JP2000230951A - 低インダクタンス測定用治具 - Google Patents

低インダクタンス測定用治具

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JP2000230951A
JP2000230951A JP11030856A JP3085699A JP2000230951A JP 2000230951 A JP2000230951 A JP 2000230951A JP 11030856 A JP11030856 A JP 11030856A JP 3085699 A JP3085699 A JP 3085699A JP 2000230951 A JP2000230951 A JP 2000230951A
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inductance
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Mitsuhiro Yamada
光広 山田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 nHオーダーの微小なインダクタンスを、所
定の接触圧力、測定点間距離で高精度にかつ容易に測定
できるようにする。 【解決手段】 接触・接続導体11a と外部導体12a とを
備えた接触・接続コネクタ10a を台座20に保持固定す
る。接触・接続導体11b と外部導体12b とを備えた接触
・接続コネクタ10b を、台座20上に移動可能なように保
持された可動ステージ30に、接触・接続導体11a,11b の
一端が互いに相対向するように保持固定する。外部導体
12a,12b 間は接地導通部材50で電気的に接続する。マイ
クロメータヘッド41を備えた測定点間隔調整計測機構部
40により可動ステージ30を移動させて接触・接続導体11
a,11b 間の距離を調整、計測し、接触・接続導体11a,11
b 間に被測定部材を挟み込み、他端側は測定装置に直接
接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は低インダクタンス測
定用治具に関し、特にnHオーダーの微小なインダクタ
ンス測定の際に被測定部材を保持して測定装置に接続す
るための低インダクタンス測定用治具に属する。
【0002】
【従来の技術】ソケット・コンタクトなどの微小なイン
ダクタンスを測定する場合に、これらソケット・コンタ
クトなどの被測定部材を保持して測定装置に接続するた
めの測定用治具が必要となる。このような低インダクタ
ンス測定用治具の従来の一例を図3に示す。
【0003】この低インダクタンス測定用治具200
は、所定の厚さを有し長方形に形成された固定シャーシ
210と、この固定シャーシ210の表面上に、お互い
の間隔が調整可能なように、複数のねじ280にて固定
される2枚の移動シャーシ220,230とこれら移動
シャーシ220,230それぞれの表面に保持固定され
て、その上面にマイクロストリップライン型の50Ω整
合用の整合回路241,251が形成された誘電体基板
240,250と、これら誘電体基板240,250そ
れぞれの整合回路241,251の一方の端に、中心導
体を半田付けしてこれら誘電体基板240,250に保
持固定されたRF用同軸型のコネクタ260,270
と、を有し、誘電体基板240,250の整合回路24
1,251の他方の端間に被測定部材100を半田付け
し(半田付け部150)、コネクタ260,270を介
して測定装置に接続する構成、構造となっている(例え
ば、実開昭61−87368号公報参照)。
【0004】このような微小なインダクタンスを測定す
る方法の1つとして、TDR(TimeDomain Reflectomet
ry )測定器を用いる方法がある。このTDR測定器を
用いた方法により、前述の低インダクタンス測定用治具
200を使って、被測定部材100のインダクタンスを
測定するときの接続図を図4に示す。
【0005】TDR測定器300は、TDR測定器本体
310、50Ω終端器320、及び50Ωの同軸ケーブ
ル330から成り、50Ω終端器320を低インダクタ
ンス測定用治具200の一方のコネクタ270に接続
し、他方のコネクタ260は、同軸ケーブル330によ
りTDR測定器本体310に接続する。
【0006】このTDR測定器300によるインダクタ
ンス測定方法について説明する。インダクタンス(L)
は、被測定部材100等からの最大反射電圧をVr、被
測定部材100等への入射パルス電圧の傾きをmとする
と、近似式として、 L=100Vr/m …………(1) が成立することが分かっている。ここで、傾きmは、入
射パルス電圧の電圧値をViとし、パルス立上り時間を
trとすると、 m=0.8Vi/tr …………(2) と表わすことができる。従って、上記(1)式及び
(2)式から、 L=125Vr・tr/Vi …………(3) となり、TDR測定器により、入射パルス電圧の電圧値
Vi及びパルス立上り時間を設定し、最大反射電圧Vr
を求めて(3)式に代入すれば、インダクタンスLを測
定することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の低イン
ダクタンス測定用治具200は、誘電体基板240,2
50の上面に形成された整合回路241,251に被測
定部材100を半田付けしてそのインダクタンスを測定
するようにしているので、半田付け部分によるインダク
タンスの変化や、整合回路241,251によるインピ
ーダンスの不整合などのために、1nH程度の微小なイ
ンダクタンスの測定では、これらによる誤差成分、外乱
成分が多くなりすぎて被測定部材100の正確なインダ
クタンス測定ができないという問題点がある。
【0008】また、被測定部材100を半田付けし固定
して測定するため、ばね性を有する各種形状の被測定部
材に対する、予め定められた接触圧力、接触(測定点
間)距離におけるインダクタンスの測定ができないとい
う問題点がある。
【0009】更に、精度の高い整合回路241,251
を必要とする上、被測定部材100の半田付けや移動シ
ャーシ220,230の位置決め等に時間がかかり、治
具製作費用及び測定費用が高くなるという問題点があ
る。
【0010】本発明の目的は、上記従来技術の問題に鑑
みて、微小なインダクタンスを高精度に測定することが
でき、かつ、ばね性を有するもの等の所定の接触圧力、
接触距離における測定もでき、しかも治具製作費、測定
費用が安い低インダクタンス測定用治具を提供すること
にある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の低インダクタン
ス測定用治具は、被測定部材の2点間の微小なインダク
タンスを測定するために、前記被測定部材の2点に接触
してこれら2点をインダクタンス測定装置に接続する低
インダクタンス測定用治具であって、上記の目的を達成
するために次の各構成を有することを特徴とする。 (イ)一端が前記被測定部材のインダクタンス測定点2
点のうちの一方に接触し他端が前記インダクタンス測定
装置に接続される接触・接続導体を備えた第1の接触・
接続コネクタ (ロ)前記第1の接触・接続コネクタを保持、固定する
台座 (ハ)一端が前記被測定部材のインダクタンス測定点2
点のうちの他方に接触し他端が前記インダクタンス測定
装置に接続される接触・接続導体を備えた第2の接触・
接続コネクタ (ニ)前記第2の接触・接続コネクタを、その接触・接
続導体の一端と前記第1の接触・接続コネクタの接触・
接続導体の一端とが相対向するように保持、固定し、前
記台座上に移動可能なように保持された可動ステージ (ホ)マイクロメータヘッドを備え、このマイクロメー
タヘッドにより前記可動ステージを移動させて前記第1
の接触・接続コネクタの接触・接続導体と前記第2の接
触・接続コネクタの接触・接続導体との間の距離を調整
し、これら接触・接続導体間に前記被測定部材を挟み込
んで保持すると同時に、これら接触・接続導体間の距離
を計測、表示する測定点間隔調整計測機構部 (ヘ)前記第1の接触・接続コネクタの外部導体と前記
第2の接触・接続コネクタの外部導体との間を電気的に
接続する接地導通用部材
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態は、一端が
被測定部材のインダクタンス測定点2点のうちの一方に
接触し他端がインダクタンス測定装置に接続される接触
・接続導体、及びこの接触・接続導体を絶縁部材を介し
て保持する外部導体を備えた第1の接触・接続コネクタ
と、この第1の接触・接続コネクタを保持固定する台座
と、一端が上記被測定部材のインダクタンス測定点2点
のうちの他方に接触し他端が上記インダクタンス測定装
置に接続される接触・接続導体、及びこの接触・接続導
体を絶縁部材を介して保持する外部導体を備えた第2の
接触・接続コネクタと、この第2の接触・接続コネクタ
を、その接触・接続導体の一端と上記第1の接触・接続
コネクタの接触・接続導体の一端とが相対向するように
保持、固定し、上記台座上に移動可能なように保持され
た可動ステージと、マイクロメータヘッドを備え、この
マイクロメータヘッドにより上記台座上の可動ステージ
を移動させ、上記第1の接触・接続コネクタ及び第2の
接触・接続コネクタの接触・接続導体間の距離を調整し
てこれらの間に被測定部材を挟み込んで保持すると同時
にこれら接触・接続導体間の距離を計測、表示する測定
点間隔調整計測機構部と、上記第1,第2の接触・接続
コネクタの外部導体間を互いに電気的に接続する接地導
通用部材と、を有する構成となっている。
【0013】このような構成、構造とすることにより、
第1の接触・接続コネクタ及び第2の接触・接続コネク
タの接触・接続導体間に被測定部材を挟み込んで保持
し、かつ被測定部材の2つのインダクタンス測定点を直
接(インピーダンスの整合回路なしに、かつ半田付けな
しに)インダクタンス測定装置に接続することができ
て、外乱要因を除去することができるので、nHオーダ
