JP2000208029A5 - - Google Patents

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Description

【発明の名称】電子放出素子の製造方法
【００１０】
そこで本発明は、前記問題を解決するため、取り扱いが容易であり、かつ電子放出能力の高い電子放出材料の製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の電子放出素子の製造方法は、カソード電極と、前記カソード電極に対向して配置されたアノード電極と、前記カソード電極上に配置された電子放出部材とを備える電子放出素子の製造方法であって、
難電子放出物質からなる略円筒状体に、前記難電子放出物質とは異なる易電子放出物質を充填したのち、前記略円筒状体を延伸して前記略円筒状体の径を小さくする工程、および
前記径を小さくした略円筒状体を切断することによって、貫通孔を有する難電子放出物質と、前記貫通孔に充填され前記難電子放出物質よりも電子を放出しやすい易電子放出物質とを備える電子放出部材を形成する工程
を含むことを特徴とする。
【００１２】
前記易電子放出物質はカーボン・ナノ・チューブを含むことが好ましい。
【００１３】
前記電子放出部材を形成する工程ののち、前記難電子放出物質の端部を除去することによって、前記電子放出部材に、前記易電子放出物質からなる凸部を形成する工程をさらに含むことが好ましい。
【００１４】
前記略円筒状体を延伸することにより前記易電子放出物質を略一方向に配列させることが好ましい。
【００１５】
前記易電子放出物質がカーボン・ナノ・チューブを含むことが好ましい。

Claims (5)

  1. カソード電極と、前記カソード電極に対向して配置されたアノード電極と、前記カソード電極上に配置された電子放出部材とを備える電子放出素子の製造方法であって、
    難電子放出物質からなる略円筒状体に、前記難電子放出物質とは異なる易電子放出物質を充填したのち、前記略円筒状体を延伸して前記略円筒状体の径を小さくする工程、および
    前記径を小さくした略円筒状体を切断することによって、貫通孔を有する難電子放出物質と、前記貫通孔に充填され前記難電子放出物質よりも電子を放出しやすい易電子放出物質とを備える電子放出部材を形成する工程
    を含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
  2. 前記易電子放出物質がカーボン・ナノ・チューブを含む請求項１に記載の電子放出素子の製造方法。
  3. 前記電子放出部材を形成する工程ののち、前記難電子放出物質の端部を除去することによって、前記電子放出部材に、前記易電子放出物質からなる凸部を形成する工程をさらに含む請求項１に記載の電子放出素子の製造方法。
  4. 前記略円筒状体を延伸することにより前記易電子放出物質を略一方向に配列させる、請求項１に記載の電子放出素子の製造方法。
  5. 前記易電子放出物質がカーボン・ナノ・チューブを含む、請求項４に記載の電子放出素子の製造方法。
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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1451844A4 (en) * 2001-06-14 2008-03-12 Hyperion Catalysis Int FIELD EMISSION DEVICES USING MODIFIED CARBON NANOTUBES
EP1513621A4 (en) * 2002-05-21 2005-07-06 Eikos Inc METHOD FOR CONFIGURING COATING OF CARBON NANOTUBES AND WIRING OF CARBON NANOTUBES
TWI220162B (en) * 2002-11-29 2004-08-11 Ind Tech Res Inst Integrated compound nano probe card and method of making same
KR100922743B1 (ko) 2003-03-25 2009-10-22 삼성에스디아이 주식회사 전계방출소자
KR100531793B1 (ko) * 2003-08-08 2005-11-30 엘지전자 주식회사 전계방출소자 및 제조방법
JP4599046B2 (ja) * 2003-09-24 2010-12-15 学校法人 名城大学 カーボンナノチューブ製フィラメントおよびその利用
KR100561491B1 (ko) * 2003-11-10 2006-03-20 일진다이아몬드(주) 코팅막이 형성된 전계방출소자 및 그것의 제조방법
KR20060011665A (ko) * 2004-07-30 2006-02-03 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 소자와 이의 제조 방법
JP2006351410A (ja) * 2005-06-17 2006-12-28 Toppan Printing Co Ltd 電子放出素子
KR20070046611A (ko) * 2005-10-31 2007-05-03 삼성에스디아이 주식회사 보호막이 형성된 전자 방출원 및 이를 포함한 전자 방출소자
CN101086939B (zh) * 2006-06-09 2010-05-12 清华大学 场发射元件及其制备方法
CN101093765B (zh) * 2006-06-23 2011-06-08 清华大学 场发射元件及其制备方法
CN101093764B (zh) * 2006-06-23 2012-03-28 清华大学 场发射元件及其制备方法
CN100573797C (zh) * 2006-07-05 2009-12-23 清华大学 双面发光的场发射像素管
US7635945B2 (en) * 2006-07-21 2009-12-22 Tsinghua University Field emission device having a hollow shaped shielding structure
JP4613327B2 (ja) * 2006-11-06 2011-01-19 学校法人 名城大学 カーボンナノチューブ製フィラメントおよびその利用
FR2909801B1 (fr) * 2006-12-08 2009-01-30 Thales Sa Tube electronique a cathode froide
US8729787B2 (en) * 2006-12-18 2014-05-20 Micron Technology, Inc. Field emission devices and methods for making the same
CN101335175B (zh) * 2007-06-29 2010-05-26 清华大学 场发射像素管
TWI394195B (zh) * 2007-07-20 2013-04-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 場發射像素管
KR20090054675A (ko) * 2007-11-27 2009-06-01 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 디바이스, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는전자 방출 디스플레이
JP5126741B2 (ja) 2007-12-26 2013-01-23 スタンレー電気株式会社 電界放射型電子源
US7978504B2 (en) * 2008-06-03 2011-07-12 Infineon Technologies Ag Floating gate device with graphite floating gate
JP5290087B2 (ja) * 2009-08-20 2013-09-18 株式会社ライフ技術研究所 電子線放射装置
CN102064063B (zh) * 2010-12-24 2012-08-29 清华大学 场发射阴极装置及其制备方法
CN103730305B (zh) * 2012-10-10 2016-03-09 清华大学 场发射电子源的制备方法
JP5738942B2 (ja) * 2012-10-10 2015-06-24 ツィンファ ユニバーシティ 電界放出電子源の製造方法及び電界放出電子源アレイの製造方法
CN103730302B (zh) * 2012-10-10 2016-09-14 清华大学 场发射电子源及场发射装置
CN103730303B (zh) * 2012-10-10 2016-09-07 清华大学 场发射电子源阵列及场发射装置
CN103730304B (zh) * 2012-10-10 2016-12-21 清华大学 场发射电子源阵列的制备方法
EP3144953B1 (en) 2014-05-13 2019-04-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Electron emitting device using graphene and method for manufacturing same
US10684308B1 (en) * 2017-12-11 2020-06-16 Gregory Hirsch Methods for stabilizing biological and soft materials for atom probe tomography

