JP2000305278A - Ｌ型ミラーの固定機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 L型ミラーの交換が容易なL型ミラーの固定機
構を提供することにある。 【解決手段】 試料ステージ１０７側に設けられ、L型
ミラー１１１の第１の反射面１１３ａが当接する第１の
ストッパ２０１と、試料ステージ１０７側に設けられ、
L型ミラー１１１の第１の反射面１１３ａが当接する第
２のストッパ２１１と、試料ステージ１０７側に設けら
れ、L型ミラー１１１の第２の反射面１１５ａが当接す
る第３のストッパ２２１と、L型ミラー１１１の第１の
ストッパ２０１と対向する位置を第１のストッパ２０１
方向へ押圧する第１の付勢手段３０１と、L型ミラー１
１１の第２のストッパ２１１と対向する位置を第２のス
トッパ２１１方向へ押圧する第２の付勢手段３１１と、
L型ミラー１１１の第３のストッパ２２１と対向する位
置を第３のストッパ２２１方向へ押圧する第３の付勢手
段３２１とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、X軸方向、Y軸方向
のうちの一方の方向からのレーザビームが反射する第１
の反射面を有する第１の辺と、該第１の辺と直交するよ
うに設けられ、X軸方向、Y軸方向のうちの他方の方向か
らのレーザビームが反射する第２の反射面を有する第２
の辺とからなり、試料ステージ上に設けられるL型ミラ
ーの固定機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】最初に、図５を用いて、電子ビーム描画
装置等に設けられる試料室の全体構成を説明する。

【０００３】試料室１の上部には、電子線発生部３と電
子線を試料に収束させる対物レンズ５とが設けられてい
る。試料室１内に設けられ、X軸方向、Y軸方向に駆動さ
れる試料ステージ７上には、試料が載置される試料ホル
ダ９が設けられている。

【０００４】次に、図５及び図６を用いて、X軸方向、Y
軸方向に駆動される試料ステージの位置を測定する測定
器の説明を行なう。図６は図５の切断線A-Aにおける断
面図である。

【０００５】試料ステージ７上には、L型ミラー１１が
設けられている。このL型ミラー１１は、X軸方向からの
レーザビームが反射する第１の反射面１３ａを有する第
１の辺１３と、第１の辺１３と直交するように設けら
れ、Y軸方向からのレーザビームが反射する第２の反射
面１５ａを有する第２の辺１５とからなっている。

【０００６】試料室１の外部に設けられたレーザヘッド
２１から出射したレーザ光LBは、ビームスプリッタ２３
で、X軸方向、Y軸方向の二つの方向に分けられる。Y軸
方向のレーザ光は、試料室１の壁面に設けられたガラス
窓２を透過し、一部はインターフェロメータ２５で反射
してレシーバ２７に入り、一部はインターフェロメータ
２５を通り、L型ミラー１１の第２の反射面１５ａで反
射して、再び、インターフェロメータ２５を通り、レシ
ーバ２７に入る。

【０００７】レーザ光の干渉により、インターフェロメ
ータ２５と、L型ミラー１１の第２の反射面１５ａとの
間の距離に変動があれば、レシーバ２７により変動量が
カウントされる。

【０００８】一方、ビームスプリッタ２３で分けられた
X軸方向のレーザ光は、反射ミラー３１,３３を介し、ガ
ラス窓４を透過し、一部はインターフェロメータ３５で
反射してレシーバ３７に入り、一部はインターフェロメ
ータ３５を通り、L型ミラー１１の第１の反射面１３ａ
で反射して、再び、インターフェロメータ３５を通り、
レシーバ３７に入る。

【０００９】レーザ光の干渉により、インターフェロメ
ータ３５と、L型ミラー１１の第１の反射面１３ａとの
間の距離に変動があれば、レシーバ３７により変動量が
カウントされる。

【００１０】従って、測定開始位置を0リセットすれ
ば、試料ステージ７上のL型ミラー１１の位置は常に座
標として得ることができるので、試料ステージ７を駆動
することにより、試料ホルダ９に載置された試料を所望
の位置へ移動させることができる。

