JP2000294452A - 積層セラミック電子部品アレイ及びその製造方法 - Google Patents

積層セラミック電子部品アレイ及びその製造方法

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JP2000294452A
JP2000294452A JP11102481A JP10248199A JP2000294452A JP 2000294452 A JP2000294452 A JP 2000294452A JP 11102481 A JP11102481 A JP 11102481A JP 10248199 A JP10248199 A JP 10248199A JP 2000294452 A JP2000294452 A JP 2000294452A
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JP11102481A
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Teruo Yoshida
照男 吉田
Haruo Hori
晴雄 堀
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各素子部に所望の特性を持たせることが可能
で、かつ、隣接する素子部間におけるクロストークを抑
制することが可能な積層セラミック電子部品アレイ及び
その製造方法を提供する。 【解決手段】 積層セラミック電子部品アレイの、互い
に隣接する各素子部を、積層方向についてみた場合に異
なる領域に配設するとともに、少なくとも一部の素子部
と他の素子部とで、(a)内部電極の積層枚数、(b)セラ
ミック層を介して互いに対向する内部電極の対向面積、
及び(c)セラミック層を介して互いに対向する内部電極
間の距離、の少なくとも一つを異ならせる。また、複数
の内部電極が略同一のパターンで配設された複数のマザ
ーセラミックグリーンシートを形成し、このマザーセラ
ミックグリーンシートを適宜、位置をずらせて積層する
ことにより、一種類のセラミックグリーンシートを用い
て積層セラミック電子部品アレイを製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
電子部品に関し、詳しくは、複数の素子部を一体化した
積層セラミック電子部品アレイに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の積層セラミック電子部品アレイ
(ここでは、積層セラミックコンデンサアレイを例にと
って説明する)は、通常、誘電体グリーンシート(セラ
ミックグリーンシート)に複数の内部電極を印刷し、こ
れを所望の静電容量を取得できるように、所定枚数積
層、圧着し、所定の位置で切断して、個々のセラミック
アレイ素子に分割した後、焼成し、外部電極を形成する
ことにより製造されている。
【0003】図6は、このようにして製造された積層セ
ラミックコンデンサアレイを示すものであり、(a)は平
面透視図、(b)は(a)のb−b線による断面図である。
図6(a),(b)に示すように、この積層セラミックコン
デンサアレイは、セラミックアレイ素子51中に、セラ
ミック層51aを介して互いに対向するように内部電極
52(52a,52b)が配設することにより形成され
た複数個(この例では4個)の素子部(コンデンサ素子
部)55を備えており、セラミックアレイ素子51の側
面には、引き出された内部電極52(52a,52b)
と導通するように、各素子部55について一対の外部電
極53(53a,53b)が配設された構造を有してい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図6に示す
ような積層セラミックコンデンサアレイにおいては、各
素子部55を構成する内部電極52(52a,52b)
がそれぞれ同一平面上に配設されているため、通常は、
素子部55ごとに異なる静電容量を得ることができな
い。しかし、積層セラミックコンデンサアレイが使用さ
れる回路などによっては、各素子部55の静電容量を異
ならせることが必要になる場合がある。そのため、従来
の積層セラミックコンデンサアレイでは、そのような場
合に対応することができないという問題点がある。
