JP2000294613A5 - - Google Patents

Claims (27)

1. 減圧環境下にある空間に配置された可動部と、
   当該可動部に接続されて当該可動部を固定部に対して浮上させるように気体を噴出することができる気体軸受けと、
   前記可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置。
2. 前記気体軸受けは静圧型である請求項１記載の駆動装置。
3. 前記気体は不活性ガスである請求項１記載の駆動装置。
4. 前記気体軸受けは、前記駆動部による前記可動部の回転駆動、直線駆動、平面的駆動又はこれらの組合せの駆動を補助する請求項１記載の駆動装置。
5. 前記駆動装置は、前記可動部の姿勢を安定させるために前記気体軸受けを複数有する請求項１記載の駆動装置。
6. 前記駆動部は、前記可動部を駆動する直接駆動機構を有する請求項１記載の駆動装置。
7. 前記駆動部は、前記可動部を駆動する磁気結合機構を有する請求項１記載の駆動装置。
8. 前記駆動部は、前記気体軸受けの浮上面を磁束が通る磁気回路を形成して動力を伝達する請求項１記載の駆動装置。
9. 前記空間の圧力を一定に保つ調圧機構を更に有する請求項１記載の駆動装置。
10. 前記可動部は、処理対象である物体を搬送する搬送部を有する請求項１記載の駆動装置。
11. 前記物体は半導体ウェーハである請求項１０記載の駆動装置。
12. 前記物体はＬＣＤガラス基板である請求項１０記載の駆動装置。
13. 前記可動部は無関節アームを有する請求項１記載の駆動装置。
14. 前記可動部は一以上の関節を有するアームを有する請求項１記載の駆動装置。
15. 減圧環境下にある閉空間の内面に対向して配置され、当該内面から浮上するための気体を噴出することができる孔を有する可動部と、
    前記可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置。
16. 可動部に接続可能であり、前記可動部が対抗面に対して浮上するように気体を噴出することができる気体軸受けと、
    前記可動部を前記対抗面に拘束するように動作する磁気回路とを有する駆動補助装置。
17. 前記磁気回路は、前記可動部の浮上方向に対抗する方向の磁界を生成することができる請求項１６記載の駆動補助装置。
18. 前記磁気回路は永久磁石を有する請求項１６記載の駆動補助装置。
19. 前記磁気回路は電磁石を有する請求項１６記載の駆動補助装置。
20. 前記気体軸受けと前記磁気回路とは一体である請求項１６記載の駆動補助装置。
21. 前記可動部を前記内面に拘束するように前記可動部と前記内面とを磁気結合する磁気回路を更に有する請求項１記載の駆動装置。
22. 所定の減圧環境に設定され、本質的に、チャンバ排気装置を有するチャンバ内に配置される可動部と、
    直接結合して前記チャンバ内で前記所定の減圧環境下で動作する排気装置を有さずに、固定部に対して前記可動部を移動可能に支持する気体軸受け装置と、
    前記チャンバの外部から前記可動部を駆動する駆動装置とを有し、
    前記気体軸受け装置を介して前記チャンバに導入される気体は、前記チャンバ排気装置によって排気されることを特徴とする駆動装置。
23. 所定の減圧環境下にあり、本質的に、内面とチャンバ排気装置を有するチャンバと、
    直接結合して排気装置を有さずに、前記チャンバの内面に対して浮上させるように気体を噴出することができる孔を有する、前記チャンバ内部に配置された可動部と、
    前記可動部を駆動する駆動部とを有し、
    前記孔を介して前記チャンバへ導入される気体が前記チャンバ排気装置によって排気されることを特徴とする駆動装置。
24. チャンバ排気装置を有するチャンバにおいて固定部に対して可動部を浮上させる浮上装置であって、
    直接結合して排気装置を有さずに、前記可動部が前記固定部の表面で浮上するように前記固定部の表面に向かって気体を噴出するとともに前記可動部に接続されるために適用される気体軸受け装置と、
    前記固定部の表面の近傍に前記可動部を維持する磁場をつくる磁気回路とを有し、
    前記気体軸受け装置を介して前記チャンバへ導入される気体が前記チャンバ排気装置によって排気されることを特徴とする浮上装置。
25. 所定の減圧環境下のチャンバ内に配置された可動部と、
    前記チャンバへ導入される気体を排気するように前記チャンバの壁に接続されるチャンバ排気装置と、
    前記可動部に接続され、固定部に対して前記可動部を移動可動に支持し、前記チャンバ内部の前記所定の減圧環境下で制御する気体軸受け装置と、
    前記チャンバ外部から前記可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置。
26. 内面を有し、所定の減圧環境下のチャンバと、
    前記チャンバへ導入される気体を排気するように前記チャンバの壁に接続されるチャンバ排気装置と、
    前記チャンバの内面から浮上するように気体が噴出される孔を有するとともに前記チャンバ内に配置される可動部と、
    前記可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置。
27. チャンバ排気装置を有するチャンバにおいて固定部上の可動部を浮上させる浮上装置であって、
    直接結合して排気装置を有さずに、前記可動部が前記固定部の表面上で浮上するよう前記固定部の表面に向かって気体を噴出するとともに前記可動部に接続されるために適用される気体軸受け装置と、
    前記固定部の前記表面の近傍に前記可動部を維持する磁場をつくる磁気回路とを有し、
    前記チャンバへ導入される気体が前記チャンバ排気装置によって排気されることを特徴とする浮上装置。