【００１１】上記構成で、試料を高精度に移動させるた
めには、L型ミラー１１の第１及び第２の反射面１３ａ,
１５ａの平面度がナノメートルオーダの平坦さが必要で
あり、又、Ｌ型ミラー１１の第１の反射面１３ａと第２
の反射面面１３,１５の直角度も必要である。

【００１２】従って、L型ミラー１１は、試料ステージ
７に対して、精度を維持した状態で固定されることが必
要となり、図６に示すように、重心Gに近い部分を接着
剤４１を用いて取り付けられている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記構成においては以
下のような問題点がある。 (1) L型ミラー１１の熱膨張率と、接着剤４１の熱膨張
率と、試料ステージ７の熱膨張率とはそれぞれ異なって
いる。

【００１４】試料室１は、部屋全体が温度調整された部
屋に設置されているが、少しでも温度変化があると、接
着剤４１に熱膨張あるいは熱収縮が発生し、L型ミラー
１１の第１及び第２の反射面１３ａ,１５ａの平坦度
や、第１の反射面１３ａと第２の反射面１５ａとの直角
度が悪くなる。

【００１５】又、試料ステージ７の上面が歪み、L型ミ
ラー１１の底面の精度が悪くなる。L型ミラー１１を基
準に試料への描画を行なうので、このような現象が起こ
ると、描画精度が悪化する。

【００１６】(2) L型ミラー１１は、座標として用いる
ので、L型ミラー１１の第１の反射面１３ａはY軸と平
行、第２の反射面１５ａはX軸と平行となるように、試
料ステージ７上に取り付ける必要がある。

【００１７】しかし、接着剤４１を用いて試料ステージ
７上に取り付けるので、精度良く取り付けることが困難
である。 (3) ずれて取り付けられたL型ミラー１を精度の良い位
置に取り付け直す場合や、L型ミラーを交換する場合に
は、接着剤４１の剥離及び再接着が必要となる。

【００１８】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その第１の目的は、L型ミラーの交換が容易なL型
ミラーの固定機構を提供することにある。第２の目的
は、L型ミラーの試料ステージ上での取付け位置の調整
が可能なL型ミラーの固定機構を提供することにある。

【００１９】第３の目的は、温度変化があっても、L型
ミラーの取り付け精度が変化しないL型ミラーの固定機
構を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、X軸方向、Y軸方向のうちの一方の方
向からのレーザビームが反射する第１の反射面を有する
第１の辺と、該第１の辺と直交するように設けられ、X
軸方向、Y軸方向のうちの他方の方向からのレーザビー
ムが反射する第２の反射面を有する第２の辺とからな
り、試料ステージ上に設けられるL型ミラーの固定機構
であって、前記試料ステージ側に設けられ、前記L型ミ
ラーの第１の反射面が当接する第１のストッパと、前記
試料ステージ側に設けられ、前記L型ミラーの第１の反
射面が当接する第２のストッパと、前記試料ステージ側
に設けられ、前記L型ミラーの第２の反射面が当接する
第３のストッパと、前記L型ミラーの前記第１のストッ
パと対向する位置を前記第１のストッパ方向へ押圧する
第１の付勢手段と、前記L型ミラーの前記第２のストッ
パと対向する位置を前記第２のストッパ方向へ押圧する
第２の付勢手段と、前記L型ミラーの前記第３のストッ
パと対向する位置を前記第３のストッパ方向へ押圧する
第３の付勢手段とを設けたことを特徴とするL型ミラー
の固定機構である。

【００２１】第１〜第３の付勢手段がL型ミラーを押圧
している状態で、第１〜第３の付勢手段に対して、各付
勢手段の押圧方向と逆方向の力を加えることにより、L
型ミラーを容易に取り外すことができる。

【００２２】第１〜第３の付勢手段に対して、各付勢手
段の押圧方向と逆方向の力を加えている状態で、L型ミ
ラーをセットし、次に、各付勢手段に加えている各付勢
手段の押圧方向と逆方向の力を解除すれば、容易にL型
ミラーをセットすることができる。

【００２３】従って、L型ミラーの交換が容易となる。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の前記第１
〜第３のストッパの前記L型ミラーとの当接部と、前記
第１〜第３の付勢手段の前記L型ミラーの当接部とを球
面状としたことを特徴とするL型ミラーの固定機構であ
る。

