JP2002334479A - レーザダイオードユニットの調整装置及びその校正方法 - Google Patents
レーザダイオードユニットの調整装置及びその校正方法Info
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- JP2002334479A JP2002334479A JP2001138137A JP2001138137A JP2002334479A JP 2002334479 A JP2002334479 A JP 2002334479A JP 2001138137 A JP2001138137 A JP 2001138137A JP 2001138137 A JP2001138137 A JP 2001138137A JP 2002334479 A JP2002334479 A JP 2002334479A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の方法では、反射光をレーザの射出口に
一致させるため、ビーム径以下の精度で角度を合わせる
ことが難しく、精度を出すためには広いスペースが必要
となる。 【解決手段】 半導体レーザと受光部とからなるレーザ
ダイオードユニットにおいて、平行光光源１と、その射
出光を入射し入射面に対し＋４５°と−４５°の半透過
反射面を有するプリズム２２と、レーザダイオードユニ
ットの保持部の基準面に設けた反射ミラー４と、平行光
源１から射出しプリズム２２の＋４５°面反射光と、反
射ミラー４で反射しプリズムの−４５°面反射光を集光
するレンズ２３と、レンズ２３の焦点位置に配置された
受光部２５により光軸を作る。
一致させるため、ビーム径以下の精度で角度を合わせる
ことが難しく、精度を出すためには広いスペースが必要
となる。 【解決手段】 半導体レーザと受光部とからなるレーザ
ダイオードユニットにおいて、平行光光源１と、その射
出光を入射し入射面に対し＋４５°と−４５°の半透過
反射面を有するプリズム２２と、レーザダイオードユニ
ットの保持部の基準面に設けた反射ミラー４と、平行光
源１から射出しプリズム２２の＋４５°面反射光と、反
射ミラー４で反射しプリズムの−４５°面反射光を集光
するレンズ２３と、レンズ２３の焦点位置に配置された
受光部２５により光軸を作る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク方式の
情報記憶媒体、例えばＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓ
ａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）に情報を読み書きする光ピック
アップにおいて、半導体レーザと受光部からなるレーザ
ダイオードユニットの調整装置及びその校正方法に関す
る。
情報記憶媒体、例えばＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓ
ａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）に情報を読み書きする光ピック
アップにおいて、半導体レーザと受光部からなるレーザ
ダイオードユニットの調整装置及びその校正方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ピックアップの組み立ては、半
導体レーザ、ミラー、レンズ、受光部を１つの光学基台
の中に組み込み、光軸測定、放射分布測定をおこない、
レーザ、ミラー、レンズの調整を行い、そして信号再生
しながら、受光部調整を行なっていた。
導体レーザ、ミラー、レンズ、受光部を１つの光学基台
の中に組み込み、光軸測定、放射分布測定をおこない、
レーザ、ミラー、レンズの調整を行い、そして信号再生
しながら、受光部調整を行なっていた。
【０００３】しかしながら、上記の方法では、各々の調
整工程ごとに測定器、調整器を切り替えなければなら
ず、タクトの増加、測定器、調整器への基台の取り付け
による誤差が入りやすかった。
整工程ごとに測定器、調整器を切り替えなければなら
ず、タクトの増加、測定器、調整器への基台の取り付け
による誤差が入りやすかった。
【０００４】そこで、光ピックアップの組み立て調整タ
クトの短縮、調整精度の向上を図るため、半導体レーザ
と受光部を１つのユニットとし、あらかじめ光学調整す
ることが提案されている。
クトの短縮、調整精度の向上を図るため、半導体レーザ
と受光部を１つのユニットとし、あらかじめ光学調整す
ることが提案されている。
【０００５】この光学調整において、光軸の原点、放射
