JP2000209838A - 段差付きコイル製造方法、段差付きコイル、リニアモ―タ、ステ―ジ装置、露光装置ならびにデバイス製造方法 - Google Patents
段差付きコイル製造方法、段差付きコイル、リニアモ―タ、ステ―ジ装置、露光装置ならびにデバイス製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 段差付きコイルの加工工数を低減してコイル
単体の信頼性を向上でき、さらに分厚いコイルが作製可
能で部品点数や組み立て工数の低減を図ることができる
リニアモータ用段差付きコイルおよびその製造方法を提
供する。 【解決手段】 導体箔ｆをロール状に巻回してロールコ
イルｒを作製し、ワイヤカット加工機のワイヤｗでロー
ルコイルｒを第１と第２のワイヤ経路ｐ1 、ｐ2に沿っ
て切断することにより、磁石に対面する窪んだ磁石面ｍ
を段差をもって形成する段差付き偏平コイルＣｂを作製
する。同様にロールコイルｒから段差を有しない偏平コ
イルＣａを切り出して、この偏平コイルＣａの磁石面と
段差付き偏平コイルＣｂの磁石面ｍを面一になるように
一部重複して配してユニットコイルを形成して、このユ
ニットコイルを複数隣接配置して、リニアモータ用固定
子を構成する。
単体の信頼性を向上でき、さらに分厚いコイルが作製可
能で部品点数や組み立て工数の低減を図ることができる
リニアモータ用段差付きコイルおよびその製造方法を提
供する。 【解決手段】 導体箔ｆをロール状に巻回してロールコ
イルｒを作製し、ワイヤカット加工機のワイヤｗでロー
ルコイルｒを第１と第２のワイヤ経路ｐ1 、ｐ2に沿っ
て切断することにより、磁石に対面する窪んだ磁石面ｍ
を段差をもって形成する段差付き偏平コイルＣｂを作製
する。同様にロールコイルｒから段差を有しない偏平コ
イルＣａを切り出して、この偏平コイルＣａの磁石面と
段差付き偏平コイルＣｂの磁石面ｍを面一になるように
一部重複して配してユニットコイルを形成して、このユ
ニットコイルを複数隣接配置して、リニアモータ用固定
子を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置等
のＸＹステージあるいは高精度加工装置等の精密位置決
めステージの駆動に利用されるリニアモータ等に用いら
れる段差付き偏平コイルおよび段差付き偏平コイルの製
造方法、ならびに該製造方法により製造された段差付き
偏平コイルを用いたリニアモータに関するものである。
のＸＹステージあるいは高精度加工装置等の精密位置決
めステージの駆動に利用されるリニアモータ等に用いら
れる段差付き偏平コイルおよび段差付き偏平コイルの製
造方法、ならびに該製造方法により製造された段差付き
偏平コイルを用いたリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置等のＸＹステージあるい
は高精度加工装置等の精密位置決めステージの駆動に利
用されるリニアモータは、通常、図１８に図示するよう
に構成されている。図１８において、工作物１１２等が
搭載されるステージ１１０は、ベース（不図示）上に固
定されたガイド１１１上に駆動方向に滑動自在に支持さ
れ、ステージ１１０の両側に設けられたリニアモータ１
０１により駆動方向に駆動されるように構成されてい
る。リニアモータ１０１の固定子１０２は、６個のコイ
ル１０５を固定子枠１０４に固定して固定子ユニットを
構成し、固定子枠１０４は、ガイド１１１に沿ってその
両側に配設され、固定部材（不図示）によりベース（不
図示）に固定されている。また、リニアモータ１０１の
可動子１０３は、鉛直方向に着磁された４極の磁石１０
６とヨーク１０８ａまたは１０８ｂを一体にして、固定
子１０２のユニットの上下に配置され、固定子１０２と
非接触の状態でステージ１１０の両側に固定されてい
る。６個のコイル１０５は磁極ピッチの１．５倍のピッ
チでステージ１１０の駆動方向に配置されており、磁極
ピッチは磁束密度の基本波の１／２周期に相当するの
で、６個のコイル１０５のピッチは磁束密度の基本波の
０．７５周期に相当し、電気角では２７０度または−９
０度である。
は高精度加工装置等の精密位置決めステージの駆動に利
用されるリニアモータは、通常、図１８に図示するよう
に構成されている。図１８において、工作物１１２等が
搭載されるステージ１１０は、ベース（不図示）上に固
定されたガイド１１１上に駆動方向に滑動自在に支持さ
れ、ステージ１１０の両側に設けられたリニアモータ１
０１により駆動方向に駆動されるように構成されてい
る。リニアモータ１０１の固定子１０２は、６個のコイ
ル１０５を固定子枠１０４に固定して固定子ユニットを
構成し、固定子枠１０４は、ガイド１１１に沿ってその
両側に配設され、固定部材（不図示）によりベース（不
図示）に固定されている。また、リニアモータ１０１の
可動子１０３は、鉛直方向に着磁された４極の磁石１０
６とヨーク１０８ａまたは１０８ｂを一体にして、固定
子１０２のユニットの上下に配置され、固定子１０２と
非接触の状態でステージ１１０の両側に固定されてい
る。６個のコイル１０５は磁極ピッチの１．５倍のピッ
チでステージ１１０の駆動方向に配置されており、磁極
ピッチは磁束密度の基本波の１／２周期に相当するの
で、６個のコイル１０５のピッチは磁束密度の基本波の
０．７５周期に相当し、電気角では２７０度または−９
０度である。
【０００３】このような構成のリニアモータにおいて、
図示しないセンサによりコイル１０５と磁石１０６の相
対位置を検出しながら、２７０度または−９０度づつ離
れた位置にあるコイル１０５を選択し、そのコイル１０
５に順次適当な方向に電流を流して同一方向に駆動する
ように構成されている。電気角が直交するコイルを順次
切り替えるという意味では２相モータである。
図示しないセンサによりコイル１０５と磁石１０６の相
対位置を検出しながら、２７０度または−９０度づつ離
れた位置にあるコイル１０５を選択し、そのコイル１０
５に順次適当な方向に電流を流して同一方向に駆動する
ように構成されている。電気角が直交するコイルを順次
切り替えるという意味では２相モータである。
【０００４】また、図１９に図示するような他のリニア
モータも知られている。このリニアモータ２０１では、
積層鋼板で構成された上下のヨーク２０４ａ、２０４ｂ
を固定子２０２側に配置し、磁石２０６のみを可動にし
たものであり、可動部全体の軽量化を図っている。すな
わち、４極の磁石２０６をガイド１１１に沿って滑動可
能なステージ１１０の両側に支持部材２０７を介して固
定して可動子２０３とし、そして、上下のヨーク２０４
ａ、２０４ｂにそれぞれ複数の偏平コイル２０５を並設
して固定子２０２を構成し、複数の偏平コイル２０５と
ヨーク２０４ａ、２０４ｂを可動子２０３を上下から挟
むようにしてガイド１１の両側に沿って固定してある。
このリニアモータの作用動作は図１８に図示するものと
同じである。
モータも知られている。このリニアモータ２０１では、
積層鋼板で構成された上下のヨーク２０４ａ、２０４ｂ
を固定子２０２側に配置し、磁石２０６のみを可動にし
たものであり、可動部全体の軽量化を図っている。すな
わち、４極の磁石２０６をガイド１１１に沿って滑動可
能なステージ１１０の両側に支持部材２０７を介して固
定して可動子２０３とし、そして、上下のヨーク２０４
ａ、２０４ｂにそれぞれ複数の偏平コイル２０５を並設
して固定子２０２を構成し、複数の偏平コイル２０５と
ヨーク２０４ａ、２０４ｂを可動子２０３を上下から挟
むようにしてガイド１１の両側に沿って固定してある。
このリニアモータの作用動作は図１８に図示するものと
同じである。
【０００５】前述した図１８および図１９に図示するリ
ニアモータの場合、磁石面積の半分しかコイルに対面し
ていないので、磁石面積当たりのアンペアターンを稼ぐ
ことができない。このアンペアターンに関する対策とし
て、図２０および図２２に図示するようにコイルの一部
を重ねるように重複配置した構成が知られている。
ニアモータの場合、磁石面積の半分しかコイルに対面し
ていないので、磁石面積当たりのアンペアターンを稼ぐ
ことができない。このアンペアターンに関する対策とし
て、図２０および図２２に図示するようにコイルの一部
を重ねるように重複配置した構成が知られている。
【０００６】図２０に図示するリニアモータに用いられ
るコイルは、図２１に拡大して図示するように、Ａ相コ
イル３０５ａとＢ相コイル３０５ｂが、磁極ピッチの２
倍の長さを基準に互いに一部重なるように９０度ずれて
配置されている。なお、Ａ相コイルとＢ相コイルを単純
に重ねて配置したのでは、コイルの厚み分だけ磁石のエ
アギャップが増えるので、Ｂ相コイル３０５ｂの磁石と
対面する直線部の磁石面ｍを凹ませてＡ相コイル３０５
ａと面一になるようにしてある。
るコイルは、図２１に拡大して図示するように、Ａ相コ
イル３０５ａとＢ相コイル３０５ｂが、磁極ピッチの２
倍の長さを基準に互いに一部重なるように９０度ずれて
配置されている。なお、Ａ相コイルとＢ相コイルを単純
に重ねて配置したのでは、コイルの厚み分だけ磁石のエ
アギャップが増えるので、Ｂ相コイル３０５ｂの磁石と
対面する直線部の磁石面ｍを凹ませてＡ相コイル３０５
ａと面一になるようにしてある。
【０００７】このＢ相コイル３０５ｂのような段差付き
のコイルを作製するのは、先ず、図示しない芯に対して
巻線ｃを所定数巻きまわして、Ａ相コイル３０５ａと同
様の単純な偏平コイルを作る。この時、巻線ｃは固着せ
ず全体の形が崩れない程度に仮固定しておく。次に、こ
の偏平コイルを機械的に折り曲げて段差を形成し、そし
て、巻線ｃを固着して、段差付きコイルの完成となる。
なお、これらのコイルは、図１８に図示するコイル（１
０５）のような厚さを有するものにあっては、段差の付
いたＢ相コイルを作ることができないので、図１８に図
示するコイルの略半分の厚さのＡ相コイル３０５ａと段
差付きＢ相コイル３０５ｂを作製し、図２１に図示する
ように９０度ずらして配置してユニットコイル３０５ｕ
としてある。
のコイルを作製するのは、先ず、図示しない芯に対して
巻線ｃを所定数巻きまわして、Ａ相コイル３０５ａと同
様の単純な偏平コイルを作る。この時、巻線ｃは固着せ
ず全体の形が崩れない程度に仮固定しておく。次に、こ
の偏平コイルを機械的に折り曲げて段差を形成し、そし
て、巻線ｃを固着して、段差付きコイルの完成となる。
なお、これらのコイルは、図１８に図示するコイル（１
０５）のような厚さを有するものにあっては、段差の付
いたＢ相コイルを作ることができないので、図１８に図
示するコイルの略半分の厚さのＡ相コイル３０５ａと段
差付きＢ相コイル３０５ｂを作製し、図２１に図示する
ように９０度ずらして配置してユニットコイル３０５ｕ
としてある。
【０００８】図２０に図示するリニアモータ３０１は、
磁石のみを可動子とするタイプであり、ユニットコイル
３０５ｕを積層ヨーク３０４（３０４ａ、３０４ｂ）に
対して隣接配置したものを固定子ユニット３０２とし、
この固定子ユニット３０２を磁石３０６の上下から支持
手段（不図示）により支持固定したものであり、固定子
を上下２つに分けることによりコイルのトータル厚さを
稼いでいる。
磁石のみを可動子とするタイプであり、ユニットコイル
３０５ｕを積層ヨーク３０４（３０４ａ、３０４ｂ）に
対して隣接配置したものを固定子ユニット３０２とし、
この固定子ユニット３０２を磁石３０６の上下から支持
手段（不図示）により支持固定したものであり、固定子
を上下２つに分けることによりコイルのトータル厚さを
稼いでいる。
【０００９】また、図２２に図示するリニアモータ４０
１においては、上記のようなユニットコイル３０５ｕの
面一の面同士を貼り合わせてダブルコイルユニット３０
５ｗとし、このダブルコイルユニット３０５ｗを駆動方
向に隣接配置し、これらを図１８の固定子枠に相当する
不図示の固定手段で結合したものを固定子４０２として
いる。可動子４０３は、図１８に図示する構成とほぼ同
じであるが、上下のヨーク４０８ａ、４０８ｂにそれぞ
れ４極の磁石４０６を貼り付けたものを互いに磁石が対
面するように側板４０９ａ、４０９ｂで結合して箱状の
