JP2000268327A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JP2000268327A JP2000268327A JP11076499A JP7649999A JP2000268327A JP 2000268327 A JP2000268327 A JP 2000268327A JP 11076499 A JP11076499 A JP 11076499A JP 7649999 A JP7649999 A JP 7649999A JP 2000268327 A JP2000268327 A JP 2000268327A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気抵抗効果素子のデプスを正確に測定して
所望の値とする。 【解決手段】 磁気記録媒体の摺動面に磁気抵抗効果素
子の一端面が露出されてなる磁気ヘッドにおいて、一側
面に露出するとともに、上記摺動面からの上記磁気抵抗
効果素子の深さ寸法を測定するために配設された指示片
を備えることを特徴とするものである。
所望の値とする。 【解決手段】 磁気記録媒体の摺動面に磁気抵抗効果素
子の一端面が露出されてなる磁気ヘッドにおいて、一側
面に露出するとともに、上記摺動面からの上記磁気抵抗
効果素子の深さ寸法を測定するために配設された指示片
を備えることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感磁部として磁気
抵抗効果素子を有する磁気ヘッド及びその製造方法に関
する。
抵抗効果素子を有する磁気ヘッド及びその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドとしては、例えば、図４に示
すように、一対の磁気コア半体１００を非磁性膜を介し
て接合し、一対の磁気コア半体１００の少なくとも一方
にコイルを形成してなるものがある。この磁気ヘッドで
は、一主面１０１が磁気記録媒体の摺動面とされ、研磨
加工により円筒状とされている。そして、この磁気ヘッ
ドでは、円筒研磨加工された一主面１０１に非磁性膜が
露出することによって磁気ギャップが形成されることと
なる。
すように、一対の磁気コア半体１００を非磁性膜を介し
て接合し、一対の磁気コア半体１００の少なくとも一方
にコイルを形成してなるものがある。この磁気ヘッドで
は、一主面１０１が磁気記録媒体の摺動面とされ、研磨
加工により円筒状とされている。そして、この磁気ヘッ
ドでは、円筒研磨加工された一主面１０１に非磁性膜が
露出することによって磁気ギャップが形成されることと
なる。
【０００３】この磁気ヘッドでは、磁気ギャップを露出
させるために上述したような研磨加工が行われるが、こ
の磁気ギャップの深さ寸法（以下、単に「デプス」と称
する。）を所定の値に規制することが必要となる。すな
わち、所望の記録再生特性を達成させるためには、所定
のデプスを形成する必要があるし、複数の磁気ヘッド間
で所定の記録再生特性を示すためには、複数の磁気ヘッ
ド間で均一なデプスを形成する必要がある。
させるために上述したような研磨加工が行われるが、こ
の磁気ギャップの深さ寸法（以下、単に「デプス」と称
する。）を所定の値に規制することが必要となる。すな
わち、所望の記録再生特性を達成させるためには、所定
のデプスを形成する必要があるし、複数の磁気ヘッド間
で所定の記録再生特性を示すためには、複数の磁気ヘッ
ド間で均一なデプスを形成する必要がある。
【０００４】このため、図４に示した磁気ヘッドでは、
一主面１０１に対して垂直な一側面からデプス（図４中
ｄで示す）を測定しながら、研磨加工を行っていた。な
お、実際には、図４に示した磁気ヘッドにおいて、デプ
スｄは、接合ガラスにより覆われているが、接合ガラス
が透光性を有するため、目視することができる。このよ
うに、従来の磁気ヘッドにおいて、接合フェライトヘッ
ド、ＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）ヘッド等に関し
ては、目視によりデプスｄを測定することができ、所望
のデプスを形成することができていた。
一主面１０１に対して垂直な一側面からデプス（図４中
ｄで示す）を測定しながら、研磨加工を行っていた。な
お、実際には、図４に示した磁気ヘッドにおいて、デプ
スｄは、接合ガラスにより覆われているが、接合ガラス
が透光性を有するため、目視することができる。このよ
うに、従来の磁気ヘッドにおいて、接合フェライトヘッ
ド、ＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）ヘッド等に関し
ては、目視によりデプスｄを測定することができ、所望
のデプスを形成することができていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
には、感磁部として磁気抵抗効果素子を備えるものがあ
る。この磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子を非磁性基板
上に形成するとともに、当該磁気抵抗効果素子に電極を
形成した後に非磁性材料により埋め込むことにより形成
される。すなわち、この磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗
効果素子は、非磁性材料により埋め込まれることとな
る。
には、感磁部として磁気抵抗効果素子を備えるものがあ
る。この磁気ヘッドは、磁気抵抗効果素子を非磁性基板
上に形成するとともに、当該磁気抵抗効果素子に電極を
形成した後に非磁性材料により埋め込むことにより形成
される。すなわち、この磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗
効果素子は、非磁性材料により埋め込まれることとな
る。
【０００６】このような磁気ヘッドにおいても、一主面
を円筒研磨加工することによって、磁気記録媒体の摺動
面を形成している。このとき、円筒研磨加工を行うに際
して、上述したような理由と同様に、磁気抵抗効果素子
を所望の深さ寸法（デプス）に規制する必要がある。し
かしながら、この磁気ヘッドでは、磁気抵抗効果素子が
非磁性材料で覆われているため、側面方向から当該磁気
抵抗効果素子を直接目視することができない。このた
め、磁気抵抗効果素子を備える磁気ヘッドでは、磁気抵
抗効果素子のデプスを所望の値に規制することが困難で
あるといった問題点があった。
を円筒研磨加工することによって、磁気記録媒体の摺動
面を形成している。このとき、円筒研磨加工を行うに際
して、上述したような理由と同様に、磁気抵抗効果素子
を所望の深さ寸法（デプス）に規制する必要がある。し
かしながら、この磁気ヘッドでは、磁気抵抗効果素子が
非磁性材料で覆われているため、側面方向から当該磁気
抵抗効果素子を直接目視することができない。このた
め、磁気抵抗効果素子を備える磁気ヘッドでは、磁気抵
抗効果素子のデプスを所望の値に規制することが困難で
あるといった問題点があった。
【０００７】これを解決するため、上述した磁気ヘッド
では、磁気抵抗効果素子に所定の電流を供給しながら研
磨加工を行い、研磨による磁気抵抗効果素子の体積変化
に伴う抵抗変化を検出することによって、磁気抵抗効果
素子の寸法を算出すること行われている。しかしなが
ら、この手法を用いた場合、磁気抵抗効果素子が研磨加
工に伴って発生する熱の影響を受け、磁気抵抗効果素子
の抵抗変化を、単に、体積変化に起因するものとできな
い。したがって、この手法では、磁気抵抗効果素子の研
磨量を算出したとしても、大きな誤差があり、デプスを
正確に規定することはできなかった。このように、上述
したような問題点は、まだ解決されていないのが現状で
ある。
では、磁気抵抗効果素子に所定の電流を供給しながら研
磨加工を行い、研磨による磁気抵抗効果素子の体積変化
に伴う抵抗変化を検出することによって、磁気抵抗効果
素子の寸法を算出すること行われている。しかしなが
ら、この手法を用いた場合、磁気抵抗効果素子が研磨加
工に伴って発生する熱の影響を受け、磁気抵抗効果素子
の抵抗変化を、単に、体積変化に起因するものとできな
い。したがって、この手法では、磁気抵抗効果素子の研
磨量を算出したとしても、大きな誤差があり、デプスを
正確に規定することはできなかった。このように、上述
したような問題点は、まだ解決されていないのが現状で
ある。
【０００８】そこで、本発明は、磁気抵抗効果素子のデ
プスを正確に測定して所望の値とした磁気ヘッド及びそ
の製造方法の提供を目的とする。
プスを正確に測定して所望の値とした磁気ヘッド及びそ
の製造方法の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成した
本発明に係る磁気ヘッドは、磁気記録媒体の摺動面に磁
気抵抗効果素子の一端面が露出されてなる磁気ヘッドに
おいて、一側面に露出するとともに、上記摺動面からの
上記磁気抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設
された指示片を備えることを特徴とするものである。
本発明に係る磁気ヘッドは、磁気記録媒体の摺動面に磁
気抵抗効果素子の一端面が露出されてなる磁気ヘッドに
おいて、一側面に露出するとともに、上記摺動面からの
上記磁気抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設
された指示片を備えることを特徴とするものである。
【００１０】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドでは、指示片を配設して、この指示片を観測する
ことによって磁気抵抗効果素子の深さ寸法を測定するこ
とができる。したがって、この磁気ヘッドでは、指示片
により深さ寸法が規定された磁気抵抗効果素子を有する
こととなる。
ヘッドでは、指示片を配設して、この指示片を観測する
ことによって磁気抵抗効果素子の深さ寸法を測定するこ
とができる。したがって、この磁気ヘッドでは、指示片
により深さ寸法が規定された磁気抵抗効果素子を有する
こととなる。
【００１１】また、上述した目的を達成した本発明に係
る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性基板上に磁気抵抗効
果素子を形成し、当該磁気抵抗効果素子を非磁性材料で
埋め込み、上記磁気抵抗効果素子の一端面を外方に露出
させる研磨加工を行う磁気ヘッドの製造方法において、
上記研磨加工は、磁気記録媒体の摺動面からの上記磁気
抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設されると
ともに、一側面に露出させるように配設された指示片を
確認することによって、上記磁気抵抗効果素子の深さ寸
法を所定の値に制御することを特徴とするものである。
る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性基板上に磁気抵抗効
果素子を形成し、当該磁気抵抗効果素子を非磁性材料で
埋め込み、上記磁気抵抗効果素子の一端面を外方に露出
させる研磨加工を行う磁気ヘッドの製造方法において、
上記研磨加工は、磁気記録媒体の摺動面からの上記磁気
抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設されると
ともに、一側面に露出させるように配設された指示片を
確認することによって、上記磁気抵抗効果素子の深さ寸
法を所定の値に制御することを特徴とするものである。
【００１２】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドの製造方法は、指示片を確認しながら研磨加工を
行うため、磁気抵抗効果素子に対する研磨量を指示片に
より測定することができる。そして、この製造方法で
は、指示片を確認しながら研磨加工を行うことによっ
て、磁気抵抗効果素子の深さ寸法を所望の値に制御する
ことができる。
ヘッドの製造方法は、指示片を確認しながら研磨加工を
行うため、磁気抵抗効果素子に対する研磨量を指示片に
より測定することができる。そして、この製造方法で
は、指示片を確認しながら研磨加工を行うことによっ
て、磁気抵抗効果素子の深さ寸法を所望の値に制御する
ことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気ヘッド及
びその製造方法の好ましい実施の形態について図面を参
照しながら詳細に説明する。
びその製造方法の好ましい実施の形態について図面を参
照しながら詳細に説明する。
【００１４】本実施の形態に示す磁気ヘッドは、図１及
び図２に示すように、非磁性基板１上に磁気抵抗効果素
子２（以下、ＭＲ素子２と略称する。）が配設されてな
り、一主面３が円筒研磨加工されて磁気記録媒体の摺動
面となっている。この磁気ヘッドでは、磁気記録媒体に
記録された磁気信号を検出する手段としてＭＲ素子２が
配設されているため、ＭＲ素子２の一端面が摺動面に露
出している。また、この磁気ヘッドでは、磁気記録媒体
の摺動面の略中央にＭＲ素子２が露出することが好まし
いため、非磁性基板１のＭＲ素子２が配設された面に当
接するように、他の非磁性基板４が配設されている。す
なわち、この磁気ヘッドでは、非磁性基板１と非磁性基
板４との間にＭＲ素子２が配設されることとなる。
び図２に示すように、非磁性基板１上に磁気抵抗効果素
子２（以下、ＭＲ素子２と略称する。）が配設されてな
り、一主面３が円筒研磨加工されて磁気記録媒体の摺動
面となっている。この磁気ヘッドでは、磁気記録媒体に
記録された磁気信号を検出する手段としてＭＲ素子２が
配設されているため、ＭＲ素子２の一端面が摺動面に露
出している。また、この磁気ヘッドでは、磁気記録媒体
の摺動面の略中央にＭＲ素子２が露出することが好まし
いため、非磁性基板１のＭＲ素子２が配設された面に当
接するように、他の非磁性基板４が配設されている。す
なわち、この磁気ヘッドでは、非磁性基板１と非磁性基
板４との間にＭＲ素子２が配設されることとなる。
【００１５】また、特に、この磁気ヘッドでは、非磁性
基板１の少なくとも一側面に露出したマーカ片５を有し
ている。このマーカ片５は、磁気ヘッドの一側面側から
目視可能な材料であることが好ましい。したがって、こ
のマーカ片５は、周囲の非磁性基板１，４と異なる色調
を示すことが好ましい。更には、マーカ片５は、非磁性
基板１，４と同等の硬度を有することが好ましい。この
ように、マーカ片５の硬度と非磁性基板１，４の硬度と
を略々同等に規定することにより、円筒研磨加工による
偏摩耗の発生を確実に防止することができる。
基板１の少なくとも一側面に露出したマーカ片５を有し
ている。このマーカ片５は、磁気ヘッドの一側面側から
目視可能な材料であることが好ましい。したがって、こ
のマーカ片５は、周囲の非磁性基板１，４と異なる色調
を示すことが好ましい。更には、マーカ片５は、非磁性
基板１，４と同等の硬度を有することが好ましい。この
ように、マーカ片５の硬度と非磁性基板１，４の硬度と
を略々同等に規定することにより、円筒研磨加工による
偏摩耗の発生を確実に防止することができる。
【００１６】このように構成された磁気ヘッドは、図３
に示すように、複数のＭＲ素子２をを同一の非磁性基板
１上に作製し、その後、個々の磁気ヘッドのサイズに従
って切断することにより作製される。
に示すように、複数のＭＲ素子２をを同一の非磁性基板
１上に作製し、その後、個々の磁気ヘッドのサイズに従
って切断することにより作製される。
【００１７】このとき、ＭＲ素子２は、図３に示すよう
に、磁気抵抗効果を示す磁性膜６を長手方向の一端面６
ａが摺動面側に位置するように成膜し、その後、この磁
性膜６の長手方向の両端部に一対の電極７を電気的に接
続することにより形成することができる。また、このＭ
Ｒ素子２において、一対の電極の端部には、外部との電
気接続可能とする電極パッド８が形成される。
に、磁気抵抗効果を示す磁性膜６を長手方向の一端面６
ａが摺動面側に位置するように成膜し、その後、この磁
性膜６の長手方向の両端部に一対の電極７を電気的に接
続することにより形成することができる。また、このＭ
Ｒ素子２において、一対の電極の端部には、外部との電
気接続可能とする電極パッド８が形成される。
【００１８】また、このＭＲ素子２が形成される非磁性
基板１上には、マーカ片５が形成される。また、このマ
ーカ片５においては、一端面５ａがＭＲ素子２における
磁性層６の摺動面側の一端面６ａと平行であり、且つ、
位置合わせされている。そして、このようなマーカ片５
は、複数のＭＲ素子２の間に配設される。
基板１上には、マーカ片５が形成される。また、このマ
ーカ片５においては、一端面５ａがＭＲ素子２における
磁性層６の摺動面側の一端面６ａと平行であり、且つ、
位置合わせされている。そして、このようなマーカ片５
は、複数のＭＲ素子２の間に配設される。
【００１９】そして、個々のＭＲ素子２に分割するた
め、マーカ片５を横切るように、図３中波線ｃで示す部
分を切断する。これにより、切断面からは、マーカ片５
が露出することとなる。
め、マーカ片５を横切るように、図３中波線ｃで示す部
分を切断する。これにより、切断面からは、マーカ片５
が露出することとなる。
【００２０】その後、分断されて１個のＭＲ素子２が形
成された非磁性基板１の一主面３を円筒研磨加工するこ
とにより、磁性層６の一端面６ａとマーカ片５の一端面
５ａとを露出させる。このとき、円筒研磨加工は、切断
面から露出したマーカ片５の長さを目視により確認しな
がら行われる。このマーカ片５が磁性層６と位置合わせ
されているため、マーカ片５の長さを確認することによ
って、ＭＲ素子２における磁性層６の深さ寸法を算出す
ることができる。このため、この手法では、ＭＲ素子２
における磁性層６の深さ寸法を正確に制御することがで
きる。さらに、この手法によれば、複数のＭＲ素子２に
おいて磁性層６の深さをそれぞれ均一に規定することが
できる。したがって、この手法によれば、ＭＲ素子２を
所望の特性に規定することができ、安定した磁気抵抗効
果を示す磁気ヘッドを製造することができる。言い換え
ると、この磁気ヘッドでは、ＭＲ素子２の磁性層６が所
定の形状で形成されているため、ＭＲ素子２が優れた特
性を示すことになり、安定的な再生特性を有することと
なる。
成された非磁性基板１の一主面３を円筒研磨加工するこ
とにより、磁性層６の一端面６ａとマーカ片５の一端面
５ａとを露出させる。このとき、円筒研磨加工は、切断
面から露出したマーカ片５の長さを目視により確認しな
がら行われる。このマーカ片５が磁性層６と位置合わせ
されているため、マーカ片５の長さを確認することによ
って、ＭＲ素子２における磁性層６の深さ寸法を算出す
ることができる。このため、この手法では、ＭＲ素子２
における磁性層６の深さ寸法を正確に制御することがで
きる。さらに、この手法によれば、複数のＭＲ素子２に
おいて磁性層６の深さをそれぞれ均一に規定することが
できる。したがって、この手法によれば、ＭＲ素子２を
所望の特性に規定することができ、安定した磁気抵抗効
果を示す磁気ヘッドを製造することができる。言い換え
ると、この磁気ヘッドでは、ＭＲ素子２の磁性層６が所
定の形状で形成されているため、ＭＲ素子２が優れた特
性を示すことになり、安定的な再生特性を有することと
なる。
【００２１】また、この磁気ヘッドの製造方法では、マ
ーカ片５を目視により確認しながら研磨加工を行うこと
によって、ＭＲ素子２の磁性層６を研磨しすぎるといっ
たことを防止できる。このため、この手法では、ＭＲ素
子２の作製不良を減少させることができ、歩留まりを大
幅に向上させることができる。
ーカ片５を目視により確認しながら研磨加工を行うこと
によって、ＭＲ素子２の磁性層６を研磨しすぎるといっ
たことを防止できる。このため、この手法では、ＭＲ素
子２の作製不良を減少させることができ、歩留まりを大
幅に向上させることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気ヘッド及びその製造方法は、指示片を確認しな
がら研磨加工を行うため、磁気抵抗効果素子に対する研
磨量を指示片により測定することができる。そして、こ
の製造方法では、指示片を確認しながら研磨加工を行う
ことによって、磁気抵抗効果素子の深さ寸法を所望の値
に制御することができる。したがって、この磁気ヘッド
及びその製造方法では、磁気抵抗効果素子を所望の形状
に規定することができ、優れた磁気抵抗効果特性を発現
することが可能となる。
係る磁気ヘッド及びその製造方法は、指示片を確認しな
がら研磨加工を行うため、磁気抵抗効果素子に対する研
磨量を指示片により測定することができる。そして、こ
の製造方法では、指示片を確認しながら研磨加工を行う
ことによって、磁気抵抗効果素子の深さ寸法を所望の値
に制御することができる。したがって、この磁気ヘッド
及びその製造方法では、磁気抵抗効果素子を所望の形状
に規定することができ、優れた磁気抵抗効果特性を発現
することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】磁気ヘッドの側面図である。
【図３】非磁性基板上に複数の磁気抵抗効果素子及びマ
ーカ片を形成した状態を示す平面図である。
ーカ片を形成した状態を示す平面図である。
【図４】従来の磁気ヘッドの側面図である。
１ 非磁性基板 ２ 磁気抵抗効果素子 ３ 一主面 ４ 非磁性基板 ５ マーカ片 ６ 磁性膜 ７ 電極 ８ 電極パッド
Claims (7)
- 【請求項１】 磁気記録媒体の摺動面に磁気抵抗効果素
子の一端面が露出されてなる磁気ヘッドにおいて、 一側面に露出するとともに、上記摺動面からの上記磁気
抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設された指
示片を備えることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 上記指示片は、目視可能な材料からなる
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】 上記指示片は、上記磁気抵抗効果素子が
形成された非磁性基板上に形成されたことを特徴とする
請求項１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】 上記指示片は、複数の磁気ヘッドが一体
に形成される磁気ヘッドブロックを切断することにより
露出することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項５】 非磁性基板上に磁気抵抗効果素子を形成
し、当該磁気抵抗効果素子を非磁性材料で埋め込み、上
記磁気抵抗効果素子の一端面を外方に露出させる研磨加
工を行う磁気ヘッドの製造方法において、 上記研磨加工は、磁気記録媒体の摺動面からの上記磁気
抵抗効果素子の深さ寸法を測定するために配設されると
ともに、一側面に露出させるように配設された指示片を
確認することによって、上記磁気抵抗効果素子の深さ寸
法を所定の値に制御することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。 - 【請求項６】 上記指示片と上記磁気抵抗効果素子と
を、非磁性基板上に形成することを特徴とする請求項５
記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 上記磁気抵抗効果素子及び上記指示片を
非磁性基板上に複数形成し、個々の磁気抵抗効果素子に
切断することによって、切断面に上記指示片が露出する
ことを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11076499A JP2000268327A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11076499A JP2000268327A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000268327A true JP2000268327A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13606931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11076499A Pending JP2000268327A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000268327A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007036987A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッド、情報記録再生装置、磁気ヘッド製造方法、および加工方法 |
-
1999
- 1999-03-19 JP JP11076499A patent/JP2000268327A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007036987A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Fujitsu Limited | 磁気ヘッド、情報記録再生装置、磁気ヘッド製造方法、および加工方法 |
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