分布の原点を決めるために、レーザダイオードユニット
の基準面に対し、高精度で基準光線の角度を合わせる必
要がある。
分布の原点を決めるために、レーザダイオードユニット
の基準面に対し、高精度で基準光線の角度を合わせる必
要がある。
【０００６】図４を用いて、従来の方法を説明する。１
はＨｅ−Ｎｅレーザ、２はＨｅ−Ｎｅレーザ１の射出光
を通す穴のあいたスクリーン、３はレーザユニットを取
りつける基準台、４は基準台３の基準面に押し当てる反
射ミラー、５はＨｅ−Ｎｅレーザの射出光、６は反射ミ
ラー４での反射光である。１５はレンズであり、１６は
レンズ９の焦点位置に配置されレーザの放射分布を測定
するＣＣＤカメラである。ミラー４を押し当てる基準面
は、レーザダイオードユニットの調整装置の光軸に対し
て垂直である。スクリーン２とミラー４との距離をＬと
する。
はＨｅ−Ｎｅレーザ、２はＨｅ−Ｎｅレーザ１の射出光
を通す穴のあいたスクリーン、３はレーザユニットを取
りつける基準台、４は基準台３の基準面に押し当てる反
射ミラー、５はＨｅ−Ｎｅレーザの射出光、６は反射ミ
ラー４での反射光である。１５はレンズであり、１６は
レンズ９の焦点位置に配置されレーザの放射分布を測定
するＣＣＤカメラである。ミラー４を押し当てる基準面
は、レーザダイオードユニットの調整装置の光軸に対し
て垂直である。スクリーン２とミラー４との距離をＬと
する。
【０００７】レーザ光５をミラー４で反射させたとき、
スクリーン２上での反射光６の位置が、レーザ光５の射
出口より、距離Ｓ離れているとすると、基準台１２の基
準面に対するレーザ５の垂直からの傾きは、約Ｓ／（２
Ｌ）となる。レーザ光５を基準台３の基準面に対し垂直
にするためには、反射光６がＨｅ−Ｎｅレーザ１の射出
口に戻るようにすればいよい。このときミラー４をはず
し、ＣＣＤ１６で測定するビームの位置がレーザの放射
分布の原点となる。
スクリーン２上での反射光６の位置が、レーザ光５の射
出口より、距離Ｓ離れているとすると、基準台１２の基
準面に対するレーザ５の垂直からの傾きは、約Ｓ／（２
Ｌ）となる。レーザ光５を基準台３の基準面に対し垂直
にするためには、反射光６がＨｅ−Ｎｅレーザ１の射出
口に戻るようにすればいよい。このときミラー４をはず
し、ＣＣＤ１６で測定するビームの位置がレーザの放射
分布の原点となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、反射光をレーザの射出口に一致させるため、ビーム
径以下の精度で角度を合わせることが難しい。このた
め、距離Ｌを長くする必要があるが、広いスペースが必
要となる。たとえば、レーザ光の角度ずれを、０．０１
°、ビーム径を１ｍｍとし、Ｓ＜１ｍｍとすると、距離
Ｌを約３ｍ以上離す必要がある。
は、反射光をレーザの射出口に一致させるため、ビーム
径以下の精度で角度を合わせることが難しい。このた
め、距離Ｌを長くする必要があるが、広いスペースが必
要となる。たとえば、レーザ光の角度ずれを、０．０１
°、ビーム径を１ｍｍとし、Ｓ＜１ｍｍとすると、距離
Ｌを約３ｍ以上離す必要がある。
【０００９】また、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１に戻り光を入れ
ると、レーザ発振が不安定になりやすいという課題があ
る。
ると、レーザ発振が不安定になりやすいという課題があ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、レーザ光を入射面に対し＋４５°の半透過
反射面を有するプリズムで分岐させ、透過した光をレー
ザダイオードユニットの保持部の基準面に設けた反射ミ
ラーで反射させ、この反射光を前記プリズムの入射面に
対し−４５°の半透過反射面で反射させ、前記＋４５°
の半透過反射面と−４５°の半透過反射面で反射した光
を集光させ、この集光した光を受光し、レーザの位置ず
れ量を求め、この位置ずれ量に応じて前記レーザの位置
を移動させるものである。
に本発明は、レーザ光を入射面に対し＋４５°の半透過
反射面を有するプリズムで分岐させ、透過した光をレー
ザダイオードユニットの保持部の基準面に設けた反射ミ
ラーで反射させ、この反射光を前記プリズムの入射面に
対し−４５°の半透過反射面で反射させ、前記＋４５°
の半透過反射面と−４５°の半透過反射面で反射した光
を集光させ、この集光した光を受光し、レーザの位置ず
れ量を求め、この位置ずれ量に応じて前記レーザの位置
を移動させるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について、図１を参照しながら説明する。
について、図１を参照しながら説明する。
