JP2000206385A - 少なくとも1つの光学要素を有する光学結像装置、特に対物レンズ - Google Patents
少なくとも1つの光学要素を有する光学結像装置、特に対物レンズInfo
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Abstract
表面の変形を減少させ、軌道を制御しながら非常に正確
に摺動を行うことができるように、光学要素を光軸に対
し垂直であるか又は任意の角度を成す少なくとも1つの
軸の方向に摺動自在にする。 【解決手段】 光学結像装置は、内側リング3に支承さ
れたレンズ2を具備し、内側リング3は外側マウント部
1と結合している。マニピュレータ手段は光学要素2を
光軸に対し垂直である少なくとも1つの方向に摺動させ
る働きをする。そのマニピュレータ手段内側リング3と
外側マウント部1との間に結合部材5を挟んだ複数の周
囲スリット4と、回転継手6と、内側リング3と外側マ
ウント部1との間の調整継手8,9,10とから成る。
Description
結合された内側リングに支承されている少なくとも1つ
の光学要素と、光学要素を光軸に対し垂直である少なく
とも1つの方向に摺動させるマニピュレータ手段とを有
する光学結像装置、特に対物レンズに関する。
温度差又は温度の変動に起因して起こる個々の要素の膨
張の差異を補正することができるようにマウント要素と
弾性的に結合するレンズを光学要素として有するレンズ
マウント部が知られている。特に半径方向のずれ又は膨
張が補正されるが、そこでは中心位置を維持すべきであ
る。
ント部からのレンズの変形離脱を示している。米国特許
第5,638,223号からは、レンズを傾斜させるこ
とができる対物レンズが知られている。光学結像装置、
たとえば、多数の部品及び複数の光学要素から構成され
る対物レンズの組み立てに際しては、機械的製造許容差
の発生は避けられない。更に、組み立て時には、たとえ
ば、個々の部品の面凹凸などの許容差の問題が加わる。
特に、たとえば、レンズなどの光学要素のはめ合いにお
いては凹凸の問題が大きくなるおそれがある。
x軸又はy軸に沿って、すなわち、光軸に対し垂直な1
つ又は2つの軸に沿って1つ又は複数の光学要素を走行
させることは知られている。光学要素を摺動させるため
の周知のマニピュレータ手段は、一般に、外側マウント
部と、マニピュレータリングと、光学要素を支持する内
側マウント部又は内側リングとから構成されている。
を成す課題は、像収差を補正するために、光学要素に対
して表面の変形を明らかに減少させつつ、力の流れ及び
剛性の点で最適の構成により軌道を制御しながら非常に
正確に摺動を行うことができるように、光学要素を規定
された方式で、光軸に対し垂直であるか又は任意の角度
を成す少なくとも1つの軸の方向に摺動自在にすること
により、冒頭に挙げた種類の光学結像装置を改善するこ
とである。
部と結合された内側リングに支承されている少なくとも
1つの光学要素と、光軸に対し垂直であるか又は任意の
角度を成す少なくとも1つの方向に光学要素を軌道を制
御しつつ摺動させるマニピレータ手段とを有する光学結
像装置であり、内側リングと外側マウント部との間を連
結する結合部材を挟んで内側リングと外側マウント部と
の間に形成された複数の周囲スリットと、内側リングと
外側マウント部との間に設けた回転継手と、内側リング
と外側マウント部との間に配置した調整部材を有する少
なくとも1つの調整継手と、から成るマニピュレータ手
段としてのシステムを介して、変形を少なく抑えて又は
変形を制御しながら光学要素が摺動されることを特徴と
する光学結像装置。
素、すなわち、外側マウント部、内側リング及びマニピ
ュレータ手段を、特に内側リングと外側マウント部を一
体とし、1つの構成要素に実質的に統合したものであ
る。このことの重要な利点は軽量化とスペースの縮小で
あり、その結果、固有振動数は高くなる。部品数が減る
ことにより、1つにはコストの削減が実現され、もう1
つには取り付け時の時間も相応して短縮される。更に、
光学要素の表面変形の減少とあいまって、剛性が改善さ
れた構成が得られる。また、これにより、許容差、特に
表面許容差が減少する。
り、対物レンズを厳密にアライメントするために、対物
レンズの像収差の補正にも総じて対処できる。外側マウ
ント部と内側リングを弾性的に又は柔軟に結合させる結
合部材により、x方向及びy方向へのたわみ又は摺動が
可能になり、それと同時に、z方向、すなわち、光軸の
方向の剛性も得られる。
2から11並びに添付の図面の概略図に基づいて以下に
原理を説明される実施形態から明らかである。図1は、
内側リング3により継目板を介して支持されている光学
要素であるレンズ2を有する光学結像装置、例えば、対
物レンズの外側マウント部1を示す平面図である。外側
マウント部1と内側リング3は一体に構成されており、
間にL字形の結合部材5を挟んだ内側リング3と外側マ
ウント部1との間に形成させた周囲スリット4のシステ
ムを介して、内側リング3と外側マウント部1との柔軟
な結合が得られる。L字形の結合部材5は固体継手とし
て形成され、この部材を双方に延ばすことによって内側
リング3と外側マウント部1を連結している。図2から
形状を明瞭に見てとれるように、L字形の結合部材5は
回転継手6及び調整レバー8,9,10と共に、内側リ
ング3と外側マウント部1との間の結合部を形成してい
る。スペーサにより一体の基本形状に統合されている周
囲スリット4は、互いにわずかな間隔をおいて並設され
た2つのL字形スペーサ4aにより均一な間隔で離れて
いる。そのため、結合部材5はL字形部分の間のブリッ
ジ部分の形態として形成されている。図3に示す回転継
手6の拡大図からわかるように、回転継手6も同様に周
囲スリット4のずれとそのずれた部分のオーバラップに
より形成され、回転継手6はこの領域で重なり合ってい
る周囲スリット4の間に形成されるブリッジ部分6aに
より形成される。内側リング3と外側マウント部1を一
体に構成する代わりに、構成要素を溶接、接着又ははん
だ付けするという形態の固体継手を介して結合を行うこ
ともできる。
は外側マウント部1と内側リング3との間でより広い凹
部7を形成している。2つの凹部7には、それぞれ、調
整レバー8が配置されている(図4の拡大図を参照)。
調整レバー8は1つのレバーアーム9を介して外側マウ
ント部1と結合すると共に、もう1つのレバーアーム1
0を介して内側リング3と結合すると共に、調整継手を
形成する。これら2つのレバーアーム9及び10は、そ
れらの間に、周囲スリット4の延長としてスリット4b
を形成している。各調整レバー8の、2つのレバーアー
ム9及び10とは反対の側の端部には、半径方向に、単
に矢印11a又は11bによってのみ表示されている調
整部材としての調整ねじが作用し、これらの調整ねじが
内側リング3を外側マウント部1に対して摺動させるマ
ニピュレータ手段を形成している。この目的のために、
ねじ11a又は11bは外側マウント部1のねじ穴に螺
合されている。ねじ11a又は11bを調整すると、レ
バーアーム10を介して、内側リング3は外側マウント
部1に対して矢印12の方向に摺動する。マニピュレー
タ手段は、力の流れ及び信頼性の面で最適化された構造
として構成されている。
して内側リング3を所望且つ所定の態様で摺動させるた
めには、次の条件又は関係に従うべきである。内側リン
グ3を摺動させるために、回転継手6は2つの調整レバ
ー8の作用点の間にあって、調整レバー8の作用点に対
する接線T1 及びT2 が回転継手6に接する接線T3 と
交わるように配置されているべきである。この場合、2
つの交点は、第1に、内側リング3をx方向に摺動させ
るためのねじ11bに対応する回転極13を形成し、第
2に、ねじ11aにより内側リング3をy方向に摺動さ
せるための回転極14を形成する。同時に、回転極13
又は回転極14からの2つの半径方向線15及び16が
互いに中心点又はz軸に対し垂直であることに配慮すべ
きである。従って、これら2つの半径方向線15及び1
6が2つの軸を形成し、詳細には、半径方向線16はx
軸、半径方向線15はy軸を規定することになる。
グ3は回転極13に関して回転し、y調整ねじ11aを
調整すると、内側リング3は回転極14に関して回転す
る。すなわち、厳密に言えばx又はy方向の直線運動は
起こらないであろうが、半径方向線15及び16の半径
は規定の調整運動より著しく大きいので、走行領域17
(図1の破線表示を参照)には、x−y平面で擬似直線
運動が起こる。調整レバー8を介して調整運動を元に戻
すと共に、追加の荷重や特別の荷重に対して剛性を向上
させるために、場合によっては、調整レバー8の内周面
に作用し、他端部では外側マウント部1に当接する板ば
ね18を作用させることができる。内側リング3の運動
方向12の摺動運動は、調整ねじ11a又は11bによ
り調整レバー8に対する半径方向の力が発生したとき
に、外側のレバーアーム9が伸張し、内側のレバーアー
ム10は圧縮されて、その結果、少なくともほぼ周囲方
向内側リングの運動が起こることにより得られる。レバ
ー9及び10は(レバー)伝動装置として作用する。
に配置し、形成することにより、光軸(z軸)に対し垂
直な平面におけるすぐれた弾性が得られる。更に、z方
向の剛性も高い。これは、特に、結合部材5がL字形で
あるために、z方向に対応する長さを有することがで
き、従って、z方向の高い剛性を保証するからである。
結合部材5と同様に、この実施形態の回転継手6も固体
継手である。しかし、外側マウント部1に対する内側リ
ング3の摺動を実現するために別の種類の継手を使用で
きることは自明である。すなわち、本実施形態において
は、内側リングと外側マウント部との間の複数の周囲ス
リットと、内側リングと外側マウント部との間に設けた
回転継手と、内側リングと外側マウント部との間に配置
した少なくとも1つの調整継手とでマニピュレータ手段
を構成し、このマニピュレータ手段からなるシステムで
レンズを変形を少なく又は変形を制御しながら移動させ
るようにしたものである。
3,14や回転継手6を前に述べたのとは異なる関係で
配置することも可能である。レバー9、10の長さ及び
角度関係により、変速比を調整することができる。
しての対物レンズの光学要素を示す平面図。
結合継手を含む図1の部分拡大図。
手を含む図1の部分拡大図。
リングを摺動させるための調整レバーを含む図1の部分
拡大図。
4…周囲スリット、4a…(食い込みスリット)、4b
…周囲スリット、5…結合部材、6…回転継手、6a…
ブリッジ部分、7…凹部、8…調整レバー、9…レバー
アーム、10…レバーアーム、11a…矢印(調整ねじ
/yねじ)、11b(調整ねじ/xねじ)、12…運動
方向、13…回転極、14…回転極、15…半径方向
線、16…半径方向線、17…走行領域、18…板ば
ね、T1,T2,T3 …接線。
Claims (11)
- 【請求項1】 外側マウント部と結合された内側リング
に支承されている少なくとも1つの光学要素と、光軸に
対し垂直であるか又は任意の角度を成す少なくとも1つ
の方向に光学要素を軌道を制御しつつ摺動させるマニピ
レータ手段とを有する光学結像装置、特に対物レンズに
おいて、内側リング(3)と外側マウント部(1)との
間に結合部材(5)を挟んで配置した内側リング(3)
と外側マウント部(1)との間の複数の周囲スリット
(4)と、内側リング(3)と外側マウント部(1)と
の間の回転継手(6)と、内側リング(3)と外側マウ
ント部(1)との間の、調整部材(11a,11b)を
有する少なくとも1つの調整継手(8,9,10)とか
ら成るマニピュレータ手段としてのシステムを介して、
変形を少なく抑えて又は変形を制御されつつ光学要素
(2)が摺動されることを特徴とする光学結像装置。 - 【請求項2】 内側リング(3)と外側マウント部
(1)は一体に形成されていることを特徴とする請求項
1記載の光学結像装置。 - 【請求項3】 2つの互いに垂直な軸(x軸及びy軸)
の方向に摺動させるために、各々の調整継手(8,9,
10)に対する接線(T1,T2)とそれらの間に位置す
る回転継手(6)に対する接線(T3) との交点により
形成される回転極(13,14)をそれぞれ有する調整
レバー(8)を具備する2つの調整継手が設けられてい
ることを特徴とする請求項1又は2記載の光学結像装
置。 - 【請求項4】 回転極(13,14)の半径(15,1
6)は光軸に対し垂直であるか又は任意の角度を成して
いることを特徴とする請求項3記載の光学結像装置。 - 【請求項5】 結合部材(5)は間にブリッジ部分を挟
んだスペーサにより形成されており、結合部材(5)は
内側リング(3)と外側マウント部(1)との間に、周
囲に沿って分配されて配置されている請求項1から4の
いずれか1項に記載の光学結像装置。 - 【請求項6】 マニピュレータ手段は、調整部材とし
て、調整レバー(8)に作用する調整ねじ(11a,1
1b)を有することを特徴とする請求項1から5のいず
れか1項に記載の光学結像装置。 - 【請求項7】 調整レバー(8)はそれぞれ一端部に2
