JP2000167766A - 研磨装置 - Google Patents
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- JP2000167766A JP2000167766A JP34314698A JP34314698A JP2000167766A JP 2000167766 A JP2000167766 A JP 2000167766A JP 34314698 A JP34314698 A JP 34314698A JP 34314698 A JP34314698 A JP 34314698A JP 2000167766 A JP2000167766 A JP 2000167766A
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- polishing
- platen
- curvature
- surface plate
- polishing apparatus
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種部品の曲率面を研磨加工するための定盤
を容易に得ることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】 定盤３０は、研磨装置４０に取付けられ
ていない状態で、平板状に形成されている。定盤３０の
背面には、取付け部３２が設けられ、研磨装置４０の連
結部材４４に連結され、引っ張り機構によって引っ張ら
れる。研磨装置４０には、連結部材４４の両側に押圧部
材４６Ａ、４６Ｂが設けられている。引っ張り機構によ
り、連結部材４４を介して定盤３０の中央部が引っ張り
応力を受けた場合に、この引っ張り応力に抗して、各押
圧部材４６Ａ、４６Ｂが、定盤３０の周縁部の変位を規
制することにより、定盤３０を湾曲状に変形でき、研磨
面３０Ａが一定の曲率を有する凹面状に変形することが
できる。この研磨面３０Ａにより、磁気ヘッドスライダ
の凸部の曲率面を研磨する。
を容易に得ることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】 定盤３０は、研磨装置４０に取付けられ
ていない状態で、平板状に形成されている。定盤３０の
背面には、取付け部３２が設けられ、研磨装置４０の連
結部材４４に連結され、引っ張り機構によって引っ張ら
れる。研磨装置４０には、連結部材４４の両側に押圧部
材４６Ａ、４６Ｂが設けられている。引っ張り機構によ
り、連結部材４４を介して定盤３０の中央部が引っ張り
応力を受けた場合に、この引っ張り応力に抗して、各押
圧部材４６Ａ、４６Ｂが、定盤３０の周縁部の変位を規
制することにより、定盤３０を湾曲状に変形でき、研磨
面３０Ａが一定の曲率を有する凹面状に変形することが
できる。この研磨面３０Ａにより、磁気ヘッドスライダ
の凸部の曲率面を研磨する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種部品の曲率面
を研磨するための研磨装置に関する。
を研磨するための研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えばハードディスクドライ
ブやリムーバブルタイプのフロッピディスクドライブ等
の各種ディスクドライブにおいて、記録ディスク（記録
媒体）への情報の記録／再生を行うための磁気ヘッド
を、磁気ヘッドアッセンブリ（ＨＧＡ）に搭載し、磁気
ヘッドアッセンブリの作動によって磁気ヘッドを記録デ
ィスクの記録面上で走行するようにしたものが知られて
いる。
ブやリムーバブルタイプのフロッピディスクドライブ等
の各種ディスクドライブにおいて、記録ディスク（記録
媒体）への情報の記録／再生を行うための磁気ヘッド
を、磁気ヘッドアッセンブリ（ＨＧＡ）に搭載し、磁気
ヘッドアッセンブリの作動によって磁気ヘッドを記録デ
ィスクの記録面上で走行するようにしたものが知られて
いる。
【０００３】すなわち、磁気ヘッドアッセンブリでは、
記録ディスクの記録面に対し、接離方向に揺動可能に支
持されたアームを有し、このアームの先端に、磁気ヘッ
ドスライダを設け、この磁気ヘッドスライダ（浮上スラ
イダ）に磁気ヘッドを取付けたものである。そして、記