【００１２】図１において、１は基準光となる直径１ｍ
ｍ程度の平行光を射出するＨｅ−Ｎｅレーザ、２２はプ
リズムであり、外形は、直方体であり、内部に、入射面
に対して＋４５°の半透過反射面２６と−４５°の半透
過反射面２７を有する。半透過反射面２６、２７は、入
射光のほぼ５０％を透過し、残りの５０％を反射させ
る。材質は、クロムやアルミなどの金属の蒸着膜や、誘
電体多層膜などである。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１の射出光２
８は、垂直にプリズム２２に入射するように配置してい
る。プリズム２２の外側は、迷光を防ぐため、反射防止
膜を形成しておく。４は反射ミラーであり、基準面に押
し当てＨｅ−Ｎｅレーザ１からの射出光を反射する。２
３はレンズであり、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１から射出し、プ
リズム２２の半透過反射面２６で反射した光と、プリズ
ム２２を透過し、反射ミラー４で反射し、再びプリズム
２２の半透過反射面２７で反射した光とを入射し、焦点
面に集光スポットを形成する。レンズ２３の焦点面での
スポットの位置は、レンズ２３の入射光の位置によらな
い。すなわち、入射角度が同じであれば、入射光が平行
移動しても焦点面でのスポット位置は変わらない。レン
ズ２３の焦点距離をｆとし、レンズ２３への入射角度を
θとすると、焦点面では、レンズの光軸からｆθの位置
にスポットが形成される。２５はＣＣＤカメラであり、
レンズ２３の焦点面に配置し、集光スポットの位置を観
測する。レンズ２３の中心軸がＣＣＤカメラ２５の中心
となるように配置する。１２はレーザダイオードユニッ
トの調整装置の基準であり、レーザダイオードの取り付
け台である。レーザダイオードユニットの調整装置の光
軸は、この基準面に対して垂直である。レーザダイオー
ドユニットの調整装置は、光ディスクの光学ヘッドにお
ける半導体レーザと受光部からなるユニットを調整する
装置であり、基準台１２に対して半導体レーザの発光点
位置を所定の位置にあわせ、放射分布の光量重心を光軸
に平行となるように調整する。１５はレンズであり、焦
点位置がレーザダイオードの発光点位置となるように配
置される。１６はレンズ１５の焦点位置に配置されたＣ
ＣＤカメラであり、レーザダイオードの放射分布を測定
する。
ｍ程度の平行光を射出するＨｅ−Ｎｅレーザ、２２はプ
リズムであり、外形は、直方体であり、内部に、入射面
に対して＋４５°の半透過反射面２６と−４５°の半透
過反射面２７を有する。半透過反射面２６、２７は、入
射光のほぼ５０％を透過し、残りの５０％を反射させ
る。材質は、クロムやアルミなどの金属の蒸着膜や、誘
電体多層膜などである。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１の射出光２
８は、垂直にプリズム２２に入射するように配置してい
る。プリズム２２の外側は、迷光を防ぐため、反射防止
膜を形成しておく。４は反射ミラーであり、基準面に押
し当てＨｅ−Ｎｅレーザ１からの射出光を反射する。２
３はレンズであり、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１から射出し、プ
リズム２２の半透過反射面２６で反射した光と、プリズ
ム２２を透過し、反射ミラー４で反射し、再びプリズム
２２の半透過反射面２７で反射した光とを入射し、焦点
面に集光スポットを形成する。レンズ２３の焦点面での
スポットの位置は、レンズ２３の入射光の位置によらな
い。すなわち、入射角度が同じであれば、入射光が平行
移動しても焦点面でのスポット位置は変わらない。レン
ズ２３の焦点距離をｆとし、レンズ２３への入射角度を
θとすると、焦点面では、レンズの光軸からｆθの位置
にスポットが形成される。２５はＣＣＤカメラであり、
レンズ２３の焦点面に配置し、集光スポットの位置を観
測する。レンズ２３の中心軸がＣＣＤカメラ２５の中心
となるように配置する。１２はレーザダイオードユニッ
トの調整装置の基準であり、レーザダイオードの取り付
け台である。レーザダイオードユニットの調整装置の光
軸は、この基準面に対して垂直である。レーザダイオー
ドユニットの調整装置は、光ディスクの光学ヘッドにお
ける半導体レーザと受光部からなるユニットを調整する
装置であり、基準台１２に対して半導体レーザの発光点
位置を所定の位置にあわせ、放射分布の光量重心を光軸
に平行となるように調整する。１５はレンズであり、焦
点位置がレーザダイオードの発光点位置となるように配
置される。１６はレンズ１５の焦点位置に配置されたＣ
