JP2000195652A - 加熱装置 - Google Patents
加熱装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱手段を備えた耐熱性金属ブロック内部に
均等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装置において、熱効
率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置を提供する。 【解決手段】 ステンレス鋼製の耐熱性金属ブロック１
１内部に銅からなる均等加熱用金属体１３を挿入した状
態で均等加熱用金属体１３の溶融点以上の温度で加熱
し、耐熱性金属ブロック１１内面と均等加熱用金属体１
３外面とを密着状態にする。
均等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装置において、熱効
率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置を提供する。 【解決手段】 ステンレス鋼製の耐熱性金属ブロック１
１内部に銅からなる均等加熱用金属体１３を挿入した状
態で均等加熱用金属体１３の溶融点以上の温度で加熱
し、耐熱性金属ブロック１１内面と均等加熱用金属体１
３外面とを密着状態にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造におけ
る表面実装部品用接着剤の熱印加や、ボンディング後の
熱処理、クリーム半田リフロー、また高熱動作試験用加
熱などに使用される加熱装置に関する。
る表面実装部品用接着剤の熱印加や、ボンディング後の
熱処理、クリーム半田リフロー、また高熱動作試験用加
熱などに使用される加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】いわゆるブロックヒータと呼ばれる加熱
装置は、耐熱性に優れたステンレス鋼などをブロック状
とし、この内部に熱源である加熱ヒータを埋め込んだも
ので、加熱ヒータによってブロック全体の温度を上昇さ
せ、この熱によって上記した接着剤等を硬化させるもの
である。
装置は、耐熱性に優れたステンレス鋼などをブロック状
とし、この内部に熱源である加熱ヒータを埋め込んだも
ので、加熱ヒータによってブロック全体の温度を上昇さ
せ、この熱によって上記した接着剤等を硬化させるもの
である。
【０００３】このような加熱装置において特に重要なの
は、加熱領域全面を精度よく均一に温度上昇させること
であり、加熱装置の加熱領域にむらがあると、例えば、
表面実装部品用接着剤の熱印加に用いた場合、樹脂の硬
化むらを引き起こし、製品のひずみとなって現れる。
は、加熱領域全面を精度よく均一に温度上昇させること
であり、加熱装置の加熱領域にむらがあると、例えば、
表面実装部品用接着剤の熱印加に用いた場合、樹脂の硬
化むらを引き起こし、製品のひずみとなって現れる。
【０００４】このような温度むらに起因する製品のひず
みは、製品の性能に悪影響を与えるばかりでなくひずみ
部分からクラックが発生し、甚だしい場合は製品破損の
原因になる場合もある。
みは、製品の性能に悪影響を与えるばかりでなくひずみ
部分からクラックが発生し、甚だしい場合は製品破損の
原因になる場合もある。
【０００５】このような問題点を解消し、均一な表面温
度を得る手段として、本出願人は、特開平８−３３５４
９０号公報において、従来から使用されているステンレ
ス鋼からなるブロック本体内部に、熱伝導性に優れた銅
などからなる均等加熱用封入体を埋め込んだ加熱装置を
提案した。
度を得る手段として、本出願人は、特開平８−３３５４
９０号公報において、従来から使用されているステンレ
ス鋼からなるブロック本体内部に、熱伝導性に優れた銅
などからなる均等加熱用封入体を埋め込んだ加熱装置を
提案した。
【０００６】この加熱装置によれば、ステンレス鋼だけ
で形成されたものに比べて加熱装置全体の熱抵抗を下げ
ることが可能となり、これによって、ヒータの熱を効率
良く加熱面側に伝導させて加熱面全域に均一な温度分布
を得ることができる。
で形成されたものに比べて加熱装置全体の熱抵抗を下げ
ることが可能となり、これによって、ヒータの熱を効率
良く加熱面側に伝導させて加熱面全域に均一な温度分布
を得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の方法
では、ブロック本体と均等加熱用封入体との接合は、単
なる機械的なはめ込みや、または銀ロー付けなどによっ
て行われており、機械的はめ込みではブロック本体内面
と均等加熱用封入体外面との境界部全体に隙間ができや
すく、また銀ロー付けの場合、部分的に隙間ができる傾
向がある。
では、ブロック本体と均等加熱用封入体との接合は、単
なる機械的なはめ込みや、または銀ロー付けなどによっ
て行われており、機械的はめ込みではブロック本体内面
と均等加熱用封入体外面との境界部全体に隙間ができや
すく、また銀ロー付けの場合、部分的に隙間ができる傾
向がある。
【０００８】このような全体の隙間は、熱効率を悪く
し、また部分的な隙間は、温度むらの原因となる。特に
温度むらは高温になればなるほど甚だしく、４００℃の
場合±３℃、５００℃の場合±７．５℃の温度むらが発
生していた。
し、また部分的な隙間は、温度むらの原因となる。特に
温度むらは高温になればなるほど甚だしく、４００℃の
場合±３℃、５００℃の場合±７．５℃の温度むらが発
生していた。
【０００９】そこで、本発明が解決すべき課題は、先に
本出願人が提案した加熱装置の上記問題点を解消し、さ
らに熱効率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置を提供
することにある。
本出願人が提案した加熱装置の上記問題点を解消し、さ
らに熱効率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置を提供
することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記課題を解
決するために鋭意研究の結果、耐熱性金属ブロックを外
枠として、この中に挿入される均等加熱用金属体の材料
を溶融点まで一旦加熱した後冷却することにより、耐熱
性金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面とが完全に
密着し、これによって熱効率の向上と温度むらを解消で
きるのではないかとの知見に基づき本発明を完成するに
至ったものである。
決するために鋭意研究の結果、耐熱性金属ブロックを外
枠として、この中に挿入される均等加熱用金属体の材料
を溶融点まで一旦加熱した後冷却することにより、耐熱
性金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面とが完全に
密着し、これによって熱効率の向上と温度むらを解消で
きるのではないかとの知見に基づき本発明を完成するに
至ったものである。
【００１１】すなわち、本発明は、加熱手段を備えた耐
熱性金属ブロック内部に、前記耐熱性金属ブロックより
も熱伝導率が高い均等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装
置であって、前記耐熱性金属ブロック内部に前記均等加
熱用金属体を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の溶
融点以上の温度で加熱し、耐熱性金属ブロック内面と均
等加熱用金属体外面とを密着状態にしたことを特徴とす
る。
熱性金属ブロック内部に、前記耐熱性金属ブロックより
も熱伝導率が高い均等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装
置であって、前記耐熱性金属ブロック内部に前記均等加
熱用金属体を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の溶
融点以上の温度で加熱し、耐熱性金属ブロック内面と均
等加熱用金属体外面とを密着状態にしたことを特徴とす
る。
【００１２】ここで耐熱性金属ブロックとしては耐久性
に優れたステンレス鋼を、また均等加熱用金属体として
は、熱伝導性に優れた、銅、銀、アルミニウム、金のい
ずれかを好適に用いることができる。
に優れたステンレス鋼を、また均等加熱用金属体として
は、熱伝導性に優れた、銅、銀、アルミニウム、金のい
ずれかを好適に用いることができる。
【００１３】また、本発明は、上記したように、加熱手
段と均等加熱用金属体とを耐熱性金属ブロック内部に埋
め込んだもののみならず、加熱手段を備えた加熱装置本
体と、同加熱装置本体に載置され、または前面に配置し
て、または装着して使用される均等加熱用部材とからな
る加熱装置においても可能である。
段と均等加熱用金属体とを耐熱性金属ブロック内部に埋
め込んだもののみならず、加熱手段を備えた加熱装置本
体と、同加熱装置本体に載置され、または前面に配置し
て、または装着して使用される均等加熱用部材とからな
る加熱装置においても可能である。
【００１４】この場合、前記均等加熱用部材は、耐熱性
金属ブロックと同耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記
耐熱性金属ブロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金