可動子４０３としている。この場合においても一度に分
厚い段差付きコイルを作ることができないので、厚さの
薄いユニットコイル３０５ｕを貼り合わせてダブルコイ
ルユニット３０５ｗとすることでコイルのトータル厚さ
を稼いでいる。
１においては、上記のようなユニットコイル３０５ｕの
面一の面同士を貼り合わせてダブルコイルユニット３０
５ｗとし、このダブルコイルユニット３０５ｗを駆動方
向に隣接配置し、これらを図１８の固定子枠に相当する
不図示の固定手段で結合したものを固定子４０２として
いる。可動子４０３は、図１８に図示する構成とほぼ同
じであるが、上下のヨーク４０８ａ、４０８ｂにそれぞ
れ４極の磁石４０６を貼り付けたものを互いに磁石が対
面するように側板４０９ａ、４０９ｂで結合して箱状の
可動子４０３としている。この場合においても一度に分
厚い段差付きコイルを作ることができないので、厚さの
薄いユニットコイル３０５ｕを貼り合わせてダブルコイ
ルユニット３０５ｗとすることでコイルのトータル厚さ
を稼いでいる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前述したようにリニア
モータ等に用いられる段差付きコイルの製造に際して、
コイル折り曲げ方式では、巻線を巻いてコイルを形成
し、これを固着しない状態でコイルを曲げ加工し、その
後に巻線を固着するという工程を要するため、コイルの
製造工程が煩雑になるという欠点があった。
モータ等に用いられる段差付きコイルの製造に際して、
コイル折り曲げ方式では、巻線を巻いてコイルを形成
し、これを固着しない状態でコイルを曲げ加工し、その
後に巻線を固着するという工程を要するため、コイルの
製造工程が煩雑になるという欠点があった。
【００１１】また、コイルの曲げ加工によって巻線にス
トレスがかかり絶縁の信頼性低下や断線が懸念されると
いう欠点がある。
トレスがかかり絶縁の信頼性低下や断線が懸念されると
いう欠点がある。
【００１２】さらに、分厚いコイルを曲げることは困難
であるために、分厚いコイルが必要な場合には、薄いコ
イルを個別に曲げてから結合して結線する必要があり、
コイルの個数が増えるとともに、組み立ての工数が増え
るという欠点がある。
であるために、分厚いコイルが必要な場合には、薄いコ
イルを個別に曲げてから結合して結線する必要があり、
コイルの個数が増えるとともに、組み立ての工数が増え
るという欠点がある。
【００１３】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、段差
付き偏平コイルの加工工数を低減し、そして、コイル単
体の信頼性を向上させることができ、さらに分厚いコイ
ルを作製可能にすることによる部品点数や組み立て工数
の低減を図ることができるリニアモータ用の段差付き偏
平コイルおよびその製造方法、ならびに該製造方法によ
り製造された段差付き偏平コイルを用いたリニアモータ
を提供することを目的とするものである。
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、段差
付き偏平コイルの加工工数を低減し、そして、コイル単
体の信頼性を向上させることができ、さらに分厚いコイ
ルを作製可能にすることによる部品点数や組み立て工数
の低減を図ることができるリニアモータ用の段差付き偏
平コイルおよびその製造方法、ならびに該製造方法によ
り製造された段差付き偏平コイルを用いたリニアモータ
を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の段差付きコイル製造方法は、導体箔をロー
ル状に巻回してロールコイルを作成する工程と、該ロー
ルコイルをワイヤカットで段差を形成するように段差付
きコイルを切り出す工程とを有することを特徴とする
前記段差付きコイルの直線部の厚さと段差を形成する屈
曲部の厚さが同じになるように切り出すことが望まし
い。また、前記段差付きコイルの段差部の寸法がコイル
の厚さよりも大きくなるように切り出されていることが
望ましい。
めの本発明の段差付きコイル製造方法は、導体箔をロー
ル状に巻回してロールコイルを作成する工程と、該ロー
ルコイルをワイヤカットで段差を形成するように段差付
きコイルを切り出す工程とを有することを特徴とする
前記段差付きコイルの直線部の厚さと段差を形成する屈
曲部の厚さが同じになるように切り出すことが望まし
い。また、前記段差付きコイルの段差部の寸法がコイル
の厚さよりも大きくなるように切り出されていることが
望ましい。
【００１５】切り出した段差付きコイルの切断面をエッ
チングすることが望ましい。
チングすることが望ましい。
【００１６】切り出した段差付きコイルの切断面に絶縁
材を形成することが望ましい。また、切り出した段差付
きコイルのうち、他のコイルと対面する箇所に絶縁材を
形成することが望ましい。さらに、前記絶縁材の形成
は、絶縁材の塗布、絶縁性のテープの貼付または絶縁板
の挿入により行うことが好ましい。
材を形成することが望ましい。また、切り出した段差付
きコイルのうち、他のコイルと対面する箇所に絶縁材を
形成することが望ましい。さらに、前記絶縁材の形成
は、絶縁材の塗布、絶縁性のテープの貼付または絶縁板
の挿入により行うことが好ましい。
【００１７】また、本発明の段差付きコイルは、直線部
と段差部を有する段差付きコイルであって、コイルに用
いられる導体は、導体箔を巻回した形状であることを特
徴とする。
と段差部を有する段差付きコイルであって、コイルに用
いられる導体は、導体箔を巻回した形状であることを特
徴とする。
【００１８】前記段差付きコイルは、導体箔を巻回した
ロールコイルからワイヤカットにより切り出されたこと
が望ましい。
ロールコイルからワイヤカットにより切り出されたこと
が望ましい。
【００１９】また、切り出した段差付きコイルの切断面
が、エッチング処理されていることが望ましい。また、
切り出した段差付きコイルの切断面に絶縁材を形成する
ことが望ましい。前記絶縁材の形成は、絶縁材の塗布、
絶縁性のテープの貼付または絶縁板の挿入により行うこ
とが好ましい。
が、エッチング処理されていることが望ましい。また、
切り出した段差付きコイルの切断面に絶縁材を形成する
ことが望ましい。前記絶縁材の形成は、絶縁材の塗布、
絶縁性のテープの貼付または絶縁板の挿入により行うこ
とが好ましい。
【００２０】また、上記の段差付きコイルを有すること
を特徴とするリニアモータも本発明の範疇である。
を特徴とするリニアモータも本発明の範疇である。
【００２１】前記段差付きコイルを含む少なくとも２つ
のコイルを一部重複するように配置したユニットコイル
を有することが望ましい。
のコイルを一部重複するように配置したユニットコイル
を有することが望ましい。
【００２２】前記コイルユニットのコイル同士が対面す
る箇所に絶縁材を構成することを特徴とする。
る箇所に絶縁材を構成することを特徴とする。
【００２３】前記コイルユニットは、ヨークに固定され
ており、コイルとヨーク間に絶縁材が構成されているこ
とが望ましい。
ており、コイルとヨーク間に絶縁材が構成されているこ
とが望ましい。
【００２４】また、本発明の別のリニアモータは、直線
部と段差部を有する段差付きコイルを含む少なくとも２
つのコイルを一部重複するように配置したユニットコイ
ルと、該ユニットコイルを固定するヨークとを備え、該
ユニットコイルとヨーク間に絶縁材が構成されているこ
とを特徴とする。
部と段差部を有する段差付きコイルを含む少なくとも２
つのコイルを一部重複するように配置したユニットコイ
ルと、該ユニットコイルを固定するヨークとを備え、該
ユニットコイルとヨーク間に絶縁材が構成されているこ
とを特徴とする。
【００２５】また、本発明の別のリニアモータは、直線
部と段差部を有する段差付きコイルを含む少なくとも２
つのコイルを一部重複するように配置したユニットコイ
ルを備え、該コイルユニットのコイル同士が対面する箇
所に絶縁材を構成する。
部と段差部を有する段差付きコイルを含む少なくとも２
つのコイルを一部重複するように配置したユニットコイ
ルを備え、該コイルユニットのコイル同士が対面する箇
所に絶縁材を構成する。
【００２６】可動子側に磁石を配設し、固定子側に前記
コイルを配設することが望ましい。
コイルを配設することが望ましい。
【００２７】また、上記のリニアモータを有するステー
ジ装置も本発明の範疇に入る。
ジ装置も本発明の範疇に入る。
【００２８】さらに、このステージ装置をレチクルステ
ージとウエハステージのうちの少なくとも一方に用いて
いる露光装置も本発明の範疇に入る。
ージとウエハステージのうちの少なくとも一方に用いて
いる露光装置も本発明の範疇に入る。
【００２９】加えて、この露光装置利用したするデバイ
ス製造方法も本発明の範疇に入る。
ス製造方法も本発明の範疇に入る。
【００３０】（作用）本発明によれば、段差付き偏平コ
イルと段差を有しない偏平コイルとを一部重複するよう
に配してユニットコイルとし、該ユニットコイルを複数
隣接配置してリニアモータ用固定子を構成する段差付き
偏平コイルを、導体箔をロール状に巻回したロールコイ
ルからワイヤカット等で段差を形成するように切り出し
て作製することにより、従来のようにコイルの曲げ加工
によって作製しないので、偏平コイルの製造工程を簡単
にすることができて加工工数を低減することができ、さ
らに、コイルのストレスをなくすことによる断線等のお
それがなくコイル単体の信頼性やリニアモータの信頼性
を向上させることができる。
イルと段差を有しない偏平コイルとを一部重複するよう
に配してユニットコイルとし、該ユニットコイルを複数
隣接配置してリニアモータ用固定子を構成する段差付き
偏平コイルを、導体箔をロール状に巻回したロールコイ
ルからワイヤカット等で段差を形成するように切り出し
て作製することにより、従来のようにコイルの曲げ加工
によって作製しないので、偏平コイルの製造工程を簡単
にすることができて加工工数を低減することができ、さ
らに、コイルのストレスをなくすことによる断線等のお
それがなくコイル単体の信頼性やリニアモータの信頼性
を向上させることができる。
【００３１】また、コイル厚さの厚い段差付き偏平コイ
ルを製作することが可能となり、これにより部品点数や
組み立て工数の低減を図ることができる。
ルを製作することが可能となり、これにより部品点数や
組み立て工数の低減を図ることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】＜実施形態１＞本発明の実施の形
態を図面に基づいて説明する。
態を図面に基づいて説明する。
【００３３】図１は、本発明に基づく段差付き偏平コイ
ルを組み込んだリニアモータの一例を図示する斜視図で
あり、図２ないし図４は段差付き偏平コイルおよび段差
を有しない偏平コイルの製造方法を説明する説明図であ
って、図２は導体箔によりロールコイルを作製する状態
を模式的に図示する斜視図であり、図３はロールコイル
から段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示する
工程図であり、図４は段差を有しないＡ相偏平コイルを
製造する工程を図示する工程図であり、そして、図５は
段差を有しないＡ相偏平コイルと段差付きＢ相偏平コイ
ルにより構成するコイルユニットの斜視図である。
ルを組み込んだリニアモータの一例を図示する斜視図で
あり、図２ないし図４は段差付き偏平コイルおよび段差
を有しない偏平コイルの製造方法を説明する説明図であ
って、図２は導体箔によりロールコイルを作製する状態
を模式的に図示する斜視図であり、図３はロールコイル
から段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示する
工程図であり、図４は段差を有しないＡ相偏平コイルを
製造する工程を図示する工程図であり、そして、図５は
段差を有しないＡ相偏平コイルと段差付きＢ相偏平コイ
ルにより構成するコイルユニットの斜視図である。
【００３４】最初に、コイルの段差を有しないＡ相偏平
コイルと段差付きＢ相偏平コイルの製造方法について、
図２ないし図４を参照して説明する。