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2070478A1 (en) 1991-06-27 1992-12-28 Wolfgang M. Feist Fabrication method for field emission arrays
US5155420A (en) * 1991-08-05 1992-10-13 Smith Robert T Switching circuits employing field emission devices
DE69328977T2 (de) 1992-12-23 2000-12-28 Si Diamond Techn Inc Flache feldemissionskathode anwendende flache anzeigevorrichtung mit triodenstruktur
GB2285168B (en) 1993-12-22 1997-07-16 Marconi Gec Ltd Electron field emission devices
US5796211A (en) 1994-12-22 1998-08-18 Lucent Technologies, Inc. Microwave vacuum tube devices employing electron sources comprising activated ultrafine diamonds
US5709577A (en) 1994-12-22 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Method of making field emission devices employing ultra-fine diamond particle emitters
JP2809129B2 (ja) 1995-04-20 1998-10-08 日本電気株式会社 電界放射冷陰極とこれを用いた表示装置
US5697827A (en) * 1996-01-11 1997-12-16 Rabinowitz; Mario Emissive flat panel display with improved regenerative cathode
US5726524A (en) * 1996-05-31 1998-03-10 Minnesota Mining And Manufacturing Company Field emission device having nanostructured emitters
US6057637A (en) * 1996-09-13 2000-05-02 The Regents Of The University Of California Field emission electron source
JPH1092294A (ja) 1996-09-13 1998-04-10 Sony Corp 電子放出源およびその製造方法ならびにこの電子放出源を用いたディスプレイ装置
KR100365444B1 (ko) * 1996-09-18 2004-01-24 가부시끼가이샤 도시바 진공마이크로장치와이를이용한화상표시장치
JP3792859B2 (ja) 1997-10-03 2006-07-05 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 電子銃
EP1361592B1 (en) * 1997-09-30 2006-05-24 Noritake Co., Ltd. Method of manufacturing an electron-emitting source
US6087765A (en) * 1997-12-03 2000-07-11 Motorola, Inc. Electron emissive film
US6232706B1 (en) * 1998-11-12 2001-05-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same
US6250984B1 (en) * 1999-01-25 2001-06-26 Agere Systems Guardian Corp. Article comprising enhanced nanotube emitter structure and process for fabricating article
EP1073090A3 (en) * 1999-07-27 2003-04-16 Iljin Nanotech Co., Ltd. Field emission display device using carbon nanotubes and manufacturing method thereof
US6299812B1 (en) * 1999-08-16 2001-10-09 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Method for forming a fibers/composite material having an anisotropic structure

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