属体とを備え、前記耐熱性金属ブロック内部に前記均等
加熱用金属体を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の
溶融点以上の温度で加熱し、耐熱性金属ブロック内面と
均等加熱用金属体外面とを密着状態とする。
金属ブロックと同耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記
耐熱性金属ブロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金
属体とを備え、前記耐熱性金属ブロック内部に前記均等
加熱用金属体を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の
溶融点以上の温度で加熱し、耐熱性金属ブロック内面と
均等加熱用金属体外面とを密着状態とする。
【００１５】本発明の加熱装置の製造方法は、加熱手段
を備えた耐熱性金属ブロック内部に、前記耐熱性金属ブ
ロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属体を埋め込
んだ加熱装置の製造方法であって、前記耐熱性金属ブロ
ックの一面を開口し、同開口部から均等加熱用金属体用
材料を挿入し、しかる後に前記均等加熱用金属体の溶融
点以上の温度で前記耐熱性金属ブロック及び均等加熱用
金属体用材料を加熱した後冷却し、耐熱性金属ブロック
内面と均等加熱用金属体外面とを密着状態にすることを
特徴とする。
を備えた耐熱性金属ブロック内部に、前記耐熱性金属ブ
ロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属体を埋め込
んだ加熱装置の製造方法であって、前記耐熱性金属ブロ
ックの一面を開口し、同開口部から均等加熱用金属体用
材料を挿入し、しかる後に前記均等加熱用金属体の溶融
点以上の温度で前記耐熱性金属ブロック及び均等加熱用
金属体用材料を加熱した後冷却し、耐熱性金属ブロック
内面と均等加熱用金属体外面とを密着状態にすることを
特徴とする。
【００１６】また本発明の別の加熱装置の製造方法は、
加熱手段を備えた加熱装置本体と、同加熱装置本体に載
置され、または前面に配置して、または装着して使用さ
れる均等加熱用部材とからなる加熱装置の製造方法であ
って、前記均等加熱用部材は、耐熱性金属ブロックと同
耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記耐熱性金属ブロッ
クよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属体とを備え、前
記耐熱性金属ブロック内部に前記均等加熱用金属体用材
料を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の溶融点以上
の温度で加熱した後冷却し、耐熱性金属ブロック内面と
均等加熱用金属体外面とを密着状態にする。
加熱手段を備えた加熱装置本体と、同加熱装置本体に載
置され、または前面に配置して、または装着して使用さ
れる均等加熱用部材とからなる加熱装置の製造方法であ
って、前記均等加熱用部材は、耐熱性金属ブロックと同
耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記耐熱性金属ブロッ
クよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属体とを備え、前
記耐熱性金属ブロック内部に前記均等加熱用金属体用材
料を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の溶融点以上
の温度で加熱した後冷却し、耐熱性金属ブロック内面と
均等加熱用金属体外面とを密着状態にする。
【００１７】ここで、前記の加熱温度は、均等加熱用金
属体の溶融温度〜溶融温度＋１℃（たとえば銅の場合、
１０８３〜１０８４℃）が望ましい。加熱温度が均等加
熱用金属体の溶融温度＋１℃を超えて高くなり過ぎる
と、溶融物があふれて内部に空洞が発生し、均等な加熱
に支障を生じるようになる。
属体の溶融温度〜溶融温度＋１℃（たとえば銅の場合、
１０８３〜１０８４℃）が望ましい。加熱温度が均等加
熱用金属体の溶融温度＋１℃を超えて高くなり過ぎる
と、溶融物があふれて内部に空洞が発生し、均等な加熱
に支障を生じるようになる。
【００１８】上記条件で加熱することによって、耐熱性
金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面との境界に体
積拡散層が形成され、これによって、耐熱性金属ブロッ
ク内面と均等加熱用金属体外面とを完全密着状態とする
ことができるものと考えられる。この現象は、固相焼結
における体積拡散に似た現象により生じるものと推察さ
れる。
金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面との境界に体
積拡散層が形成され、これによって、耐熱性金属ブロッ
ク内面と均等加熱用金属体外面とを完全密着状態とする
ことができるものと考えられる。この現象は、固相焼結
における体積拡散に似た現象により生じるものと推察さ
れる。
【００１９】なお、均等加熱用金属体用材料を溶融点ま
で加熱する際には、過昇温により溶融物があふれ出して
空洞が発生するのを防止するために、たとえば銅の場
合、１０５０℃程度から１０８３℃までは３０〜４０分
程度の時間をかけて加熱することが望ましい。
で加熱する際には、過昇温により溶融物があふれ出して
空洞が発生するのを防止するために、たとえば銅の場
合、１０５０℃程度から１０８３℃までは３０〜４０分
程度の時間をかけて加熱することが望ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下本発明の特徴を図面に示す実
施の形態に基づいて詳細に説明する。図１は第１の実施
の形態の加熱装置を示す一部切欠斜視図、図２は図１に
示す加熱装置の縦断面図である。
施の形態に基づいて詳細に説明する。図１は第１の実施
の形態の加熱装置を示す一部切欠斜視図、図２は図１に
示す加熱装置の縦断面図である。
【００２１】本実施形態の加熱装置１０は、耐熱性や耐
摩耗性に優れたステンレス鋼からなる耐熱性金属ブロッ
ク１１と、この耐熱性金属ブロック１１の内部に挿入さ
れステンレス鋼よりも熱伝導率が高い銅からなる均等加
熱用金属体１２、及び熱源であるヒータ１３によって構
成されている。図の上面側が半導体製造などにおいての
加熱面となる。
摩耗性に優れたステンレス鋼からなる耐熱性金属ブロッ
ク１１と、この耐熱性金属ブロック１１の内部に挿入さ
れステンレス鋼よりも熱伝導率が高い銅からなる均等加
熱用金属体１２、及び熱源であるヒータ１３によって構
成されている。図の上面側が半導体製造などにおいての
加熱面となる。
【００２２】次いで図３〜図５を参照して、図１に示す
加熱装置の製造プロセスについて説明する。
加熱装置の製造プロセスについて説明する。
【００２３】図３において、１１ａ〜１１ｅは金属ブロ
ック１１を構成する各パーツで、これらのパーツ１１ａ
〜１１ｅを上面のみを開口した状態に溶接によって組み
立て、内部に均等加熱用金属体用材料としての銅板Ｇを
挿入する。その際、銅板Ｇの溶融によって各パーツ１１
ａ〜１１ｅと銅板Ｇとの隙間を埋めることによる上面低
下を想定して、高さ方向の寸法を１０ｍｍ程度長めとす
る。
ック１１を構成する各パーツで、これらのパーツ１１ａ
〜１１ｅを上面のみを開口した状態に溶接によって組み
立て、内部に均等加熱用金属体用材料としての銅板Ｇを
挿入する。その際、銅板Ｇの溶融によって各パーツ１１
ａ〜１１ｅと銅板Ｇとの隙間を埋めることによる上面低
下を想定して、高さ方向の寸法を１０ｍｍ程度長めとす
る。
【００２４】この状態で図４に示すように電気炉５０内
に入れ、電気炉５０上面に蓋５１を被せる。電気炉５０
には、底面及び側面にそれぞれ分かれた分割ヒータ５０
ａ〜５０ｅが設けられ、これらが独立して温度制御され
る。
に入れ、電気炉５０上面に蓋５１を被せる。電気炉５０
には、底面及び側面にそれぞれ分かれた分割ヒータ５０
ａ〜５０ｅが設けられ、これらが独立して温度制御され
る。
【００２５】本実施形態の場合、縦３００ｍｍ、横３０
０ｍｍ、厚さ３５ｍｍの寸法の銅板Ｇを、不活性ガス雰
囲気中あるいは還元性ガス雰囲気中で１０８３℃で９０
分間加熱することによって完全に溶融させ、その後自然
冷却する。
０ｍｍ、厚さ３５ｍｍの寸法の銅板Ｇを、不活性ガス雰
囲気中あるいは還元性ガス雰囲気中で１０８３℃で９０
分間加熱することによって完全に溶融させ、その後自然
冷却する。
【００２６】その後、上面を約１０ｍｍカットして所定
の寸法とし、図５に示すように切断面に金属ブロックの
パーツ１１ｆを被せて溶接を施すことにより、６面体を
完成させる。さらにその後ヒータ用に孔（図示せず）加
工を行い、必要に応じて図１及び図２に示すヒータ１３
を装着して完成させる。
の寸法とし、図５に示すように切断面に金属ブロックの
パーツ１１ｆを被せて溶接を施すことにより、６面体を
完成させる。さらにその後ヒータ用に孔（図示せず）加
工を行い、必要に応じて図１及び図２に示すヒータ１３
を装着して完成させる。
【００２７】このように本実施形態の加熱装置１０にお
いては、均等加熱用金属体１２は、耐熱性金属ブロック
１１内部に銅板Ｇを挿入した状態で銅の溶融点である１
０８３℃温度で加熱し、耐熱性金属ブロック１１内面と
均等加熱用金属体１２外面とが完全に密着状態となって
いる。
いては、均等加熱用金属体１２は、耐熱性金属ブロック
１１内部に銅板Ｇを挿入した状態で銅の溶融点である１
０８３℃温度で加熱し、耐熱性金属ブロック１１内面と
均等加熱用金属体１２外面とが完全に密着状態となって
いる。
【００２８】本実施形態の加熱装置における効果を確認
するために、溶融法による本実施形態の加熱装置と、銀
ロー付け法による従来の加熱装置について、実際の加熱
試験を行った。図６はその結果を示すグラフである。
するために、溶融法による本実施形態の加熱装置と、銀
ロー付け法による従来の加熱装置について、実際の加熱
試験を行った。図６はその結果を示すグラフである。
【００２９】図６に示すように、本実施形態の加熱装置
においては、設定温度４００〜５００℃における偏差が
従来の加熱装置に比べて約１／２であり、従来装置にく
らべて比べて大幅な改善が見られた。
においては、設定温度４００〜５００℃における偏差が
従来の加熱装置に比べて約１／２であり、従来装置にく
らべて比べて大幅な改善が見られた。
【００３０】このように本実施形態の加熱装置によれ
ば、比較的簡単な構造で熱効率が良くかつ温度むらが少
ない加熱装置が得られる。また、各部材が熱処理をうけ
ていることにより、残留応力がゼロとなり、使用時にお
ける熱ひずみの発生が少なく安定した性能を維持するこ
とができる。
ば、比較的簡単な構造で熱効率が良くかつ温度むらが少
ない加熱装置が得られる。また、各部材が熱処理をうけ
ていることにより、残留応力がゼロとなり、使用時にお
ける熱ひずみの発生が少なく安定した性能を維持するこ
とができる。
【００３１】図７は第２の実施の形態の加熱装置を示す
縦断面図で、本実施形態の加熱装置２０は、ヒータ２１
ａを備えた加熱装置本体２１と、加熱装置本体２１に載
置して使用される均等加熱用部材２２とからなる加熱装
置である。
縦断面図で、本実施形態の加熱装置２０は、ヒータ２１
ａを備えた加熱装置本体２１と、加熱装置本体２１に載
置して使用される均等加熱用部材２２とからなる加熱装
置である。
【００３２】均等加熱用部材２２は、ステンレス鋼から
なる耐熱性金属ブロック２２ａと金属ブロック２２ａに
埋め込まれ耐熱性金属ブロック２２ａよりも熱伝導率が
高い銅からなる均等加熱用金属体２２ｂとを備えてい
る。また第１の実施形態の加熱装置と同様に、耐熱性金
属ブロック２２ａ内部に均等加熱用金属体２２ｂを挿入
した状態で均等加熱用金属体２２ｂの溶融点以上の温度
で加熱し、耐熱性金属ブロック２２ａ内面と均等加熱用
金属体２２ｂ外面とが密着状態となっている。本実施形
態の加熱装置においても、上記実施の形態の加熱装置と
同等の改善が確認された。
なる耐熱性金属ブロック２２ａと金属ブロック２２ａに
埋め込まれ耐熱性金属ブロック２２ａよりも熱伝導率が
高い銅からなる均等加熱用金属体２２ｂとを備えてい
る。また第１の実施形態の加熱装置と同様に、耐熱性金
属ブロック２２ａ内部に均等加熱用金属体２２ｂを挿入
した状態で均等加熱用金属体２２ｂの溶融点以上の温度
で加熱し、耐熱性金属ブロック２２ａ内面と均等加熱用
金属体２２ｂ外面とが密着状態となっている。本実施形
態の加熱装置においても、上記実施の形態の加熱装置と
同等の改善が確認された。
【００３３】
【発明の効果】本発明によって、比較的簡単な構造で熱
効率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置が得られる。
また、各部材が熱処理をうけていることにより、残留応
力がゼロとなり、使用時における熱ひずみの発生が少な
く安定した性能を維持することができる。
効率が良くかつ温度むらが少ない加熱装置が得られる。
また、各部材が熱処理をうけていることにより、残留応
力がゼロとなり、使用時における熱ひずみの発生が少な
く安定した性能を維持することができる。
【図１】 本発明の第１の実施の形態の加熱装置を示す
一部切欠斜視図である。
一部切欠斜視図である。
【図２】 図１に示す加熱装置の縦断面図である。
【図３】 図１に示す加熱装置の製造プロセスを示す説
明図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は縦断面図である。
明図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図４】 図１に示す加熱装置の製造プロセスを示す説
明図である。
明図である。
【図５】 図１に示す加熱装置の製造プロセスを示す説
明図である。
明図である。
【図６】 加熱試験の結果を示すグラフである。
【図７】 第２の実施の形態の加熱装置を示す縦断面図
である。
である。
１０ 加熱装置 １１ 耐熱性金属ブロック １１ａ〜１１ｆ 耐熱性金属ブロックのパーツ １２ 均等加熱用金属体 １３ ヒータ ２０ 加熱装置 ２１ 加熱装置本体 ２１ａ ヒータ ２２ 均等加熱用部材 ２２ａ 耐熱性金属ブロック ２２ｂ 均等加熱用金属体 ５０ 電気炉 ５０ａ〜５０ｅ 分割ヒータ ５１ 蓋 Ｇ 銅板
Claims (6)
- 【請求項１】 加熱手段を備えた耐熱性金属ブロック内
部に、前記耐熱性金属ブロックよりも熱伝導率が高い均
等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装置であって、前記耐
熱性金属ブロック内部に前記均等加熱用金属体を挿入し
た状態で前記均等加熱用金属体の溶融点以上の温度で加
熱し、耐熱性金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面
とを密着状態にした加熱装置。 - 【請求項２】 加熱手段を備えた加熱装置本体と、同加
熱装置本体に載置され、または前面に配置して、または
装着して使用される均等加熱用部材とからなる加熱装置
であって、 前記均等加熱用部材は、耐熱性金属ブロッ
クと同耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記耐熱性金属
ブロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属体とを備
え、前記耐熱性金属ブロック内部に前記均等加熱用金属
体を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の溶融点以上
の温度で加熱し、耐熱性金属ブロック内面と均等加熱用
金属体外面とを密着状態にした加熱装置。 - 【請求項３】 前記耐熱性金属ブロックがステンレス鋼
で、前記均等加熱用金属体が、銅、銀、アルミニウム、
金のいずれかである請求項１または２記載の加熱装置。 - 【請求項４】 加熱手段を備えた耐熱性金属ブロック内
部に、前記耐熱性金属ブロックよりも熱伝導率が高い均
等加熱用金属体を埋め込んだ加熱装置の製造方法であっ
て、前記耐熱性金属ブロックの一面を開口し、同開口部
から均等加熱用金属体用材料を挿入し、しかる後に前記
均等加熱用金属体の溶融点以上の温度で前記耐熱性金属
ブロック及び均等加熱用金属体用材料を加熱した後冷却
し、耐熱性金属ブロック内面と均等加熱用金属体外面と
を密着状態にすることを特徴とする加熱装置の製造方
法。 - 【請求項５】 加熱手段を備えた加熱装置本体と、同加
熱装置本体に載置され、または前面に配置して、または
装着して使用される均等加熱用部材とからなる加熱装置
の製造方法であって、前記均等加熱用部材は、耐熱性金
属ブロックと同耐熱性金属ブロックに埋め込まれ前記耐
熱性金属ブロックよりも熱伝導率が高い均等加熱用金属
体とを備え、前記耐熱性金属ブロック内部に均等加熱用
金属体用材料を挿入した状態で前記均等加熱用金属体の
溶融点以上の温度で加熱した後冷却し、耐熱性金属ブロ
ック内面と均等加熱用金属体外面とを密着状態にするこ
とを特徴とする加熱装置の製造方法。。 - 【請求項６】 前記耐熱性金属ブロックがステンレス鋼
で、前記均等加熱用金属体が、銅、銀、アルミニウム、
金のいずれかであり、かつ前記加熱温度が、均等加熱用
金属体用材料の溶融温度〜溶融温度＋１℃であることを
特徴とする請求項４または５記載の加熱装置の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37430098A JP4023938B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37430098A JP4023938B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000195652A true JP2000195652A (ja) | 2000-07-14 |
| JP4023938B2 JP4023938B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=18503614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1998
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| JP4023938B2 (ja) | 2007-12-19 |
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