CN103472560B - 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 - Google Patents
透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103472560B CN103472560B CN201310442669.1A CN201310442669A CN103472560B CN 103472560 B CN103472560 B CN 103472560B CN 201310442669 A CN201310442669 A CN 201310442669A CN 103472560 B CN103472560 B CN 103472560B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- picture frame
- lens
- shell fragment
- internal ring
- drivers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置,属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域,为解决现有技术光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题,该装置包括透镜、镜框和三个驱动器,所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接,所述三个驱动器固定在镜框上,其特征在于,所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构,所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块,所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接;所述三个驱动器固定在镜框外环上,驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上;所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成,所述切向弹片与镜框内环相连,所述径向弹片与镜框外环相连。
Description
技术领域
本发明属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域,涉及一种可用于光刻投影物镜系统中透镜X、Y、θZ三自由度调整的微动装置。
背景技术
投影光刻装备是大规模集成电路制造工艺中的关键设备,近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高,投影光学装备的分辨率亦逐渐提高,目前波长193.368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。
投影光刻物镜装调及使用过程中,为满足物镜良好的光学性能,需要调整某些敏感透镜沿X、Y方向的移动量和绕Z轴的转动量。
中国专利,公开号为CN102707404A,光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置,所述镜框为一体化结构,由镜框内环、镜框外环和三个运动支链组成;所述每个运动支链均由三个柔性铰链、第一连杆和第二连杆组成,所述运动支链的外侧与镜框外环相连,运动支链的内侧与镜框内环相连。该装置的结构加工工艺难度较大、加工成本高。
发明内容
本发明为解决现有技术光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题,提出一种基于三处周向均布折叠铰链的透镜柔性微动调整装置。
透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置,包括透镜、镜框和三个驱动器,所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接,所述三个驱动器固定在镜框上,其特征在于,所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构,所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块,所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接;所述三个驱动器固定在镜框外环上,驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上;所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成,所述切向弹片与镜框内环相连,所述径向弹片与镜框外环相连。
本发明的有益效果是:本发明在折叠铰链处采用了切向弹片和径向弹片代 替现有技术中的三个柔性铰链和两个连杆,降低了加工工艺难度和加工成本;同时本发明中驱动器不直接作用在折叠铰链处,避免了驱动器产生的力对折叠铰链2-3处的局部破坏,能够提高机构的使用寿命。
附图说明
图1为本发明透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置示意图。
图2为本发明所述的镜框示意图。
图3为本发明所述的折叠铰链示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明。
如图1所示,透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置,包括透镜1、镜框2和三个驱动器3,所述镜片1与镜框2之间通过胶粘的方式连接,所述三个驱动器3固定在镜框2上。
如图2所示,所述镜框2为镜框内环2-1、镜框外环2-2和三处周向均布的折叠铰链2-3组成的一体化结构,镜框2可以通过慢走丝线切割或者电化学腐蚀等方法加工。所述透镜1与镜框内环2-1之间通过胶粘的方式连接。所述三个驱动器3固定在镜框外环2-2上,并将输入位移作用在对应的驱动器施力块2-1-1上,所述三处驱动器施力块2-1-1周向均布在镜框内环2-1上。驱动器3可采用压电式、磁滞伸缩式、气动式等驱动方式。
如图3所示,所述折叠铰链2-3由切向弹片2-3-1和径向弹片2-3-2组成,所述切向弹片2-3-1与镜框内环2-1相连,所述径向弹片2-3-2与镜框外环2-2相连。
本发明装置的工作过程如下;每个驱动器3单独运动时,柔顺机构的瞬心位于驱动器3正对面的切向弹片2-3-1与镜框内环2-1接触处,根据机构瞬心的定义,此时镜框内环2-1和透镜1粘接组成的整体会绕着瞬心摆动,由于机构的调整量程很小,可以认为此时机构沿着垂直于透镜中心与瞬心连线方向运动。根据运动的合成原理,当周向均布的三个驱动器3同时运动时,通过控制三个驱动器3的运动量可以合成透镜为X、Y、θZ三个方向的调整量。
Claims (1)
1.透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置,包括透镜(1)、镜框(2)和三个驱动器(3),所述透镜(1)与镜框(2)之间通过胶粘的方式连接,所述三个驱动器(3)固定在镜框(2)上,所述镜框(2)为镜框内环(2-1)、镜框外环(2-2)和三处周向均布的折叠铰链(2-3)组成的一体化结构,所述镜框内环(2-1)上周向均布有三处驱动器施力块(2-1-1),所述透镜(1)与镜框内环(2-1)之间通过胶粘的方式连接;所述三个驱动器(3)固定在镜框外环(2-2)上,驱动器(3)的输入位移作用在对应的驱动器施力块(2-1-1)上;其特征在于,所述折叠铰链(2-3)由切向弹片(2-3-1)和径向弹片(2-3-2)组成,所述切向弹片(2-3-1)与镜框内环(2-1)相连,所述径向弹片(2-3-2)与镜框外环(2-2)相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310442669.1A CN103472560B (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310442669.1A CN103472560B (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103472560A CN103472560A (zh) | 2013-12-25 |
CN103472560B true CN103472560B (zh) | 2016-11-23 |
Family
ID=49797474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310442669.1A Expired - Fee Related CN103472560B (zh) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103472560B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106547065B (zh) * | 2015-09-17 | 2019-04-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种可动镜片调整机构 |
CN106547064B (zh) * | 2015-09-17 | 2019-04-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种可动镜片调整机构 |
CN106932878A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种六自由度调节装置 |
CN108398761A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-08-14 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种三维动态调节及锁紧机构 |
DE102022124609A1 (de) | 2022-09-26 | 2024-03-28 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Linsenfassung, Laservorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung, Verfahren zum Herstellen einer Linsenfassung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1610459A1 (ru) * | 1988-06-28 | 1990-11-30 | Предприятие П/Я В-8337 | Устройство дл юстировки оптических элементов |
US6191898B1 (en) * | 1999-01-15 | 2001-02-20 | Carl-Zeiss-Stiftung | Optical imaging device, particularly an objective, with at least one optical element |
CN102226850A (zh) * | 2011-06-17 | 2011-10-26 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 三维角度调整机构 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4134566B2 (ja) * | 2002-02-04 | 2008-08-20 | 株式会社ニコン | 光学要素の位置決め方法及び装置、投影光学系、並びに露光装置 |
JP2006072059A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Pentax Corp | レンズ鏡筒の偏心調整装置 |
JP2007041141A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Sharp Corp | レンズ保持構造体、レンズ位置調整方法およびカメラモジュール |
-
2013
- 2013-09-25 CN CN201310442669.1A patent/CN103472560B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1610459A1 (ru) * | 1988-06-28 | 1990-11-30 | Предприятие П/Я В-8337 | Устройство дл юстировки оптических элементов |
US6191898B1 (en) * | 1999-01-15 | 2001-02-20 | Carl-Zeiss-Stiftung | Optical imaging device, particularly an objective, with at least one optical element |
CN102226850A (zh) * | 2011-06-17 | 2011-10-26 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 三维角度调整机构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103472560A (zh) | 2013-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103472560B (zh) | 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置 | |
CN102707404A (zh) | 光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置 | |
CN100394238C (zh) | 一种一体化光学设备调焦/变焦系统 | |
CN102162894B (zh) | 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 | |
CN103472559B (zh) | 光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置 | |
CN104536112B (zh) | 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置 | |
CN106338805B (zh) | 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机 | |
CN103472555B (zh) | 双电机光学元件轴向调节装置 | |
CN1620731A (zh) | 投影曝光设备中的成像装置 | |
CN102565983A (zh) | 一种动镜轴向微调装置 | |
CN104216237B (zh) | 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置 | |
CN102722016B (zh) | 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 | |
CN106736635B (zh) | 一种三自由度并联平动快速刀具伺服器 | |
CN102169218B (zh) | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 | |
CN105739248B (zh) | 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机 | |
CN103133828B (zh) | 基于非对称桥式柔性位移放大机构的双轴微角摆平台 | |
CN105372942B (zh) | 一种用于镜面单元的主动变形装置 | |
CN102981234A (zh) | 光学元件轴向调整装置 | |
CN103901576B (zh) | 可动镜片微调机构 | |
CN102854758A (zh) | 光刻投影物镜中光学元件x-y微动调整装置 | |
CN106547063B (zh) | 一种可动镜片调整机构 | |
CN201141934Y (zh) | 一种能自动调整镜头焦距的电脑制版设备 | |
TWI712831B (zh) | 用於微影設備的光學裝置與微影設備 | |
US20220326627A1 (en) | Actuator assemblies comprising piezo actuators or electrostrictive actuators | |
CN106547064B (zh) | 一种可动镜片调整机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20161123 Termination date: 20180925 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |