JP2000271551A - 物体付着液体の除去方法 - Google Patents
物体付着液体の除去方法Info
- Publication number
- JP2000271551A JP2000271551A JP11082201A JP8220199A JP2000271551A JP 2000271551 A JP2000271551 A JP 2000271551A JP 11082201 A JP11082201 A JP 11082201A JP 8220199 A JP8220199 A JP 8220199A JP 2000271551 A JP2000271551 A JP 2000271551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed air
- ultrasonic
- gas
- nozzle
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】 液体除去性能に優れた物体付着液体の除去
方法を提供する。 【解決手段】 物体（鋼板Ｓ）に気体（圧縮空気６）を
吹き付けて付着液体を除去する物体付着液体の除去方法
において、例えば超音波発振式ノズル５を用いて、前記
気体に超音波を付与しながら前記吹き付けを行う。
方法を提供する。 【解決手段】 物体（鋼板Ｓ）に気体（圧縮空気６）を
吹き付けて付着液体を除去する物体付着液体の除去方法
において、例えば超音波発振式ノズル５を用いて、前記
気体に超音波を付与しながら前記吹き付けを行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体付着液体の除
去方法に関し、詳しくは、液体を取り扱う全ての産業分
野に適用可能な、物体表面に付着した液体を除去する方
法に関する。
去方法に関し、詳しくは、液体を取り扱う全ての産業分
野に適用可能な、物体表面に付着した液体を除去する方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】物体表面に付着した液体を除去する方法
としては、従来、気体を吹き付けて飛散または蒸発させ
る方法、周囲温度を上昇させて蒸発させる方法、布、紙
等で拭き取る方法、揮発性の高い液体で洗浄する方法な
ど、あるいはこれらを組み合わせた方法、がある。
としては、従来、気体を吹き付けて飛散または蒸発させ
る方法、周囲温度を上昇させて蒸発させる方法、布、紙
等で拭き取る方法、揮発性の高い液体で洗浄する方法な
ど、あるいはこれらを組み合わせた方法、がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法では、液体の除去が不完全な場合が多く、完全に除去
するまでには多大な時間や費用を要していた。また、物
体の搬送速度も上げにくい等の問題があった。かかる従
来技術の問題に鑑み、本発明は、液体除去性能に優れた
物体付着液体の除去方法を提供することを目的とする。
法では、液体の除去が不完全な場合が多く、完全に除去
するまでには多大な時間や費用を要していた。また、物
体の搬送速度も上げにくい等の問題があった。かかる従
来技術の問題に鑑み、本発明は、液体除去性能に優れた
物体付着液体の除去方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、物体に気体を
吹き付けて付着液体を除去する物体付着液体の除去方法
において、前記気体に超音波を付与しながら前記吹き付
けを行うことを特徴とする物体付着液体の除去方法であ
る。
吹き付けて付着液体を除去する物体付着液体の除去方法
において、前記気体に超音波を付与しながら前記吹き付
けを行うことを特徴とする物体付着液体の除去方法であ
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明では、気体に超音波を付与
しながら物体に吹き付けるようにした。これにより、従
来の単なる気体吹き付けでは吹き飛ばすことが困難な薄
く付着した液体層や、吹き付け気流が十分には届かない
個所に残ってしまっていた液膜が、超音波の励振作用に
より強く振動し、容易に物体表面から離れて微小液滴と
なって飛散し、この飛散した液滴は直ちに吹き付け気流
により運び去られるようになるので、短時間で有効に物
体付着液体を除去することができるようになる。
しながら物体に吹き付けるようにした。これにより、従
来の単なる気体吹き付けでは吹き飛ばすことが困難な薄
く付着した液体層や、吹き付け気流が十分には届かない
個所に残ってしまっていた液膜が、超音波の励振作用に
より強く振動し、容易に物体表面から離れて微小液滴と
なって飛散し、この飛散した液滴は直ちに吹き付け気流
により運び去られるようになるので、短時間で有効に物
体付着液体を除去することができるようになる。
【０００６】気体に超音波を付与するには、気体を噴出
させるノズルとして、超音波発振器を付設したノズル
（超音波発振式ノズル）、あるいは、圧縮気体の噴出に
伴い超音波が誘発されるノズル（超音波誘発式ノズル）
を用いればよく、どちらのノズルを用いても液体除去効
果は同等である。気体の噴出圧力、超音波の周波数、強
度（振幅の２乗に比例）等の変数は、除去すべき液体の
種類、物体の形状、除去環境等々の適用条件により、そ
の適正値が当然異なるものであるから、それぞれの適用
条件に応じて調整が必要なことはいうまでもない。
させるノズルとして、超音波発振器を付設したノズル
（超音波発振式ノズル）、あるいは、圧縮気体の噴出に
伴い超音波が誘発されるノズル（超音波誘発式ノズル）
を用いればよく、どちらのノズルを用いても液体除去効
果は同等である。気体の噴出圧力、超音波の周波数、強
度（振幅の２乗に比例）等の変数は、除去すべき液体の
種類、物体の形状、除去環境等々の適用条件により、そ
の適正値が当然異なるものであるから、それぞれの適用
条件に応じて調整が必要なことはいうまでもない。
【０００７】吹き付ける気体の種類は特に限定されな
い。安価につき通常多用されている空気（エア）は無論
のこと、必要に応じて、例えば窒素ガス、アルゴンガス
などの非酸化性ガス等、多種多様な気体を用いることが
できる。また、付着液体の蒸発を促進する観点からは、
常温よりも高温の気体を吹き付ける方がより好ましい。
この気体の温度も前記変数と同様、それぞれの適用条件
に応じて適宜設定すればよい。
い。安価につき通常多用されている空気（エア）は無論
のこと、必要に応じて、例えば窒素ガス、アルゴンガス
などの非酸化性ガス等、多種多様な気体を用いることが
できる。また、付着液体の蒸発を促進する観点からは、
