JP2000157837A - ハロゲン化ガスの処理剤及びその製造方法並びにこれを用いた無害化方法 - Google Patents
ハロゲン化ガスの処理剤及びその製造方法並びにこれを用いた無害化方法Info
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- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＦＣｓ，ＨＦＣｓ，ＨＣＦＣｓ及びＣＦＣ
ｓなどのハロゲンを含む化合物を効率良くしかも比較的
低温で分解でき、且つその分解生成物である有害物質も
無害化でき、また除害装置と組み合わせることにより、
長期間にわたり運転が可能で、ガス中のハロゲン化合物
の濃度に関係無く連続的に処理できるハロゲン化ガス処
理剤を提供すること。 【解決手段】 アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属
塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択さ
れる少なくとも１種の化合物を含有し、窒素雰囲気下で
焼成することによって調製した酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムからなる、ハロゲン化ガス処理剤。
ｓなどのハロゲンを含む化合物を効率良くしかも比較的
低温で分解でき、且つその分解生成物である有害物質も
無害化でき、また除害装置と組み合わせることにより、
長期間にわたり運転が可能で、ガス中のハロゲン化合物
の濃度に関係無く連続的に処理できるハロゲン化ガス処
理剤を提供すること。 【解決手段】 アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属
塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択さ
れる少なくとも１種の化合物を含有し、窒素雰囲気下で
焼成することによって調製した酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムからなる、ハロゲン化ガス処理剤。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パーフルオロ化合
物（ＰＦＣｓ）、ハイドロフルオロ化合物（ＨＦＣ
ｓ）、クロロフルオロカーボン（ＣＦＣｓ）及びハイド
ロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣｓ）などの有機ハ
ロゲン化合物や、ＳＦ6 ，ＮＦ3 などの無機ハロゲン化
合物など（特にフッ素、塩素を含有するハロゲン化合
物）を、効率良く高い分解率で分解し、無害化するため
の処理剤及びその製造方法、並びにこの処理剤を用いた
ハロゲン化ガスの無害化方法に関するものである。
物（ＰＦＣｓ）、ハイドロフルオロ化合物（ＨＦＣ
ｓ）、クロロフルオロカーボン（ＣＦＣｓ）及びハイド
ロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣｓ）などの有機ハ
ロゲン化合物や、ＳＦ6 ，ＮＦ3 などの無機ハロゲン化
合物など（特にフッ素、塩素を含有するハロゲン化合
物）を、効率良く高い分解率で分解し、無害化するため
の処理剤及びその製造方法、並びにこの処理剤を用いた
ハロゲン化ガスの無害化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
工場のエッチングプロセスやＣＶＤプロセスから排出さ
れるガス中には、フッ素などのハロゲンを含む化合物が
存在する。具体的には、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ 6 ．Ｃ3 Ｆ8 ，
ＳＦ6 、ＮＦ3 ，ＣＨＦ3 などのＰＦＣｓ及びＨＦＣｓ
などの化合物が含まれている。また、冷蔵庫やカークー
ラーなどの冷媒には、ＣＣｌ2 Ｆ 2 やＣＨＣｌＦ2 など
のフロンガスが使われており、冷蔵庫や自動車を廃棄す
る時にその処理が問題となっている。エッチングプロセ
スやＣＶＤプロセスからの排ガス中のＰＦＣｓ及びＨＦ
Ｃｓなどは、洗浄剤や冷媒に比較して使用量が僅かであ
ることや、ＮＦ3 を除いて人体に対して害が少ないこと
から、かつては大気に放出されて、地球温暖化に影響を
及ぼしてきたが、現在では種々の対策がとられている。
一方、ＣＦＣｓやＨＣＦＣｓなども、オゾン破壊係数が
大きいため、オゾン層を保護するべく様々な対策がとら
れていることは周知のとおりである。
工場のエッチングプロセスやＣＶＤプロセスから排出さ
れるガス中には、フッ素などのハロゲンを含む化合物が
存在する。具体的には、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ 6 ．Ｃ3 Ｆ8 ，
ＳＦ6 、ＮＦ3 ，ＣＨＦ3 などのＰＦＣｓ及びＨＦＣｓ
などの化合物が含まれている。また、冷蔵庫やカークー
ラーなどの冷媒には、ＣＣｌ2 Ｆ 2 やＣＨＣｌＦ2 など
のフロンガスが使われており、冷蔵庫や自動車を廃棄す
る時にその処理が問題となっている。エッチングプロセ
スやＣＶＤプロセスからの排ガス中のＰＦＣｓ及びＨＦ
Ｃｓなどは、洗浄剤や冷媒に比較して使用量が僅かであ
ることや、ＮＦ3 を除いて人体に対して害が少ないこと
から、かつては大気に放出されて、地球温暖化に影響を