録ディスクの回転によって生じる気流により、磁気ヘッ
ドスライダが記録ディスクの記録面上で微小間隔をもっ
て浮上し、記録ディスクの記録面と磁気ヘッドとの良好
な接触圧を保持しながら、情報の記録または再生を行う
ようになっている。なお、通常は、記録ディスクの両面
にそれぞれ磁気ヘッドが配置され、記録ディスクの両面
への記録、再生を行うものが主流である。
記録ディスクの記録面に対し、接離方向に揺動可能に支
持されたアームを有し、このアームの先端に、磁気ヘッ
ドスライダを設け、この磁気ヘッドスライダ（浮上スラ
イダ）に磁気ヘッドを取付けたものである。そして、記
録ディスクの回転によって生じる気流により、磁気ヘッ
ドスライダが記録ディスクの記録面上で微小間隔をもっ
て浮上し、記録ディスクの記録面と磁気ヘッドとの良好
な接触圧を保持しながら、情報の記録または再生を行う
ようになっている。なお、通常は、記録ディスクの両面
にそれぞれ磁気ヘッドが配置され、記録ディスクの両面
への記録、再生を行うものが主流である。
【０００４】図３は、磁気ヘッドスライダの媒体対向面
の形状を示す斜視図である。図示のように、磁気ヘッド
スライダ２の媒体対向面４は、中央に一定の幅を有する
溝状に形成された凹部４Ａと、その両側にほぼレール状
に形成された一対の凸部４Ｂとを有し、凹部４Ａと凸部
４Ｂの幅や形状等によって、媒体対向面４と記録ディス
クの記録面との気圧を調整し、記録、再生時における磁
気ヘッドスライダ２と記録ディスクの記録面と間隔を最
適に制御するようになっている。そして、このような磁
気ヘッドスライダ２の凸部４Ｂは、記録ディスクの記録
面と円滑な摺接状態を得て、記録ディスクの損傷や浮上
特性の安定化を図るため、図４に示すように、一定の曲
率を有する円弧凸状に形成され、かつ、その表面にラッ
プ等による研磨加工を施すようになっている。
の形状を示す斜視図である。図示のように、磁気ヘッド
スライダ２の媒体対向面４は、中央に一定の幅を有する
溝状に形成された凹部４Ａと、その両側にほぼレール状
に形成された一対の凸部４Ｂとを有し、凹部４Ａと凸部
４Ｂの幅や形状等によって、媒体対向面４と記録ディス
クの記録面との気圧を調整し、記録、再生時における磁
気ヘッドスライダ２と記録ディスクの記録面と間隔を最
適に制御するようになっている。そして、このような磁
気ヘッドスライダ２の凸部４Ｂは、記録ディスクの記録
面と円滑な摺接状態を得て、記録ディスクの損傷や浮上
特性の安定化を図るため、図４に示すように、一定の曲
率を有する円弧凸状に形成され、かつ、その表面にラッ
プ等による研磨加工を施すようになっている。
【０００５】図５は、以上のような磁気ヘッドスライダ
２の凸部４Ｂに曲率面に研磨を施すための定盤とその作
製工程を示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。ま
た、図６も同様に、磁気ヘッドスライダ２の凸部４Ｂに
曲率面に研磨を施すための他の定盤とその作製工程を示
す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。図５に示すもの
は、ラップ式定盤の例であり、定盤１０を回転させると
ともに、フェージングユニット１２にバイト１４を取付
け、図中矢線ａ、ｂ方向にフェージングユニット１２を
制御することにより、任意の曲率凹面１６を得るもので
ある。また、図６に示すものは、固定式定盤の例であ
り、定盤２０にＲマスタ２２を摺り合わせ、Ｒマスタ２
２の曲率面２４により、定盤２０の曲率凹面２６を得る
ものである。
２の凸部４Ｂに曲率面に研磨を施すための定盤とその作
製工程を示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。ま
た、図６も同様に、磁気ヘッドスライダ２の凸部４Ｂに
曲率面に研磨を施すための他の定盤とその作製工程を示
す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。図５に示すもの
は、ラップ式定盤の例であり、定盤１０を回転させると
ともに、フェージングユニット１２にバイト１４を取付
け、図中矢線ａ、ｂ方向にフェージングユニット１２を
制御することにより、任意の曲率凹面１６を得るもので
ある。また、図６に示すものは、固定式定盤の例であ
