JP2000286483A - レーザ光発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光源の発熱部において発生した熱を効
率よく放熱しレーザ光源の冷却を行って、長期にわたっ
て安定した利用を可能とする。 【解決手段】 筐体１５と、筐体１５内に配設されレー
ザ光を出力するレーザ光源２と、レーザ光源２がレーザ
光を出力する際に発生させる熱を放熱し、レーザ光源２
の冷却を行う冷却ユニット３とを備える。冷却ユニット
３は、レーザ光源２の発熱部に取り付けられて筐体１５
内に配設される吸熱板５及びペルチェ素子６と、筐体外
に配設される放熱フィン８と、吸熱板５及びペルチェ素
子６と放熱フィン８とを繋ぐヒートパイプ９とを備えて
構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光発生装置
に関し、さらに詳しくはレーザ光源においてレーザ光出
力時に生じる発熱に対する放熱、冷却手段を備えたレー
ザ光発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ光発生装置は、例えば各種検査、
測定機器（以下、単に本体機器と称する。）に配設され
て利用される。レーザ光発生装置は、レーザ光を出力す
る際に熱を発するレーザ媒質を備えるレーザ光源が加熱
されて、発熱する。レーザ光発生装置は、レーザ光源が
発熱することにより、レーザ光源自体や本体機器内に設
置された他の周辺機器に悪影響を及ぼし、長期にわたり
安定したレーザ光を得ることが難しくなる。このため、
レーザ光発生装置においては、長期にわたって安定した
利用を可能にするために、レーザ光源の発熱に対する対
策として、レーザ光源の冷却が必要不可欠となってい
る。

【０００３】従来のレーザ光発生装置においては、上述
したようなレーザ光源の発熱に対する対策としてレーザ
光源の発熱部に対して以下に示すような放熱、冷却構造
を備えるものが提案されている。

【０００４】レーザ光発生装置においては、例えば十分
な取付設置面積が確保できる場合にはレーザ光源の発熱
部に比較的質量の大きな放熱板や測定定盤等を取り付け
て放熱、冷却を行う構造を備えるものが知られている。
上述したレーザ光源発生装置では、発熱して高温となっ
たレーザ光源から低温の放熱板や測定定盤等に熱を伝え
る、いわゆる熱伝導を利用することによりレーザ光源の
放熱、冷却を行っている。

【０００５】また、レーザ光発生装置においては、レー
ザ光源の発熱部に直接液冷板を取り付けて放熱、冷却を
行う構造を有するものが知られている。上述したレーザ
光発生装置は、液冷板内に封入された液体を熱交換ユニ
ットによって冷却し、冷却された液体を循環させること
によりレーザ光源の放熱、冷却を行う、いわゆる循環冷
却方法が行われる。循環液冷方法が行われるレーザ光発
生装置には、液冷板内の液体を循環させる循環ポンプが
付帯設備として設けられている。

【０００６】さらに、レーザ光発生装置においては、上
述した放熱、冷却構造以外にレーザ光源に比較的大きな
放熱フィンを取り付けて発熱部と空気との接触面積を増
やすことによりレーザ光源の放熱、冷却を行う自然空冷
方式や、レーザ光源自体やレーザ光源に取り付けられた
熱フィンにファン装置等を設置して、このファン装置等
による送風によってレーザ光源の放熱、冷却を行う強制
空冷方式が行われているものが知られている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のレーザ光発生装置において採用される放熱、冷
却構造には、以下に示すようなような問題点がある。

【０００８】熱伝導を利用して放熱、冷却を行うレーザ
光発生装置は、質量の大きな放熱板等を取り付けたレー
ザ光源を設置するための十分な取付設置面積を確保する
必要がある。このため、レーザ光発生装置は、大型化し
てしまい本体機器に配設する場合にその配設場所が制限
される。また、熱伝導を利用する場合には、ある程度大
きな放熱板を使用しないとレーザ光源に対する放熱、冷
却の効率が低下してしまう。