及ぼしてきたが、現在では種々の対策がとられている。
一方、ＣＦＣｓやＨＣＦＣｓなども、オゾン破壊係数が
大きいため、オゾン層を保護するべく様々な対策がとら
れていることは周知のとおりである。
【０００３】上記の対策の中でも、アルカリ金属化合物
やアルカリ土類金属化合物を用いた固体状の処理剤ある
いはこれらの水溶液で、ハロゲン化ガスを反応（吸着、
吸収）、熱分解することは、よく知られた方法である。
しかし、このような処理剤でハロゲン化ガスを熱分解す
る場合、９００〜１２００℃という高温を必須とするな
どの問題がある。特に、ＣＦ4 などは非常に安定であ
り、熱分解が困難である。また、熱分解により、有害な
酸性ガスや酸化性ガスが発生するなどの問題も生じてい
る。このように、ハロゲン化ガスを完全に無害化し、処
理し得る方法はいまだなく、また、ガス中のハロゲン化
合物の濃度に関係無く処理し得る方法も見当たらず、上
記のような問題点を解決できる技術が期待されている。
やアルカリ土類金属化合物を用いた固体状の処理剤ある
いはこれらの水溶液で、ハロゲン化ガスを反応（吸着、
吸収）、熱分解することは、よく知られた方法である。
しかし、このような処理剤でハロゲン化ガスを熱分解す
る場合、９００〜１２００℃という高温を必須とするな
どの問題がある。特に、ＣＦ4 などは非常に安定であ
り、熱分解が困難である。また、熱分解により、有害な
酸性ガスや酸化性ガスが発生するなどの問題も生じてい
る。このように、ハロゲン化ガスを完全に無害化し、処
理し得る方法はいまだなく、また、ガス中のハロゲン化
合物の濃度に関係無く処理し得る方法も見当たらず、上
記のような問題点を解決できる技術が期待されている。
【０００４】従って、本発明の目的は、ＰＦＣｓ，ＨＦ
Ｃｓ，ＨＣＦＣｓ及びＣＦＣｓなどのハロゲンを含む化
合物を効率良くしかも比較的低温で分解でき、且つその
分解生成物である有害物質も無害化でき、また除害装置
と組み合わせることにより、長期間にわたり運転が可能
で、ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係無く連続的に
処理できるハロゲン化ガス処理剤を提供することにあ
る。
Ｃｓ，ＨＣＦＣｓ及びＣＦＣｓなどのハロゲンを含む化
合物を効率良くしかも比較的低温で分解でき、且つその
分解生成物である有害物質も無害化でき、また除害装置
と組み合わせることにより、長期間にわたり運転が可能
で、ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係無く連続的に
処理できるハロゲン化ガス処理剤を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく鋭意検討した結果、特定の化合物を含有し
且つ特定の条件下で焼成して調製した酸化カルシウム及
び酸化マグネシウムが、ハロゲン化ガスを高い分解率で
処理し得ることを知見した。本発明は、上記知見に基づ
いてなされたもので、下記のハロゲン化ガス処理剤、該
処理剤の製造方法及び該処理剤を用いたハロゲン化ガス
の無害化方法を提供するものである。
を達成すべく鋭意検討した結果、特定の化合物を含有し
且つ特定の条件下で焼成して調製した酸化カルシウム及
び酸化マグネシウムが、ハロゲン化ガスを高い分解率で
処理し得ることを知見した。本発明は、上記知見に基づ
いてなされたもので、下記のハロゲン化ガス処理剤、該
処理剤の製造方法及び該処理剤を用いたハロゲン化ガス
の無害化方法を提供するものである。
【０００６】「アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属
塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択さ
れる少なくとも１種の化合物を含有し、窒素雰囲気下で
焼成することによって調製した酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムからなる、ハロゲン化ガス処理剤。」
塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択さ
れる少なくとも１種の化合物を含有し、窒素雰囲気下で
焼成することによって調製した酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムからなる、ハロゲン化ガス処理剤。」
【０００７】「炭酸カルシウム若しくは水酸化カルシウ
ム、または、炭酸マグネシウム若しくは水酸化マグネシ
ウムを原料とし、該原料に、塩化ナトリウム、塩化カリ
ウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化ナト
リウム、フッ化カリウム及びフッ化リチウムからなる群
から選択される少なくとも１種の化合物を、０．０１〜
１０重量％の範囲で添加して、窒素雰囲気下で焼成する
ことを特徴とする上記の本発明のハロゲン化ガス処理剤
の製造方法。」
ム、または、炭酸マグネシウム若しくは水酸化マグネシ
ウムを原料とし、該原料に、塩化ナトリウム、塩化カリ
ウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化ナト
リウム、フッ化カリウム及びフッ化リチウムからなる群
から選択される少なくとも１種の化合物を、０．０１〜
１０重量％の範囲で添加して、窒素雰囲気下で焼成する
