JP2000168022A - 真空積層成形装置および真空積層成形方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で、積層成形される積層成形材の
間および周囲に吸引作用を確実に及ぼすことができる真
空積層成形装置および真空積層成形方法を提供する。 【解決手段】 真空積層装置は、相対向して近接遠退可
能に設けられた上板１および下板２と、下板２の対向面
に設けられた加圧膜体３と、上板１の対向面と加圧膜体
３との間で挟持されて成形空間Ｓを形成する枠体４と、
積層成形材Ｈを加熱する加熱手段５，６と、成形空間Ｓ
を真空引きする減圧手段が接続され枠体４の内周縁に沿
って開口する開口部７と、加圧膜体３を操作する加圧膜
体操作手段と、減圧手段が接続された開口部７に加圧膜
体３が入り込まないように少なくとも減圧手段が接続さ
れた開口部７と加圧膜体３との間に位置し、加圧膜体３
により積層成形材Ｈを加圧する際に成形空間Ｓ内に収容
された積層成形材Ｈの周囲と減圧手段が接続された開口
部７とを連通する排気溝９を有する治具８とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層成形材を真空
雰囲気下において加熱・加圧することにより積層する真
空積層成形装置および真空積層成形方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】例えば、プリント配線板を製造するため
の工程には、被積層材として、フェノール樹脂やエポキ
シ樹脂等の熱硬化性樹脂をガラス繊維に含浸させて形成
された剛性を有する回路基板（ガラス基板という）や、
ポリイミド等の熱可塑性樹脂からなるベースフィルムに
より形成された可撓性を有する回路基板（フレキシブル
基板という）の表面と、積層材として、パターン化され
たあるいは後工程でエッチングされる銅箔等のシート状
またはフィルム状の導電層とを加熱および加圧すること
により積層する工程がある。また、これら被積層材とし
てのガラス基板やフレキシブル基板には、積層された銅
箔をエッチング、めっき、はんだ等から保護するため
に、積層材として、シート状またはフィルム状フォトレ
ジスト形成層をこれらの基板の表面に熱圧着する工程が
ある。一般に、フィルム状フォトレジスト形成層は、支
持体フィルムと感光層とにより構成されており、加熱さ
れることによって粘着性を備え、基板の表面に加圧され
て積層される。さらに別の積層成形材の例としては、被
積層材としてのガラス板の表面と、積層材としての偏光
作用等を有するフィルムとを、加圧・加熱することによ
り積層成形するような場合もある。

【０００３】このように、ガラス基板やフレキシブル基
板と銅箔、および、これらが積層された回路基板とフィ
ルム状フォトレジスト形成層等の積層成形材を加圧・加
熱することにより積層成形する場合には、積層成形材の
間に揮発性成分や空気等の気泡等が残留したりシワがよ
る等の原因によってボイドが発生し易くなる。発生した
ボイドは、例えば溶融はんだ浴等、後工程における高温
処理時に膨張し、積層された銅箔やフィルム状フォトレ
ジスト形成層を破損させる場合等があり、回路基板の保
護不良や絶縁不良、ひいては導電不良等の原因となるお
それがある。また、ガラス板の表面にフィルムを積層成
形するような場合においても、両者の間に空気が残留す
ることにより気泡が発生したり、積層成形されたフィル
ムにシワが発生した場合には、積層成形品の表面の見栄
えが悪いだけでなく、設定されたとおりの偏光作用を得
ることができない等の問題が生じることとなる。

【０００４】そのため、シート状またはフィルム状の積
層材を被積層材に対して加熱および加圧することにより
積層成形する場合においては、積層材を被積層材との間
にボイドや気泡等を発生させないように、積層成形材を
真空雰囲気下で積層成形することが従来から行われてい
る。また、これらの積層成形材は、表面が平滑となるよ
うに均一に加圧し積層成形する必要がある。

【０００５】従来の複数の板状、シート状あるいはフィ
ルム状材料からなる積層成形材を真空雰囲気下で積層す
るための真空積層成形装置としては、特開昭６３−２９
５２１８号公報や特開昭６３−２９９８９５号公報に開
示されているように、加熱容器内に筒状のラバーを設け
たり、開閉可能な真空チャンバの内部にラバーシートを
張設し、この筒状のラバー内あるいはラバーシート間に
真空ポンプを接続したものが知られている。これらの真
空積層成形装置では、筒状のラバー内あるいはラバーシ
ート間に積層成形材を配置させて、筒状のラバーあるい
はラバーシートを密閉して成形空間を形成し、この成形
空間内を真空引きすることにより、筒状のラバーあるい
はラバーシートが積層成形材を加圧する。真空ポンプの
管路は、積層成形材の表面が平滑となるように積層する
ために、積層成形材を避けるようにして筒状のラバーあ
るいはラバーシートの積層材が配置される周囲に接続さ
れている。

【０００６】また、従来の真空積層方法として、特公昭
５５−１３３４１号公報に開示されているように、回路
板の表面にフィルム支持体に接着されたフォトレジスト
形成層を隣接させ、回路板の表面とフォトレジスト形成
層との間の領域およびフィルム支持体上の絶対気圧を１
気圧以下に減圧し、圧力伝達層として働くフィルム支持
体を加圧することによりフォトレジスト形成層を回路板
の表面に加圧し、フォトレジスト形成層を加熱して軟化
させ、積層することが知られている。この真空積層方法
に用いられる装置では、各プラテンおよび絶縁スペーサ
に複数の孔を形成することにより、気圧または真空を各
室全体に分布させることが記載されている。

【０００７】ところで、ガラス基板やフレキシブル基板
あるいはガラス板等の被積層材にシート状またはフィル
ム状の積層材を積層成形する場合においては、図７に参
照されるように、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂを部
分的に積層成形する場合がある。なお、図７に示した例
では、被積層材Ｈａよりも小さい積層材Ｈｂの、さらに
その周縁Ｈｂ１を除いた中央部Ｈｂ２のみを被積層材と
積層成形する場合が示されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術のう
ち、特開昭６３−２９５２１８号公報や特開昭６３−２
９９８９５号公報に開示されたものにあっては、真空ポ
ンプによる成形空間内の真空引きによって真空ポンプの
管路が接続された部分における筒状のラバーあるいはラ
バーシートが互いに密着して閉塞され、積層成形材の周
囲全体に真空ポンプによる吸引作用が及ばず、残留した
空気や加熱により発生する揮発性成分のガス等が気泡と
なってボイドを発生させる原因となるという問題があっ
た。さらに、このような場合には、筒状のラバーあるい
はラバーシートの積層成形材から部分的に浮いた箇所に
不要な折り曲げ部が形成されたり、真空ポンプの管路に
筒状のラバーあるいはラバーシートが入り込むことによ
り、劣化が促進されるという問題があった。さらに、真
空ポンプの管路が筒状のラバーあるいはラバーシートの
積層成形材を避けてその周囲に接続されており、しか
も、真空ポンプによる成形空間内の真空引きによって筒
状のラバーあるいはラバーシートが積層成形材を加圧す
るものであるために、成形空間内が部分的に減圧された
だけで積層成形材の間およびその周囲の減圧が充分でな
い状態で積層成形材を部分的に加圧することとなり、積
層成形材の表面を均一に加圧して平滑に積層成形するこ
とができないという問題があった。

【０００９】また、上記従来の技術のうち、特公昭５５
−１３３４１号公報の真空積層方法に用いられる装置に
あっては、上側および下側プラテンの全面にわたって複
数の孔が形成されているために、回路板の表面とフォト
レジスト形成層との間の領域およびフィルム支持体上の
絶対気圧を１気圧以下に減圧した際に、圧力伝達層とし
て働くフィルム支持体が上側および下側プラテンの孔に
入り込んでシワが発生したり破損し、フォトレジスト形
成層にシワが転写したり圧力伝達層として機能すること
ができなくなるおそれがあるという問題があった。

【００１０】さらに、上記従来の技術にあっては、回路
基板等の被積層材の表面全面にわたって銅箔やフィルム
状フォトレジスト形成層等の積層材を積層成形するもの
であり、被積層材と積層材との任意の箇所を部分的に加
圧し、積層成形することができるものはなかった。

【００１１】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、簡単な構成で、加熱・加圧することにより
積層成形される積層成形材の間および周囲に、ボイドを
発生させることがないように吸引作用を確実に及ぼすこ
とができる真空積層成形装置および真空積層成形方法を
提供することを目的とする。また、本発明は、この目的
を達成するための真空積層成形装置の構成を簡略なもの
とすることも目的としている。さらに、本発明は、積層
成形材の任意の部分のみを部分的に加圧することができ
る真空積層成形装置および真空積層成形方法を提供する
ことを目的とする。そして、本発明は、積層成形材が部
分的な加圧により破損し易い材質を含む場合であっても
破損することなく、かかる部分だけを確実に加圧するこ
とができる真空積層成形装置を提供することを目的とす
る。さらにまた、本発明は、被積層材と積層材との任意
の箇所のみを部分的に積層成形することができ、また、
被積層材と積層成形されていない部分の積層材を、被積
層材と積層成形された部分の境界部から容易に切断して
取り除くことができる真空積層成形装置および真空積層
成形方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の真空積層成形
装置に係る発明は、上記目的を達成するため、被積層材
と積層材とからなる積層成形材を真空雰囲気下で加圧・
加熱することにより積層成形するための真空積層成形装
置であって、相対向して近接遠退可能に設けられた上板
および下板と、上板または下板のいずれか一方の対向面
に設けられた加圧膜体と、上板と下板とが相対的に近接
した際に、そのいずれか他方の対向面と加圧膜体との間
で挟持されることによって成形空間を形成する枠体と、
積層成形材を加熱する加熱手段と、成形空間を真空引き
する減圧手段が接続された枠体の内周縁に沿って開口す
る開口部と、積層成形材を任意のタイミングで加圧すべ
く加圧膜体を操作する加圧膜体操作手段と、減圧手段が
接続された開口部と加圧膜体との間に位置し、加圧膜体
により積層成形材を加圧する際に成形空間内に収容され
た積層成形材の周囲と減圧手段が接続された開口部とを
連通する連通手段を有する治具と、を備えたことを特徴
とするものである。

【００１３】請求項２の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明に
おいて、治具は、枠体内に挿入され積層成形材を収容す
ることが可能な枠状に形成され、連通手段は、加圧膜体
により積層成形材を加圧する際に上板または下板のいず
れか他方の対向面と当接される面に、枠状の治具の内側
と外側とを連通するように形成された排気溝からなるこ
とを特徴とするものである。

【００１４】請求項３の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項２に記載の発明に
おいて、治具は、加圧膜体が積層成形材を部分的に加圧
することを許容する形状に形成されたものであることを
特徴とするものである。

【００１５】請求項４の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項３に記載の発明に
おいて、加圧膜体が積層材を被積層材に対して部分的に
加圧することを許容するように形成された治具の形状に
応じた形状を有する当て板を、上板または下板のいずれ
か他方の対向面に設けたことを特徴とするものである。

【００１６】請求項５の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項１〜４のいずれか
に記載の発明において、被積層材と積層材との間に配置
され、被積層材と積層材との任意の箇所が部分的に接し
て積層成形されるように形成された遮蔽フィルムを備え
たことを特徴とするものである。