コイルと段差付きＢ相偏平コイルの製造方法について、
図２ないし図４を参照して説明する。
【００３５】先ず、図２に図示するように、両面に絶縁
処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシート状の
導体箔ｆを芯ｓのまわりに所定巻数巻きまわして、ロー
ルコイルとし、そして、このロールコイルｒから芯ｓを
抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤により各層の導体
箔ｆを接着させて一体的に固着する。
処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシート状の
導体箔ｆを芯ｓのまわりに所定巻数巻きまわして、ロー
ルコイルとし、そして、このロールコイルｒから芯ｓを
抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤により各層の導体
箔ｆを接着させて一体的に固着する。
【００３６】そして、段差を有するＢ相偏平コイルの製
造に際しては、図３の（ａ）に図示するように、ワイヤ
カット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの側辺に概ね
平行となるように、ロールコイルｒをワイヤカット加工
機（不図示）に装着し、図３の（ａ）に図示するように
設定されている第１のワイヤ経路ｐ1 および第２のワイ
ヤ経路ｐ2 に沿ってワイヤｗを順次移動させてロールコ
イルｒを切断する。なお、これらのワイヤ経路ｐ1 およ
びｐ2 は、ロールコイルｒの中央部分に窪んだ部分を有
する経路であって、図３の（ｃ）に図示する形状のよう
に偏平コイルの全ての部分の厚さを一定とする偏平コイ
ルＣｂを得るに適した経路であり、これらの第１および
第２のワイヤ経路ｐ1 、ｐ2 の間隔は偏平コイルの直線
部の厚さｔ1 に対応する値に設定されている。その後、
図３の（ｂ）に図示するように、第１のワイヤ経路ｐ1
および第２のワイヤ経路ｐ2 に沿ってロールコイルｒの
切断を順次繰り返す。
造に際しては、図３の（ａ）に図示するように、ワイヤ
カット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの側辺に概ね
平行となるように、ロールコイルｒをワイヤカット加工
機（不図示）に装着し、図３の（ａ）に図示するように
設定されている第１のワイヤ経路ｐ1 および第２のワイ
ヤ経路ｐ2 に沿ってワイヤｗを順次移動させてロールコ
イルｒを切断する。なお、これらのワイヤ経路ｐ1 およ
びｐ2 は、ロールコイルｒの中央部分に窪んだ部分を有
する経路であって、図３の（ｃ）に図示する形状のよう
に偏平コイルの全ての部分の厚さを一定とする偏平コイ
ルＣｂを得るに適した経路であり、これらの第１および
第２のワイヤ経路ｐ1 、ｐ2 の間隔は偏平コイルの直線
部の厚さｔ1 に対応する値に設定されている。その後、
図３の（ｂ）に図示するように、第１のワイヤ経路ｐ1
および第２のワイヤ経路ｐ2 に沿ってロールコイルｒの
切断を順次繰り返す。
【００３７】このようなロールコイルｒの切断により、
図３の（ｃ）に図示するように、コイル厚みが一定のＢ
相偏平コイルＣｂと、斜線で示すコイル厚みの異なる不
要部分としてのコイル部材Ｃｘとが交互に切り取られ
る。ここで、Ｂ相偏平コイルＣｂにおいて、窪んだ部分
は磁石と対面する面であるので、以下、この面を磁石面
ｍと称し、この磁石面と反対側の面をヨーク面ｙと称す
ることにする。このように作製されたＢ相偏平コイルＣ
ｂにおいて、コイルの全ての部分の厚さを一定、すなわ
ち、図３の（ｃ）に示すように、直線部の厚さｔ1 と屈
曲部厚さｔ2 を同一にすると、ヨーク面ｙの直線部の長
さ（以下、単にヨーク面長さという。）ｌy は磁石面ｍ
の直線部の長さ（以下、単に磁石面長さという。）ｌm
より大きくなる。したがって、このようなＢ相偏平コイ
ルＣｂを切り出すためには前述したような２種類のワイ
ヤの経路ｐ1 、ｐ2 が必要となる。この結果、斜線で示
すコイル部材Ｃｘが不要部分として切り出され、このコ
イル部材Ｃｘは破棄することとなる。また、図３の
（ｃ）に示すように、段差の寸法ｄは、直線部の厚さｔ
1以上としないと磁気回路のエアギャップが増えるの
で、段差寸法ｄは、段差寸法ｄ＝コイル直線部の厚さｔ
1＋絶縁層の厚さ＋公差分となる程度に設計することが
好ましい。
図３の（ｃ）に図示するように、コイル厚みが一定のＢ
相偏平コイルＣｂと、斜線で示すコイル厚みの異なる不
要部分としてのコイル部材Ｃｘとが交互に切り取られ
る。ここで、Ｂ相偏平コイルＣｂにおいて、窪んだ部分
は磁石と対面する面であるので、以下、この面を磁石面
ｍと称し、この磁石面と反対側の面をヨーク面ｙと称す
ることにする。このように作製されたＢ相偏平コイルＣ
ｂにおいて、コイルの全ての部分の厚さを一定、すなわ
ち、図３の（ｃ）に示すように、直線部の厚さｔ1 と屈
曲部厚さｔ2 を同一にすると、ヨーク面ｙの直線部の長
さ（以下、単にヨーク面長さという。）ｌy は磁石面ｍ
の直線部の長さ（以下、単に磁石面長さという。）ｌm
より大きくなる。したがって、このようなＢ相偏平コイ
ルＣｂを切り出すためには前述したような２種類のワイ
ヤの経路ｐ1 、ｐ2 が必要となる。この結果、斜線で示
すコイル部材Ｃｘが不要部分として切り出され、このコ
イル部材Ｃｘは破棄することとなる。また、図３の
（ｃ）に示すように、段差の寸法ｄは、直線部の厚さｔ
1以上としないと磁気回路のエアギャップが増えるの
で、段差寸法ｄは、段差寸法ｄ＝コイル直線部の厚さｔ
1＋絶縁層の厚さ＋公差分となる程度に設計することが
好ましい。
【００３８】ワイヤカットによるロールコイルの切断
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
【００３９】たとえば、Ｂ相扁平コイルＣｂにおいて
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂの切断面に絶縁処理を
施し、Ｂ相偏平コイルＣｂの内周部に位置する導体箔ｆ
の巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終り部
ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等で付
けて、Ｂ相偏平コイルＣｂの単体が完成する。
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂの切断面に絶縁処理を
施し、Ｂ相偏平コイルＣｂの内周部に位置する導体箔ｆ
の巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終り部
ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等で付
けて、Ｂ相偏平コイルＣｂの単体が完成する。
【００４０】ところで、本発明のような２相リニアモー
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板１５をＡＢ相間に挿入して万全
を期すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入す
る樹脂などの絶縁板１５は、ＡＢ相間を電気的に絶縁す
るのに十分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイ
ルの直線部においても、図１のようにヨークと対面する
場合は、同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１６をヨ
ークとコイルの間に設けることが望ましい。このように
段差コイルの場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差
があるので２種類の絶縁板１５、１６を分離して設ける
構成となる。
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板１５をＡＢ相間に挿入して万全
を期すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入す
る樹脂などの絶縁板１５は、ＡＢ相間を電気的に絶縁す
るのに十分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイ
ルの直線部においても、図１のようにヨークと対面する
場合は、同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１６をヨ
ークとコイルの間に設けることが望ましい。このように
段差コイルの場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差
があるので２種類の絶縁板１５、１６を分離して設ける
構成となる。
【００４１】また、Ａ相偏平コイルの製造においては、
Ｂ相偏平コイルＣｂの製造時と同様に図２に図示するよ
うにロールコイルｒを作製し、このロールコイルｒを図
４の（ａ）に図示するようにワイヤカット加工機のワイ
ヤｗがロールコイルｒの側辺に概ね平行となるように、
ロールコイルｒをワイヤカット加工機（不図示）に装着
し、図４の（ａ）に図示する直線状のワイヤ経路ｐ0 に
沿ってワイヤｗを移動させてロールコイルｒを切断す
る。隣接するワイヤ経路ｐ0 の間隔はコイルの厚さｔ0
に対応する値に設定されている。そして、ワイヤｗのワ
イヤ経路ｐ0 に沿った切断を順次繰り返すことにより、
図４の（ｂ）および（ｃ）に図示するように、厚さｔ0
の偏平なＡ相偏平コイルＣａが得られる。なお、Ａ相偏
平コイルＣａの厚さｔ0 は、Ｂ相偏平コイルＣｂの直線
部の厚さｔ1 に略等しいものとすることが好ましい。そ
して、Ｂ相偏平コイルＣｂと同様に、Ａ相偏平コイルＣ
ａの切断面に絶縁処理を施し、Ａ相偏平コイルＣａの内
周部に位置する導体箔ｆの巻始め部ｆs と外周部に位置
する導体箔ｆの巻終り部ｆe にそれぞれ図示しないリー
ド線をはんだ付け等で付けて、Ａ相偏平コイルＣａの単
体が完成する。
Ｂ相偏平コイルＣｂの製造時と同様に図２に図示するよ
うにロールコイルｒを作製し、このロールコイルｒを図
４の（ａ）に図示するようにワイヤカット加工機のワイ
ヤｗがロールコイルｒの側辺に概ね平行となるように、
ロールコイルｒをワイヤカット加工機（不図示）に装着
し、図４の（ａ）に図示する直線状のワイヤ経路ｐ0 に
沿ってワイヤｗを移動させてロールコイルｒを切断す
る。隣接するワイヤ経路ｐ0 の間隔はコイルの厚さｔ0
に対応する値に設定されている。そして、ワイヤｗのワ
イヤ経路ｐ0 に沿った切断を順次繰り返すことにより、
図４の（ｂ）および（ｃ）に図示するように、厚さｔ0
の偏平なＡ相偏平コイルＣａが得られる。なお、Ａ相偏
平コイルＣａの厚さｔ0 は、Ｂ相偏平コイルＣｂの直線
部の厚さｔ1 に略等しいものとすることが好ましい。そ
して、Ｂ相偏平コイルＣｂと同様に、Ａ相偏平コイルＣ
ａの切断面に絶縁処理を施し、Ａ相偏平コイルＣａの内
周部に位置する導体箔ｆの巻始め部ｆs と外周部に位置
する導体箔ｆの巻終り部ｆe にそれぞれ図示しないリー
ド線をはんだ付け等で付けて、Ａ相偏平コイルＣａの単
体が完成する。
【００４２】本実施例において、ワイヤカットを用いた
理由は、メタルソーのような平板状の刃物を用いてロー
ルコイルをカットするのは、Ｂ相扁平コイルのように段
差を有するコイルのカットが幾何学的に不可能だからで
ある。また、Ａ相扁平コイルのように平らなコイルであ
れば、導体箔を切り出してコイル厚さに等しい幅ではく
と同じ厚みをもつ扁平な線にしてから巻き回すこともで
きるが、Ｂ相コイルのように段差のある形状では、導体
箔を切り出してから巻くという方法も困難であるからで
ある。
理由は、メタルソーのような平板状の刃物を用いてロー
ルコイルをカットするのは、Ｂ相扁平コイルのように段
差を有するコイルのカットが幾何学的に不可能だからで
ある。また、Ａ相扁平コイルのように平らなコイルであ
れば、導体箔を切り出してコイル厚さに等しい幅ではく
と同じ厚みをもつ扁平な線にしてから巻き回すこともで
きるが、Ｂ相コイルのように段差のある形状では、導体
箔を切り出してから巻くという方法も困難であるからで
ある。
【００４３】以上のようにそれぞれ作製されたＡ相偏平
コイルＣａとＢ相偏平コイルＣｂを、図５に図示するよ
うに、Ｂ相偏平コイルＣｂの窪んだ直線部の磁石面ｍが
Ａ相偏平コイルＣａの直線部の面と面一になるように、
磁極ピッチの２倍の寸法基準で９０度ずらして配置し、
これを１ユニットコイルＣｕとする。
コイルＣａとＢ相偏平コイルＣｂを、図５に図示するよ
うに、Ｂ相偏平コイルＣｂの窪んだ直線部の磁石面ｍが
Ａ相偏平コイルＣａの直線部の面と面一になるように、
磁極ピッチの２倍の寸法基準で９０度ずらして配置し、
これを１ユニットコイルＣｕとする。
【００４４】このように作製された段差を有しないＡ相
偏平コイルＣａと段差付きＢ相偏平コイルＣｂから構成
されるユニットコイルＣｕを組み込んだリニアモータの
一例を図１に図示する。本実施例のリニアモータ１は、
従来技術として前述した図２０に図示するリニアモータ
３０１におけるコイルの製造方法および素線断面形状が
異なっているが、その他の構成、形状およびその作用動
作において同じである。すなわち、図２０に図示するリ
ニアモータ３０１におけるコイルの素線断面は円形であ
るけれども、図１に図示するリニアモータ１における偏
平コイルＣａ、Ｃｂの素線断面形状は、アスペクト比が
非常に高い長方形に形成されている。
偏平コイルＣａと段差付きＢ相偏平コイルＣｂから構成
されるユニットコイルＣｕを組み込んだリニアモータの
一例を図１に図示する。本実施例のリニアモータ１は、
従来技術として前述した図２０に図示するリニアモータ
３０１におけるコイルの製造方法および素線断面形状が
異なっているが、その他の構成、形状およびその作用動
作において同じである。すなわち、図２０に図示するリ
ニアモータ３０１におけるコイルの素線断面は円形であ
るけれども、図１に図示するリニアモータ１における偏
平コイルＣａ、Ｃｂの素線断面形状は、アスペクト比が
非常に高い長方形に形成されている。
【００４５】図１において、工作物１２等が搭載される
ステージ１０は、ベース（不図示）上に固定されたガイ
ド１１上に駆動方向に滑動自在に支持され、ステージ１
０の両側に設けられたリニアモータ１により駆動方向に
駆動されるように構成されており、リニアモータ１の可
動子３は、鉛直方向に着磁された４極の磁石６を支持部
材７を介してステージ１０に固定され、また、リニアモ
ータの固定子２は、Ａ相偏平コイルＣａと段差付きＢ相
偏平コイルＣｂから構成されるユニットコイルＣｕを積
層ヨーク４（４ａ、４ｂ）に対して隣接配置したものを
固定子ユニットとし、この固定子ユニットを磁石６の上
下から支持手段（不図示）によりベース（不図示）に固
定したものである。
ステージ１０は、ベース（不図示）上に固定されたガイ
ド１１上に駆動方向に滑動自在に支持され、ステージ１
０の両側に設けられたリニアモータ１により駆動方向に
駆動されるように構成されており、リニアモータ１の可
動子３は、鉛直方向に着磁された４極の磁石６を支持部
材７を介してステージ１０に固定され、また、リニアモ
ータの固定子２は、Ａ相偏平コイルＣａと段差付きＢ相
偏平コイルＣｂから構成されるユニットコイルＣｕを積
層ヨーク４（４ａ、４ｂ）に対して隣接配置したものを
固定子ユニットとし、この固定子ユニットを磁石６の上
下から支持手段（不図示）によりベース（不図示）に固
定したものである。
【００４６】このように構成することにより、従来のよ
うにコイル曲げ加工によって段差付きコイルを作製しな
いので、コイルの製造工程を簡単にすることができ、コ
イルにストレスをかけることがないために絶縁の信頼性
低下や断線の心配がなく、コイル単体の信頼性を向上さ
せることができ、コイル曲げ加工に伴なう問題点のうち
コイル個数に起因するもの以外全てを克服することがで
きる。
うにコイル曲げ加工によって段差付きコイルを作製しな
いので、コイルの製造工程を簡単にすることができ、コ
イルにストレスをかけることがないために絶縁の信頼性
低下や断線の心配がなく、コイル単体の信頼性を向上さ
せることができ、コイル曲げ加工に伴なう問題点のうち
コイル個数に起因するもの以外全てを克服することがで
きる。
【００４７】なお、本発明においては、Ａ相扁平コイル
Ｃａと段差付きのＢ相扁平コイルＣｂとを組合せて用い
ているが、これに限るものではなく、両方とも段差付き
コイルとしても良い。
Ｃａと段差付きのＢ相扁平コイルＣｂとを組合せて用い
ているが、これに限るものではなく、両方とも段差付き
コイルとしても良い。
【００４８】＜実施形態２＞次に、本発明の第２の実施
例について図７を参照して説明する。
例について図７を参照して説明する。
【００４９】図７に図示するリニアモータ１Ａは、図２
２に図示するリニアモータ４０１におけるダブルコイル
ユニット３０５ｗに代えて、図５に図示するユニットコ
イルＣｕで構成するダブルコイルユニットＣｗを用いた
ものであり、リニアモータとしての作用動作は同じであ
る。
２に図示するリニアモータ４０１におけるダブルコイル
ユニット３０５ｗに代えて、図５に図示するユニットコ
イルＣｕで構成するダブルコイルユニットＣｗを用いた
ものであり、リニアモータとしての作用動作は同じであ
る。
【００５０】すなわち、本実施例では、図５に図示する
ユニットコイルＣｕの面一のヨーク面同士を貼り合わせ
てダブルコイルユニットＣｗとし、このダブルコイルユ
ニットＣｗを駆動方向に隣接配置し、これらを不図示の
固定子枠等の固定手段で結合したものを固定子２とし、
可動子３は、図７の（ｂ）に図示するように、ヨーク上
８ａおよびヨーク下８ｂにそれぞれ４極の磁石６を貼り
付けたものを互いに磁石が対面するように側板９ａ、９
ｂで結合して箱状の可動子とし、これをステージ１０の
両側に固定している。
ユニットコイルＣｕの面一のヨーク面同士を貼り合わせ
てダブルコイルユニットＣｗとし、このダブルコイルユ
ニットＣｗを駆動方向に隣接配置し、これらを不図示の
固定子枠等の固定手段で結合したものを固定子２とし、
可動子３は、図７の（ｂ）に図示するように、ヨーク上
８ａおよびヨーク下８ｂにそれぞれ４極の磁石６を貼り
付けたものを互いに磁石が対面するように側板９ａ、９
ｂで結合して箱状の可動子とし、これをステージ１０の
両側に固定している。
【００５１】本実施例においても、コイル曲げ加工に伴
なう問題点のうちコイル個数に起因するもの以外全てを
克服することができる。
なう問題点のうちコイル個数に起因するもの以外全てを
克服することができる。
【００５２】なお、本実施例においても、前述した実施
形態と同様に、ワイヤカットによるロールコイルの切断
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
形態と同様に、ワイヤカットによるロールコイルの切断
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
【００５３】ところで、本発明のようなリニアモータで
は、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平コイ
ルＣｂ）は磁石面以外の部分が重なるように配置される
ため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が対面
する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コイル
Ｃｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡を防
ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面に前
記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上で、さ
らに図８のように、0.2mm程度あるいはそれ以上の厚さ
の樹脂等の絶縁板１７をＡＢ相間に挿入して万全を期す
ことが望ましい。このＡＢ相間に挿入する樹脂などの絶
縁板１７は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十分な厚
さ・材料で構成する。また、コイルの直線部において
も、図８のようにコイル同士が対面する場合は、同様
に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１８をコイルとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板１７、１８を分離して設ける構成となる。
は、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平コイ
ルＣｂ）は磁石面以外の部分が重なるように配置される
ため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が対面
する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コイル
Ｃｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡を防
ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面に前
記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上で、さ
らに図８のように、0.2mm程度あるいはそれ以上の厚さ
の樹脂等の絶縁板１７をＡＢ相間に挿入して万全を期す
ことが望ましい。このＡＢ相間に挿入する樹脂などの絶
縁板１７は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十分な厚
さ・材料で構成する。また、コイルの直線部において
も、図８のようにコイル同士が対面する場合は、同様
に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１８をコイルとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板１７、１８を分離して設ける構成となる。
【００５４】＜実施形態３＞次に、本発明の第３の実施
例について図９および図１０を参照して説明する。
例について図９および図１０を参照して説明する。
【００５５】本実施例は、図１に図示する第１の実施例
の変形例であり、第１の実施例では、厚さの薄いユニッ
トコイルＣｕ（図５）を上下のヨーク４ａ、４ｂに対し
て隣接配置したものを固定子ユニットとして可動磁石６
の上下から挟み込むように配置しているけれども、本実
施例では、図１０に示すように、図５に図示する偏平コ
イルＣａ、Ｃｂの２倍の厚さでＡ相偏平コイルＣａ2 と
Ｂ相偏平コイルＣｂ2をロールコイルｒから切り出し
て、これらを、９０度ずらして配置して、ユニットコイ
ルＣｕ2 として使用するものであり、そして、ヨーク下
４ｂに対しては分厚いユニットコイルＣｕ2 を隣接配置
してあるが、ヨーク上４ａにはコイルを配設しないもの
を用い、これらを可動磁石６を上下から挟むように固定
してある。
の変形例であり、第１の実施例では、厚さの薄いユニッ
トコイルＣｕ（図５）を上下のヨーク４ａ、４ｂに対し
て隣接配置したものを固定子ユニットとして可動磁石６
の上下から挟み込むように配置しているけれども、本実
施例では、図１０に示すように、図５に図示する偏平コ
イルＣａ、Ｃｂの２倍の厚さでＡ相偏平コイルＣａ2 と
Ｂ相偏平コイルＣｂ2をロールコイルｒから切り出し
て、これらを、９０度ずらして配置して、ユニットコイ
ルＣｕ2 として使用するものであり、そして、ヨーク下
４ｂに対しては分厚いユニットコイルＣｕ2 を隣接配置
してあるが、ヨーク上４ａにはコイルを配設しないもの
を用い、これらを可動磁石６を上下から挟むように固定
してある。
【００５６】Ａ相偏平コイルＣａ2 およびＢ相偏平コイ
ルＣｂ2 は、図４および図３にそれぞれ図示するような
