JP2000299222A - 積層セラミック電子部品およびその製造方法 - Google Patents

積層セラミック電子部品およびその製造方法

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JP2000299222A
JP2000299222A JP11107892A JP10789299A JP2000299222A JP 2000299222 A JP2000299222 A JP 2000299222A JP 11107892 A JP11107892 A JP 11107892A JP 10789299 A JP10789299 A JP 10789299A JP 2000299222 A JP2000299222 A JP 2000299222A
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insulating sheets
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 歩留まりを低下させることはなく、内部導体
が形成された絶縁シート間の接着性を向上させることが
できる積層セラミック電子部品を提供することを目的と
する。 【解決手段】 上下方向に積層される複数の絶縁シート
1と、この複数の絶縁シート1に形成される複数の内部
導体2とを有し、前記内部導体2の上下に位置する絶縁
シート1bのうち少なくとも一方の絶縁シート1bにお
ける可塑剤の量を前記内部導体2が形成されない絶縁シ
ート1aにおける可塑剤の量より多くしたことを特徴と
するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁シートとその
絶縁シートに形成された内部導体とを積層して形成され
る積層チップインダクタや積層チップコンデンサ等の積
層セラミック電子部品およびその製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来の積層セラミック電子部品である積
層チップインダクタとしては、実願昭59−16203
1号(実開昭61−76928号)のマイクロフィルム
に記載されたものが知られている。
【0003】以下、従来の積層チップインダクタについ
て、図面を参照しながら説明する。
【0004】図1は従来の積層チップインダクタの分解
斜視図、図2は同積層チップインダクタの断面図であ
る。
【0005】図1、図2において、1は上下方向に積層
された絶縁シートで、この絶縁シート1には銀などから
なるコの字またはL字状の内部導体2が形成され、且つ
絶縁シート1は樹脂と可塑剤と溶剤とを溶解させたビー
クルと、NiZnCu系等のフェライト粉末とを混練し
て構成されている。また絶縁シート1は内部導体2が形
成されない複数の絶縁シート1a(以下絶縁シート1a
とする)と、内部導体2の上下に位置する複数の絶縁シ
ート1b(以下絶縁シート1bとする)とからなる。3
は銀などからなるバイア電極で、前記内部導体2に形成
されている。そして前記内部導体2に形成されたバイア
電極3同士を電気的に接続するように複数の内部導体2
同士を接続することによって、1つの螺旋状のコイルが
形成される。このとき、保護層となり且つ適当な磁界を
形成するための絶縁シート1aがコイルの上下に積層さ
れている。4は銀などからなる引き出し部で、この引き
出し部4は最上面および最下面の内部導体2に形成さ
れ、且つ絶縁シート1bの少なくとも端面に設けられて
いる。5は銀などからなる端面電極で、この端面電極5
は絶縁シート1aおよび絶縁シート1bと内部導体2と
を上下方向に積層した積層物の端面に、引き出し部4と
電気的に接続されるように設けられている。
【0006】上記のように構成された従来の積層チップ
インダクタの製造方法について、次にその製造方法を図
面を参照しながら説明する。
【0007】図1、図2において、まず、樹脂と可塑剤
と溶剤とを溶解させたビークルに、NiZnCu系等の
フェライト粉末を混練してセラミック塗料を得る。
【0008】次に、このセラミック塗料を塗工し乾燥し
て絶縁シート1aおよび絶縁シート1bを成形する。
【0009】次に、絶縁シート1bに穴開け加工した
後、銀または銀パラジウム等の導体ペーストをスクリー
ン印刷等により穴に充填して複数のバイア電極3を形成
する。
【0010】次に、バイア電極3が形成された絶縁シー