つのレバーアーム(9,10)を具備し、レバーアーム
(9)は外側マウント部(1)と結合し且つレバーアー
ム(10)は内側リング(3)と結合して、それらの間
にスリット(4b)を形成し、且つ2つのレバーアーム
(9,10)とは反対の側の端部で、調整ねじ(11
a,11b)はそれぞれ半径方向に対応する調整レバー
(8)に作用することを特許とする請求項6記載の光学
結像装置。 - 【請求項8】 スリット(4b)は2つのレバーアーム
(9,10)の間に周囲スリット(4)の延長部分を形
成することを特徴とする請求項7記載の光学結像装置。 - 【請求項9】 結合部材(5)及び/又は回転継手
(6)は固体継手として構成されている請求項1から8
のいずれか1項に記載の光学結像装置。 - 【請求項10】 結合部材(5)は複数の別個の構成要
素により形成されていることを特徴とする請求項1から
8のいずれか1項に記載の光学結像装置。 - 【請求項11】 調整レバー(8)は戻し部材(板ばね
18)を具備することを特徴とする請求項1から10の
いずれか1項に記載の光学結像装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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DE19901295.4 | 1999-01-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000206385A true JP2000206385A (ja) | 2000-07-28 |
JP4416893B2 JP4416893B2 (ja) | 2010-02-17 |
Family
ID=7894310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000007334A Expired - Fee Related JP4416893B2 (ja) | 1999-01-15 | 2000-01-17 | 少なくとも1つの光学要素を有する光学結増装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6191898B1 (ja) |
EP (1) | EP1020751B1 (ja) |
JP (1) | JP4416893B2 (ja) |
KR (1) | KR100622612B1 (ja) |
DE (2) | DE19901295A1 (ja) |
TW (1) | TW464774B (ja) |
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- 1999-12-11 EP EP99124698A patent/EP1020751B1/de not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW464774B (en) | 2001-11-21 |
JP4416893B2 (ja) | 2010-02-17 |
EP1020751B1 (de) | 2004-02-11 |
EP1020751A1 (de) | 2000-07-19 |
US6191898B1 (en) | 2001-02-20 |
DE19901295A1 (de) | 2000-07-20 |
DE59908516D1 (de) | 2004-03-18 |
KR20000052352A (ko) | 2000-08-25 |
KR100622612B1 (ko) | 2006-09-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040819 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080909 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091027 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4416893 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131204 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |