JP2000229412A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2000229412A JP2000229412A JP11329399A JP32939999A JP2000229412A JP 2000229412 A JP2000229412 A JP 2000229412A JP 11329399 A JP11329399 A JP 11329399A JP 32939999 A JP32939999 A JP 32939999A JP 2000229412 A JP2000229412 A JP 2000229412A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge port
- recording head
- orifice plate
- jet recording
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 abstract description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 abstract 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 3
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
- Y10T29/49083—Heater type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高密度で、かつ高速印字で記録を行う場合で
も、インク溜りを発生することなく、吐出口（オリフィ
ス）７０６形成時のエキシマレーザビーム照射時にも熱
影響及び天板６０２への接合時の傷やごみ等の付着によ
るインク溜りを生ずることのないインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 このため、インク吐出口７０６加工前に
剥離可能に副生成物除去テープ１０１をオリフィスプレ
ート１０２となる吐出口形成部材に貼ることにより、両
者の密着性を高めるようにした。
も、インク溜りを発生することなく、吐出口（オリフィ
ス）７０６形成時のエキシマレーザビーム照射時にも熱
影響及び天板６０２への接合時の傷やごみ等の付着によ
るインク溜りを生ずることのないインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 このため、インク吐出口７０６加工前に
剥離可能に副生成物除去テープ１０１をオリフィスプレ
ート１０２となる吐出口形成部材に貼ることにより、両
者の密着性を高めるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吐出口が形成され
た吐出口形成部材（以下、“オリフィスプレート”とも
云う）を有するインクジェット記録ヘッド及びその製造
方法に関するものである。
た吐出口形成部材（以下、“オリフィスプレート”とも
云う）を有するインクジェット記録ヘッド及びその製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】今日、この種のインクジェット記録ヘッ
ドの吐出口部分を加工するのに、エキシマレーザ光（ビ
ーム）等に代表される紫外線レーザ等を用いている。こ
のエキシマレーザ光によるオリフィス加工は、オリフィ
スプレートとなる例えば樹脂フィルムの液路に連通させ
る面に、エキシマレーザ光を照射することによって行っ
ていた。
ドの吐出口部分を加工するのに、エキシマレーザ光（ビ
ーム）等に代表される紫外線レーザ等を用いている。こ
のエキシマレーザ光によるオリフィス加工は、オリフィ
スプレートとなる例えば樹脂フィルムの液路に連通させ
る面に、エキシマレーザ光を照射することによって行っ
ていた。
【０００３】しかしながら、このようにして製造された
インクジェット記録ヘッドでは、エキシマレーザ光を照
射して、吐出口となるべき部分の樹脂を除去する際、レ
ーザ光によって樹脂が分解し、その一部が例えばカーボ
ンとなってオリフィスプレート表側の吐出口の周辺部
分、あるいはオリフィスプレート裏面側に堆積する。
インクジェット記録ヘッドでは、エキシマレーザ光を照
射して、吐出口となるべき部分の樹脂を除去する際、レ
ーザ光によって樹脂が分解し、その一部が例えばカーボ
ンとなってオリフィスプレート表側の吐出口の周辺部
分、あるいはオリフィスプレート裏面側に堆積する。
【０００４】このようなオリフィスプレートを用いて、
インクジェット記録ヘッドを組み立てて、種々の印字テ
ストを行ったところ、オリフィスプレートの表面で、前
記のような堆積物が存在すると、堆積物のある部分とな
い部分とでの物理的な性質、特にインクに対する濡れ性
が変化する。
インクジェット記録ヘッドを組み立てて、種々の印字テ
ストを行ったところ、オリフィスプレートの表面で、前
記のような堆積物が存在すると、堆積物のある部分とな
い部分とでの物理的な性質、特にインクに対する濡れ性
が変化する。
【０００５】一般的に、オリフィスプレートの表面は、
不要なインク溜りがないように均一であることが望まし
いとされている。しかしながら、レーザ光によるオリフ
ィス加工を行った記録ヘッドでは、堆積物が存在する部
分にインク溜りが存在することがあった。このインク溜
りにより液滴の飛翔方向が安定せず、良好な記録が行え
なくなる。
不要なインク溜りがないように均一であることが望まし
いとされている。しかしながら、レーザ光によるオリフ
ィス加工を行った記録ヘッドでは、堆積物が存在する部
分にインク溜りが存在することがあった。このインク溜
りにより液滴の飛翔方向が安定せず、良好な記録が行え
なくなる。
【０００６】また、このインク溜りが大きくなると、イ
ンク液滴の吐出が不能になり、記録が行えなくなる状態
に陥る場合もあった。このため、従来、レーザ光の照射
後に２次加工工程として、超音波洗浄や粘着テープなど
を用いて、堆積したカーボン層を除去していた。
ンク液滴の吐出が不能になり、記録が行えなくなる状態
に陥る場合もあった。このため、従来、レーザ光の照射
後に２次加工工程として、超音波洗浄や粘着テープなど
を用いて、堆積したカーボン層を除去していた。
【０００７】このように、吐出口が加工されたオリフィ
スプレートを、液路が形成してある天板と所定の位置関
係になるよう接合して、所望のインクジェット記録ヘッ
ドを得る。これらの構成により組み立てられた従来のイ
ンクジェット記録ヘッドの一例を図８に示す。
スプレートを、液路が形成してある天板と所定の位置関
係になるよう接合して、所望のインクジェット記録ヘッ
ドを得る。これらの構成により組み立てられた従来のイ
ンクジェット記録ヘッドの一例を図８に示す。
【０００８】図８において、７０２は、液路７０４を構
成するための溝が形成された天板（溝付天板とも称す
る）、７０１は、インク吐出のために利用されるエネル