【００２４】第１〜第３のストッパの前記L型ミラーと
の当接部と、前記第１〜第３の付勢手段の前記L型ミラ
ーの当接部とを球面状としたことにより、第１のストッ
パと第１の付勢手段とからなる組、第２のストッパと第
２の付勢手段とからなる組、第３のストッパと第３の付
勢手段とからなる組の各組自体は、温度変化があって
も、L型ミラーの回転を規制しない。よって、L型ミラー
に反射面の精度を悪くするような力が加わらず、反射面
に歪みが発生しない。

【００２５】よって、L型ミラーの取り付け精度が変化
しない。請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の
発明の前記第１〜第３のストッパは、前記試料ステージ
に取り付けられ、めねじ穴が刻設されたベースと、前記
めねじ穴に螺合し、前記L型ミラーの反射面に当接可能
なねじとからなることを特徴とするL型ミラーの固定機
構である。

【００２６】第１〜第３のストッパの各ねじを回転する
ことにより、ねじがベースに対して進退し、試料ステー
ジ上のL型ミラーの位置が変化し、L型ミラーの取り付け
位置の調整が可能となる。

【００２７】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明の前記第３のストッパと、前記第３の付勢手段とは、
前記L型ミラーの重心を通る直線上に位置することを特
徴とするL型ミラーの固定機構である。

【００２８】前記第３のストッパと、前記第３の付勢手
段とは、前記L型ミラーの重心を通る直線上に位置する
ことにより、移動ステージが移動した際に、L型ミラー
の慣性モーメントが小さくなり、L型ミラーの回転を防
止することができる。

【００２９】請求項５記載の発明は、X軸方向、Y軸方向
のうちの一方の方向からのレーザビームが反射する第１
の反射面を有する第１の辺と、該第１の辺と直交するよ
うに設けられ、X軸方向、Y軸方向のうちの他方の方向か
らのレーザビームが反射する第２の反射面を有する第２
の辺とからなり、試料ステージ上に設けられるL型ミラ
ーの固定機構であって、前記L型ミラーの第１の辺の前
記試料ステージとの対向面、前記試料ステージ上のいず
れか一方に設けられ、他方に当接する第１の突部と、前
記L型ミラーの第１の辺の前記試料ステージとの対向
面、前記試料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他
方に当接する第２の突部と、前記L型ミラーの第２の辺
の前記試料ステージとの対向面、前記試料ステージ上の
いずれか一方に設けられ、他方に当接する第１の突部
と、前記第１の突部と対向する位置で、前記L型ミラー
を前記試料ステージ方向へ押圧する第４付勢手段と、前
記第２の突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前記
試料ステージ方向へ押圧する第５付勢手段と、前記第３
の突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前記試料ス
テージ方向へ押圧する第６付勢手段とを設けたことを特
徴とするL型ミラーの固定機構である。

【００３０】前記L型ミラーの第１の辺の前記試料ステ
ージとの対向面、前記試料ステージ上のいずれか一方に
設けられ、他方に当接する第１の突部と、前記L型ミラ
ーの第１の辺の前記試料ステージとの対向面、前記試料
ステージ上のいずれか一方に設けられ、他方に当接する
第２の突部と、前記L型ミラーの第２の辺の前記試料ス
テージとの対向面、前記試料ステージ上のいずれか一方
に設けられ、他方に当接する第１の突部と、前記第１の
突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前記試料ステ
ージ方向へ押圧する第４付勢手段と、前記第２の突部と
対向する位置で、前記L型ミラーを前記試料ステージ方
向へ押圧する第５付勢手段と、前記第３の突部と対向す
る位置で、前記L型ミラーを前記試料ステージ方向へ押
圧する第６付勢手段とを設けたことにより、L型ミラー
は三点で支持され、試料ステージの上面の精度が悪い場
合でも、L型ミラーの底面の精度を維持できる。

【００３１】

【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。 (全体構成)本発明の実施の形態例を説明する要部斜視図
である図１を用いて説明する。

【００３２】図において、試料室内に設けられ、X軸方
向、Y軸方向に駆動される試料ステージ１０７上には、L
型ミラー１１１が設けられている。このL型ミラー１１
１は、X軸方向からのレーザビームが反射する第１の反
射面１１３ａを有する第１の辺１１３と、第１の辺１１
３と直交するように設けられ、Y軸方向からのレーザビ
ームが反射する第２の反射面１１５ａを有する第２の辺
１１５とからなっている。