コイル切り出し方式において、隣接するワイヤ経路ｐ0
（図４）の間隔およびワイヤ経路ｐ1 とワイヤ経路ｐ2
（図３）の間隔を適宜設定することにより所望の厚さの
コイルを作製することができるので、その厚さの制限が
なく、図１０に図示するような分厚いＡ相偏平コイルＣ
ａ2 および分厚い段差付きＢ相偏平コイルＣｂ2 を作製
することが可能である。
ルＣｂ2 は、図４および図３にそれぞれ図示するような
コイル切り出し方式において、隣接するワイヤ経路ｐ0
（図４）の間隔およびワイヤ経路ｐ1 とワイヤ経路ｐ2
（図３）の間隔を適宜設定することにより所望の厚さの
コイルを作製することができるので、その厚さの制限が
なく、図１０に図示するような分厚いＡ相偏平コイルＣ
ａ2 および分厚い段差付きＢ相偏平コイルＣｂ2 を作製
することが可能である。
【００５７】なお、本実施例においても、前述した実施
形態と同様に、ワイヤカットによるロールコイルの切断
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
形態と同様に、ワイヤカットによるロールコイルの切断
後、コイルの切断面をエッチングすることによって、切
断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除去する
ことができる。さらに、短絡が除去された切断面に対し
て絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープを貼り
付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの内周部
に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する導体箔
の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け
等で付けて、コイルの単体が完成する。
【００５８】ところで、本発明のようなリニアモータで
も、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平コイ
ルＣｂ）は磁石面以外の部分が重なるように配置される
ため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が対面
する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コイル
Ｃｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡を防
ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面に前
記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上で、さ
らに図１１のように、0.2mm程度あるいはそれ以上の厚
さの樹脂等の絶縁板１５をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。このＡＢ相間に挿入する樹脂などの
絶縁板１５は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十分な
厚さ・材料で構成する。また、コイルの直線部において
も、図１１のようにコイル同士が対面する場合は、同様
に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１６をコイルとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板１５、１６を分離して設ける構成となる。
も、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平コイ
ルＣｂ）は磁石面以外の部分が重なるように配置される
ため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が対面
する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コイル
Ｃｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡を防
ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面に前
記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上で、さ
らに図１１のように、0.2mm程度あるいはそれ以上の厚
さの樹脂等の絶縁板１５をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。このＡＢ相間に挿入する樹脂などの
絶縁板１５は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十分な
厚さ・材料で構成する。また、コイルの直線部において
も、図１１のようにコイル同士が対面する場合は、同様
に、絶縁塗装などに加えて絶縁板１６をコイルとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板１５、１６を分離して設ける構成となる。
【００５９】本実施例においては、図１に図示する第１
の実施例の奏する効果に加えて、コイルの個数を減少さ
せることができるため、コイル組み立て工数や接続の工
数が低減できるという効果がある。
の実施例の奏する効果に加えて、コイルの個数を減少さ
せることができるため、コイル組み立て工数や接続の工
数が低減できるという効果がある。
【００６０】＜実施形態４＞次に、本発明の第４の実施
例について図１２を参照して説明する。
例について図１２を参照して説明する。
【００６１】本実施例は、図７に図示する第２の実施例
の変形例である。第２の実施例では、厚さの薄いユニッ
トコイルＣｕを貼り合わせてダブルコイルユニットＣｗ
とし、このダブルコイルユニットＣｗを駆動方向に隣接
配置し、これらを固定子枠等の固定手段（不図示）で結
合したものを固定子２としているが、本実施例では、こ
のダブルコイルユニットＣｗに代えて、図１０に図示す
る分厚いユニットコイルＣｕ2 を貼り合わせることなく
単独で使用するものである。その他の構成については、
図７に図示する第２の実施例と同じである。
の変形例である。第２の実施例では、厚さの薄いユニッ
トコイルＣｕを貼り合わせてダブルコイルユニットＣｗ
とし、このダブルコイルユニットＣｗを駆動方向に隣接
配置し、これらを固定子枠等の固定手段（不図示）で結
合したものを固定子２としているが、本実施例では、こ
のダブルコイルユニットＣｗに代えて、図１０に図示す
る分厚いユニットコイルＣｕ2 を貼り合わせることなく
単独で使用するものである。その他の構成については、
図７に図示する第２の実施例と同じである。
【００６２】本実施例においても、前述したように、Ａ
相偏平コイルＣａ2 およびＢ相偏平コイルＣｂ2 は、図
３および図４にそれぞれ図示するようなコイル切り出し
方式において、隣接するワイヤ経路ｐ0 （図４）の間隔
およびワイヤ経路ｐ1 とワイヤ経路ｐ2 （図３）の間隔
を適宜設定することにより所望の厚さのコイルを作製す
ることができるので、その厚さの制限がなく、図１０に
図示するような分厚いＡ相偏平コイルＣａ2 および分厚
い段差付きＢ相偏平コイルＣｂ2 を作製することが可能
となる。
相偏平コイルＣａ2 およびＢ相偏平コイルＣｂ2 は、図
３および図４にそれぞれ図示するようなコイル切り出し
方式において、隣接するワイヤ経路ｐ0 （図４）の間隔
およびワイヤ経路ｐ1 とワイヤ経路ｐ2 （図３）の間隔
を適宜設定することにより所望の厚さのコイルを作製す
ることができるので、その厚さの制限がなく、図１０に
図示するような分厚いＡ相偏平コイルＣａ2 および分厚
い段差付きＢ相偏平コイルＣｂ2 を作製することが可能
となる。
【００６３】そして、本実施例では、図７に図示する第
２の実施例の奏する効果に加えて、コイルの個数を減少
させることができるため、コイル組み立て工数や接続の
工数が低減できるという効果がある。
２の実施例の奏する効果に加えて、コイルの個数を減少
させることができるため、コイル組み立て工数や接続の
工数が低減できるという効果がある。
【００６４】＜実施形態５＞次に、本発明の第５の実施
例につき説明するに、本実施例の特徴は、段差付きＢ相
偏平コイルの製造方法にあり、以下、図１３を参照して
説明する。
例につき説明するに、本実施例の特徴は、段差付きＢ相
偏平コイルの製造方法にあり、以下、図１３を参照して
説明する。
【００６５】先ず、図２に関連して前述したように、両
面に絶縁処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシ
ート状の導体箔ｆを図示しない芯のまわりに所定数巻き
回して、ロールコイルｒとし、そして、このロールコイ
ルｒから芯を抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤によ
り各層の箔を接着させて一体的に固着する。
面に絶縁処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシ
ート状の導体箔ｆを図示しない芯のまわりに所定数巻き
回して、ロールコイルｒとし、そして、このロールコイ
ルｒから芯を抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤によ
り各層の箔を接着させて一体的に固着する。
【００６６】そして、図１３の（ａ）に図示するよう
に、ワイヤカット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの
側辺に概ね平行となるように、ロールコイルｒをワイヤ
カット加工機（不図示）に装着し、図１３の（ａ）に図
示するように唯１種類のワイヤ経路ｐ5 に沿ってワイヤ
ｗを移動させてロールコイルｒを切断し、その後、隣接
するワイヤ経路ｐ5 の間隔をコイルの直線部の厚さｔ1
に対応する値に設定して同様に順次繰り返してロールコ
イルｒを切断する。これは、図１３の（ｃ）に示すよう
に、ヨーク面ｙのヨーク面長さｌy と磁石面ｍの磁石面
長さｌm を等しくするようにＢ相偏平コイルＣｂ3 を設
計することにより可能となる。
に、ワイヤカット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの
側辺に概ね平行となるように、ロールコイルｒをワイヤ
カット加工機（不図示）に装着し、図１３の（ａ）に図
示するように唯１種類のワイヤ経路ｐ5 に沿ってワイヤ
ｗを移動させてロールコイルｒを切断し、その後、隣接
するワイヤ経路ｐ5 の間隔をコイルの直線部の厚さｔ1
に対応する値に設定して同様に順次繰り返してロールコ
イルｒを切断する。これは、図１３の（ｃ）に示すよう
に、ヨーク面ｙのヨーク面長さｌy と磁石面ｍの磁石面
長さｌm を等しくするようにＢ相偏平コイルＣｂ3 を設
計することにより可能となる。
【００６７】これにより、図１３の（ｃ）のように、コ
イルの屈曲部の厚さｔ2 が直線部の厚さｔ1 よりやや薄
いＢ相偏平コイルＣｂ3 のみが切り取られる。この副作
用としては、屈曲部の厚さｔ2 が直線部の厚さｔ1 より
やや薄くなるので、その分抵抗が増え、発熱が増えるこ
とになる。その代わりに、図３に図示するような不要部
分Ｃｘがでないので、材料がほとんど全てＢ相偏平コイ
ルＣｂ3 として使用することができ、破棄すべき部分が
ほとんどなくなる。
イルの屈曲部の厚さｔ2 が直線部の厚さｔ1 よりやや薄
いＢ相偏平コイルＣｂ3 のみが切り取られる。この副作
用としては、屈曲部の厚さｔ2 が直線部の厚さｔ1 より
やや薄くなるので、その分抵抗が増え、発熱が増えるこ
とになる。その代わりに、図３に図示するような不要部
分Ｃｘがでないので、材料がほとんど全てＢ相偏平コイ
ルＣｂ3 として使用することができ、破棄すべき部分が
ほとんどなくなる。
【００６８】そして、ワイヤカットによるロールコイル