ト1bに銀または銀パラジウム等の導体ペーストを用
い、バイア電極3と電気的に接続された所定のパターン
をスクリーン印刷等で形成して内部導体2を設け、バイ
ア電極3と電気的に接続された絶縁シート1bを得る。
【0011】次に、内部導体2同士が接触しないよう
に、複数の内部導体2と複数の絶縁シート1bとを交互
に、且つ上下方向に積層する。このとき、内部導体2に
形成されたバイア電極3同士が電気的に接続されるよう
にして、複数の内部導体2同士を接続し、独立した螺旋
状のコイルを形成する。
【0012】次に、最上面および最下面の絶縁シート1
bの少なくとも端面に、銀などからなる引き出し部4を
設ける。
【0013】次に、コイルの上下に、保護層となり且つ
適当な磁界を形成するための絶縁シート1aを積層し
て、絶縁シート1aおよび絶縁シート1bと内部導体2
とを上下方向に積層した積層物を得る。
【0014】次に、個片1つに所定の数のコイルが形成
されるように、この積層物を所定の大きさに切断して、
個片状の積層物にばらす。
【0015】最後に、これらの個片状の積層物を焼成し
た後、各個片状の積層物の端面に引き出し部4と電気的
に接続されるように導体ペーストを塗布して焼成するこ
とにより、端面電極5を形成し、必要に応じてニッケル
やはんだ等で端面電極5にめっき処理を施して従来の積
層チップインダクタを製造していた。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の積層セラミック電子部品は、絶縁シート1bと内部導
体2とを交互になるように積層し、そして絶縁シート1
bと内部導体2は、熱圧着では接着せず、通常は内部導
体2をスクリーン印刷などの印刷工法で形成するが、こ
のとき乾燥工程で絶縁シート1bにおける可塑剤が蒸発
するため、絶縁シート1b間の接着力が弱くなり、これ
により、絶縁シート1b間に空気の噛み込みが発生した
り、絶縁シート1b間の層間剥離不良(デラミネーショ
ン)が発生して、絶縁シート1b間の接着性が劣化し易
くなっていた。さらに、現在大電流対応として直流抵抗
値の低いものが求められているため内部導体2の厚みを
厚くする傾向にあるが、これは層間剥離不良が増加する
傾向にある。
【0017】また、絶縁シート1b間の接着力を向上さ
せるために絶縁シート1中の可塑剤量を一様に多くする
と、個片状の積層物に切断する際に個片状の積層物の絶
縁シート1同士が接着しやすくなるため、個片状の積層
物の再付着が発生して歩留まりが低下する原因となって
いた。
【0018】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、歩留まりを低下させることなく、内部導体が形成さ
れた絶縁シート間の接着性を向上させることができる積
層セラミック電子部品を提供することを目的とするもの
である。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の積層セラミック電子部品は、上下方向に積層
される複数の絶縁シートと、この複数の絶縁シートに形
成される内部導体とを有し、前記内部導体の上下に位置
する絶縁シートのうち、少なくとも一方の絶縁シートに
おける可塑剤の量を絶縁内部導体が形成されない絶縁シ
ートにおける可塑剤の量より多くしたもので、この構成
によれば、歩留まりを低下させることなく、内部導体が
形成された絶縁シート間の接着性を向上させることがで
きるものである。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、上下方向に積層される複数の絶縁シートと、この複
数の絶縁シートに形成される内部導体とを有し、前記内
部導体の上下に位置する絶縁シートのうち、少なくとも
一方の絶縁シートにおける可塑剤の量を前記内部導体が
形成されない絶縁シートにおける可塑剤の量より多くし
たもので、この構成によれば、内部導体の上下に位置す
る絶縁シートにおける可塑剤の量を多くしたため、乾燥
工程で内部導体の上下に位置する絶縁シートの可塑剤が
蒸発しても、内部導体の上下に位置する絶縁シートにお
ける可塑剤を所定の量以上に確保することができ、これ
により、内部導体の上下に位置する絶縁シート間の接着
力が強くなるため、内部導体の上下に位置する絶縁シー
ト間に空気の噛み込みが発生したり、絶縁シート間の層
間剥離不良が発生するということはなくなり、その結
果、内部導体の上下に位置する絶縁シート間の接着性が