【０００９】循環液冷方式により放熱、冷却を行うレー
ザ光発生装置は、液冷板内の液体を冷却する熱交換ユニ
ットや冷却された液体を循環させる循環ポンプ等の付帯
設備が必要である。このため、循環液冷方式により放
熱、冷却を行う場合には、レーザ光源発生装置以外にこ
れら付帯設備の設置場所も考慮して本体機器に配設する
必要がある。また、上述した付帯設備は、価格も安価な
ものではなく、レーザ光発生装置自体がコスト高となる
といった問題がある。さらに、循環液冷方式による場合
には、液冷板内の液体の冷却や循環のための配管の引き
回しや、この配管からの液漏れの防止、液冷板内の液体
の腐食防止や定期交換等のメンテナンスが必要となって
くる。さらにまた、循環液冷方式による場合には、冷媒
である液体を循環させる循環ポンプの駆動による振動
や、引き回された配管内を循環する液体の脈動の発生が
避けられず、レーザ光源がこの振動や脈動の影響を受け
レーザ光発生装置の品質に悪影響を及ぼすおそれがあ
る。

【００１０】放熱フィンのみによって自然空冷が行われ
るレーザ光発生装置は、放熱フィンからの放熱の効率を
向上させるために、十分な表面積を有する放熱フィンを
レーザ光源の発熱部に直接取り付けている。このため、
放熱フィンによる自然空冷を行う場合は、レーザ光源に
取り付けた放熱フィンの周囲に放熱のための一定の広い
空間が設けられてレーザ光発生装置が大型化し、本体機
器に配設する際の制約となっている。

【００１１】送風による強制空冷が行われるレーザ光発
生装置は、ファン装置等を駆動する際に生じる振動や、
送風による空気の脈動等がレーザ光源や本体機器内の周
辺機器に影響を与えて、レーザ光発生装置の品質が低下
するという問題がある。特に、強制空冷を行う際に生じ
る振動や空気の脈動は、レーザ光源に伝わるとレーザ光
に対する外乱となっている。

【００１２】上述した従来のレーザ光発生装置は、いず
れもパッシブな放熱、冷却構造を採用するものであり、
レーザ光発生装置を使用する環境の外気温度に左右され
るという問題もある。

【００１３】また、上述した従来のレーザ光発生装置
は、レーザ光発生装置の内部でレーザ光源の放熱、冷却
が行われるものであり、放熱を行っても結局はレーザ光
源が配設されているレーザ光発生装置の内部に熱がこも
ってしまう。このため、従来のレーザ光発生装置におい
ては、レーザ光源に対して効率のよい放熱が行われてい
ない。

【００１４】そこで、本発明は、レーザ光源の発熱部に
おいて発生した熱を効率よく放熱しレーザ光源の冷却を
行って、長期にわたって安定した利用が可能なレーザ光
発生装置を提供することを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
本発明に係るレーザ光発生装置は、筐体と、この筐体内
に配設されレーザ光を出力するレーザ光源と、このレー
ザ光源がレーザ光を出力する際に発生させる熱を放熱
し、レーザ光源の冷却を行う冷却ユニットとを備える。
冷却ユニットは、レーザ光源の発熱部に取り付けられて
筐体内に配設される吸熱板及びペルチェ素子と、筐体外
に配設される放熱フィンと、ペルチェ素子と放熱フィン
とを繋ぐヒートパイプとを備えて構成される。このた
め、本発明に係るレーザ光発生装置によれば、レーザ光
源において発生した熱が筐体外部に配設される放熱フィ
ンで放熱が行われることにより、放熱した熱が筐体内部
に溜まらずに効率のよいレーザ光源の冷却が行われ、長
期にわたり安定した利用が可能となる。

【００１６】また、本発明に係るレーザ光発生装置は、
冷却ユニットの放熱フィンに送風ファンが取り付けられ
る。本発明に係るレーザ光発生装置によれば、放熱フィ
ンと送風ファンとを併用して強制空冷を行う場合でも、
送風ファンが放熱フィンとともに筐体外部に取り付けら
れることにより、送風ファンを駆動する際に生じる振動
や送風による空気の脈動等がレーザ光源や他の周辺機器
に与える影響が減少する。

【００１７】さらに、本発明に係るレーザ光発生装置
は、吸熱板に取り付けられる温度測定用の温度検出素子
を備え、この温度検出素子における測定結果に基づきペ
ルチェ素子の吸熱を制御する制御ユニットが冷却ユニッ
トに接続される。このため、本発明に係るレーザ光発生
装置によれば、冷却ユニットによるレーザ光源に対する
放熱、冷却を制御して、レーザ光源の温度を管理して任
意の温度にコントロールすることにより、使用環境温度
の影響を受けにくい冷却ユニットの構築が可能となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るレーザ光発生
装置の具体的な実施の形態について、図面を参照しなが
ら詳細に説明する。

【００１９】レーザ光発生装置１は、図１に示すよう
に、レーザ光源２と、レーザ光源２に取り付けられる冷
却ユニット３と、冷却ユニット３に接続される制御ユニ
ット４とを備えて構成される。レーザ光発生装置１は、
冷却ユニット３において、レーザ光を出力する際に生じ
るレーザ光源２の発熱に対する放熱、冷却が行われる。
また、レーザ光発生装置１は、制御ユニット４におい
て、冷却ユニット３によるレーザ光源２の発熱に対する
放熱、冷却が制御され、レーザ光源２の温度コントロー
ルが行われる。

【００２０】レーザ光源２には、方形状の光源筐体２ａ
の内部に図示を省略するレーザ媒質が収納される。レー
ザ光源２は、レーザ光の出力時に熱を発するレーザ媒質
によって加熱され、発熱する。

【００２１】冷却ユニット３は、図２に示すように、レ
ーザ光出力時に発熱するレーザ光源２の発熱部、例えば
光源筐体２ａの底面側に取り付けられる。冷却ユニット
３は、順次重ねられて光源筐体２ａの底面に取り付けら
れる平板状の吸熱板５、ペルチェ素子６及びヒートパイ
プベース７と、これら吸熱板５、ペルチェ素子６及びヒ
ートパイプベース７と一定の距離を離間して配設される
放熱フィン８と、ヒートパイプベース７と放熱フィン８
とに接続されて両者を連結するヒートパイプ９とを備え
て構成される。

【００２２】吸熱板５は、レーザ光源２の発熱部である
光源筐体２ａの底面に取り付けられる。吸熱板５には、
レーザ光源２がレーザ光出力時に発する熱が伝導する。
吸熱板５には、アルミ板、銅板、マグネシウム板等の熱
伝導効率の高い平板状の金属材料を使用する。

【００２３】吸熱板５は、レーザ光源２の底面との間
に、親和性のよいシート状部材、例えば図２に示す低熱
抵抗シート１０を介在させてレーザ光源２に取り付けら
れる。レーザ光発生装置１は、レーザ光源２の底面と吸
熱板５との間に低熱抵抗シート１０を介在させることに
より、レーザ光源２から吸熱板５が熱を吸収する際の熱
抵抗が抑えられる。なお、レーザ光発生装置１において
は、レーザ光源２と吸熱板５との間の熱抵抗を抑えるた
めに、上述した低熱抵抗シート１０を介在させる代わり
に、シリコングリースや低熱抵抗グリース等の熱伝導性
物質をレーザ光源２又は吸熱板５の接触面に塗布して取
り付けてもよい。

【００２４】吸熱板５には、レーザ光源２との接触面と
垂直をなす一の側面に孔部１１が形成され、この孔部１
１内にサーミスタ１２が設置される。サーミスタ１２
は、温度検出素子であり、レーザ光源２の発熱部からの
熱が伝導して上昇する吸熱板６の温度を測定して、この
測定結果を詳細を後述する制御ユニット４に配設される
温度モニター１４に対して出力する。

【００２５】ペルチェ素子６は、図示を省略する電源装
置に電源線材１３にて接続されて、電流の供給を受けて
熱電冷却を行う一個又は電源線材１３により相互に接続
される複数個で構成される電子冷却素子である。ペルチ
ェ素子６は、電源装置から電流の供給を受けると、一方
の主面側から他方の主面側に熱を移動させて、一方の主
面側を冷却する。

【００２６】ペルチェ素子６は、上述した冷却される一
方の主面が吸熱面６ａを構成して吸熱板５と対向し、上
述した熱の移動先となる他方の主面が放熱面６ｂを構成
してヒートパイプベース７と対向するように吸熱板５に
重ねられて取り付けられる。ペルチェ素子６は、吸熱板
５に溜められた熱を吸熱面６ａが吸収し、吸熱面６ａに
おいて吸収した熱を放熱面６ｂに移動させる。

【００２７】ヒートパイプベース７は、ベルチェ素子６
の放熱面６ｂ側に重ねられて取り付けられる。ヒートパ
イプベース７には、上述したようにペルチェ素子６の吸
熱面６ａ側から放熱面６ｂ側に移動された熱が伝導す
る。ヒートパイプベース７は、吸熱板５と同様に熱伝導
率の高い平板状の金属材料を使用する。