ギを発生する電気熱変換素子７０３をパターニングして
ある基板、７０５は、樹脂製の薄板より成るオリフィス
プレート、７０６は、オリフィスプレート７０５に形成
された吐出口である。
成するための溝が形成された天板（溝付天板とも称す
る）、７０１は、インク吐出のために利用されるエネル
ギを発生する電気熱変換素子７０３をパターニングして
ある基板、７０５は、樹脂製の薄板より成るオリフィス
プレート、７０６は、オリフィスプレート７０５に形成
された吐出口である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】レーザの照射後に２次
加工工程を経てカーボン堆積物を除去して組み立てられ
たインクジェット記録ヘッドでは、前述したインク溜り
が少なくなり、インク液滴の不安定吐出などの問題は一
応解決される。しかしながら、より高密度かつ高速印字
で記録を行うことが可能に構成される高密度に吐出口が
配列された記録ヘッドでは、僅かに除去されずに残った
堆積物の影響が現われ易く、インク溜りが発生し易く、
印字への影響が大きくなる傾向があり、このため、堆積
物のより完全かつ確実な除去を行うことが必要となって
くる。
加工工程を経てカーボン堆積物を除去して組み立てられ
たインクジェット記録ヘッドでは、前述したインク溜り
が少なくなり、インク液滴の不安定吐出などの問題は一
応解決される。しかしながら、より高密度かつ高速印字
で記録を行うことが可能に構成される高密度に吐出口が
配列された記録ヘッドでは、僅かに除去されずに残った
堆積物の影響が現われ易く、インク溜りが発生し易く、
印字への影響が大きくなる傾向があり、このため、堆積
物のより完全かつ確実な除去を行うことが必要となって
くる。
【００１０】また、レーザ照射時の熱影響及び天板への
接合時の傷やごみなどの付着等によっても、インク溜り
を生ずることもあった。
接合時の傷やごみなどの付着等によっても、インク溜り
を生ずることもあった。
【００１１】本発明は、上述のような問題点を解決し、
レーザ加工により発生するカーボン堆積物等の副生成物
の確実な除去及び熱影響や傷・ごみ等の付着防止を行う
ことにより、オリフィスプレート表面、特に吐出口周辺
に不要なインク溜りを発生させない信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドを得ることを目的としている。ま
た、他の目的としては、インクジェット記録の印字品位
の向上に資することにある。
レーザ加工により発生するカーボン堆積物等の副生成物
の確実な除去及び熱影響や傷・ごみ等の付着防止を行う
ことにより、オリフィスプレート表面、特に吐出口周辺
に不要なインク溜りを発生させない信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドを得ることを目的としている。ま
た、他の目的としては、インクジェット記録の印字品位
の向上に資することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、下記の各項（１）〜（７）のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッドまたはその製造方法を提供する
ことにより前記目的を達成しようとするものである。
ては、下記の各項（１）〜（７）のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッドまたはその製造方法を提供する
ことにより前記目的を達成しようとするものである。
【００１３】（１）インクの吐出に利用するエネルギー
を発生する素子を形成した基板と、この基板と接合する
ことにより前記素子の配設部位に対応して液路を形成す
るための天板部材と、前記液路に連通してインク吐出用
吐出口が形成された吐出口形成部材とを具えたインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口形成
部材の少なくとも一方に対し、加工後に剥離することが
可能な粘着層を有したシート状部材を貼る工程と、該剥
離可能シート状部材及び前記吐出口形成部材にレーザ光
を照射して前記吐出口を形成する工程と、前記吐出口形
成部材を前記基板と接合した工程の後工程で前記剥離可
能シート状部材を剥がす工程とを備えたことを特徴とす
るインクジェット記録ヘッドの製造方法。
を発生する素子を形成した基板と、この基板と接合する
ことにより前記素子の配設部位に対応して液路を形成す
るための天板部材と、前記液路に連通してインク吐出用
吐出口が形成された吐出口形成部材とを具えたインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口形成
部材の少なくとも一方に対し、加工後に剥離することが
可能な粘着層を有したシート状部材を貼る工程と、該剥
離可能シート状部材及び前記吐出口形成部材にレーザ光
を照射して前記吐出口を形成する工程と、前記吐出口形
成部材を前記基板と接合した工程の後工程で前記剥離可
能シート状部材を剥がす工程とを備えたことを特徴とす
るインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１４】（２）前記吐出口形成部材は、板部材から
成り、この板部材の少なくとも一方には撥水層を有して
いることを特徴とする前項（１）記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
成り、この板部材の少なくとも一方には撥水層を有して
いることを特徴とする前項（１）記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
【００１５】（３）前記吐出口形成部材に対し、前記剥
離可能シート状部材は、裏面側あるいは表面側、または
両面に対して配することを特徴とする前項（１）記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
離可能シート状部材は、裏面側あるいは表面側、または
両面に対して配することを特徴とする前項（１）記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１６】（４）前記剥離可能部材は、前記吐出口形
成部材を、機械的変形から保護できる強度を有すること
を特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
成部材を、機械的変形から保護できる強度を有すること
を特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
【００１７】（５）前記剥離可能部材は、前記吐出口形
成部材を熱影響から保護する特性を有することを特徴と
する前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
成部材を熱影響から保護する特性を有することを特徴と