ーのインダクタンスを高精度で測定することができる。
【0014】また、接触・接続導体間を、マイクロメー
タヘッドにより微調整することができるので、ばね性を
有するものなどのインダクタンスを、予め定められた接
触圧力、接触距離で正確に測定することができる。
【0015】しかも、高精度で高価なインピーダンス整
合回路などが不要で治具製作費も安くでき、かつ、被測
定部材の半田付けが不要で接触間隔の設定も容易である
ので、測定に要する時間が短くなり、測定費用を安くす
ることができる。
【0016】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1(a),(b)は本発明の一実施例を
示す側面図及び斜視図、図2はこの実施例のものに被測
定部材を取り付けたときの一例を示す拡大側面図であ
る。この実施例は、第1及び第2の接触・接続コネクタ
10a,10b、台座20、可動ステージ30、測定点
間隔調整計測機構部40、接地導通部材50、及びコネ
クタ保持部60a,60bで構成され、これら各部の詳
細、及び相互関係は次のとおりである。
【0017】第1,第2の接触・接続コネクタ10a,
10bは、一端が被測定部材100のインダクタンス測
定点2点のうちの一方に接触し他端がインダクタンス測
定装置に接続される接触・接続導体11a,11bと、
接触・接続導体11a,11bを絶縁部材を介して保持
する外部導体12a,12bとを備えたRF用同軸型コ
ネクタである。
【0018】台座20は、その上面に、絶縁材料製のコ
ネクタ保持部60aにより、第1の接触・接続コネクタ
10aを保持、固定する。可動ステージ30は、絶縁材
料製のコネクタ保持部60bにより、第2の接触・接続
コネクタ10bを、その接触・接続導体11bの一端と
第1の接触・接続コネクタ10aの接触・接続導体11
aの一端とが相対向するように保持、固定し、台座20
上に移動可能なように保持される。
【0019】測定点間隔調整計測機構部40は、2つの
マイクロメータヘッド41を備え、これらマイクロメー
タヘッド41により、可動ステージ30を移動させて第
1の接触・接続コネクタ10aの接触・接続導体11a
と第2の接触・接続コネクタ10bの接触・接続導体1
1bとの間の距離を調整し、これら接触・接続導体11
a,11b間に被測定部材100を挟み込んで保持する
と同時に、これら接触・接続導体11a,11b間の距
離を計測し表示する。
【0020】また、接地導通部材50は、金属棒51及
びスプリング52から成り、第1,第2の接触・接続コ
ネクタ10a,10bの外部導体12a,12b(フラ
ンジ)間を互いに電気的に接続する。なお、金属棒51
は、一端を外部導体(例えば12b)に固定し、他端側
は外部導体(12a)に対し接触、スライドするように
して可動ステージ30の移動を妨げないようにする。
【0021】この実施例による低インダクタンス測定用
治具を使い、TDR測定器を使用して被測定部材100
のインダクタンスを測定するには、例えば、接触・接続
コネクタ10bに50Ω終端器(320)を直接接続
し、接触・接続コネクタ10aは、同軸ケーブル(33
0)によりTDR測定器本体(310)に接続する。
【0022】この実施例では、第1,第2の接触・接続
コネクタ10a,10bの接触・接続導体11a,11
b間に被測定部材100を挟み込んで保持し(従来例の
ように半田付けなしに)、かつ、被測定部材100のイ
ンダクタンス測定点2点を直接(従来例のようにインピ
ーダンスの整合回路なしに)、インダクタンス測定装置
(TDR測定器)に接続することができるので、半田付
けや整合回路等の外乱要因を除去することができ、1n
Hオーダーの微小なインダクタンスを高い精度で測定す
ることができる。
【0023】また、接触・接続導体11a,11b間、
従って被測定部材100のインダクタンス測定点2点間
の間隔(距離)を、マイクロメータヘッド41により微
調整することができるので、ばね性を有する被測定部材
のインダクタンスを、予め定められた接触圧力、接触距
離に設定して高精度に測定することができる。
【0024】更に、従来例で必要としていた、高精度で
高価なインピーダンス整合回路などが不要となるので、
治具製作費が安くなり、その上、被測定部材100に対
する半田付けが不要で、測定点間隔の設定、微調整も極
めて容易にできるので、測定に要する時間を短くするこ
とができ、測定費用を安くすることができる。
【0025】なお、この実施例において、図2には、被
測定部材100として例えばソケット・コンタクト単体
をイメージしてこれを保持した状態が示されているが、
測定対象のコンタクトに接触・接続導体11a,11b
が接触すれば、ハウジングに組込み済みの状態でも測定
することができる。また、接地導通部材50を、金属棒
51及びスプリング52から成る構成としたが、接触・
接続コネクタ10a,10bの外部導体12a,12b
間が確実に電気的に接続され、かつ可動ステージ30の
移動を妨げない構成、構造であれば、この実施例以外の