【００３３】試料ステージ１０７には、L型ミラー１１
１の第１の反射面１１３ａが当接する第１のストッパ２
０１と、第２のストッパ２１１と、第２の反射面１１５
ａが当接節する第３のストッパ２２１とが設けられてい
る。

【００３４】更に、試料ステージ１０７上には、L型ミ
ラー１１１の第１の反射面１１３ａと反対側の面であっ
て、第１のストッパ２０１と対向する位置を第１のスト
ッパ２０１方向へ押圧する第１の付勢手段３０１が設け
られている。

【００３５】同様に、試料ステージ１０７上には、L型
ミラー１１１の第１の反射面１１３ａと反対側の面であ
って、第２のストッパ２１１と対向する位置を第２のス
トッパ２１１方向へ押圧する第２の付勢手段３１１が設
けられている。

【００３６】又、試料ステージ１０７上には、L型ミラ
ー１１１の第２の反射面１１５ａと反対側の面であっ
て、第３のストッパ２２１と対向する位置を第３のスト
ッパ２２１方向へ押圧する第３の付勢手段３２１が設け
られている。

【００３７】試料ステージ１０７上には、L型ミラー１
１１の第１の辺１１３の下面に当接する第１の突部とし
ての第１のシート４０１と、同じく第１の辺１１３の下
面に当接する第２の突部としての第２のシート４１１
と、L型ミラー１１１の第２の辺１１５の下面に当接す
る第３の突部としての第３のシート４２１とが設けられ
ている。

【００３８】尚、本実施の形態例では、第１〜第３のシ
ート４０１,４１１,４２１は、厚みの均一なアルミニウ
ムや樹脂のシートを用いた。L型ミラー１１１の上部に
は、第１のシート４０１と対向する位置で、L型ミラー
１１１を試料ステージ１０７方向へ押圧する第４付勢手
段５０１と、第２のシート４１１と対向する位置で、L
型ミラー１１１を試料ステージ１０７方向へ押圧する第
５付勢手段５１１と、第３のシート４２１と対向する位
置で、L型ミラー１１１を試料ステージ１０７方向へ押
圧する第６付勢手段５２１とが設けられている。

【００３９】（第１〜第３のストッパ)図１の平面構成
図である図２を用いて、第１〜第３のストッパ２０１,
２１１,２２１を説明する。

【００４０】第１のストッパ２０１は、試料ステージ１
０７に固着され、めねじ穴２０３が刻設されたベース２
０５と、めねじ穴２０３に螺合し、L型ミラー１１１の
第１の面１１３ａに当接可能なねじ２０７とからなって
いる。

【００４１】又、ねじ２０７のL型ミラー１１１との当
接部分には、球面状の当接部材２０９が取り付けられて
いる。第２のストッパ２１１は、試料ステージ１０７に
固着され、めねじ穴２１３が刻設されたベース２１５
と、めねじ穴２１３に螺合し、L型ミラー１１１の第１
の面１１３ａに当接可能なねじ２１７とからなってい
る。

【００４２】又、ねじ２１７のL型ミラー１１１との当
接部分には、球面状の当接部材２１９が取り付けられて
いる。第３のストッパ２２１は、試料ステージ１０７に
固着され、めねじ穴２２３が刻設されたベース２２５
と、めねじ穴２２３に螺合し、L型ミラー１１１の第２
の面１１５ａに当接可能なねじ２２７とからなってい
る。

【００４３】又、ねじ２２７のL型ミラー１１１との当
接部分には、球面状の当接部材２２９が取り付けられて
いる。 （第１〜第３の付勢手段)図２を用いて、第１〜第３の
付勢手段３０１,３１１,３２１を説明する。

【００４４】第１の付勢手段３０１は、試料ステージ１
０７上でL型ミラー１１１の第１の面１１３ａと反対側
の面と間隔を持って設けられたプレート３０３と、プレ
ート３０３とL型ミラー１１１の第１の面１１３ａと反
対側の面との間に配設され、L型ミラー１１１を第１の
ストッパ２０１方向へ押圧するスプリング３０５とから
なっている。