【００２８】ヒートパイプベース７には、ペルチェ素子
６との接触面と垂直をなす一の側面に後述するヒートパ
イプ９の一端部が接続される。

【００２９】なお、冷却ユニット３においては、レーザ
光源２で発せられた熱が伝導する吸熱板５とペルチェ素
子６との間、及びペルチェ素子６とヒートパイプベース
７との間に、レーザ光源２と吸熱板５との間と同様に熱
抵抗を抑えるために低熱抵抗シートを介在させてもよ
く、シリコンペーストや銀ペースト、低熱抵抗グリース
等の熱伝導性物質をいずれかの接触面に塗布してもよ
い。

【００３０】放熱フィン８は、レーザ光源２がレーザ光
出力時に発する熱の放熱を行う放熱部材である。放熱フ
ィン８には、一端部がヒートパイプベース７に接続され
るヒートパイプ９の他端部が接続され、このヒートパイ
プ９を介してレーザ光源２で発せられた熱が伝導する。

【００３１】放熱フィン８は、例えば薄板状のプレート
部材やピン状部材が一定の間隔で複数配設等されること
により、大きな表面積を有するように構成される。放熱
フィン８は、熱が伝導される表面各部が冷たい外気と触
れることにより放熱が行われる。

【００３２】また、放熱フィン８には、強制的に周囲の
空気を流通させて放熱を促進させる、いわゆる強制空冷
を行うために、送風ファン１３が取り付けられる。送風
ファン１３は、図示を省略するモータ装置で駆動される
ことにより、放熱フィン８の周囲に冷たい空気を流通さ
せて冷却ユニット３における放熱、冷却の効率を向上さ
せる。

【００３３】ヒートパイプ９は、ヒートパイプベース７
と放熱フィン８とを連結し、ヒートパイプベース７に伝
導して溜められた熱を放熱フィン８に対して伝導させる
熱輸送を行う。ヒートパイプ９は、１ｍｍ乃至６ｍｍ程
度の外径を有する金属管であり、銅やアルミニウム等の
金属材料を使用する。ヒートパイプ９には、内部に熱輸
送用の作動液が封入され、この作動液として水、フロ
ン、代替フロン、フロリナート等を使用する。

【００３４】ヒートパイプ９においては、上述したよう
な放熱フィン８への熱輸送が、伝導してくる熱が溜まっ
て高温となるヒートパイプベース７と、放熱が行われて
低温となる放熱フィン８との温度勾配、すなわち熱の伝
導距離に対する温度変化特性を利用して行われる。

【００３５】冷却ユニット３は、上述したようにレーザ
光源２で発せられた熱が吸熱板５から放熱フィン８まで
順次伝導するが、吸熱板５とヒートパイプベース７との
間に吸熱面６ａから放熱面６ｂへの熱の移動が行われる
ペルチェ素子６を介在させることにより、吸熱板５と吸
熱面６ａとの間及び放熱面６ｂヒートパイプベース７と
の間の温度勾配が大きくなるため熱の伝導効率が向上す
る。

【００３６】制御ユニット４は、上述したように吸熱板
５に配設され、吸熱板５の温度を測定するサーミスタ１
２と、サーミスタ１２で測定されて出力される吸熱板５
の温度を監視する温度モニター１４とを備える。制御ユ
ニット４は、温度モニター１４において予め設定される
基準温度と、サーミスタ１２において測定された吸熱板
５の温度とを比較して、冷却ユニット３における熱の伝
導を制御してレーザ光源２の温度のコントロールを行
う。

【００３７】具体的には、制御ユニット４においては、
サーミスタ１２で測定された吸熱板５の温度が温度モニ
ター１４に対して出力される。温度モニター１４は、サ
ーミスタ１２から出力された測定温度と、予め設定され
た任意の基準温度とを比較することにより、冷却ユニッ
ト３によるレーザ光源２の冷却の状態を監視する。制御
ユニット４は、温度モニター１４におけるサーミスタ１
２の測定温度と基準温度との比較の結果に基づいて、ペ
ルチェ素子６に対する電流の供給による熱の移動を制御
する。レーザ光発生装置１においては、ペルチェ素子６
における熱の移動を制御することにより、冷却ユニット
３の熱伝導効率を変化させてレーザ光源２の温度コント
ロールが行われる。

【００３８】レーザ光発生装置１は、図３に示すよう
に、上述した構成を有する冷却ユニット３のうち、吸熱
板５、ペルチェ素子６及びヒートパイプベース７がレー
ザ光源２とともに筐体１５の内部に配設され、冷却ユニ
ット３のうち、放熱フィン８が筐体１５の外部に配設さ
れて構成される。レーザ光発生装置１においては、上述
したように筐体１５の内外に配設されたヒートパイプベ
ース７と放熱フィン８とが上述したようにヒートパイプ
９によって連結される。

【００３９】筐体１５は、ベース板１５ａと、ベース板
１５ａの一方の主面側を被覆する蓋部１５ｂとからな
り、固定部材１６により所定の設置箇所に固定される。
また、筐体１５には、一側に沿って放熱フィン８が設置
されるアーム部１７が取り付けられている。

【００４０】レーザ光発生装置１は、図２に示すよう
に、筐体１５の内部に配設されたレーザ光源２、吸熱板
５、ペルチェ素子６及びヒートパイプベース７とが、相
互の接合を確実にしかつ熱抵抗を小さくするため、ベー
ス板１５ａと押付けネジ１８によって規定トルクで締め
付けて取り付けられる。

【００４１】レーザ光発生装置１には、送風ファン１３
が基台１９に設置されて放熱フィン８の上面側に取り付
けられる。レーザ光発生装置１においては、筐体１５内
のレーザ光源２から輸送された熱が伝導する放熱フィン
８に対して、送風ファン１３が駆動され、放熱フィン８
の周囲の空気を同図中矢印方向に強制的に吸い上げて流
通させることにより、強制空冷が行われる。

【００４２】また、レーザ光発生装置１は、図４に示す
ように、送風ファン１３が放熱フィン８とアーム部１７
との間、すなわち放熱フィン８の下面側に配設される構
成としてもよい。レーザ光発生装置１は、送風ファン１
３を放熱ファン８の上面側に配設した場合と同様に、送
風フィン１３を駆動させて放熱フィン８に対して同図中
矢印方向に送風を行って放熱フィン８の周囲の空気を流
通させることにより、強制空冷が行われる。

【００４３】さらに、レーザ光発生装置１は、図５に示
すように、放熱フィン８に送風ファン１３を設置しない
構成としてもよい。レーザ光発生装置１においては、放
熱フィン８だけが設置される場合には、自然空冷が行わ
れて輸送されてくる熱の放熱が行われる。

【００４４】上述したレーザ光発生装置１は、冷却ユニ
ット３がレーザ光源２において発せられた熱を装置内部
から装置外部に配設された放熱フィン８まで輸送して放
熱が行われる。したがって、レーザ光発生装置１におい
ては、装置内部に放熱による熱が溜まらず、また放熱フ
ィン８の周囲に放熱のための十分な空間が確保され、発
熱による熱の放熱が効率的に行われる。

【００４５】また、レーザ光発生装置１は、送風ファン
１３を用いて強制空冷を行う場合、送風ファン１３が放
熱フィン８とともに装置外部に配設される。したがっ
て、レーザ光発生装置１においては、送風ファン１３を
駆動させることによる振動や、送風による空気の脈動等
の外乱が、装置内部に配設されたレーザ光源２やその他
の周辺機器に対して与える影響が減少する。また、レー
ザ光発生装置１は、放熱フィン８だけで自然空冷を行う
場合にはこれら外乱が生じず、装置内部に配設されたレ
ーザ光源２やその他の周辺機器に悪影響を与えるおそれ
がなくなる。

【００４６】さらに、レーザ光発生装置１は、冷却ユニ
ット３が上述した吸熱板５、ペルチェ素子６、ヒートパ
イプベース７、放熱フィン８及びヒートパイプ９によっ
て構成され、この他に送風ファン１３以外の冷却のため
の特別な付帯設備が不要となる。したがって、レーザ光
発生装置１においては、安価かつコンパクトで比較的レ
イアウトが自由な冷却システムの構築を行うことができ
る。

【００４７】このように、レーザ光発生装置１において
は、効率的な放熱が行われ、かつレーザ光源２やその他
の周辺機器が外乱の影響を受けにくい冷却ユニット３が
配設されることにより、長期にわたって高品質で安定し
た出力を有するレーザ光を得ることができる。

