JPH02105308A

JPH02105308A - 薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH02105308A
Application number: JP25895788A
Authority: JP
Inventors: Noriaki Saiki; 斉木　紀昭; Mikio Matsuzaki; 幹男松崎
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1988-10-14
Filing date: 1988-10-14
Publication date: 1990-04-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、薄膜磁気ヘッドに関し、読み書き部分となる
ポール部の幅方向の少なくとも一端縁を、先端に向うに
つれて狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁とすることに
より、ポール部のギャップ深さを簡単に研磨調整できる
ようにしたものである。

〈従来の技術〉薄Ｉ１Ｍ磁気ヘッドとしては面内記録再生用及び垂直記
録再生用の２種類の薄膜磁気ヘッドが知られている。第
３図は米国特許第４，７１３，７１１号明細書等で知ら
れた薄膜磁気ヘッドの要部における平面部分破断面図、
第４図は同じく要部の断面図である。図において、１は
Ａ１２０３−Ｔｉｃ等のセラミック構造体でなる基板、
２は第１の磁性膜、３はアルミナ等でなるギャップ膜、
４は第２の磁性膜、５１．５２は導体コイル膜、６１〜
６３はノボラック樹脂等でなる有機絶縁膜、７は保護膜
、８．９は取出電極である。

第１の磁性膜２は、例えばパーマロイ等の磁性材料を用
いて基板１の上に形成しである。２１はポール部、２２
はヨーク部である。導体コイル膜５１．５２及び有機絶
縁膜６１〜６３は、この第１の磁性膜２上に形成したギ
ャップ膜３の上に交互に積層して形成する。

第２の磁性膜４は、パーマロイ等を用いて、導体コイル
膜５２を覆うように形成された有機絶縁膜６３の上に形
成する。この第２の磁性膜４の上には保護膜７が設けら
れる。

第１の磁性膜２及び第２の磁性膜４は、ポール部２１−
４１を、ギャップ膜３による磁気ギャップＧ、を介して
互いに対向させると共に、ヨーク部２２．４２の後端部
を互いに結合させ、この結合部のまわりに渦巻状に導体
コイル膜５１．５２を形成しである。導体コイル膜５１
．５２は、巻方向が同一となるようにして、電気的に直
列に接続する。

ポール部２１．４１は、ヨーク部２２．４２よりも充分
に狭い幅で、幅方向の両端縁が平行となるよう、ヨーク
部２２．４２から突出させである。ポール部２１．４１
の先端面は、基板１及び保護膜７の端面とともに、媒体
摺動面（以下ＡＢＳ面と称する）を構成する。ポール部
２１．４１の先端面からヨーク部２２．４２までのギャ
ップ深さｈｌは、薄膜磁気ヘッドの電磁変換特性を定め
る重要な要素である。そこで、一般には、第５図に示す
ように、ポール部２１，４１を、実際に要求されるギャ
ップ深さｈｌよりも、深さｈ２だけ余分に長く形成して
おき、所定の深さｈｌ　となるように、ポール部２１．
４１の先端面を、基板１及び保護膜７の端面とともに、
精密研磨する。

〈発明が解決しようとする課題〉ところが、従来の薄膜磁気ヘッドのポール部２１．４１
は、幅方向の両端縁（イ）、（ロ）が平行となっている
から、深さｈｌにわたって同幅Ｐｗとなる。このため、
研磨する場合に、ポール部２１．４１の、どの位置を研
磨しているのかを、ポール部２１．４１から知ることは
困難である。そこで、従来は、ポール部２１，４１とは
別にマーカを付しておき、このマーカを基準にして研磨
位置を割出していた。しかし、この場合は、特別にマー
カを付することが必要になり、工程数が増える。また、
マーカを基準にして、間接的にポール部２１，４１の研
磨位置を判定することになるため、研磨誤差を生じ易い
。

そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決
し、ポール部の研磨量または研磨位置を、ポール部から
直接的に知ることができる薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とである。

〈課題を解決するための手段〉上述する課題解決するため、本発明は、基板の上に、磁
性膜及び導体コイル膜で構成される磁気回路を有する薄
膜磁気ヘッドであって、前記磁性膜は、読み書き部分と
なるポール部及びヨーク部を有し、前記ポール部は、前記ヨーク部から所定の長さをもって
突出していて、幅方向の少なくとも一端縁が、先端に向
うにつれて狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁となって
いることを特徴とする。

く作用〉磁性膜のポール部は、幅方向の少なくとも一端縁が、先
端に向うにつれて狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁と
なっているから、研磨位置が深くなる程、ポール部の先
端面における幅が増大してゆく。研磨位置とポール部の
先端面における幅との関係は予め分っている。従って、
ポール部の先端面の幅を監視することにより、研磨位置
をポール部から直接的に知ることができる。

〈実施例〉第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部における平
面部分破断面図、第２図は同じく要部における拡大断面
図である。図において、第３図及び第４図と同一の参照
符号は同一性ある構成部分を示している。この実施例は
、第１の磁性膜２及び第２の磁性膜４を有する面内記録
再生用の薄膜磁気ヘッドにおいて、必要なギャップ深さ
り、を得るための研磨工程前の状態を示している。従っ
て、ポール部２１．４１の深さは、実際に要求されるギ
ャップ深さｈｌよりも、深さｈ２だけ深くなっている。

第２の磁性膜４のポール部４１は、幅方向の両端縁（イ
）、（ロ）を、その全高にわたって、先端に向うにつれ
て狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁としである。端縁
（イ）、（ロ）の傾斜角度は、要求されるギャップ深さ
り、において、必要なポール幅ＰＷが確保できるように
定める。実施例と異なって、両端縁（イ）、（ロ）の何
れか一方だけを傾斜端縁としてもよい。また、端縁（イ
）、（ロ）の全長ではなく、ギャップ深さｈｌよりも先
端側だけを傾斜端縁としてもよい。

第１の磁性膜２のポール部２１の両端縁は、ポール部４
１と同様の傾斜端縁となっていても、或いは従来と同様
の直線状の平行する端縁となっていてもよい。

上述の薄膜磁気ヘッドにおいて、所定のギャップ深さり
、を得るために、ＡＢＳ面を研磨してゆくと、研磨位置
が深くなる程、ポール部４１の先端面における幅が増大
してゆく。従って、ポール部４１の先端面の幅を監視す
ることにより、ポール部２１．４１の研磨位置を知るこ
とができる。

そして、ギャップ深さｈｌと対応する幅Ｐｗとなったと
ぎに、研磨を停止する。これにより、所定のギャップ深
さり、及びポール幅Ｐｗを有する薄膜磁気ヘットを得る
ことができる。

〈発明の効果〉以上述べたように、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、読
み書き部分となるポール部の幅方向の少なくとも一端縁
を、先端に向うにつれて狭幅となる方向に傾斜する傾斜
端縁としたから、ポール部の先端面の幅を監視すること
により、研磨位置をポール部から直接的に知ることがで
き、従って、ギャップ深さを所定に値に設定するための
研磨作業の容易な薄膜磁気ヘッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部における平
面部分破断面図、第２図は同じく要部における拡大断面
図、第３図は従来の薄膜磁器ヘッドの要部における平面
部分破断面図、第４図は従来の薄膜磁気ヘッドの要部の
断面図、第５図は従来の薄膜磁気ヘッドの問題点を説明
する図である。１・・・基体２・・・第１の磁性膜２１・・ポール部　　　２２・・・ヨーク部３・・・ギ
ャップ膜　　４・・・第２の磁性膜４１・・・ポール部
　　４２・・・ヨーク部５１．５２・・・導体コイル膜６１〜６３・・・有機絶縁膜

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板の上に、磁性膜及び導体コイル膜で構成され
る磁気回路を有する薄膜磁気ヘッドであって、前記磁性膜は、読み書き部分となるポール部及びヨーク
部を有し、前記ポール部は、前記ヨーク部から所定の長さで突出し
ていて、幅方向の少なくとも一端縁が、先端に向うにつ
れて狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁となっているこ
とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
（２）基板上に、第１の磁性膜、導体コイル膜及び第２
の磁性膜で構成される磁気回路を有する薄膜磁気ヘッド
であって、前記第１の磁性膜は、前記基板の上に形成されており、前記導体コイル膜は、前記第１の磁性膜の上に電気絶縁
して形成されており、前記第２の磁性膜は、前記導体コイル膜の上に電気絶縁
して形成されており、前記第１の磁性膜及び前記第２の磁性膜は、読み書き部
分となるポール部及びヨーク部を有しており、第１の磁性膜及び第２の磁性膜のそれぞれのヨーク部は
互いに結合されており、前記第１の磁性膜及び第２の磁性膜のそれぞれのポール
部は、ヨーク部から所定の長さで突出し、ギャップ膜を
介して互いに対向しており、前記第２の磁性膜のポール
部は、幅方向の少なくとも一端縁が、先端に向うにつれ
て狭幅となる方向に傾斜する傾斜端縁となっていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。