【００４５】又、スプリング３０５のL型ミラー１１１
との当接部分には、球面状の当接部材３０７が取り付け
られている。第２の付勢手段３１１は、試料ステージ１
０７上でL型ミラー１１１の第１の面１１３ａと反対側
の面と間隔を持って設けられたプレート３１３と、プレ
ート３１３とL型ミラー１１１の第１の面１１３ａと反
対側の面との間に配設され、L型ミラー１１１を第２の
ストッパ２１１方向へ押圧するスプリング３１５とから
なっている。

【００４６】又、スプリング３１５のL型ミラー１１１
との当接部分には、球面状の当接部材３１７が取り付け
られている。第３の付勢手段３２１は、試料ステージ１
０７上でL型ミラー１１１の第２の面１１５ａと反対側
の面と間隔を持って設けられたプレート３２３と、プレ
ート３２３とL型ミラー１１１の第２の面１１５ａと反
対側の面との間に配設され、L型ミラー１１１を第３の
ストッパ２２１方向へ押圧するスプリング３２５とから
なっている。

【００４７】又、スプリング３２５のL型ミラー１１１
との当接部分には、球面状の当接部材３２７が取り付け
られている。尚、本実施の形態例では、第３のストッパ
２２１と、第３の付勢手段３２１とは、L型ミラー１１
１の重心Gを通る直線上に位置するように設けた。

【００４８】（第４〜第６の付勢手段)図１の切断線A-A
における断面図である図３を用いて、第４の付勢手段５
０１を説明する。

【００４９】L型ミラー１１１には、第１のシート４０
１に対応して大径部６０１と小径部６０３とからなる段
付き貫通穴６０５が形成されている。試料ステージ１０
７上には、L型ミラー１１１の段付き貫通穴６０５を挿
通するシャフト５０３が立設されている。

【００５０】段付き貫通穴６０５の大径部６０１内に
は、段付き貫通穴６０５の段部６０７に当接するスプリ
ング５０５が配置されている。シャフト５０３の上部端
面には、ねじを５０７を用いて、スプリング押えプレー
ト５０９が取り付けられている。

【００５１】従って、スプリング５０５の勢力により、
L型ミラー１１１は試料ステージ１０７方向に付勢され
ている。尚、他の第５及び第６の付勢手段の構成も、第
４の付勢手段の構成と同一なので、説明は省略する。

【００５２】上記構成によれば、以下のような効果を得
ることができる。 (1) 第１〜第３の付勢手段３０１,３１１,３２１がL型
ミラー１１１を押圧している状態で、第１〜第３の付勢
手段３０１,３１１,３２１に対して、各付勢手段の押圧
方向と逆方向の力を加えることにより、L型ミラー１１
１を容易に取り外すことができる。

【００５３】第１〜第３の付勢手段３０１,３１１,３２
１に対して、各付勢手段の押圧方向と逆方向の力を加え
ている状態で、L型ミラー１１１をセットし、次に、各
付勢手段に加えている各付勢手段の押圧方向と逆方向の
力を解除すれば、容易にL型ミラー１１１をセットする
ことができる。

【００５４】従って、L型ミラーの交換が容易となる。 (2) 第１〜第３のストッパ２０１,２１１,２２１のL型
ミラー１１１との当接部に球面状の当接部材２０９,２
１９,２２９を設け、第１〜第３の付勢手段３０１,３１
１,３２１のL型ミラー１１１の当接部に球面状の当接部
材３０７,３１７,３２７を設けたことにより、第１のス
トッパ２０１と第１の付勢手段３０１とからなる組、第
２のストッパ２１１と第２の付勢手段３１１とからなる
組、第３のストッパ２２１と第３の付勢手段３２１とか
らなる組の各組自体は、温度変化があっても、L型ミラ
ー１１１の回転を規制しない。よって、L型ミラー１１
１に反射面の精度を悪くするような力が加わらず、反射
面に歪みが発生しない。

【００５５】よって、L型ミラー１１１の取り付け精度
が変化しない。 (3) 第１〜第３のストッパ２０１,２１１,２２１の各ね
じ２０７,２１７,２２７を回転することにより、ねじ２
０７,２１７,２２７がベース２０５,２１５かなｍ ２２
５に対して進退し、試料ステージ１０７上のL型ミラー
１１１の位置が変化し、L型ミラー１１１の取り付け位
置の調整が可能となる。

【００５６】(4) 第３のストッパ２２１と、第３の付勢
手段３２１とは、L型ミラー１１１の重心Gを通る直線上
に位置することにより、試料ステージ１０７が移動した
時に、L型ミラー１１１に発生する慣性モーメントが小
さくなり、L型ミラー１１１の回転を防止することがで
きる。

【００５７】(5) 試料ステージ１０７上に、第１の突部
としての第１のシート４０１,第２の突部としての第２
のシート４１１,第３の突部としての第３のシート４２
１を設け、L型ミラー１１１を第１のシート４０１と対
向する第４の付勢手段５０１,第２のシート４１１と対
向する第５の付勢手段５１１,第３のシート４２１と対
向する第６の付勢手段５２１の付勢力を用いて、試料ス
テージ１０７方向へ押圧することにより、L型ミラー１
１１は三点で支持され、試料ステージ１０７の上面の精
度が悪い場合でも、L型ミラー１１１の底面の精度を維
持できる。

【００５８】尚、本発明は、上記実施の形態例に限定す
るものではない。第１〜第３の突部としてのシート４０
１,４１１,４２１は試料ステージ１０７上に設けたが、
L型ミラー１１１の試料ステージ１０７との対向面、す
なわち、L型ミラー１１１の底面に設けてもよい。

【００５９】又、第４〜第６の付勢手段５０１,５１１,
５２１としては、図４に示すように、L型ミラー１１１
の上面で、第１〜第３のシート４０１,４１１,４２１と
対向した位置を押圧する板ばね７０１であってもよい。

【００６０】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１記載の発明
によれば、第１〜第３の付勢手段がL型ミラーを押圧し
ている状態で、第１〜第３の付勢手段に対して、各付勢
手段の押圧方向と逆方向の力を加えることにより、L型
ミラーを容易に取り外すことができる。

【００６１】第１〜第３の付勢手段に対して、各付勢手
段の押圧方向と逆方向の力を加えている状態で、L型ミ
ラーをセットし、次に、各付勢手段に加えている各付勢
手段の押圧方向と逆方向の力を解除すれば、容易にL型
ミラーをセットすることができる。

【００６２】従って、L型ミラーの交換が容易となる。
請求項２記載の発明によれば、第１〜第３のストッパの
前記L型ミラーとの当接部と、前記第１〜第３の付勢手
段の前記L型ミラーの当接部とを球面状としたことによ
り、第１のストッパと第１の付勢手段とからなる組、第
２のストッパと第２の付勢手段とからなる組、第３のス
トッパと第３の付勢手段とからなる組の各組自体は、温
度変化があっても、L型ミラーの回転を規制しない。よ
って、L型ミラーに反射面の精度を悪くするような力が
加わらず、反射面に歪みが発生しない。

【００６３】よって、L型ミラーの取り付け精度が変化
しない。請求項３記載の発明によれば、第１〜第３のス
トッパの各ねじを回転することにより、ねじがベースに
対して進退し、試料ステージ上のL型ミラーの位置が変
化し、L型ミラーの取り付け位置の調整が可能となる。

【００６４】請求項４記載の発明によれば、前記第３の
ストッパと、前記第３の付勢手段とは、前記L型ミラー
の重心を通る直線上に位置することにより、移動ステー
ジが移動した際に、L型ミラーの慣性モーメントが小さ
くなり、L型ミラーの回転を防止することができる。

【００６５】請求項５記載の発明によれば、前記L型ミ
ラーの第１の辺の前記試料ステージとの対向面、前記試
料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他方に当接す
る第１の突部と、前記L型ミラーの第１の辺の前記試料
ステージとの対向面、前記試料ステージ上のいずれか一
方に設けられ、他方に当接する第２の突部と、前記L型
ミラーの第２の辺の前記試料ステージとの対向面、前記
試料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他方に当接
する第１の突部と、前記第１の突部と対向する位置で、
前記L型ミラーを前記試料ステージ方向へ押圧する第４
付勢手段と、前記第２の突部と対向する位置で、前記L
型ミラーを前記試料ステージ方向へ押圧する第５付勢手
段と、前記第３の突部と対向する位置で、前記L型ミラ
ーを前記試料ステージ方向へ押圧する第６付勢手段とを
設けたことにより、L型ミラーは三点で支持され、試料
ステージの上面の精度が悪い場合でも、L型ミラーの底
面の精度を維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態例を説明する要部斜視図で
ある。