構成、構造であってもよい。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、接触・接
続導体及び外部導体を備えた第1の接触・接続コネクタ
を台座に保持固定し、接触・接続導体及び外部導体を備
えた第2の接触・接続コネクタを、台座上に移動可能な
ように保持された可動ステージに、これら接触・接続コ
ネクタの接触・接続導体の一端が相対向するように保持
固定してこれら接触・接続コネクタの外部導体間を電気
的に接続し、マイクロメータヘッドを備えた測定点間隔
調整計測機構部により、可動ステージを移動させて接触
・接続導体間の距離を調整、計測し、これら接触・接続
導体間に被測定部材を挟み込んで保持し、接触・接続導
体の他端は直接、インダクタンス測定装置に接続する構
成、構造とすることにより、半田付けしなくても被測定
部材を保持、接続することができ、かつインピーダンス
整合回路も不要であるので、これらによる外乱要因を除
去することができてnHオーダーの微小なインダクタン
スを高い精度で測定することができ、かつ、被測定部材
のインダクタンス測定点2点間の距離を、マイクロメー
タヘッドにより微調整することができるので、ばね性を
有する被測定部材のインダクタンスを、予め定められた
接触圧力、測定点間距離に設定して高い精度で測定する
ことができ、しかも、インピーダンス整合回路等の高精
度で高価な部材が不要となって治具製作費が安くなり、
その上、被測定部材に対する半田付けが不要で測定点間
隔の設定、微調整も極めて容易にできるので、測定に要
する時間が短縮されて測定費用が安くなる、という効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す側面図及び斜視図であ
る。
【図2】図1に示された実施例の低インダクタンス測定
用治具に被測定部材を接触保持させた状態を示す拡大側
面図である。
【図3】従来の低インダクタンス測定用治具の一例を示
す斜視図である。
【図4】図3に示された低インダクタンス測定用治具を
使い、TDR測定器を使用して被測定部材のインダクタ
ンスを測定するときの接続図である。
【符号の説明】
10a,10b 接触・接続コネクタ 11a,11b 接触・接続導体 12a,12b 外部導体 20 台座 30 可動ステージ 40 測定点間隔調整計測機構部 41 マイクロメートヘッド 50 接地導通部材 60a,60b コネクタ保持部 100 被測定部材 200 低インダクタンス測定用治具 210 固定シャーシ 220,230 移動シャーシ 240,250 誘電体基板 241,251 整合回路 260,270 コネクタ 280 ねじ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定部材の2点間の微小なインダクタ
    ンスを測定するために、前記被測定部材の2点に接触し
    てこれら2点をインダクタンス測定装置に接続する低イ
    ンダクタンス測定用治具であって、次の各構成を有する
    ことを特徴とする低インダクタンス測定用治具。 (イ)一端が前記被測定部材のインダクタンス測定点2
    点のうちの一方に接触し他端が前記インダクタンス測定
    装置に接続される接触・接続導体を備えた第1の接触・
    接続コネクタ (ロ)前記第1の接触・接続コネクタを保持、固定する
    台座 (ハ)一端が前記被測定部材のインダクタンス測定点2
    点のうちの他方に接触し他端が前記インダクタンス測定
    装置に接続される接触・接続導体を備えた第2の接触・
    接続コネクタ (ニ)前記第2の接触・接続コネクタを、その接触・接
    続導体の一端と前記第1の接触・接続コネクタの接触・
    接続導体の一端とが相対向するように保持、固定し、前
    記台座上に移動可能なように保持された可動ステージ (ホ)マイクロメータヘッドを備え、このマイクロメー
    タヘッドにより前記可動ステージを移動させて前記第1
    の接触・接続コネクタの接触・接続導体と前記第2の接
    触・接続コネクタの接触・接続導体との間の距離を調整
    し、これら接触・接続導体間に前記被測定部材を挟み込
    んで保持すると同時に、これら接触・接続導体間の距離
    を計測、表示する測定点間隔調整計測機構部 (ヘ)前記第1の接触・接続コネクタの外部導体と前記
    第2の接触・接続コネクタの外部導体との間を電気的に
    接続する接地導通用部材
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016200583A (ja) * 2015-04-08 2016-12-01 日置電機株式会社 測定用治具、補正値測定方法および補正方法
JP2020094824A (ja) * 2018-12-10 2020-06-18 矢崎総業株式会社 インピーダンス測定治具及びインピーダンス測定方法

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