ＣＤカメラであり、レーザダイオードの放射分布を測定
する。
【００１３】Ｈｅ−Ｎｅレーザ１を射出したレーザ光２
８は、プリズム２２に入射し、プリズム２２内部の半透
過反射面２６で反射した光線９は、光路を９０°レンズ
方向に曲げ、レンズ２３に入射する。レンズ２３によ
り、光線９は、焦点面であるＣＣＤカメラ２５に集光す
る。
８は、プリズム２２に入射し、プリズム２２内部の半透
過反射面２６で反射した光線９は、光路を９０°レンズ
方向に曲げ、レンズ２３に入射する。レンズ２３によ
り、光線９は、焦点面であるＣＣＤカメラ２５に集光す
る。
【００１４】一方、半透過反射面２６を透過した光は、
半透過反射面２７を通過し、ミラー４で反射する。半透
過反射面２７で反射し、レンズ２３と反対側へ向かう光
があるが、この光は用いない。光線２８とミラー４の法
線とのなす角をθとすると、光線８と、反射光線１０と
は、２θの角度をなす。反射ミラー４で反射した光線１
０は、再びプリズム２２に入射する。光線１０のうち、
半透過反射面２７で反射した光は、９０°レンズ方向に
光路を曲げレンズ２３に入射する。このとき、光線９と
光線１１とは、２θの角度をなしている。従って、レン
ズ２３で集光された光線１１のＣＣＤカメラ２５での集
光位置は、光線９に対して、２ｆθずれた位置となる。
基準台１２の基準面に対し、垂直な基準光とするために
は、ＣＣＤカメラ２５での２つの光線を一致するよう
に、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１の角度を調整する。
半透過反射面２７を通過し、ミラー４で反射する。半透
過反射面２７で反射し、レンズ２３と反対側へ向かう光
があるが、この光は用いない。光線２８とミラー４の法
線とのなす角をθとすると、光線８と、反射光線１０と
は、２θの角度をなす。反射ミラー４で反射した光線１
０は、再びプリズム２２に入射する。光線１０のうち、
半透過反射面２７で反射した光は、９０°レンズ方向に
光路を曲げレンズ２３に入射する。このとき、光線９と
光線１１とは、２θの角度をなしている。従って、レン
ズ２３で集光された光線１１のＣＣＤカメラ２５での集
光位置は、光線９に対して、２ｆθずれた位置となる。
基準台１２の基準面に対し、垂直な基準光とするために
は、ＣＣＤカメラ２５での２つの光線を一致するよう
に、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１の角度を調整する。
【００１５】Ｈｅ−Ｎｅレーザ１の射出光が反射ミラー
４に垂直に入射するとき、反射ミラー４で反射し、プリ
ズム２２を透過した光は、直接Ｈｅ−Ｎｅレーザ１に戻
るが、プリズム２２の半透過反射膜の透過率をたとえ
ば、５０％とすると、戻り光の光量は、６％程度となる
のでＨｅ−Ｎｅレーザ１のレーザ発振への影響はほとん
どない。
４に垂直に入射するとき、反射ミラー４で反射し、プリ
ズム２２を透過した光は、直接Ｈｅ−Ｎｅレーザ１に戻
るが、プリズム２２の半透過反射膜の透過率をたとえ
ば、５０％とすると、戻り光の光量は、６％程度となる
のでＨｅ−Ｎｅレーザ１のレーザ発振への影響はほとん
どない。
【００１６】ＣＣＤカメラ２５上の光線９と光線１１に
よるスポット間距離は、光線９と光線１１の角度に依存
する。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１とプリズム２２間の距離、お
よび、プリズム２２とミラー４との距離を短縮しても、
ＣＣＤカメラ上の光線９と光線１１によるスポット間距
離はかわらない。従って、測定精度は低下させずに、装
置の小型ができる。また、画素サイズの小さなＣＣＤカ
メラを用いることで、光線９と光線１１によるスポット
間距離を高精度に測定し、基準台１２に対する光軸を精
度よく垂直にあわせることで、高精度化と小型化が可能
なレーザダイオードユニットの調整装置を提供できる。
よるスポット間距離は、光線９と光線１１の角度に依存
する。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１とプリズム２２間の距離、お
よび、プリズム２２とミラー４との距離を短縮しても、
ＣＣＤカメラ上の光線９と光線１１によるスポット間距
離はかわらない。従って、測定精度は低下させずに、装
置の小型ができる。また、画素サイズの小さなＣＣＤカ
メラを用いることで、光線９と光線１１によるスポット
間距離を高精度に測定し、基準台１２に対する光軸を精
度よく垂直にあわせることで、高精度化と小型化が可能
なレーザダイオードユニットの調整装置を提供できる。
【００１７】なお、半透過反射膜の反射率を５０％とし