【図２】図１の平面構成図である。

【図３】図１の切断線A-Aにおける断面図である。

【図４】他の実施の形態例を説明する図である。

【図５】試料室の正面断面図である。

【図６】図５の切断線A-Aにおける断面図である。

【符号の説明】

１１１ L型ミラー １１３ａ 第１の反射面 １１５ａ 第２の反射面 ２０１ 第１のストッパ ２１１ 第２のストッパ ２２１ 第３のストッパ ３０１ 第１の付勢手段 ３１１ 第２の付勢手段 ３２１ 第３の付勢手段

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 X軸方向、Y軸方向のうちの一方の方向か
   らのレーザビームが反射する第１の反射面を有する第１
   の辺と、該第１の辺と直交するように設けられ、X軸方
   向、Y軸方向のうちの他方の方向からのレーザビームが
   反射する第２の反射面を有する第２の辺とからなり、試
   料ステージ上に設けられるL型ミラーの固定機構であっ
   て、 前記試料ステージ側に設けられ、前記L型ミラーの第１
   の反射面が当接する第１のストッパと、 前記試料ステージ側に設けられ、前記L型ミラーの第１
   の反射面が当接する第２のストッパと、 前記試料ステージ側に設けられ、前記L型ミラーの第２
   の反射面が当接する第３のストッパと、 前記L型ミラーの前記第１のストッパと対向する位置を
   前記第１のストッパ方向へ押圧する第１の付勢手段と、 前記L型ミラーの前記第２のストッパと対向する位置を
   前記第２のストッパ方向へ押圧する第２の付勢手段と、 前記L型ミラーの前記第３のストッパと対向する位置を
   前記第３のストッパ方向へ押圧する第３の付勢手段と、 を設けたことを特徴とするL型ミラーの固定機構。
2. 【請求項２】 前記第１〜第３のストッパの前記L型ミ
   ラーとの当接部と、 前記第１〜第３の付勢手段の前記L型ミラーの当接部と
   を球面状としたことを特徴とする請求項１記載のL型ミ
   ラーの固定機構。
3. 【請求項３】 前記第１〜第３のストッパは、 前記試料ステージに取り付けられ、めねじ穴が刻設され
   たベースと、 前記めねじ穴に螺合し、前記L型ミラーの反射面に当接
   可能なねじとからなることを特徴とする請求項１又は２
   記載のL型ミラーの固定機構。
4. 【請求項４】 前記第３のストッパと、前記第３の付勢
   手段とは、前記L型ミラーの重心を通る直線上に位置す
   ることを特徴とする請求項１記載のL型ミラーの固定機
   構。
5. 【請求項５】 X軸方向、Y軸方向のうちの一方の方向か
   らのレーザビームが反射する第１の反射面を有する第１
   の辺と、該第１の辺と直交するように設けられ、X軸方
   向、Y軸方向のうちの他方の方向からのレーザビームが
   反射する第２の反射面を有する第２の辺とからなり、試
   料ステージ上に設けられるL型ミラーの固定機構であっ
   て、 前記L型ミラーの第１の辺の前記試料ステージとの対向
   面、前記試料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他
   方に当接する第１の突部と、 前記L型ミラーの第１の辺の前記試料ステージとの対向
   面、前記試料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他
   方に当接する第２の突部と、 前記L型ミラーの第２の辺の前記試料ステージとの対向
   面、前記試料ステージ上のいずれか一方に設けられ、他
   方に当接する第１の突部と、 前記第１の突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前
   記試料ステージ方向へ押圧する第４付勢手段と、 前記第２の突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前
   記試料ステージ方向へ押圧する第５付勢手段と、 前記第３の突部と対向する位置で、前記L型ミラーを前
   記試料ステージ方向へ押圧する第６付勢手段と、 を設けたことを特徴とするL型ミラーの固定機構。