ことを特徴とする上記の本発明のハロゲン化ガス処理剤
の製造方法。」
【０００８】「上記の本発明のハロゲン化ガス処理剤の
少なくとも１種を、除害装置に充填し、２００〜９００
℃にてハロゲン化ガスと接触させることを特徴とするハ
ロゲン化ガスの無害化方法。」
少なくとも１種を、除害装置に充填し、２００〜９００
℃にてハロゲン化ガスと接触させることを特徴とするハ
ロゲン化ガスの無害化方法。」
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のハロゲン化ガス処
理剤、該処理剤の製造方法及び該処理剤を用いたハロゲ
ン化ガスの無害化方法について詳述する。本発明のハロ
ゲン化ガス処理剤を構成する酸化カルシウムまたは酸化
マグネシウムは、アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金
属塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択
される少なくとも１種の化合物を含有するものである
が、この「アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属塩化
物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択される
少なくとも１種の化合物を含有する酸化カルシウムまた
は酸化マグネシウム」とは、炭酸カルシウム若しくは水
酸化カルシウムや、炭酸マグネシウム若しくは水酸化マ
グネシウムなどの原料を用いて酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムを製造する際、上記原料に上記塩化物ま
たはフッ化物を添加した後、焼成して得られる酸化カル
シウムまたは酸化マグネシウムであり、上記原料を焼成
して得た酸化カルシウムまたは酸化マグネシウムに上記
塩化物またはフッ化物を後添加したものは含まない。
理剤、該処理剤の製造方法及び該処理剤を用いたハロゲ
ン化ガスの無害化方法について詳述する。本発明のハロ
ゲン化ガス処理剤を構成する酸化カルシウムまたは酸化
マグネシウムは、アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金
属塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択
される少なくとも１種の化合物を含有するものである
が、この「アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属塩化
物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択される
少なくとも１種の化合物を含有する酸化カルシウムまた
は酸化マグネシウム」とは、炭酸カルシウム若しくは水
酸化カルシウムや、炭酸マグネシウム若しくは水酸化マ
グネシウムなどの原料を用いて酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムを製造する際、上記原料に上記塩化物ま
たはフッ化物を添加した後、焼成して得られる酸化カル
シウムまたは酸化マグネシウムであり、上記原料を焼成
して得た酸化カルシウムまたは酸化マグネシウムに上記
塩化物またはフッ化物を後添加したものは含まない。
【００１０】本発明のハロゲン化ガス処理剤の好ましい
実施形態としては、例えば、下記〜のハロゲン化ガ
ス処理剤が挙げられる。 アルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物の
少なくとも１種を含有する酸化カルシウムであって、窒
素雰囲気下で焼成することによって調製したハロゲン化
ガス処理剤。 アルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物の
少なくとも１種を含有する酸化マグネシウムであって、
窒素雰囲気下で焼成することによって調製したハロゲン
化ガス処理剤。 アルカリ金属フッ化物の少なくとも１種を含有する酸
化カルシウムであって、窒素雰囲気下で焼成することに
よって調製したハロゲン化ガス処理剤。 アルカリ金属フッ化物の少なくとも１種を含有する酸
化マグネシウムであって、窒素雰囲気下で焼成すること
によって調製したハロゲン化ガス処理剤。 本発明のハロゲン化ガス処理剤を上記〜の好ましい
実施形態についてその製造方法とともに以下に説明す
る。
実施形態としては、例えば、下記〜のハロゲン化ガ
ス処理剤が挙げられる。 アルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物の
少なくとも１種を含有する酸化カルシウムであって、窒
素雰囲気下で焼成することによって調製したハロゲン化
ガス処理剤。 アルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物の
少なくとも１種を含有する酸化マグネシウムであって、
窒素雰囲気下で焼成することによって調製したハロゲン
化ガス処理剤。 アルカリ金属フッ化物の少なくとも１種を含有する酸
化カルシウムであって、窒素雰囲気下で焼成することに
よって調製したハロゲン化ガス処理剤。 アルカリ金属フッ化物の少なくとも１種を含有する酸
化マグネシウムであって、窒素雰囲気下で焼成すること
によって調製したハロゲン化ガス処理剤。 本発明のハロゲン化ガス処理剤を上記〜の好ましい