向上するということに加えて、内部導体が形成されない
絶縁シートにおける可塑剤の量を、内部導体の上下に位
置する絶縁シートにおける可塑剤の量より少なくしたた
め、個片状の積層物に切断する際に個片状の積層物の絶
縁シート同士が接着されにくくなり、これにより、個片
状の積層物の再付着が発生せず歩留まりの低下を防ぐこ
とができるという作用を有するものである。
【0021】請求項2に記載の発明は、内部導体が形成
される複数の絶縁シートと、内部導体が形成されない複
数の絶縁シートを備え、前記内部導体の上下に位置する
絶縁シートのうち、少なくとも一方の絶縁シートにおけ
る可塑剤の量を前記内部導体が形成されない絶縁シート
における可塑剤の量より多くしてこれらの複数の絶縁シ
ートを積層する工程を備えたもので、この製造方法によ
れば、内部導体の上下に位置する絶縁シートにおける可
塑剤の量を多くしたため、乾燥工程で内部導体の上下に
位置する絶縁シートの可塑剤が蒸発しても、内部導体の
上下に位置する絶縁シートにおける可塑剤を所定の量以
上に確保することができ、これにより、内部導体の上下
に位置する絶縁シート間の接着力が強くなるため、内部
導体の上下に位置する絶縁シート間に空気の噛み込みが
発生したり、絶縁シート間の層間剥離不良が発生すると
いうことはなくなり、その結果、内部導体の上下に位置
する絶縁シート間の接着性が向上するということに加え
て、内部導体が形成されない絶縁シートにおける可塑剤
の量を、内部導体の上下に位置する絶縁シートにおける
可塑剤の量より少なくしたため、個片状の積層物に切断
する際に個片状の積層物の絶縁シート同士が接着されに
くくなり、これにより、個片状の積層物の再付着が発生
せず歩留まりの低下を防ぐことができるという作用を有
するものである。
【0022】以下、本発明の一実施の形態における積層
セラミック電子部品である積層チップインダクタについ
て、図面を参照しながら説明する。
【0023】本発明の一実施の形態における積層チップ
インダクタの構成は、図1、図2に示した上記従来の積
層チップインダクタと同じであるため、その説明は省略
し、同じ符号を付ける。
【0024】以下、本発明の一実施の形態における積層
チップインダクタの製造方法を図面を参照しながら説明
する。
【0025】図1、図2において、まず、ブチラール等
の樹脂とフタール酸系の可塑剤等と酢酸ブチル等の溶剤
とを溶解させたビークルと、Ni、Zn、Cu、Mn、
Biのうち少なくとも一つを含むフェライト材料とを混
練してセラミック塗料を得る。
【0026】次に、このセラミック塗料をPET等の支
持体の上面にドクターブレード法等のシート成形方法に
より塗布し、約70℃で乾燥して絶縁シート1aを得
る。
【0027】次にフタール酸系の可塑剤量を増やし、同
様の方法で絶縁シート1bを得る。
【0028】次に、絶縁シート1bにパンチング等によ
り穴開け加工した後、銀または銀パラジウム等の導体ペ
ーストをスクリーン印刷等により穴に充填して、約70
℃で10分間乾燥し複数のバイア電極3を形成する。
【0029】次に、複数のバイア電極3が形成された絶
縁シート1bに銀または銀パラジウム等の導体ペースト
を用い、バイア電極3と電気的に接続された所定のパタ
ーンをスクリーン印刷等で形成し、約70℃で10分間
乾燥して複数の内部導体2を設け、バイア電極3と電気
的に接続された複数の絶縁シート1bを得る。
【0030】次に、約130℃で発泡する粘着シート上
に絶縁シート1aを積層しPET等の支持体を剥離す
る。さらにその上に絶縁シート1a同士が接するように
絶縁シート1aを置き、約60℃から120℃で熱圧着
して積層しPET等の支持体を剥離する。この積層を数
回繰り返して、絶縁シート1aの積層体を形成する。
【0031】次に、内部導体2同士が接触しないよう
に、複数の内部導体2と複数の絶縁シート1bとを交互
に、且つ上下方向に上記した方法と同様の方法で積層す
る。このとき、内部導体2に形成されたバイア電極3同
士が電気的に接続されるようにして、複数の内部導体2
同士を接続し、独立した複数の螺旋状のコイルを形成す
る。
【0032】なお、この場合、内部導体2が位置する上
下の少なくとも一方の絶縁シート1bにおける可塑剤の
量を増やすようにしてもよい。
【0033】次に、最上面および最下面の絶縁シート1
bの少なくとも端面に、銀などからなる引き出し部4を
設ける。
【0034】次に、コイルの上下に、保護層となり且つ
適当な磁界を形成するための絶縁シート1aの積層体を
積層して、絶縁シート1aおよび絶縁シート1bと内部
導体2とを上下方向に積層した積層物を得る。
【0035】次に、個片1つに所定の数のコイルが形成
されるように、この積層物を所定の大きさに切断し、発
泡シートを発泡させて個片状の積層物にばらす。
【0036】最後に、これらの個片状の積層物を約90
0℃で3時間焼成した後、各個片状の積層物の端面に引
き出し部4と電気的に接続されるように導体ペーストを
塗布、乾燥し、且つ約850℃で焼成することにより、
端面電極5を形成する。また、必要に応じてニッケルや
はんだ等で端面電極5にめっき処理を施して本発明の一
実施の形態における積層チップインダクタを製造する。
【0037】なお、絶縁シート1aおよび絶縁シート1
bにおける可塑剤の量は、絶縁シート1aや絶縁シート
1bの寸法、内部導体2の厚み、表面積などによって決
まるもので、絶縁シート1b間の接着力が強くなり、且
つ個片状の積層物の再付着が発生しないような所定の量
になっている。
【0038】(表1)は、本発明の一実施の形態におけ
る積層チップインダクタにおいて、絶縁シート1aおよ
び絶縁シート1bに含まれる可塑剤量と、層間剥離不良
率および個片状の積層物の再付着発生率との関係を示し
たものである。
【0039】この場合、フェライト材料はNiZnCu
系で比表面積5m2/g、平均粒子径0.9μmのも
の、絶縁シート1aおよび絶縁シート1bは厚みが90
μmから130μmのもの、内部導体2は厚みが16μ
mから35μmのものを使用した。なお、可塑剤の量は
フェライト材料を100とした場合の重量%で示してい
る。
【0040】
【表1】
【0041】(表1)から明らかなように、絶縁シート
1aにおける可塑剤の量が6.50wt%の場合、絶縁
シート1bにおける可塑剤の量が6.75wt%のと
き、層間剥離不良率および個片状の積層物の再付着発生
率がともに0.1%で、両方とも最もよくなっている。
しかし、絶縁シート1bにおける可塑剤の量を絶縁シー
ト1aにおける可塑剤の量と同じ6.50wt%まで減
らしたときは層間剥離不良率が1%となり、逆に7.0
0wt%以上に増やすと層間剥離不良は無くなるが、個
片状の積層物の再付着発生率が急増する。
【0042】また、絶縁シート1aにおける可塑剤の量
が6.75wt%の場合、絶縁シート1bにおける可塑
剤の量を6.75wt%以上としても、層間剥離不良は
無くなるが、個片状の積層物の再付着発生率は多い。
【0043】つまり、フェライト材料としてNiZnC
u系で比表面積5m2/g、平均粒子径0.9μmのも
の、絶縁シート1aおよび絶縁シート1bとして厚みが
90μmから130μmのもの、内部導体2として厚み
が16μmから35μmのものを使用した場合は、絶縁
シート1aにおける可塑剤の量が6.50wt%である
とき、絶縁シート1bにおける可塑剤の量を6.75w
t%という具合に絶縁シート1aにおける可塑剤の量よ
り多くすれば、層間剥離不良率および個片状の積層物の
再付着発生率がともによくなる。しかし、絶縁シート1
aにおける可塑剤の量を6.75wt%に増やすと、個
片状の積層物に切断する際に個片状の積層物の絶縁シー
ト1同士が接着し易くなるため、個片状の積層物の再付
着発生率が多くなる。
【0044】このように、本発明の一実施の形態におけ
る積層チップインダクタにおいては、絶縁シート1bに
おける可塑剤の量を多くしたため、乾燥工程で絶縁シー
ト1bの可塑剤が蒸発しても、絶縁シート1bにおける
可塑剤を所定の量以上に確保することができ、これによ
り、絶縁シート1b間の接着力が強くなるため、絶縁シ
ート1b間に空気の噛み込みが発生したり、絶縁シート
1b間の層間剥離不良が発生するということはなくな
り、その結果、絶縁シート1b間の接着性が向上すると
いうことに加えて、絶縁シート1aにおける可塑剤の量
を、絶縁シート1bにおける可塑剤の量より少なくした
ため、個片状の積層物に切断する際に個片状の積層物の
絶縁シート同士が接着しにくくなり、これにより、個片
状の積層物の再付着が発生せず歩留まりの低下を防ぐこ
とができるという効果が得られるものである。
【0045】なお、上記した本発明の一実施の形態にお
いては、コイルが螺旋状のものについて説明したが、コ
イルが渦巻き状のものでも構わないものである。
【0046】
【発明の効果】以上のように本発明の積層セラミック電
子部品は、上下方向に積層される複数の絶縁シートと、
この複数の絶縁シートに形成される内部導体とを有し、
前記内部導体の上下に位置する絶縁シートのうち、少な
くとも一方の絶縁シートにおける可塑剤の量を前記内部
導体が形成されない絶縁シートにおける可塑剤の量より
多くしたもので、この構成によれば、内部導体の上下に
位置する絶縁シートにおける可塑剤の量を多くしたた
め、乾燥工程で内部導体の上下に位置する絶縁シートの
可塑剤が蒸発しても、内部導体の上下に位置する絶縁シ
ートにおける可塑剤を所定の量以上に確保することがで
き、これにより、内部導体の上下に位置する絶縁シート
間の接着力が強くなるため、内部導体の上下に位置する
絶縁シート間に空気の噛み込みが発生したり、絶縁シー
ト間の層間剥離不良が発生するということはなくなり、
その結果、内部導体の上下に位置する絶縁シート間の接
着性が向上するということに加えて、内部導体が形成さ
れない絶縁シートにおける可塑剤の量を、内部導体の上
下に位置する絶縁シートにおける可塑剤の量より少なく
したため、個片状の積層物に切断する際に個片状の積層
物の絶縁シート同士が接着されにくくなり、これによ
り、個片状の積層物の再付着が発生せず歩留まりの低下
を防ぐことができるという優れた効果を奏するものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来および本発明の一実施の形態における積層
チップインダクタの分解斜視図
【図2】従来および本発明の一実施の形態における積層
チップインダクタの断面図
【符号の説明】
1 絶縁シート 1a 内部導体が形成されない絶縁シート 1b 内部導体の上下に位置する絶縁シート 2 内部導体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上下方向に積層される複数の絶縁シート
    と、この複数の絶縁シートに形成される内部導体とを有
    し、前記内部導体の上下に位置する絶縁シートのうち、
    少なくとも一方の絶縁シートにおける可塑剤の量を前記
    内部導体が形成されない絶縁シートにおける可塑剤の量
    より多くしたことを特徴とする積層セラミック電子部
    品。
  2. 【請求項2】 内部導体が形成される複数の絶縁シート
    と、内部導体が形成されない複数の絶縁シートを備え、
    前記内部導体の上下に位置する絶縁シートのうち、少な
    くとも一方の絶縁シートにおける可塑剤の量を前記内部
    導体が形成されない絶縁シートにおける可塑剤の量より
    多くしてこれらの複数の絶縁シートを積層する工程を備
    えたことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方
    法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004119948A (ja) * 2002-09-30 2004-04-15 Toppan Printing Co Ltd 電磁誘導スパイラルインダクタ
JP2015095465A (ja) * 2013-11-08 2015-05-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層部品の製造方法
WO2023026807A1 (ja) * 2021-08-24 2023-03-02 京セラ株式会社 積層セラミック電子部品の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004119948A (ja) * 2002-09-30 2004-04-15 Toppan Printing Co Ltd 電磁誘導スパイラルインダクタ
JP2015095465A (ja) * 2013-11-08 2015-05-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層部品の製造方法
WO2023026807A1 (ja) * 2021-08-24 2023-03-02 京セラ株式会社 積層セラミック電子部品の製造方法

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JP2003037010A (ja) チップ積層型電子部品およびその製造方法

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