【0005】また、互いに隣接する各素子部55を構成
する内部電極52(52a,52b)がそれぞれ同一平
面上に配設され、各素子部55が、積層方向についてみ
た場合に、同じ領域Rに配設されていることから、場合
によっては、隣接する素子部55間においてクロストー
クが発生するという問題点がある。
【0006】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、各素子部に所望の特性を持たせることが可能で、
かつ、隣接する素子部間におけるクロストークを抑制す
ることが可能な積層セラミック電子部品アレイ及びその
製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明(請求項1)の積層セラミック電子部品ア
レイは、セラミックアレイ素子中に、セラミック層を介
して互いに対向するように複数の内部電極を配設するこ
とにより形成された素子部を複数個備えた積層セラミッ
ク電子部品アレイであって、互いに隣接する各素子部
を、積層方向についてみた場合に異なる領域に配設する
とともに、前記複数の素子部のうちの少なくとも一部
が、他の素子部とは異なる特性を備えるように、(a)内
部電極の積層枚数、(b)セラミック層を介して互いに対
向する内部電極の対向面積、及び(c)セラミック層を介
して互いに対向する内部電極間の距離のうちの少なくと
も一つを、他の素子部とは異ならせたことを特徴として
いる。
【0008】本願発明の積層セラミック電子部品アレイ
は、互いに隣接する各素子部を、積層方向についてみた
場合に互いに異なる領域に位置するように配設している
ので、各素子部間のクロストークを確実に抑制すること
が可能になるとともに、少なくとも一部の素子部が他の
素子部とは、内部電極の積層枚数、セラミック層を介し
て互いに対向する内部電極の対向面積、及びセラミック
層を介して互いに対向する内部電極間の距離、の少なく
とも一つを異にしているので、少なくとも一部の素子部
に、他の素子部とは異なる所望の特性を持たせることが
可能になる。
【0009】なお、本願発明においては、すべての素子
部で、内部電極の積層枚数、セラミック層を介して互い
に対向する内部電極の対向面積、及びセラミック層を介
して互いに対向する内部電極間の距離の少なくとも一つ
を異ならせることにより、各素子部に所望の特性を持た
せることも可能である。
【0010】また、内部電極の積層枚数、セラミック層
を介して互いに対向する内部電極の対向面積、及びセラ
ミック層を介して互いに対向する内部電極間の距離の各
条件に関しては、そのいずれか一つの条件を異ならせる
ことにより特性を異ならせることが可能であるが、複数
個の条件を同時に異ならせることも可能である。
【0011】また、本願発明(請求項2)の積層セラミ
ック電子部品アレイの製造方法は、セラミックアレイ素
子中に、セラミック層を介して互いに対向するように複
数の内部電極を配設することにより形成された素子部を
複数個備えた積層セラミック電子部品アレイの製造方法
において、複数の内部電極が略同一のパターンで配設さ
れたマザーセラミックグリーンシートを形成し、前記マ
ザーセラミックグリーンシートを、互いに隣接する各素
子部が、積層方向についてみた場合に異なる領域に位置
するとともに、少なくとも一部の素子部が他の素子部と
は、(a)内部電極の積層枚数、及び(b)セラミック層を
介して互いに対向する内部電極の対向面積の少なくとも
一つを異にするような態様で積層することにより、他の
素子部とは異なる特性を持たせるようにしたことを特徴
としている。
【0012】複数の内部電極が略同一のパターンで配設
された複数のマザーセラミックグリーンシートを形成
し、このマザーセラミックグリーンシートを、互いに隣
接する各素子部が、積層方向についてみた場合に互いに
異なる領域に位置するとともに、少なくとも一部の素子
部が他の素子部とは、内部電極の積層枚数、及びセラミ
ック層を介して互いに対向する内部電極の対向面積の少
なくとも一つを異にするような態様で積層することによ
り、内部電極が略同一のパターンで配設された一種類の
マザーセラミックグリーンシートを用意するだけで、隣
接する素子部間におけるクロストークが少なく、しか
も、少なくとも一部の素子部が、また場合によってはす
べての素子部が、他の素子部とは異なる所望の特性を有