の切断後、コイルの切断面をエッチングすることによっ
て、切断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除
去することができる。さらに、短絡が除去された切断面
に対して絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープ
を貼り付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの
内周部に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する
導体箔の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはん
だ付け等で付けて、コイルの単体が完成する。
の切断後、コイルの切断面をエッチングすることによっ
て、切断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除
去することができる。さらに、短絡が除去された切断面
に対して絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープ
を貼り付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの
内周部に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する
導体箔の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはん
だ付け等で付けて、コイルの単体が完成する。
【００６９】たとえば、Ｂ相扁平コイルＣｂにおいて
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂの切断面に絶縁処理を
施し、Ｂ相偏平コイルＣｂの内周部に位置する導体箔ｆ
の巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終り部
ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等で付
けて、Ｂ相偏平コイルＣｂの単体が完成する。
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂの切断面に絶縁処理を
施し、Ｂ相偏平コイルＣｂの内周部に位置する導体箔ｆ
の巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終り部
ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等で付
けて、Ｂ相偏平コイルＣｂの単体が完成する。
【００７０】ところで、本発明のような２相リニアモー
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入する樹
脂などの絶縁板は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十
分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイルの直線
部においても、図１のようにヨークと対面する場合は、
同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板をヨークとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板を分離して設ける構成となる。
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入する樹
脂などの絶縁板は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十
分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイルの直線
部においても、図１のようにヨークと対面する場合は、
同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板をヨークとコイル
の間に設けることが望ましい。このように段差コイルの
場合はコイルの直線部と端のＲ部とで段差があるので２
種類の絶縁板を分離して設ける構成となる。
【００７１】本実施例により製造されるＢ相偏平コイル
Ｃｂ3 は、前述した実施例の全てのリニアモータに適用
可能である。
Ｃｂ3 は、前述した実施例の全てのリニアモータに適用
可能である。
【００７２】そして、本実施例特有の効果としては、材
料の有効利用ができ、材料コストが低減し、また、ワイ
ヤカット加工機におけるワイヤ経路が１種類ですむので
加工コストを低減することができる。また、本実施例に
より作製されるＢ相偏平コイルＣｂ3 は、隙間なく重ね
ることができるので、薄く切り出したＢ相偏平コイルＣ
ｂ3 の磁石面ｍとヨーク面ｙを対面させて重ね、等価的
に分厚いコイルとすることができる。図３に図示する方
法で作製されたＢ相偏平コイルＣｂの形状では、図７に
図示するようにヨーク面同士を対面させることしかでき
ないので、せいぜい２つしか重ねられないが、本実施例
におけるＢ相偏平コイルＣｂ3 の形状ではいくつでも重
ねることが可能である。さらに、破棄すべき不要部分が
でないので、破棄物が少なくなり環境に優しい製造方法
である。
料の有効利用ができ、材料コストが低減し、また、ワイ
ヤカット加工機におけるワイヤ経路が１種類ですむので
加工コストを低減することができる。また、本実施例に
より作製されるＢ相偏平コイルＣｂ3 は、隙間なく重ね
ることができるので、薄く切り出したＢ相偏平コイルＣ
ｂ3 の磁石面ｍとヨーク面ｙを対面させて重ね、等価的
に分厚いコイルとすることができる。図３に図示する方
法で作製されたＢ相偏平コイルＣｂの形状では、図７に
図示するようにヨーク面同士を対面させることしかでき
ないので、せいぜい２つしか重ねられないが、本実施例
におけるＢ相偏平コイルＣｂ3 の形状ではいくつでも重
ねることが可能である。さらに、破棄すべき不要部分が
でないので、破棄物が少なくなり環境に優しい製造方法
である。
【００７３】＜実施形態６＞次に、本発明の第６の実施
例につき説明する。本実施例の特徴は、段差付きＢ相偏
平コイルの製造方法にあり、以下、図１４を参照して説
明する。
例につき説明する。本実施例の特徴は、段差付きＢ相偏
平コイルの製造方法にあり、以下、図１４を参照して説
明する。
【００７４】先ず、図２に関連して前述したように、両
面に絶縁処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシ
ート状の導体箔ｆを図示しない芯のまわりに所定数巻き
回して、ロールコイルｒとし、そして、このロールコイ
ルｒから芯を抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤によ
り各層の箔を接着させて一体的に固着する。
面に絶縁処理および熱硬化性接着剤塗布処理を施したシ
ート状の導体箔ｆを図示しない芯のまわりに所定数巻き
回して、ロールコイルｒとし、そして、このロールコイ
ルｒから芯を抜いた後、熱を加えて熱硬化性接着剤によ
り各層の箔を接着させて一体的に固着する。
【００７５】そして、図１４の（ａ）に図示するよう
に、ワイヤカット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの
側辺に概ね平行となるように、ロールコイルｒをワイヤ
カット加工機（不図示）に装着し、図１４の（ａ）に図
示する第１のワイヤ経路ｐ6 および第２のワイヤ経路ｐ
7 に沿ってワイヤｗを移動させてロールコイルｒを切断
し、その後、同様に順次繰り返してロールコイルｒを切
断する。本実施例では、第１のワイヤ経路ｐ6 と第２の
ワイヤ経路ｐ7 は、その切断面がコイル中心軸ｏに対し
て垂直な面と平行な面だけで構成されるように設定され
ており、各ワイヤ経路の間隔は、コイルの厚さに対応す
る値である。
に、ワイヤカット加工機のワイヤｗがロールコイルｒの
側辺に概ね平行となるように、ロールコイルｒをワイヤ
カット加工機（不図示）に装着し、図１４の（ａ）に図
示する第１のワイヤ経路ｐ6 および第２のワイヤ経路ｐ
7 に沿ってワイヤｗを移動させてロールコイルｒを切断
し、その後、同様に順次繰り返してロールコイルｒを切
断する。本実施例では、第１のワイヤ経路ｐ6 と第２の
ワイヤ経路ｐ7 は、その切断面がコイル中心軸ｏに対し
て垂直な面と平行な面だけで構成されるように設定され
ており、各ワイヤ経路の間隔は、コイルの厚さに対応す
る値である。
【００７６】これにより、図１４の（ｃ）のように、切
断面がコイル中心軸ｏに対して垂直な面と平行な面だけ
で構成されるＢ相偏平コイルＣｂ4 と、１個のＢ相偏平
コイルＣｂ4 あたり４個の不要部分Ｃｙが切り取られ
る。これらの４個の不要部分Ｃｙは使用されずに破棄さ
れる。
断面がコイル中心軸ｏに対して垂直な面と平行な面だけ
で構成されるＢ相偏平コイルＣｂ4 と、１個のＢ相偏平
コイルＣｂ4 あたり４個の不要部分Ｃｙが切り取られ
る。これらの４個の不要部分Ｃｙは使用されずに破棄さ
れる。
【００７７】そして、ワイヤカットによるロールコイル
の切断後、コイルの切断面をエッチングすることによっ
て、切断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除
去することができる。さらに、短絡が除去された切断面
に対して絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープ
を貼り付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの
内周部に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する
導体箔の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはん
だ付け等で付けて、コイルの単体が完成する。
の切断後、コイルの切断面をエッチングすることによっ
て、切断に伴う層間バリや切り子による層間の短絡を除
去することができる。さらに、短絡が除去された切断面
に対して絶縁性の樹脂を塗布する、または絶縁性テープ
を貼り付けるなどの絶縁処理を施す。そして、コイルの
内周部に位置する導体箔の巻始め部と外周部に位置する
導体箔の巻終り部にそれぞれ図示しないリード線をはん
だ付け等で付けて、コイルの単体が完成する。
【００７８】たとえば、Ｂ相扁平コイルＣｂ４において
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂ４の切断面に絶縁処理
を施し、Ｂ相偏平コイルＣｂ４の内周部に位置する導体
箔ｆの巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終
り部ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等
で付けて、Ｂ相偏平コイルＣｂ４の単体が完成する。
は、切断後にＢ相偏平コイルＣｂ４の切断面に絶縁処理
を施し、Ｂ相偏平コイルＣｂ４の内周部に位置する導体
箔ｆの巻始め部ｆs と外周部に位置する導体箔ｆの巻終
り部ｆe にそれぞれ図示しないリード線をはんだ付け等
で付けて、Ｂ相偏平コイルＣｂ４の単体が完成する。
【００７９】ところで、本発明のような２相リニアモー
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入する樹
脂などの絶縁板は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十
分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイルの直線
部においても、図１、図９のようにヨークと対面する場
合は、同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板をヨークと