する前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
【００１８】（６）前記剥離可能部材は、粘着層を有す
る構成であり、前記レーザ加工時の副生成物が前記粘着
層にトラップされることを特徴とする前項（１）記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
る構成であり、前記レーザ加工時の副生成物が前記粘着
層にトラップされることを特徴とする前項（１）記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１９】（７）前項（１）ないし（６）のいずれか
に記載の製造方法を用いて製造したことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
に記載の製造方法を用いて製造したことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
【００２０】
【作用】以上のような本発明構成により、オリフィス加
工前に、副生成物除去テープ等の引き剥がし可能な部材
をオリフィスプレートとなる吐出口形成部材に貼ること
により、副生成物除去テープと吐出口形成部材との密着
性を高められ、レーザ加工を行っても、レーザ加工で副
生成物除去テープが剥がれてしまうことなく、副生成物
を確実にテープにトラップすることができる。
工前に、副生成物除去テープ等の引き剥がし可能な部材
をオリフィスプレートとなる吐出口形成部材に貼ること
により、副生成物除去テープと吐出口形成部材との密着
性を高められ、レーザ加工を行っても、レーザ加工で副
生成物除去テープが剥がれてしまうことなく、副生成物
を確実にテープにトラップすることができる。
【００２１】以上により、例えばエキシマレーザビーム
が照射されて発生したカーボンの堆積層を副生成物除去
テープでトラップすることができ、副生成物除去テープ
を剥がすことにより、カーボン堆積層を完全に除去する
ことができる。また、オリフィスプレートを基板に取付
けた後に、副生成物除去テープを剥がすことにしたた
め、オリフィスプレートに対する加工工程中の熱影響や
傷・ごみ等の付着を防止できる。従ってカーボン層や、
傷、ごみ等による不要なインク溜りがない信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドの供給が可能となる。
が照射されて発生したカーボンの堆積層を副生成物除去
テープでトラップすることができ、副生成物除去テープ
を剥がすことにより、カーボン堆積層を完全に除去する
ことができる。また、オリフィスプレートを基板に取付
けた後に、副生成物除去テープを剥がすことにしたた
め、オリフィスプレートに対する加工工程中の熱影響や
傷・ごみ等の付着を防止できる。従ってカーボン層や、
傷、ごみ等による不要なインク溜りがない信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドの供給が可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を複数
の実施例に基づいて詳細に説明する。
の実施例に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
【実施例】（実施例１）図１に、本発明の特徴を表すオ
リフィスプレートの実施例１の説明図を示す。同図にお
いて、１０１は副生成物除去テープであり、１０３は、
副生成物除去テープの基材となるシート状部材で、ポリ
エチレンテレフタレートのフィルム（ＰＥＴフィルム）
を用いた。ＰＥＴフィルム１０３の一方にオリフィスプ
レートに対してシート状部材１０３を引き剥がし可能に
取付けるための粘着層１０４を設け、副生成物除去テー
プ１０１を構成する。
リフィスプレートの実施例１の説明図を示す。同図にお
いて、１０１は副生成物除去テープであり、１０３は、
副生成物除去テープの基材となるシート状部材で、ポリ
エチレンテレフタレートのフィルム（ＰＥＴフィルム）
を用いた。ＰＥＴフィルム１０３の一方にオリフィスプ
レートに対してシート状部材１０３を引き剥がし可能に
取付けるための粘着層１０４を設け、副生成物除去テー
プ１０１を構成する。
【００２４】なお、粘着層１０４は、例えば本実施例で
はアクリル系の粘着剤を厚さ５μｍで塗布し、形成し
た。また、オリフィスプレート１０２として、１０６
は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、ポリイ
ミドのフィルム（ＰＩフィルム）を用い、表面に撥水層
１０５を、裏面に基板及び溝付天板に対してオリフィス
プレート１０２を取付けるための接着層１０７を設け
た。なお、接着層１０７は、レーザ加工前に本実施例の
ように設けられていても、レーザ加工前は接着層を設け
ず、他の工程で改めて接着層を加工して設けるようにし
てもよい。
はアクリル系の粘着剤を厚さ５μｍで塗布し、形成し
た。また、オリフィスプレート１０２として、１０６
は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、ポリイ
ミドのフィルム（ＰＩフィルム）を用い、表面に撥水層
１０５を、裏面に基板及び溝付天板に対してオリフィス
プレート１０２を取付けるための接着層１０７を設け
た。なお、接着層１０７は、レーザ加工前に本実施例の
ように設けられていても、レーザ加工前は接着層を設け
ず、他の工程で改めて接着層を加工して設けるようにし
てもよい。
【００２５】撥水層１０５は、撥水剤にサイトップ（商
品名，旭硝子（株））を用い、ＰＩフィルム１０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
し、接着剤１０７は、アクリル系の粘着剤を厚さ１０μ
ｍで塗布し、形成した。このオリフィスプレート１０２
の撥水層１０５面に、副生成物除去テープ１０１を密着
させて貼り、エキシマレーザ光を照射し所望の吐出口を
得た。
品名，旭硝子（株））を用い、ＰＩフィルム１０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
し、接着剤１０７は、アクリル系の粘着剤を厚さ１０μ
ｍで塗布し、形成した。このオリフィスプレート１０２
の撥水層１０５面に、副生成物除去テープ１０１を密着
させて貼り、エキシマレーザ光を照射し所望の吐出口を
得た。
【００２６】図４は、図１のオリフィスプレート１０２
に対して接着層１０７側からエキシマレーザ光を照射し
てオリフィス加工を行う様子を示したものである。図４
において、４０１はＫｒＦエキシマレーザ光を発振する
レーザ発振装置、４０２は、レーザ発振装置４０１から
発振される波長２４８ｎｍ、パルス幅約１５ｎｓｅｃの
パルスレーザ光、４０３は、レーザ光４０２を集光させ
るための合成石英レンズでできた光学系、４０４は、レ
ーザ光４０２に対して遮断可能なアルミニウムを蒸着し
た投影マスクであり、直径１００μｍの穴が１７０μｍ
