JP2000195073A - 記録装置 - Google Patents
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- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
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- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/125—Optical beam sources therefor, e.g. laser control circuitry specially adapted for optical storage devices; Modulators, e.g. means for controlling the size or intensity of optical spots or optical traces
- G11B7/127—Lasers; Multiple laser arrays
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- G—PHYSICS
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- G11B7/127—Lasers; Multiple laser arrays
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
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- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/862—Near-field probe
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S977/932—Specified use of nanostructure for electronic or optoelectronic application
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 近視野光を利用して記録媒体に記録された情
報の再生を行う記録装置において、信頼性の高い情報再
生を簡単な構成によって実現させるための記録装置を提
供する。 【解決手段】 記録媒体１０の表面に近視野光が生成す
るようにその記録媒体１０に向けて照射光２０を照射
し、生成された近視野光を開口素子１１に形成された微
小開口１２によって散乱し、その散乱光（伝搬光）を検
出して再生信号を生成する。生成された再生信号から前
記微小開口１２と前記記録媒体１０との距離を示す距離
制御信号を導出し、前記距離制御信号に基づいて開口素
子１１の位置を制御する。これによって、微小開口１２
を記録媒体１０に近接させる。
報の再生を行う記録装置において、信頼性の高い情報再
生を簡単な構成によって実現させるための記録装置を提
供する。 【解決手段】 記録媒体１０の表面に近視野光が生成す
るようにその記録媒体１０に向けて照射光２０を照射
し、生成された近視野光を開口素子１１に形成された微
小開口１２によって散乱し、その散乱光（伝搬光）を検
出して再生信号を生成する。生成された再生信号から前
記微小開口１２と前記記録媒体１０との距離を示す距離
制御信号を導出し、前記距離制御信号に基づいて開口素
子１１の位置を制御する。これによって、微小開口１２
を記録媒体１０に近接させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体上に高密
度に記録された情報を近視野光を利用して再生する記録
装置に関する。
度に記録された情報を近視野光を利用して再生する記録
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現状の情報再生デバイスの多くは、ＣＤ
およびＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型の光ディス
クに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤに
おいては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ光
の波長程度のサイズかつその波長の４分の１程度の深さ
を有したピットを凹凸情報として記録しており、その情
報を再生するのに光の干渉現象が利用される。
およびＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型の光ディス
クに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤに
おいては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ光
の波長程度のサイズかつその波長の４分の１程度の深さ
を有したピットを凹凸情報として記録しており、その情
報を再生するのに光の干渉現象が利用される。
【０００３】また、光磁気記録方式および相変化記録方
式に代表される方式を採用した書き換え可能型の記録媒
体が流通しており、高密度な情報の記録が実現されてい
る。例えば、相変化記録方式においては、表面に相変化
膜を形成した記録媒体上にレーザ光を照射し、照射され
たレーザ光のスポット部において生じる温度を、レーザ
光の強度を変化させることによって、相変化膜の結晶化
とアモルファス化との２値の記録を可能としている。こ
のようにして記録された情報は、記録媒体上に記録時よ
りも弱い強度のレーザ光を照射し、その反射強度によっ
て結晶相とアモルファス相とを区別することによって再
生される。
式に代表される方式を採用した書き換え可能型の記録媒
体が流通しており、高密度な情報の記録が実現されてい
る。例えば、相変化記録方式においては、表面に相変化
膜を形成した記録媒体上にレーザ光を照射し、照射され
たレーザ光のスポット部において生じる温度を、レーザ
光の強度を変化させることによって、相変化膜の結晶化
とアモルファス化との２値の記録を可能としている。こ
のようにして記録された情報は、記録媒体上に記録時よ
りも弱い強度のレーザ光を照射し、その反射強度によっ
て結晶相とアモルファス相とを区別することによって再
生される。
【０００４】上述した再生専用型の光ディスクに記録さ
れた情報の再生は、従来の光学顕微鏡において用いられ
ているレンズ光学系を使用しており、光の回折限界のた
めにレーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にす
ることはできない。よって、光ディスクの情報記録密度
をさらに増加させた場合、ピットの大きさやトラックピ
ッチは縮小され、情報記録単位がレーザ光の波長よりも
小さなサイズとなってしまい、情報の再生は不可能とな
る。
れた情報の再生は、従来の光学顕微鏡において用いられ
ているレンズ光学系を使用しており、光の回折限界のた
めにレーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にす
ることはできない。よって、光ディスクの情報記録密度
をさらに増加させた場合、ピットの大きさやトラックピ
ッチは縮小され、情報記録単位がレーザ光の波長よりも
小さなサイズとなってしまい、情報の再生は不可能とな
る。
【０００５】また、光磁気記録方式および相変化記録方
式によって情報を記録した記録媒体においては、レーザ
光の微小なスポットにより高密度な情報の記録・再生を
実現しているために、記録媒体の情報記録密度はレーザ
光を集光させて得られるスポットの径に制限される。よ
って、光磁気記録方式および相変化記録方式を採用した
従来の光情報記録装置においては、レーザ光を集光して
得られるスポットの径をレーザ光の回折限界、すなわち
レーザ光の波長の１／２以下とすることはできなかっ
た。
式によって情報を記録した記録媒体においては、レーザ
光の微小なスポットにより高密度な情報の記録・再生を
実現しているために、記録媒体の情報記録密度はレーザ
光を集光させて得られるスポットの径に制限される。よ
って、光磁気記録方式および相変化記録方式を採用した
従来の光情報記録装置においては、レーザ光を集光して
得られるスポットの径をレーザ光の回折限界、すなわち
レーザ光の波長の１／２以下とすることはできなかっ
た。
【０００６】一方、利用するレーザ光の波長以下、例え
ばその波長の１／１０程度の径を有する微小開口を介し
て生成される近視野光を利用した情報再生方法／装置が
提案されている。
ばその波長の１／１０程度の径を有する微小開口を介し
て生成される近視野光を利用した情報再生方法／装置が
提案されている。
【０００７】元来、近視野光を利用した装置として上記
した微小開口を有するプローブを用いた近視野顕微鏡が
あり、試料の微小な表面構造の観察に利用されている。
近視野顕微鏡における近視野光利用方式の一つとして、
プローブの微小開口と試料表面との距離をプローブの微
小開口の径程度まで近接させ、プローブを介して且つそ
のプローブの微小開口に向けて伝搬光を導入することに
より、その微小開口に近視野光を生成させる方式（イル
ミネーションモード）がある。この場合、生成された近
視野光と試料表面との相互作用により生じた散乱光が、
試料表面の微細構造を反映した強度や位相を伴って散乱
光検出系により検出され、従来の光学顕微鏡において実
現し得なかった高い分解能を有した観察を行うことがで
きる。
した微小開口を有するプローブを用いた近視野顕微鏡が
あり、試料の微小な表面構造の観察に利用されている。
近視野顕微鏡における近視野光利用方式の一つとして、
プローブの微小開口と試料表面との距離をプローブの微
小開口の径程度まで近接させ、プローブを介して且つそ
のプローブの微小開口に向けて伝搬光を導入することに
より、その微小開口に近視野光を生成させる方式（イル
ミネーションモード）がある。この場合、生成された近
視野光と試料表面との相互作用により生じた散乱光が、
試料表面の微細構造を反映した強度や位相を伴って散乱
光検出系により検出され、従来の光学顕微鏡において実
現し得なかった高い分解能を有した観察を行うことがで
きる。
【０００８】また、近視野光を利用した近視野顕微鏡の
他の方式として、試料に向けて伝搬光を照射して試料表
面に近視野光を局在させ、その試料表面にプローブの微
小開口をプローブの微小開口の径程度まで近接させる方
式がある（コレクションモード）。この場合、局在した
近視野光とプローブの微小開口との相互作用により生じ
た散乱光が、試料表面の微細構造を反映した強度や位相
を伴って、プローブの微小開口を介して散乱光検出系に
導かれて、高分解能な観察が実現される。
他の方式として、試料に向けて伝搬光を照射して試料表
面に近視野光を局在させ、その試料表面にプローブの微
小開口をプローブの微小開口の径程度まで近接させる方
式がある（コレクションモード）。この場合、局在した
近視野光とプローブの微小開口との相互作用により生じ
た散乱光が、試料表面の微細構造を反映した強度や位相
を伴って、プローブの微小開口を介して散乱光検出系に
導かれて、高分解能な観察が実現される。
【０００９】上述した近視野光を利用した情報再生方法
／装置は、近視野顕微鏡におけるこれらの観察方式を利
用したものである。
／装置は、近視野顕微鏡におけるこれらの観察方式を利
用したものである。
【００１０】従って、近視野光を利用することにより、
従来の情報記録媒体の記録密度を越えて記録された情報
記録媒体の情報再生が可能となる。
従来の情報記録媒体の記録密度を越えて記録された情報
記録媒体の情報再生が可能となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、記録媒体上
に記録された情報の再生を、上述した近視野光を利用し
て実現するには、光ヘッドとなるプローブの微小開口部
と記録媒体表面との距離が、数ナノメートル〜１０ナノ
メートルとなるように十分に近接させるプローブ近接制
御技術が必要となる。
に記録された情報の再生を、上述した近視野光を利用し
て実現するには、光ヘッドとなるプローブの微小開口部
と記録媒体表面との距離が、数ナノメートル〜１０ナノ
メートルとなるように十分に近接させるプローブ近接制
御技術が必要となる。
【００１２】従来のハードディスクの技術において、記
録ヘッドと記録媒体とを近接させるフライングヘッド技
術があるが、記録媒体表面からのフライングヘッドの浮
上量は、約５０ナノメートル〜１００ナノメートルであ
り、近視野光を利用した情報再生を実現するには大きな
値である。
録ヘッドと記録媒体とを近接させるフライングヘッド技
術があるが、記録媒体表面からのフライングヘッドの浮
上量は、約５０ナノメートル〜１００ナノメートルであ
り、近視野光を利用した情報再生を実現するには大きな
値である。
【００１３】一方、試料表面においてナノメートルオー
ダの微小な領域を観察するために走査型トンネル顕微鏡
（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）に代表される走
査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が用いられている。ＳＰ
Ｍは、先端が先鋭化したプローブを用い、このプローブ
と試料表面との間に生じるトンネル電流や原子間力など
の物理量を検出することにより、試料表面に近接させつ
つ試料表面を走査して、高分解能な像を得ることができ
る。
ダの微小な領域を観察するために走査型トンネル顕微鏡
（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）に代表される走
査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が用いられている。ＳＰ
Ｍは、先端が先鋭化したプローブを用い、このプローブ
と試料表面との間に生じるトンネル電流や原子間力など
の物理量を検出することにより、試料表面に近接させつ
つ試料表面を走査して、高分解能な像を得ることができ
る。
【００１４】よって、このＳＰＭにおけるプローブ近接
技術を近視野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置
に適用することができ、記録媒体とプローブの微小開口
の先端との十分に近接した状態を保持できる。
技術を近視野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置
に適用することができ、記録媒体とプローブの微小開口
の先端との十分に近接した状態を保持できる。
【００１５】しかしながら、この場合、記録媒体に記録
された情報に置換される物理量すなわち近視野光と、プ
ローブを近接制御するのに必要となる物理量すなわち原
子間力等とをそれぞれ固有の機構において検出する必要
が生じ、装置全体の構成が複雑になるという問題があっ
た。
された情報に置換される物理量すなわち近視野光と、プ
ローブを近接制御するのに必要となる物理量すなわち原
子間力等とをそれぞれ固有の機構において検出する必要
が生じ、装置全体の構成が複雑になるという問題があっ
た。
【００１６】また、ＳＰＭのプローブ近接技術は、プロ
ーブに先鋭化された先端を必要とし、プローブとして、
先鋭化された先端を有さない平面プローブを用いる近視
野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置において
は、最適な方法とは言えなかった。また、上述した近視
野光は、プローブと記録媒体を結ぶ線をｚ方向と定義す
ると、ｚ方向には急速に減衰するため、プローブが何ら
かの原因で記録媒体表面からｚ方向に位置がずれた時に
は出力信号が変動する。記録媒体上のデータマークの有
無によっても出力信号が増減するので、出力信号が変化
したときにそれがデータマークの存在のためなのか、プ
ローブのｚ方向位置ずれのためなのかの判断がつかな
い、という問題点があった。プローブを機械的にｚ方向
に振動させてその振幅を一定に保つことでプローブのｚ
方向位置を制御する方法もあるが、これは記録媒体表面
に物理的衝撃を与えることになり、記録媒体およびプロ
ーブの損傷を招いていた。また、プローブの振動制御お
よび振幅検出機構のために装置の小型化が困難であっ
た。
ーブに先鋭化された先端を必要とし、プローブとして、
先鋭化された先端を有さない平面プローブを用いる近視
野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置において
は、最適な方法とは言えなかった。また、上述した近視
野光は、プローブと記録媒体を結ぶ線をｚ方向と定義す
ると、ｚ方向には急速に減衰するため、プローブが何ら
かの原因で記録媒体表面からｚ方向に位置がずれた時に
は出力信号が変動する。記録媒体上のデータマークの有
無によっても出力信号が増減するので、出力信号が変化
したときにそれがデータマークの存在のためなのか、プ
ローブのｚ方向位置ずれのためなのかの判断がつかな
い、という問題点があった。プローブを機械的にｚ方向
に振動させてその振幅を一定に保つことでプローブのｚ
方向位置を制御する方法もあるが、これは記録媒体表面
に物理的衝撃を与えることになり、記録媒体およびプロ
ーブの損傷を招いていた。また、プローブの振動制御お
よび振幅検出機構のために装置の小型化が困難であっ
た。
【００１７】従って、本発明は上記問題を鑑みて、高密
度に記録された記録媒体に対して信頼性の高い情報再生
または記録を簡単な構成にて実現させるための記録装置
を提供することを目的としている。
度に記録された記録媒体に対して信頼性の高い情報再生
または記録を簡単な構成にて実現させるための記録装置
を提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記
録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装
置において、前記記録媒体に光を照射して当該記録媒体
の表面に近視野光を生成させると共に、微小開口を持つ
プローブを前記記録媒体の表面に近接させて当該微小開
口により前記近視野光を散乱させ、この伝搬光の強度を
検出し当該伝搬光の強度に基づき前記微小開口と前記記
録媒体との距離を制御することを特徴とする。
めに、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記
録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装
置において、前記記録媒体に光を照射して当該記録媒体
の表面に近視野光を生成させると共に、微小開口を持つ
プローブを前記記録媒体の表面に近接させて当該微小開
口により前記近視野光を散乱させ、この伝搬光の強度を
検出し当該伝搬光の強度に基づき前記微小開口と前記記
録媒体との距離を制御することを特徴とする。
【００１９】よって、近視野光を利用して記録媒体上に
記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、
同じく近視野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒
体との距離制御を可能とする。
記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、
同じく近視野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒
体との距離制御を可能とする。
【００２０】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射す
る光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって
散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再生信号とす
る光検出手段と、前記再生信号に基づいて前記開口素子
と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備え
たことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射す
る光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって
散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再生信号とす
る光検出手段と、前記再生信号に基づいて前記開口素子
と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備え
たことを特徴とする。
【００２１】よって、近視野光を利用して記録媒体上に
記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、
その再生信号から距離制御信号導出手段によって開口素
子の微小開口と記録媒体との距離を示す距離制御信号を
得ることが可能となり、その距離制御信号に基づいて開
口素子と記録媒体との近接した状態を保持することが可
能になる。
記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、
その再生信号から距離制御信号導出手段によって開口素
子の微小開口と記録媒体との距離を示す距離制御信号を
得ることが可能となり、その距離制御信号に基づいて開
口素子と記録媒体との近接した状態を保持することが可
能になる。
【００２２】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視
野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導
入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒
体によって散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再
生信号とする光検出手段と、前記再生信号に基づいて前
記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段
と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視
野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導
入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒
体によって散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再
生信号とする光検出手段と、前記再生信号に基づいて前
記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段
と、を備えたことを特徴とする。
【００２３】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。また、
微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくす
ることによって、強度の大きな近視野光を生成すること
が可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えるこ
とによって情報の記録をも可能にする。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。また、
微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくす
ることによって、強度の大きな近視野光を生成すること
が可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えるこ
とによって情報の記録をも可能にする。
【００２４】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように当該記録媒体に向けて、有限の波長幅
あるいは複数の波長を持つ照射光を照射させる光照射手
段と、前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素
子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波
長に対応して検出する散乱光検出手段と、検出された前
記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間
隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように当該記録媒体に向けて、有限の波長幅
あるいは複数の波長を持つ照射光を照射させる光照射手
段と、前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素
子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波
長に対応して検出する散乱光検出手段と、検出された前
記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間
隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２５】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて
利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御す
るための距離制御信号とを確実に分離できる。また、異
なる波長の照射光に対応して散乱光を検出するので、照
射光波長によって散乱光強度が異なることを利用して、
再生プローブと情報記録媒体との距離情報が得られ、情
報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プローブの
ｚ方向振動なしに行うことができる。これにより、プロ
ーブのｚ方向振動機構、ｚ方向振幅検出機構が不要にな
りコンパクトな装置構成が可能になる。また、距離制御
のために信号のピークを検出する必要がなくなる。ま
た、プローブが情報記録媒体に物理的に接触することが
なくなったため、プローブおよび情報記録媒体の損傷が
減少した。
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて
利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御す
るための距離制御信号とを確実に分離できる。また、異
なる波長の照射光に対応して散乱光を検出するので、照
射光波長によって散乱光強度が異なることを利用して、
再生プローブと情報記録媒体との距離情報が得られ、情
報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プローブの
ｚ方向振動なしに行うことができる。これにより、プロ
ーブのｚ方向振動機構、ｚ方向振幅検出機構が不要にな
りコンパクトな装置構成が可能になる。また、距離制御
のために信号のピークを検出する必要がなくなる。ま
た、プローブが情報記録媒体に物理的に接触することが
なくなったため、プローブおよび情報記録媒体の損傷が
減少した。
【００２６】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、有限の波長幅あるい
は複数の波長を持つ照射光を前記微小開口に向けて照射
し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に前記複
数の波長のうち一つを有する照射光により記録媒体に情
報を記録する光照射／記録手段と、前記近視野光と前記
記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生
した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱
光検出手段と、検出された前記散乱光に基づいて前記開
口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、有限の波長幅あるい
は複数の波長を持つ照射光を前記微小開口に向けて照射
し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に前記複
数の波長のうち一つを有する照射光により記録媒体に情
報を記録する光照射／記録手段と、前記近視野光と前記
記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生
した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱
光検出手段と、検出された前記散乱光に基づいて前記開
口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００２７】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて
利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御す
るための距離制御信号とを確実に分離できる。また、微
小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくする
ことによって、強度の大きな近視野光を生成することが
可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えること
によって情報の記録をも可能にする。また、本発明に係
る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発
明において、前記照射光の複数の波長は、時間的に切り
替わるものであることを特徴とする。よって、請求項４
あるいは５の効果に加えて、単一の発光源によって複数
の波長の光を放射するため、コンパクトな装置構成が可
能となった。また、本発明に係る記録装置は、請求項４
あるいは５のいずれか１つの発明において、前記散乱光
検出手段は、選択波長が時間的に切り替わるものである
ことを特徴とする。よって、請求項４あるいは５の効果
に加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光す
るため、コンパクトな装置構成が可能となった。また、
本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれ
か１つの発明において、前記照射光の波長は複数あり、
同時に入力されるものであることを特徴とする。よっ
て、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力光の波長
を選択する機構が不要なので、よりコンパクトな装置構
成が可能となった。また、本発明に係る記録装置は、請
求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記
散乱光検出手段は、複数の受光素子が前記照射光の異な
る波長のそれぞれに対応して受光するものであることを
特徴とする。よって、請求項４あるいは５の効果に加え
て、受光素子が散乱光を受光するときに選択波長を時間
的に切り替えることが不要なので、波長選択手段が簡素
になりコンパクトな装置構成が可能となった。また、本
発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか
１つの発明において、前記照射光は複数の波長成分から
なり、前記照射光は前記複数の波長のそれぞれに対して
有限の幅の波長幅を持つものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力手段
は入力光の波長が幅を持っていることが許容されるの
で、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用で
きる波長の種類も増える。それにより、プローブと情報
記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用しや
すくなった。また、本発明に係る記録装置は、請求項４
あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光
の波長は有限の幅をもっており、波長選択手段によって
前記幅の一部分を選択するものであることを特徴とす
る。よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力
光はレーザのような波長の限定されたものである必要が
なくなり、より簡便な構成が実現された。
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて
利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御す
るための距離制御信号とを確実に分離できる。また、微
小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくする
ことによって、強度の大きな近視野光を生成することが
可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えること
によって情報の記録をも可能にする。また、本発明に係
る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発
明において、前記照射光の複数の波長は、時間的に切り
替わるものであることを特徴とする。よって、請求項４
あるいは５の効果に加えて、単一の発光源によって複数
の波長の光を放射するため、コンパクトな装置構成が可
能となった。また、本発明に係る記録装置は、請求項４
あるいは５のいずれか１つの発明において、前記散乱光
検出手段は、選択波長が時間的に切り替わるものである
ことを特徴とする。よって、請求項４あるいは５の効果
に加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光す
るため、コンパクトな装置構成が可能となった。また、
本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれ
か１つの発明において、前記照射光の波長は複数あり、
同時に入力されるものであることを特徴とする。よっ
て、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力光の波長
を選択する機構が不要なので、よりコンパクトな装置構
成が可能となった。また、本発明に係る記録装置は、請
求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記
散乱光検出手段は、複数の受光素子が前記照射光の異な
る波長のそれぞれに対応して受光するものであることを
特徴とする。よって、請求項４あるいは５の効果に加え
て、受光素子が散乱光を受光するときに選択波長を時間
的に切り替えることが不要なので、波長選択手段が簡素
になりコンパクトな装置構成が可能となった。また、本
発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか
１つの発明において、前記照射光は複数の波長成分から
なり、前記照射光は前記複数の波長のそれぞれに対して
有限の幅の波長幅を持つものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力手段
は入力光の波長が幅を持っていることが許容されるの
で、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用で
きる波長の種類も増える。それにより、プローブと情報
記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用しや
すくなった。また、本発明に係る記録装置は、請求項４
あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光
の波長は有限の幅をもっており、波長選択手段によって
前記幅の一部分を選択するものであることを特徴とす
る。よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力
光はレーザのような波長の限定されたものである必要が
なくなり、より簡便な構成が実現された。
【００２８】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように当該記録媒体に向けて、互いに異なる
２つの変調周波数の光を混合した照射光を照射する光照
射手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により
散乱させ、前記２つの変調周波数の一方をもつ伝搬光を
検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記
生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記
２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制
御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づ
いて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制
御手段と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように当該記録媒体に向けて、互いに異なる
２つの変調周波数の光を混合した照射光を照射する光照
射手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により
散乱させ、前記２つの変調周波数の一方をもつ伝搬光を
検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記
生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記
２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制
御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づ
いて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制
御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になると共
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される
照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当
てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制
御するための距離制御信号とを確実に分離できる。
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になると共
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される
照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当
てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制
御するための距離制御信号とを確実に分離できる。
【００３０】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、互いに異なる２つの
波長の変調周波数を混合した照射光を前記微小開口に向
けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共
に少なくとも前記２つの変調周波数の一方を有する照射
光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段
と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱さ
せ、前記一方の変調周波数をもつ伝搬光を検出しこれを
再生信号とする第１の光検出手段と、前記生成した近視
野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周
波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする
第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口
素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を
備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、互いに異なる２つの
波長の変調周波数を混合した照射光を前記微小開口に向
けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共
に少なくとも前記２つの変調周波数の一方を有する照射
光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段
と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱さ
せ、前記一方の変調周波数をもつ伝搬光を検出しこれを
再生信号とする第１の光検出手段と、前記生成した近視
野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周
波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする
第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口
素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を
備えたことを特徴とする。
【００３１】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り
当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接
制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。ま
た、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大き
くすることによって、強度の大きな近視野光を生成する
ことが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行え
ることによって情報の記録をも可能にする。
情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した
状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れる照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り
当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接
制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。ま
た、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大き
くすることによって、強度の大きな近視野光を生成する
ことが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行え
ることによって情報の記録をも可能にする。
【００３２】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの
微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近
視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を
照射する光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口の
一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再
生信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記
微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出
しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御
信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を
制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの
微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近
視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を
照射する光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口の
一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再
生信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記
微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出
しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御
信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を
制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。
【００３４】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体
の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向け
て照射光を照射する第１の光照射手段と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する第２の光照射／記録手段と、前記近
視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる
伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段
と、前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱さ
れて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の
光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と
前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えた
ことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体
の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向け
て照射光を照射する第１の光照射手段と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する第２の光照射／記録手段と、前記近
視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる
伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段
と、前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱さ
れて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の
光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と
前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えた
ことを特徴とする。
【００３５】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になるととも
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。さらに、第２の
光照射手段により微小開口部に導入する照射光の強度を
比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光
を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの
照射の付与による情報の記録をも可能にする。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になるととも
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。さらに、第２の
光照射手段により微小開口部に導入する照射光の強度を
比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光
を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの
照射の付与による情報の記録をも可能にする。
【００３６】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射／記録手段と、前記微小開口
の他方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射手段と、前記一方の微小開口
に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱
されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１
の光検出手段と、前記他方の微小開口に生成された前記
近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬
光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とす
る。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射／記録手段と、前記微小開口
の他方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射手段と、前記一方の微小開口
に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱
されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１
の光検出手段と、前記他方の微小開口に生成された前記
近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬
光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【００３７】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。また、微小開口
部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることに
よって、強度の大きな近視野光を生成することが可能と
なり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによっ
て情報の記録をも可能にする。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されて
いるので、再生信号と開口素子を近接制御するための距
離制御信号とをより確実に分離できる。また、微小開口
部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることに
よって、強度の大きな近視野光を生成することが可能と
なり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによっ
て情報の記録をも可能にする。
【００３８】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射／記録手段と、前記記録媒体
の表面のうち前記微小開口の他方に対向する部分に近視
野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照
射する光照射手段と、前記近視野光が前記一方の微小開
口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生
信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記他
方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出し
これを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信
号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制
御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口
の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向け
て照射光を導入する光照射／記録手段と、前記記録媒体
の表面のうち前記微小開口の他方に対向する部分に近視
野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照
射する光照射手段と、前記近視野光が前記一方の微小開
口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生
信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記他
方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出し
これを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信
号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制
御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３９】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成され、
かつ記録媒体に記録された情報の再生と、開口素子の記
録媒体への近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異
なった生成方法により行うことで、互いの近視野光を干
渉することなく、より確実に再生信号と距離制御信号と
を分離して検出することが可能になる。また、微小開口
部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることに
よって、強度の大きな近視野光を生成することが可能と
なり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによっ
て情報の記録をも可能にする。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
る微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用され
る微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成され、
かつ記録媒体に記録された情報の再生と、開口素子の記
録媒体への近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異
なった生成方法により行うことで、互いの近視野光を干
渉することなく、より確実に再生信号と距離制御信号と
を分離して検出することが可能になる。また、微小開口
部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることに
よって、強度の大きな近視野光を生成することが可能と
なり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによっ
て情報の記録をも可能にする。
【００４０】また、本発明に係る記録装置は、請求項１
４〜１７のいずれか１つの発明において、前記開口素子
は、厚み方向に段差を設けることにより第１の底面と第
２の底面を有し、前記第１の底面に前記一方の微小開口
を設け、前記第２の底面に前記他方の微小開口を設け、
前記制御手段は、前記第１の光検出手段により検出され
る再生信号と前記第２の光検出手段により検出される信
号との相対値を算出し、当該相対値に基づいて前記開口
素子と前記記録媒体との間隔を制御することを特徴とす
る。
４〜１７のいずれか１つの発明において、前記開口素子
は、厚み方向に段差を設けることにより第１の底面と第
２の底面を有し、前記第１の底面に前記一方の微小開口
を設け、前記第２の底面に前記他方の微小開口を設け、
前記制御手段は、前記第１の光検出手段により検出され
る再生信号と前記第２の光検出手段により検出される信
号との相対値を算出し、当該相対値に基づいて前記開口
素子と前記記録媒体との間隔を制御することを特徴とす
る。
【００４１】よって、開口素子の底面に段差を設けるこ
とで、検出される伝搬光の強度に違いが生じ、２つの微
小開口の各々により検出される信号間における相対的な
値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号と
して用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出
できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっ
ても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定し
た強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接
制御を行うことができる。
とで、検出される伝搬光の強度に違いが生じ、２つの微
小開口の各々により検出される信号間における相対的な
値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号と
して用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出
できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっ
ても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定し
た強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接
制御を行うことができる。
【００４２】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射す
る光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって
散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、前記
微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂
直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段により前記微
小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段にお
いて検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動
手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に
位置した際に前記光検出手段において検出された信号を
演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号と
の相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素
子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備
えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録
装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開
口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光
が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射す
る光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって
散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、前記
微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂
直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段により前記微
小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段にお
いて検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動
手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に
位置した際に前記光検出手段において検出された信号を
演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号と
の相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素
子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備
えたことを特徴とする。
【００４３】よって、１つの微小開口を上下振動させる
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信
号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出さ
れる信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口
素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いる
ので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強
度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離
制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得
ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行う
ことができる。
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信
号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出さ
れる信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口
素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いる
ので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強
度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離
制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得
ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行う
ことができる。
【００４４】また、本発明に係る記録装置は、近視野光
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視
野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導
入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒
体によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手
段と、前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振
動させる垂直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段に
より前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検
出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂
直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよ
りも上点に位置した際に前記光検出手段において検出さ
れた信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算
対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて
前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手
段と、を備えたことを特徴とする。
を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録
を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱さ
せる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視
野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導
入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒
体によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手
段と、前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振
動させる垂直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段に
より前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検
出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂
直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよ
りも上点に位置した際に前記光検出手段において検出さ
れた信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算
対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて
前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手
段と、を備えたことを特徴とする。
【００４５】よって、１つの微小開口を上下振動させる
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信
号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出さ
れる信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口
素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いる
ので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強
度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離
制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得
ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行う
ことができるとともに、微小開口部に導入させる照射光
の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな
近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネ
ルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能
にする。
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信
号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出さ
れる信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口
素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いる
ので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強
度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離
制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得
ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行う
ことができるとともに、微小開口部に導入させる照射光
の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな
近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネ
ルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能
にする。
【００４６】また、本発明に係る記録装置は、請求項１
〜２０のいずれか１つの発明において、さらに、前記開
口素子を、前記記録媒体上に記録された情報単位の配列
方向に対して垂直な方向且つ当該記録媒体の表面に平行
な方向に微小振動させる水平微小振動手段と、前記水平
微小振動手段による微小振動の振動中心において前記再
生信号が最大となるように前記開口素子の位置を制御す
る位置制御手段と、を備えたことを特徴とする。
〜２０のいずれか１つの発明において、さらに、前記開
口素子を、前記記録媒体上に記録された情報単位の配列
方向に対して垂直な方向且つ当該記録媒体の表面に平行
な方向に微小振動させる水平微小振動手段と、前記水平
微小振動手段による微小振動の振動中心において前記再
生信号が最大となるように前記開口素子の位置を制御す
る位置制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４７】よって、記録媒体上の情報単位の配列方向
に垂直且つ記録媒体表面に平行な方向に対する位置制
御、すなわちトラッキング制御を可能とし、このトラッ
キング制御により安定な再生信号が得られるので、この
再生信号を利用する近接制御もまた、確実なものとなり
情報再生の信頼性を向上することができる。
に垂直且つ記録媒体表面に平行な方向に対する位置制
御、すなわちトラッキング制御を可能とし、このトラッ
キング制御により安定な再生信号が得られるので、この
再生信号を利用する近接制御もまた、確実なものとなり
情報再生の信頼性を向上することができる。
【００４８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る記録装置の
実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００４９】（実施の形態１）図１は、実施の形態１に
係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【００５０】開口素子１１は、例えばシリコン基板から
なる平面基板であり、これを貫通するように逆錐状の穴
がその頂点を微小開口１２とするように形成されてい
る。微小開口１２は、近視野光を生成または散乱するの
に適した大きさであり、例えば数十ナノメートルの径を
有している。さらに開口素子１１上には、微小開口１２
部分を記録媒体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構
１４が設けられている。Ｚ軸制御機構１４は、例えば圧
電アクチュエータや静電アクチュエータなどの微小変位
機構である。
なる平面基板であり、これを貫通するように逆錐状の穴
がその頂点を微小開口１２とするように形成されてい
る。微小開口１２は、近視野光を生成または散乱するの
に適した大きさであり、例えば数十ナノメートルの径を
有している。さらに開口素子１１上には、微小開口１２
部分を記録媒体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構
１４が設けられている。Ｚ軸制御機構１４は、例えば圧
電アクチュエータや静電アクチュエータなどの微小変位
機構である。
【００５１】また、Ｚ軸制御機構１４は、図２に示すよ
うに、フライングヘッド構造を応用した制御機構であっ
てもよい。図２において、開口素子２１はフライングヘ
ッド技術におけるスライダとして兼用され、上述した微
小開口１２と同様な微小開口２２が形成されている。さ
らに開口素子２１はバネ機構２３に支持され、バネ機構
２３の弾性によって記録媒体１０の表面に押圧されてい
る。バネ機構２３は、バネ制御機構２４に接続されてお
り、バネ制御機構２４はバネ機構２３のバネ制御機構２
４側の支持部の高さを変位させることが可能であり、こ
の変位制御によって開口素子２１の記録媒体１０への近
接制御が行える。
うに、フライングヘッド構造を応用した制御機構であっ
てもよい。図２において、開口素子２１はフライングヘ
ッド技術におけるスライダとして兼用され、上述した微
小開口１２と同様な微小開口２２が形成されている。さ
らに開口素子２１はバネ機構２３に支持され、バネ機構
２３の弾性によって記録媒体１０の表面に押圧されてい
る。バネ機構２３は、バネ制御機構２４に接続されてお
り、バネ制御機構２４はバネ機構２３のバネ制御機構２
４側の支持部の高さを変位させることが可能であり、こ
の変位制御によって開口素子２１の記録媒体１０への近
接制御が行える。
【００５２】図１において、記録媒体１０上に記録され
た情報を、近視野光を利用して再生するために、まず、
微小開口１２が記録媒体１０の表面に十分近接するよう
に開口素子１１を記録媒体１０の表面に対して垂直な方
向に制御する必要がある。この近接制御を行うために検
出される物理量として、情報を再生するために検出され
る物理量と同じく、近視野光を利用する。
た情報を、近視野光を利用して再生するために、まず、
微小開口１２が記録媒体１０の表面に十分近接するよう
に開口素子１１を記録媒体１０の表面に対して垂直な方
向に制御する必要がある。この近接制御を行うために検
出される物理量として、情報を再生するために検出され
る物理量と同じく、近視野光を利用する。
【００５３】記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表
面に向けて、レーザ光２０を好ましくは記録媒体１０の
裏面に対して全反射条件となるように照射する。これに
よって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局
在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１２が配置
されるように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。
この際、開口素子１１に設けられたＺ軸制御機構１４
は、開口素子１１の微小な変位を制御する機構であるた
め、開口素子１１が記録媒体１０から十分に離れた距離
から、Ｚ軸制御機構１４によって制御する必要が生じる
距離までの開口素子１１の比較的大きな距離に対する制
御を、例えばインチワームモータ等の制御機構を付加し
て行っても良い。
面に向けて、レーザ光２０を好ましくは記録媒体１０の
裏面に対して全反射条件となるように照射する。これに
よって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局
在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１２が配置
されるように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。
この際、開口素子１１に設けられたＺ軸制御機構１４
は、開口素子１１の微小な変位を制御する機構であるた
め、開口素子１１が記録媒体１０から十分に離れた距離
から、Ｚ軸制御機構１４によって制御する必要が生じる
距離までの開口素子１１の比較的大きな距離に対する制
御を、例えばインチワームモータ等の制御機構を付加し
て行っても良い。
【００５４】微小開口１２が記録媒体１０上に局在した
近視野光の領域内に挿入されると、この微小開口１２に
よって近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）
が微小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置され
た集光光学系１５に導入されて集光されることにより、
前述したコレクションモードによる近視野光の検出が達
成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラ
ー１６を介して光検出機構１７に導かれ、再生信号とな
る電気信号に変換される。ここで、集光光学系１５は、
例えばレンズ光学系、光ファイバ光学系またはライトガ
イド等である。また、光検出機構１７は、例えば光電子
増倍管またはフォトダイオード等である。光検出機構１
７において出力される再生信号は、制御機構１９に送信
されると共にピーク検出機構１８に送信される。ピーク
検出機構１８は所定の信号検出時間内または所定のサン
プリング回数内における再生信号の強度の最大値、すな
わちピーク信号を導出し、そのピーク信号を制御機構１
９に送信する。データマークあるいはデータマーク間の
すきまの長さは上限と下限が定義されていて、典型的に
は最小単位長さの８倍程度である。ピーク検出機構１８
が信号を検出する時間を、プローブがデータマークの長
さの上限だけ走査するのに要する時間に設定することに
より、信号検出時間内に必ずデータマークが検出される
ようにできる。制御機構１９においては、ピーク検出機
構１８から送信されたピーク信号の示す値が保持される
ように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構
１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行
う。また、制御機構１９において、光検出機構１７から
直接に受信した再生信号により、微小開口１２の配置さ
れた再生位置における情報の記録状態が判断され、情報
の再生が達成される。
近視野光の領域内に挿入されると、この微小開口１２に
よって近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）
が微小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置され
た集光光学系１５に導入されて集光されることにより、
前述したコレクションモードによる近視野光の検出が達
成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラ
ー１６を介して光検出機構１７に導かれ、再生信号とな
る電気信号に変換される。ここで、集光光学系１５は、
例えばレンズ光学系、光ファイバ光学系またはライトガ
イド等である。また、光検出機構１７は、例えば光電子
増倍管またはフォトダイオード等である。光検出機構１
７において出力される再生信号は、制御機構１９に送信
されると共にピーク検出機構１８に送信される。ピーク
検出機構１８は所定の信号検出時間内または所定のサン
プリング回数内における再生信号の強度の最大値、すな
わちピーク信号を導出し、そのピーク信号を制御機構１
９に送信する。データマークあるいはデータマーク間の
すきまの長さは上限と下限が定義されていて、典型的に
は最小単位長さの８倍程度である。ピーク検出機構１８
が信号を検出する時間を、プローブがデータマークの長
さの上限だけ走査するのに要する時間に設定することに
より、信号検出時間内に必ずデータマークが検出される
ようにできる。制御機構１９においては、ピーク検出機
構１８から送信されたピーク信号の示す値が保持される
ように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構
１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行
う。また、制御機構１９において、光検出機構１７から
直接に受信した再生信号により、微小開口１２の配置さ
れた再生位置における情報の記録状態が判断され、情報
の再生が達成される。
【００５５】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報に対して、近視野光を利用した再生が達成され
ると同時に、その再生信号が、ピーク信号検出機構１８
によって開口素子１１の微小開口１２と記録媒体１０と
の距離を示す距離信号として処理可能となり、この距離
信号に基づいて開口素子１１と記録媒体１０との近接し
た状態を保持することが可能になる。このように、情報
再生および微小開口１２の近接制御において検出される
物理量が共に近視野光とすることにより、従来の近視野
光を利用した記録装置において必要とされた近視野光以
外の物理量を利用したプローブ近接制御機構が排除さ
れ、記録装置の構成を簡単にすることが可能になる。さ
らに、以上に説明されたような先鋭化された先端を有さ
ない再生プローブ（平面プローブ）を使用した記録装置
を提供することが可能になる。
度な情報に対して、近視野光を利用した再生が達成され
ると同時に、その再生信号が、ピーク信号検出機構１８
によって開口素子１１の微小開口１２と記録媒体１０と
の距離を示す距離信号として処理可能となり、この距離
信号に基づいて開口素子１１と記録媒体１０との近接し
た状態を保持することが可能になる。このように、情報
再生および微小開口１２の近接制御において検出される
物理量が共に近視野光とすることにより、従来の近視野
光を利用した記録装置において必要とされた近視野光以
外の物理量を利用したプローブ近接制御機構が排除さ
れ、記録装置の構成を簡単にすることが可能になる。さ
らに、以上に説明されたような先鋭化された先端を有さ
ない再生プローブ（平面プローブ）を使用した記録装置
を提供することが可能になる。
【００５６】図３は、図１において説明された記録装置
において、前述したイルミネーションモードによる近視
野光の検出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロ
ック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号
を付している。
において、前述したイルミネーションモードによる近視
野光の検出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロ
ック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号
を付している。
【００５７】図３において、レーザ光源２５から射出さ
れたレーザ光は、ミラー２６を介して光照射光学系２７
に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴を介して微小開
口１２に向けて照射される。これにより、微小開口１２
に近視野光が生成され、生成された近視野光の領域内に
記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１１を記
録媒体１０に近付ける。
れたレーザ光は、ミラー２６を介して光照射光学系２７
に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴を介して微小開
口１２に向けて照射される。これにより、微小開口１２
に近視野光が生成され、生成された近視野光の領域内に
記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１１を記
録媒体１０に近付ける。
【００５８】記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生
成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微
細構造によって近視野光が散乱される。この散乱光（伝
搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系
１５に導入されて集光されることにより、前述したイル
ミネーションモードによる近視野光の検出が達成され
る。集光光学系１５に導入された伝搬光は、記録媒体１
０の裏面側に配置されたミラー１６を介して光検出機構
１７に導かれ、再生信号となる電気信号に変換される。
光検出機構１７において出力される再生信号は、制御機
構１９に送信されると共にピーク検出機構１８に送信さ
れる。制御機構１９においては、図１における説明と同
様に、ピーク検出機構１８から送信されたピーク信号に
基づいてＺ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素
子１１の位置制御を行い、かつ光検出機構１７から受信
した再生信号に基づいて微小開口１２の配置された再生
位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が
達成される。
成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微
細構造によって近視野光が散乱される。この散乱光（伝
搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系
１５に導入されて集光されることにより、前述したイル
ミネーションモードによる近視野光の検出が達成され
る。集光光学系１５に導入された伝搬光は、記録媒体１
０の裏面側に配置されたミラー１６を介して光検出機構
１７に導かれ、再生信号となる電気信号に変換される。
光検出機構１７において出力される再生信号は、制御機
構１９に送信されると共にピーク検出機構１８に送信さ
れる。制御機構１９においては、図１における説明と同
様に、ピーク検出機構１８から送信されたピーク信号に
基づいてＺ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素
子１１の位置制御を行い、かつ光検出機構１７から受信
した再生信号に基づいて微小開口１２の配置された再生
位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が
達成される。
【００５９】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との
近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能に
なる。よって、記録装置の構成が簡単になり、さらに、
先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プロー
ブ）を記録装置に使用することも可能になる。また、近
視野光の検出にイルミネーションモードを採用している
ため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的
大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成
することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が
可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だ
けでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録
をも可能になる。
度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との
近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能に
なる。よって、記録装置の構成が簡単になり、さらに、
先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プロー
ブ）を記録装置に使用することも可能になる。また、近
視野光の検出にイルミネーションモードを採用している
ため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的
大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成
することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が
可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だ
けでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録
をも可能になる。
【００６０】（実施の形態２）図４は、実施の形態２に
係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。な
お、図１と共通する部分には同一符号を付している。
係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。な
お、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００６１】図４において、記録媒体１０の裏面から記
録媒体１０の表面に向けて、レーザ光２９を好ましくは
記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照
射する。これにより、記録媒体１０の表面に近視野光が
生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開
口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体１０
に近付ける。ここで、レーザ光２９は、互いに異なる２
つの波長を有する情報再生用レーザ光（波長λ１）およ
び距離制御用レーザ光（波長λ２）が混合された光であ
り、記録媒体１０の表面に局在する近視野光においても
互いに異なる２つの波長成分が含まれている。
録媒体１０の表面に向けて、レーザ光２９を好ましくは
記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照
射する。これにより、記録媒体１０の表面に近視野光が
生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開
口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体１０
に近付ける。ここで、レーザ光２９は、互いに異なる２
つの波長を有する情報再生用レーザ光（波長λ１）およ
び距離制御用レーザ光（波長λ２）が混合された光であ
り、記録媒体１０の表面に局在する近視野光においても
互いに異なる２つの波長成分が含まれている。
【００６２】微小開口１２が記録媒体１０上に局在した
近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によっ
て近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微
小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集
光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレ
クションモードによる近視野光の検出が達成される。集
光光学系１５に導入された伝搬光は、散乱される近視野
光と同じく、互いに異なる２つの波長成分（λ１および
λ２）を含んでおり、ダイクロイックミラー３１を介す
ることによって波長分離される。ダイクロイックミラー
３１において波長分離された伝搬光の一方（波長λ１）
は、透過してミラー３２、光学フィルタ３４を介して光
検出機構３６に導かれ、他方（波長λ２）は反射されて
光学フィルタ３３を介して光検出機構３５に導かれる。
ここで、光学フィルタ３４は波長λ１の伝搬光を、光学
フィルタ３３は波長λ２の伝搬光をそれぞれ選択して透
過させるためのフィルタである。光検出機構３６に導か
れた伝搬光は再生信号となる電気信号に変換され、光検
出機構３５に導かれた伝搬光は距離制御信号となる電気
信号に変換され、それぞれ制御機構１９に送信される。
制御機構１９においては、光検出機構３５から送信され
た距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１２
の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送
信し、開口素子１１の位置制御を行う。実施の形態１と
同様にピーク検出機構を組み込んで検出されたピーク値
を保持するようにすることもできる。また、制御機構１
９において、光検出機構３６から送信された再生信号に
基づいて微小開口１２の配置された再生位置における情
報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によっ
て近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微
小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集
光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレ
クションモードによる近視野光の検出が達成される。集
光光学系１５に導入された伝搬光は、散乱される近視野
光と同じく、互いに異なる２つの波長成分（λ１および
λ２）を含んでおり、ダイクロイックミラー３１を介す
ることによって波長分離される。ダイクロイックミラー
３１において波長分離された伝搬光の一方（波長λ１）
は、透過してミラー３２、光学フィルタ３４を介して光
検出機構３６に導かれ、他方（波長λ２）は反射されて
光学フィルタ３３を介して光検出機構３５に導かれる。
ここで、光学フィルタ３４は波長λ１の伝搬光を、光学
フィルタ３３は波長λ２の伝搬光をそれぞれ選択して透
過させるためのフィルタである。光検出機構３６に導か
れた伝搬光は再生信号となる電気信号に変換され、光検
出機構３５に導かれた伝搬光は距離制御信号となる電気
信号に変換され、それぞれ制御機構１９に送信される。
制御機構１９においては、光検出機構３５から送信され
た距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１２
の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送
信し、開口素子１１の位置制御を行う。実施の形態１と
同様にピーク検出機構を組み込んで検出されたピーク値
を保持するようにすることもできる。また、制御機構１
９において、光検出機構３６から送信された再生信号に
基づいて微小開口１２の配置された再生位置における情
報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００６３】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０
との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可
能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さ
らに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面
プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近
接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レー
ザ光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利
用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および
開口素子の近接制御を行うことが可能になる。
度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０
との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可
能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さ
らに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面
プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さ
らに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用さ
れるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近
接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レー
ザ光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利
用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および
開口素子の近接制御を行うことが可能になる。
【００６４】図５は、図４において説明された記録装置
において、イルミネーションモードによる近視野光の検
出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロック図で
ある。なお、図４と共通する部分には同一符号を付して
いる。
において、イルミネーションモードによる近視野光の検
出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロック図で
ある。なお、図４と共通する部分には同一符号を付して
いる。
【００６５】図５において、レーザ光源４４から図４に
おいて説明された情報再生用レーザ光（波長λ１）が射
出され、ミラー４２を介して波長合成器４１に導かれ
る。また、レーザ光源４３から図４において説明された
距離制御用レーザ光（波長λ２）が射出され、波長合成
器４１に導かれる。波長合成器４１に導かれた情報再生
用レーザ光および距離制御用レーザ光は合成されて、光
照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴
を介して微小開口１２に向けて照射される。これによ
り、微小開口１２に近視野光が生成され、生成された近
視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように
開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、微小
開口１２に生成される近視野光においても互いに異なる
２つの波長成分（λ１およびλ２）が含まれている。
おいて説明された情報再生用レーザ光（波長λ１）が射
出され、ミラー４２を介して波長合成器４１に導かれ
る。また、レーザ光源４３から図４において説明された
距離制御用レーザ光（波長λ２）が射出され、波長合成
器４１に導かれる。波長合成器４１に導かれた情報再生
用レーザ光および距離制御用レーザ光は合成されて、光
照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴
を介して微小開口１２に向けて照射される。これによ
り、微小開口１２に近視野光が生成され、生成された近
視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように
開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、微小
開口１２に生成される近視野光においても互いに異なる
２つの波長成分（λ１およびλ２）が含まれている。
【００６６】記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生
成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微
細構造によって近視野光が散乱される。その散乱光（伝
搬光）は、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系
１５に導入されて集光されることにより、イルミネーシ
ョンモードによる近視野光の検出が達成される。集光光
学系１５に導入された伝搬光は、前述した互いに異なる
２つの波長成分（λ１およびλ２）を含んでおり、ダイ
クロイックミラー３１を介することによって、波長分離
される。ダイクロイックミラー３１を介した伝搬光の処
理、すなわち再生信号および距離制御信号の生成と距離
制御信号に応じた近接制御とは、図４において示した動
作と同様であるため、ここではその説明を省略する。
成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微
細構造によって近視野光が散乱される。その散乱光（伝
搬光）は、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系
１５に導入されて集光されることにより、イルミネーシ
ョンモードによる近視野光の検出が達成される。集光光
学系１５に導入された伝搬光は、前述した互いに異なる
２つの波長成分（λ１およびλ２）を含んでおり、ダイ
クロイックミラー３１を介することによって、波長分離
される。ダイクロイックミラー３１を介した伝搬光の処
理、すなわち再生信号および距離制御信号の生成と距離
制御信号に応じた近接制御とは、図４において示した動
作と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００６７】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との
近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能に
なる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さら
に、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プ
ローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
るレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近接
制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レーザ
光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用
することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開
口素子の近接制御を行うことが可能になる。また、近視
野光の検出にイルミネーションモードを採用しているた
め、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的大
きくすることによって、局所的な熱エネルギーの照射が
可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だ
けでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録
をも可能になる。
度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との
近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能に
なる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さら
に、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プ
ローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さら
に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用され
るレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近接
制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レーザ
光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用
することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開
口素子の近接制御を行うことが可能になる。また、近視
野光の検出にイルミネーションモードを採用しているた
め、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的大
きくすることによって、局所的な熱エネルギーの照射が
可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だ
けでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録
をも可能になる。
【００６８】（実施の形態３）図６は、本発明の実施の
形態３に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図
である。レーザ光源２０１はたとえばArの気体レーザ
で、波長４８８ｎｍと５１５ｎｍの光を放射し、その光
は音響光学フィルタ２０２で波長を選択され、近視野光
プローブ２０３に導入される。音響光学フィルタ２０２
は水晶結晶と音響波ドライバ（図示略）から構成され、
ブロードバンド光から単色光を分離する機能を持ってい
る。音響波が結晶中を通過するときに結晶格子の歪みを
生じ、これがグレーティングのような働きをする。音響
工学フィルタは単色光のみを回折させるため、透過型フ
ィルタに近い機能を持つ。選択波長の半値幅は１ｎｍオ
ーダーまで狭めることが可能である。近視野光プローブ
２０３はその先端に約１００ｎｍの微小開口が形成され
ている。本実施の形態においては、近視野光プローブ２
０３は光ファイバを加熱、延引、切断のあとＡｌコーテ
ィングによって作成した。これは従来の近視野光顕微鏡
のための近視野光プローブの作成方法として一般に知ら
れている方法と同じである。近視野光プローブ２０３は
情報記録媒体２０６の表面に数十ｎｍまで近接されてい
る。近視野光プローブ２０３の先端の微小開口からは近
視野光２０５が発生し、これが情報記録媒体２０６の表
面によって散乱されて伝播可能な散乱光２０８となり、
受光素子２０４で検出される。先端にこのような微小開
口を設けたプローブを用いることにより、記録媒体と相
互作用する光は近視野光が主成分とすることができ、検
出された信号は近視野光によるものとなる。検出された
信号は信号処理回路２１４に送られ、信号処理回路２１
４からは出力信号２１５と、制御回路２１２に送られる
信号が出力される。制御回路２１２は音響光学フィルタ
２０２の動作を制御するとともに、アクチュエータ２０
７、２１１に対する信号を出し、それによって記録媒体
２０６のｚ方向位置を粗動機構２１０と微動機構２０９
が制御する。音響光学フィルタ２０２はλ1＝４８８ｎ
ｍとλ2＝５１５ｎｍの２種類の波長を２５０マイクロ
秒の速度で切り替えることができる。これにより、近視
野光プローブ２０３には４８８ｎｍと５１５ｎｍの２種
類の波長の光が時間的に交互に導入される。近視野光２
０５のｚ方向依存性は指数関数減衰であるが、波長によ
って指数部が異なるため、λ2が入力光波長のときの近
視野光はより遠方まで分布に広がりを持つ。図７は近視
野光強度のプローブ-記録媒体表面間距離に対する依存
性を示す。図７において縦軸が表す近視野光強度はプロ
ーブ-記録媒体表面間距離が大きくなるにつれて急激に
減衰するが、その減衰の傾きは波長に依存している。図
８は情報記録媒体２０６の一部分の上面図である。デー
タマーク２２０として、基板と反射率の異なる材質を形
成している。本実施の形態においては、局所的な加熱に
よって状態が変化する物質、たとえば相変化記録方式に
おいて用いられる相変化膜を用いた。近視野光プローブ
２０３が情報記録媒体２０６の表面上を走査すると、デ
ータマーク２２０の有無によって近視野光２０５と記録
媒体２０６表面の相互作用の大きさが変化する。例とし
て図９に波長λ2＝５１５ｎｍのときのデータマーク２
２０の有無による出力光強度の違いを示す。同様の図
（省略）がλ1＝４８８ｎｍに対しても得られる。図１
０は、図７と図９を組み合わせて、出力信号強度の入力
波長およびデータマークの有無に対する依存性を示した
図である。以下に信号処理方法について述べる。波長λ
1である瞬間に出力信号強度２２８が得られたとする。
このときプローブと記録媒体との距離が２２６でプロー
ブの下にデータマークが存在していない可能性Ａと、プ
ローブと記録媒体との距離が２２７でプローブの下にデ
ータマークが存在している可能性Ｂがある。そこで、次
にプローブが有意な距離移動する前に波長をλ2に切り
替える。可能性Ａの場合は出力は２３０になり、可能性
Ｂの場合は出力は２２９になる。２２９と２３０はかな
らず異なることを利用すると、プローブと記録媒体の距
離および、データマークの有無の２つの情報が同時に得
られる。プローブと記録媒体の距離は、図１０の４本の
カーブから得られる信号強度が最も大きく異なるように
設定することが望ましい。距離情報は制御回路２１２に
与えられ、アクチュエータ２０７および２１１がそれぞ
れ微動機構２０９および粗動機構２１０を動作させて望
ましい距離を保つように制御する。また、データマーク
の有無に関する情報は本情報再生装置の出力信号とな
る。これによって、プローブ２０３を機械的にｚ方向に
振動させることなくプローブ２０３のｚ軸位置を制御す
ることが実現された。プローブ２０３をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プ
ローブ２０３は記録媒体に物理的に接触することがなく
なったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷
がなくなった。実施の形態１と２においては信号のピー
ク検出機構１８が必要で、しかも上述したようにデータ
マークの大きさの最小単位の８倍程度の距離をプローブ
が走査してから距離制御に必要な情報が得られていた
が、本実施の形態においてはピーク検出は不要となり、
しかもデータマークの最小単位分だけプローブが走査し
た段階で距離制御が可能となった。 （実施の形態４）図１１は、本発明の実施の形態４に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは近視野光プローブ２３１として先端に図６
のような微小開口ではなく、１００ｎｍ程度の大きさの
先鋭な突起を持つプローブを用いた点と、入射光を記録
媒体２０６の下方から入射し、全反射によって近視野光
２０５を発生させている点である。他は図６と同じであ
るので、説明を省略する。入射光は光ファイバ（図示
略）などによって記録媒体２０６の側面に導入され、記
録媒体２０６中を全反射によって伝播する。記録媒体２
０６の表面には内部の全反射のために近視野光２０５が
発生している。近視野光２０５は記録媒体２０６の表面
の光学特性すなわちデータマークの有無によってその強
度分布が異なる。この近視野光２０５が近視野光プロー
ブ２３１によって散乱されて散乱光２０８となり、受光
素子２０４で検出される。近視野光プローブ２３１と記
録媒体２０６表面の距離を精度よく制御する必要がある
点は実施の形態３と同一であり、また、近視野光のｚ方
向依存性は実施の形態３と理論的に同一であるので、実
施の形態３と同一の方法を用いることができる。すなわ
ち、音響光学素子２０２によって２種類の波長を切り替
えた入力をおこない、そのそれぞれに対する出力信号強
度を用いて、制御回路２１２を介してプローブ２３１の
ｚ軸位置制御をプローブ２３１を機械的に振動すること
なく行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の
再生が可能となった。プローブ２３１をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プ
ローブ２３１は記録媒体に物理的に接触することがなく
なったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷
がなくなった。また、プローブ２３１として先端に微小
開口を設ける必要がなくなったため、プローブの作成が
より容易になった。 （実施の形態５）本実施の形態においては、近視野光プ
ローブとして、逆錐状の穴がその頂部を前記微小開口と
するように貫通して形成された平面基板からなる平面プ
ローブ２３７を利用した。図１２に実施の形態５に係る
情報再生装置の概略構成を示す。装置の概略および動作
機構、信号処理回路は実施の形態３と同じであるので、
詳細な説明は略すが、本実施の形態における平面型プロ
ーブは、一般に、従来の半導体製造技術においてもちい
られるシリコンプロセスによって作成され、受光素子２
３３は、シリコンウェハ上に集積されたフォトダイオー
ドなどから成る。シリコン基板にはシリコンの異方性エ
ッチングによって逆錐状の穴を設けることができ、その
内面にはシリコン基板に光が入射してシリコンに吸収さ
れてしまうことを防止するための反射膜２３６としてAl
を製膜する。レンズ系あるいは光導波路（図示略）によ
って導入された入力光２３２は、このプローブの先端に
形成された微小開口２３５から近視野光２０５を発生さ
せる。これとデータマーク２３４との相互作用の結果発
生した散乱光２０８を受光素子２３３で検出する。近視
野光のｚ方向依存性は実施の形態３と理論的に同一であ
るので、実施の形態３と同一の方法によって、プローブ
のｚ軸位置制御をプローブを機械的に振動することなく
行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の再生
が可能となった。平面プローブ２３７をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、平
面プローブ２３７は記録媒体に物理的に接触することが
なくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の
損傷がなくなった。また、平面プローブを採用している
ので、よりコンパクトな装置構造が達成された。さら
に、平面プローブは、半導体製造技術を用いて作成する
ことができるため、再現性の高い大量生産が可能であ
る。さらに、平面プローブ２３７は記録媒体上を走査す
る方法として、従来のハードディスクに利用されている
フライングヘッド法（プローブを含むヘッド部に楔状の
テーパを設け、空気をそこから送り込んでプローブと記
録媒体表面の間に空気流を形成し、あらかじめかけてあ
る記録媒体方向にヘッドを押す力とのバランスによって
ヘッドを記録媒体から浮かせる方法）を用いることがで
きる。 （実施の形態６）図１３は、本発明の実施の形態６に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは、レーザ光源２０１からの入力光の波長を
選択する音響光学素子２０２は持たず、かわりに受光素
子として波長λ1に対する受光素子２３８と、波長λ2に
対する受光素子２３９を持つ点と、信号処理回路２４０
で行われる処理の内容が異なる点である。その他は図６
と同じであるので説明を略す。レーザ光源２０１から
は、たとえば４８８ｎｍと５１５ｎｍの波長を持つ光が
放射され、近視野光２０５となって、記録媒体２０６と
相互作用した結果、散乱光２０８になる。ここで、受光
素子２３８は波長λ1の光を受光し、受光素子２３９は
波長λ2の光を受光する。信号処理回路２４０において
は、これらの信号を用いて実施の形態３で説明した図１
０により、プローブと情報記録媒体との距離情報と、デ
ータマークの有無情報を同時に得ることができる。この
うち、距離情報は制御回路２１２に送られ、粗動機構２
１１および微動機構２０７によるプローブ媒体距離制御
に使われる。データマークの有無情報はこの情報再生装
置の出力信号２１５となる。本実施の形態においては、
音響光学素子を持たないため、簡便な装置構成が可能と
なり、さらに２つの波長による出力信号が同時に得られ
るため、入力光との同期をとる必要が無くなり信号処理
回路がより単純なものになった。 （実施の形態７）図１４は、本発明の実施の形態７に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは、光源２４１としてＬＥＤを用いている点
である。ＬＥＤは気体レーザと違って、出射光波長が有
限の幅を持っている（典型的には波長８００ｎｍの光源
で、波長の半値幅約１５ｎｍ）。実施の形態３で説明し
たように、近視野光のｚ方向減衰は波長に強く依存す
る。プローブの位置制御を精度良く行うためには利用す
る光の波長を２種類精度良く選択する必要がある。音響
光学素子２０２を用いることにより、ブロードな波長幅
を持つＬＥＤ光源の光から、特定の２波長を時間的に選
択して切り替えることができる。これによって、近視野
光プローブ２０３に入力する光の波長を２種類切り替え
ることになり、あとは実施の形態３と同じ動作でプロー
ブのｚ方向位置制御を行うことができた。これにより利
用できる光源の種類が増え、プローブの位置制御にとっ
て最適な波長の光を選ぶことができた。また、ＬＥＤ光
源はインコヒーレントな光源であり、スペックルなどコ
ヒーレントな光源を使用する場合に生じるノイズ成分を
除去することができた。この実施の形態において、実施
の形態６と同じように２つの受光素子を用いることで音
響光学素子を使わない構成にすることも可能である。 （実施の形態８）図１５は、実施の形態８に係る記録装
置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共
通する部分には同一符号を付している。
形態３に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図
である。レーザ光源２０１はたとえばArの気体レーザ
で、波長４８８ｎｍと５１５ｎｍの光を放射し、その光
は音響光学フィルタ２０２で波長を選択され、近視野光
プローブ２０３に導入される。音響光学フィルタ２０２
は水晶結晶と音響波ドライバ（図示略）から構成され、
ブロードバンド光から単色光を分離する機能を持ってい
る。音響波が結晶中を通過するときに結晶格子の歪みを
生じ、これがグレーティングのような働きをする。音響
工学フィルタは単色光のみを回折させるため、透過型フ
ィルタに近い機能を持つ。選択波長の半値幅は１ｎｍオ
ーダーまで狭めることが可能である。近視野光プローブ
２０３はその先端に約１００ｎｍの微小開口が形成され
ている。本実施の形態においては、近視野光プローブ２
０３は光ファイバを加熱、延引、切断のあとＡｌコーテ
ィングによって作成した。これは従来の近視野光顕微鏡
のための近視野光プローブの作成方法として一般に知ら
れている方法と同じである。近視野光プローブ２０３は
情報記録媒体２０６の表面に数十ｎｍまで近接されてい
る。近視野光プローブ２０３の先端の微小開口からは近
視野光２０５が発生し、これが情報記録媒体２０６の表
面によって散乱されて伝播可能な散乱光２０８となり、
受光素子２０４で検出される。先端にこのような微小開
口を設けたプローブを用いることにより、記録媒体と相
互作用する光は近視野光が主成分とすることができ、検
出された信号は近視野光によるものとなる。検出された
信号は信号処理回路２１４に送られ、信号処理回路２１
４からは出力信号２１５と、制御回路２１２に送られる
信号が出力される。制御回路２１２は音響光学フィルタ
２０２の動作を制御するとともに、アクチュエータ２０
７、２１１に対する信号を出し、それによって記録媒体
２０６のｚ方向位置を粗動機構２１０と微動機構２０９
が制御する。音響光学フィルタ２０２はλ1＝４８８ｎ
ｍとλ2＝５１５ｎｍの２種類の波長を２５０マイクロ
秒の速度で切り替えることができる。これにより、近視
野光プローブ２０３には４８８ｎｍと５１５ｎｍの２種
類の波長の光が時間的に交互に導入される。近視野光２
０５のｚ方向依存性は指数関数減衰であるが、波長によ
って指数部が異なるため、λ2が入力光波長のときの近
視野光はより遠方まで分布に広がりを持つ。図７は近視
野光強度のプローブ-記録媒体表面間距離に対する依存
性を示す。図７において縦軸が表す近視野光強度はプロ
ーブ-記録媒体表面間距離が大きくなるにつれて急激に
減衰するが、その減衰の傾きは波長に依存している。図
８は情報記録媒体２０６の一部分の上面図である。デー
タマーク２２０として、基板と反射率の異なる材質を形
成している。本実施の形態においては、局所的な加熱に
よって状態が変化する物質、たとえば相変化記録方式に
おいて用いられる相変化膜を用いた。近視野光プローブ
２０３が情報記録媒体２０６の表面上を走査すると、デ
ータマーク２２０の有無によって近視野光２０５と記録
媒体２０６表面の相互作用の大きさが変化する。例とし
て図９に波長λ2＝５１５ｎｍのときのデータマーク２
２０の有無による出力光強度の違いを示す。同様の図
（省略）がλ1＝４８８ｎｍに対しても得られる。図１
０は、図７と図９を組み合わせて、出力信号強度の入力
波長およびデータマークの有無に対する依存性を示した
図である。以下に信号処理方法について述べる。波長λ
1である瞬間に出力信号強度２２８が得られたとする。
このときプローブと記録媒体との距離が２２６でプロー
ブの下にデータマークが存在していない可能性Ａと、プ
ローブと記録媒体との距離が２２７でプローブの下にデ
ータマークが存在している可能性Ｂがある。そこで、次
にプローブが有意な距離移動する前に波長をλ2に切り
替える。可能性Ａの場合は出力は２３０になり、可能性
Ｂの場合は出力は２２９になる。２２９と２３０はかな
らず異なることを利用すると、プローブと記録媒体の距
離および、データマークの有無の２つの情報が同時に得
られる。プローブと記録媒体の距離は、図１０の４本の
カーブから得られる信号強度が最も大きく異なるように
設定することが望ましい。距離情報は制御回路２１２に
与えられ、アクチュエータ２０７および２１１がそれぞ
れ微動機構２０９および粗動機構２１０を動作させて望
ましい距離を保つように制御する。また、データマーク
の有無に関する情報は本情報再生装置の出力信号とな
る。これによって、プローブ２０３を機械的にｚ方向に
振動させることなくプローブ２０３のｚ軸位置を制御す
ることが実現された。プローブ２０３をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プ
ローブ２０３は記録媒体に物理的に接触することがなく
なったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷
がなくなった。実施の形態１と２においては信号のピー
ク検出機構１８が必要で、しかも上述したようにデータ
マークの大きさの最小単位の８倍程度の距離をプローブ
が走査してから距離制御に必要な情報が得られていた
が、本実施の形態においてはピーク検出は不要となり、
しかもデータマークの最小単位分だけプローブが走査し
た段階で距離制御が可能となった。 （実施の形態４）図１１は、本発明の実施の形態４に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは近視野光プローブ２３１として先端に図６
のような微小開口ではなく、１００ｎｍ程度の大きさの
先鋭な突起を持つプローブを用いた点と、入射光を記録
媒体２０６の下方から入射し、全反射によって近視野光
２０５を発生させている点である。他は図６と同じであ
るので、説明を省略する。入射光は光ファイバ（図示
略）などによって記録媒体２０６の側面に導入され、記
録媒体２０６中を全反射によって伝播する。記録媒体２
０６の表面には内部の全反射のために近視野光２０５が
発生している。近視野光２０５は記録媒体２０６の表面
の光学特性すなわちデータマークの有無によってその強
度分布が異なる。この近視野光２０５が近視野光プロー
ブ２３１によって散乱されて散乱光２０８となり、受光
素子２０４で検出される。近視野光プローブ２３１と記
録媒体２０６表面の距離を精度よく制御する必要がある
点は実施の形態３と同一であり、また、近視野光のｚ方
向依存性は実施の形態３と理論的に同一であるので、実
施の形態３と同一の方法を用いることができる。すなわ
ち、音響光学素子２０２によって２種類の波長を切り替
えた入力をおこない、そのそれぞれに対する出力信号強
度を用いて、制御回路２１２を介してプローブ２３１の
ｚ軸位置制御をプローブ２３１を機械的に振動すること
なく行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の
再生が可能となった。プローブ２３１をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プ
ローブ２３１は記録媒体に物理的に接触することがなく
なったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷
がなくなった。また、プローブ２３１として先端に微小
開口を設ける必要がなくなったため、プローブの作成が
より容易になった。 （実施の形態５）本実施の形態においては、近視野光プ
ローブとして、逆錐状の穴がその頂部を前記微小開口と
するように貫通して形成された平面基板からなる平面プ
ローブ２３７を利用した。図１２に実施の形態５に係る
情報再生装置の概略構成を示す。装置の概略および動作
機構、信号処理回路は実施の形態３と同じであるので、
詳細な説明は略すが、本実施の形態における平面型プロ
ーブは、一般に、従来の半導体製造技術においてもちい
られるシリコンプロセスによって作成され、受光素子２
３３は、シリコンウェハ上に集積されたフォトダイオー
ドなどから成る。シリコン基板にはシリコンの異方性エ
ッチングによって逆錐状の穴を設けることができ、その
内面にはシリコン基板に光が入射してシリコンに吸収さ
れてしまうことを防止するための反射膜２３６としてAl
を製膜する。レンズ系あるいは光導波路（図示略）によ
って導入された入力光２３２は、このプローブの先端に
形成された微小開口２３５から近視野光２０５を発生さ
せる。これとデータマーク２３４との相互作用の結果発
生した散乱光２０８を受光素子２３３で検出する。近視
野光のｚ方向依存性は実施の形態３と理論的に同一であ
るので、実施の形態３と同一の方法によって、プローブ
のｚ軸位置制御をプローブを機械的に振動することなく
行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の再生
が可能となった。平面プローブ２３７をｚ方向に振動さ
せる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要
となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、平
面プローブ２３７は記録媒体に物理的に接触することが
なくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の
損傷がなくなった。また、平面プローブを採用している
ので、よりコンパクトな装置構造が達成された。さら
に、平面プローブは、半導体製造技術を用いて作成する
ことができるため、再現性の高い大量生産が可能であ
る。さらに、平面プローブ２３７は記録媒体上を走査す
る方法として、従来のハードディスクに利用されている
フライングヘッド法（プローブを含むヘッド部に楔状の
テーパを設け、空気をそこから送り込んでプローブと記
録媒体表面の間に空気流を形成し、あらかじめかけてあ
る記録媒体方向にヘッドを押す力とのバランスによって
ヘッドを記録媒体から浮かせる方法）を用いることがで
きる。 （実施の形態６）図１３は、本発明の実施の形態６に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは、レーザ光源２０１からの入力光の波長を
選択する音響光学素子２０２は持たず、かわりに受光素
子として波長λ1に対する受光素子２３８と、波長λ2に
対する受光素子２３９を持つ点と、信号処理回路２４０
で行われる処理の内容が異なる点である。その他は図６
と同じであるので説明を略す。レーザ光源２０１から
は、たとえば４８８ｎｍと５１５ｎｍの波長を持つ光が
放射され、近視野光２０５となって、記録媒体２０６と
相互作用した結果、散乱光２０８になる。ここで、受光
素子２３８は波長λ1の光を受光し、受光素子２３９は
波長λ2の光を受光する。信号処理回路２４０において
は、これらの信号を用いて実施の形態３で説明した図１
０により、プローブと情報記録媒体との距離情報と、デ
ータマークの有無情報を同時に得ることができる。この
うち、距離情報は制御回路２１２に送られ、粗動機構２
１１および微動機構２０７によるプローブ媒体距離制御
に使われる。データマークの有無情報はこの情報再生装
置の出力信号２１５となる。本実施の形態においては、
音響光学素子を持たないため、簡便な装置構成が可能と
なり、さらに２つの波長による出力信号が同時に得られ
るため、入力光との同期をとる必要が無くなり信号処理
回路がより単純なものになった。 （実施の形態７）図１４は、本発明の実施の形態７に係
る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図
６との違いは、光源２４１としてＬＥＤを用いている点
