JP3792859B2 - 電子銃 - Google Patents
電子銃 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3792859B2 JP3792859B2 JP27162597A JP27162597A JP3792859B2 JP 3792859 B2 JP3792859 B2 JP 3792859B2 JP 27162597 A JP27162597 A JP 27162597A JP 27162597 A JP27162597 A JP 27162597A JP 3792859 B2 JP3792859 B2 JP 3792859B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electron gun
- graphite
- carbon
- electron emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ブラウン管などに用いられる電子銃に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子銃は、例えばテレビジョンに用いられる受像管の構成要素である。この電子銃(カソード)の基本的な構成は、図3に示すように、先端部が閉じた構成の陰極筒301の先端に、電子放出層302が形成されている。また、陰極筒301の内部にはヒータ303が備えられている。
この陰極筒301は、マグネシウムや珪素などの還元剤をドープした高純度のNiから構成し、厚さは0.1mm程度である。また、電子放出層302は、酸化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのいわゆる三元酸化物から構成するようにしている。
【0003】
そして、電子放出層302は、ヒータ303により800℃程度に加熱されると、主にバリウムが還元されて遊離し、この遊離されたバリウムが電子放出層302表面に向かい、これが電子放出を容易にしている。
放出された電子ビームは、第1グリッド304で集められ、第2グリッド305,第3グリッド306,ホーカス電極である第4グリッド307,第5グリッド308を通過して蛍光面309に収束される(図3(b))。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、そのバリウムは使用中にガスと反応して消耗するので、常に電子放出層302内部から補給されるように作られている。しかし、多くの電子を放出させるために高電流を流そうとしても、そのバリウムの補給が十分にはできない。加えて、電子放出のために加熱されるが、電子放出層302は熱で劣化するという問題があった。
【0005】
この発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、耐性がありより多くの電子を放出させることができるようにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の電子銃は、円筒状のグラファイトからなるカーボンナノチューブがナノポリヘドロンとともに集合した柱状グラファイトから構成された電子放出源と、その電子放出源の電子放出側に所定の距離離れて配置されてその先端部より電子を引き出すための電子引き出し電極とを備えるようにした。
このように構成したので、電子放出源と電子引き出し電極との間に電位を印加すると、カーボンナノチューブの先端に高電界が集中して電子が引き出される。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態を図を参照して説明する。
図1は、この発明の実施の形態における電子銃の要部構成を示す構成図である。この電子銃は、基台101上にxy方向に移動可能な可動ステージ102を備え、その可動ステージ102上に針状エミッタ(電子放出源)103を配置している。また、針状エミッタ103の先端部延長上に、基台101に固定された状態で引き出し電極104が配置されている。なお、この引き出し電極104には、アパーチャ104aが形成されている。
つまり、この実施の形態では、針状エミッタ103と引き出し電極104とによる電界放出型冷陰極電子源で電子銃を構成するようにした。また、可動ステージ102を移動させて、アパーチャ104aに対する針状エミッタ103の先端部の位置と向きを制御することで、電子引き出し効率の最適化を図ることができる。
【0008】
そして、この実施の形態においては、針状エミッタ103をカーボンナノチューブの集合体から構成するようにした。より詳しく説明すれば、カーボンナノチューブの集合体からなる長さ数10μmの針形状の柱状グラファイト複数が、その長手方向をほぼ同一方向に向けて束ねられた状態に、針状エミッタ103が構成されている。そして、針状エミッタ103は、長さ5mm程度で1〜3mmφに形成され、その先端部の0.5〜1mm程度のところが、先細となるように加工形成されている。
ここで、カーボンナノチューブについて説明すると、これは、例えば図1(d)に示すように、完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は4〜50nm程度であり、その長さは1μmオーダである。そして、図1(e)に示すように、その先端部は五員環が入ることにより閉じている。なお、おれることで先端が閉じていない場合もある。
【0009】
このカーボンナノチューブは、ヘリウムガス中で2本の炭素電極を1〜2mm程度離した状態で直流アーク放電を起こしたときに、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した堆積物中に形成される。
すなわち、炭素電極間のギャップを1mm程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を持続させると、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円柱状の堆積物が、陰極先端に形成される。
その円柱状の堆積物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との2つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもっている。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトであり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラファイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グラファイトの多結晶体である。
【0010】
そして、その柱状グラファイトにおいて、カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子(ナノポリヘドロン:nanopolyhedoron)とともに、複数が集合している。そして、図1(f)に示すように、柱状グラファイト131は、カーボンナノチューブ132が、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。なお、この図1(e)は、柱状グラファイトを途中で切った断面をみる斜視図である。
なお、カーボンナノチューブは、図1(d),(e)では、グラファイトの単層が円筒状に閉じた形状として模式的に示した。しかし、これに限るものではなく、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多層構造となっている形状もある。そして、それらの中心部分は、空洞となっている。
【0011】
以上示したように、この実施の形態においては、カーボンナノチューブによる針状エミッタ103と引き出し電極104とによる電界放出型冷陰極電子源で電子銃を構成するようにした。この結果、この実施の形態によれば、電流密度(エミッション量)として10A/cm2 の性能が得られた。また、理論的には、400A/cm2 の性能が得られる。
そして、可動ステージ102による針状エミッタ103の位置制御ができるので、針状エミッタ103の先端部が劣化して削られてきても、針状エミッタ103の配置を引き出し電極104側へ移動させることができ、電子放出効率を維持していくことが容易に可能となる。
【0012】
ところで、上述では、柱状グラファイトをその長手方向をほぼ同一方向に向けて束ねることでエミッタを構成するようにしたが、これに限るものではない。図2に示すように、陰極筒201の先端部に複数の柱状グラファイト(エミッタ)202を配置し、陰極筒201と取り出し電極203との間に電界をかけることで、柱状グラファイト202より電子を取り出すようにしてもよい。この柱状グラファイト202は、例えば、導電性接着剤により陰極筒201に固定すればよい。
この場合、図2(a)に示すように、柱状グラファイト202の長手方向の向きを、電子取り出し方向になるべく揃えるようにして配置した方がよい。
【0013】
図2(c)は柱状グラファイトの長手方向の向きによるエミッション量の違いを示す特性図である。図2(c)において、(c−1)は、図2(a)に示したように、柱状グラファイト202の長手方向の向きが、ほぼ電子取り出し方向を向いた状態の場合のエミッション量を示している。また、(c−2)は、図2(b)に示したように、柱状グラファイト202の長手方向の向きが、あまり電子取り出し方向を向いていない状態の場合のエミッション量を示している。
図2(c)から明らかなように、柱状グラファイトの長手方向の向きが、電子取り出し方向の向いていた方が、より多くのエミッション量を得ることができる。
【0014】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明では、円筒状のグラファイトからなるカーボンナノチューブから構成された電子放出源と、その電子放出源の電子放出側に所定の距離離れて配置されてその先端部より電子を引き出すための電子引き出し電極とを備えるようにした。
このように構成したので、電子銃は、電子放出源と電子引き出し電極との間に電位を印加すると、カーボンナノチューブの先端に高電界が集中して電子が引き出される電界放出型冷陰極電子源の構成となる。
そして、この発明によれば、従来のように使用中にガスと反応して熱電子発生源が消耗するなどのことが無く、より長期に安定してより多くの電子を放出させることができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態における電子銃の要部構成を示す構成図である。
【図2】 この発明の他の実施の形態における電子銃の要部構成を示す説明図である。
【図3】 従来の電子銃の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
101…基台、102…可動ステージ、103…針状エミッタ(電子放出源)、104…引き出し電極、104a…アパーチャ、131…柱状グラファイト、132…カーボンナノチューブ。
Claims (4)
- 円筒状のグラファイトからなるカーボンナノチューブがナノポリヘドロンとともに集合した柱状グラファイトから構成された電子放出源と、
前記電子放出源の電子放出側に所定の距離離れて配置されてその先端部より電子を引き出すための電子引き出し電極と
を備えたことを特徴とする電子銃。 - 請求項1記載の電子銃において、
前記柱状グラファイトは、ヘリウムガス中で2本の炭素電極を1〜2mm程度離した状態で直流アーク放電を起こしたときに、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した堆積物中に形成されるものである
ことを特徴とする電子銃。 - 請求項2記載の電子銃において、
前記電子放出源は、前記柱状グラファイト複数がその長手方向が同一方向を向いた集合体から構成され、針状に形成されていることを特徴とする電子銃。 - 請求項1〜3記載の電子銃において、
前記電子放出源は、前記電子引き出し電極との相対位置を変更できる移動可能な可動ステージ上に固定されていることを特徴とする電子銃。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27162597A JP3792859B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | 電子銃 |
DE69823441T DE69823441T2 (de) | 1997-09-30 | 1998-09-25 | Elektronen emittierende Quelle |
EP98118206A EP0905737B1 (en) | 1997-09-30 | 1998-09-25 | Electron-emitting source |
DE69834673T DE69834673T2 (de) | 1997-09-30 | 1998-09-25 | Verfahren zur Herstellung einer Elektronenemittierenden Quelle |
EP03017290A EP1361592B1 (en) | 1997-09-30 | 1998-09-25 | Method of manufacturing an electron-emitting source |
US09/162,731 US6239547B1 (en) | 1997-09-30 | 1998-09-28 | Electron-emitting source and method of manufacturing the same |
KR10-1998-0041222A KR100363005B1 (ko) | 1997-09-30 | 1998-09-30 | 전자방출원및그제조방법 |
KR10-2002-0051959A KR100539696B1 (ko) | 1997-09-30 | 2002-08-30 | 전자 방출원 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27162597A JP3792859B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | 電子銃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11111158A JPH11111158A (ja) | 1999-04-23 |
JP3792859B2 true JP3792859B2 (ja) | 2006-07-05 |
Family
ID=17502691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27162597A Expired - Fee Related JP3792859B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-10-03 | 電子銃 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3792859B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3494583B2 (ja) | 1999-01-13 | 2004-02-09 | 松下電器産業株式会社 | 電子放出素子の製造方法 |
JP2000268706A (ja) | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放出素子及びそれを用いた画像描画装置 |
US6456691B2 (en) | 2000-03-06 | 2002-09-24 | Rigaku Corporation | X-ray generator |
US6553096B1 (en) * | 2000-10-06 | 2003-04-22 | The University Of North Carolina Chapel Hill | X-ray generating mechanism using electron field emission cathode |
US7462498B2 (en) * | 2001-10-19 | 2008-12-09 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Activation of carbon nanotubes for field emission applications |
JP3654236B2 (ja) | 2001-11-07 | 2005-06-02 | 株式会社日立製作所 | 電極デバイスの製造方法 |