ピッチで複数配列されて吐出口のパターンを構成してい
る。これにより、高密度（６００ｄｏｔ／ｉｎｃｈ）の
吐出口がオリフィスプレート上に投影される。
に対して接着層１０７側からエキシマレーザ光を照射し
てオリフィス加工を行う様子を示したものである。図４
において、４０１はＫｒＦエキシマレーザ光を発振する
レーザ発振装置、４０２は、レーザ発振装置４０１から
発振される波長２４８ｎｍ、パルス幅約１５ｎｓｅｃの
パルスレーザ光、４０３は、レーザ光４０２を集光させ
るための合成石英レンズでできた光学系、４０４は、レ
ーザ光４０２に対して遮断可能なアルミニウムを蒸着し
た投影マスクであり、直径１００μｍの穴が１７０μｍ
ピッチで複数配列されて吐出口のパターンを構成してい
る。これにより、高密度（６００ｄｏｔ／ｉｎｃｈ）の
吐出口がオリフィスプレート上に投影される。
【００２７】以上のようなレーザ加工を行うと、カーボ
ン等の副生成物が発生するが、図５に示すように殆どの
副生成物４０５は副生成物除去テープ１０１を構成する
粘着層１０４でトラップされた状態となる。
ン等の副生成物が発生するが、図５に示すように殆どの
副生成物４０５は副生成物除去テープ１０１を構成する
粘着層１０４でトラップされた状態となる。
【００２８】また、粘着層１０４にトラップされていな
かった僅かな副生成物は、シート状部材１０３の表面に
堆積することになり、これまで吐出口周辺に堆積してし
まうような副生成物は、副生成物除去テープ１０１に存
在しているので、後述する副生成物除去テープ１０１を
剥がす工程を経ることにより、オリフィスプレート１０
２から副生成物４０５の除去を行うことができる。
かった僅かな副生成物は、シート状部材１０３の表面に
堆積することになり、これまで吐出口周辺に堆積してし
まうような副生成物は、副生成物除去テープ１０１に存
在しているので、後述する副生成物除去テープ１０１を
剥がす工程を経ることにより、オリフィスプレート１０
２から副生成物４０５の除去を行うことができる。
【００２９】また、図６に示す各実施例のインクジェッ
ト記録ヘッドのオリフィスプレート６０５を分離して示
す本体部分説明斜視図において、６０１は、シリコン基
板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒータ）６０
３と、これに電力を供給するアルミニウム等の電気配設
とが成膜技術により形成されて成る基板である。６０２
は、複数の液路６０４を各々区分するための隔壁や液路
６０４にインクを与えるためにインクを収納するための
共通液室等を設けた溝付天板で、インクタンク（不図
示）からインクが供給される。
ト記録ヘッドのオリフィスプレート６０５を分離して示
す本体部分説明斜視図において、６０１は、シリコン基
板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒータ）６０
３と、これに電力を供給するアルミニウム等の電気配設
とが成膜技術により形成されて成る基板である。６０２
は、複数の液路６０４を各々区分するための隔壁や液路
６０４にインクを与えるためにインクを収納するための
共通液室等を設けた溝付天板で、インクタンク（不図
示）からインクが供給される。
【００３０】この溝付天板６０２の液路６０４と基板６
０１の吐出ヒータ６０３を所望の位置に、押さえばね
（不図示）で押圧することによって圧着固定し、インク
ジェット記録ヘッドの本体部分を形成した。
０１の吐出ヒータ６０３を所望の位置に、押さえばね
（不図示）で押圧することによって圧着固定し、インク
ジェット記録ヘッドの本体部分を形成した。
【００３１】以上のように形成されたインクジェット記
録ヘッドの本体部分の所定部に、図５に示す接着層１０
７を介して位置決めし、貼り付ける。この後、副生成物
除去テープ１０１を剥がすことで所望のインクジェット
記録ヘッドを得た。
録ヘッドの本体部分の所定部に、図５に示す接着層１０
７を介して位置決めし、貼り付ける。この後、副生成物
除去テープ１０１を剥がすことで所望のインクジェット
記録ヘッドを得た。
【００３２】このようにして作成されたインクジェット
記録ヘッドのオリフィスプレート１０２表面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着が見られなかった。また、オリフィスプレートの
取付け加工後に副生成物除去テープを剥がすことによ
り、位置決め・貼り付け時に発生するであろうオリフィ
スプレート表面の傷及びごみ等の付着も見られなかっ
た。
記録ヘッドのオリフィスプレート１０２表面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着が見られなかった。また、オリフィスプレートの
取付け加工後に副生成物除去テープを剥がすことによ
り、位置決め・貼り付け時に発生するであろうオリフィ
スプレート表面の傷及びごみ等の付着も見られなかっ
た。
【００３３】このインクジェット記録ヘッドをプリンタ
本体に装着してインク液滴の吐出観察を行ったところ、
従来のインクジェット記録ヘッドに見られたような大き
なインク溜りもなく、インク液滴の飛翔方向も安定して
いた。また、高速印字（周波数９．６ｋＨｚ）での記録
に対して良好な結果を得ることができた。
本体に装着してインク液滴の吐出観察を行ったところ、
従来のインクジェット記録ヘッドに見られたような大き
なインク溜りもなく、インク液滴の飛翔方向も安定して
いた。また、高速印字（周波数９．６ｋＨｚ）での記録
に対して良好な結果を得ることができた。
【００３４】（実施例２）図２は、本発明が適用された
実施例２の説明図である。同図において、２０１は副生
成物除去テープであり、２０３は、副生成物除去テープ
２０１の基材となる板部材で、ポリエーテルエーテルケ
トンのフィルム（ＰＥＥＫフィルム）を用いた。ＰＥＥ
Ｋフィルム２０３の一方に粘着層２０４を設け、副生成
物除去テープ２０１を構成する。なお、本実施例では粘
着層２０４は、ゴム系の粘着剤を厚さ３μｍで塗布し、
形成した。
実施例２の説明図である。同図において、２０１は副生
成物除去テープであり、２０３は、副生成物除去テープ
２０１の基材となる板部材で、ポリエーテルエーテルケ
トンのフィルム（ＰＥＥＫフィルム）を用いた。ＰＥＥ
Ｋフィルム２０３の一方に粘着層２０４を設け、副生成
物除去テープ２０１を構成する。なお、本実施例では粘
着層２０４は、ゴム系の粘着剤を厚さ３μｍで塗布し、
形成した。
【００３５】また、オリフィスプレート２０２として、
２０６は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、
ポリサルフォンのフィルム（ＰＳＦフィルム）を用い、
表面に撥水層２０５を、裏面に接着層２０７をそれぞれ
設けた。撥水層２０５は、撥水剤にサイトップ（商品
名，旭硝子（株））を用い、ＰＳＦフィルム２０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
した。また、接着層２０７は、エポキシ接着剤を厚さ１
０μｍで塗布し、形成した。
２０６は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、
ポリサルフォンのフィルム（ＰＳＦフィルム）を用い、
表面に撥水層２０５を、裏面に接着層２０７をそれぞれ
設けた。撥水層２０５は、撥水剤にサイトップ（商品
名，旭硝子（株））を用い、ＰＳＦフィルム２０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
した。また、接着層２０７は、エポキシ接着剤を厚さ１
０μｍで塗布し、形成した。
【００３６】このオリフィスプレート２０２の接着層２
０７面に副生成物除去テープ２０１を密着させて貼り、
前記実施例１と同様なレーザ加工装置を用い、今度は副
生成物除去テープ２０１の板部材２０３側から、エキシ
マレーザ光を照射して所望の吐出口を得た。
０７面に副生成物除去テープ２０１を密着させて貼り、
前記実施例１と同様なレーザ加工装置を用い、今度は副
生成物除去テープ２０１の板部材２０３側から、エキシ
マレーザ光を照射して所望の吐出口を得た。
【００３７】このようにして作成された図２に示す副生
成物除去テープ２０１を剥がした後、オリフィスプレー
ト２０２の裏面の状態を観察したところ、エキシマレー
ザ光により除去されたものの付着が見られず、また、熱
影響によりオリフィス縁のダレもみられなかった。
成物除去テープ２０１を剥がした後、オリフィスプレー
ト２０２の裏面の状態を観察したところ、エキシマレー
ザ光により除去されたものの付着が見られず、また、熱
影響によりオリフィス縁のダレもみられなかった。
【００３８】なお、オリフィスプレートの裏面に対して
取付ける副生成物除去テープは、上述の副生成物の除去
だけでなく、オリフィスプレート加工工程の中で行われ
るオリフィスプレートの切断工程における保護材として
も機能している。
取付ける副生成物除去テープは、上述の副生成物の除去
だけでなく、オリフィスプレート加工工程の中で行われ
るオリフィスプレートの切断工程における保護材として
も機能している。
【００３９】また、前出図６において、６０１は、シリ
コン基板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒー
タ）６０３と、これに電力を供給するアルミニウム等の
電気配線とが成膜技術により形成されて成る基板であ
る。６０２は、複数の液路６０４を各々区分するための
隔壁や液路６０４にインクを与えるためにインクを収納
するための共通液室等を設けた溝付天板でインクタンク
（不図示）からインクが供給される。この天板６０２の
液路６０４と基板６０１の吐出ヒータ６０３とを所望の
位置に、押さえたばね（不図示）で押圧することによっ
て圧着固定し、インクジェット記録ヘッドの本体部分を
形成した。
コン基板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒー
タ）６０３と、これに電力を供給するアルミニウム等の
電気配線とが成膜技術により形成されて成る基板であ
る。６０２は、複数の液路６０４を各々区分するための
隔壁や液路６０４にインクを与えるためにインクを収納
するための共通液室等を設けた溝付天板でインクタンク
（不図示）からインクが供給される。この天板６０２の
液路６０４と基板６０１の吐出ヒータ６０３とを所望の
位置に、押さえたばね（不図示）で押圧することによっ
て圧着固定し、インクジェット記録ヘッドの本体部分を
形成した。
【００４０】以上のように形成されたインクジェット記
録ヘッドの本体部分の所定部に、接着層２０７を介して
位置決めし、貼り付けることによりインクジェット記録
ヘッドを得た。
録ヘッドの本体部分の所定部に、接着層２０７を介して
位置決めし、貼り付けることによりインクジェット記録
ヘッドを得た。
【００４１】（実施例３）図３は、本発明が適用された
実施例３の説明図である。同図において、３０１ａ，ｂ
は副生成物除去テープであり、３０３ａ，ｂは、副生成
物除去テープ３０１ａ，ｂの基材となる板部材で、ポリ
エーテルサルフォンのフィルム（ＰＥＳフィルム）を用
いた。ＰＥＳフィルム３０３ａ，ｂの一方に粘着層３０
４ａ，ｂを設け、副生成物除去テープ３０１ａ，ｂを構
成する。なお、粘着層３０４ａ，ｂは、アクリル系の粘
着剤を厚さ３μｍで塗布し、形成した。
実施例３の説明図である。同図において、３０１ａ，ｂ
は副生成物除去テープであり、３０３ａ，ｂは、副生成
物除去テープ３０１ａ，ｂの基材となる板部材で、ポリ
エーテルサルフォンのフィルム（ＰＥＳフィルム）を用
いた。ＰＥＳフィルム３０３ａ，ｂの一方に粘着層３０
４ａ，ｂを設け、副生成物除去テープ３０１ａ，ｂを構
成する。なお、粘着層３０４ａ，ｂは、アクリル系の粘
着剤を厚さ３μｍで塗布し、形成した。
【００４２】また、オリフィスプレート３０２として、
３０６は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、
ポリサルフォンのフィルム（ＰＳＦフィルム）を用い、
表面に撥水層３０５を、裏面に接着層３０７をそれぞれ
設けた。撥水層３０５は、撥水剤にサイトップ（商品
名，旭硝子（株））を用い、ＰＳＦフィルム３０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
した。また、接着剤層３０７はエポキシ樹脂剤を厚さ１
０μｍで塗布し、形成した。
３０６は、オリフィスプレートの基材となる板部材で、
ポリサルフォンのフィルム（ＰＳＦフィルム）を用い、
表面に撥水層３０５を、裏面に接着層３０７をそれぞれ
設けた。撥水層３０５は、撥水剤にサイトップ（商品
名，旭硝子（株））を用い、ＰＳＦフィルム３０６に塗
布した後、温度１５０℃で５．５時間熱処理により形成
した。また、接着剤層３０７はエポキシ樹脂剤を厚さ１
０μｍで塗布し、形成した。
【００４３】このオリフィスプレート３０２の撥水層３
０５に副生成物除去テープ３０１ａを貼り、また、他方
の接着層３０７面にも前記副生成物除去テープ３０１ｂ
を貼った。これらの三部材をローラにより密着させてか
ら、前記実施例１と同様なレーザ加工装置でオリフィス
プレート３０２の裏面に貼り付けた副生成物除去テープ
３０１ｂの仮部材３０３側からエキシマレーザ光を照射
し所望の吐出口を得た。
０５に副生成物除去テープ３０１ａを貼り、また、他方
の接着層３０７面にも前記副生成物除去テープ３０１ｂ
を貼った。これらの三部材をローラにより密着させてか
ら、前記実施例１と同様なレーザ加工装置でオリフィス
プレート３０２の裏面に貼り付けた副生成物除去テープ
３０１ｂの仮部材３０３側からエキシマレーザ光を照射
し所望の吐出口を得た。
【００４４】このようにして作成された図３に示すオリ
フィスプレート３０２の裏面の副生成物除去テープ３０
１ｂを剥がした後、オリフィスプレート裏面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着がみられず、また、熱影響によるオリフィス縁の