【００４８】また、レーザ光発生装置１は、制御ユニッ
ト４において予め任意の温度を基準温度として設定し、
この基準温度に基づいて冷却ユニット３における放熱、
冷却の制御が行われる。したがって、レーザ光発生装置
１においては、使用環境温度の影響を受けにくい冷却ユ
ニット３の構築が図られる。

【００４９】なお、レーザ光発生装置１においては、冷
却ユニット３に接続する制御ユニット４が使用環境温度
が冷却ユニット３に与える影響を考慮して、レーザ光源
２の温度コントロール行うために設けられるものであ
る。このため、レーザ光発生装置１は、使用環境温度の
影響を考慮しなくともよい場所に設置される場合にはレ
ーザ光源２の温度コントロールを行わなくともよく、冷
却ユニット３に対して制御ユニット４を接続しなくとも
よい。

【００５０】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係るレーザ光発生装置によれば、レーザ光源において発
生した熱の放熱を行う放熱フィンが筐体外部に配設され
ることにより、効率的なレーザ光源の冷却が行われる。
また、本発明に係るレーザ光発生装置によれば、放熱フ
ィンと送風ファンとを併用して強制空冷を行う場合で
も、送風ファンが筐体外部に取り付けられることによ
り、送風ファンを駆動する際に生じる振動や送風による
空気の脈動等の外乱がレーザ光源や他の周辺機器に与え
る影響が減少する。このため、本発明に係るレーザ光発
生装置は、安定した出力のレーザ光を長期にわたって利
用できる。

【００５１】さらに、本発明に係るレーザ光発生装置に
よれば、冷却ユニットに制御ユニットを接続することに
より、レーザ光源に対する放熱、冷却を制御して、レー
ザ光源の温度がコントロールされる。このため、本発明
に係るレーザ光発生装置は、使用環境温度の影響を受け
にくい冷却ユニットの構築を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レーザ光発生装置の概略構成を示す図である。

【図２】レーザ光源及び冷却ユニットの分解斜視図であ
る。

【図３】（ａ）はレーザ光発生装置の平面図であり、
（ｂ）は一部破断側面図である。

【図４】（ａ）はレーザ光発生装置の他の例を示す平面
図であり、（ｂ）は一部破断側面図である。

【図５】（ａ）はレーザ光発生装置のさらに他の例を示
す平面図であり、（ｂ）は一部破断側面図である。

【符号の説明】

１ レーザ光発生装置，２ レーザ光源，３ 冷却ユ
ニット，４ 制御ユニット，５ 吸熱板，６ ペルチェ
素子，６ａ 吸熱面，６ｂ 放熱面，７ ヒートパイプ
ベース，８ 放熱フィン，９ ヒートパイプ，１２ サ
ーミスタ，１４温度モニター

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 道彦 東京都品川区西五反田３丁目９番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内 (72)発明者 金子 武 東京都品川区西五反田３丁目９番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内 (72)発明者 伊藤 健吾 東京都品川区西五反田３丁目９番17号 ソ ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会 社内 Ｆターム(参考） 5F072 JJ05 TT03 TT04 TT22 TT28

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筐体と、 上記筐体内に配設されレーザ光を出力するレーザ光源
   と、 上記レーザ光源がレーザ光を出力する際に発生させる熱
   を放熱し、上記レーザ光源の冷却を行う冷却ユニットと
   を備え、 上記冷却ユニットは、上記レーザ光源の発熱部に取り付
   けられて筐体内に配設される吸熱板及びペルチェ素子
   と、上記筐体外に配設される放熱フィンと、上記ペルチ
   ェ素子と上記放熱フィンとを繋ぐヒートパイプとを備え
   て構成されることを特徴とするレーザ光発生装置。
2. 【請求項２】 上記冷却ユニットは、上記放熱フィンに
   送風ファンが取り付けられることを特徴とする請求項１
   に記載のレーザ光発生装置。
3. 【請求項３】 上記冷却ユニットには、上記吸熱板に取
   り付けられる温度測定用の温度検出素子を備え、上記温
   度検出素子における測定結果に基づき上記ペルチェ素子
   の吸熱を制御する制御ユニットが設けられることを特徴
   とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のレーザ
   光発生装置。