り、定盤２０にＲマスタ２２を摺り合わせ、Ｒマスタ２
２の曲率面２４により、定盤２０の曲率凹面２６を得る
ものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図５に示す定盤作製方法では、制御機構をもつフェー
ジングユニット１２が高価であるという問題がある。ま
た、上述した図６に示す定盤作製方法では、定盤の形状
を得るのに時間がかかり、またＲマスタ２２における曲
率の管理が困難であるという問題がなる。
た図５に示す定盤作製方法では、制御機構をもつフェー
ジングユニット１２が高価であるという問題がある。ま
た、上述した図６に示す定盤作製方法では、定盤の形状
を得るのに時間がかかり、またＲマスタ２２における曲
率の管理が困難であるという問題がなる。
【０００７】そこで本発明の目的は、各種部品の曲率面
を研磨加工するための定盤を容易に得ることができる研
磨装置を提供することにある。
を研磨加工するための定盤を容易に得ることができる研
磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、部品の曲率面を研磨する研磨装置において、
前記部品の曲率面を研磨するための定盤と、前記定盤に
一定の応力を付与することにより、前記定盤の研磨面を
前記部品の曲率面に対応する曲率面形状に変形させる変
形手段とを有し、前記変形手段によって曲率面形状に変
形された定盤の研磨面により、前記部品の曲率面を研磨
するようにしたことを特徴とする。
するため、部品の曲率面を研磨する研磨装置において、
前記部品の曲率面を研磨するための定盤と、前記定盤に
一定の応力を付与することにより、前記定盤の研磨面を
前記部品の曲率面に対応する曲率面形状に変形させる変
形手段とを有し、前記変形手段によって曲率面形状に変
形された定盤の研磨面により、前記部品の曲率面を研磨
するようにしたことを特徴とする。
【０００９】本発明の研磨装置において、定盤は、応力
を受けない状態において、例えば平坦な研磨面を有して
いる。そして、部品の研磨作業を行う場合には、変形手
段の作動により応力が付与されることにより、定盤が湾
曲変形し、その研磨面が部品の曲率面形状に対応する曲
率を有する凹面形状に変形する。そこで、この凹面形状
の研磨面を用いて、部品の曲率面の研磨作業を行うこと
ができる。したがって、定盤の一定の曲率を有する研磨
面を容易に得ることができ、また、平時における研磨面
の管理が容易となるので、各種部品の曲率面の研磨加工
を低コストで行うことができる。
を受けない状態において、例えば平坦な研磨面を有して
いる。そして、部品の研磨作業を行う場合には、変形手
段の作動により応力が付与されることにより、定盤が湾
曲変形し、その研磨面が部品の曲率面形状に対応する曲
率を有する凹面形状に変形する。そこで、この凹面形状
の研磨面を用いて、部品の曲率面の研磨作業を行うこと
ができる。したがって、定盤の一定の曲率を有する研磨
面を容易に得ることができ、また、平時における研磨面
の管理が容易となるので、各種部品の曲率面の研磨加工
を低コストで行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明による研磨装置を磁
気ヘッドスライダ用の研磨装置に適用した実施の形態に
ついて説明する。図１は、本例による磁気ヘッドスライ
ダの研磨装置の構成を示す側面図であり、図２は、図１
に示す研磨装置の定盤を示す側面図である。図２に示す
ように、本例の研磨装置４０に用いる定盤３０は、研磨
装置４０に取付けられていない状態で、平板状に形成さ
れたものである。そして、この定盤３０の表面側が研磨
面３０Ａとなっている。なお、磁気ヘッドスライダの研
磨作業に際して、定盤３０の研磨面３０Ａは、所定精度
の真直度を有する平面状に管理されているものとする。
また、定盤３０の背面側には、その中央部（第１の部
位）に取付け部３２が突設されている。この取付け部３
２には、後述する結合軸３４を取り付けるための取付け
孔３２Ａが設けられている。
気ヘッドスライダ用の研磨装置に適用した実施の形態に
ついて説明する。図１は、本例による磁気ヘッドスライ
ダの研磨装置の構成を示す側面図であり、図２は、図１
に示す研磨装置の定盤を示す側面図である。図２に示す
ように、本例の研磨装置４０に用いる定盤３０は、研磨
装置４０に取付けられていない状態で、平板状に形成さ
れたものである。そして、この定盤３０の表面側が研磨
面３０Ａとなっている。なお、磁気ヘッドスライダの研
磨作業に際して、定盤３０の研磨面３０Ａは、所定精度
の真直度を有する平面状に管理されているものとする。
また、定盤３０の背面側には、その中央部（第１の部
位）に取付け部３２が突設されている。この取付け部３
２には、後述する結合軸３４を取り付けるための取付け
孔３２Ａが設けられている。
【００１１】一方、研磨装置４０は、基台４２上に連結
部材４４と一対の押圧部材４６Ａ、４６Ｂを設けたもの
である。連結部材４４は、ロッド状に設けられ、基台４
２に設けた挿通孔４２Ａに挿通され、定盤３０の板厚方
向、すなわち図中矢線α方向にスライド変位可能に支持
されている。そして、連結部材４４の先端部は、結合軸
３４によって定盤３０の取付け部３２に連結されてい
る。すなわち、連結部材４４の先端部には、結合軸３４
を通すための取付け孔（図示せず）が形成されており、
取付け部３２の取付け孔３２Ａと連結部材４４の取付け
孔に結合軸３４を通して止め具（図示せず）で止めるこ
とにより、連結部材４４と定盤３０とを容易に結合でき
る。また、結合軸３４を外すことにより、連結部材４４
と定盤３０とを容易に分離でき、定盤３０の交換を容易
に行うことができる。
部材４４と一対の押圧部材４６Ａ、４６Ｂを設けたもの
である。連結部材４４は、ロッド状に設けられ、基台４
２に設けた挿通孔４２Ａに挿通され、定盤３０の板厚方
向、すなわち図中矢線α方向にスライド変位可能に支持
されている。そして、連結部材４４の先端部は、結合軸
３４によって定盤３０の取付け部３２に連結されてい
る。すなわち、連結部材４４の先端部には、結合軸３４
を通すための取付け孔（図示せず）が形成されており、
取付け部３２の取付け孔３２Ａと連結部材４４の取付け
孔に結合軸３４を通して止め具（図示せず）で止めるこ
とにより、連結部材４４と定盤３０とを容易に結合でき
る。また、結合軸３４を外すことにより、連結部材４４
と定盤３０とを容易に分離でき、定盤３０の交換を容易
に行うことができる。
【００１２】また、このような結合軸３４による連結部
材４４と取付け部３２との結合部分は、結合軸３４と中
心軸として回転可能なヒンジ機構となっており、定盤３
０の変形時における微妙な角度の誤差を吸収できるよう
になっている。また、連結部材４４の基端側には、変形
手段を構成する引っ張り機構（図示せず）が設けられて
おり、定盤３０の背面方向に連結部材４４を引っ張るよ
うになっている。この引っ張り機構には、例えば油圧シ
リンダ機構や減速ギア機構によって連結部材４４を定盤
３０の背面方向に変位させる機構が用いられている。
材４４と取付け部３２との結合部分は、結合軸３４と中
心軸として回転可能なヒンジ機構となっており、定盤３
０の変形時における微妙な角度の誤差を吸収できるよう
になっている。また、連結部材４４の基端側には、変形
手段を構成する引っ張り機構（図示せず）が設けられて
おり、定盤３０の背面方向に連結部材４４を引っ張るよ
うになっている。この引っ張り機構には、例えば油圧シ
リンダ機構や減速ギア機構によって連結部材４４を定盤
３０の背面方向に変位させる機構が用いられている。
【００１３】また、このような引っ張り機構による連結
部材４４の変位量は、例えば連結部材４４に設けた目盛
り（図示せず）や、あるいは位置測定用のセンサ（図示
せず）等により測定できるようになっている。また、押
圧部材４６Ａ、４６Ｂは、基台４２上に突設されてお
り、連結部材４４を挟んで両側に配置されている。各押
圧部材４６Ａ、４６Ｂは、定盤３０の背面の外周部近傍
（第２の部位）に当接し、定盤３０の背面の矢線α方向
の位置を規制するものである。そして、上述した引っ張
り機構の作動により、連結部材４４を介して定盤３０の
中央部が引っ張り応力を受けた場合に、この引っ張り応
力に抗して、各押圧部材４６Ａ、４６Ｂが、定盤３０の
周縁部の変位を規制することにより、定盤３０を図１に
示すように湾曲状に変形でき、研磨面が一定の曲率を有
する凹面状に変形することができる。
部材４４の変位量は、例えば連結部材４４に設けた目盛
り（図示せず）や、あるいは位置測定用のセンサ（図示
せず）等により測定できるようになっている。また、押
圧部材４６Ａ、４６Ｂは、基台４２上に突設されてお
り、連結部材４４を挟んで両側に配置されている。各押
圧部材４６Ａ、４６Ｂは、定盤３０の背面の外周部近傍
（第２の部位）に当接し、定盤３０の背面の矢線α方向
の位置を規制するものである。そして、上述した引っ張
り機構の作動により、連結部材４４を介して定盤３０の
中央部が引っ張り応力を受けた場合に、この引っ張り応
力に抗して、各押圧部材４６Ａ、４６Ｂが、定盤３０の
周縁部の変位を規制することにより、定盤３０を図１に
示すように湾曲状に変形でき、研磨面が一定の曲率を有
する凹面状に変形することができる。
【００１４】以上のような磁気ヘッドスライダの研磨装
置４０において、磁気ヘッドスライダの研磨作業を行う
場合、まず、定盤３０を研磨装置４０にセットする。そ
して、引っ張り機構を作動させ、連結部材４４を介して
定盤３０を引っ張ることにより、定盤３０を変形させ、
研磨面を一定の曲率を有する凹面状に変形させる。ここ
で、変形前の定盤３０の研磨面３０Ａが上述のように一
定の真直度を有する平面状に管理されているとすると、
変形後の研磨面３０Ａの曲率は、連結部材４４による定
盤３０の中央部の変位量と、各押圧部材４６Ａ、４６Ｂ
間の距離等によって幾何学的に算出可能である。
置４０において、磁気ヘッドスライダの研磨作業を行う
場合、まず、定盤３０を研磨装置４０にセットする。そ
して、引っ張り機構を作動させ、連結部材４４を介して
定盤３０を引っ張ることにより、定盤３０を変形させ、
研磨面を一定の曲率を有する凹面状に変形させる。ここ
で、変形前の定盤３０の研磨面３０Ａが上述のように一
定の真直度を有する平面状に管理されているとすると、
変形後の研磨面３０Ａの曲率は、連結部材４４による定
盤３０の中央部の変位量と、各押圧部材４６Ａ、４６Ｂ
間の距離等によって幾何学的に算出可能である。
【００１５】したがって、引っ張り機構による連結部材
４４の変位量を制御することにより、研磨面３０Ａの曲
率を所望の値に制御することが可能となる。そこで、所
望の曲率に変形した研磨面３０Ａを有する定盤３０を、
固定式定盤として用いることにより、磁気ヘッドスライ
ダの媒体対向面の凸部の研磨作業を行う。そして、この
研磨作業の後、引っ張り機構による引っ張り状態を解除
し、定盤３０を研磨装置４０より適宜に取り外し、再度
平板状の定盤３０として保管することができる。
４４の変位量を制御することにより、研磨面３０Ａの曲
率を所望の値に制御することが可能となる。そこで、所
望の曲率に変形した研磨面３０Ａを有する定盤３０を、
固定式定盤として用いることにより、磁気ヘッドスライ
ダの媒体対向面の凸部の研磨作業を行う。そして、この
研磨作業の後、引っ張り機構による引っ張り状態を解除
し、定盤３０を研磨装置４０より適宜に取り外し、再度
平板状の定盤３０として保管することができる。
【００１６】以上のように、本例では、磁気ヘッドスラ
イダの研磨作業に用いる定盤３０を非作業時においては
最も管理が容易な平板状の定盤として取り扱うことがで
き、研磨作業の際には、適宜変形させて、曲率を有する
定盤とすることができる。したがって、図５に示す従来
例のように、高価なフェージングユニットを用いること
なく、また、図６に示す従来例のように、時間のかかる
Ｒマスタによる加工を行うことなく、かつ、Ｒマスタの
煩雑な曲率管理を行うことなく、容易に磁気ヘッドスラ
イダ研磨用の定盤を得ることができ、低コストで研磨作
業を行うことができる。また、１つの定盤で、複数通り
の曲率を得ることができ、また、作業ロットに応じて曲
率の変更が可能なことから、極めて低コストで柔軟性に
富んだ研磨加工ラインを実現することができる。
イダの研磨作業に用いる定盤３０を非作業時においては
最も管理が容易な平板状の定盤として取り扱うことがで
き、研磨作業の際には、適宜変形させて、曲率を有する
定盤とすることができる。したがって、図５に示す従来
例のように、高価なフェージングユニットを用いること
なく、また、図６に示す従来例のように、時間のかかる
Ｒマスタによる加工を行うことなく、かつ、Ｒマスタの
煩雑な曲率管理を行うことなく、容易に磁気ヘッドスラ
イダ研磨用の定盤を得ることができ、低コストで研磨作
業を行うことができる。また、１つの定盤で、複数通り
の曲率を得ることができ、また、作業ロットに応じて曲
率の変更が可能なことから、極めて低コストで柔軟性に
富んだ研磨加工ラインを実現することができる。
【００１７】なお、以上の例は磁気ヘッドスライダの研
磨作業に用いる研磨装置について説明したが、本発明
は、他の部材を研磨する研磨装置としても適用し得るも
のである。また、上述した研磨装置４０の具体的構造、
すなわち、連結部材４４、押圧部材４６Ａ、４６Ｂ、引
っ張り機構等は、定盤の研磨面を一定の曲率に変形し得
るものであれば、種々採用し得るものであり、適宜変形
が可能である。
磨作業に用いる研磨装置について説明したが、本発明
は、他の部材を研磨する研磨装置としても適用し得るも
のである。また、上述した研磨装置４０の具体的構造、
すなわち、連結部材４４、押圧部材４６Ａ、４６Ｂ、引
っ張り機構等は、定盤の研磨面を一定の曲率に変形し得
るものであれば、種々採用し得るものであり、適宜変形
が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の研磨装置で
は、部品の曲率面を研磨するための定盤と、前記定盤に
一定の応力を付与することにより、前記定盤の研磨面を
前記部品の曲率面に対応する曲率面形状に変形させる変
形手段とを有し、前記変形手段によって曲率面形状に変
形された定盤の研磨面により、前記部品の曲率面を研磨
するようにした。
は、部品の曲率面を研磨するための定盤と、前記定盤に
一定の応力を付与することにより、前記定盤の研磨面を
前記部品の曲率面に対応する曲率面形状に変形させる変
形手段とを有し、前記変形手段によって曲率面形状に変
形された定盤の研磨面により、前記部品の曲率面を研磨
するようにした。
【００１９】このため、高価なフェージング装置や加工
や管理が煩雑なＲマスタを用いることなく、所望の曲率
を有する定盤を容易に得ることができ、また、研磨作業
を行わない場合の定盤の管理が容易となるので、低コス
トで研磨工程を実現できる効果がある。また、１つの定
盤で複数通りの曲率を得ることも容易であり、また、作
業ロットに応じて曲率の変更が可能なことから、極めて
低コストで柔軟性に富んだ研磨加工ラインを実現できる
効果がある。
や管理が煩雑なＲマスタを用いることなく、所望の曲率
を有する定盤を容易に得ることができ、また、研磨作業
を行わない場合の定盤の管理が容易となるので、低コス
トで研磨工程を実現できる効果がある。また、１つの定
盤で複数通りの曲率を得ることも容易であり、また、作
業ロットに応じて曲率の変更が可能なことから、極めて
低コストで柔軟性に富んだ研磨加工ラインを実現できる
効果がある。
【図１】本発明の研磨装置の構成を示す側面図である。
【図２】図１に示す研磨装置の定盤を示す側面図であ
る。
る。
【図３】磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図４】図３に示す磁気ヘッドスライダの凸部の曲率を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図５】従来の研磨装置における定盤とその作製工程を
示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。
示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。
【図６】従来の他の研磨装置における定盤とその作製工
程を示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。
程を示す概略斜視図及びＡ−Ａ断面図である。
３０……定盤、３０Ａ……研磨面、３２……取付け部、
３４……結合軸、４０……研磨装置、４２……基台、４
４……連結部材、４６Ａ、４６Ｂ……押圧部材。
３４……結合軸、４０……研磨装置、４２……基台、４
４……連結部材、４６Ａ、４６Ｂ……押圧部材。
Claims (7)
- 【請求項１】 部品の曲率面を研磨する研磨装置におい
て、 前記部品の曲率面を研磨するための定盤と、 前記定盤に一定の応力を付与することにより、前記定盤
の研磨面を前記部品の曲率面に対応する曲率面形状に変
形させる変形手段とを有し、 前記変形手段によって曲率面形状に変形された定盤の研
磨面により、前記部品の曲率面を研磨するようにした、 ことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 前記定盤の研磨面は、前記変形手段によ
る応力を付与しない状態で平面状に形成されていること
を特徴とする請求項１記載の研磨装置。 - 【請求項３】 前記定盤が略平板状に形成され、前記変
形手段は、前記定盤の背面の第１の部位に連結された連
結部材と、前記連結部材を前記定盤の背面方向に引っ張
る引っ張り機構と、前記第１の部位と離間する第２の部
位に配置され、前記引っ張り機構の引っ張り応力に抗し
て、前記定盤の背面を表面方向に押圧する複数の押圧部
材とを有することを特徴とする請求項１記載の研磨装
置。 - 【請求項４】 前記第１の部位は、前記定盤の背面の中
央部に設けられ、前記第２の部位は、前記定盤の外周よ
りの位置に設けられていることを特徴とする請求項３記
載の研磨装置。 - 【請求項５】 前記定盤と前記連結部材がヒンジ部を介
して連結されていることを特徴とする請求項３記載の研
磨装置。 - 【請求項６】 前記定盤は、交換可能に取付けられてい
ることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。 - 【請求項７】 前記部品は、磁気ヘッドを保持するとと
もに、磁気ヘッドアッセンブリに支持され、磁気記録媒
体の記録面上を浮揚状態で走行する磁気ヘッドスライダ
であり、前記部品の曲率面は、磁気ヘッドスライダの媒
体対向面に設けられる凸部の曲率面であることを特徴と
する請求項１記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34314698A JP2000167766A (ja) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34314698A JP2000167766A (ja) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000167766A true JP2000167766A (ja) | 2000-06-20 |
Family
ID=18359280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34314698A Pending JP2000167766A (ja) | 1998-12-02 | 1998-12-02 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000167766A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
| CN116533127A (zh) * | 2023-07-06 | 2023-08-04 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光压力调节方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| TWI839479B (zh) | 2019-04-11 | 2024-04-21 | 日商信越半導體股份有限公司 | 雙面研磨裝置 |
-
1998
- 1998-12-02 JP JP34314698A patent/JP2000167766A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
| TWI839479B (zh) | 2019-04-11 | 2024-04-21 | 日商信越半導體股份有限公司 | 雙面研磨裝置 |
| CN116533127A (zh) * | 2023-07-06 | 2023-08-04 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光压力调节方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| CN116533127B (zh) * | 2023-07-06 | 2023-10-31 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光压力调节方法、装置、计算机设备和存储介质 |
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