ダレも見られなかった。
フィスプレート３０２の裏面の副生成物除去テープ３０
１ｂを剥がした後、オリフィスプレート裏面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着がみられず、また、熱影響によるオリフィス縁の
ダレも見られなかった。
【００４５】また、前出図６において、６０１は、シリ
コン基板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒー
タ）６０３と、これに電力を供給するアルミニウム等の
電気配線とが成膜技術により形成されて成る基板であ
る。６０２は、複数の液路６０４を各々区分するための
隔壁や液路６０４にインクを与えるためにインクを収納
するための共通液室等を設けた溝付天板インクタンク
（不図示）からインクが供給される。この天板６０２の
液路６０４と基板６０１の吐出ヒータ６０３とをそれぞ
れ所望の位置に、押さえばね（不図示）で押圧すること
によって圧着固定し、インクジェット記録ヘッドの本体
部分を形成した。
コン基板上に複数配列された電気熱変換体（吐出ヒー
タ）６０３と、これに電力を供給するアルミニウム等の
電気配線とが成膜技術により形成されて成る基板であ
る。６０２は、複数の液路６０４を各々区分するための
隔壁や液路６０４にインクを与えるためにインクを収納
するための共通液室等を設けた溝付天板インクタンク
（不図示）からインクが供給される。この天板６０２の
液路６０４と基板６０１の吐出ヒータ６０３とをそれぞ
れ所望の位置に、押さえばね（不図示）で押圧すること
によって圧着固定し、インクジェット記録ヘッドの本体
部分を形成した。
【００４６】以上のように形成されたインクジェット記
録ヘッドの本体部分の所定部に、接着層３０７を介して
位置決めし、貼り付けた後、図３に示すオリフィスプレ
ート３０２の表面の副生成物除去テープ３０１ａを剥が
すことでインクジェット記録ヘッドを得た。
録ヘッドの本体部分の所定部に、接着層３０７を介して
位置決めし、貼り付けた後、図３に示すオリフィスプレ
ート３０２の表面の副生成物除去テープ３０１ａを剥が
すことでインクジェット記録ヘッドを得た。
【００４７】このようにして作成されたインクジェット
記録ヘッドのオリフィスプレート３０２表面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着が見られなかった。また、位置決め・貼り付け時
に発生するであろうオリフィスプレート表面の傷及びご
み等の付着も見られなかった。
記録ヘッドのオリフィスプレート３０２表面の状態を観
察したところ、エキシマレーザ光により除去されたもの
の付着が見られなかった。また、位置決め・貼り付け時
に発生するであろうオリフィスプレート表面の傷及びご
み等の付着も見られなかった。
【００４８】このインクジェット記録ヘッドをプリンタ
装置本体に装着してインク液滴の吐出観察を行ったとこ
ろ、従来のインクジェット記録ヘッドに見られたよう
な、大きなインク溜りもなく、インク液滴の飛翔方向も
安定していた。また、高速印字（周波数９．６ｋＨｚ）
での記録に対しても良好な印字を得ることができた。
装置本体に装着してインク液滴の吐出観察を行ったとこ
ろ、従来のインクジェット記録ヘッドに見られたよう
な、大きなインク溜りもなく、インク液滴の飛翔方向も
安定していた。また、高速印字（周波数９．６ｋＨｚ）
での記録に対しても良好な印字を得ることができた。
【００４９】なお、以上の各実施例１，２，３において
は、図６に示すように、オリフィスプレート６０５と溝
付天板６０２とは、別部材として構成した例を示した
が、本発明はこれのみに限定されるものではなく、例え
ば図７に示すように、オリフィスプレート６０５と溝付
天板６０２とを一体成型等の方法により、一部材として
形成された構成に対しても、同様の効果を奏することが
できる。
は、図６に示すように、オリフィスプレート６０５と溝
付天板６０２とは、別部材として構成した例を示した
が、本発明はこれのみに限定されるものではなく、例え
ば図７に示すように、オリフィスプレート６０５と溝付
天板６０２とを一体成型等の方法により、一部材として
形成された構成に対しても、同様の効果を奏することが
できる。
【００５０】なお、副生成物除去テープに設けられた粘
着層は、オリフィスプレートに対して、レーザ加工によ
って剥がれることなく、また、テープを引き剥がした際
にオリフィスプレートの撥水層を剥がしてしまったり、
粘着層の撥水層上に残ってしまうことがない状態である
ことが好ましい。
着層は、オリフィスプレートに対して、レーザ加工によ
って剥がれることなく、また、テープを引き剥がした際
にオリフィスプレートの撥水層を剥がしてしまったり、
粘着層の撥水層上に残ってしまうことがない状態である
ことが好ましい。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
によれば、吐出口周辺部にオリフィス加工時の除去物が
付着せず、また、熱影響や傷・ごみ等の付着のないイン
クジェット記録ヘッドを得ることができる。
によれば、吐出口周辺部にオリフィス加工時の除去物が
付着せず、また、熱影響や傷・ごみ等の付着のないイン
クジェット記録ヘッドを得ることができる。
【００５２】これによって、記録時に不要なインクが吐
出口周辺部に溜らず、インク液滴の飛翔方向が安定し、
良好な記録が行えると共に、吐出不能な状態に劣ること
がない。この結果、高密度・高速印字であっても信頼性
の高いインクジェット記録ヘッドが容易に得られるよう
になった。
出口周辺部に溜らず、インク液滴の飛翔方向が安定し、
良好な記録が行えると共に、吐出不能な状態に劣ること
がない。この結果、高密度・高速印字であっても信頼性
の高いインクジェット記録ヘッドが容易に得られるよう
になった。
【００５３】また、別の効果として、副生成物除去テー
プを剥がすという単純な工程であるので、安価に所望の
記録ヘッドが得られるという利点を有する。
プを剥がすという単純な工程であるので、安価に所望の
記録ヘッドが得られるという利点を有する。
【図１】 実施例１のオリフィスプレートの説明図
【図２】 実施例２のオリフィスプレートの説明図
【図３】 実施例３のオリフィスプレートの説明図
【図４】 実施例１のオリフィスの加工説明図
【図５】 図４のＡ部詳細図
【図６】 実施例１，２，３のインクジェット記録ヘッ
ドの分解説明斜視図
ドの分解説明斜視図
【図７】 図６と別形態のインクジェット記録ヘッドの
斜視図
斜視図
【図８】 従来のインクジェット記録ヘッドの一例の説
明図
明図
１０１，２０１，３０１ａ，ｂ 副生成物除去テープ １０２，２０２，３０２，６０５，７０５ オリフィス
