CN106547069B - 一种可动镜片轴向调整机构及调整方法 - Google Patents

一种可动镜片轴向调整机构及调整方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种可动镜片轴向调整机构，其特征在于，包括：矩形镜片（100）、支撑镜座（200）、弹性柱塞（300）、电机（400）和柔性支架（500）；所述支撑镜座（200）、弹性柱塞（300）和电机（400）均固定在所述柔性支架（500）上面，所述矩形镜片（100）固定在所述支撑镜座（200）上；通过所述电机（400）和所述弹性柱塞（300）驱动所述柔性支架（500）的柔性铰链机构，实现所述矩形镜片（100）在Z方向的运动。本发明还提出了使用可动镜片轴向调整机构进行轴向调整的方法。与现有技术相比较，本发明通过在矩形镜片的短边处各布置一个平行四边形铰链机构，保证整个运动机构实现轴向运动，且结构简单，稳定可靠。

Description

一种可动镜片轴向调整机构及调整方法
技术领域
本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种可动镜片轴向调整机构及调整方法。
背景技术
在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差。为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。美国专利US 2008/0204905公开的可动镜组由三个均布的柔性块支撑，通过柔性块的弹性变形实现可动镜片的移动。中国专利CN200810204974公开的可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。
上述二个专利，在实现上有一定的局限性，结构比较复杂，且需要三点均布支撑镜片，通过调整三个支撑点的位置，实现镜片的运动。这两种结构适用于调整圆形镜片，但对应长条形、矩形镜片，一般从结构布局上无法实现三点支撑。
发明内容
为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提出一种可动镜片轴向调整机构，其特征在于，包括：矩形镜片（100）、支撑镜座（200）、弹性柱塞（300）、电机（400）和柔性支架（500）；所述支撑镜座（200）、弹性柱塞（300）和电机（400）均固定在所述柔性支架（500）上面，所述矩形镜片（100）固定在所述支撑镜座（200）上；通过所述电机（400）和所述弹性柱塞（300）驱动所述柔性支架（500）的柔性铰链机构，实现所述矩形镜片（100）在Z方向的运动。
更进一步地，所述柔性支架（500）包括刚性构件和柔性铰链机构；所述柔性铰链机构为双平行四边形铰链机构。
更进一步地，所述柔性铰链机构采用抗疲劳强度高的材料。
本发明还提出了使用上述的可动镜片轴向调整机构进行轴向调整的方法，其特征在于，使用所述电机（400）驱动所述柔性支架（500）的柔性铰链机构实现所述矩形镜片（100）在Z方向的正向平动；使用所述弹性柱塞（300）驱动所述柔性支架（500）的柔性铰链机构在Z方向的反向平动，实现所述矩形镜片（100）在Z方向的运动。
与现有技术相比较，本发明通过在矩形镜片的短边处各布置一个平行四边形铰链机构，保证整个运动机构实现轴向运动，且结构简单，稳定可靠。
附图说明
关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图1是本发明可动镜片轴向调整机构结构示意图；
图2是本发明可动镜片轴向调整机构侧面剖视图；
图3是本发明可动镜片轴向调整机构柔性铰链机构结构示意图；
图4是本发明可动镜片轴向调整机构柔性铰链机构运动原理图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。
本发明提出的一种可动镜片轴向调整机构，是为了实现矩形镜片100在Z方向的调整，从而对投影物镜进行像差补偿。
如图1和2所示，本发明可动镜片轴向调整机构包括：矩形镜片100、支撑镜座200、弹性柱塞300、电机400和柔性支架500。柔性支架500是整个机构的安装基础，支撑镜座200、弹性柱塞300和电机400均固定在柔性支架500上面，矩形镜片100固定在支撑镜座200上。由一个电机400在柔性支架500的中间位置驱动柔性铰链机构，实现矩形镜片100在Z方向的正向平动，通过弹性柱塞300驱动柔性铰链机构在Z方向的反向平动，从而实现矩形镜片100在Z方向的运动。
柔性支架500为整个可动镜片调整机构的关键零件，由刚性构件和柔性铰链机构组成，采用抗疲劳强度高的材料。柔性支架500为对称结构，如图3所示，在H1、H2、H3和H4处通孔，形成四个铰链，构成柔性铰链机构，由杠杆510、520、530和540组成平行四边形铰链机构，通过两边的双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构做Z向运动，即杠杆520做Z方向运动，当杆件530与水平方向夹角比较小时，以杆件530长度为30mm与水平方向夹角2度为例，整个机构在Z方向运动0.1mm时，机构在X方向的串扰量小于0.002mm，可以忽略不计。
柔性铰链机构的运动原理如图4所示，通过在柔性支架500中间位置布置一个电机400，驱动杠杆510运动，保证镜片矩形100在Z方向上调整平稳。
与现有技术相比较，本发明通过在矩形镜片的短边处各布置一个平行四边形铰链机构，保证整个运动机构实现轴向运动，且结构简单，稳定可靠。
本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。

Claims (4)

1.一种可动镜片轴向调整机构，其特征在于，包括：矩形镜片(100)、支撑镜座(200)、弹性柱塞(300)、电机(400)和柔性支架(500)，所述支撑镜座(200)为矩形；所述支撑镜座(200)、弹性柱塞(300)和电机(400)均固定在所述柔性支架(500)上面，其中，所述支撑镜座(200)设置于所述柔性支架(500)的第一侧，所述弹性柱塞(300)位于所述柔性支架(500)的第二侧，所述电机(400)位于所述柔性支架(500)的第二侧并且位于所述柔性支架(500)的第二侧的中间位置，所述矩形镜片(100)固定在所述支撑镜座(200)上；通过所述电机(400)和所述弹性柱塞(300)驱动所述柔性支架(500)的柔性铰链机构，实现所述矩形镜片(100)在Z方向的运动。
2.如权利要求1所述的可动镜片轴向调整机构，其特征在于，所述柔性支架(500)包括刚性构件和柔性铰链机构；所述柔性铰链机构为双平行四边形铰链机构。
3.如权利要求2所述的可动镜片轴向调整机构，其特征在于，所述柔性铰链机构采用抗疲劳强度高的材料。
4.使用如权利要求1-3之一所述的可动镜片轴向调整机构进行轴向调整的方法，其特征在于，使用所述电机(400)驱动所述柔性支架(500)的柔性铰链机构实现所述矩形镜片(100)在Z方向的正向平动；使用所述弹性柱塞(300)驱动所述柔性支架(500)的柔性铰链机构在Z方向的反向平动，实现所述矩形镜片(100)在Z方向的运动。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108983381B (zh) * 2017-05-31 2020-12-11 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种可动镜片调整机构
CN113917798B (zh) * 2021-09-22 2022-10-14 哈尔滨工业大学 一种用于工作台z轴方向宏动的运动装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003016976A2 (de) * 2001-08-18 2003-02-27 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur justage eines optischen elements
CN101907757A (zh) * 2010-07-13 2010-12-08 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法
CN103345126A (zh) * 2013-06-29 2013-10-09 中国科学院光电技术研究所 一种三自由度纳米定位微动硅片台
CN103472555A (zh) * 2013-09-25 2013-12-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双电机光学元件轴向调节装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004281644A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Canon Inc 駆動機構及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003016976A2 (de) * 2001-08-18 2003-02-27 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur justage eines optischen elements
CN101907757A (zh) * 2010-07-13 2010-12-08 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法
CN103345126A (zh) * 2013-06-29 2013-10-09 中国科学院光电技术研究所 一种三自由度纳米定位微动硅片台
CN103472555A (zh) * 2013-09-25 2013-12-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双电机光学元件轴向调节装置

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