コイルの間に設けることが望ましい。
タでは、２相のコイル（Ａ相扁平コイルＣａ・Ｂ相扁平
コイルＣｂ）の磁石面以外の部分が重なるように配置さ
れるため、コイルの両端のＲ部分は２つのコイル同士が
対面する。このため、Ａ相扁平コイルＣａとＢ相扁平コ
イルＣｂが対面する部分の絶縁処理は、ＡＢ相間の短絡
を防ぐため、特に必要である。よって、コイルの切断面
に前記絶縁樹脂塗布や絶縁テープ貼り付けを施した上
で、さらに図６のように、0.2mm程度あるいはそれ以上
の厚さの樹脂等の絶縁板をＡＢ相間に挿入して万全を期
すことが望ましい。つまり、このＡＢ相間に挿入する樹
脂などの絶縁板は、ＡＢ相間を電気的に絶縁するのに十
分な厚さ・材料で構成すれば良い。また、コイルの直線
部においても、図１、図９のようにヨークと対面する場
合は、同様に、絶縁塗装などに加えて絶縁板をヨークと
コイルの間に設けることが望ましい。
【００８０】本実施例により製造されたＢ相偏平コイル
Ｃｂ4 は、前述した第１ないし第４の実施例の全てのリ
ニアモータに適用可能である。そして、本実施例により
製造されたＢ相偏平コイルＣｂ4 は、図３や図１３に図
示するＢ相偏平コイルＣｂ、Ｃｂ3 に比べて屈曲部の断
面積が大きいので、全体の抵抗を低減することができ、
発熱も低減できるという特有の効果がある。
Ｃｂ4 は、前述した第１ないし第４の実施例の全てのリ
ニアモータに適用可能である。そして、本実施例により
製造されたＢ相偏平コイルＣｂ4 は、図３や図１３に図
示するＢ相偏平コイルＣｂ、Ｃｂ3 に比べて屈曲部の断
面積が大きいので、全体の抵抗を低減することができ、
発熱も低減できるという特有の効果がある。
【００８１】＜露光装置の実施形態＞次に前述した実施
形態のリニアモータを利用したステージ装置を搭載した
走査型露光装置の実施形態を、図１５を用いて説明す
る。
形態のリニアモータを利用したステージ装置を搭載した
走査型露光装置の実施形態を、図１５を用いて説明す
る。
【００８２】鏡筒定盤９６は床または基盤９１からダン
パ９８を介して支持されている。また鏡筒定盤９６は、
レチクル定盤９４を支持すると共に、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の間に位置する投影光学系９
７を支持している。
パ９８を介して支持されている。また鏡筒定盤９６は、
レチクル定盤９４を支持すると共に、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の間に位置する投影光学系９
７を支持している。
【００８３】ウエハステージは、床または基盤から支持
されたステージ定盤上に支持され、ウエハを載置して位
置決めを行う。また、レチクルステージは、鏡筒定盤に
支持されたレチクルステージ定盤上に支持され、回路パ
ターンが形成されたレチクルを搭載して移動可能であ
る。レチクルステージ９５上に搭載されたレチクルをウ
エハステージ９３上のウエハに露光する露光光は、照明
光学系９９から発生される。
されたステージ定盤上に支持され、ウエハを載置して位
置決めを行う。また、レチクルステージは、鏡筒定盤に
支持されたレチクルステージ定盤上に支持され、回路パ
ターンが形成されたレチクルを搭載して移動可能であ
る。レチクルステージ９５上に搭載されたレチクルをウ
エハステージ９３上のウエハに露光する露光光は、照明
光学系９９から発生される。
【００８４】なお、ウエハステージ９３は、レチクルス
テージ９５と同期して走査される。レチクルステージ９
５とウエハステージ９３の走査中、両者の位置はそれぞ
れ干渉計によって継続的に検出され、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の駆動部にそれぞれフィード
バックされる。これによって、両者の走査開始位置を正
確に同期させるとともに、定速走査領域の走査速度を高
精度で制御することができる。投影光学系に対して両者
が走査している間に、ウエハ上にはレチクルパターンが
露光され、回路パターンが転写される。
テージ９５と同期して走査される。レチクルステージ９
５とウエハステージ９３の走査中、両者の位置はそれぞ
れ干渉計によって継続的に検出され、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の駆動部にそれぞれフィード
バックされる。これによって、両者の走査開始位置を正
確に同期させるとともに、定速走査領域の走査速度を高
精度で制御することができる。投影光学系に対して両者
が走査している間に、ウエハ上にはレチクルパターンが
露光され、回路パターンが転写される。
【００８５】本実施形態では、前述の実施形態のリニア
モータをレチクルステージとウエハステージの少なくと
も一方に利用しているため、少ない発熱で、高速・高精
度な露光が可能となる。
モータをレチクルステージとウエハステージの少なくと
も一方に利用しているため、少ない発熱で、高速・高精
度な露光が可能となる。
【００８６】＜半導体デバイスの製造方法＞次に上記説
明した露光装置を利用した半導体デバイスの製造方法の
実施例を説明する。図１６は半導体デバイス（ＩＣやＬ
ＳＩ等の半導体チップ、あるいは液晶パネルやＣＣＤ
等）の製造フローを示す。ステップ１（回路設計）では
半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ２（マス
ク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを
製作する。ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の
材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプ
ロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエ
ハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際
の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は後工程と
呼ばれ、ステップ１４によって作製されたウエハを用い
て半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程
（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程
（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）で
はステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テ
スト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を
経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップＳ
７）される。
明した露光装置を利用した半導体デバイスの製造方法の
実施例を説明する。図１６は半導体デバイス（ＩＣやＬ
ＳＩ等の半導体チップ、あるいは液晶パネルやＣＣＤ
等）の製造フローを示す。ステップ１（回路設計）では
半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ２（マス
ク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを
製作する。ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の
材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプ
ロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエ
ハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際
の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は後工程と
呼ばれ、ステップ１４によって作製されたウエハを用い
て半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程
（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程
（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）で
はステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テ
スト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を
経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップＳ
７）される。
【００８７】図１７は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ１６（露光）では上記説明した露光装置によって
マスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステッ
プ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステッ
プ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部
分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッ
チングが済んで不要となったレジストを取り除く。これ
らのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上
に多重に回路パターンが形成される。本実施例の製造方
法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導
体デバイスを製造することができる。
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ１６（露光）では上記説明した露光装置によって
マスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステッ
プ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステッ
プ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部
分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッ
チングが済んで不要となったレジストを取り除く。これ
らのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上
に多重に回路パターンが形成される。本実施例の製造方
法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導
体デバイスを製造することができる。
【００８８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
段差付き偏平コイルの加工工数を低減することができ、
さらに、コイルのストレスをなくすことによる断線等の
おそれがなくコイル単体の信頼性を向上させることがで
きる。
段差付き偏平コイルの加工工数を低減することができ、
さらに、コイルのストレスをなくすことによる断線等の
おそれがなくコイル単体の信頼性を向上させることがで
きる。
【００８９】また、コイル厚さの厚い段差付き偏平コイ
ルを製作することが可能となり、これにより部品点数お
よび組み立て工数の低減を図ることができる。
ルを製作することが可能となり、これにより部品点数お
よび組み立て工数の低減を図ることができる。