プレート １０３，２０３，３０３ａ，ｂ 板部材 １０４，２０４，３０４ａ，ｂ 粘着層 １０５，２０５，３０５ 撥水層 １０６，２０６，３０６ 板部材 １０７，２０７，３０７ 接着層 ４０１ レーザ発振装置 ４０２ パルスレーザ光 ４０３ 光学系 ４０４ 投影マスク ４０５ 副生成物 ６０１，７０１ 基板 ６０２，７０２ 溝付天板 ６０３，７０３ 電気熱変換素子（吐出ヒータ） ６０４，７０４ 液路 ７０６ 吐出口
プレート １０３，２０３，３０３ａ，ｂ 板部材 １０４，２０４，３０４ａ，ｂ 粘着層 １０５，２０５，３０５ 撥水層 １０６，２０６，３０６ 板部材 １０７，２０７，３０７ 接着層 ４０１ レーザ発振装置 ４０２ パルスレーザ光 ４０３ 光学系 ４０４ 投影マスク ４０５ 副生成物 ６０１，７０１ 基板 ６０２，７０２ 溝付天板 ６０３，７０３ 電気熱変換素子（吐出ヒータ） ６０４，７０４ 液路 ７０６ 吐出口
Claims (7)
- 【請求項１】 インクの吐出に利用するエネルギーを発
生する素子を形成した基板と、この基板と接合すること
により前記素子の配設部位に対応して液路を形成するた
めの天板部材と、前記液路に連通してインク吐出用吐出
口が形成された吐出口形成部材とを具えたインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法において、 前記吐出口形成部材の少なくとも一方に対し、加工後に
剥離することが可能な粘着層を有したシート状部材を貼
る工程と、該剥離可能シート状部材及び前記吐出口形成
部材にレーザ光を照射して前記吐出口を形成する工程
と、前記吐出口形成部材を前記基板と接合した工程の後
工程で前記剥離可能シート状部材を剥がす工程とを備え
たことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２】 前記吐出口形成部材は、板部材から成
り、この板部材の少なくとも一方には撥水層を有してい
ることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記吐出口形成部材に対し、前記剥離可
能シート状部材は、裏面側あるいは表面側、または両面
に対して配することを特徴とする請求項１記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記剥離可能部材は、前記吐出口形成部
材を、機械的変形から保護できる強度を有することを特
徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製
造方法。 - 【請求項５】 前記剥離可能部材は、前記吐出口形成部
材を熱影響から保護する特性を有することを特徴とする
請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記剥離可能部材は、粘着層を有する構
成であり、前記レーザ加工時の副生成物が前記粘着層に
トラップされることを特徴とする請求項１記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載の製
造方法を用いて製造したことを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11329399A JP2000229412A (ja) | 1998-12-07 | 1999-11-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
| US09/452,179 US6550132B1 (en) | 1998-12-07 | 1999-12-02 | Method of making an ink-jet recording head |
| EP99124299A EP1008452B1 (en) | 1998-12-07 | 1999-12-06 | Ink-jet recording head and method of manufacturing the same |
| DE69934473T DE69934473T2 (de) | 1998-12-07 | 1999-12-06 | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zur Herstellung |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-347018 | 1998-12-07 | ||
| JP34701898 | 1998-12-07 | ||
| JP11329399A JP2000229412A (ja) | 1998-12-07 | 1999-11-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000229412A true JP2000229412A (ja) | 2000-08-22 |
Family
ID=26573185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11329399A Withdrawn JP2000229412A (ja) | 1998-12-07 | 1999-11-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6550132B1 (ja) |
| EP (1) | EP1008452B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000229412A (ja) |
| DE (1) | DE69934473T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4821466B2 (ja) * | 2006-07-03 | 2011-11-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 液滴吐出ヘッド |
| DE102011075821A1 (de) * | 2011-05-13 | 2012-11-15 | Robert Bosch Gmbh | Bremsscheibe und Verfahren zum Herstellen einer Bremsscheibe |
| US9919526B2 (en) | 2013-11-29 | 2018-03-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing liquid discharge head |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5208604A (en) * | 1988-10-31 | 1993-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| EP0468712B1 (en) * | 1990-07-21 | 1998-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | A method of manufacturing an ink jet head and an ink jet head |
