JP2000202379A

JP2000202379A - ネジ穴洗浄装置および部品の洗浄方法

Info

Publication number: JP2000202379A
Application number: JP11007145A
Authority: JP
Inventors: Etsuro Nakamura; 悦朗中村
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1999-01-14
Filing date: 1999-01-14
Publication date: 2000-07-25

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、ネジ穴に残留している切削油や切
削屑を確実に除去することのできるネジ穴洗浄装置を提
供することを目的とする。【解決手段】本発明では、ブラシが備えられた洗浄部
材５をネジ穴に挿入して前記ブラシ５をネジ穴に対して
相対的に運動させることにより、前記ネジ穴内を洗浄す
るネジ穴洗浄装置において、前記洗浄部材に洗浄液を供
給するための洗浄液供給手段５ａ、９、１０を有するこ
とを特徴とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ネジ穴加工後に前
記ネジ穴内に残る切削屑や切削油を排除するためのネジ
穴洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より複数の部品の締結手段としてネ
ジが多用されている。通常、雄ネジはダイスを用いて加
工され、雌ネジはタップを用いて加工される。タップに
よる雌ネジ加工の場合、ドリルなどによって被加工部材
に下穴を明けておき、粗タップ、仕上げタップの順に用
いて加工を行う。タップによるネジ加工の際、切削抵抗
緩和のためと切削による熱を抑えるためにグリースなど
の切削油を用いている。ネジ穴加工後には、作業者がエ
アガンを使い、空気流によって切削屑や切削油を排除し
ている。さらに、汚れを嫌う部品の場合には、洗浄槽に
入れて超音波洗浄や蒸気洗浄を行っている。

【０００３】最近、エキシマレーザ、軟Ｘ線などの短波
長光を用いることにより微細な加工を行うことのできる
装置が開発されている。短波長光を用いることで加工の
分解能を高くできる。当然、前記装置には短波長光を対
象にする光学素子が用いられ、この光学素子には高い形
状精度と面精度とが要求される。したがって、短波長用
光学素子の評価装置においては、より高い精度が要求さ
れ、測定誤差となる要因を悉く取り除かなければならな
い。その要因の一つに空気の存在があげられる。

【０００４】空気中の酸素による短波長光の吸収で精度
が低下したり、空気の揺らぎによって測定値が安定しな
いなどの影響がある。このような空気の影響を除くため
に前記評価装置には真空チャンバが用いられる。真空チ
ャンバ内には、評価装置を構成するための各種機構部品
が配置され、ボルトを用いて固定される。つまり、真空
チャンバの隔壁には多数の雌ネジ加工が施されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような真空チャ
ンバのネジ穴は、真空洩れ防止のために貫通していない
めくら穴となっている。また、真空チャンバの材質がス
テンレスであるためにタップによる加工がしづらく、グ
リースを多用している。このような真空チャンバあるい
は真空チャンバの構成部品を洗浄槽にいれて超音波洗浄
や蒸気洗浄を行っても、ネジの谷部に付着した油分まで
は取りきれないという問題点があった。

【０００６】ネジの谷部に付着した油分は、徐々に真空
中に飛散し、評価装置の光学素子などに付着して測定精
度を下げてしまっていた。そこで本発明は、ネジ穴に残
留している切削油や切削屑を確実に除去することのでき
るネジ穴洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的のために本発明
では、ブラシが備えられた洗浄部材をネジ穴に挿入して
前記ブラシをネジ穴に対して相対的に運動させることに
より、前記ネジ穴内を洗浄するネジ穴洗浄装置におい
て、前記洗浄部材に洗浄液を供給するための洗浄液供給
手段を有することを特徴とした。

【０００８】また、更に本発明では、ネジ穴が形成さ
れ、大気より低い圧力下で用いる部品の洗浄方法におい
て、その部品に形成されたネジ穴に洗浄液を供給し、部
品を洗浄することを特徴とした。この様に洗浄液をネジ
穴に供給することで、ネジ穴内に存在する汚れの原因を
確実に除去することができる。とくに、真空容器などの
低圧力下で用いられる部品に対して低圧力下で使用した
ときもネジ穴の汚れが原因で発生する不純物の拡散を抑
えるという効果を発揮するものである。

【０００９】以下に、本発明の実施の形態を説明する
が、本発明はこれに限られるものではない。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る実施の形態
であるネジ穴洗浄装置の構成を示す断面図である。この
図を用いて発明の実施の形態について説明する。上記の
ネジ穴洗浄装置は、ネジ穴をブラシが回転しながら洗浄
を行うために、駆動部、回転軸部、洗浄液供給部、ブラ
シ部で構成される。

【００１１】ところで、駆動部は、減速用のギヤヘッド
１、直流モータ２、電源（不図示）、カバー３とからな
り、ギヤヘッド１は直流モータ２に直結している。この
直流モータが回転することでギヤヘッド１に動力を伝達
する仕組みになっている。直流モータの電源としては、
乾電池や、交流１００Ｖの電力を直流に変換して直流モ
ータ２に供給する直流安定化電源などがある。本ネジ穴
洗浄装置では、不図示の直流安定化電源からコード３１
により電力を得ている。なお、本発明はこれだけに限ら
れず、乾電池をカバー３内に設置することでも構わな
い。また、直流モータ２の入切は、カバー３に取り付け
てあるスイッチ（不図示。以下回転ＳＷという。）によ
り行われる。

【００１２】次に、回転軸部は、本体４と、回転軸５
と、前記回転軸５と前記ギヤヘッド１とを連結するため
の軸継手６と、軸受７ａ，７ｂと、洗浄水がモーター部
に侵入しないように設けられたシール８ａ，８ｂとから
なる。そして、駆動部で得られた動力は、軸継手６、軸
受７ａ、７ｂを介して回転軸５に伝達する。ところで、
本体４にはアルミ合金あるいはプラスチックを用いてい
る。そして、軸受７ａ，７ｂは圧入や接着などにより本
体４に固定されている。そして、回転軸５は軸受７ａ、
７ｂにより本体４に固定される。

【００１３】本ネジ穴洗浄装置に用いる軸受７ａ，７ｂ
としては、滑り軸受でも転がり軸受でもどちらでも良
い。本実施の形態であるネジ穴洗浄装置では、機能上、
回転速度が遅くてもいいのと、後述する洗浄液が冷却液
を兼ねるので、滑り軸受でも十分対応できる。なお、転
がり軸受を採用する場合にはステンレス製のものを用い
るのが好ましい。滑り軸受を採用する場合は、素メタル
でよく、りん青銅などが好ましい。

【００１４】ところで、本発明の実施の形態のネジ穴洗
浄装置では、回転軸５の中心にはブラシ部に洗浄液を供
給するための穴５ａが設けてあり、側部には洗浄液を導
入するための孔５ｂが形成されている。そして、その本
体４の穴５ｂに接続するように、洗浄液を導入するため
の継手９が固定されている。また、回転軸５の先端には
ブラシ部取付用のテーパ孔が設けてあり、この穴に後述
するブラシ部が挿入されている。

【００１５】また、本ネジ穴洗浄装置の洗浄液供給部と
しては、回転軸部に洗浄液を導入するための継手９と、
不図示のポンプと、前記継手９とポンプとを繋ぐチュー
ブ１０とが備えられている。ポンプには洗浄液を貯蔵す
るタンクが備わっており、洗浄液吐出の入切は不図示の
吐出スイッチ（以下、吐出ＳＷという。）により行う。
これによりポンプの駆動のオン・オフが行われ、洗浄液
吐出の制御が行われる。なお、この吐出ＳＷは、駆動部
のカバー３に取り付けてもよいし、別置の足踏みスイッ
チにしてもよい。また、前記継手９のところに手動バル
ブを取り付ければ、前記吐出ＳＷを入れっぱなしにして
おいても、洗浄液の吐出の入切を行えるので、ポンプの
側に設置しても構わない。洗浄液には水道水や家庭用の
中性洗剤を水道水で希釈したものなどを用いる。

【００１６】このようにして、洗浄液は図示されていな
いポンプからチューブ１０を通過し、継手９、回転軸５
を経てブラシ部まで洗浄液が流れる流路が形成されてい
る。図２は、ブラシ部の拡大断面図である。このブラシ
部の一端には、前記回転軸５に差し込むためのテーパ軸
２１ａが形成されている。また、ブラシ部の中央には洗
浄液を通すための孔２１ｂが設けてあり、周囲には螺旋
状に多数の毛２０が植えられている。毛２０を螺旋状に
配置することで、回転軸５の回転方向により、切削屑な
どをネジ穴外に運び出すことができる。毛２０の材質と
しては豚の毛やナイロンなどが用いられる。ブラシ部の
本体２１にはアルミ合金やプラスチックなどを用いるこ
とができる。特に、ブラシ部は消耗品なのでプラスチッ
ク成形を用いることにより大量に安く製造することがで
きる。本発明の装置ではＭ３以上のネジ穴に対応でき、
ブラシ部はネジ穴の大きさに合わせて、何種類か交換し
て用いることができる。また、めくら穴に限らず、図３
に示す通し孔用を用いることにより、貫通している雌ネ
ジにも対応できる。この通し孔用のブラシ部は、図２に
記されたブラシ部と見比べてわかるように、洗浄液を通
すための孔２２ｂが貫通孔ではなく、めくら穴状になっ
ている。この点のみ、図２に記されたブラシ部と異な
る。

【００１７】次に、本ネジ穴洗浄装置を用いてネジ穴を
洗浄する手順について説明する。まず、洗浄の必要な部
品は、作業者により洗浄室に持って行く。特に洗浄され
る部品はネジ穴加工など総ての機械加工の済んだ部品を
対象に行う。そして、粗洗浄用の洗浄槽で超音波洗浄を
行う。その後、洗浄室の洗い場で本装置を用いてネジ穴
の洗浄を行う。電源を入れてモータとポンプを駆動でき
る状態にする。吐出ＳＷを押して洗浄液が出ることを確
認し、一旦止める。回転ＳＷを入れ、ブラシ部を回しな
がらネジ穴に入れる。この状態で吐出ＳＷを入れて洗浄
液を出す。洗浄液を止めてブラシ部をネジ穴から出し、
回転を止める。総てのネジ穴の洗浄が済んだら、仕上げ
洗浄用の洗浄槽に入れ、蒸気洗浄を行って終了する。

【００１８】この様に洗浄を行うことで、切削油や切削
屑を確実に除去することが可能になる。殊に、真空装置
に使用される部品については、真空環境下でネジの谷に
付着した油分が徐々に飛散してしまうということがあっ
たが、この様な洗浄法をネジ穴に行うことによって、そ
の様なことも防ぐことができるようになった。

【００１９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、回転する
ブラシと洗浄液とを用いて、ネジ穴内に直接触れて洗浄
することができるので、切削油や切削屑を確実に除去す
る効果がある。なお、ネジ穴に油分が残っていると締め
付けトルクが安定せず、緩みの原因になる。したがって
本発明に係る装置は、真空機器関連部品のネジ穴ばかり
ではなく、普通の部品のネジ穴に用いても効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるネジ穴洗浄装置の構成を示す断面
図である。

【図２】本発明によるネジ穴洗浄装置で用いるめくら穴
用ブラシ部の断面図である。

【図３】本発明によるネジ穴洗浄装置で用いる通し孔用
ブラシ部の断面図である。

【符号の説明】

１・・・ギヤヘッド２・・・直流モータ３・・・カバー４・・・回転軸部本体５・・・回転軸６・・・軸継手７ａ，７ｂ・・・軸受８ａ，８ｂ・・・シール９・・・継手１０・・・チューブ２０・・・毛２１，２２・・・ブラシ部本体３１・・・コード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ブラシを備えた洗浄部材をネジ穴に挿入
し、前記ブラシをネジ穴に対して相対的に運動させるこ
とにより、前記ネジ穴内を洗浄するネジ穴洗浄装置にお
いて、前記洗浄部材に備えられたブラシに洗浄液を供給するた
めの洗浄液供給手段を有することを特徴とするネジ穴洗
浄装置。
【請求項２】ネジ穴が形成され、大気より低い圧力下
で用いる部品の洗浄方法において、前記部品に形成され
た前記ネジ穴に洗浄液を供給し、かつブラシを備えた洗
浄部材をネジ穴に対して相対的に運動をおこなわさせ
て、前記部品を洗浄することを特徴とする部品の洗浄方
法。