たが、５０％以下でもよい。
たが、５０％以下でもよい。
【００１８】次に、本発明の第２の実施の形態につい
て、図２を参照しながら説明する。
て、図２を参照しながら説明する。
【００１９】図２において、図１と同じ番号のものは、
同じものを付している。１３は直線偏光を射出するＨｅ
−Ｎｅレーザであり、１４は偏光板である。
同じものを付している。１３は直線偏光を射出するＨｅ
−Ｎｅレーザであり、１４は偏光板である。
【００２０】プリズム２２の半透過反射面２６、２７の
反射率を５０％とすると、光線９と光線１１との光量の
比は、８：１となる。この光量比の光線をＣＣＤカメラ
２５で撮像すると、光線１１の像のコントラストが低く
なり、光線９と光線１１との距離測定の精度が低下す
る。
反射率を５０％とすると、光線９と光線１１との光量の
比は、８：１となる。この光量比の光線をＣＣＤカメラ
２５で撮像すると、光線１１の像のコントラストが低く
なり、光線９と光線１１との距離測定の精度が低下す
る。
【００２１】Ｈｅ−Ｎｅ１３の射出光の偏光方向を、反
射面２６の法線方向と光線３８とが作る面に対して約４
５°とする。光線９は、光線３８が１回反射した光線で
あり、光線１１は、光線３８が２回反射した光線である
ので、光線９と光線１１の偏光方向は、図３に示すよう
に、ほぼ９０°となる。
射面２６の法線方向と光線３８とが作る面に対して約４
５°とする。光線９は、光線３８が１回反射した光線で
あり、光線１１は、光線３８が２回反射した光線である
ので、光線９と光線１１の偏光方向は、図３に示すよう
に、ほぼ９０°となる。
【００２２】そこで、偏光板１４の透過軸を光線１１の
偏光軸に平行に近づけることで、光線９と光線１１の光
量比を１：１に近づけることができる。その結果、ＣＣ
Ｄカメラ２５に投影される光線９と光線１１間の距離
を、精度良く測定することができ、レーザダイオードユ
ニットの調整装置の基準光軸を精度よく作ることができ
る。
偏光軸に平行に近づけることで、光線９と光線１１の光
量比を１：１に近づけることができる。その結果、ＣＣ
Ｄカメラ２５に投影される光線９と光線１１間の距離
を、精度良く測定することができ、レーザダイオードユ
ニットの調整装置の基準光軸を精度よく作ることができ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レーザ光
を入射面に対し＋４５°の半透過反射面を有するプリズ
ムで分岐させ、透過した光をレーザダイオードユニット
の保持部の基準面に設けた反射ミラーで反射させ、この
反射光を前記プリズムの入射面に対し−４５°の半透過
反射面で反射させ、前記＋４５°の半透過反射面と−４
５°の半透過反射面で反射した光を集光させ、この集光
した光を受光し、レーザの位置ずれ量を求め、この位置
ずれ量に応じて前記レーザの位置を移動させるもので、
コンパクトな構成で、精度良くレーザダイオードユニッ
ト調整装置の基準光軸を作ることができる。
を入射面に対し＋４５°の半透過反射面を有するプリズ
ムで分岐させ、透過した光をレーザダイオードユニット
の保持部の基準面に設けた反射ミラーで反射させ、この
反射光を前記プリズムの入射面に対し−４５°の半透過
反射面で反射させ、前記＋４５°の半透過反射面と−４
５°の半透過反射面で反射した光を集光させ、この集光
した光を受光し、レーザの位置ずれ量を求め、この位置
ずれ量に応じて前記レーザの位置を移動させるもので、
コンパクトな構成で、精度良くレーザダイオードユニッ
ト調整装置の基準光軸を作ることができる。
【００２４】さらに、第２の実施の形態によれば、直線
偏光の光源と偏光板を用い、＋４５°と−４５°半透過
反射面からの反射光の光量を揃えることで、さらに精度
良くレーザダイオードユニット調整装置の基準光軸をつ
くることができる。
偏光の光源と偏光板を用い、＋４５°と−４５°半透過
反射面からの反射光の光量を揃えることで、さらに精度
良くレーザダイオードユニット調整装置の基準光軸をつ
くることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るレーザダイオ
ードユニットの調整を示す模式図
ードユニットの調整を示す模式図
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るレーザダイオ
ードユニットの調整を示す模式図
ードユニットの調整を示す模式図
【図３】光線の偏光方向を示す図
【図４】従来のレーザダイオードユニットの調整を示す
模式図
模式図
１ Ｈｅ−Ｎｅレーザ ４ 反射ミラー １３ Ｈｅ−Ｎｅレーザ １４ 偏光板 ２２ プリズム ２３ 集光レンズ ２５ ＣＣＤカメラ ２６ 反射面 ２７ 反射面
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザと受光部とからなるレーザダイオ
ードユニットのレーザ光を入射させ、入射面に対し＋４
５°と−４５°の半透過反射面を有するプリズムと、こ
のプリズムの透過光を反射する前記レーザダイオードユ
ニットの保持部の基準面に設けた反射ミラーと、前記レ
ーザ光を前記プリズムの＋４５°面で反射した光と、前
記反射ミラーで反射し前記プリズムの−４５°面で反射
した光を集光するレンズと、レンズの焦点位置に配置さ
れた受光部と、前記レーザの調整手段とを有することを
特徴とするレーザダイオードユニットの調整装置。 - 【請求項２】 レーザが直線偏光を有するもので、＋４
５°の半透過反射面と−４５°の半透過反射面で反射し
た光を偏光させる偏光板を設けたことを特徴とする請求
項１に記載のレーザダイオードユニットの調整装置。 - 【請求項３】 レーザ光を入射面に対し＋４５°の半透
過反射面を有するプリズムで分岐する工程と、透過した
光をレーザダイオードユニットの保持部の基準面に設け
た反射ミラーで反射させる工程と、この反射光を前記プ
リズムの入射面に対し−４５°の半透過反射面で反射さ
せる工程と、前記＋４５°の半透過反射面と−４５°の
半透過反射面で反射した光を集光させる工程と、この集
光した光を受光し、レーザの位置ずれ量を求める工程
と、この位置ずれ量に応じて前記レーザの位置を移動さ
せる工程とを有することを特徴とするレーザダイオード
ユニットの調整装置の校正方法。 - 【請求項４】 レーザが直線偏光を有するもので、反射
光を＋４５°の半透過反射面と−４５°の半透過反射面
で反射した光を偏光させる工程を有したことを特徴とす
る請求項３に記載のレーザダイオードユニットの調整装
置の校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001138137A JP2002334479A (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | レーザダイオードユニットの調整装置及びその校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001138137A JP2002334479A (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | レーザダイオードユニットの調整装置及びその校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002334479A true JP2002334479A (ja) | 2002-11-22 |
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ID=18985121
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001138137A Pending JP2002334479A (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | レーザダイオードユニットの調整装置及びその校正方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002334479A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114235344A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种激光器谐振腔镜的调试装置及调试方法 |
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2001
- 2001-05-09 JP JP2001138137A patent/JP2002334479A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114235344A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种激光器谐振腔镜的调试装置及调试方法 |
| CN114235344B (zh) * | 2021-12-14 | 2023-09-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种激光器谐振腔镜的调试装置及调试方法 |
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