実施形態についてその製造方法とともに以下に説明す
る。
【００１１】まず、上記実施形態について説明する。
酸化カルシウムは、市販されており簡単に入手できる
が、これらの市販品は空隙率が小さく、比表面積も大き
くないこともあって、反応性に乏しい。これは、酸化カ
ルシウムの一般的な工業上の製法によるところと思われ
る。即ち、石灰石（主成分は炭酸カルシウム）を、空気
中１０００℃以上の温度で塊状のまま長時間焼成してい
るため、結晶が焼結して、充分な空隙や表面活性を得ら
れなくなっているからである。本実施形態のハロゲン
化ガス処理剤は、上述のように、原料の焼成時前に原料
にアルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物を
添加し、窒素雰囲気下で焼成することにより、焼成時の
結晶の焼結を抑制し、ハロゲン化ガスに対して高反応性
で、ハロゲン化ガスを高い分解率で処理し得るようにな
したものである。
酸化カルシウムは、市販されており簡単に入手できる
が、これらの市販品は空隙率が小さく、比表面積も大き
くないこともあって、反応性に乏しい。これは、酸化カ
ルシウムの一般的な工業上の製法によるところと思われ
る。即ち、石灰石（主成分は炭酸カルシウム）を、空気
中１０００℃以上の温度で塊状のまま長時間焼成してい
るため、結晶が焼結して、充分な空隙や表面活性を得ら
れなくなっているからである。本実施形態のハロゲン
化ガス処理剤は、上述のように、原料の焼成時前に原料
にアルカリ金属塩化物またはアルカリ土類金属塩化物を
添加し、窒素雰囲気下で焼成することにより、焼成時の
結晶の焼結を抑制し、ハロゲン化ガスに対して高反応性
で、ハロゲン化ガスを高い分解率で処理し得るようにな
したものである。
【００１２】上記塩化物の添加量は、生成する酸化カル
シウムの理論量に対して、アルカリ金属塩化物では０．
０１〜７．０重量％、特に０．０９〜５．０重量％の範
囲が好ましく、またアルカリ土類金属塩化物では０．０
１〜１０重量％、特に０．０９〜５．０重量％の範囲が
好ましい。これより多いと、ポーラスで反応性の高い生
成物が得られ難く、ガスの分解効率も悪くなる。また、
これより少ない場合も、有効な生成物が得られ難い。
シウムの理論量に対して、アルカリ金属塩化物では０．
０１〜７．０重量％、特に０．０９〜５．０重量％の範
囲が好ましく、またアルカリ土類金属塩化物では０．０
１〜１０重量％、特に０．０９〜５．０重量％の範囲が
好ましい。これより多いと、ポーラスで反応性の高い生
成物が得られ難く、ガスの分解効率も悪くなる。また、
これより少ない場合も、有効な生成物が得られ難い。
【００１３】上記アルカリ金属塩化物としては、塩化ナ
トリウム、塩化カリウムが好ましく、上記アルカリ土類
金属塩化物としては、塩化カルシウム、塩化マグネシウ
ムが好ましい。また、上記塩化物が添加される原料とし
ては、炭酸カルシウムの他、水酸化カルシウムなどが用
いられる。
トリウム、塩化カリウムが好ましく、上記アルカリ土類
金属塩化物としては、塩化カルシウム、塩化マグネシウ
ムが好ましい。また、上記塩化物が添加される原料とし
ては、炭酸カルシウムの他、水酸化カルシウムなどが用
いられる。
【００１４】また、上記窒素雰囲気下での焼成は、通
常、９００〜１１００℃で２〜５時間行うことが好まし
いが、水酸化カルシウムを原料とする場合は、６００℃
程度で焼成可能である。
常、９００〜１１００℃で２〜５時間行うことが好まし
いが、水酸化カルシウムを原料とする場合は、６００℃
程度で焼成可能である。
【００１５】本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、
単に炭酸カルシウムや水酸化カルシウムを焼成しただけ
の酸化カルシウムに比べて比表面積が格段に増加してい
る。例えば、粒状の炭酸カルシウム１ｋｇに塩化ナトリ
ウム５ｇ（０．９重量％／ＣａＯ）を添加した混合物
を、電気炉に入れ（昇温速度２００℃／ｈｒ）、窒素雰
囲気下９００℃で焼成することによって調製したハロゲ
ン化ガス処理剤は、比表面積７〜８ｍ2 ／ｇ（ＢＥＴ
法）、空隙率５５〜６５％（水銀圧入法）となり、塩化
物を添加せずに調製した酸化カルシウムに比べて比表面
積が３〜４倍に増加している。また、塩化ナトリウムの
代わりに塩化マグネシウムを０．９重量％添加して、上
記と同様の条件下で焼成したものも、ほぼ同じ位の比表
面積と空隙率とが得られ、ハロゲン化ガスに対して高反
応性である。また、本実施形態のハロゲン化ガス処理
剤は、市販の酸化カルシウムに上記塩化物を後添加して
調製したものに比べても高反応性である。
単に炭酸カルシウムや水酸化カルシウムを焼成しただけ
の酸化カルシウムに比べて比表面積が格段に増加してい
る。例えば、粒状の炭酸カルシウム１ｋｇに塩化ナトリ
ウム５ｇ（０．９重量％／ＣａＯ）を添加した混合物
を、電気炉に入れ（昇温速度２００℃／ｈｒ）、窒素雰
囲気下９００℃で焼成することによって調製したハロゲ
ン化ガス処理剤は、比表面積７〜８ｍ2 ／ｇ（ＢＥＴ
法）、空隙率５５〜６５％（水銀圧入法）となり、塩化
物を添加せずに調製した酸化カルシウムに比べて比表面
積が３〜４倍に増加している。また、塩化ナトリウムの
代わりに塩化マグネシウムを０．９重量％添加して、上
記と同様の条件下で焼成したものも、ほぼ同じ位の比表
面積と空隙率とが得られ、ハロゲン化ガスに対して高反
応性である。また、本実施形態のハロゲン化ガス処理