【００１７】また、請求項６の真空積層成形装置に係る
発明は、上記目的を達成するため、被積層材と積層材と
からなる積層成形材を真空雰囲気下で加圧・加熱するこ
とにより積層成形するための真空積層成形装置であっ
て、相対向して近接遠退可能に設けられた上板および下
板と、上板または下板のいずれか一方の対向面に設けら
れた加圧膜体と、上板と下板とが相対的に近接した際
に、そのいずれか他方の対向面と加圧膜体との間で挟持
されることによって積層成形材が収容される成形空間を
形成する枠体と、積層成形材を加熱する加熱手段と、成
形空間を真空引きする減圧手段と、積層成形材を任意の
タイミングで加圧すべく加圧膜体を操作する加圧膜体操
作手段と、被積層材と積層材との間に配置され、被積層
材と積層材との任意の箇所が部分的に接して積層成形さ
れるように形成された遮蔽フィルムと、を備えたことを
特徴とするものである。

【００１８】請求項７の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項５または６のいず
れかに記載の発明において、遮蔽フィルムは、積層材よ
りも破断に対して強く、窓枠状に形成されたものからな
ることを特徴とするものである。

【００１９】請求項８の真空積層成形装置に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項５または６のいず
れかに記載の発明において、遮蔽フィルムは、連続した
帯状に形成されたものからなり、積層材よりも破断に対
して強く、複数の窓が配列されたものからなることを特
徴とするものである。

【００２０】一方、請求項９の真空積層成形方法に係る
発明は、上記目的を達成するため、被積層材と積層材と
からなる積層成形材を真空雰囲気下で加圧・加熱して部
分的に積層成形するための真空積層成形方法であって、
相対向して近接遠退可能に配設された上板または下板の
いずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体と下板また
は上板のいずれか他方の対抗面との間に積層成形材を配
置すると共に、加圧膜体により積層成形材を加圧する際
に、上板と下板とを近接させてそのいずれか他方の対向
面と加圧膜体との間で挟持することによって成形空間を
形成する枠体の内周縁に沿って開口し成形空間を真空引
きする減圧手段が接続された開口部と積層成形材の周囲
とを連通する連通手段が設けられた治具を、減圧手段の
開口部と加圧膜体との間に配置し、上板と下板とを近接
させてそのいずれか他方の対向面と加圧膜体とこれらの
間で挟持された枠体との内部に治具と共に積層成形材が
収容された成形空間を形成し、形成された成形空間内の
容積を変化させることなく真空引きし、その後、積層成
形材の周囲から、治具の連通手段および枠体の内周縁に
沿って開口する開口部を介して、開口部に接続された減
圧手段により脱気させつつ、積層成形材を加圧膜体によ
り加圧すると共に加熱手段により積層成形材を加熱し
て、積層成形材を積層成形することを特徴とするもので
ある。

【００２１】請求項１０の真空積層成形方法に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項９に記載の発明に
おいて、少なくとも減圧手段の開口部と加圧膜体との間
に配置される治具は、加圧膜体が積層材を被積層材に対
して部分的に加圧することを許容する形状に形成されて
おり、加圧膜体により加圧された部分のみを積層成形す
ることを特徴とするものである。

【００２２】請求項１１の真空積層成形方法に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項９または１０のい
ずれかに記載の発明において、被積層材と積層材との任
意の箇所が部分的に接して積層成形されるように形成し
た遮蔽フィルムを、被積層材と積層材との間に介装した
状態で、積層成形材を加圧膜体と下板または上板のいず
れか他方の対向面との間に配置し、加圧膜体により加圧
すると共に加熱手段により積層成形材を加熱して、積層
材と被積層材とが互いに接している部分のみを積層成形
することを特徴とするものである。

【００２３】また、請求項１２の真空積層成形方法に係
る発明は、上記目的を達成するため、被積層材と積層材
とからなる積層成形材を真空雰囲気下で加圧・加熱して
部分的に積層成形するための真空積層成形方法であっ
て、相対向して近接遠退可能に配設された上板または下
板のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体と下板
または上板のいずれか他方の対抗面の間に、被積層材と
積層材との任意の箇所が部分的に接して積層成形される
ように形成した遮蔽フィルムを被積層材と積層材との間
に介装した状態で積層成形材を配置し、上板と下板とを
近接させてそのいずれか他方の対向面と加圧膜体とこれ
らの間で挟持された枠体との内部に積層成形材が収容さ
れた成形空間を形成し、形成された成形空間内の容積を
変化させることなく真空引きし、その後、積層成形材を
加圧膜体により加圧すると共に加熱手段により積層成形
材を加熱して、積層材と被積層材とが互いに接している
部分のみを積層成形することを特徴とするものである。

【００２４】請求項１３の真空積層成形方法に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項１１または１２の
いずれかに記載の発明において、遮蔽フィルムを積層材
よりも破断に対して強いものに選択すると共に窓枠状に
形成し、被積層材と積層材とが部分的に積層成形された
積層成形材から遮蔽フィルムを除去することによって、
遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形されてい
ない部分の積層材を、被積層材と積層成形された部分の
境界部から切断して、遮蔽フィルムと共に取り除くこと
を特徴とするものである。

【００２５】請求項１４の真空積層成形方法に係る発明
は、上記目的を達成するため、請求項１１または１２の
いずれかに記載の発明において、遮蔽フィルムを連続し
た帯状に形成すると共に積層材よりも破断に対して強い
ものに選択し、さらに遮蔽フィルムに複数の窓を配列
し、被積層材と積層材とが部分的に積層成形された積層
成形材から遮蔽フィルムを順次連続して除去することに
よって、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形
されていない部分の積層材を、被積層材と積層成形され
た部分の境界部から順次連続して切断して、遮蔽フィル
ムと共に取り除くことを特徴とするものである。

【００２６】本発明の請求項１に係る真空積層成形装置
では、治具が枠体の内側の加圧膜体と上板または下板の
いずれか他方の対向面との間に配置される。上板と下板
とを離間させた状態で、加圧膜体と上板または下板のい
ずれか他方の対向面との間に積層成形材を挿入配置し、
上板と下板とを近接させて枠体を両者の間で挟持して成
形空間を形成する。次いで、加圧膜体が積層成形材を加
圧しないように、加圧膜体操作手段により加圧膜体をそ
の設けられた対向面に密着させて成形空間の容積が縮小
しないようにした状態で、減圧手段が接続された開口部
から成形空間内を真空引きする。減圧手段と接続された
開口部が枠体の内周縁に沿って開口するように設けられ
ていることにより、減圧手段による開口部からの真空引
きは成形空間の周囲から全面にわたって均等に及ぶこと
となる。次いで、成形空間内の減圧を維持した状態で、
加圧膜体操作手段により加圧膜体が積層成形材を加圧す
るよう操作すると共に、加熱手段により積層成形材を加
熱して積層成形する。このとき、少なくとも減圧手段と
接続された開口部と加圧膜体との間に治具が位置するこ
とにより、減圧手段が接続された開口部に加圧膜体が入
り込むことが防止される。そして、治具の連通手段によ
って成形空間内に収容された積層成形材の周囲と減圧手
段が接続された開口部とが連通されているため、積層成
形中に加圧膜体が上板または下板のいずれか他方の対向
面に密着し閉塞することがない。したがって、積層成形
材の周囲全体に減圧手段による真空引き作用が及び、残
留した空気や加熱により発生する揮発性成分のガス等が
吸引されてボイドを発生させる原因が解消される。

【００２７】本発明の請求項２に係る真空積層成形装置
では、請求項１に記載の発明において、上板と下板とを
近接させて枠体を両者の間で挟持して成形空間を形成し
た際に、枠状に形成された治具が成形空間内おいて積層
成形材を収容して、その周囲を囲繞するように配置され
る。そして、加圧膜体により積層成形材を加圧する際
に、治具に形成された排気溝が上板または下板のいずれ
か他方の対向面と当接されることにより連通手段として
機能し、枠状の治具の内側と外側とを連通し、積層成形
材の周囲全体に減圧手段による吸引作用が及ぶこととな
る。

【００２８】本発明の請求項３に係る真空積層成形装置
では、請求項２に記載の発明において、加圧膜体が積層
成形材を部分的に加圧することを許容する形状に治具が
形成されていることにより、積層成形材の任意の部分の
みが加圧膜体によって部分的に加圧される。

【００２９】本発明の請求項４に係る真空積層成形装置
では、請求項３に記載の発明において、加圧膜体によっ
て治具を介して任意の部分のみが部分的に加圧される積
層成形材の反対側が当て板によって保持されるため、積
層成形材が部分的な加圧により破損し易い材質を含む場
合であっても破損することなく、かかる部分だけが確実
に加圧される。

【００３０】本発明の請求項５に係る真空積層成形装置
では、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、
被積層材と積層材との任意の箇所が部分的に接して積層
成形されるように形成された遮蔽フィルムを被積層材と
積層材との間に配置することにより、積層成形材は、加
圧膜体により加圧されると、遮蔽フィルムによって遮蔽
されている部分の被積層材と積層材とが積層成形され
ず、被積層材と積層材との遮蔽フィルムが介在しておら
ず互いに接している任意の箇所のみが部分的に積層成形
される。

【００３１】また、本発明の請求項６に係る真空積層成
形装置では、被積層材と積層材との任意の箇所が部分的
に接して積層成形されるように形成された遮蔽フィルム
を被積層材と積層材との間に配置し、上板と下板とを離
間させた状態で、加圧膜体と上板または下板のいずれか
他方の対向面との間に、遮蔽フィルムが介装された積層
成形材を挿入配置し、上板と下板とを近接させて枠体を
両者の間で挟持して成形空間を形成する。次いで、加圧
膜体が積層成形材を加圧しないように、加圧膜体操作手
段により加圧膜体をその設けられた対向面に密着させて
成形空間の容積が縮小しないようにした状態で、減圧手
段が接続された開口部から成形空間内を真空引きする。
減圧手段と接続された開口部が枠体の内周縁に沿って開
口するように設けられていることにより、減圧手段によ
る開口部からの真空引きは成形空間の周囲から全面にわ
たって均等に及ぶこととなる。次いで、成形空間内の減
圧を維持した状態で、加圧膜体操作手段により加圧膜体
が積層成形材を加圧するよう操作すると共に、加熱手段
により積層成形材を加熱して積層成形する。このとき、
被積層材と積層材との任意の箇所が部分的に接して積層
成形されるように形成された遮蔽フィルムが被積層材と
積層材との間に配置されていることにより、積層成形材
は、加圧膜体により加圧されると、遮蔽フィルムによっ
て遮蔽されている部分の被積層材と積層材とが積層成形
されず、被積層材と積層材との遮蔽フィルムが介在して
おらず互いに接している任意の箇所のみが部分的に積層
成形される。

【００３２】本発明の請求項７に係る真空積層成形装置
では、請求項５または６のいずれかに記載の発明におい
て、窓枠状に形成された遮蔽フィルムが積層材よりも破
断に対して強いために、積層成形が完了して搬出された
積層成形材から遮蔽フィルムを引っ張って除去すること
により、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形
されていない部分の積層材は、被積層材と積層成形され
た部分の境界部から切断されて、遮蔽フィルムと共に取
り除かれる。

【００３３】本発明の請求項８に係る真空積層成形装置
では、請求項５または６のいずれかに記載の発明におい
て、複数の窓が配列形成された遮蔽フィルムが積層材よ
りも破断に対して強いために、積層成形が完了して搬出
された積層成形材から遮蔽フィルムをロールに巻き取る
等して引っ張って順次連続して除去することにより、遮
蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形されていな
い部分の積層材は、被積層材と積層成形された部分の境
界部から順次連続して切断されて、遮蔽フィルムと共に
取り除かれる。

【００３４】一方、本発明の請求項９に係る真空積層成
形方法では、連通手段が設けられた治具を少なくとも減
圧手段の開口部と加圧膜体との間に位置させるように、
枠体の内側の加圧膜体と上板または下板のいずれか他方
の対向面との間に配置すると共に、加圧膜体と上板また
は下板のいずれか他方の対向面との間に積層成形材を挿
入配置する。次いで、上板と下板とを近接させ、そのい
ずれか他方の対向面と加圧膜体とこれらの間で挟持され
た枠体との内部に治具と共に積層成形材を収容した成形
空間を形成し、この成形空間内を真空引きする。このと
き、形成された成形空間内の容積が変化することがない
ように、加圧膜体がその設けられた対向面に密着されて
おり、成形空間内を減圧することによって加圧膜体が不
用意に成形空間内に膨出して積層成形材を加圧すること
はない。その後、積層成形材の周囲から、治具の連通手
段および枠体の内周縁に沿って開口する開口部を介し
て、開口部に接続された減圧手段により脱気させつつ、
積層成形材を加圧膜体により加圧すると共に加熱手段に
より積層成形材を加熱して、積層成形材を積層成形す
る。このとき、少なくとも減圧手段の開口部と加圧膜体
との間に配置していることにより、減圧手段が接続され
た開口部に加圧膜体が入り込むことが防止され、また、
治具に設けられた連通手段によって成形空間内に収容さ
れた積層成形材の周囲と減圧手段が接続された開口部と
が連通されているため、積層成形中に加圧膜体が上板ま
たは下板のいずれか他方の対向面に密着し閉塞すること
が防止される。

【００３５】本発明の請求項１０に係る真空積層成形方
法では、請求項９に記載の発明において、加圧膜体が積
層成形材を部分的に加圧することを許容する形状に治具
が形成されていることにより、積層成形材の任意の部分
のみが加圧膜体によって部分的に加圧され、加圧膜体に
より加圧された部分のみが積層成形される。

【００３６】本発明の請求項１１に係る真空積層成形方
法では、請求項９または１０のいずれかに記載の発明に
おいて、被積層材と積層材との任意の箇所が部分的に接
して積層成形されるように形成した遮蔽フィルムを、被
積層材と積層材との間に介装することにより、加圧膜体
によって加圧すると共に加熱手段により積層成形材を加
熱すると、積層材と被積層材とが互いに接している部分
のみが積層成形される。

【００３７】また、本発明の請求項１２に係る真空積層
成形方法では、被積層材と積層材との任意の箇所が部分
的に接して積層成形されるように形成した遮蔽フィルム
を被積層材と積層材との間に介装し、この状態の積層成
形材を加圧膜体と上板または下板のいずれか他方の対向
面との間に挿入配置し、上板と下板とを近接させて枠体
を両者の間で挟持して成形空間を形成する。次いで、加
圧膜体が積層成形材を加圧しないように、加圧膜体操作
手段により加圧膜体をその設けられた対向面に密着させ
て成形空間の容積が縮小しないようにした状態で、成形
空間内を真空引きする。次いで、成形空間内の減圧を維
持した状態で、加圧膜体操作手段により加圧膜体が積層
成形材を加圧するよう操作すると共に、加熱手段により
積層成形材を加熱して積層成形する。このとき、被積層
材と積層材との任意の箇所が部分的に接して積層成形さ
れるように形成された遮蔽フィルムが被積層材と積層材
との間に配置されていることにより、積層成形材は、加
圧膜体により加圧されると、遮蔽フィルムによって遮蔽
されている部分の被積層材と積層材とが積層成形され
ず、被積層材と積層材との遮蔽フィルムが介在しておら
ず互いに接している任意の箇所のみが部分的に積層成形
される。

【００３８】本発明の請求項１３に係る真空積層成形方
法では、請求項１１または１２のいずれかに記載の発明
において、窓枠状に形成された遮蔽フィルムが積層材よ
りも破断に対して強いものに選択されているために、積
層成形が完了して搬出された積層成形材から遮蔽フィル
ムを除去することによって、遮蔽フィルムが介装されて
被積層材と積層成形されていない部分の積層材を、被積
層材と積層成形された部分の境界部から切断して遮蔽フ
ィルムと共に取り除く。

【００３９】本発明の請求項１４に係る真空積層成形装
置では、請求項１１または１２のいずれかに記載の発明
において、複数の窓が配列形成された遮蔽フィルムが積
層材よりも破断に対して強いために、積層成形が完了し
て搬出された積層成形材から遮蔽フィルムを順次連続し
て除去することによって、遮蔽フィルムが介装されて被
積層材と積層成形されていない部分の積層材を、被積層
材と積層成形された部分の境界部から順次連続して切断
して遮蔽フィルムと共に取り除く。

【００４０】

【発明の実施の形態】本発明に係る真空積層成形装置の
第一の実施の形態を図１および図２に基づいて詳細に説
明する。図において同一符号は同一部分または相当部分
とする。

【００４１】本発明に係る真空積層成形装置は、概略、
被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとからなる積層成形材Ｈを真
空雰囲気下で加圧・加熱することにより積層成形するた
めの真空積層成形装置であって、相対向して近接遠退可
能に設けられた上板１および下板２と、上板１または下
板２のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体３
と、上板１と下板２とが相対的に近接した際に、そのい
ずれか他方の対向面と加圧膜体３との間で挟持されるこ
とによって成形空間Ｓを形成する枠体４と、積層成形材
Ｈを加熱する加熱手段５，６と、成形空間Ｓを真空引き
する減圧手段（後述する）が接続され、枠体４の内周縁
に沿って開口する開口部７と、積層成形材Ｈを任意のタ
イミングで加圧すべく加圧膜体３を操作する加圧膜体操
作手段（後述する）と、減圧手段が接続された開口部７
に加圧膜体３が入り込まないように少なくとも減圧手段
が接続された開口部７と加圧膜体３との間に位置し、加
圧膜体３により積層成形材Ｈを加圧する際に成形空間Ｓ
内に収容された積層成形材Ｈの周囲と減圧手段が接続さ
れた開口部７とを連通する連通手段９を有する治具８
と、を備えたものである。この実施の形態においては、
積層成形材Ｈが、被積層材Ｈａとしてガラス基板やフレ
キシブル基板あるいはガラス板からなり、積層材Ｈｂと
して銅箔やフィルム状フォトレジスト形成層あるいは偏
光フィルムのような可撓性を有するシート状またはフィ
ルム状のものからなる。また、上板１が固定され、下板
２が昇降手段（図示を省略した）によって支持され、上
板１に対して下板２が近接遠退移動するように構成され
ている。そして、加圧膜体３は下板２の上面に設けら
れ、減圧手段は上板１の下面に開口するように設けられ
ている。

【００４２】上板１は、略矩形の平板状体からなるもの
で、その下面には、枠体４の内周開口とほぼ同じ面積と
なるように、凹部１０が形成されている。また、上板１
の略中央には、減圧手段としての真空ポンプの管路（図
示を省略した）が接続される通路１１が、凹部１０内に
貫通するように穿設されている。凹部１０内には、断熱
材１２と、加熱手段としてのシート状のヒータ５と、平
滑に形成された対向面としての上定盤１３とが設けられ
ている。これらの断熱材１２、ヒータ５、上定盤１３の
厚さは、上定盤１３の下面が上板１の凹部１０の周囲の
下面と同一のレベルとなるように、凹部１０の高さ（深
さ）と同じに設定されている。また、断熱材１２、ヒー
タ５、上定盤１３の各側面と凹部１０の側壁面１０ａと
の間には間隙Ｆが形成され、間隙Ｆは上板１の枠体４が
当接される内周縁に沿って全周にわたって開口しており
開口部７を形成している。断熱材１２の上板１と接する
面には、通路１１と連通する複数の溝１４が断熱材１２
の側面に全周にわたって開放するように格子状に形成さ
れている。したがって、減圧手段が接続される通路１１
は、格子状の溝１４および上板１の枠体４の内周縁に沿
って全周にわたって開口する間隔Ｆを介して開口部７と
連通している。なお、この実施の形態においては断熱材
１２に溝１４を格子状に形成する例によって説明した
が、例えば上板1の凹部１０の断熱材１２と接する面に
溝を格子状に形成する等、減圧手段が接続される通路１
１と開口部７とを連通することができるものであれば、
この実施の形態に限定されることはない。

【００４３】下板２は、上板１と同様に、略矩形の平板
状体からなるもので、その上面には、枠体４の内周開口
とほぼ同じ面積となるような凹部２０が形成されてい
る。また、下板２の略中央には、積層成形材Ｈを任意の
タイミングで加圧すべく加圧膜体を操作するための加圧
膜体操作手段の管路が接続される通路２１が凹部２０内
に貫通するように穿設されている。下板２の凹部２０内
には、断熱材２２と、加熱手段としてのシート状のヒー
タ６と、パンチングメタル等の通気性部材２３とが設け
られている。これらの断熱材２２、ヒータ６、通気性部
材２３の厚さは、通気性部材２３の上面が下板２の凹部
２０の周囲の上面以上のレベルとなるように、凹部２０
の高さ（深さ）以上に設定されている。また、断熱材２
２、ヒータ６、通気性部材２３の各側面と凹部２０の側
壁面２０ａとの間には、下板２に取付けられる枠体４の
内周縁に沿って全周にわたって開口するように、間隙Ｇ
が形成されている。断熱材２２の下板２と接する面に
は、通路２１と連通する複数の溝２４が断熱材２２の側
面に全周にわたって開放するように格子状に形成されて
いる。さらに、断熱材２２とヒータ６の、凹部２０内に
開口する通路２１の位置と整合する位置には、通気性部
材２３と連通する孔２２ａ，６ａがそれぞれ形成されて
いる。したがって、加圧膜体操作手段の管路が接続され
る通路２１は、格子状の溝１４を介して下板２に形成さ
れた間隔Ｇと連通すると共に、孔２２ａ，６ａを介して
通気性部材２３と連通しており、加圧膜体３全面にわた
って膜体操作手段による作用が及ぼされる。なお、この
実施の形態においては断熱材２２に溝２４を格子状に形
成する例によって説明したが、下板２の凹部２０の断熱
材２３と接する面に溝を格子状に形成する等、下板２の
凹部２０の側壁面２０ａとヒータ６等の側面との間の間
隙Ｇに沿って開口するように、加圧膜体操作手段の管路
が接続される通路２１と連通することができるものであ
れば、この実施の形態に限定されることはない。

【００４４】なお、加熱手段としては、シート状のヒー
タ５，６に限定されることなく、図示は省略するが、上
板１および／または下板２に蒸気や加熱水等の加熱媒体
循環流通させるための流路を形成したり、棒状ヒータを
設けることもできる。

【００４５】通路２１に接続される加圧膜体操作手段
は、真空ポンプ等の減圧手段とエアコンプレッサ等の加
圧流体源とを切り替え可能に備えてなるものである（図
示は省略する）。真空ポンプは、成形空間Ｓが減圧され
た際に加圧膜体３が膨れて積層成形材Ｈを不用意に加圧
しないように、吸引することにより加圧膜体３を通気性
部材２３に密着させる。加圧流体源は、積層成形材Ｈを
所定の圧力で上定盤１３との間で加圧するように加圧膜
体３を膨らませる。そして、加圧膜体操作手段は、加圧
膜体３を通気性部材２３に密着させるように吸引し、積
層成形材Ｈを加圧するように加圧膜体３を膨らませ、積
層成形が完了して加圧を停止すべく加圧膜体３を元に戻
すために大気開放させることが任意のタイミングで切り
替え制御することができるように構成されている。

【００４６】加圧膜体３は、弾性、伸縮性、可撓性およ
び耐熱性を有する、例えばシリコンゴムやフッ素ゴムか
らなるもので、加圧膜体固定枠３０に対してその内周開
口を気密に覆うように、周縁が加圧膜体固定枠３０の一
方の面に焼付加工等により固着されている。下板２の加
圧膜体固定枠３０が当接される面には気密性を保持する
ためのパッキング部材３１が設けられている。加圧膜体
固定枠３０は、積層成形を行う積層成形材Ｈや通気性部
材２３の上面のレベルに応じて、加圧膜体３の下面が通
気性部材２３の上面と同一レベルとなるようにスペーサ
として機能すべく、加圧膜体固定枠３０自体の厚みが異
なるもの、または、厚みや材質、硬度等の異なる加圧膜
体３が固着されたもの等、複数の種類が用意されてい
る。

【００４７】枠体４は、その内周開口が上板１の凹部１
０および加圧膜体固定枠３０の内周開口とほぼ同じ大き
さとなるように形成されてなるもので、上板１に当接さ
れる面にパッキング部材４１が設けられている。そし
て、枠体４は、加圧膜体固定枠３０と同様に成形空間Ｓ
の高さを調整するスペーサとして機能すべく、枠体４自
体の厚みが異なるもの等、複数の種類が用意されてい
る。

【００４８】枠体４は、下板２の上面との間に加圧膜体
固定枠３０が介装された状態で、ビス等（図示は省略す
る）により下板２に着脱可能に固定される。加圧膜体固
定枠３０と枠体４との間の気密性は、加圧膜体３により
保持される。ビスを取外し、枠体４および／または加圧
膜体固定枠３０を厚みが異なるものに交換することによ
り、成形空間Ｓの高さを調節可能とすることができる。
なお、ビスは、枠体４および加圧膜体固定枠３０を水平
方向（図の左右方向）にずれることがないように固定す
ることができればよく、枠体４および加圧膜体固定枠３
０を下板２に締めつける必要はない。その理由は、枠体
４および加圧膜体固定枠３０は、下板２が上板１に近接
することにより両者１，２の間に挟持されるからであ
る。

【００４９】治具８は、減圧手段が接続された開口部７
と加圧膜体３との間に少なくとも位置して開口部７に加
圧膜体３が入り込むのを阻止するように、その外周形状
が枠体４の内周開口と同じかわずかに小さく、高さ（厚
さ）が、下板２を上板１に対して近接移動させて枠体４
を上板１に当接させた際に、上定盤１３と加圧膜体３と
により形成される成形空間Ｓの高さと同じかわずかに低
くなるように形成されている。治具８の高さが成形空間
Ｓの高さよりも低く形成される場合には特に、図５に参
照されるように、枠体４の内周開口に沿って治具８がガ
イドされながら摺動し得るように、治具８の外周形状を
枠体４の内周開口とほぼ同じ大きさに形成することが望
ましい。

【００５０】また、治具８は、成形空間Ｓ内に収容され
た積層成形材Ｈを加圧膜体３により上定盤１３に対して
加圧し得るように、その略中央に穴８０を備えた枠状に
形成されている（図６を参照）。枠状の治具８の上定盤
１３と対向するように配置される側には、搬入された積
層成形材Ｈを収容すると共に積層成形された積層成形材
Ｈを搬出し得るように、溝状の収容部８１が形成されて
いる。さらに、枠状の治具８の、加圧膜体３により積層
成形材Ｈを上定盤１３に対して加圧する際に上定盤１３
に当接される収容部８１の周囲には、積層成形材Ｈの周
囲と減圧手段が接続された開口部７とを連通する連通手
段としての排気溝９が内側と外側との間に延在するよう
に複数形成されている。なお、連通手段は、積層成形材
Ｈの周囲と減圧手段が接続された開口部７とを連通する
ことができるものであれば、排気溝９に限定されること
はない。穴８０の側壁は、加圧膜体３が積層成形材Ｈを
加圧する際に鋭角に屈曲されないように、鉛直線に対し
て傾斜させて形成することが望ましい。

【００５１】本発明の真空積層成形装置は、上述した実
施の形態に限定されることなく、例えば、下板２を固定
し、上板１を下板２に対して近接遠退移動するように構
成し、あるいは上板１と下板２の双方を近接遠退移動す
るように構成することもできる。また、加圧膜体３や枠
体４を上板１に設け、減圧手段を下板２の上面に開口す
るように設けると共に、加圧膜体操作手段を上板１の下
面と加圧膜体３との間に開口するように設けることもで
きる。

【００５２】次に、以上のように構成された第一の実施
の形態における真空積層成形装置を用いた場合により、
本発明の真空積層成形方法の第一の実施の形態について
説明する。本発明の真空積層成形方法は、概略、被積層
材Ｈａと積層材Ｈｂとからなる積層成形材Ｈを真空雰囲
気下で加圧・加熱して部分的に積層成形するための真空
積層成形方法であって、相対向して近接遠退可能に配設
された上板１または下板２のいずれか一方の対向面に設
けられた加圧膜体３と下板２または上板１のいずれか他
方の対抗面との間に積層成形材Ｈを配置すると共に、加
圧膜体３により積層成形材Ｈを加圧する際に、上板１と
下板２とを近接させてそのいずれか他方の対向面と加圧
膜体３との間で挟持することによって成形空間Ｓを形成
する枠体４の内周縁に沿って開口し成形空間Ｓを真空引
きする減圧手段が接続された開口部７と積層成形材Ｈの
周囲とを連通する連通手段９が設けられた治具８を、減
圧手段が接続された開口部７に加圧膜体３が入り込まな
いように少なくとも減圧手段の開口部７と加圧膜体３と
の間に配置し、上板１と下板２とを近接させてそのいず
れか他方の対向面と加圧膜体３とこれらの間で挟持され
た枠体４との内部に治具８と共に積層成形材Ｈが収容さ
れた成形空間Ｓを形成し、形成された成形空間Ｓ内の容
積を変化させることなく真空引きし、その後、積層成形
材Ｈの周囲から、治具８の連通手段９および枠体４の内
周縁に沿って開口する開口部７を介して、開口部７に接
続された減圧手段により脱気させつつ、積層成形材Ｈを
加圧膜体３により加圧すると共に加熱手段５，６により
積層成形材Ｈを加熱して、積層成形材Ｈを積層成形する
ものである。

【００５３】最初に、上板１と下板２とは遠退離間した
状態とされている。そして、この実施の形態では、治具
８は、枠体４の内側に挿入され、加圧膜体３上に載置さ
れている。積層成形材Ｈは、この実施の形態では加圧膜
体３が下板２に設けられているために、積層材Ｈｂが治
具８の穴８０を介して加圧膜体３と対向すべく下方に位
置され、被積層材Ｈａが上定盤１３と対向すべく上方に
位置されるように重合配置された状態で、連続した帯状
のキャリヤフィルム（図示を省略した）に支持され、治
具８の穴８０に対して整合するように溝状の凹部８１に
搬入される（図１の状態）。その後、下板２を上板１に
対して近接移動させると、上板１と下板２との間で枠体
４および加圧膜体固定枠３０に固着された加圧膜体３が
挟持され、治具８と共に積層成形材Ｈを収容した密閉さ
れた成形空間Ｓが形成される。

【００５４】次いで、通路２１に接続された加圧膜体操
作手段を真空ポンプによる吸引に切り替え、加圧膜体３
と下板２の凹部２０との間に形成された空間内の空気を
吸引し、加圧膜体３を通気性部材２３の上面に密着させ
る。通気性部材２３が設けられ、断熱材２２とヒータ６
に穴２２ａ，６ａがそれぞれ形成されており、さらに、
間隙Ｇが形成されると共に断熱材２２に複数の溝２４が
形成されていることにより、加圧膜体３は、全体が通気
性部材２３に対して均一に密着するように吸引されるこ
ととなる。この加圧膜体３を吸引密着させる時期は、下
板２を上板１に近接移動させて成形空間Ｓを形成するの
と同時、あるいはそれ以前に行ってもよい。

【００５５】その後、この状態を維持し、通路１１に接
続された減圧手段により成形空間Ｓ内を減圧する。成形
空間Ｓ内の空気は、上板１の凹部１０の側壁面１０ａと
上定盤１３との間の全周にわたる間隙Ｆの開口部７を介
して、間隙Ｆに開口するように格子状に形成された各溝
１４、および通路１１を通って減圧手段へと均等に吸引
される。このとき、加圧膜体３が下板２の通気性部材２
３から離間しないように密着されているため、成形空間
Ｓの容積が減少することはなく、したがって積層成形材
Ｈが不用意に加圧されることはない。この成形空間Ｓ内
の減圧は、積層成形が完了して下板２を上板１から離間
移動させる直前まで継続維持される。

【００５６】成形空間Ｓ内が充分に減圧されたら、通路
２１に接続された加圧膜体操作手段をエアコンプレッサ
等の加圧流体供給源による圧縮空気等の加圧流体の供給
に切り替える。この場合には、通路２１を介して、断熱
材２２に格子状に形成され間隙Ｇに開口する各溝２４、
下板２の凹部２０の側壁面２０ａとヒータ６等との間の
間隙Ｇを通って通気性部材２３から加圧膜体３全体に所
定圧力に調整された加圧流体の圧力作用が均等に及び、
加圧膜体３が成形空間Ｓ内に膨出する。また、積層成形
材Ｈへの加圧圧力の設定が低い場合等においては、加圧
膜体操作手段の加圧流体源からの加圧流体の供給を行わ
ず、通路２１に接続された加圧膜体操作手段を大気圧に
開放するよう切り替えることもできる。この場合には、
通路１１に接続された減圧手段による成形空間Ｓ内の真
空引き作用によって、加圧膜体３が成形空間Ｓ内に膨出
する。

【００５７】成形空間Ｓ内に膨出した加圧膜体３は、治
具８の穴８０を介して積層成形材Ｈを上定盤１３に対し
て加圧する。このとき、上板１のヒータ５および下板２
のヒータ６の発熱によって被積層材Ｈａと積層材Ｈｂの
少なくとも一方が粘着性を有するように加熱されてお
り、加圧および加熱されることによって、積層成形材Ｈ
が積層成形されることとなる（図２）。なお、治具８の
高さが成形空間Ｓの高さよりも低く形成される場合に
は、加圧膜体３が成形空間Ｓ内に膨出することにより、
外周形状が枠体４の内周開口とほぼ同じ大きさに形成さ
れた治具８は、図８に参照されるように、枠体４の内周
開口に沿ってガイドされながら上定盤１３に向かって上
昇するように摺動して、治具８の上面が上定盤１３に当
接されることとなる。しかしながら、治具８の上面には
内側と外側との間に延在する排気溝９が複数形成されて
いるため、減圧手段と接続された開口部７と治具８の収
容部８１に収容された積層成形材Ｈの周囲とは、閉塞さ
れることなく通気性が確保され、連通した状態が維持さ
れている。さらに、減圧手段が接続された開口部７と加
圧膜体３との間に治具８が位置していることにより、減
圧手段により開口部７から吸引すると共に加圧膜体３を
膨出させた際に、加圧膜体３が開口部７から間隙Ｆへと
入り込んで減圧手段の吸引を阻害したり加圧膜体３が屈
曲されて損傷するようなことが防止される。

【００５８】積層成形材Ｈが充分に冷却され積層成形が
完了したら、通路２１に接続された加圧膜体操作手段の
加圧流体源からの加圧流体の供給を停止して大気圧に開
放するよう切り替えた状態で、減圧手段による成形空間
Ｓ内の減圧を停止し、成形空間Ｓを大気と連通して加圧
膜体３による加圧を停止し、下板２を上板１から離間移
動させ、積層品（積層成形材Ｈ）を成形空間Ｓから搬出
する。

【００５９】次に、本発明の真空積層成形装置の第二の
実施の形態を図３〜図９に基づいて説明する。上述した
第一の実施の形態と同様または相当する部分については
同じ符号を付してその説明を省略する。この実施の形態
における治具８は、加圧膜体３が積層材Ｈｂを被積層材
Ｈａに対して部分的に加圧することを許容する形状に形
成されている。すなわち、この実施の形態においては、
積層成形材Ｈは、被積層材Ｈａよりも積層材Ｈｂが小さ
く、また、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂの周縁を積
層成形することなく図６に一点鎖線であるいは図７に破
線で示された内側の部分のみを積層成形するものであ
る。そのため、治具８の穴８０は、加圧膜体３が積層成
形を行う部分のみを加圧するように、図６の一点鎖線あ
るいは図７の破線とほぼ同じ大きさ・形状に形成されて
いる。そして、穴８０の周囲には、被積層材Ｈａに対し
て積層成形されない積層材Ｈｂの周縁を加圧膜体３によ
って加圧されないように加圧膜体から遮蔽する遮蔽部８
２が形成されている。したがって、積層材Ｈｂは、被積
層材Ｈａと積層成形される部分のみが治具８の穴８０を
介して加圧膜体３に対して露出されている。なお、この
実施の形態においては積層材Ｈｂの全周縁を積層成形し
ないように設定して遮蔽部８２を形成した場合によって
説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されること
なく、治具８の穴８０（すなわち、遮蔽部８２でもあ
る）の位置および大きさを変更することにより、積層材
Ｈｂの周縁の３辺、または隣接もしくは対向する２辺を
積層成形しないように設定することもできる。

【００６０】さらに、本発明の真空積層成形装置は、上
述した構成に加え、特に積層成形材Ｈの被積層材Ｈａお
よび／または積層材Ｈｂが例えばガラス板のように部分
的な加圧により破損し易い材質からなる場合、あるい
は、積層成形材Ｈの被積層材Ｈａおよび積層材Ｈｂが共
にガラス板のように剛性を有する場合には、図３の二点
鎖線または図５に示すように、上定盤１３の下面であっ
て治具８に形成された穴８０と整合する位置に、治具８
に形成された穴８０とほぼ同じ大きさおよび形状の当て
板８３を設けることが望ましい。この場合にあっては、
図３に示すように、被積層材Ｈａの、穴８０を介して加
圧膜体３により積層材Ｈｂを加圧される部分を当て板８
３が適切にバックアップ保持するため、積層成形材Ｈが
ガラス板のような破損し易い材質のものを含む場合や、
積層成形材Ｈの被積層材Ｈａおよび積層材Ｈｂが共に剛
性を有する場合であっても適切に部分的な積層成形を行
うことができる。

【００６１】また、本発明は、図６および図７に示すよ
うに、一の被積層材Ｈａに対応して積層材Ｈｂを単一の
ものとして形成することもできるが、図６および図７に
二点鎖線で示すように、積層材Ｈｂを帯状に形成し、こ
の帯状の積層材Ｈｂに対して被積層材Ｈａを所定のピッ
チで配置するように構成することもできる。

【００６２】次に、以上のように構成された第二の実施
の形態における真空積層成形装置を用いた場合により、
本発明の真空積層成形方法の第二の実施の形態について
説明する。上述した第一の実施の形態と同様または相当
する部分については同じ符号を付してその説明を省略す
る。この実施の形態における真空積層成形方法に用いら
れる治具８は、加圧膜体３が積層材Ｈｂを被積層材Ｈａ
に対して部分的に加圧することを許容するための遮蔽部
８２が形成されており、加圧膜体３により加圧された部
分のみを積層成形するものである。

【００６３】最初に、治具８は、枠体４の内側に挿入さ
れ、加圧膜体３上に載置されている。そして、上板１と
下板２とを遠退離間した状態で、被積層材Ｈａが上方で
積層材Ｈｂが下方となるように積重された積層成形材Ｈ
を治具８の穴８０および遮蔽部８２に対して整合するよ
うに収容部８１に搬入され位置決めされる（図３の状
態）。その後、上板１と下板２とを相対的に近接移動さ
せて、治具８と共に積層成形材Ｈが収容された密閉され
た成形空間Ｓを形成する。

【００６４】次いで、通路２１に接続された加圧膜体操
作手段により加圧膜体３を通気性部材２３の上面に密着
させた状態で、通路１１に接続された減圧手段により成
形空間Ｓ内を減圧する。成形空間Ｓ内が充分に減圧され
たら、通路２１に接続された加圧膜体操作手段により加
圧膜体３を成形空間Ｓ内に膨出させる。成形空間Ｓ内に
膨出した加圧膜体３は、図４に示すように、積層材Ｈｂ
の穴８０から露出している部分のみを被積層材Ｈａに対
して上定盤１３の間で加圧し、加熱手段５，６により加
熱された積層成形材Ｈのかかる部分のみを積層成形する
こととなる。なお、上定盤１３の下面に当て板８３を設
けた場合には、図５に示すように、被積層材Ｈａの、穴
８０を介して加圧膜体３により積層材Ｈｂを加圧される
部分が適切にバックアップ保持される。

【００６５】ここで、仮に、図９に示すように、積層成
形材Ｈを加圧する際に、成形空間Ｓ内の開口部７と加圧
膜体３との間に本発明による治具８が配置されていない
場合を仮定すると、減圧手段の吸引力および加圧膜体操
作手段の加圧流体源からの加圧流体の供給圧力により、
加圧膜体３は開口部７から間隙Ｆ内に折り曲げられた状
態で入り込み、開口部７を閉塞することとなる。また、
加圧膜体３は、積層成形材Ｈの周囲で上定盤１３と密着
閉塞して開口部７との間の通気性を阻害することとな
る。その結果、積層成形材Ｈの周囲に残留した空気や加
熱により積層成形材Ｈから発生する揮発性成分のガス等
が減圧手段によって開口部から吸引されるのを妨げるの
に加えて、加圧膜体３に積層成形材Ｈに対する加圧とは
直接関係ない変形が生じて劣化が促進されることとな
る。

【００６６】しかしながら、本発明では、図８に示すよ
うに、治具８の排気溝９によって開口部７と治具８の収
容部８１に収容された積層成形材Ｈの周囲とが閉塞され
ることなく連通した状態が維持され、また、開口部７と
加圧膜体３との間に治具８が位置していることによって
加圧膜体３が開口部７から間隙Ｆへと入り込んで減圧手
段の吸引を阻害したり加圧膜体３が屈曲されて損傷する
ようなことが防止されることは、上述した第一の実施の
形態の場合と同様である。したがって、積層成形材Ｈの
周囲に残留した空気や加熱により積層成形材Ｈから発生
する揮発性成分のガス等は、減圧手段によって開口部７
から吸引されてボイドを発生させる原因が確実に解消さ
れると共に、加圧膜体３の積層成形材Ｈに対する加圧と
は直接関係ない変形による劣化が生じることがない。

【００６７】次に、本発明の真空積層成形装置の第三の
実施の形態を図１０〜図１６に基づいて説明する。上述
した第一および第二の実施の形態と同様または相当する
部分については同じ符号を付してその説明を省略する。
この実施の形態における真空積層成形装置は、上記真空
積層装置の構成に加えて、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂと
の間に配置され、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとの任意の
箇所が部分的に接して積層成形されるように形成された
遮蔽フィルム１００を備えている。

【００６８】遮蔽フィルム１００は、材質あるいは厚さ
等が積層材よりも破断に対して強い例えば２０〜７０μ
ｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレート等の
ような樹脂フィルムから選択採用される。そして、この
実施の形態の場合、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂの
周縁を積層成形することなくその内側の部分のみを積層
成形するため（図７に破線で示した部分を参照）、被積
層材Ｈａと積層材Ｈｂとの間に配置される遮蔽フィルム
１００は、図１２に示すように、被積層材Ｈａと積層材
Ｈｂとを積層する箇所が部分的に接するように、積層材
Ｈｂの積層成形する内側の部分とほぼ同じ大きさおよび
形状に窓１０１が穿設された単体の窓枠状に形成された
ものからなる。なお、この実施の形態において用いられ
る治具８は、上述した第二の実施の形態で説明したよう
に、穴８０およびその周囲に遮蔽部８２が形成されたも
のが使用されている。しかしながら、治具８の穴８０の
大きさは、第二の実施の形態のように加圧膜体３が積層
成形を行う部分とほぼ同じ大きさ・形状に形成する必要
はなく、遮蔽フィルム１００の窓１０１以上の大きさ・
形状であればよい。したがって、この実施の形態では、
第一の実施の形態で説明された治具８を用いることもで
きる。

【００６９】次に、以上のように構成された第三の実施
の形態における真空積層成形装置を用いた場合により、
本発明の真空積層成形方法の第三の実施の形態について
説明する。上述した第一および第二の実施の形態と同様
または相当する部分については同じ符号を付してその説
明を省略する。この実施の形態における真空積層成形方
法においては、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとの任意の箇
所が部分的に接して積層成形されるように形成した遮蔽
フィルム１００を被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとの間に介
装した状態の積層成形材Ｈを、加圧膜体３と下板または
上板のいずれか他方の対向面との間に配置し、加圧膜体
により加圧すると共に加熱手段により積層成形材Ｈを加
熱して、積層材Ｈｂと被積層材Ｈａとが互いに接してい
る部分のみを積層成形するものである。さらに、被積層
材Ｈａと積層材Ｈｂとが部分的に積層成形された積層成
形材Ｈから遮蔽フィルム１００を除去することによっ
て、遮蔽フィルム１００が介装されて被積層材Ｈａと積
層成形されていない部分の積層材Ｈｂを、被積層材Ｈａ
と積層成形された部分の境界部Ｈｂ３で切断して、遮蔽
フィルム１００と共に取り除くものである。

【００７０】最初に、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂ
の内側の積層成形される部分に窓１０１を整合させるよ
うにして遮蔽フィルム１００を被積層材Ｈａと積層材Ｈ
ｂとの間に配置し積重する。そして、上板１と下板２と
を遠退離間した状態で、遮蔽フィルム１００が介装され
た積層成形材Ｈを被積層材Ｈａが上方で積層材Ｈｂが下
方となるように位置させ、窓１０１が治具８の穴８０と
整合するように位置決めし収容部８１に搬入する（図１
０の状態）。その後、上板１と下板２とを相対的に近接
移動させて、治具８と共に遮蔽フィルム１００が介装さ
れた積層成形材Ｈを収容した密閉された成形空間Ｓを形
成する。

【００７１】次いで、通路２１に接続された加圧膜体操
作手段により加圧膜体３を通気性部材２３の上面に密着
させた状態で、通路１１に接続された減圧手段により成
形空間Ｓ内を減圧する。成形空間Ｓ内が充分に減圧され
たら、通路２１に接続された加圧膜体操作手段により加
圧膜体３を成形空間Ｓ内に膨出させる。成形空間Ｓ内に
膨出した加圧膜体３は、図１１に示すように、治具８の
穴８０を介して積層材Ｈｂを被積層材Ｈａに対して上定
盤１３の間で加圧し、加熱手段５，６により加熱された
積層成形材Ｈを積層成形する。このとき、積層成形材Ｈ
は、遮蔽フィルム１００によって被積層材Ｈａに対して
遮蔽されている積層材Ｈｂの周縁が積層成形されず、遮
蔽フィルム１００の窓１０１を介して被積層材Ｈａと積
層材Ｈｂとの互いに接している部分のみが積層成形され
る。また、治具８の排気溝９によって開口部７と治具８
の収容部８１に収容された積層成形材Ｈの周囲とが閉塞
されることなく連通した状態が維持されると共に、開口
部７と加圧膜体３との間に治具８が位置していることに
よって加圧膜体３が開口部７から間隙Ｆへと入り込んで
減圧手段の吸引を阻害したり加圧膜体３が屈曲されて損
傷するようなことが防止されることは、上述した第一お
よび第二の実施の形態の場合と同様である。さらに、積
層成形材Ｈがガラス板のような破損し易い材質のものを
含む等の場合には、加圧膜体３により積層材Ｈｂが加圧
される部分の被積層材Ｈａを適切にバックアップ保持す
べく、上定盤１３の下面であって治具８に形成された穴
８０と整合する位置に、治具８に形成された穴８０ある
いは遮蔽フィルム１００の窓１０１とほぼ同じ大きさお
よび形状の当て板８３を設けることもできる。

【００７２】積層成形材Ｈが充分に冷却され積層成形が
完了したら、加圧膜体操作手段を大気圧に開放するよう
切り替え、減圧手段による成形空間Ｓ内の減圧を停止
し、成形空間Ｓを大気と連通して加圧膜体３による加圧
を停止し、下板２を上板１から離間移動させ、積層品
（積層成形材Ｈ）を成形空間Ｓから搬出する。

【００７３】成形空間Ｓから搬出された積層成形材Ｈ
は、図１５に示す状態となっている。そして、図１６に
示すように、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとが部分的に積
層成形された積層成形材Ｈから、積層材Ｈｂよりも破断
に対して強い遮蔽フィルム１００を引っ張って除去す
る。これにより、積層材Ｈｂの遮蔽フィルム１００が介
装されて被積層材Ｈａと積層成形されていない積層材Ｈ
ｂの余分な部分Ｈｂ１が、被積層材Ｈａと積層成形され
た部分Ｈｂ２との境界部Ｈｂ３で切断されて、遮蔽フィ
ルム１００と共に取り除かれることとなる。

【００７４】ここで、遮蔽１００フィルムは、第一およ
び第二の実施の形態における積層材Ｈｂと同様（図６お
よび図７を参照）に、図１２に示すように、一の積層成
形材Ｈまたは被積層材Ｈａに対応して、単一のものとし
て窓枠状に形成することもできるが、図１２に二点鎖線
であるいは図１３および図１４に示すように、連続した
帯状に形成されたものからなり、複数の窓１０１を配列
したものとすることもできる。さらに、この場合におい
ては、図１３に示すように、成形空間Ｓの搬送方向にお
ける長さに相当する一ピッチＰの間に、複数の被積層材
Ｈａが互いに重なることがないような間隔で、複数の窓
１０１を形成することもできる。このように構成するこ
とにより、１度の積層成形サイクルにおいて、成形空間
内に複数の被積層材Ｈａを各窓１０１と整合するように
配置し、各窓１０１を介して各被積層材Ｈａと単一また
は連続した帯状の積層材Ｈｂとの部分的な積層成形を一
度に行うことができる。

【００７５】さらにまた、図１４に示すように、一の被
積層材Ｈａに対して複数箇所に積層材Ｈｂが積層成形さ
れるように、複数の窓１０１を遮蔽フィルム１００に形
成することもできる。この場合にあっては、積層成形が
完了して余分な積層材Ｈｂ１が除去されると、一の被積
層材Ｈａに対して複数の箇所に積層材Ｈｂが飛び地のよ
うに積層成形された積層成形材Ｈを成形することができ
ることとなる。そしてこの場合にはさらに、図１４に二
点鎖線で示すように、複数の箇所に積層材Ｈｂが積層成
形された被積層材Ｈａを分割切断することにより、複数
個分の積層品を一度に積層成形することもできる。

【００７６】そして、図１２における鎖線あるいは図１
３および図１４に示すように、遮蔽フィルム１００を連
続した帯状に形成した場合には、積層成形が完了して搬
出された積層成形材Ｈから遮蔽フィルム１００をロール
（図示は省略する）に巻き取ることにより、余分な積層
材Ｈｂを連続して自動的に容易に取り除くことができ
る。

【００７７】次に、本発明の真空積層成形装置の第四の
実施の形態を図１７および図１８に基づいて説明する。
上述した第一乃至第三の実施の形態と同様または相当す
る部分については同じ符号を付してその説明を省略す
る。この実施の形態における真空積層成形装置は、概
略、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとからなる積層成形材Ｈ
を真空雰囲気下で加圧・加熱することにより積層成形す
るための真空積層成形装置であって、相対向して近接遠
退可能に設けられた上板１および下板２と、上板１また
は下板２のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体
３と、上板１と下板２とが相対的に近接した際に、その
いずれか他方の対向面と加圧膜体３との間で挟持される
ことによって積層成形材Ｈが収容される成形空間Ｓを形
成する枠体４と、積層成形材Ｈを加熱する加熱手段５，
６と、成形空間Ｓを真空引きする減圧手段と、積層成形
材Ｈを任意のタイミングで加圧すべく加圧膜体３を操作
する加圧膜体操作手段と、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂと
の間に配置され、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとの任意の
箇所が部分的に接して積層成形されるように窓１０１が
形成された遮蔽フィルム１００と、を備えたものであ
る。

【００７８】すなわち、この第四の実施の形態における
真空積層成形装置では、積層成形材Ｈの周囲の脱気が重
要視されず、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂを部分的
に積層成形する場合に、上述した実施の形態における治
具８を用いることなく、窓１０１が形成された遮蔽フィ
ルム１００を用いるものである。積層材Ｈｂよりも破断
に対して強い材質や厚さの遮蔽フィルム１００を選択採
用し、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂの積層成形され
る部分に応じて窓１０１を形成することは第三の実施の
形態と同様である。また、一の被積層材Ｈａに対して、
単体または連続した帯状の積層材Ｈｂを用い、さらに、
単一の窓１０１が形成された単体の窓枠状または複数の
窓１０１が配列形成された連続した帯状の遮蔽フィルム
１００を用いることができることも第三の実施の形態と
同様である。

【００７９】次に、以上のように構成された第四の実施
の形態における真空積層成形装置を用いた場合により、
本発明の真空積層成形方法の第四の実施の形態について
説明する。上述した第一乃至第三の実施の形態と同様ま
たは相当する部分については同じ符号を付してその説明
を省略する。この実施の形態における真空積層成形方法
は、概略、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとからなる積層成
形材Ｈを真空雰囲気下で加圧・加熱して部分的に積層成
形するための真空積層成形方法であって、被積層材Ｈａ
と積層材Ｈｂとの任意の箇所が部分的に接して積層成形
されるように形成した遮蔽フィルム１００が被積層材Ｈ
ａと積層材Ｈｂとの間に介装された状態の積層成形材Ｈ
を、相対向して近接遠退可能に配設された上板１または
下板２のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体３
と下板２または上板１のいずれか他方の対抗面の間に配
置し、上板１と下板２とを近接させてそのいずれか他方
の対向面と加圧膜体３とこれらの間で挟持された枠体４
との内部に遮蔽フィルム１００が介装された積層成形材
Ｈを収容した成形空間Ｓを形成し、形成された成形空間
Ｓ内の容積を変化させることなく真空引きし、その後、
積層成形材Ｈを加圧膜体３により加圧すると共に加熱手
段５，６により積層成形材Ｈを加熱して、積層材Ｈｂと
被積層材Ｈａとが互いに接している部分のみを積層成形
するものである。そして、被積層材Ｈａと積層材Ｈｂと
が部分的に積層成形された積層成形材Ｈから遮蔽フィル
ム１００を除去することによって、遮蔽フィルム１００
が介装されて被積層材Ｈａと積層成形されていない部分
の積層材Ｈｂを、被積層材Ｈａと積層成形された部分の
境界部Ｈｂ３から切断して、遮蔽フィルム１００と共に
取り除くものである。さらに、遮蔽フィルム１００を連
続した帯状に形成した場合には、被積層材Ｈａと積層材
Ｈｂとが部分的に積層成形された積層成形材Ｈから遮蔽
フィルム１００を順次連続して取り除くことによって、
境界部から順次連続して切断して、被積層材Ｈａと積層
成形されていない部分の積層材Ｈｂを遮蔽フィルム１０
０と共に取り除くものである。

【００８０】最初に、被積層材Ｈａに対して積層材Ｈｂ
の内側の積層成形される部分に窓１０１を整合させるよ
うにして遮蔽フィルム１００を被積層材Ｈａと積層材Ｈ
ｂとの間に配置し積重する。そして、上板１と下板２と
を遠退離間した状態で、遮蔽フィルム１００が介装され
た積層成形材Ｈを被積層材Ｈａが上方で積層材Ｈｂが下
方となるように位置させ、上定盤１３と加圧膜体との間
の枠体４内に搬入する（図１７の状態）。その後、上板
１と下板２とを相対的に近接移動させて、遮蔽フィルム
１００が介装された積層成形材Ｈを収容した密閉された
成形空間Ｓを形成する。

【００８１】次いで、通路２１に接続された加圧膜体操
作手段により加圧膜体３を通気性部材２３の上面に密着
させた状態で、通路１１に接続された減圧手段により成
形空間Ｓ内を減圧する。成形空間Ｓ内が充分に減圧され
たら、通路２１に接続された加圧膜体操作手段により加
圧膜体３を成形空間Ｓ内に膨出させる。成形空間Ｓ内に
膨出した加圧膜体３は、図１８に示すように、積層材Ｈ
ｂを被積層材Ｈａに対して上定盤１３の間で加圧し、加
熱手段５，６により加熱された積層成形材Ｈを積層成形
する。このとき、積層成形材Ｈは、遮蔽フィルム１００
によって被積層材Ｈａに対して遮蔽されている積層材Ｈ
ｂの周縁が積層成形されず、遮蔽フィルム１００の窓１
０１を介して被積層材Ｈａと積層材Ｈｂとの互いに接し
ている部分のみが積層成形されることは、上述した第三
の実施の形態の場合と同様である。積層成形材Ｈが充分
に冷却され積層成形が完了したら、加圧膜体操作手段を
大気圧に開放するよう切り替え、減圧手段による成形空
間Ｓ内の減圧を停止し、成形空間Ｓを大気と連通して加
圧膜体３による加圧を停止し、下板２を上板１から離間
移動させ、積層成形材Ｈを成形空間Ｓから搬出する。

【００８２】成形空間Ｓから搬出された積層成形材Ｈか
ら、単一の窓１０１が形成された単体の窓枠状または複
数の窓１０１が配列形成された連続した帯状の遮蔽フィ
ルム１００を引っ張って除去することにより、単体また
は連続した帯状の積層材Ｈｂの遮蔽フィルム１００が介
装されて被積層材Ｈａと積層成形されていない積層材Ｈ
ｂの余分な部分Ｈｂ１が、被積層材Ｈａと積層成形され
た部分Ｈｂ２との境界部Ｈｂ３で切断されて、遮蔽フィ
ルム１００と共に取り除かれることとなる。

【００８３】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、相対向して近
接遠退可能に設けられた上板および下板と、上板または
下板のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体と、
上板と下板とが相対的に近接した際に、そのいずれか他
方の対向面と加圧膜体との間で挟持されることによって
成形空間を形成する枠体と、積層成形材を加熱する加熱
手段と、成形空間を真空引きする減圧手段が接続された
枠体の内周縁に沿って開口する開口部と、積層成形材を
任意のタイミングで加圧すべく加圧膜体を操作する加圧
膜体操作手段と、減圧手段が接続された開口部に加圧膜
体が入り込まないように少なくとも減圧手段が接続され
た開口部と加圧膜体との間に位置し、加圧膜体により積
層成形材を加圧する際に成形空間内に収容された積層成
形材の周囲と減圧手段が接続された開口部とを連通する
連通手段を有する治具と、を備えたことにより、積層成
形中に加圧膜体が上板または下板のいずれか他方の対向
面に密着し閉塞することを回避することができ、したが
って、成形材の間および周囲に、ボイドを発生させるこ
とがないように吸引作用を確実に及ぼすことができる真
空積層成形装置を提供することができる。

【００８４】請求項２の発明によれば、請求項１に記載
の発明において、治具は、枠体内に挿入され積層成形材
を収容することが可能な枠状に形成され、連通手段は、
加圧膜体により積層成形材を加圧する際に上板または下
板のいずれか他方の対向面と当接される面に、枠状の治
具の内側と外側とを連通するように形成された排気溝か
らなることにより、排気溝が連通手段として機能して、
成形材の周囲全体に真空引きの作用が及ぼされるため、
簡単な構成で請求項１と同じの効果を得ることができる
真空積層成形装置を提供することができる。

【００８５】請求項３の発明によれば、請求項２に記載
の発明において、治具は、加圧膜体が積層成形材を部分
的に加圧することを許容する形状に形成されたものであ
ることにより、積層成形材の任意の部分のみを加圧膜体
によって部分的に加圧することができる真空積層成形装
置を提供することができる。

【００８６】請求項４の発明によれば、請求項３に記載
の発明において、加圧膜体が積層材を被積層材に対して
部分的に加圧することを許容するように形成された治具
の形状に応じた形状を有する当て板を、上板または下板
のいずれか他方の対向面に設けたことにより、加圧膜体
によって治具を介して任意の部分のみが部分的に加圧さ
れる積層成形材の反対側が当て板によって保持されるた
め、積層成形材が部分的な加圧により破損し易い材質を
含む場合であっても破損することなく、かかる部分だけ
を確実に加圧することができる真空積層成形装置を提供
することができる。

【００８７】請求項５の発明によれば、請求項１〜４の
いずれかに記載の発明において、被積層材と積層材との
間に配置され、被積層材と積層材との任意の箇所が部分
的に接して積層成形されるように形成された遮蔽フィル
ムを備えたことにより、加圧膜体により加圧されると、
積層成形材は、遮蔽フィルムによって遮蔽されている部
分の被積層材と積層材とが積層成形されず、被積層材と
積層材との任意の箇所のみを部分的に積層成形すること
ができる真空積層成形装置を提供することができる。

【００８８】また、請求項６の発明によれば、相対向し
て近接遠退可能に設けられた上板および下板と、上板ま
たは下板のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体
と、上板と下板とが相対的に近接した際に、そのいずれ
か他方の対向面と加圧膜体との間で挟持されることによ
って積層成形材が収容される成形空間を形成する枠体
と、積層成形材を加熱する加熱手段と、成形空間を真空
引きする減圧手段と、積層成形材を任意のタイミングで
加圧すべく加圧膜体を操作する加圧膜体操作手段と、被
積層材と積層材との間に配置され、被積層材と積層材と
の任意の箇所が部分的に接して積層成形されるように形
成された遮蔽フィルムと、を備えたことにより、加圧膜
体により加圧されると、積層成形材は、遮蔽フィルムに
よって遮蔽されている部分の被積層材と積層材とが積層
成形されず、被積層材と積層材との任意の箇所のみを部
分的に積層成形することができる真空積層成形装置を提
供することができる。

【００８９】請求項７の発明によれば、請求項５または
６のいずれかに記載の発明において、遮蔽フィルムが、
積層材よりも破断に対して強く、窓枠状に形成されたも
のからなることにより、積層成形が完了して搬出された
積層成形材から遮蔽フィルムを引っ張って除去すること
により、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形
されていない部分の積層材を、被積層材と積層成形され
た部分の境界部から切断して遮蔽フィルムと共に容易に
取り除くことができる真空積層成形装置を提供すること
ができる。

【００９０】請求項８の発明によれば、請求項５または
６のいずれかに記載の発明において、遮蔽フィルムが、
連続した帯状に形成されたものからなり、積層材よりも
破断に対して強く、複数の窓が配列されたものからなる
ことにより、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層
成形されていない部分の積層材を、被積層材と積層成形
された部分の境界部から順次連続して切断し、遮蔽フィ
ルムと共に容易に取り除くことができる真空積層成形装
置を提供することができる。

【００９１】一方、請求項９の発明によれば、被積層材
と積層材とからなる積層成形材を真空雰囲気下で加圧・
加熱して部分的に積層成形するための真空積層成形方法
であって、相対向して近接遠退可能に配設された上板ま
たは下板のいずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体
と下板または上板のいずれか他方の対抗面との間に積層
成形材を配置すると共に、加圧膜体により積層成形材を
加圧する際に、上板と下板とを近接させてそのいずれか
他方の対向面と加圧膜体との間で挟持することによって
成形空間を形成する枠体の内周縁に沿って開口し成形空
間を真空引きする減圧手段が接続された開口部と積層成
形材の周囲とを連通する連通手段が設けられた治具を、
減圧手段が接続された開口部に加圧膜体が入り込まない
ように少なくとも減圧手段の開口部と加圧膜体との間に
配置し、上板と下板とを近接させてそのいずれか他方の
対向面と加圧膜体とこれらの間で挟持された枠体との内
部に治具と共に積層成形材が収容された成形空間を形成
し、形成された成形空間内の容積を変化させることなく
真空引きし、その後、積層成形材の周囲から、治具の連
通手段および枠体の内周縁に沿って開口する開口部を介
して、開口部に接続された減圧手段により脱気させつ
つ、積層成形材を加圧膜体により加圧すると共に加熱手
段により積層成形材を加熱して、積層成形材を積層成形
することにより、積層成形中に加圧膜体が上板または下
板のいずれか他方の対向面に密着し閉塞することを回避
することができ、したがって、成形材の間および周囲
に、ボイドを発生させることがないように吸引作用を確
実に成形空間全体にわたって均等に及ぼすことができる
真空積層成形方法を提供することができる。

【００９２】請求項１０の発明によれば、請求項９に記
載の発明において、少なくとも減圧手段の開口部と加圧
膜体との間に配置される治具は、加圧膜体が積層材を被
積層材に対して部分的に加圧することを許容する形状に
形成されていることにより、加圧膜体によって積層成形
材を部分的に加圧することができ、したがって、積層成
形材の任意の部分のみを積層成形することができる真空
積層成形方法を提供することができる。

【００９３】請求項１１の発明によれば、請求項９また
は１０のいずれかに記載の発明において、被積層材と積
層材との任意の箇所が部分的に接して積層成形されるよ
うに形成した遮蔽フィルムを、被積層材と積層材との間
に介装した状態で、積層成形材を加圧膜体と下板または
上板のいずれか他方の対向面との間に配置し、加圧膜体
により加圧すると共に加熱手段により積層成形材を加熱
することにより、積層材と被積層材とが互いに接してい
る部分のみを積層成形することができる真空積層成形方
法を提供することができる。

【００９４】また、請求項１２の発明によれば、相対向
して近接遠退可能に配設された上板または下板のいずれ
か一方の対向面に設けられた加圧膜体と下板または上板
のいずれか他方の対抗面の間に、被積層材と積層材との
任意の箇所が部分的に接して積層成形されるように形成
した遮蔽フィルムを被積層材と積層材との間に介装した
状態で積層成形材を配置し、上板と下板とを近接させて
そのいずれか他方の対向面と加圧膜体とこれらの間で挟
持された枠体との内部に積層成形材が収容された成形空
間を形成し、形成された成形空間内の容積を変化させる
ことなく真空引きし、その後、積層成形材を加圧膜体に
より加圧すると共に加熱手段により積層成形材を加熱す
ることにおり、積層材と被積層材とが互いに接している
部分のみを積層成形することができる真空積層成形方法
を提供することができる。

【００９５】請求項１３の発明によれば、請求項１１ま
たは１２のいずれかに記載の発明において、遮蔽フィル
ムを積層材よりも破断に対して強いものに選択すると共
に窓枠状に形成し、被積層材と積層材とが部分的に積層
成形された積層成形材から遮蔽フィルムを除去すること
によって、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成
形されていない部分の積層材を、被積層材と積層成形さ
れた部分の境界部から切断して遮蔽フィルムと共に容易
に取り除くことができる真空積層成形方法を提供するこ
とができる。

【００９６】請求項１４の発明によれば、請求項１１ま
たは１２のいずれかに記載の発明において、遮蔽フィル
ムを連続した帯状に形成すると共に積層材よりも破断に
対して強いものに選択し、さらに遮蔽フィルムに複数の
窓を配列し、被積層材と積層材とが部分的に積層成形さ
れた積層成形材から遮蔽フィルムを順次連続して除去す
ることによって、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と
積層成形されていない部分の積層材を、被積層材と積層
成形された部分の境界部から順次連続して切断して遮蔽
フィルムと共に容易に連続して取り除くことができる真
空積層成形方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空積層成形装置の第一の実施の形態
を示す断面図である。

【図２】図１における真空積層成形装置の積層成形を行
う状態を示す説明図である。

【図３】本発明の真空積層成形装置の第二の実施の形態
を示す断面図である。

【図４】図３における真空積層成形装置の積層成形を行
う状態を示す説明図である。

【図５】図３における真空積層成形装置の当て板を設け
た場合の積層成形を行う状態を示す説明図である。

【図６】図３における真空積層成形装置に用いられる治
具と積層成形材の配置を示す斜視図である。

【図７】被積層材と積層材とを積層成形する部分を示し
た積層成形材の正面図である。

【図８】図３における真空積層成形装置の部分拡大図で
ある。

【図９】図８との比較例であって、本発明の真空積層成
形装置に用いられる治具がない場合を仮定し、減圧手段
の真空引き作用によって開口部に加圧膜体が入り込んだ
状態を示すを示す説明図である。

【図１０】本発明の真空積層成形装置の第三の実施の形
態を示す断面図である。

【図１１】図１０における真空積層成形装置の積層成形
を行う状態を示す説明図である。

【図１２】積層成形材と遮蔽フィルムの実施の一形態の
配置を示す斜視図である。

【図１３】積層成形材と遮蔽フィルムの実施の別の形態
の配置を示す斜視図である。

【図１４】積層成形材と遮蔽フィルムの実施のさらに別
の形態の配置を示す斜視図である。

【図１５】遮蔽フィルムが介装された状態で積層成形さ
れた積層成形材の部分断面図である。

【図１６】図１５の状態から遮蔽フィルムを除去するこ
とによって、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層
成形されていない部分の積層材が、被積層材と積層成形
された部分の境界部から切断されて遮蔽フィルムと共に
取り除かれる状態を示す説明図である。

【図１７】本発明の真空積層成形装置の第四の実施の形
態を示す断面図である。

【図１８】図１７における真空積層成形装置の積層成形
を行う状態を示す説明図である。

【符号の説明】 Ｈ 積層成形材 Ｈａ 被積層材 Ｈｂ 積層材 Ｈｂ１ 被積層材と積層成形されていない部分の積層材 Ｈｂ２ 被積層材と積層成形された部分の積層材 Ｈｂ３ 積層材の被積層材と積層成形されていない部分
と被積層材と積層成形された部分の境界部 Ｓ 成形空間 １ 上板 ２ 下板 ３ 加圧膜体 ４ 枠体 ５，６ ヒータ（加熱手段） ７ 開口部 ８ 治具 ９ 排気溝（連通手段） ８０ 穴 ８１ 収容部 ８２ 遮蔽部 ８３ 当て板 １００ 遮蔽フィルム １０１ 窓

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被積層材と積層材とからなる積層成形材
   を真空雰囲気下で加圧・加熱することにより積層成形す
   るための真空積層成形装置であって、 相対向して近接遠退可能に設けられた上板および下板
   と、 上板または下板のいずれか一方の対向面に設けられた加
   圧膜体と、 上板と下板とが相対的に近接した際に、そのいずれか他
   方の対向面と加圧膜体との間で挟持されることによって
   成形空間を形成する枠体と、 積層成形材を加熱する加熱手段と、 成形空間を真空引きする減圧手段が接続された枠体の内
   周縁に沿って開口する開口部と、 積層成形材を任意のタイミングで加圧すべく加圧膜体を
   操作する加圧膜体操作手段と、 減圧手段が接続された開口部と加圧膜体との間に位置
   し、加圧膜体により積層成形材を加圧する際に成形空間
   内に収容された積層成形材の周囲と減圧手段が接続され
   た開口部とを連通する連通手段を有する治具と、を備え
   たことを特徴とする真空積層成形装置。
2. 【請求項２】 治具は、枠体内に挿入され積層成形材を
   収容することが可能な枠状に形成され、連通手段は、加
   圧膜体により積層成形材を加圧する際に上板または下板
   のいずれか他方の対向面と当接される面に、枠状の治具
   の内側と外側とを連通するように形成された排気溝から
   なることを特徴とする請求項１に記載の真空積層成形装
   置。
3. 【請求項３】 治具は、加圧膜体が積層成形材を部分的
   に加圧することを許容する形状に形成されたものである
   ことを特徴とする請求項２に記載の真空積層成形装置。
4. 【請求項４】 加圧膜体が積層材を被積層材に対して部
   分的に加圧することを許容するように形成された治具の
   形状に応じた形状を有する当て板を、上板または下板の
   いずれか他方の対向面に設けたことを特徴とする請求項
   ３に記載の真空積層成形装置。
5. 【請求項５】 被積層材と積層材との間に配置され、被
   積層材と積層材との任意の箇所が部分的に接して積層成
   形されるように形成された遮蔽フィルムを備えたことを
   特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空積層成
   形装置。
6. 【請求項６】 被積層材と積層材とからなる積層成形材
   を真空雰囲気下で加圧・加熱することにより積層成形す
   るための真空積層成形装置であって、 相対向して近接遠退可能に設けられた上板および下板
   と、 上板または下板のいずれか一方の対向面に設けられた加
   圧膜体と、 上板と下板とが相対的に近接した際に、そのいずれか他
   方の対向面と加圧膜体との間で挟持されることによって
   積層成形材が収容される成形空間を形成する枠体と、 積層成形材を加熱する加熱手段と、 成形空間を真空引きする減圧手段と、 積層成形材を任意のタイミングで加圧すべく加圧膜体を
   操作する加圧膜体操作手段と、 被積層材と積層材との間に配置され、被積層材と積層材
   との任意の箇所が部分的に接して積層成形されるように
   形成された遮蔽フィルムと、を備えたことを特徴とする
   真空積層成形装置。
7. 【請求項７】 遮蔽フィルムは、積層材よりも破断に対
   して強く、窓枠状に形成されたものからなることを特徴
   とする請求項５または６のいずれかに記載の真空積層成
   形装置。
8. 【請求項８】 遮蔽フィルムは、連続した帯状に形成さ
   れたものからなり、積層材よりも破断に対して強く、複
   数の窓が配列されたものからなることを特徴とする請求
   項５または６のいずれかに記載の真空積層成形装置。
9. 【請求項９】 被積層材と積層材とからなる積層成形材
   を真空雰囲気下で加圧・加熱して部分的に積層成形する
   ための真空積層成形方法であって、 相対向して近接遠退可能に配設された上板または下板の
   いずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体と下板また
   は上板のいずれか他方の対抗面との間に積層成形材を配
   置すると共に、 加圧膜体により積層成形材を加圧する際に、上板と下板
   とを近接させてそのいずれか他方の対向面と加圧膜体と
   の間で挟持することによって成形空間を形成する枠体の
   内周縁に沿って開口し成形空間を真空引きする減圧手段
   が接続された開口部と積層成形材の周囲とを連通する連
   通手段が設けられた治具を、減圧手段の開口部と加圧膜
   体との間に配置し、 上板と下板とを近接させてそのいずれか他方の対向面と
   加圧膜体とこれらの間で挟持された枠体との内部に治具
   と共に積層成形材が収容された成形空間を形成し、 形成された成形空間内の容積を変化させることなく真空
   引きし、 その後、積層成形材の周囲から、治具の連通手段および
   枠体の内周縁に沿って開口する開口部を介して、開口部
   に接続された減圧手段により脱気させつつ、積層成形材
   を加圧膜体により加圧すると共に加熱手段により積層成
   形材を加熱して、積層成形材を積層成形することを特徴
   とする真空積層成形方法。
10. 【請求項１０】 少なくとも減圧手段の開口部と加圧膜
    体との間に配置される治具は、加圧膜体が積層材を被積
    層材に対して部分的に加圧することを許容する形状に形
    成されており、加圧膜体により加圧された部分のみを積
    層成形することを特徴とする請求項９に記載の真空積層
    成形方法。
11. 【請求項１１】 被積層材と積層材との任意の箇所が部
    分的に接して積層成形されるように形成した遮蔽フィル
    ムを、被積層材と積層材との間に介装した状態で、積層
    成形材を加圧膜体と下板または上板のいずれか他方の対
    向面との間に配置し、加圧膜体により加圧すると共に加
    熱手段により積層成形材を加熱して、積層材と被積層材
    とが互いに接している部分のみを積層成形することを特
    徴とする請求項９または１０のいずれかに記載の真空積
    層成形方法。
12. 【請求項１２】 被積層材と積層材とからなる積層成形
    材を真空雰囲気下で加圧・加熱して部分的に積層成形す
    るための真空積層成形方法であって、 相対向して近接遠退可能に配設された上板または下板の
    いずれか一方の対向面に設けられた加圧膜体と下板また
    は上板のいずれか他方の対抗面の間に、被積層材と積層
    材との任意の箇所が部分的に接して積層成形されるよう
    に形成した遮蔽フィルムを被積層材と積層材との間に介
    装した状態で積層成形材を配置し、 上板と下板とを近接させてそのいずれか他方の対向面と
    加圧膜体とこれらの間で挟持された枠体との内部に積層
    成形材が収容された成形空間を形成し、 形成された成形空間内の容積を変化させることなく真空
    引きし、 その後、積層成形材を加圧膜体により加圧すると共に加
    熱手段により積層成形材を加熱して、 積層材と被積層材とが互いに接している部分のみを積層
    成形することを特徴とする真空積層成形方法。
13. 【請求項１３】 遮蔽フィルムを積層材よりも破断に対
    して強いものに選択すると共に窓枠状に形成し、 被積層材と積層材とが部分的に積層成形された積層成形
    材から遮蔽フィルムを除去することによって、遮蔽フィ
    ルムが介装されて被積層材と積層成形されていない部分
    の積層材を、被積層材と積層成形された部分の境界部か
    ら切断して、遮蔽フィルムと共に取り除くことを特徴と
    する請求項１１または１２のいずれかに記載の真空積層
    成形方法。
14. 【請求項１４】 遮蔽フィルムを連続した帯状に形成す
    ると共に積層材よりも破断に対して強いものに選択し、
    さらに遮蔽フィルムに複数の窓を配列し、 被積層材と積層材とが部分的に積層成形された積層成形
    材から遮蔽フィルムを順次連続して除去することによっ
    て、遮蔽フィルムが介装されて被積層材と積層成形され
    ていない部分の積層材を、被積層材と積層成形された部
    分の境界部から順次連続して切断して、遮蔽フィルムと
    共に取り除くことを特徴とする請求項１１または１２の
    いずれかに記載の真空積層成形方法。