常温よりも高温の気体を吹き付ける方がより好ましい。
この気体の温度も前記変数と同様、それぞれの適用条件
に応じて適宜設定すればよい。
【０００８】
【実施例】図１、図２は、スプレー水を散布した鋼板
（板幅500 〜2000mm）表面に付着した残留水の除去に本
発明を適用した実施例の説明図である。図１は、全面に
スプレー水３を散布された鋼板Ｓの板幅方向全体にわた
って圧縮空気６を吹き付けて、鋼板Ｓ全面に付着した残
留水を除去する鋼板処理ライン（ラインＡ）への適用例
を示すものである。本発明の実施にあたっては、従来使
用していた単なる圧縮空気噴出機能しかもたないノズル
に超音波発振器を付設することにより、これを超音波発
振式ノズル５に改造した。なお、超音波発振式ノズル５
を配設した圧縮空気配管４の上流には圧縮空気を温めて
圧縮空気配管４に送風する図示しない温風ドライヤが設
置されている。温風ドライヤによって適度な温度、圧
力、送風量に調節された圧縮空気６は、超音波発振式ノ
ズル５から噴出する際に、予め適正な値に調整された周
波数、出力の超音波が付与される。ラインＡでの水除去
操業条件を表１に示す。
（板幅500 〜2000mm）表面に付着した残留水の除去に本
発明を適用した実施例の説明図である。図１は、全面に
スプレー水３を散布された鋼板Ｓの板幅方向全体にわた
って圧縮空気６を吹き付けて、鋼板Ｓ全面に付着した残
留水を除去する鋼板処理ライン（ラインＡ）への適用例
を示すものである。本発明の実施にあたっては、従来使
用していた単なる圧縮空気噴出機能しかもたないノズル
に超音波発振器を付設することにより、これを超音波発
振式ノズル５に改造した。なお、超音波発振式ノズル５
を配設した圧縮空気配管４の上流には圧縮空気を温めて
圧縮空気配管４に送風する図示しない温風ドライヤが設
置されている。温風ドライヤによって適度な温度、圧
力、送風量に調節された圧縮空気６は、超音波発振式ノ
ズル５から噴出する際に、予め適正な値に調整された周
波数、出力の超音波が付与される。ラインＡでの水除去
操業条件を表１に示す。
【０００９】これにより、表１に示すように、残留水の
除去効率が従来に比して著しく向上し、その結果、ライ
ン速度を上げることができて生産性が向上した。また、
温風ドライヤの昇温量および送風量も節減でき、全体と
して水の除去費用を削減することができた。図２は、全
面にスプレー水３を散布された鋼板Ｓの板幅方向全体わ
たって水切りロール７を用いて水切りを行い、この水切
り後に板幅端部に圧縮空気６を吹き付けて、この部位に
付着した残流水８を除去する鋼板処理ライン（ライン
Ｂ）への適用例を示すものである。図２では、圧縮空気
配管４が鋼板上面側に設けてあり、圧縮空気配管４には
超音波発振式ノズル５が板幅両端部に対向する位置に配
設してある。圧縮空気配管４の上流には前記同様に温風
ドライヤが設置されている。ラインＢでの水除去操業条
件を表１に示す。
除去効率が従来に比して著しく向上し、その結果、ライ
ン速度を上げることができて生産性が向上した。また、
温風ドライヤの昇温量および送風量も節減でき、全体と
して水の除去費用を削減することができた。図２は、全
面にスプレー水３を散布された鋼板Ｓの板幅方向全体わ
たって水切りロール７を用いて水切りを行い、この水切
り後に板幅端部に圧縮空気６を吹き付けて、この部位に
付着した残流水８を除去する鋼板処理ライン（ライン
Ｂ）への適用例を示すものである。図２では、圧縮空気
配管４が鋼板上面側に設けてあり、圧縮空気配管４には
超音波発振式ノズル５が板幅両端部に対向する位置に配
設してある。圧縮空気配管４の上流には前記同様に温風
ドライヤが設置されている。ラインＢでの水除去操業条
件を表１に示す。
【００１０】ラインＢでは、表２に示すように、ライン
Ａと同様、ライン速度アップによる生産性向上、および
水の除去費用削減という効果に加え、残留水８の水膜厚
が従来より多少厚くても高い除去効率を維持できること
から水切りロール７の圧下圧力を下げてもよく、そのた
め水切りロール７の負荷が軽減されてロール寿命が著し
く改善し、ロール原単位低減の効果もあげることができ
た。
Ａと同様、ライン速度アップによる生産性向上、および
水の除去費用削減という効果に加え、残留水８の水膜厚
が従来より多少厚くても高い除去効率を維持できること
から水切りロール７の圧下圧力を下げてもよく、そのた
め水切りロール７の負荷が軽減されてロール寿命が著し
く改善し、ロール原単位低減の効果もあげることができ
た。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【表２】
【００１３】
【発明の効果】かくして本発明によれば、物体に付着し
た液体を格段に効率よく除去できるようになり、当該物
体を製造あるいは処理する各種ラインにおいて生産性が
向上し、かつランニングコストが低減するという優れた
効果を奏する。
た液体を格段に効率よく除去できるようになり、当該物
体を製造あるいは処理する各種ラインにおいて生産性が
向上し、かつランニングコストが低減するという優れた
効果を奏する。
【図１】ラインＡでの実施例の説明図である。
【図２】ラインＢでの実施例の説明図である。
【符号の説明】 Ｓ 鋼板 １ 水スプレー用配管 ２ 水スプレーノズル ３ スプレー水 ４ 圧縮空気配管 ５ 超音波発振式ノズル ６ 圧縮空気 ７ 水切りロール ８ 残留水
Claims (1)
- 【請求項１】 物体に気体を吹き付けて付着液体を除去
する物体付着液体の除去方法において、前記気体に超音
波を付与しながら前記吹き付けを行うことを特徴とする
物体付着液体の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11082201A JP2000271551A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 物体付着液体の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11082201A JP2000271551A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 物体付着液体の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000271551A true JP2000271551A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13767825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11082201A Pending JP2000271551A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 物体付着液体の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000271551A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005082214A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Nihon Tetra Pak Kk | 包装充填装置及び液体除去装置 |