剤は、市販の酸化カルシウムに上記塩化物を後添加して
調製したものに比べても高反応性である。
【００１６】次に、上記実施形態について説明する。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、原料として炭
酸マグネシウムまたは水酸化マグネシウムを用いた以外
は、上記実施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工
程で調製されたものである。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、原料として炭
酸マグネシウムまたは水酸化マグネシウムを用いた以外
は、上記実施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工
程で調製されたものである。
【００１７】本実施形態における上記塩化物の添加量
は、生成する酸化マグネシウムの理論量に対して、アル
カリ金属塩化物及びアルカリ土類金属塩化物の何れにお
いても０．０５〜１０重量％、特に０．０９〜５．０重
量％の範囲が好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成
は、通常、６００〜９００℃で１〜５時間程度行えば良
い。
は、生成する酸化マグネシウムの理論量に対して、アル
カリ金属塩化物及びアルカリ土類金属塩化物の何れにお
いても０．０５〜１０重量％、特に０．０９〜５．０重
量％の範囲が好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成
は、通常、６００〜９００℃で１〜５時間程度行えば良
い。
【００１８】次に、上記実施形態について説明する。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、上記塩化物の
代わりにアルカリ金属フッ化物を用いた以外は、上記実
施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工程で調製さ
れたものである。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、上記塩化物の
代わりにアルカリ金属フッ化物を用いた以外は、上記実
施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工程で調製さ
れたものである。
【００１９】本実施形態における上記アルカリ金属フ
ッ化物の添加量は、生成する酸化カルシウムの理論量に
対して、０．０１〜１０重量％、特に０．０５〜５．０
重量％の範囲が好ましい。上記アルカリ金属フッ化物と
しては、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化リ
チウムが好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成は、通
常、９００〜１１００℃で１〜５時間程度行えば良い。
ッ化物の添加量は、生成する酸化カルシウムの理論量に
対して、０．０１〜１０重量％、特に０．０５〜５．０
重量％の範囲が好ましい。上記アルカリ金属フッ化物と
しては、フッ化ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化リ
チウムが好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成は、通
常、９００〜１１００℃で１〜５時間程度行えば良い。
【００２０】次に、上記実施形態について説明する。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、原料として炭
酸マグネシウムまたは水酸化マグネシウムを用いた以外
は、上記実施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工
程で調製されたものである。
本実施形態のハロゲン化ガス処理剤は、原料として炭
酸マグネシウムまたは水酸化マグネシウムを用いた以外
は、上記実施形態のハロゲン化ガス処理剤と同様な工
程で調製されたものである。
【００２１】本実施形態におけるアルカリ金属フッ化
物の添加量は、生成する酸化マグネシウムの理論量に対
して、０．０１〜１０重量％、特に０．０５〜５．０重
量％の範囲が好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成
は、通常、６００以上で１〜５時間程度行えば良い。
物の添加量は、生成する酸化マグネシウムの理論量に対
して、０．０１〜１０重量％、特に０．０５〜５．０重
量％の範囲が好ましい。また、窒素雰囲気下での焼成
は、通常、６００以上で１〜５時間程度行えば良い。
【００２２】本発明のハロゲン化ガス処理剤は、単独で
用いても良いし、また２種以上混合して使用しても良
い。また、ハロゲン化ガスとの接触において、特定の処
理剤のひとつを前段、それ以外の他の処理剤を後段に配
置して順次接触させるなど、組み合わせによる使用もで
きる。本発明のハロゲン化ガス処理剤により処理される
ハロゲン化ガスとしては、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ
3 Ｆ8 ，ＣＨＦ3 ，ＣＣｌ2 Ｆ2 ，ＣＨＣｌＦ2 ，ＳＦ
6 及びＮＦ3 のうちの少なくとも１種を含むガスが挙げ
