JP2000286178A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000286178A5
JP2000286178A5 JP1999087970A JP8797099A JP2000286178A5 JP 2000286178 A5 JP2000286178 A5 JP 2000286178A5 JP 1999087970 A JP1999087970 A JP 1999087970A JP 8797099 A JP8797099 A JP 8797099A JP 2000286178 A5 JP2000286178 A5 JP 2000286178A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
projection optical
optical member
manufacturing
projection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1999087970A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2000286178A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP11087970A priority Critical patent/JP2000286178A/ja
Priority claimed from JP11087970A external-priority patent/JP2000286178A/ja
Publication of JP2000286178A publication Critical patent/JP2000286178A/ja
Publication of JP2000286178A5 publication Critical patent/JP2000286178A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP11087970A 1999-03-30 1999-03-30 投影光学系、露光装置及び前記投影光学系の製造方法 Pending JP2000286178A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11087970A JP2000286178A (ja) 1999-03-30 1999-03-30 投影光学系、露光装置及び前記投影光学系の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11087970A JP2000286178A (ja) 1999-03-30 1999-03-30 投影光学系、露光装置及び前記投影光学系の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000286178A JP2000286178A (ja) 2000-10-13
JP2000286178A5 true JP2000286178A5 (enExample) 2008-01-31

Family

ID=13929716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11087970A Pending JP2000286178A (ja) 1999-03-30 1999-03-30 投影光学系、露光装置及び前記投影光学系の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000286178A (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184667A (ja) 2000-12-14 2002-06-28 Nikon Corp 補正部材の製造方法、投影光学系の製造方法および露光装置の調整方法
JP2004343101A (ja) * 2003-04-25 2004-12-02 Canon Inc 駆動機構、それを有する露光装置、デバイスの製造方法
JP2005049726A (ja) 2003-07-31 2005-02-24 Olympus Corp 光学システムの心立ち調整方法及びその調整システム
JP5496041B2 (ja) * 2010-09-30 2014-05-21 大日本スクリーン製造株式会社 変位算出方法、描画データの補正方法、描画方法および描画装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6268903B1 (en) Method of adjusting projection optical apparatus
KR101285056B1 (ko) 조명 광학 장치, 노광 장치 및 노광 방법
TW591694B (en) Specification determining method, making method and adjusting method of projection optical system, exposure apparatus and making method thereof, and computer system
EP1349201A1 (en) Observation device and its manufacturing method, exposure device, and method for manufacturing micro device
JPWO2003075328A1 (ja) 投影光学系の調整方法、予測方法、評価方法、調整方法、露光方法及び露光装置、プログラム並びにデバイス製造方法
JPH09245708A5 (enExample)
JPH10319321A (ja) 照明装置及び該照明装置を用いた投影露光装置並びに該投影露光装置を用いたデバイスの製造方法及び該投影露光装置の製造方法
CN104395985B (zh) 光瞳亮度分布的评价方法和改善方法、照明光学系统及其调整方法、曝光装置、曝光方法以及器件制造方法
JP2013506306A (ja) 偏向ミラーを含む反射屈折投影対物系及び投影露光方法
JP2002287029A (ja) 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置
US7403262B2 (en) Projection optical system and exposure apparatus having the same
JPH09288991A5 (enExample)
TWI645261B (zh) Illumination optical system, lithography apparatus, and article manufacturing method
JP2001155993A (ja) 照明光学装置及び該装置を備える投影露光装置
JP2000286178A5 (enExample)
JP2010515247A (ja) 傾斜偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置、投影露光方法、及びミラー
JP2007013179A (ja) リソグラフィ投影対物レンズの補正方法およびリソグラフィ投影対物レンズ
JP2006032692A (ja) 波面収差測定装置、投影光学系の製造方法、投影光学系、投影露光装置の製造方法、投影露光装置、マイクロデバイスの製造方法、及びマイクロデバイス
JP2007013179A5 (enExample)
US20090040497A1 (en) Exposure apparatus, adjusting method, exposure method, and device fabrication method
JP2014116406A (ja) 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法
JP2005093697A5 (enExample)
JP2006245085A5 (enExample)
JP2005504337A5 (enExample)
US20090225298A1 (en) Optical element, projection optical system, exposure apparatus, and device fabrication method