EP1777195B1 (en) | 2004-04-19 | 2019-09-25 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Carbon-based fine structure group, aggregate of carbon based fine structures, use thereof and method for preparation thereof |
US7126266B2 (en) * | 2004-07-14 | 2006-10-24 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Field emission assisted microdischarge devices |
US7751528B2 (en) | 2007-07-19 | 2010-07-06 | The University Of North Carolina | Stationary x-ray digital breast tomosynthesis systems and related methods |
CN101499389B (zh) | 2008-02-01 | 2011-03-23 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 电子发射器件 |
CN101538031B (zh) * | 2008-03-19 | 2012-05-23 | 清华大学 | 碳纳米管针尖及其制备方法 |
CN101540251B (zh) * | 2008-03-19 | 2012-03-28 | 清华大学 | 场发射电子源 |
US8600003B2 (en) | 2009-01-16 | 2013-12-03 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Compact microbeam radiation therapy systems and methods for cancer treatment and research |
US9782136B2 (en) | 2014-06-17 | 2017-10-10 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Intraoral tomosynthesis systems, methods, and computer readable media for dental imaging |
US10980494B2 (en) | 2014-10-20 | 2021-04-20 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Systems and related methods for stationary digital chest tomosynthesis (s-DCT) imaging |
-
1997
- 1997-10-03 JP JP27162597A patent/JP3792859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11111158A (ja) | 1999-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3792859B2 (ja) | 電子銃 | |
JP3790047B2 (ja) | 電子放出源の製造方法 | |
EP1022763B1 (en) | Field emitter comprising aligned, truncated carbon nanotubes and process for fabricating the same | |
US6239547B1 (en) | Electron-emitting source and method of manufacturing the same | |
US6504292B1 (en) | Field emitting device comprising metallized nanostructures and method for making the same | |
US6538367B1 (en) | Field emitting device comprising field-concentrating nanoconductor assembly and method for making the same | |
US7129513B2 (en) | Field emission ion source based on nanostructure-containing material | |
JP3828270B2 (ja) | 電子放出装置 | |
US7586249B2 (en) | Field emission device and method for making the same | |
Chouhan et al. | Field emission from optimized structure of carbon nanotube field emitter array | |
JP2000208029A (ja) | 電子放出材料及び電子放出素子、並びにその製造方法 | |
JP2001167692A (ja) | 位置合せされたナノワイヤを備えた物品および物品を製作するプロセス | |
US20110186735A1 (en) | Electron source, electron gun, and electron microscope device and electron beam lithography device using it | |
US8072126B2 (en) | Field electron emission source having carbon nanotubes and method for manufacturing the same | |
JPH0437530B2 (ja) | ||
JP2006525633A (ja) | 電子源のための陰極 | |
JP2004087213A (ja) | 電極,電極の製造方法,蓄電器及び発光素子 | |
US7898161B2 (en) | Diamond electron radiation cathode, electron source, electron microscope, and electron beam exposer | |
JP2008078081A (ja) | 電界放出電子源及びその製造方法 | |
JP3554238B2 (ja) | 冷陰極 | |
US10720296B1 (en) | Field emission neutralizer comprising a graphitized carbon nanotube structure | |
JP2001250468A (ja) | 電界電子放出装置およびその製造方法 | |
TWI362677B (en) | Method for making field emission electron source | |
Nakamoto et al. | Stable, ruggedized, and nanometer-order size transfer mold field emitter array in harsh oxygen radical environment | |
Li et al. | Light emission from vertically aligned carbon nanotube field emitters during Joule heating enhanced field emission |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110414 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120414 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120414 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140414 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |