CN106547063B

CN106547063B - 一种可动镜片调整机构

Info

Publication number: CN106547063B
Application number: CN201510590252.9A
Authority: CN
Inventors: 彭云平; 王洪尊; 马很很
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2015-09-17
Filing date: 2015-09-17
Publication date: 2019-03-26
Anticipated expiration: 2035-09-17
Also published as: CN106547063A

Abstract

本发明公开一种可动镜片调整机构，包括镜片（100）和镜筒（200），其特征在于，所述镜筒（200）分为内圈（210）、柔性铰链机构（220）和外圈（230）三部分；所述镜片（100）固定在内圈（210）上，所述内圈（210）通过三个均布的柔性铰链机构（220）与外圈（230）相连。与现有技术相比较，本发明通过一种对称的平行四边形铰链机构，保证电机在驱动杆件过程中，电机驱动点与杆件之间不发生径向滑移，可实现可动镜片高精度调整需求。

Description

一种可动镜片调整机构

技术领域

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种可动镜片调整机构。

背景技术

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差。为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。

中国专利CN102707404A中，可动镜片由三个均布的柔性铰链支撑，通过3个柔性铰链的组合运动实现可动镜片的X/Y/Rz向运动。由于电机驱动杆件做旋转运动，在杆件转动过程中，电机驱动点与杆件之间会发生径向滑移，因此柔性机构在运动过程中，会发生串动现象，导致调整精度不高，不适用于调整精度较高的可动镜片的需求。

发明内容

本发明的目的在于提高可动镜片调整机构的调整精度，从而解决现有像差补偿机构在调整过程中存在的窜动问题。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种可动镜片调整机构，包括镜片（100）和镜筒（200），其特征在于，所述镜筒（200）分为内圈（210）、柔性铰链机构（220）和外圈（230）三部分；所述镜片（100）固定在内圈（210）上，所述内圈（210）通过三个均布的柔性铰链机构（220）与外圈（230）相连。

其中，通过在所述镜筒（200）中K1、K2、K3、K4、K5、K6、K7、K8、K9和K10十处通孔构成铰链，使杆件（221）、杆件（222）、杆件（223）、杆件（224）、杆件（225）分别和杆件（226）连接，形成所述柔性铰链机构（220），保证所述杆件（226）在所述杆件（221）、所述杆件（222）、所述杆件（223）、所述杆件（224）、所述杆件（225）的驱动下，只能实现平移运动。

其中，所述柔性铰链机构（220）还包括拉簧（300）、第一弹簧座（410）、第二弹簧座（420）和驱动电机（500）；所述驱动电机（500）安装在所述外圈（230）上，通过所述驱动电机（500）驱动所述柔性铰链机构（220），由三个所述柔性铰链机构（220）带动所述内圈（210）运动，从而实现所述镜片（100）的运动。

其中，所述拉簧（300）与所述驱动电机（500）配对使用。

其中，所述驱动电机（500）为压电陶瓷电机。

其中，所述杆件（222）、所述杆件（223）、所述杆件（224）、所述杆件（225）和所述杆件（226）构成一个对称平行四边形机构。

与现有技术相比较，本发明通过一种对称的平行四边形铰链机构，保证电机在驱动杆件过程中，电机驱动点与杆件之间不发生径向滑移，可实现可动镜片高精度调整需求。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图；

图2是本发明可动镜片调整机构柔性铰链驱动机构剖视图；

图3是本发明可动镜片调整机构柔性铰链结构局部示意图；

图4是柔性铰链结构中对称平行四边形机构原理图；

图5是柔性铰链结构原理图；

图6是本发明可动镜片调整机构X方向运动原理图；

图7是本发明可动镜片调整机构Y方向运动原理图；

图8是本发明可动镜片调整机构RZ方向运动原理图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

本实施例提出在光刻曝光设备中，通过调整可动镜片在X、Y和RZ方向上的运动，来实现物镜的像差补偿的机构。

如图1所示，本发明可动镜片调整机构包括镜片100和镜筒200。镜筒200分为3个部分:内圈210、柔性铰链机构220和外圈230，镜片100固定在内圈210上，外圈230是整个机构的安装基础，镜筒内圈210通过3个均布的柔性铰链机构220与外圈230相连。如图2所示，柔性铰链机构220包括拉簧300、弹簧座410、弹簧座420和驱动电机500。驱动电机500安装在镜筒外圈230上，通过驱动电机500驱动柔性铰链机构220，由3个柔性铰链机构220带动镜筒内圈210运动，从而实现镜片100运动。拉簧300与驱动电机500配对使用，给柔性铰链机构220提供一个方向运动力。

如图3所示，柔性铰链机构220为整个可动镜片调整机构的关键部件，通过在镜筒200中K3、K4、K5、K6 、K7、K8、K9和K10处通孔，使杆件222、杆件223、杆件224、杆件225、杆件226构成一个对称平行四边形机构。对称平行四边形机构原理如图4所示，通过杆件222、杆件223、杆件224和杆件225保证杆件226只能实现平移运动，其它方向的自由度被限制。通过在镜筒200中K1和K2位置通孔，构成一个柔性铰链机构，原理如图5所示，由杆件221、杆件226和镜筒内圈210组成。由3个均布的柔性铰链机构220的组合运动，实现镜片在X、Y和Rz方向上的运动，如图6、图7和图8所示。

本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。

Claims

1.一种可动镜片调整机构，包括镜片(100)和镜筒(200)，其特征在于，所述镜筒(200)分为内圈(210)、柔性铰链机构(220)和外圈(230)三部分；所述镜片(100)固定在内圈(210)上，所述内圈(210)通过三个均布的所述柔性铰链机构(220)与外圈(230)相连；

通过在所述镜筒(200)中K1、K2、K3、K4、K5、K6、K7、K8、K9和K10十处通孔构成铰链，使第一杆件(221)、第二杆件(222)、第三杆件(223)、第四杆件(224)、第五杆件(225)分别和第六杆件(226)连接，形成所述柔性铰链机构(220)，保证所述第六杆件(226)在所述第一杆件(221)、所述第二杆件(222)、所述第三杆件(223)、所述第四杆件(224)、所述第五杆件(225)的驱动下，只能实现平移运动。

2.如权利要求1所述的可动镜片调整机构，其特征在于，所述柔性铰链机构(220)还包括拉簧(300)、第一弹簧座(410)、第二弹簧座(420)和驱动电机(500)；所述驱动电机(500)安装在所述外圈(230)上，通过所述驱动电机(500)驱动所述柔性铰链机构(220)，由三个所述柔性铰链机构(220)带动所述内圈(210)运动，从而实现所述镜片(100)的运动。

3.如权利要求2所述的可动镜片调整机构，其特征在于，所述拉簧(300)与所述驱动电机(500)配对使用。

4.如权利要求2或3所述的可动镜片调整机构，其特征在于，所述驱动电机(500)为压电陶瓷电机。

5.如权利要求1所述的可动镜片调整机构，其特征在于，所述第二杆件(222)、所述第三杆件(223)、所述第四杆件(224)、所述第五杆件(225)和所述第六杆件(226)构成一个对称平行四边形机构。