られる。本発明のハロゲン化ガス処理剤と上記ハロゲン
化ガスとを接触させる温度は、２００〜９００℃が好ま
しく、特に好ましくは３００〜８００℃である。最も安
定なＣＦ4 も、８００℃でほぼ完全に分解できる。本発
明のハロゲン化ガス処理剤と上記ハロゲン化ガスとの反
応は、２００℃以上で速やかに進む。
用いても良いし、また２種以上混合して使用しても良
い。また、ハロゲン化ガスとの接触において、特定の処
理剤のひとつを前段、それ以外の他の処理剤を後段に配
置して順次接触させるなど、組み合わせによる使用もで
きる。本発明のハロゲン化ガス処理剤により処理される
ハロゲン化ガスとしては、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ
3 Ｆ8 ，ＣＨＦ3 ，ＣＣｌ2 Ｆ2 ，ＣＨＣｌＦ2 ，ＳＦ
6 及びＮＦ3 のうちの少なくとも１種を含むガスが挙げ
られる。本発明のハロゲン化ガス処理剤と上記ハロゲン
化ガスとを接触させる温度は、２００〜９００℃が好ま
しく、特に好ましくは３００〜８００℃である。最も安
定なＣＦ4 も、８００℃でほぼ完全に分解できる。本発
明のハロゲン化ガス処理剤と上記ハロゲン化ガスとの反
応は、２００℃以上で速やかに進む。
【００２３】次に、本発明のハロゲン化ガス処理剤を除
害装置と組み合わせることにより、ハロゲン化ガスを無
害化する本発明の無害化方法について説明する。上記除
害装置としては、例えば、本発明のハロゲン化ガス処理
剤の１種以上を充填し得るガス反応部を有し、この反応
部内の温度を測定・制御するための計器と、外部加熱す
るための電気炉を設置したものが挙げられ、さらに、反
応部通過後のガスについて、未反応のハロゲン化合物を
検知するための赤外線吸収式検知器を設置したものが好
ましい。これにより、排出ガス中の未反応のハロゲン化
合物を上記検知器が感知するため、処理剤の劣化状況が
わかり、処理剤の交換又は供給時期を外部からモニタリ
ングすることができる。
害装置と組み合わせることにより、ハロゲン化ガスを無
害化する本発明の無害化方法について説明する。上記除
害装置としては、例えば、本発明のハロゲン化ガス処理
剤の１種以上を充填し得るガス反応部を有し、この反応
部内の温度を測定・制御するための計器と、外部加熱す
るための電気炉を設置したものが挙げられ、さらに、反
応部通過後のガスについて、未反応のハロゲン化合物を
検知するための赤外線吸収式検知器を設置したものが好
ましい。これにより、排出ガス中の未反応のハロゲン化
合物を上記検知器が感知するため、処理剤の劣化状況が
わかり、処理剤の交換又は供給時期を外部からモニタリ
ングすることができる。
【００２４】また、反応部は反応器２塔を並列に並べて
おき、１塔をまず使用し、そして、検知器が排出ガス中
の未反応ハロゲン化合物を感知すると、ガス導入バルブ
が、未使用であったもう１塔へと切り替わり、ガスをそ
ちらへ導入することができるように制御システムを組ん
だものが好ましい。バルブが切り替わった後は、使用済
の反応器の処理剤を交換することができるため、ハロゲ
ン化ガス無害化処理の連続運転が可能となる。
おき、１塔をまず使用し、そして、検知器が排出ガス中
の未反応ハロゲン化合物を感知すると、ガス導入バルブ
が、未使用であったもう１塔へと切り替わり、ガスをそ
ちらへ導入することができるように制御システムを組ん
だものが好ましい。バルブが切り替わった後は、使用済
の反応器の処理剤を交換することができるため、ハロゲ
ン化ガス無害化処理の連続運転が可能となる。
【００２５】また、反応器１塔で処理する場合は、処理
剤供給部と処理剤排出部とを装備しておき、検知器が排
出ガス中の未反応ハロゲン化合物を検知すると自動的に
処理剤排出部から反応器中の使用済処理剤が系外へ排出
され、処理剤供給部から処理剤を供給することにより、
連続的又は断続的に処理することができるようにすると
良い。
剤供給部と処理剤排出部とを装備しておき、検知器が排
出ガス中の未反応ハロゲン化合物を検知すると自動的に
処理剤排出部から反応器中の使用済処理剤が系外へ排出
され、処理剤供給部から処理剤を供給することにより、
連続的又は断続的に処理することができるようにすると
良い。
【００２６】処理剤供給部は反応器内へ処理剤を供給す
るための装置であり、具体的には処理剤定量供給部、処
理剤搬出部及び処理剤貯蔵部で構成される。処理剤定量
供給部は定量供給するための装置とそれを自動供給する
ための自動バルブなどが設置されており、排出ガス中の
ハロゲン化合物を検知器でモニターし、所定の濃度に達
すると処理剤を自動供給する。処理剤搬出部は処理剤を
貯蔵部から定量供給部へ搬出するためのものであり、例
えば、スクリューフィーダ式、ブロー式及びエンドレス
ベルト式などの方法があり、特に限定されるものではな
い。処理剤貯蔵部は、反応器へ処理剤を供給するための
保管庫であり、処理剤が貯蔵できる容器であれば、材
質、形状、大きさなど、限定されるものではない。
るための装置であり、具体的には処理剤定量供給部、処
理剤搬出部及び処理剤貯蔵部で構成される。処理剤定量
供給部は定量供給するための装置とそれを自動供給する
ための自動バルブなどが設置されており、排出ガス中の
ハロゲン化合物を検知器でモニターし、所定の濃度に達
すると処理剤を自動供給する。処理剤搬出部は処理剤を
貯蔵部から定量供給部へ搬出するためのものであり、例
えば、スクリューフィーダ式、ブロー式及びエンドレス
ベルト式などの方法があり、特に限定されるものではな
い。処理剤貯蔵部は、反応器へ処理剤を供給するための
保管庫であり、処理剤が貯蔵できる容器であれば、材
質、形状、大きさなど、限定されるものではない。
【００２７】使用済み処理剤は、処理剤排出部により、
系外へ排出される。処理剤排出部は排出部、搬出部及び
廃剤貯蔵部で構成され、排出部は振動式、スクリューフ
ィーダ式、ロータリーまたはロールフィーダ式、テーブ
ルフィーダ式、ベルトフィーダ式などの方法により、廃
剤を反応器より排出し、前述した搬出部により廃剤貯蔵
部へ送出される。廃剤貯蔵庫は廃剤が保管できる容器で
あれば、材質、形状、大きさなど、限定されるものでは
ない。これらの廃剤排出においても、ガス検知と組み合
わせることにより、自動的に排出することができる。こ
れらの方法は一例であり、特に限定されるわけではな
い。このようにして、長期間にわたり運転が可能とな
り、供給ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係無く、ハ
ロゲン化ガスを連続的に処理できる。
系外へ排出される。処理剤排出部は排出部、搬出部及び
廃剤貯蔵部で構成され、排出部は振動式、スクリューフ
ィーダ式、ロータリーまたはロールフィーダ式、テーブ
ルフィーダ式、ベルトフィーダ式などの方法により、廃
剤を反応器より排出し、前述した搬出部により廃剤貯蔵
部へ送出される。廃剤貯蔵庫は廃剤が保管できる容器で
あれば、材質、形状、大きさなど、限定されるものでは
ない。これらの廃剤排出においても、ガス検知と組み合
わせることにより、自動的に排出することができる。こ
れらの方法は一例であり、特に限定されるわけではな
い。このようにして、長期間にわたり運転が可能とな
り、供給ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係無く、ハ
ロゲン化ガスを連続的に処理できる。
【００２８】上記のような除害装置に充填した本発明の
ハロゲン化ガス処理剤とハロゲン化ガスとの接触は、好
ましくは２００〜９００℃、より好ましくは３００〜８
００℃の温度下に行う。このように本発明のハロゲン化
ガス処理剤とハロゲン化ガスとを接触させることによ
り、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6 ，ＮＦ3 ，Ｃ
ＨＦ3 ，ＣＣｌ2 Ｆ2 及びＣＨＣｌＦ2 などを１種以上
含むハロゲン化ガスを、分解率９９．９％以上で処理す
ることができる。
ハロゲン化ガス処理剤とハロゲン化ガスとの接触は、好
ましくは２００〜９００℃、より好ましくは３００〜８
００℃の温度下に行う。このように本発明のハロゲン化
ガス処理剤とハロゲン化ガスとを接触させることによ
り、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6 ，ＮＦ3 ，Ｃ
ＨＦ3 ，ＣＣｌ2 Ｆ2 及びＣＨＣｌＦ2 などを１種以上
含むハロゲン化ガスを、分解率９９．９％以上で処理す
ることができる。
【００２９】
【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに説明す
る。
る。
【００３０】実施例１ 粒状に粉砕して粒径３〜６ｍｍに櫛別したＣａＣＯ3 ２
ｋｇに、ＮａＣｌを０．０９重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下、毎時２００℃で昇温後、９００℃に
て５時間焼成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
ｋｇに、ＮａＣｌを０．０９重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下、毎時２００℃で昇温後、９００℃に
て５時間焼成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３１】実施例２ １１００℃にて焼成した以外は、実施例１と同様にして
ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３２】実施例３ ＣａＣＯ3 の代わりにＣａ（ＯＨ）2 を用いて、６００
℃にて焼成した以外は、実施例１と同様にしてハロゲン
化ガス処理剤を調製した。
℃にて焼成した以外は、実施例１と同様にしてハロゲン
化ガス処理剤を調製した。
【００３３】実施例４ ＮａＣｌの代わりにＫＣｌを添加した以外は、実施例１
と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３４】実施例５ ＮａＣｌの代わりにＣａＣｌ2 を添加した以外は、実施
例１と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
例１と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３５】比較例１ 粒状に粉砕したＣａＣＯ3 を、空気中で６００℃にて焼
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３６】比較例２ ９００℃にて焼成した以外は、比較例１と同様にしてハ
ロゲン化ガス処理剤を調製した。
ロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３７】比較例３ 粒状に粉砕したＣａＯを、Ｎ2 雰囲気下９００℃にて焼