である。ＬＥＤは気体レーザと違って、出射光波長が有
限の幅を持っている（典型的には波長８００ｎｍの光源
で、波長の半値幅約１５ｎｍ）。実施の形態３で説明し
たように、近視野光のｚ方向減衰は波長に強く依存す
る。プローブの位置制御を精度良く行うためには利用す
る光の波長を２種類精度良く選択する必要がある。音響
光学素子２０２を用いることにより、ブロードな波長幅
を持つＬＥＤ光源の光から、特定の２波長を時間的に選
択して切り替えることができる。これによって、近視野
光プローブ２０３に入力する光の波長を２種類切り替え
ることになり、あとは実施の形態３と同じ動作でプロー
ブのｚ方向位置制御を行うことができた。これにより利
用できる光源の種類が増え、プローブの位置制御にとっ
て最適な波長の光を選ぶことができた。また、ＬＥＤ光
源はインコヒーレントな光源であり、スペックルなどコ
ヒーレントな光源を使用する場合に生じるノイズ成分を
除去することができた。この実施の形態において、実施
の形態６と同じように２つの受光素子を用いることで音
響光学素子を使わない構成にすることも可能である。 （実施の形態８）図１５は、実施の形態８に係る記録装
置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共
通する部分には同一符号を付している。
【００６９】図１５において、記録媒体１０の裏面から
記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光４０を好ましく
は記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように
照射する。これによって、記録媒体１０の表面に近視野
光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微
小開口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体
１０に近付ける。ここで、レーザ光４０は、互いに異な
る変調周波数の情報再生用レーザ光（変調周波数ｆ１）
および距離制御用レーザ光（変調周波数ｆ２）が混合さ
れた光であり、記録媒体１０の表面に局在する近視野光
においても互いに異なる２つの変調周波数成分が含まれ
ている。２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０
は、レーザ光源５３から射出されたレーザ光を光変調器
５４において、制御機構５９から送信される変調信号に
基づいて、情報再生用レーザ光に割り当てられる変調周
波数ｆ１および距離制御用レーザ光に割り当てられる変
調周波数ｆ２にそれぞれ変調することにより生成され、
ミラー５５を介して記録媒体１０に照射される。また、
２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０は、光変調
器５４を用いずに、直接にレーザ光源５３において周波
数変調を行うことにより生成してもよい。
記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光４０を好ましく
は記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように
照射する。これによって、記録媒体１０の表面に近視野
光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微
小開口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体
１０に近付ける。ここで、レーザ光４０は、互いに異な
る変調周波数の情報再生用レーザ光（変調周波数ｆ１）
および距離制御用レーザ光（変調周波数ｆ２）が混合さ
れた光であり、記録媒体１０の表面に局在する近視野光
においても互いに異なる２つの変調周波数成分が含まれ
ている。２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０
は、レーザ光源５３から射出されたレーザ光を光変調器
５４において、制御機構５９から送信される変調信号に
基づいて、情報再生用レーザ光に割り当てられる変調周
波数ｆ１および距離制御用レーザ光に割り当てられる変
調周波数ｆ２にそれぞれ変調することにより生成され、
ミラー５５を介して記録媒体１０に照射される。また、
２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０は、光変調
器５４を用いずに、直接にレーザ光源５３において周波
数変調を行うことにより生成してもよい。
【００７０】微小開口１２が記録媒体１０上に局在した
近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によっ
て近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微
小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集
光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレ
クションモードによる近視野光の検出が達成される。集
光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介し
て光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。光
検出機構１７から出力される電気信号は、散乱された近
視野光と同じく、互いに異なる２つの変調周波数成分
（ｆ１およびｆ２）を含んでおり、情報再生信号位相検
波器５１および距離信号位相検波器５２に送信される。
情報再生信号位相検波器５１は、周波数成分ｆ１を抽出
する検波参照信号を制御機構５９から受信することによ
って再生信号を導出し、距離信号位相検波器５２は、周
波数成分ｆ２を抽出する検波参照信号を制御機構５９か
ら受信することによって距離制御信号を導出する。導出
された再生信号および距離制御信号は、それぞれ制御機
構５９に送信される。制御機構５９においては、距離信
号位相検波器５２から送信された距離制御信号の示す値
を保持するように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ
軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位
置制御を行う。また、制御機構５９において、情報再生
信号位相検波器５１から送信された再生信号に基づいて
微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録
状態が判断され、情報の再生が達成される。
近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によっ
て近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微
小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集
光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレ
クションモードによる近視野光の検出が達成される。集
光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介し
て光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。光
検出機構１７から出力される電気信号は、散乱された近
視野光と同じく、互いに異なる２つの変調周波数成分
（ｆ１およびｆ２）を含んでおり、情報再生信号位相検
波器５１および距離信号位相検波器５２に送信される。
情報再生信号位相検波器５１は、周波数成分ｆ１を抽出
する検波参照信号を制御機構５９から受信することによ
って再生信号を導出し、距離信号位相検波器５２は、周
波数成分ｆ２を抽出する検波参照信号を制御機構５９か
ら受信することによって距離制御信号を導出する。導出
された再生信号および距離制御信号は、それぞれ制御機
構５９に送信される。制御機構５９においては、距離信
号位相検波器５２から送信された距離制御信号の示す値
を保持するように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ
軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位
置制御を行う。また、制御機構５９において、情報再生
信号位相検波器５１から送信された再生信号に基づいて
微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録
状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００７１】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０
との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可
能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さ
らに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面
プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。ま
たさらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使
用されるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子
の近接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用
レーザ光）とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割
り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報
再生および開口素子の近接制御を行うことが可能にな
る。
度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０
との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可
能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さ
らに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面
プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。ま
たさらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使
用されるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子
の近接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用
レーザ光）とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割
り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報
再生および開口素子の近接制御を行うことが可能にな
る。
【００７２】図１６は、図１５において説明された記録
装置において、イルミネーションモードによる近視野光
の検出を行う場合の記録装置の構成図を示している。な
お、図１５と共通する部分には同一符号を付している。
装置において、イルミネーションモードによる近視野光
の検出を行う場合の記録装置の構成図を示している。な
お、図１５と共通する部分には同一符号を付している。
【００７３】図１６において、レーザ光源５３から射出
されたレーザ光を光変調器５４により周波数変調するこ
とによって生成された情報再生および距離制御のための
２つの変調周波数成分を含むレーザ光が、ミラー２６を
介して光照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆
錐状の穴を介して微小開口１２に向けて照射される。こ
れによって、微小開口１２に近視野光が生成され、生成
された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置す
るように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここ
で、微小開口１２に生成される近視野光においても互い
に異なる２つの変調周波数成分（ｆ１およびｆ２）が含
まれている。
されたレーザ光を光変調器５４により周波数変調するこ
とによって生成された情報再生および距離制御のための
２つの変調周波数成分を含むレーザ光が、ミラー２６を
介して光照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆
錐状の穴を介して微小開口１２に向けて照射される。こ
れによって、微小開口１２に近視野光が生成され、生成
された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置す
るように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここ
で、微小開口１２に生成される近視野光においても互い
に異なる２つの変調周波数成分（ｆ１およびｆ２）が含
まれている。
【００７４】記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生
成された近視野光の領域が達すると、記録媒体１０の表
面の微細構造によって近視野光が散乱される。その散乱
光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光
光学系１５に導入されて集光されることにより、イルミ
ネーションモードによる近視野光の検出が達成される。
集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介
して光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。
光検出機構１７において出力される電気信号の処理、す
なわち再生信号および距離制御信号の生成と距離制御信
号に応じた近接制御とは、図５において示した動作と同
様であるため、ここではその説明を省略する。
成された近視野光の領域が達すると、記録媒体１０の表
面の微細構造によって近視野光が散乱される。その散乱
光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光
光学系１５に導入されて集光されることにより、イルミ
ネーションモードによる近視野光の検出が達成される。
集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介
して光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。
光検出機構１７において出力される電気信号の処理、す
なわち再生信号および距離制御信号の生成と距離制御信
号に応じた近接制御とは、図５において示した動作と同
様であるため、ここではその説明を省略する。
【００７５】よって、記録媒体上に記録された高密度な
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうし
て、記録装置の構成が簡単になり、先鋭化された先端を
持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使
用することも可能になる。さらに、記録媒体に記録され
た情報を再生するのに使用されるレーザ光と、開口素子
の近接制御を行うのに使用されるレーザ光とをそれぞれ
互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することに
より、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近
接制御を行うことが可能になる。また、近視野光の検出
にイルミネーションモードを採用しているため、局所的
な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に
記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギー付与に
よる高密度な情報の記録をも可能になる。
情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態
の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうし
て、記録装置の構成が簡単になり、先鋭化された先端を
持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使
用することも可能になる。さらに、記録媒体に記録され
た情報を再生するのに使用されるレーザ光と、開口素子
の近接制御を行うのに使用されるレーザ光とをそれぞれ
互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することに
より、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近
接制御を行うことが可能になる。また、近視野光の検出
にイルミネーションモードを採用しているため、局所的
な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に
記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギー付与に
よる高密度な情報の記録をも可能になる。
【００７６】以上に説明した実施の形態１、２あるいは
８において、開口素子（再生プローブ）として微小開口
を有した平面基板（平面プローブ）を使用したが、近視
野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや光
ファイバプローブを用いることもできる。
８において、開口素子（再生プローブ）として微小開口
を有した平面基板（平面プローブ）を使用したが、近視
野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや光
ファイバプローブを用いることもできる。
【００７７】特に、再生プローブとして平面プローブを
採用した場合は、微小開口に対向した上面部に、光検出
機構に代わるフォトダイオード等の光検出器を直接配置
してコレクションモードを達成することができる。図１
７は、図１における集光光学系１５、ミラー１６および
光検出機構１７からなる構成を、開口素子１１に直接配
置された光検出器６１と置き換えた場合の記録装置を示
すブロック図である。
採用した場合は、微小開口に対向した上面部に、光検出
機構に代わるフォトダイオード等の光検出器を直接配置
してコレクションモードを達成することができる。図１
７は、図１における集光光学系１５、ミラー１６および
光検出機構１７からなる構成を、開口素子１１に直接配
置された光検出器６１と置き換えた場合の記録装置を示
すブロック図である。
【００７８】図１７に示すように、光検出器６１を開口
素子１１に配置することで、集光光学系１５、ミラー１
６および光検出機構１７からなる構成を取り除くことが
でき、より簡略な構成による記録装置を提供することが
できるとともに、光検出器６１は、微小開口１２の上方
に十分接近した位置に配置されるので、微小開口１２か
ら取り出される伝搬光の損失を防ぐことが可能になり、
強度の大きな再生信号または距離制御信号を得ることが
可能になる。
素子１１に配置することで、集光光学系１５、ミラー１
６および光検出機構１７からなる構成を取り除くことが
でき、より簡略な構成による記録装置を提供することが
できるとともに、光検出器６１は、微小開口１２の上方
に十分接近した位置に配置されるので、微小開口１２か
ら取り出される伝搬光の損失を防ぐことが可能になり、
強度の大きな再生信号または距離制御信号を得ることが
可能になる。
【００７９】また、微小開口に対向した上面部に、レー
ザ光源に代わる面発光レーザ等の光照射器を直接配置し
てイルミネーションモードを達成することができる。図
１８は、図３におけるレーザ光源２５、ミラー２６およ
び光照射光学系２７からなる構成を、開口素子１１に直
接配置された光照射器６２と置き換えた場合の記録装置
を示すブロック図である。
ザ光源に代わる面発光レーザ等の光照射器を直接配置し
てイルミネーションモードを達成することができる。図
１８は、図３におけるレーザ光源２５、ミラー２６およ
び光照射光学系２７からなる構成を、開口素子１１に直
接配置された光照射器６２と置き換えた場合の記録装置
を示すブロック図である。
【００８０】図１８に示すように、光照射器６２を開口
素子１１に配置することで、レーザ光源２５、ミラー２
６および光照射光学系２７からなる構成を取り除くこと
ができ、より簡略な構成による記録装置を提供すること
ができる。また、光照射器６２は、微小開口１２の上方
に十分接近した位置に配置されるので、伝搬損失の少な
い十分大きな強度の光を微小開口１２に照射することが
でき、これに伴って十分大きな強度の近視野光を生成す
ることができる。
素子１１に配置することで、レーザ光源２５、ミラー２
６および光照射光学系２７からなる構成を取り除くこと
ができ、より簡略な構成による記録装置を提供すること
ができる。また、光照射器６２は、微小開口１２の上方
に十分接近した位置に配置されるので、伝搬損失の少な
い十分大きな強度の光を微小開口１２に照射することが
でき、これに伴って十分大きな強度の近視野光を生成す
ることができる。
【００８１】さらに、図１８に示す開口素子１１に対し
て、微小開口１２の縁部近傍にフォトダイオード等の光
検出器を配置することにより、図１８における集光光学
系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成
を取り除くことができる。図１９は、図１８における集
光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からな
る構成を、開口素子に直接配置された光検出器７４およ
び７５と置き換え、これら光検出器７４および７５から
出力される電気信号を適宣増幅して光検出機構１８よび
制御機構１９に送信する増幅機構７６を備えた記録装置
を示すブロック図である。
て、微小開口１２の縁部近傍にフォトダイオード等の光
検出器を配置することにより、図１８における集光光学
系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成
を取り除くことができる。図１９は、図１８における集
光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からな
る構成を、開口素子に直接配置された光検出器７４およ
び７５と置き換え、これら光検出器７４および７５から
出力される電気信号を適宣増幅して光検出機構１８よび
制御機構１９に送信する増幅機構７６を備えた記録装置
を示すブロック図である。
【００８２】図１９に示すように、光照射器６２、光検
出器７４および７５を配置した開口素子７１を用いるこ
とで、レーザ光源２５、ミラー２６および光照射光学系
２７からなる構成だけでなく、集光光学系１５、ミラー
１６および光検出機構１７からなる構成をも取り除くこ
とができ、より簡略な構成による記録装置を提供するこ
とができる。また、この光検出器７４および７５による
伝搬光の検出は、記録媒体１０の表面において生成した
近視野光に対して行うので、近視野光を生成するための
構成と、この近視野光の散乱による伝搬光の検出するた
めの構成とが、記録媒体１０の表面側に配置することが
でき、装置の小型化を図ることが可能になる。
出器７４および７５を配置した開口素子７１を用いるこ
とで、レーザ光源２５、ミラー２６および光照射光学系
２７からなる構成だけでなく、集光光学系１５、ミラー
１６および光検出機構１７からなる構成をも取り除くこ
とができ、より簡略な構成による記録装置を提供するこ
とができる。また、この光検出器７４および７５による
伝搬光の検出は、記録媒体１０の表面において生成した
近視野光に対して行うので、近視野光を生成するための
構成と、この近視野光の散乱による伝搬光の検出するた
めの構成とが、記録媒体１０の表面側に配置することが
でき、装置の小型化を図ることが可能になる。
【００８３】なお、図１７、図１８および図１９に示し
た光検出器６１および光照射器６２を配置した開口素子
１１、または光照射器、光検出器７４および７５を配置
した開口素子７１は、実施の形態２および８において説
明した記録装置に対しても適用できることはいうまでも
ない。
た光検出器６１および光照射器６２を配置した開口素子
１１、または光照射器、光検出器７４および７５を配置
した開口素子７１は、実施の形態２および８において説
明した記録装置に対しても適用できることはいうまでも
ない。
【００８４】（実施の形態９）図２０は、実施の形態９
に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。な
お、図１と共通する部分には同一符号を付している。
に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。な
お、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００８５】図２０において、開口素子１０１は、実施
の形態１に説明された開口素子１１において、２つの微
小開口１０２および１０３が形成された平面基板であ
る。微小開口１０２および１０３は、それぞれ近視野光
を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば
数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１
０１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒
体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けら
れている。ここで、微小開口１０２は、情報再生のため
に使用される微小開口であり、微小開口１０３は、開口
素子１０１を記録媒体１０に近接制御するために使用さ
れる微小開口である。
の形態１に説明された開口素子１１において、２つの微
小開口１０２および１０３が形成された平面基板であ
る。微小開口１０２および１０３は、それぞれ近視野光
を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば
数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１
０１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒
体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けら
れている。ここで、微小開口１０２は、情報再生のため
に使用される微小開口であり、微小開口１０３は、開口
素子１０１を記録媒体１０に近接制御するために使用さ
れる微小開口である。
【００８６】近視野光を利用した情報再生を達成するた
めに、まず、記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表
面に向けて、レーザ光１００を好ましくは記録媒体１０
の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これ
によって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて
局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１０２お
よび１０３が配置されるように開口素子１０１を記録媒
体１０に近付ける。
めに、まず、記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表
面に向けて、レーザ光１００を好ましくは記録媒体１０
の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これ
によって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて
局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１０２お
よび１０３が配置されるように開口素子１０１を記録媒
体１０に近付ける。
【００８７】微小開口１０２および１０３が記録媒体１
０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、微小
開口１０２および１０３によってそれぞれ近視野光が散
乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１０２お
よび１０３を介して微小開口１０２および１０３の上方
に配置された集光光学系１０５および１０６にそれぞれ
導入されて集光されることにより、コレクションモード
による近視野光の検出が達成される。微小開口１０２に
おいて生成された近視野光が散乱して集光光学系１０５
に導入された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機
構１１０に導かれ、再生信号として電気信号に変換され
る。また、微小開口１０３において生成された近視野光
を散乱して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミ
ラー１０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制
御信号として電気信号に変換される。これら再生信号お
よび距離制御信号は共に制御機構１９に送信される。制
御機構１９においては、光検出機構１０９から送信され
た距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１０
３の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を
送信し、開口素子１０１の位置制御を行う。また、制御
機構１９において、光検出機構１１０から送信された再
生信号に基づき、微小開口１０２の配置された再生位置
における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成
される。
０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、微小
開口１０２および１０３によってそれぞれ近視野光が散
乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１０２お
よび１０３を介して微小開口１０２および１０３の上方
に配置された集光光学系１０５および１０６にそれぞれ
導入されて集光されることにより、コレクションモード
による近視野光の検出が達成される。微小開口１０２に
おいて生成された近視野光が散乱して集光光学系１０５
に導入された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機
構１１０に導かれ、再生信号として電気信号に変換され
る。また、微小開口１０３において生成された近視野光
を散乱して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミ
ラー１０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制
御信号として電気信号に変換される。これら再生信号お
よび距離制御信号は共に制御機構１９に送信される。制
御機構１９においては、光検出機構１０９から送信され
た距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１０
３の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を
送信し、開口素子１０１の位置制御を行う。また、制御
機構１９において、光検出機構１１０から送信された再
生信号に基づき、微小開口１０２の配置された再生位置
における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成
される。
【００８８】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０と
の近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能
になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、先鋭
化された先端を持たない再生プローブを記録装置に使用
することも可能になる。さらに、記録媒体１０に記録さ
れた情報を再生するのに使用される微小開口１０２と、
開口素子１０１の近接制御を行うのに使用される微小開
口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成さ
れているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口
素子の近接制御を行うことが可能になる。
度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０と
の近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能
になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、先鋭
化された先端を持たない再生プローブを記録装置に使用
することも可能になる。さらに、記録媒体１０に記録さ
れた情報を再生するのに使用される微小開口１０２と、
開口素子１０１の近接制御を行うのに使用される微小開
口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成さ
れているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口
素子の近接制御を行うことが可能になる。
【００８９】図２１は、図２０において説明された記録
装置において、一方のミラー、集光光学系および微小開
口からなる系を利用して、記録媒体１０への情報記録を
可能にした記録装置のブロック図である。なお、図２０
と共通する部分には同一符号を付している。
装置において、一方のミラー、集光光学系および微小開
口からなる系を利用して、記録媒体１０への情報記録を
可能にした記録装置のブロック図である。なお、図２０
と共通する部分には同一符号を付している。
【００９０】図２１（ａ）において、ダイクロイックミ
ラー１１７および光照射／集光光学系１１５は、情報再
生を行う場合には、それぞれ図２０に示すミラー１０７
および集光光学系１１５として機能する。レーザ光源１
１１は、情報記録をおこなう場合の光照射手段であり、
情報再生を行う場合には、そのレーザ光はシャッタ１１
２により遮断されている。よって、図２１（ａ）に示す
記録装置は、図２０に示す記録装置と同様なコレクショ
ンモードによる情報再生を行う。
ラー１１７および光照射／集光光学系１１５は、情報再
生を行う場合には、それぞれ図２０に示すミラー１０７
および集光光学系１１５として機能する。レーザ光源１
１１は、情報記録をおこなう場合の光照射手段であり、
情報再生を行う場合には、そのレーザ光はシャッタ１１
２により遮断されている。よって、図２１（ａ）に示す
記録装置は、図２０に示す記録装置と同様なコレクショ
ンモードによる情報再生を行う。
【００９１】図２１（ｂ）は、図２１（ａ）に示す記録
装置において、記録媒体１０への情報記録を行う場合の
状態を示している。図２１（ｂ）において、シャッタ１
１２は、レーザ光源１１１から照射されるレーザ光の遮
断を解除し、そのレーザ光をダイクロイックミラー１１
７へと導く。このシャッタ１１２の解除と同時に、記録
媒体１０の裏面より照射されるレーザ光１００もまた遮
断手段（図示せず）により、その照射が遮断される。こ
れにより、記録媒体１０の表面において近視野光の生成
が行われず、よって、光検出機構１０９および１１０か
らの再生信号または距離制御信号の出力は行われない。
装置において、記録媒体１０への情報記録を行う場合の
状態を示している。図２１（ｂ）において、シャッタ１
１２は、レーザ光源１１１から照射されるレーザ光の遮
断を解除し、そのレーザ光をダイクロイックミラー１１
７へと導く。このシャッタ１１２の解除と同時に、記録
媒体１０の裏面より照射されるレーザ光１００もまた遮
断手段（図示せず）により、その照射が遮断される。こ
れにより、記録媒体１０の表面において近視野光の生成
が行われず、よって、光検出機構１０９および１１０か
らの再生信号または距離制御信号の出力は行われない。
【００９２】ダイクロイックミラー１１７に入射したレ
ーザ光は、光照射／集光光学系１１５へと導入される。
この際、光照射／集光光学系１１５は、集光光学系とし
て機能する。そして、光照射／集光光学系１１５により
集光されたレーザ光は、微小開口１０２に導入されて近
視野光を生成する。この近視野光は、レーザ光源１１１
において照射するレーザ光の強度に比例して、比較的大
きな強度を伴わせることができる。
ーザ光は、光照射／集光光学系１１５へと導入される。
この際、光照射／集光光学系１１５は、集光光学系とし
て機能する。そして、光照射／集光光学系１１５により
集光されたレーザ光は、微小開口１０２に導入されて近
視野光を生成する。この近視野光は、レーザ光源１１１
において照射するレーザ光の強度に比例して、比較的大
きな強度を伴わせることができる。
【００９３】なお、記録媒体１０は、局所的な熱エネル
ギーの付与によって、物性または構造の変化する材料を
その表面に有しており、これにより、例えば２値の情報
の高密度な記録を可能とし、記録された情報は、図２１
（ａ）に示す状態の記録装置によって再生できるものと
する。
ギーの付与によって、物性または構造の変化する材料を
その表面に有しており、これにより、例えば２値の情報
の高密度な記録を可能とし、記録された情報は、図２１
（ａ）に示す状態の記録装置によって再生できるものと
する。
【００９４】よって、コレクションモードによる情報の
再生および開口素子１０１の近接制御を実現するととも
に、レーザ光源１１１およびシャッタ１１２を備えるこ
とで、イルミネーションモードによる局所的な熱エネル
ギーの付与が可能となり、高密度な情報の記録が可能に
なる。
再生および開口素子１０１の近接制御を実現するととも
に、レーザ光源１１１およびシャッタ１１２を備えるこ
とで、イルミネーションモードによる局所的な熱エネル
ギーの付与が可能となり、高密度な情報の記録が可能に
なる。
【００９５】図２２は、図２０において説明された記録
装置において、前述したイルミネーションモードによる
近視野光の検出を行う場合の記録装置のブロック図であ
る。なお、図２０と共通する部分には同一符号を付して
いる。
装置において、前述したイルミネーションモードによる
近視野光の検出を行う場合の記録装置のブロック図であ
る。なお、図２０と共通する部分には同一符号を付して
いる。
【００９６】図２２において、レーザ光源１１１から射
出されたレーザ光が、ミラー１１３を介して光照射光学
系１１５に導入され、開口素子１０１の逆錐状の穴を介
して微小開口１０２に向けて照射される。これによっ
て、微小開口１０２に近視野光が生成される。また、レ
ーザ光源１１２から射出されたレーザ光が、ミラー１１
４を介して光照射光学系１１６に導入され、開口素子１
０１の逆錐状の穴を介して微小開口１０３に向けて照射
され、これによって、微小開口１０３に近視野光が生成
される。微小開口１０２および１０３に生成された近視
野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開
口素子１０１を記録媒体１０に近付ける。
出されたレーザ光が、ミラー１１３を介して光照射光学
系１１５に導入され、開口素子１０１の逆錐状の穴を介
して微小開口１０２に向けて照射される。これによっ
て、微小開口１０２に近視野光が生成される。また、レ
ーザ光源１１２から射出されたレーザ光が、ミラー１１
４を介して光照射光学系１１６に導入され、開口素子１
０１の逆錐状の穴を介して微小開口１０３に向けて照射
され、これによって、微小開口１０３に近視野光が生成
される。微小開口１０２および１０３に生成された近視
野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開
口素子１０１を記録媒体１０に近付ける。
【００９７】記録媒体１０の表面に、微小開口１０２お
よび１０３に生成された近視野光の領域が達すると、記
録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱さ
れる。その散乱光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に
配置された集光光学系１０５および１０６に導入されて
集光されることにより、イルミネーションモードによる
近視野光の検出が達成される。微小開口１０２において
生成された近視野光を散乱して集光光学系１０５に導入
された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機構１１
０に導かれ、再生信号として電気信号に変換される。ま
た、微小開口１０３において生成された近視野光を散乱
して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミラー１
０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制御信号
として電気信号に変換される。これら再生信号および距
離制御信号の処理は、すなわち再生信号および距離制御
信号の生成と距離制御信号に応じた近接制御とは、図２
０において示した動作と同様であるため、ここではその
説明を省略する。
よび１０３に生成された近視野光の領域が達すると、記
録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱さ
れる。その散乱光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に
配置された集光光学系１０５および１０６に導入されて
集光されることにより、イルミネーションモードによる
近視野光の検出が達成される。微小開口１０２において
生成された近視野光を散乱して集光光学系１０５に導入
された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機構１１
０に導かれ、再生信号として電気信号に変換される。ま
た、微小開口１０３において生成された近視野光を散乱
して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミラー１
０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制御信号
として電気信号に変換される。これら再生信号および距
離制御信号の処理は、すなわち再生信号および距離制御
信号の生成と距離制御信号に応じた近接制御とは、図２
０において示した動作と同様であるため、ここではその
説明を省略する。
【００９８】よって、記録媒体１０上に記録された高密
度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０と
の近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能
になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さら
に、先鋭化された先端を持たない再生プローブを記録装
置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体３に
記録された情報を再生するのに使用される微小開口１０
２と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開
口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成さ
れているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口
素子１０１の近接制御を行うことが可能になる。また、
近視野光の検出にイルミネーションモードを採用してい
るため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較
的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生
成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射
が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生
だけでなく、熱エネルギーの付与による高密度な情報の
記録をも可能にする。
度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０と
の近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能
になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さら
に、先鋭化された先端を持たない再生プローブを記録装
置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体３に
記録された情報を再生するのに使用される微小開口１０
２と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開
口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成さ
れているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口
素子１０１の近接制御を行うことが可能になる。また、
近視野光の検出にイルミネーションモードを採用してい
るため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較
的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生
成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射
が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生
だけでなく、熱エネルギーの付与による高密度な情報の
記録をも可能にする。
【００９９】以上に説明した図２０〜２２においては、
微小開口１０２、１０３により散乱される伝搬光の検出
を、それぞれの微小開口に対応した集光光学系１０５、
１０６を介して行うとしたが、集光光学系１０５、１０
６に代えて、１つの光学レンズ系を配置し、この光学レ
ンズ系により集光された光を、波長や変調周波数に基づ
いて分離することにより、２つの微小開口による伝搬光
を区別することができる。
微小開口１０２、１０３により散乱される伝搬光の検出
を、それぞれの微小開口に対応した集光光学系１０５、
１０６を介して行うとしたが、集光光学系１０５、１０
６に代えて、１つの光学レンズ系を配置し、この光学レ
ンズ系により集光された光を、波長や変調周波数に基づ
いて分離することにより、２つの微小開口による伝搬光
を区別することができる。
【０１００】図２３は、図２２において説明された記録
装置において、開口素子１０１を記録媒体１０に近接制
御させるための微小開口１０３をコレクションモードと
して利用した場合の記録装置の構成図を示している。な
お、図２２と共通する部分には同一符号を付している。
装置において、開口素子１０１を記録媒体１０に近接制
御させるための微小開口１０３をコレクションモードと
して利用した場合の記録装置の構成図を示している。な
お、図２２と共通する部分には同一符号を付している。
【０１０１】図２３に示すように、記録媒体１０に記録
された情報の再生と、開口素子１０１の記録媒体１０へ
の近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異なった生
成方法（イルミネーションモードとコレクションモー
ド）により行うことで、互いの近視野光を干渉すること
なく、より確実に再生信号と距離制御信号とを区別して
検出することが可能になる。
された情報の再生と、開口素子１０１の記録媒体１０へ
の近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異なった生
成方法（イルミネーションモードとコレクションモー
ド）により行うことで、互いの近視野光を干渉すること
なく、より確実に再生信号と距離制御信号とを区別して
検出することが可能になる。
【０１０２】以上に説明した実施の形態９において、再
生信号および距離制御信号を得るための近視野光を生成
させる各レーザ光に、実施の形態２または８において説
明したように互いに異なる波長または変調周波数を割り
当てることにより、さらに効果的に再生信号と距離制御
信号とを区別して検出することもできる。
生信号および距離制御信号を得るための近視野光を生成
させる各レーザ光に、実施の形態２または８において説
明したように互いに異なる波長または変調周波数を割り
当てることにより、さらに効果的に再生信号と距離制御
信号とを区別して検出することもできる。
【０１０３】また、開口素子（再生プローブ）として近
視野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや
光ファイバプローブを用いることもできる。なお、図１
７、図１８および図１９に示した光検出器６１および光
照射器６２を配置した開口素子１１、または光照射器、
光検出器７４および７５を配置した開口素子７１を、実
施の形態９において説明した記録装置の各微小開口に対
して適用できる。
視野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや
光ファイバプローブを用いることもできる。なお、図１
７、図１８および図１９に示した光検出器６１および光
照射器６２を配置した開口素子１１、または光照射器、
光検出器７４および７５を配置した開口素子７１を、実
施の形態９において説明した記録装置の各微小開口に対
して適用できる。
【０１０４】さらに、以上に説明した実施の形態１、２
および８、９において、再生信号を検出するのに利用さ
れる微小開口は、開口素子に複数形成されてもよく、こ
の場合、記録媒体に記録された複数の情報を同時に再生
することができる。
および８、９において、再生信号を検出するのに利用さ
れる微小開口は、開口素子に複数形成されてもよく、こ
の場合、記録媒体に記録された複数の情報を同時に再生
することができる。
【０１０５】（実施の形態１０）つぎに、実施の形態１
０に係る記録装置について説明する。実施の形態１０に
係る記録装置は、実施の形態９に係る記録装置における
開口素子の下面に段差を設け、異なる段差に対応させて
それぞれ微小開口を設けることを特徴としている。
０に係る記録装置について説明する。実施の形態１０に
係る記録装置は、実施の形態９に係る記録装置における
開口素子の下面に段差を設け、異なる段差に対応させて
それぞれ微小開口を設けることを特徴としている。
【０１０６】図２４は、実施の形態１０に係る記録装置
の開口素子を示すブロック図である。図２４において、
開口素子１２１は、段差ａを有して２つの下面に区分さ
れ、微小開口１２２と微小開口１２３とがそれぞれの下
面に対応して設けられている。換言すれば、開口素子１
２１は、実施の形態９において示した微小開口におい
て、２つの微小開口間に段差を設けた平面基板である。
微小開口１２２と微小開口１２３は、それぞれ近視野光
を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば
数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１
２１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒
体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けら
れている。ここで、微小開口１２２は、情報再生のため
に使用される微小開口であり、微小開口１２３は、開口
素子１２１を記録媒体１０に近接制御するための、かつ
微小開口１２２において検出される信号に相対的に定ま
る信号を生成するための微小開口である。
の開口素子を示すブロック図である。図２４において、
開口素子１２１は、段差ａを有して２つの下面に区分さ
れ、微小開口１２２と微小開口１２３とがそれぞれの下
面に対応して設けられている。換言すれば、開口素子１
２１は、実施の形態９において示した微小開口におい
て、２つの微小開口間に段差を設けた平面基板である。
微小開口１２２と微小開口１２３は、それぞれ近視野光
を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば
数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１
２１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒
体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けら
れている。ここで、微小開口１２２は、情報再生のため
に使用される微小開口であり、微小開口１２３は、開口
素子１２１を記録媒体１０に近接制御するための、かつ
微小開口１２２において検出される信号に相対的に定ま
る信号を生成するための微小開口である。
【０１０７】段差ａの存在により、記録媒体の表面に生
成された近視野光を散乱させる位置、すなわち記録媒体
の表面から微小開口に至る距離が異なるため、例えば微
小開口１２２により散乱されて、実施の形態９において
示した光検出機構１１０に導入される伝搬光の強度は、
微小開口１２３により散乱されて、実施の形態４におい
て示した光検出機構１０９に導入される伝搬光の強度と
大きく異なる。これは、記録媒体の表面に生成された近
視野光の強度は、その表面からの距離に強く依存するた
めである。
成された近視野光を散乱させる位置、すなわち記録媒体
の表面から微小開口に至る距離が異なるため、例えば微
小開口１２２により散乱されて、実施の形態９において
示した光検出機構１１０に導入される伝搬光の強度は、
微小開口１２３により散乱されて、実施の形態４におい
て示した光検出機構１０９に導入される伝搬光の強度と
大きく異なる。これは、記録媒体の表面に生成された近
視野光の強度は、その表面からの距離に強く依存するた
めである。
【０１０８】よって、微小開口１２３により散乱される
伝搬光の強度は、段差ａの距離により定まる近視野光の
強度差に基づいて、常に微小開口１２２により散乱され
る伝搬光の強度と一定の相対比を有することになる。微
小開口１２２により散乱される伝搬光を検出して得られ
る電気信号をＳ１とし、微小開口１２３により散乱され
る伝搬光を検出して得られる電気信号をＳ２とすると、
上記した相対比は、例えば、（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ１、
（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ２、Ｓ２／Ｓ１、Ｓ１／Ｓ２等に演
算式により算出される。これら相対比の算出は、例え
ば、実施の形態４において示した制御機構１９において
おこなわれ、この相対比を距離制御信号として処理する
ことにより、Ｚ軸制御機構１４を介した近接制御が達成
される。
伝搬光の強度は、段差ａの距離により定まる近視野光の
強度差に基づいて、常に微小開口１２２により散乱され
る伝搬光の強度と一定の相対比を有することになる。微
小開口１２２により散乱される伝搬光を検出して得られ
る電気信号をＳ１とし、微小開口１２３により散乱され
る伝搬光を検出して得られる電気信号をＳ２とすると、
上記した相対比は、例えば、（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ１、
（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ２、Ｓ２／Ｓ１、Ｓ１／Ｓ２等に演
算式により算出される。これら相対比の算出は、例え
ば、実施の形態４において示した制御機構１９において
おこなわれ、この相対比を距離制御信号として処理する
ことにより、Ｚ軸制御機構１４を介した近接制御が達成
される。
【０１０９】また、図２４に示したような段差を設けた
平面プローブ以外にも、図２５に示すように、光ファイ
バ１３２および１３３を２つ束ね、なおかつ、上下に段
差ａが生じるように配置することで、開口素子１２１と
同様な効果をもたらすことができる。なお、図２５にお
いて、再生プローブ１３１は、平面基板に光ファイバ１
３２および１３３を固定し、その平面基板上にＺ軸制御
機構１４を配置している。光ファイバ１３２は、上述し
た再生信号の検出をおこなうために使用され、コア１３
４、クロム（Ｃｒ）等の遮光膜１３６および微小開口１
３８を備え、微小開口１３８において近視野光を散乱
し、これにより生成された伝搬光をコア１３４に導く。
また、光ファイバ１３３は、上述した距離制御信号の検
出をおこなうために使用され、コア１３５、クロム（Ｃ
ｒ）等の遮光膜１３７および微小開口１３９を備え、微
小開口１３９において近視野光を散乱し、これにより生
成された伝搬光をコア１３５に導く。
平面プローブ以外にも、図２５に示すように、光ファイ
バ１３２および１３３を２つ束ね、なおかつ、上下に段
差ａが生じるように配置することで、開口素子１２１と
同様な効果をもたらすことができる。なお、図２５にお
いて、再生プローブ１３１は、平面基板に光ファイバ１
３２および１３３を固定し、その平面基板上にＺ軸制御
機構１４を配置している。光ファイバ１３２は、上述し
た再生信号の検出をおこなうために使用され、コア１３
４、クロム（Ｃｒ）等の遮光膜１３６および微小開口１
３８を備え、微小開口１３８において近視野光を散乱
し、これにより生成された伝搬光をコア１３４に導く。
また、光ファイバ１３３は、上述した距離制御信号の検
出をおこなうために使用され、コア１３５、クロム（Ｃ
ｒ）等の遮光膜１３７および微小開口１３９を備え、微
小開口１３９において近視野光を散乱し、これにより生
成された伝搬光をコア１３５に導く。
【０１１０】以上に説明した実施の形態１０に係る記録
装置の開口素子１２１または再生プローブ１３１は、実
施の形態９において説明した開口素子１０１と置換で
き、コレクションモードによる情報再生のみならず、イ
ルミネーションモードによる情報再生が可能である。
装置の開口素子１２１または再生プローブ１３１は、実
施の形態９において説明した開口素子１０１と置換で
き、コレクションモードによる情報再生のみならず、イ
ルミネーションモードによる情報再生が可能である。
【０１１１】よって、再生信号を検出するための微小開
口１２２に対して段差の設けられた微小開口１２３を使
用し、この微小開口１２３により検出される信号と再生
信号との相対的な値を、開口素子１２１の近接制御を行
うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録
媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号
が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号
に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼
性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
口１２２に対して段差の設けられた微小開口１２３を使
用し、この微小開口１２３により検出される信号と再生
信号との相対的な値を、開口素子１２１の近接制御を行
うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録
媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号
が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号
に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼
性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
【０１１２】（実施の形態１１）つぎに、実施の形態１
１に係る記録装置について説明する。実施の形態１１に
係る記録装置は、実施の形態１０に係る記録装置の２つ
の開口素子間の段差によってもたらされる効果を、１つ
の微小開口を設けた開口素子を上下に微小振動させるこ
とにより達成したことを特徴としている。
１に係る記録装置について説明する。実施の形態１１に
係る記録装置は、実施の形態１０に係る記録装置の２つ
の開口素子間の段差によってもたらされる効果を、１つ
の微小開口を設けた開口素子を上下に微小振動させるこ
とにより達成したことを特徴としている。
【０１１３】図２６は、実施の形態１１に係る記録装置
の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通
する部分には同一符号を付している。図２６において、
開口素子１１上には、Ｚ軸制御機構１４とともに微小振
動駆動機構１４１が設けられている。微小振動駆動機構
１４１は、微小開口１２の部分に実施の形態５において
説明した段差ａ程度の上下振動を与え、微小駆動信号発
生機構１４２から送信される微小駆動信号に応じて動作
する。
の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通
する部分には同一符号を付している。図２６において、
開口素子１１上には、Ｚ軸制御機構１４とともに微小振
動駆動機構１４１が設けられている。微小振動駆動機構
１４１は、微小開口１２の部分に実施の形態５において
説明した段差ａ程度の上下振動を与え、微小駆動信号発
生機構１４２から送信される微小駆動信号に応じて動作
する。
【０１１４】レーザ光２０の照射により記録媒体１０の
表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１２に
よって散乱される。この散乱により生成された伝搬光
は、微小開口１２を介して集光光学系１５に導入され、
ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。この
際、微小開口１２は、微小振動駆動機構１４１により上
下に振動しており、記録媒体１０の表面に対して定まる
最上点と最下点との間において、散乱の対象となる近視
野光の強度が異なるので、光検出機構１７から出力され
る電気信号もまた、開口素子１１の振動に対応した強度
の変遷を示す。
表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１２に
よって散乱される。この散乱により生成された伝搬光
は、微小開口１２を介して集光光学系１５に導入され、
ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。この
際、微小開口１２は、微小振動駆動機構１４１により上
下に振動しており、記録媒体１０の表面に対して定まる
最上点と最下点との間において、散乱の対象となる近視
野光の強度が異なるので、光検出機構１７から出力され
る電気信号もまた、開口素子１１の振動に対応した強度
の変遷を示す。
【０１１５】ここで、微小開口１２が所望の高さ、例え
ば最下点に位置した時点に対応して光検出機構１７から
出力される信号は、記録媒体１０の表面に生成された最
も大きな強度の近視野光に対応する信号であるので、こ
れを再生信号として再生信号検出機構１４３により抽出
し、制御機構１９に送信する。また、微小開口１２が前
記所望の高さよりも上点、例えば最上点に位置した時点
に対応して光検出機構１７から出力される信号を、演算
対象信号として演算対象信号検出機構１４４により抽出
し、制御機構１９に送信する。
ば最下点に位置した時点に対応して光検出機構１７から
出力される信号は、記録媒体１０の表面に生成された最
も大きな強度の近視野光に対応する信号であるので、こ
れを再生信号として再生信号検出機構１４３により抽出
し、制御機構１９に送信する。また、微小開口１２が前
記所望の高さよりも上点、例えば最上点に位置した時点
に対応して光検出機構１７から出力される信号を、演算
対象信号として演算対象信号検出機構１４４により抽出
し、制御機構１９に送信する。
【０１１６】なお、再生信号検出機構１４３および演算
対象信号検出機構１４４による信号の検出は、微小駆動
信号発生機構１４２から出力される微小駆動信号との同
期検出により行うことができる。
対象信号検出機構１４４による信号の検出は、微小駆動
信号発生機構１４２から出力される微小駆動信号との同
期検出により行うことができる。
【０１１７】制御機構１９は、再生信号と演算対象信号
とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距
離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御
機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子
１１の近接制御が達成される。
とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距
離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御
機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子
１１の近接制御が達成される。
【０１１８】図２７は、１つの微小開口の振動により再
生信号および距離制御信号の生成を行う記録装置の他の
例を示したブロック図である。なお、図１と共通する部
分には同一符号を付している。図２７において、開口素
子１５１上には、開口素子１５１の基体となる平面基板
の厚みよりも十分薄い部分を下面に向けて突出させ、こ
の突出した部分に微小開口１５２を設けている。さら
に、微小開口１５２の縁部の上面部において、微小振動
駆動素子１５３および１５４が設けられ、開口素子１５
１上にＺ軸制御機構１４が設けられている。微小振動駆
動素子１５３および１５４は、微小開口１５２の部分に
実施の形態１０において説明した段差ａ程度の上下振動
を与え、微小駆動信号発生機構１５５から送信される微
小駆動信号に応じて動作する。
生信号および距離制御信号の生成を行う記録装置の他の
例を示したブロック図である。なお、図１と共通する部
分には同一符号を付している。図２７において、開口素
子１５１上には、開口素子１５１の基体となる平面基板
の厚みよりも十分薄い部分を下面に向けて突出させ、こ
の突出した部分に微小開口１５２を設けている。さら
に、微小開口１５２の縁部の上面部において、微小振動
駆動素子１５３および１５４が設けられ、開口素子１５
１上にＺ軸制御機構１４が設けられている。微小振動駆
動素子１５３および１５４は、微小開口１５２の部分に
実施の形態１０において説明した段差ａ程度の上下振動
を与え、微小駆動信号発生機構１５５から送信される微
小駆動信号に応じて動作する。
【０１１９】レーザ光２０の照射により記録媒体１０の
表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１５２
によって散乱される。この散乱により生成された伝搬光
は、微小開口１５２を介して集光光学系１５に導入さ
れ、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。こ
の際、微小開口１５２は、微小振動駆動素子１５３およ
び１５４によって上下に振動しており、記録媒体１０の
表面に対して定まる最上点と最下点との間において、散
乱の対象となる近視野光の強度が異なるので、光検出機
構１７から出力される電気信号もまた、開口素子１１の
振動に対応した強度変遷を示す。
表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１５２
によって散乱される。この散乱により生成された伝搬光
は、微小開口１５２を介して集光光学系１５に導入さ
れ、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。こ
の際、微小開口１５２は、微小振動駆動素子１５３およ
び１５４によって上下に振動しており、記録媒体１０の
表面に対して定まる最上点と最下点との間において、散
乱の対象となる近視野光の強度が異なるので、光検出機
構１７から出力される電気信号もまた、開口素子１１の
振動に対応した強度変遷を示す。
【０１２０】ここで、図２６に示した記録装置と同様
に、微小開口１５２が所望の高さ、例えば最下点に位置
した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号
は、記録媒体１０の表面に生成された最も大きな強度の
近視野光に対応する信号であるので、これを再生信号と
して再生信号検出機構１５６により抽出し、制御機構１
９に送信する。また、微小開口１５２が前記所望の高さ
よりも上点、例えば最上点に位置した時点に対応して光
検出機構１７から出力される信号を、演算対象信号とし
て演算対象信号検出機構１５７により抽出し、制御機構
１９に送信する。なお、再生信号検出機構１５６および
演算対象信号検出機構１５７による信号の検出は、微小
駆動信号発生機構１５５から出力される微小駆動信号と
の同期検出により行うことができる。
に、微小開口１５２が所望の高さ、例えば最下点に位置
した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号
は、記録媒体１０の表面に生成された最も大きな強度の
近視野光に対応する信号であるので、これを再生信号と
して再生信号検出機構１５６により抽出し、制御機構１
９に送信する。また、微小開口１５２が前記所望の高さ
よりも上点、例えば最上点に位置した時点に対応して光
検出機構１７から出力される信号を、演算対象信号とし
て演算対象信号検出機構１５７により抽出し、制御機構
１９に送信する。なお、再生信号検出機構１５６および
演算対象信号検出機構１５７による信号の検出は、微小
駆動信号発生機構１５５から出力される微小駆動信号と
の同期検出により行うことができる。
【０１２１】制御機構１９は、再生信号と演算対象信号
とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距
離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御
機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子
１５１の近接制御が達成される。
とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距
離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御
機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子
１５１の近接制御が達成される。
【０１２２】よって、１つの微小開口を上下振動させる
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信号
すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも
上点、例えば最上点にて検出される信号との相対的な値
を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号とし
て用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出で
きずに強度の大きな再生信号が得られない場合であって
も、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した
強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制
御を行うことができる。
ことにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微
小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信号
すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも
上点、例えば最上点にて検出される信号との相対的な値
を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号とし
て用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出で
きずに強度の大きな再生信号が得られない場合であって
も、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した
強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制
御を行うことができる。
【０１２３】（実施の形態１２）つぎに、実施の形態１
２に係る記録装置について説明する。実施の形態１２に
係る記録装置は、記録媒体上に一定の規則の配列（トラ
ック）により記録された情報単位に対して、実施の形態
１、２および８〜１１に係る記録装置を用いた情報再生
を行う際に、さらに、微小開口の直下に情報単位を正確
に配置させるための位置制御、すなわちトラッキング制
御を可能としたことを特徴としている。
２に係る記録装置について説明する。実施の形態１２に
係る記録装置は、記録媒体上に一定の規則の配列（トラ
ック）により記録された情報単位に対して、実施の形態
１、２および８〜１１に係る記録装置を用いた情報再生
を行う際に、さらに、微小開口の直下に情報単位を正確
に配置させるための位置制御、すなわちトラッキング制
御を可能としたことを特徴としている。
【０１２４】ここでは、特に図２０に示す開口素子１０
１の各微小開口に、図１７に示す光検出器６１を設けた
構成に対して、さらにトラッキング制御のための種々の
機構を設けた場合の記録装置について説明する。
１の各微小開口に、図１７に示す光検出器６１を設けた
構成に対して、さらにトラッキング制御のための種々の
機構を設けた場合の記録装置について説明する。
【０１２５】図２８は、実施の形態１２に係る記録装置
の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通
する部分には同一符号を付している。図２８において、
開口素子１６１は、微小振動機構１６５を挟んで開口素
子固定機構１６４により支持される。開口素子固定機構
１６４上には、Ｚ軸制御機構１４とともにトラッキング
機構１６６が設けられている。開口素子１６１に設けら
れた２つの微小開口（図示せず）の上方にそれぞれ光検
出器１６２、１６３が設けられ、光検出器１６２によっ
て上述した再生信号が検出される。
の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通
する部分には同一符号を付している。図２８において、
開口素子１６１は、微小振動機構１６５を挟んで開口素
子固定機構１６４により支持される。開口素子固定機構
１６４上には、Ｚ軸制御機構１４とともにトラッキング
機構１６６が設けられている。開口素子１６１に設けら
れた２つの微小開口（図示せず）の上方にそれぞれ光検
出器１６２、１６３が設けられ、光検出器１６２によっ
て上述した再生信号が検出される。
【０１２６】微小振動機構１６５は、微小振動駆動機構
１７１によって、記録媒体上において情報単位の配列さ
れた方向（トラック方向）に垂直な方向且つ記録媒体表
面に並行な方向に、開口素子１６１を微小振動させる。
微小振動駆動機構１７１は、微小振動信号発生機構１７
２から微小振動信号を入力することに駆動する。
１７１によって、記録媒体上において情報単位の配列さ
れた方向（トラック方向）に垂直な方向且つ記録媒体表
面に並行な方向に、開口素子１６１を微小振動させる。
微小振動駆動機構１７１は、微小振動信号発生機構１７
２から微小振動信号を入力することに駆動する。
【０１２７】ここで、再生信号を検出するための微小開
口が情報記録媒体のトラック上に位置した状態では、光
検出器１６２から出力される再生信号は大きな強度を示
す。しかしながら、再生信号を検出するための微小開口
が情報記録媒体のトラックからずれて位置した状態で
は、光検出器１６２から出力される再生信号は小さな強
度を示す。よって、上述した微小振動機構１６５による
開口素子１６１の振動に応じて、光検出器１６２から出
力される再生信号もまた強度の変遷を示す。
口が情報記録媒体のトラック上に位置した状態では、光
検出器１６２から出力される再生信号は大きな強度を示
す。しかしながら、再生信号を検出するための微小開口
が情報記録媒体のトラックからずれて位置した状態で
は、光検出器１６２から出力される再生信号は小さな強
度を示す。よって、上述した微小振動機構１６５による
開口素子１６１の振動に応じて、光検出器１６２から出
力される再生信号もまた強度の変遷を示す。
【０１２８】光検出器１６２および１６３から出力され
る信号は、ともに制御機構１９に入力され、再生信号に
応じた情報の再生と、距離制御信号に応じた近接制御と
を行う。光検出器１６２から出力される再生信号はま
た、微小振動信号発生機構１７２から出力される微小振
動信号再生信号とともに入力される。トラッキング制御
機構１７３は、再生信号と微小振動信号との同期検出に
よって、微小開口を情報記録媒体のトラック上に配置さ
せるためのトラッキング信号を生成し、このトラッキン
グ信号をトラッキング機構１６６に送信する。すなわ
ち、トラッキング信号は、微小振動信号の振動中心にお
ける再生信号と、微小振動信号によって与えられる振動
に亘って最大の値を示す再生信号との振動位置のずれを
示す。
る信号は、ともに制御機構１９に入力され、再生信号に
応じた情報の再生と、距離制御信号に応じた近接制御と
を行う。光検出器１６２から出力される再生信号はま
た、微小振動信号発生機構１７２から出力される微小振
動信号再生信号とともに入力される。トラッキング制御
機構１７３は、再生信号と微小振動信号との同期検出に
よって、微小開口を情報記録媒体のトラック上に配置さ
せるためのトラッキング信号を生成し、このトラッキン
グ信号をトラッキング機構１６６に送信する。すなわ
ち、トラッキング信号は、微小振動信号の振動中心にお
ける再生信号と、微小振動信号によって与えられる振動
に亘って最大の値を示す再生信号との振動位置のずれを
示す。
【０１２９】トラッキング機構１６６は、入力されたト
ラッキング信号に応じて開口素子１６１を変位させる。
これにより開口素子１６１のトラッキング制御が達成さ
れ、微小開口のトラック上への配置を保持することがで
き、良好な再生信号を得ることができる。
ラッキング信号に応じて開口素子１６１を変位させる。
これにより開口素子１６１のトラッキング制御が達成さ
れ、微小開口のトラック上への配置を保持することがで
き、良好な再生信号を得ることができる。
【０１３０】よって、記録媒体上のトラックに対するト
ラッキング制御を可能とし、このトラッキング制御によ
り安定な再生信号が得られるので、この再生信号を利用
する近接制御もまた、確実なものとすることができる。
ラッキング制御を可能とし、このトラッキング制御によ
り安定な再生信号が得られるので、この再生信号を利用
する近接制御もまた、確実なものとすることができる。
【０１３１】なお、実施の形態１、２および８〜１２に
おいて、近視野光を生成させるために使用されるレーザ
光は、特にコヒーレントな光である必要はなく、インコ
ヒーレントな光であるＬＥＤ等を用いてもよい。さら
に、開口素子を微小振動させる微小振動機構や微小振動
素子は、圧電アクチュエータや静電アクチュエータ等の
微小変位機構が用いられる。
おいて、近視野光を生成させるために使用されるレーザ
光は、特にコヒーレントな光である必要はなく、インコ
ヒーレントな光であるＬＥＤ等を用いてもよい。さら
に、開口素子を微小振動させる微小振動機構や微小振動
素子は、圧電アクチュエータや静電アクチュエータ等の
微小変位機構が用いられる。
【０１３２】
【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る発明
によれば、近視野光を利用して記録媒体上に記録された
高密度な情報の再生が達成されると同時に、同じく近視
野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒体との距離
制御を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏
する。
によれば、近視野光を利用して記録媒体上に記録された
高密度な情報の再生が達成されると同時に、同じく近視
野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒体との距離
制御を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏
する。
【０１３３】請求項２に係る発明によれば、情報再生お
よび微小開口の近接制御において検出される物理量が共
に近視野光とすることにより、従来の近視野光を利用し
た記録装置において必要とされた近視野光以外の物理量
を利用したプローブ近接制御機構が排除され、記録装置
の構成を簡単にすることが可能になる。また、再生プロ
ーブとして先鋭化された先端を有さないプローブを使用
することが可能になる記録装置を提供できるという効果
を奏する。
よび微小開口の近接制御において検出される物理量が共
に近視野光とすることにより、従来の近視野光を利用し
た記録装置において必要とされた近視野光以外の物理量
を利用したプローブ近接制御機構が排除され、記録装置
の構成を簡単にすることが可能になる。また、再生プロ
ーブとして先鋭化された先端を有さないプローブを使用
することが可能になる記録装置を提供できるという効果
を奏する。
【０１３４】請求項３に係る発明によれば、請求項２に
おける効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の
強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近
視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネル
ギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再
生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録
装置を提供できるという効果を奏する。
おける効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の
強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近
視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネル
ギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再
生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録
装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３５】請求項４に係る発明によれば、請求項２に
おける効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生
するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行
うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった波
長を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高
い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能
になる記録装置を提供できるという効果を奏する。ま
た、情報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プロ
ーブのｚ方向振動なしに行うことができる。よって、プ
ローブをｚ方向に振動させる機構および、その振動の振
幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成
が実現できた。また、距離制御のために信号のピークを
検出する必要がなくなった。また、プローブは記録媒体
に物理的に接触することがなくなったため、これによる
プローブおよび記録媒体の損傷がなくなった、という効
果を奏する。
おける効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生
するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行
うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった波
長を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高
い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能
になる記録装置を提供できるという効果を奏する。ま
た、情報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プロ
ーブのｚ方向振動なしに行うことができる。よって、プ
ローブをｚ方向に振動させる機構および、その振動の振
幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成
が実現できた。また、距離制御のために信号のピークを
検出する必要がなくなった。また、プローブは記録媒体
に物理的に接触することがなくなったため、これによる
プローブおよび記録媒体の損傷がなくなった、という効
果を奏する。
【０１３６】請求項５に係る発明によれば、請求項４に
おける効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の
強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近
視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネル
ギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再
生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録
装置を提供できるという効果を奏する。請求項６に係る
発明によれば、請求項２における効果に加えて、単一の
発光源によって複数の波長の光を放射するため、コンパ
クトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項７に係る発明によれば、請求項２における効果に
加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光する
ため、コンパクトな装置構成が可能となった、という効
果を奏する。請求項８に係る発明によれば、請求項２に
おける効果に加えて、入力光の波長を選択する機構が不
要なので、よりコンパクトな装置構成が可能となった、
という効果を奏する。請求項９に係る発明によれば、請
求項２における効果に加えて、受光素子が散乱光を受光
するときに選択波長を時間的に切り替えることが不要に
なり、波長選択手段が簡素になりコンパクトな装置構成
が可能となった、という効果を奏する。請求項１０に係
る発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力
手段は入力光の波長が幅を持っていることが許容される
ので、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用
できる波長の種類も増える。それにより、プローブと情
報記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用し
やすくなった、という効果を奏する。請求項１１に係る
発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力光
はレーザのような波長の限定されたものである必要がな
くなり、より簡便な構成が実現された、という効果を奏
する。
おける効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の
強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近
視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネル
ギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再
生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録
装置を提供できるという効果を奏する。請求項６に係る
発明によれば、請求項２における効果に加えて、単一の
発光源によって複数の波長の光を放射するため、コンパ
クトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項７に係る発明によれば、請求項２における効果に
加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光する
ため、コンパクトな装置構成が可能となった、という効
果を奏する。請求項８に係る発明によれば、請求項２に
おける効果に加えて、入力光の波長を選択する機構が不
要なので、よりコンパクトな装置構成が可能となった、
という効果を奏する。請求項９に係る発明によれば、請
求項２における効果に加えて、受光素子が散乱光を受光
するときに選択波長を時間的に切り替えることが不要に
なり、波長選択手段が簡素になりコンパクトな装置構成
が可能となった、という効果を奏する。請求項１０に係
る発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力
手段は入力光の波長が幅を持っていることが許容される
ので、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用
できる波長の種類も増える。それにより、プローブと情
報記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用し
やすくなった、という効果を奏する。請求項１１に係る
発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力光
はレーザのような波長の限定されたものである必要がな
くなり、より簡便な構成が実現された、という効果を奏
する。
【０１３７】請求項１２に係る発明によれば、請求項２
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を
行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった
変調周波数を割り当てて利用することにより、確実で信
頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うこ
とが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏す
る。
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を
行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった
変調周波数を割り当てて利用することにより、確実で信
頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うこ
とが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏す
る。
【０１３８】請求項１３に係る発明によれば、請求項３
における効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光
の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな
近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネ
ルギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の
再生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記
録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光
の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな
近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネ
ルギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の
再生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記
録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３９】請求項１４に係る発明によれば、請求項２
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い
情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能に
なる記録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い
情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能に
なる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４０】請求項１５に係る発明によれば、請求項２
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近
接制御するための距離制御信号とをより確実に分離でき
るとともに、第２の光照射手段により微小開口部に導入
する照射光の強度を比較的大きくすることによって、強
度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所
的な熱エネルギーの照射の付与による情報の記録をも可
能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近
接制御するための距離制御信号とをより確実に分離でき
るとともに、第２の光照射手段により微小開口部に導入
する照射光の強度を比較的大きくすることによって、強
度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所
的な熱エネルギーの照射の付与による情報の記録をも可
能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４１】請求項１６に係る発明によれば、請求項３
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い
情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能に
なる記録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い
情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能に
なる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４２】請求項１７に係る発明によれば、請求項３
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成され、かつ記録媒体に記録された情報の再
生と、開口素子の記録媒体への近接制御に利用される近
視野光をそれぞれ異なった生成方法により行うことで、
互いの近視野光を干渉することなく、より確実に再生信
号と距離制御信号とを分離して検出することが可能にな
る記録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再
生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御
を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ
独立して形成され、かつ記録媒体に記録された情報の再
生と、開口素子の記録媒体への近接制御に利用される近
視野光をそれぞれ異なった生成方法により行うことで、
互いの近視野光を干渉することなく、より確実に再生信
号と距離制御信号とを分離して検出することが可能にな
る記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４３】請求項１８に係る発明によれば、請求項１
４〜１７のいずれか１つにおける効果に加えて、開口素
子の底面に段差を設けることで、検出される伝搬光の強
度に違いが生じ、２つの微小開口の各々により検出され
る信号間における相対的な値を、開口素子の近接制御を
行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記
録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信
号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信
号に対する比として安定した強度を得ることができ、信
頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる記録
装置を提供できるという効果を奏する。
４〜１７のいずれか１つにおける効果に加えて、開口素
子の底面に段差を設けることで、検出される伝搬光の強
度に違いが生じ、２つの微小開口の各々により検出され
る信号間における相対的な値を、開口素子の近接制御を
行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記
録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信
号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信
号に対する比として安定した強度を得ることができ、信
頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる記録
装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４４】請求項１９に係る発明によれば、請求項２
における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させ
ることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、
微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信
号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さより
も上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算
対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行う
ための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒
体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が
得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に
対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性
の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供
できるという効果を奏する。
における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させ
ることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、
微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信
号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さより
も上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算
対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行う
ための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒
体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が
得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に
対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性
の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供
できるという効果を奏する。
【０１４５】請求項２０に係る発明によれば、請求項３
における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させ
ることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、
微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信
号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さより
も上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算
対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行う
ための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒
体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が
得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に
対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性
の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供
できる記録装置を提供できるという効果を奏する。
における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させ
ることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、
微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信
号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さより
も上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算
対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行う
ための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒
体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が
得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に
対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性
の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供
できる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４６】請求項２１に係る発明によれば、請求項１
〜２０のいずれか１つにおける効果に加えて、記録媒体
上の情報単位の配列方向に垂直且つ記録媒体表面に平行
な方向に対する位置制御、すなわちトラッキング制御を
可能とし、このトラッキング制御により安定な再生信号
が得られるので、この再生信号を利用する近接制御もま
た、確実なものとなり情報再生の信頼性を向上すること
を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏す
る。
〜２０のいずれか１つにおける効果に加えて、記録媒体
上の情報単位の配列方向に垂直且つ記録媒体表面に平行
な方向に対する位置制御、すなわちトラッキング制御を
可能とし、このトラッキング制御により安定な再生信号
が得られるので、この再生信号を利用する近接制御もま
た、確実なものとなり情報再生の信頼性を向上すること
を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏す
る。
【図１】本発明の実施の形態１による記録装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】本発明による記録装置におけるＺ軸制御機構の
他の例を示す図である。
他の例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１による記録装置の変形例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態２による記録装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態２による記録装置の変形例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る情報再生装置の概
略構成を示すブロック図である。
略構成を示すブロック図である。
【図７】近視野光強度のプローブ-記録媒体表面間距離
に対する依存性を示す図である。
に対する依存性を示す図である。
【図８】情報記録媒体２０６の一部分の上面図である。
【図９】波長λ2＝５１５ｎｍのときのデータマーク２
２０の有無による出力光強度の違いを示す図である。
２０の有無による出力光強度の違いを示す図である。
【図１０】図７と図９を組み合わせて、出力信号強度の
入力波長およびデータマークの有無に対する依存性を示
した図である。
入力波長およびデータマークの有無に対する依存性を示
した図である。
【図１１】本発明の実施の形態４に係る情報再生装置の
概略構成を示すブロック図である。
概略構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の実施の形態５に係る情報再生装置の
概略構成を示すブロック図である。
概略構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施の形態６に係る情報再生装置の
概略構成を示すブロック図である。
概略構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の実施の形態７に係る情報再生装置の
概略構成を示すブロック図である。
概略構成を示すブロック図である。
【図１５】本発明の実施の形態８による記録装置の概略
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図１６】本発明の実施の形態８による記録装置の変形
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図１７】本発明による記録装置の開口素子の他の例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図１８】本発明による記録装置の開口素子の他の例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図１９】本発明による記録装置の開口素子の他の例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２０】本発明の実施の形態９による記録装置の概略
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２１】本発明の実施の形態９による記録装置の変形
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図２２】本発明の実施の形態９による記録装置の他の
変形例を示すブロック図である。
変形例を示すブロック図である。
【図２３】本発明の実施の形態９による記録装置の他の
変形例を示すブロック図である。
変形例を示すブロック図である。
【図２４】本発明の実施の形態１０による記録装置の開
口素子を示すブロック図である。
口素子を示すブロック図である。
【図２５】本発明の実施の形態１０による記録装置の開
口素子の他の例を示すブロック図である。
口素子の他の例を示すブロック図である。
【図２６】実施の形態１１に係る記録装置の概略構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２７】実施の形態１１に係る記録装置の他の例を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２８】実施の形態１２に係る記録装置の概略構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
１０ 記録媒体 １１，２１，７１，１０１，１２１，１３１，１５１，
１６１ 開口素子 １２，２２，７２，１０２，１０３，１２２，１２３，
１３８，１３９，１５２ 微小開口 １４ Ｚ軸制御機構 １５，１０５，１０６ 集光光学系 １６，２６，３２，４２，１０７，１０８，１１３，１
１４ ミラー １７，３５，３６，１０９，１１０ 光検出機構 １８ ピーク検出機構 １９，５９ 制御機構 ２１ 光変調器 ２５，５３，１１１ レーザ光源 ２７ 光照射光学系 ３１ ダイクロイックミラー ３３，３４ 光学フィルタ ４１ 波長合成器 ５１ 情報再生信号位相検波器 ５２ 距離信号位相検波器 ５４ 光変調器 ６１，７４，７５，１６２，１６３ 光検出器 ６２ 光照射器 ７６ 増幅機構 １１２ シャッタ １４１ 微小振動駆動機構 １４２，１５５ 微小駆動信号発生機構 １５３，１５４ 微小振動駆動素子 １６４ 開口素子固定機構 １６５ 微小振動機構 １６６ トラッキング機構 １７１ 微小振動駆動機構 １７２ 微小振動信号発生機構 １７３ トラッキング制御機構 ２０１ レーザ ２０２ 音響光学フィルタ ２０３ 近視野光プローブ ２０４ 受光素子 ２０５ 近視野光 ２０６ 情報記録媒体 ２０７ アクチュエータ ２０８ 散乱光 ２０９ 微動機構 ２１０ 粗動機構 ２１１ アクチュエータ ２１２ 制御回路 ２１３ 支持体 ２１４ 信号処理回路 ２１５ 出力信号 ２１６ 近視野光強度 ２１７ プローブと情報記録媒体２０６表面との距離 ２１８ 波長λ2の入力光を用いた時の近視野光強度 ２１９ 波長λ1の入力光を用いた時の近視野光強度 ２２０ データマーク ２２１ 出力信号強度 ２２２ 波長λ2を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にあるときの出力強度 ２２３ 波長λ2を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にないときの出力強度 ２２４ 波長λ1を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にないときの出力強度 ２２５ 波長λ1を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にあるときの出力強度 ２２６、２２７ プローブと情報記録媒体２０６表面と
の距離 ２３０ 出力信号強度 ２３１ 近視野光プローブ ２３２ 入力光 ２３３ 受光素子 ２３４ データマーク ２３５ 微小開口 ２３６ 反射膜 ２３７ 平面プローブ ２３８ 波長λ1の散乱光を受光する受光素子 ２３９ 波長λ2の散乱光を受光する受光素子 ２４０ 信号処理回路 ２４１ ＬＥＤ光源
１６１ 開口素子 １２，２２，７２，１０２，１０３，１２２，１２３，
１３８，１３９，１５２ 微小開口 １４ Ｚ軸制御機構 １５，１０５，１０６ 集光光学系 １６，２６，３２，４２，１０７，１０８，１１３，１
１４ ミラー １７，３５，３６，１０９，１１０ 光検出機構 １８ ピーク検出機構 １９，５９ 制御機構 ２１ 光変調器 ２５，５３，１１１ レーザ光源 ２７ 光照射光学系 ３１ ダイクロイックミラー ３３，３４ 光学フィルタ ４１ 波長合成器 ５１ 情報再生信号位相検波器 ５２ 距離信号位相検波器 ５４ 光変調器 ６１，７４，７５，１６２，１６３ 光検出器 ６２ 光照射器 ７６ 増幅機構 １１２ シャッタ １４１ 微小振動駆動機構 １４２，１５５ 微小駆動信号発生機構 １５３，１５４ 微小振動駆動素子 １６４ 開口素子固定機構 １６５ 微小振動機構 １６６ トラッキング機構 １７１ 微小振動駆動機構 １７２ 微小振動信号発生機構 １７３ トラッキング制御機構 ２０１ レーザ ２０２ 音響光学フィルタ ２０３ 近視野光プローブ ２０４ 受光素子 ２０５ 近視野光 ２０６ 情報記録媒体 ２０７ アクチュエータ ２０８ 散乱光 ２０９ 微動機構 ２１０ 粗動機構 ２１１ アクチュエータ ２１２ 制御回路 ２１３ 支持体 ２１４ 信号処理回路 ２１５ 出力信号 ２１６ 近視野光強度 ２１７ プローブと情報記録媒体２０６表面との距離 ２１８ 波長λ2の入力光を用いた時の近視野光強度 ２１９ 波長λ1の入力光を用いた時の近視野光強度 ２２０ データマーク ２２１ 出力信号強度 ２２２ 波長λ2を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にあるときの出力強度 ２２３ 波長λ2を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にないときの出力強度 ２２４ 波長λ1を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にないときの出力強度 ２２５ 波長λ1を入力光とし、プローブがデータマー
クの上にあるときの出力強度 ２２６、２２７ プローブと情報記録媒体２０６表面と
の距離 ２３０ 出力信号強度 ２３１ 近視野光プローブ ２３２ 入力光 ２３３ 受光素子 ２３４ データマーク ２３５ 微小開口 ２３６ 反射膜 ２３７ 平面プローブ ２３８ 波長λ1の散乱光を受光する受光素子 ２３９ 波長λ2の散乱光を受光する受光素子 ２４０ 信号処理回路 ２４１ ＬＥＤ光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千葉 徳男 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 笠間 宣行 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 中島 邦雄 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D118 AA11 BA01 CA21 CC11 CD02 CD03 CD15 DA27 DC01 5D119 AA22 BA01 EC47 JA26 JA34 KA04
Claims (21)
- 【請求項１】 近視野光を利用して記録媒体に記録され
た情報の再生または記録を行う記録装置において、 前記記録媒体に光を照射して当該記録媒体の表面に近視
野光を生成させると共に、微小開口を持つプローブを前
記記録媒体の表面に近接させて当該微小開口により前記
近視野光を散乱させ、 この伝搬光の強度を検出し当該伝搬光の強度に基づき前
記微小開口と前記記録媒体との距離を制御することを特
徴とする記録装置。 - 【請求項２】 近視野光を利用して記録媒体に記録され
た情報の再生を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように前記記
録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、 前記近視野光が前記微小開口によって散乱されて生じる
伝搬光を検出し、これを再生信号とする光検出手段と、 前記再生信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項３】 近視野光を利用して記録媒体に記録され
た情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記微小開口に近視野光が生成するように当該微小開口
に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、 前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる
伝搬光を検出し、これを再生信号とする光検出手段と、 前記再生信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項４】 近視野光を利用して記録媒体に記録され
た情報の再生を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記
録媒体に向けて、有限の波長幅あるいは複数の波長を持
つ照射光を照射させる光照射手段と、 前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との
相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対
応して検出する散乱光検出手段と、 検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記
録媒体との間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項５】 近視野光を利用して記録媒体に記録され
た情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 有限の波長幅あるいは複数の波長を持つ照射光を前記微
小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成
させると共に前記複数の波長のうち一つを有する照射光
により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段と、 前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との
相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対
応して検出する散乱光検出手段と、 検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記
録媒体との間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項６】 前記照射光の複数の波長は、時間的に切
り替わるものであることを特徴とする請求項４または５
に記載の記録装置。 - 【請求項７】 前記散乱光検出手段は、選択波長が時間
的に切り替わるものであることを特徴とする請求項４ま
たは５に記載の記録装置。 - 【請求項８】 前記照射光の波長は複数あり、同時に入
力されるものであることを特徴とする請求項４または５
に記載の記録装置。 - 【請求項９】 前記散乱光検出手段は、複数の受光素子
が前記照射光の異なる波長のそれぞれに対応して受光す
るものであることを特徴とする請求項４または５に記載
の記録装置。 - 【請求項１０】 前記照射光は複数の波長成分からな
り、前記照射光は前記複数の波長のそれぞれに対して有
限の幅の波長幅を持つものであることを特徴とする請求
項４または５に記載の記録装置。 - 【請求項１１】 前記照射光の波長は有限の幅をもって
おり、波長選択手段によって前記幅の一部分を選択する
ものであることを特徴とする請求項４または５に記載の
記録装置。 - 【請求項１２】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記
録媒体に向けて、互いに異なる２つの変調周波数の光を
混合した照射光を照射する光照射手段と、 前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、
前記２つの変調周波数の一方をもつ伝搬光を検出しこれ
を再生信号とする第１の光検出手段と、 前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、
前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれ
を制御信号とする第２の光検出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１３】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 互いに異なる２つの変調周波数を混合した照射光を前記
微小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生
成させると共に少なくとも前記２つの変調周波数の一方
を有する照射光により記録媒体に情報を記録する光照射
／記録手段と、 前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、
前記一方の変調周波数をもつ伝搬光を検出しこれを再生
信号とする第１の光検出手段と、 前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、
前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれ
を制御信号とする第２の光検出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１４】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有す
る開口素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記
録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、 前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検
出手段と、 前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検
出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１５】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有す
る開口素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記
録媒体に向けて照射光を照射する第１の光照射手段と、 前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微
小開口に向けて照射光を導入する第２の光照射／記録手
段と、 前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検
出手段と、 前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検
出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１６】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有す
る開口素子と、 前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微
小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、 前記微小開口の他方に近視野光が生成するように当該微
小開口に向けて照射光を導入する光照射手段と、 前記一方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記
録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを
再生信号とする第１の光検出手段と、 前記他方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記
録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを
制御信号とする第２の光検出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１７】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有す
る開口素子と、 前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微
小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、 前記記録媒体の表面のうち前記微小開口の他方に対向す
る部分に近視野光が生成するように当該記録媒体に向け
て照射光を照射する光照射手段と、 前記近視野光が前記一方の微小開口によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検
出手段と、 前記近視野光が前記他方の微小開口によって散乱されて
生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検
出手段と、 前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体と
の間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項１８】 前記開口素子は、厚み方向に段差を設
けることにより第１の底面と第２の底面を有し、前記第
１の底面に前記一方の微小開口を設け、前記第２の底面
に前記他方の微小開口を設け、 前記制御手段は、前記第１の光検出手段により検出され
る再生信号と前記第２の光検出手段により検出される信
号との相対値を算出し、当該相対値に基づいて前記開口
素子と前記記録媒体との間隔を制御することを特徴とす
る請求項１４〜１７のいずれか１つに記載の記録装置。 - 【請求項１９】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように前記記
録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、 前記近視野光が前記微小開口によって散乱されて生じる
伝搬光を検出する光検出手段と、 前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させ
る垂直微小振動手段と、 前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さ
に位置した際に前記光検出手段において検出された信号
を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小
開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光
検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、
当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出し
て、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体
との間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項２０】 近視野光を利用して記録媒体に記録さ
れた情報の再生または記録を行う記録装置において、 近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口
素子と、 前記微小開口に近視野光が生成するように当該微小開口
に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、 前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる
伝搬光を検出する光検出手段と、 前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させ
る垂直微小振動手段と、 前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さ
に位置した際に前記光検出手段において検出された信号
を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小
開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光
検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、
当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出し
て、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体
との間隔を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする記録装置。 - 【請求項２１】 さらに、前記開口素子を、前記記録媒
体上に記録された情報単位の配列方向に対して垂直な方
向且つ当該記録媒体の表面に平行な方向に微小振動させ
る水平微小振動手段と、 前記水平微小振動手段による微小振動の振動中心におい
て前記再生信号が最大となるように前記開口素子の位置
を制御する位置制御手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１〜２０に記載のいず
れか１つの記録装置。
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