する積層セラミック電子部品アレイを効率よく製造する
ことが可能になる。
【0013】また、本願発明(請求項3)の積層セラミ
ック電子部品アレイの製造方法は、セラミックアレイ素
子中に、セラミック層を介して互いに対向するように複
数の内部電極を配設することにより形成された素子部を
複数個備えた積層セラミック電子部品アレイの製造方法
において、複数の内部電極が略同一のパターンで配設さ
れた厚みが同じのマザーセラミックグリーンシート及び
内部電極が配設されていないダミーセラミックグリーン
シートを形成するか、又は複数の内部電極が略同一のパ
ターンで配設された厚みの異なるマザーセラミックグリ
ーンシートを形成し、前記厚みの同じマザーセラミック
グリーンシート及びダミーセラミックグリーンシート、
又は前記厚みの異なるマザーセラミックグリーンシート
を、互いに隣接する各素子部が、積層方向についてみた
場合に異なる領域に位置するとともに、少なくとも一部
の素子部が他の素子部とは、(a)内部電極の積層枚数、
(b)セラミック層を介して互いに対向する内部電極の対
向面積、及び(c)セラミック層を介して互いに対向する
内部電極間の距離、の少なくとも一つを異にするような
態様で積層することにより、他の素子部とは異なる特性
を持たせるようにしたことを特徴としている。
【0014】厚みの同じマザーセラミックグリーンシー
ト及びダミーセラミックグリーンシート、又は厚みの異
なるマザーセラミックグリーンシートを用意し、これ
を、互いに隣接する各素子部が、積層方向についてみた
場合に互いに異なる領域に位置するとともに、少なくと
も一部の素子部が他の素子部とは、内部電極の積層枚
数、セラミック層を介して互いに対向する内部電極の対
向面積、及びセラミック層を介して互いに対向する内部
電極間の距離、の少なくとも一つを異にするような態様
で積層することにより、隣接する素子部間におけるクロ
ストークが少なく、しかも、少なくとも一部の素子部
が、また場合によってはすべての素子部が、他の素子部
とは異なる所望の特性を有する積層セラミック電子部品
アレイを効率よく製造することが可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【0016】[実施形態1]図1は、本願発明の一実施
形態にかかる積層セラミック電子部品アレイ(この実施
形態では、積層セラミックコンデンサアレイ)を示す図
であり、(a)は平面透視図、(b)は(a)のb−b線によ
る断面図である。
【0017】この実施形態1の積層セラミック電子部品
アレイ(積層セラミックコンデンサアレイ)は、図1
(a),(b)に示すように、セラミックアレイ素子1中
に、セラミック層1aを介して互いに対向するように内
部電極2(2a,2b)を配設することにより形成され
た複数個の素子部(この例では第1の素子5a,及び第
2の素子5bの2個)を備えているとともに、セラミッ
クアレイ素子1の互いに対向する側面11a,11bに
は、引き出された内部電極2(2a,2b)と導通する
ように、第1の素子部5a及び第2の素子部5bのそれ
ぞれについて一対の外部電極3a,3bが配設された構
造を有している。
【0018】そして、この実施形態1の積層セラミック
コンデンサアレイにおいては、第1の素子部5aが領域
R1に配設され、第2の素子部5bが領域R2に配設さ
れており、互いに隣接する第1及び第2の素子部5a,
5bが、内部電極2(2a,2b)の積層方向における
異なる領域R1,R2に位置するように構成されてい
る。また、第1の素子部5a,第2の素子部5bを構成
する内部電極2(2a,2b)の積層枚数は、第1の素
子部5aでは8枚、第2の素子部5bでは4枚とされて
いる。なお、各内部電極2(2a,2b)のセラミック
層1aを介して対向する面積(有効面積)は、第1の素
子部5aと第2の素子部5bで差はなく、同じ有効面積
となっている。
【0019】上記のように構成された積層セラミック電
子部品においては、互いに隣接する第1の素子部5a
と、第2の素子部5bが、内部電極2(2a,2b)の
積層方向についてみた場合に、それぞれ異なる領域R
1,R2に配設されているので、第1の素子部5aと第
2の素子部5bの間のクロストークを確実に抑制するこ
とが可能になるとともに、第1の素子部5aと第2の素
子部5bを構成する内部電極2(2a,2b)の積層枚
数を異ならせているので、第1の素子部5aと第2の素
子部5bで異なる大きさの静電容量を得ることができ
る。
【0020】次に、上記の積層セラミックコンデンサア
レイの製造方法について説明する。まず、チタン酸バリ
ウムなどからなる誘電体セラミック材料をシート状に成
形し、このシートの表面に、図2に示すように、複数の
内部電極2(2a,2b)を所定のパターンで形成する
ことにより、マザーセラミックグリーンシート10を得
る。
【0021】そして、図3に示すように、第1の素子部
5aに相当する部分では、セラミックグリーンシート1
0を、内部電極2(2a,2b)の長手方向(図2の矢
印Aの方向)に所定量だけ交互にずらして、内部電極2
(2a,2b)の積層枚数が8枚となるように積層し、
第2の素子部5bに相当する部分では、マザーセラミッ
クグリーンシート10の位置を、内部電極2(2a,2
b)の長手方向(図2の矢印Aの方向)に所定量だけ交
互にずらすとともに、内部電極2(2a,2b)の長手
方向に直交する方向(図2の矢印Bの方向)にも所定量
だけずらし、内部電極2(2a,2b)の積層枚数が4
枚となるように積層する。そして、さらに上下両面側に
外層用シート(内部電極の印刷されていないセラミック
グリーンシート)12を積層する。
【0022】なお、図3は、一つの積層セラミックコン
デンサアレイに相当するセラミックアレイ素子1のみを
示しているが、実際には、マザーセラミックグリーンシ
ート10を積層することにより、積層セラミックコンデ
ンサアレイを構成するセラミックアレイ素子が同時に多
数個形成される。
【0023】そして、上記積層体を圧着し、所定の位置
で切断して、個々の積層セラミックコンデンサアレイに
相当するセラミックアレイ素子1を切り出す。
【0024】それから、所定の温度で熱処理して焼成し
た後、導電ペーストを塗布して焼き付けることにより、
セラミックアレイ素子1の端面11a,11bに露出し
た内部電極2(2a,2b)と導通する外部電極3a,
3bを形成する。これにより、図1(a),(b)に示すよ
うな、2個の素子部(第1の素子部5aと第2の素子部
5b)を一体化した積層セラミックコンデンサアレイが
得られる。
【0025】この積層セラミックコンデンサアレイの第
1の素子部5aと第2の素子部5bの静電容量、有効寸
法(セラミック素子を介して互いに対向する内部電極の
重なり合う部分の寸法)、有効面積、内部電極の積層枚
数、誘電体素子厚(対向する内部電極間距離)、用いた
セラミックの誘電率を、表1に示す。
【0026】
【表1】
【0027】また、図4に、上記のようにして形成した
積層セラミックコンデンサアレイ(実施例)について測
定したクロストーク(Cross Talk)値を示す。また、図
4には、従来の工法により得られた、同じ静電容量の積
層セラミックコンデンサアレイ(従来例)のクロストー
ク値を併せて示す。
【0028】図4に示すように、本願発明の実施形態に
かかる積層セラミックコンデンサアレイ(実施例)は、
従来の工法により製造した積層セラミックコンデンサア
レイ(従来例)に比べて、クロストーク値が小さくなっ
ていることがわかる。
【0029】[実施形態2]図5は、本願発明の他の実
施形態(実施形態2)にかかる積層セラミック電子部品
アレイ(積層セラミックコンデンサアレイ)の要部構成
を示す分解斜視図である。この実施形態2では、第1の
素子部5aと第2の素子部5bの2個の素子部を構成す
る内部電極2(2a,2b)の積層枚数をいずれも8枚
とする一方、第1の素子部5aと第2の素子部5bで、
内部電極2(2a,2b)がセラミック層を介して対向
する面積(有効面積)を異ならせて、第1の素子部5a
と第2の素子部5bで、異なる静電容量が得られるよう
にしている。
【0030】なお、第1の素子部5aと第2の素子部5
bで、内部電極2(2a,2b)の有効面積を異ならせ
るために、第1の素子部5a及び第2の素子部5bを形
成する際に、セラミックグリーンシート10を内部電極
2(2a,2b)の長手方向(図2の矢印Aの方向)に
ずらす距離(ずらし量)を異ならせ、第2の素子部5b
では、ずらし量Z2(図5)を第1の素子部5aのずら
し量Z1(図5)よりも大きくして、有効面積が小さく
なるようにしている(Z1=0.125mm,Z2=0.
625mm)。なお、図5の積層セラミックコンデンサア
レイでは、第2の素子部5bにおける、セラミックグリ
ーンシート10のずらし量Z2が大きいため、マザーセ
ラミックグリーンシート10(図2)において隣接する
内部電極2の一部が、浮き電極2cとして、セラミック
アレイ素子1に含まれているが、この浮き電極2cは素
子部の特性に特別の影響は与えるものではない。なお、
その他の構成及び製造方法については、上記実施形態1
の場合と同様であることから、重複を避けるため、その
説明を省略する。
【0031】この実施形態2の積層セラミックコンデン
サアレイの、各素子部5a,5bの静電容量、有効寸
法、ずらし量、有効面積、内部電極枚数、誘電体素子厚
(対向する内部電極間距離)、用いたセラミックの誘電
率を表2に示す。
【0032】
【表2】
【0033】この実施形態2の積層セラミックコンデン
サアレイの場合、第1の素子5aと第2の素子5bで
は、内部電極の積層枚数はいずれも8枚であるが、第2
の素子5bでは、内部電極2(2a,2b)の有効面積
が、第1の素子5aの場合の1/2となっているので、
第2の素子5bで得られる静電容量も、第1の素子5a
の1/2となっている。
【0034】また、この実施形態2の積層セラミックコ
ンデンサアレイにおいても、従来の工法により製造した
積層セラミックコンデンサアレイに比べて、クロストー
ク値が抑制されることが確認されている。
【0035】なお、上記実施形態では、第1の素子部と
第2の素子部で、内部電極の積層枚数を異ならせた場合
(実施形態1)、及び第1の素子部と第2の素子部で、
内部電極の有効面積を異ならせた場合(実施形態2)を
例にとって説明したが、第1の素子部と第2の素子部
で、セラミック層を介して互いに対向する内部電極間の
距離を異ならせることにより、各素子部で異なる静電容
量を得ることができるように構成することも可能であ
る。内部電極間の距離を異ならせる方法としては、例え
ば、複数の内部電極が略同一のパターンで配設された厚
みが同一のマザーセラミックグリーンシート及び内部電
極が配設されていないダミーセラミックグリーンシート
を用意し、これを組み合わせて用いたり、あるいは、複
数の内部電極が略同一のパターンで配設された厚みの異
なるマザーセラミックグリーンシートを用意し、内部電
極間の距離にあわせて、厚みの異なるマザーセラミック
グリーンシートを組み合わせて用いたりする方法を適用
することが可能である。
【0036】また、内部電極の積層枚数、セラミック層
を介して互いに対向する内部電極の対向面積、及びセラ
ミック層を介して互いに対向する内部電極間の距離の各
条件に関しては、そのいずれか一つのみを調整すること
により特性を異ならせることが可能であるが、複数個の
条件を同時に異ならせることも可能である。
【0037】なお、上記実施形態においては、積層セラ
ミックコンデンサアレイを例にとって説明したが、本願
発明は、積層セラミックコンデンサに限らず、積層バリ
スタその他の種々の積層セラミック電子部品アレイにに
適用することが可能である。
【0038】また、上記積層セラミックコンデンサアレ
イでは、素子部が2個である場合を例にとって説明した
が、本願発明は、素子部の数は2個の場合に限られるも
のではなく、3個以上の素子部を備えた積層セラミック
電子部品アレイにも適用することが可能であることはい
うまでもない。
【0039】また、本願発明は、さらにその他の点にお
いても上記実施形態に限定されるものではなく、内部電
極の具体的な配設パターン、内部電極の積層枚数、内部
電極材料、セラミックの種類や組成などに関し、発明の
要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えること
が可能である。
【0040】
【発明の効果】上述のように、本願発明(請求項1)の
積層セラミック電子部品アレイは、互いに隣接する各素
子部を、積層方向についてみた場合に互いに異なる領域
に位置するように配設しているので、各素子部間のクロ
ストークを確実に抑制することが可能になるとともに、
少なくとも一部の素子部が他の素子部とは、内部電極の
積層枚数、セラミック層を介して互いに対向する内部電
極の対向面積、及びセラミック層を介して互いに対向す
る内部電極間の距離、の少なくとも一つを異にしている
ので、少なくとも一部の素子部に、他の素子部とは異な
る所望の特性を持たせることが可能になる。
【0041】なお、本願発明においては、すべての素子
部で、内部電極の積層枚数、セラミック層を介して互い
に対向する内部電極の対向面積、及びセラミック層を介
して互いに対向する内部電極間の距離の少なくとも一つ
を異ならせることにより、各素子部に所望の特性を持た
せることも可能である。
【0042】また、本願発明(請求項2)の積層セラミ
ック電子部品アレイの製造方法は、複数の内部電極が略
同一のパターンで配設された複数のマザーセラミックグ
リーンシートを形成し、このマザーセラミックグリーン
シートを、互いに隣接する各素子部が、積層方向につい
てみた場合に互いに異なる領域に位置するとともに、少
なくとも一部の素子部が他の素子部とは、(a)内部電極
の積層枚数、及び(b)セラミック層を介して互いに対向
する内部電極の対向面積、の少なくとも一つを異にする
ような態様で積層するようにしているので、内部電極が
略同一のパターンで配設された一種類のマザーセラミッ
クグリーンシートを用意するだけで、隣接する素子部間
におけるクロストークが少なく、しかも、少なくとも一
部の素子部が、また場合によってはすべての素子部が、
他の素子部とは異なる所望の特性を有する積層セラミッ
ク電子部品アレイを効率よく製造することが可能にな
る。
【0043】また、本願発明(請求項3)の積層セラミ
ック電子部品アレイの製造方法は、厚みの同じマザーセ
ラミックグリーンシート及びダミーセラミックグリーン
シート、又は厚みの異なるマザーセラミックグリーンシ
ートを用意し、これを、互いに隣接する各素子部が、積
層方向についてみた場合に互いに異なる領域に位置する
とともに、少なくとも一部の素子部が他の素子部とは、
内部電極の積層枚数、セラミック層を介して互いに対向
する内部電極の対向面積、及びセラミック層を介して互
いに対向する内部電極間の距離、の少なくとも一つを異
にするような態様で積層するようにしているので、隣接
する素子部間におけるクロストークが少なく、しかも、
少なくとも一部の素子部が、また場合によってはすべて
の素子部が、他の素子部とは異なる所望の特性を有する
積層セラミック電子部品アレイを効率よく製造すること
ができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明の一実施形態(実施形態1)にかかる
積層セラミック電子部品アレイ(積層セラミックコンデ
ンサアレイ)を示す図であり、(a)は平面透視図、(b)
は(a)のb−b線による断面図である。
【図2】本願発明の一実施形態(実施形態1)にかかる
積層セラミック電子部品アレイ(積層セラミックコンデ
ンサアレイ)の製造方法において用いたマザーセラミッ
クグリーンシートを示す平面図である。
【図3】本願発明の一実施形態(実施形態1)にかかる
積層セラミック電子部品アレイ(積層セラミックコンデ
ンサアレイ)の要部構成を示す分解斜視図である。
【図4】本願発明の一実施形態(実施形態1)にかかる
方法で製造した積層セラミック電子部品アレイ(積層セ
ラミックコンデンサアレイ)のクロストーク値を示す図
である。
【図5】本願発明の他の実施形態(実施形態2)にかか
る積層セラミック電子部品アレイ(積層セラミックコン
デンサアレイ)の要部構成を示す分解斜視図である。
【図6】従来の積層セラミック電子部品アレイを示す図
であり、(a)は平面透視図、(b)は図6(a)のb−b線
による断面図である。
【符号の説明】
1 セラミックアレイ素子 1a セラミック層 2(2a,2b) 内部電極 2c 浮き電極 3a,3b 外部電極 5a 第1の素子部 5b 第2の素子部 10 セラミックグリーンシート 11a,11b セラミックアレイの側面 12 外層用シート A 内部電極の長手方向 B 内部電極の長手方向に直交する方向 R1 第1の素子部が位置する領域 R2 第2の素子部が位置する領域 Z1 第1の素子部の内部電極のずらし量 Z2 第2の素子部の内部電極のずらし量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E001 AB03 AC01 AC08 AD02 AZ01 5E082 BC14 CC03 EE04 EE11 EE13 EE35 FG01 FG06 FG26 GG10 GG28 LL01 LL03

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミックアレイ素子中に、セラミック層
    を介して互いに対向するように複数の内部電極を配設す
    ることにより形成された素子部を複数個備えた積層セラ
    ミック電子部品アレイであって、 互いに隣接する各素子部を、積層方向についてみた場合
    に異なる領域に配設するとともに、 前記複数の素子部のうちの少なくとも一部が、他の素子
    部とは異なる特性を備えるように、(a)内部電極の積層
    枚数、(b)セラミック層を介して互いに対向する内部電
    極の対向面積、及び(c)セラミック層を介して互いに対
    向する内部電極間の距離のうちの少なくとも一つを、他
    の素子部とは異ならせたことを特徴とする積層セラミッ
    ク電子部品アレイ。
  2. 【請求項2】セラミックアレイ素子中に、セラミック層
    を介して互いに対向するように複数の内部電極を配設す
    ることにより形成された素子部を複数個備えた積層セラ
    ミック電子部品アレイの製造方法において、 複数の内部電極が略同一のパターンで配設されたマザー
    セラミックグリーンシートを形成し、 前記マザーセラミックグリーンシートを、互いに隣接す
    る各素子部が、積層方向についてみた場合に異なる領域
    に位置するとともに、少なくとも一部の素子部が他の素
    子部とは、(a)内部電極の積層枚数、及び(b)セラミッ
    ク層を介して互いに対向する内部電極の対向面積の少な
    くとも一つを異にするような態様で積層することによ
    り、他の素子部とは異なる特性を持たせるようにしたこ
    とを特徴とする積層セラミック電子部品アレイの製造方
    法。
  3. 【請求項3】セラミックアレイ素子中に、セラミック層
    を介して互いに対向するように複数の内部電極を配設す
    ることにより形成された素子部を複数個備えた積層セラ
    ミック電子部品アレイの製造方法において、 複数の内部電極が略同一のパターンで配設された厚みが
    同じのマザーセラミックグリーンシート及び内部電極が
    配設されていないダミーセラミックグリーンシートを形
    成するか、又は複数の内部電極が略同一のパターンで配
    設された厚みの異なるマザーセラミックグリーンシート
    を形成し、 前記厚みの同じマザーセラミックグリーンシート及びダ
    ミーセラミックグリーンシート、又は前記厚みの異なる
    マザーセラミックグリーンシートを、互いに隣接する各
    素子部が、積層方向についてみた場合に異なる領域に位
    置するとともに、少なくとも一部の素子部が他の素子部
    とは、(a)内部電極の積層枚数、(b)セラミック層を介
    して互いに対向する内部電極の対向面積、及び(c)セラ
    ミック層を介して互いに対向する内部電極間の距離、の
    少なくとも一つを異にするような態様で積層することに
    より、他の素子部とは異なる特性を持たせるようにした
    ことを特徴とする積層セラミック電子部品アレイの製造
    方法。
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