| JP2007149986A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板処理装置、基板処理方法、及び基板の製造方法 |
| US7552503B2 (en) | 2003-07-17 | 2009-06-30 | Sony Corporation | Apparatus and method for cleaning a surface with high pressure air |
| CN102915920A (zh) * | 2012-10-08 | 2013-02-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种降低化学机械抛光后微粒缺陷的方法 |
-
1999
- 1999-03-25 JP JP11082201A patent/JP2000271551A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7552503B2 (en) | 2003-07-17 | 2009-06-30 | Sony Corporation | Apparatus and method for cleaning a surface with high pressure air |
| JP2005082214A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Nihon Tetra Pak Kk | 包装充填装置及び液体除去装置 |
| JP4596512B2 (ja) * | 2003-09-10 | 2010-12-08 | 日本テトラパック株式会社 | 包装充填装置及び液体除去装置 |
| JP2007149986A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板処理装置、基板処理方法、及び基板の製造方法 |
| JP4557872B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2010-10-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理装置、基板処理方法、及び基板の製造方法 |
| CN102915920A (zh) * | 2012-10-08 | 2013-02-06 | 上海华力微电子有限公司 | 一种降低化学机械抛光后微粒缺陷的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5577294A (en) | Web cleaner apparatus and method | |
| JP3070511B2 (ja) | 基板乾燥装置 | |
| JP4776380B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
| US6118511A (en) | Manufacturing method of liquid crystal display panel and cleaning apparatus for use therein | |
| JP2000271551A (ja) | 物体付着液体の除去方法 | |
| JP2005013960A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
| JP4726798B2 (ja) | スプレー被覆装置及びスプレー被覆方法 | |
| JP2009195832A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JP2009291733A (ja) | 付着物除去装置 | |
| JP2008069396A (ja) | 液切り装置 | |
| JP2003001145A (ja) | スリットノズル | |
| JP3765568B2 (ja) | 基板の水分除去方法と水分除去装置 | |
| JP2000284247A (ja) | 液晶表示装置の製造装置及び製造方法 | |
| JPH1052905A (ja) | ローラ式オフセット印刷機における被供給素材と冷却ロール間の素材取入側隙間領域内空気を排出するための吸気装置 | |
| JP2988828B2 (ja) | 基板の液切り乾燥装置 | |
| JPH1046379A (ja) | 鋼板の乾燥装置 | |
| JPH11300300A (ja) | 基板処理方法および同装置 | |
| JP2006245446A (ja) | レジスト剥離除去装置 | |
| JP2005037029A (ja) | 基板の水分除去方法と基板の水分除去装置 | |
| JPH1112772A (ja) | 鋼板の連続酸洗設備 | |
| JP2595143Y2 (ja) | 平板の乾燥装置 | |
| JPH08141630A (ja) | 圧延板材の洗浄液除去装置及びその除去方法 | |
| JP2004273733A (ja) | プリント基板の処理液除去用エアノズル及びプリント基板の処理液除去装置 | |
| JPH07132314A (ja) | アルミニウム冷間圧延装置 | |
| JPH0725596Y2 (ja) | ワーク表面に付着している水の水切り装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040528 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061031 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061114 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070313 |