用可能なパネルを除いて破棄する。
リアパネル7とを搬入した後、封着室43内に乾燥窒素
ガスを導入し、内部雰囲気を5000Pa〜大気圧程度
に昇圧させる。
パネル7を450℃程度に加熱する。封着材58は、既
に脱ガス室32内の真空雰囲気中で、その温度(450
℃)以上の温度で脱ガス処理が行われているので、封着
材58は発泡することなく溶解する。
ル7とは、封着材58を介して互いに当接されており、
封着材58が溶融するとフロントパネル6とリアパネル
7とは、封着材58によって互いに密着される。
とリアパネル7とは、封着材58によって接着される。
このとき、封着材58表面には凹凸が形成されていない
ので、フロントパネル6とリアパネル7との間には隙間
が形成されない。
ネル7との間隙を外部に接続する貫通孔が封着材58の
一部分に形成されるようにしておく。
を停止し、封着室43内を真空排気すると、フロントパ
ネル6とリアパネル7との間に残存する窒素ガスは貫通
孔から真空排気される。
43内にネオン・キセノンガス等の放電用ガスを所定圧
力まで導入し、フロントパネル6とリアパネル7間を放
電用ガスで充満させ、次いで貫通孔を塞ぐとプラズマデ
ィスプレイ装置が得られる。
4に搬送し、封着室43との間を遮断し、搬出室44に
大気を導入し、大気中に取り出す。
リアパネル7は、搬入室21、31にそれぞれ搬入され
た後、搬出室44から取り出されるまで、一貫して大気
に曝さない状態で処理されている。
泡処理がされ、乾燥した気体中で溶融と封着処理がされ
ている。従って、封着処理の際に封着材58は発泡せ
ず、フロントパネル6とリアパネル7とは封着材58に
よって密封される。
着材58を配置したが、ガラス基板上に直接盛り上げて
おくこともできる。その場合には400℃程度の温度で
発泡させ、封着材の高さが低くならないようにするとよ
い。
成したが、本発明はそれに限定されるものではなく、印
刷法やエッチング法等の種々の形成方法を用いることが
できる。また、フロントパネルとリアパネルの間に放電
ガスを封入する工程や、検査方法等は上記実施例に限定
されるものではない。
ガス量が少ないので、高品質のプラズマディスプレイ装
置を得ることができる。
一例を説明するための図
放出ガス量の関係を示すグラフ
間と温度及び放出ガス量の関係を示すグラフ
リアパネルの位置関係を説明するための図
Claims (8)
- 【請求項1】2枚のパネル間に配置された封着材を溶
融、固化させ、前記2枚のパネルを接着するプラズマデ
ィスプレイ装置の製造方法であって、 前記2枚のパネルのうち、少なくとも一方のパネルに前
記封着材を配置し、 真空雰囲気中で前記封着材を加熱して溶融させた後、該
封着材を気体雰囲気中に置き、前記封着材の発泡を停止
させることを特徴とするプラズマディスプレイ装置製造
方法。 - 【請求項2】前記気体雰囲気の圧力は、5000Pa以
上にすることを特徴とする請求項1記載のプラズマディ
スプレイ装置製造方法。 - 【請求項3】前記気体雰囲気中で前記封着材を冷却して
固化させた後再度加熱して溶融させ、前記2枚のパネル
間を前記封着材で接着することを特徴とする請求項2記
載のプラズマディスプレイ装置製造方法。 - 【請求項4】前記2枚のパネルは、気体雰囲気中で張り
合わされることを特徴とする請求項1乃至請求項3のい
ずれか1項記載のプラズマディスプレイ装置製造方法。 - 【請求項5】前記張り合わせを行う気体雰囲気の圧力
を、5000Pa以上にすることを特徴とする請求項4
記載のプラズマディスプレイ装置製造方法。 - 【請求項6】前記2枚のパネルのうち、少なくとも1枚
のパネル表面に2本以上の突条を設け、前記封着材を、
前記突条間に配置しておくことを特徴とする請求項1乃
至請求項5のいずれか1項記載のプラズマディスプレイ
装置製造方法。 - 【請求項7】ガラス基板と、 前記ガラス基板上に平行に配置された複数本の突条とを
有するパネルであって、 前記平行に配置された突条の外周位置に突条が設けら
れ、 前記外周位置の突条間に封着材が配置されたことを特徴
とするプラズマディスプレイ装置用のパネル。 - 【請求項8】請求項7記載のパネルと他のパネルとが、
前記封着材によって互いに固定されたことを特徴とする
プラズマディスプレイ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12343899A JP4180189B2 (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | プラズマディスプレイ装置製造方法、及びリアパネル |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2000315457A true JP2000315457A (ja) | 2000-11-14 |
JP4180189B2 JP4180189B2 (ja) | 2008-11-12 |
Family
ID=14860601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP12343899A Expired - Lifetime JP4180189B2 (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | プラズマディスプレイ装置製造方法、及びリアパネル |
Country Status (1)
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