【図１】（ａ）は、本発明に基づく段差付き偏平コイル
を組み込んだリニアモータの一例を図示する斜視図であ
り、（ｂ）は、リニアモータの一部を省略して示す斜視
図である。
を組み込んだリニアモータの一例を図示する斜視図であ
り、（ｂ）は、リニアモータの一部を省略して示す斜視
図である。
【図２】偏平コイルの製造方法を説明する説明図であっ
て、導体箔によりロールコイルを作製する状態を模式的
に図示する斜視図である。
て、導体箔によりロールコイルを作製する状態を模式的
に図示する斜視図である。
【図３】段差付き偏平コイルの製造方法を説明する説明
図であって、ロールコイルから段差付きＢ相偏平コイル
を製造する工程を図示する工程図である。
図であって、ロールコイルから段差付きＢ相偏平コイル
を製造する工程を図示する工程図である。
【図４】段差を有しない偏平コイルの製造方法を説明す
る説明図であって、ロールコイルから段差を有しないＡ
相偏平コイルを製造する工程を図示する工程図である。
る説明図であって、ロールコイルから段差を有しないＡ
相偏平コイルを製造する工程を図示する工程図である。
【図５】本発明に基づいて作製したＡ相偏平コイルと段
差付きＢ相偏平コイルにより構成するコイルユニットの
斜視図である。
差付きＢ相偏平コイルにより構成するコイルユニットの
斜視図である。
【図６】図１のリニアモータを移動方向から見た側面図
である。
である。
【図７】（ａ）は、本発明の第２の実施例に基づくリニ
アモータを図示する斜視図であり、（ｂ）は、リニアモ
ータの可動子を分解して示す斜視図である。
アモータを図示する斜視図であり、（ｂ）は、リニアモ
ータの可動子を分解して示す斜視図である。
【図８】図７のリニアモータを移動方向から見た側面図
である。
である。
【図９】（ａ）は、本発明の第３の実施例に基づくリニ
アモータを図示する斜視図であり、（ｂ）は、リニアモ
ータの一部を省略して示す斜視図である。
アモータを図示する斜視図であり、（ｂ）は、リニアモ
ータの一部を省略して示す斜視図である。
【図１０】本発明の第３の実施例に基づくリニアモータ
に使用するユニットコイルの斜視図である。
に使用するユニットコイルの斜視図である。
【図１１】図１０のリニアモータを移動方向から見た側
面図である。
面図である。
【図１２】本発明の第４の実施例に基づくリニアモータ
を図示する斜視図である。
を図示する斜視図である。
【図１３】本発明の第５の実施例に基づいて、ロールコ
イルから段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示
する工程図である。
イルから段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示
する工程図である。
【図１４】本発明の第６の実施例に基づいて、ロールコ
イルから段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示
する工程図である。
イルから段差付きＢ相偏平コイルを製造する工程を図示
する工程図である。
【図１５】本発明の露光装置の概略図である。
【図１６】本発明のデバイス製造方法のプロセス図であ
る。
る。
【図１７】本発明のデバイス製造方法の製造フロー図で
ある。
ある。
【図１８】（ａ）は従来のリニアモータの斜視図であ
り、（ｂ）はそのリニアモータの固定子ユニットを分解
して示す斜視図である。
り、（ｂ）はそのリニアモータの固定子ユニットを分解
して示す斜視図である。
【図１９】（ａ）は従来の他のリニアモータの斜視図で
あり、（ｂ）はそのリニアモータの一部を省略して示す
斜視図である。
あり、（ｂ）はそのリニアモータの一部を省略して示す
斜視図である。
【図２０】（ａ）は従来の他のリニアモータの斜視図で
あり、（ｂ）はその一部を省略して示すリニアモータの
斜視図である。
あり、（ｂ）はその一部を省略して示すリニアモータの
斜視図である。
【図２１】図２０に図示する従来のリニアモータに使用
される１ユニットコイルの斜視図である。
される１ユニットコイルの斜視図である。
【図２２】（ａ）は従来の他のリニアモータの斜視図で
あり、（ｂ）はその固定子と可動子を概略的に示す斜視
図である。
あり、（ｂ）はその固定子と可動子を概略的に示す斜視
図である。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ リニアモータ ２ 固定子 ３ 可動子 ４（４ａ、４ｂ） ヨーク ６ 磁石 ７ 支持部材 ８（８ａ、８ｂ） ヨーク １０ ステージ １１ ガイド １２ 工作物 １５〜１８ 絶縁板 ９１ 床・基盤 ９２ ステージ定盤 ９３ ウエハステージ ９４ レチクル定盤 ９５ レチクルステージ ９６ 鏡筒定盤 ９７ 投影光学系 ９８ ダンパ ９９ 照明光学系 Ｃａ、Ｃａ２ （段差を有しない）Ａ相偏平コイル Ｃｂ、Ｃｂ２、Ｃｂ３、Ｃｂ４ （段差付き）Ｂ相偏平
コイル Ｃｕ、Ｃｕ２ ユニットコイル Ｃｗ ダブルユニットコイル Ｃｘ 不要コイル Ｃｙ 不要部分 ｆ 導体箔 ｆｓ 巻始め部 ｆｅ 巻終り部 ｒ ロールコイル ｗ （ワイヤカット加工機の）ワイヤ ｍ 磁石面 ｙ ヨーク面 ｌｍ 磁石面長さ ｌｙ ヨーク面長さ ｔ１ コイル直線部厚さ ｔ２ コイル屈曲部厚さ ｄ 段差寸法 ｐ０、ｐ１、ｐ２ ワイヤ（切断）経路
コイル Ｃｕ、Ｃｕ２ ユニットコイル Ｃｗ ダブルユニットコイル Ｃｘ 不要コイル Ｃｙ 不要部分 ｆ 導体箔 ｆｓ 巻始め部 ｆｅ 巻終り部 ｒ ロールコイル ｗ （ワイヤカット加工機の）ワイヤ ｍ 磁石面 ｙ ヨーク面 ｌｍ 磁石面長さ ｌｙ ヨーク面長さ ｔ１ コイル直線部厚さ ｔ２ コイル屈曲部厚さ ｄ 段差寸法 ｐ０、ｐ１、ｐ２ ワイヤ（切断）経路
Claims (23)
- 【請求項１】 導体箔をロール状に巻回してロールコイ
ルを作成する工程と、 該ロールコイルをワイヤカットで段差を形成するように
段差付きコイルを切り出す工程とを有することを特徴と
する段差付きコイル製造方法。 - 【請求項２】 前記段差付きコイルの直線部の厚さと段
差を形成する屈曲部の厚さが同じになるように切り出す
ことを特徴とする請求項１記載の段差付きコイル製造方
法。 - 【請求項３】 前記段差付きコイルの段差部の寸法がコ
イルの厚さよりも大きくなるように切り出されているこ
とを特徴とする請求項１または２記載の段差付きコイル
製造方法。 - 【請求項４】 切り出した段差付きコイルの切断面をエ
ッチング処理することを特徴とする請求項１〜３いずれ
かに段差付きコイル製造方法。 - 【請求項５】 切り出した段差付きコイルの切断面に絶
縁材を形成することを特徴とする請求項１〜４いずれか
に記載の段差付きコイル製造方法。 - 【請求項６】 切り出した段差付きコイルのうち、他の
コイルと対面する箇所に絶縁材を形成することを特徴と
する請求項１〜５いずれかに記載の段差付きコイル製造
方法。 - 【請求項７】 前記絶縁材の形成は、絶縁材の塗布、絶
縁性のテープの貼付または絶縁板の挿入により行うこと
を特徴とする請求項５または６記載の段差付きコイル製
造方法。 - 【請求項８】 直線部と段差部を有する段差付きコイル
であって、コイルに用いられる導体は、導体箔を巻回し
た形状であることを特徴とする段差付きコイル。 - 【請求項９】 前記段差付きコイルは、導体箔を巻回し
たロールコイルからワイヤカットにより切り出されたこ
とを特徴とする請求項８に記載の段差付きコイル。 - 【請求項１０】 切り出した段差付きコイルの切断面
が、エッチング処理されていることを特徴とする請求項
９に記載の段差付きコイル。 - 【請求項１１】 切り出した段差付きコイルの切断面に
絶縁材を形成することを特徴とする請求項９または１０
に記載の段差付きコイル。 - 【請求項１２】 前記絶縁材の形成は、絶縁材の塗布、
絶縁性のテープの貼付または絶縁板の挿入により行うこ
とを特徴とする請求項１１に記載の段差付きコイル。 - 【請求項１３】 前記導体箔の層間で短絡が起きないよ
うに絶縁材を形成することを特徴とする請求項８〜１２
いずれかに記載の段差付きコイル。 - 【請求項１４】 請求項８〜１３いずれか記載の段差付
きコイルを有することを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項１５】 前記段差付きコイルを含む少なくとも
２つのコイルを一部重複するように配置したユニットコ
イルを有することを特徴とする請求項１４記載のリニア
モータ。 - 【請求項１６】 前記コイルユニットのコイル同士が対
面する箇所に絶縁材を構成することを特徴とする請求項
１５に記載のリニアモータ。 - 【請求項１７】 前記コイルユニットは、ヨークに固定
されており、コイルとヨーク間に絶縁材が構成されてい
ることを特徴とする請求項１５または１６記載のリニア
モータ。 - 【請求項１８】 直線部と段差部を有する段差付きコイ
ルを含む少なくとも２つのコイルを一部重複するように
配置したユニットコイルと、 該ユニットコイルを固定するヨークとを備え、 該ユニットコイルとヨーク間に絶縁材が構成されている
ことを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項１９】 直線部と段差部を有する段差付きコイ
ルを含む少なくとも２つのコイルを一部重複するように
配置したユニットコイルを備え、 該コイルユニットのコイル同士が対面する箇所に絶縁材
を構成することを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項２０】 可動子側に磁石を配設し、固定子側に
前記コイルを配設したことを特徴とする請求項１４〜１
９いずれかに記載のリニアモータ。 - 【請求項２１】 請求項１４〜２０記載のリニアモータ
を有することを特徴とするステージ装置。 - 【請求項２２】 請求項２１記載のステージ装置をレチ
クルステージとウエハステージのうちの少なくとも一方
に用いていることを特徴とする露光装置。 - 【請求項２３】 請求項２２記載の露光装置を用意する
工程と、該露光装置を用いてレチクル上に形成されたパ
ターンをウエハ上に転写する工程とを有することを特徴
とするデバイス製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29817199A JP3907357B2 (ja) | 1998-11-12 | 1999-10-20 | 段差付きコイル製造方法 |
| US09/438,524 US6265793B1 (en) | 1998-11-12 | 1999-11-12 | Linear motor coil for exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-338508 | 1998-11-12 | ||
| JP33850898 | 1998-11-12 | ||
| JP29817199A JP3907357B2 (ja) | 1998-11-12 | 1999-10-20 | 段差付きコイル製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000209838A true JP2000209838A (ja) | 2000-07-28 |
| JP3907357B2 JP3907357B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=26561403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29817199A Expired - Fee Related JP3907357B2 (ja) | 1998-11-12 | 1999-10-20 | 段差付きコイル製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6265793B1 (ja) |
| JP (1) | JP3907357B2 (ja) |
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