| ATE130803T1 (de) * | 1990-08-03 | 1995-12-15 | Canon Kk | Farbstrahlaufzeichnungskopfherstellungsverfahre . |
| JP3278186B2 (ja) * | 1991-03-08 | 2002-04-30 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| JP3196796B2 (ja) * | 1992-06-24 | 2001-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法 |
| CA2183723C (en) * | 1995-08-21 | 2006-11-21 | Bo Liu | Ink jet recording material and producing process thereof |
| JP3402349B2 (ja) * | 1996-01-26 | 2003-05-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
| US6103992A (en) * | 1996-11-08 | 2000-08-15 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Multiple frequency processing to minimize manufacturing variability of high aspect ratio micro through-vias |
| DE69707631T2 (de) * | 1996-12-26 | 2002-07-11 | Oji Paper Co | Herstellungsverfahren zu einem Tintenstrahlaufzeichnungsmaterial |
-
1999
- 1999-11-19 JP JP11329399A patent/JP2000229412A/ja not_active Withdrawn
- 1999-12-02 US US09/452,179 patent/US6550132B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-06 EP EP99124299A patent/EP1008452B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-06 DE DE69934473T patent/DE69934473T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69934473T2 (de) | 2007-09-27 |
| DE69934473D1 (de) | 2007-02-01 |
| EP1008452A2 (en) | 2000-06-14 |
| EP1008452B1 (en) | 2006-12-20 |
| EP1008452A3 (en) | 2000-07-19 |
| US6550132B1 (en) | 2003-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5408738A (en) | Method of making a nozzle member including ink flow channels | |
| US6120131A (en) | Method of forming an inkjet printhead nozzle structure | |
| JP3899396B2 (ja) | インクジェット印刷ヘッドのノズル構造体を形成する方法 | |
| JPH10291319A (ja) | ノズル・プレートを個々に分離して印刷ヘッドに取り付ける方法 | |
| JPH0994952A (ja) | インクジェットヘッド | |
| US20060012641A1 (en) | Liquid ejection element and manufacturing method therefor | |
| JP2000229412A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2003276204A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2791226B2 (ja) | 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド | |
| JP4273733B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4247734B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法及びインクジェットプリンタヘッド | |
| JP3253269B2 (ja) | 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド | |
| JPH10166572A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3647321B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3555380B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP2004130715A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3203912B2 (ja) | インク噴射装置の製造方法 | |
| JP2001010062A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH09300628A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2002096472A (ja) | インクジェットヘッド用ノズル基板の製造方法 | |
| JP2004130714A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2007190810A (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP2002225282A (ja) | 液体吐出ヘッドとその製造方法 | |
| JPH07314669A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2001018401A (ja) | 液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070206 |