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３８】比較例４ 粒状に粉砕したＣａ（ＯＨ）2 にＮａＣｌを０．０９重
量％添加、混合したものを、空気中で６００℃にて焼成
し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
量％添加、混合したものを、空気中で６００℃にて焼成
し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００３９】比較例５ 粒状に粉砕したＣａＣＯ3 にＮａＣｌを０．０９重量％
添加、混合したものを、空気中で９００℃にて焼成し、
ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
添加、混合したものを、空気中で９００℃にて焼成し、
ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００４０】実施例６ 粒状に粉砕して粒径３〜６ｍｍに櫛別したＭｇＣＯ3 ２
ｋｇに、ＣａＣｌ2 を５．０重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下６００℃にて５時間焼成し、ハロゲン
化ガス処理剤を調製した。
ｋｇに、ＣａＣｌ2 を５．０重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下６００℃にて５時間焼成し、ハロゲン
化ガス処理剤を調製した。
【００４１】実施例７ ＭｇＣＯ3 の代わりにＭｇ（ＯＨ）2 を用いた以外は、
実施例６と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製し
た。
実施例６と同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製し
た。
【００４２】比較例６ 粒状に粉砕したＭｇＯを、Ｎ2 雰囲気下６００℃にて焼
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００４３】実施例８ 粒状に粉砕して粒径３〜６ｍｍに櫛別したＣａＣＯ3 ２
ｋｇに、ＮａＦを０．０５重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下、毎時２００℃で昇温後、１０００℃
にて５時間焼成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
ｋｇに、ＮａＦを０．０５重量％添加、混合したもの
を、Ｎ2 雰囲気下、毎時２００℃で昇温後、１０００℃
にて５時間焼成し、ハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００４４】実施例９ ＣａＣＯ3 の代わりにＣａ（ＯＨ）2 を用いて、９００
℃にて焼成した以外は、実施例８同様にしてハロゲン化
ガス処理剤を調製した。
℃にて焼成した以外は、実施例８同様にしてハロゲン化
ガス処理剤を調製した。
【００４５】実施例１０ ＮａＦの代わりにＬｉＦを添加した以外は、実施例８と
同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
同様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００４６】実施例１１ ＮａＦの代わりにＫＦを添加した以外は、実施例８と同
様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
様にしてハロゲン化ガス処理剤を調製した。
【００４７】上記実施例１〜１１における原料、添加物
及びその添加量、並びに焼成条件（雰囲気及び温度）を
下記〔表１〕に、また上記比較例１〜６における原料、
添加物及びその添加量、並びに焼成条件（雰囲気及び温
度）を下記〔表２〕に、それぞれまとめて示した。
及びその添加量、並びに焼成条件（雰囲気及び温度）を
下記〔表１〕に、また上記比較例１〜６における原料、
添加物及びその添加量、並びに焼成条件（雰囲気及び温
度）を下記〔表２〕に、それぞれまとめて示した。
【００４８】
【表１】
【００４９】
【表２】
【００５０】次に、上記の実施例１〜１１及び比較例１
〜６で得られたハロゲン化ガス処理剤を用いてハロゲン
化ガスを処理した試験例及び比較試験例を示す。 ＜試験例及び比較試験例の基本操作＞反応器として、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ製のパイプを垂
直にセットし、各種処理剤を充填した反応器の底部から
上部へ、種々のハロゲン化ガスを希釈用窒素ガスを混合
して導入した。反応器は、電気炉で外部加熱し、内部温
度２００℃〜８００℃になるように温度を調節した。反
応器の入口側には、ハロゲン化ガスと窒素ガスの充填ボ
ンベを取り付け、圧力調整器で減圧し、混合ガスの流量
を５００ｍｌ／ｍｉｎとして、１０分間導入した。ま
た、反応器の出口には排出ガスを分析するために主幹ラ
インを分岐してサンプリングポートを設置した。サンプ
リングポートより採取した排出ガスは、ガスクロマトグ
ラフィーで分析した。導入ガスまたは排出ガスの流量
は、乾式ガスメーターで測定した。また、反応器への処
理剤の充填方法は、反応器の底部にＳＵＳメッシュ及び
金網を詰めた後、粒径３．５〜５．５ｍｍの処理剤７０
０ｇを充填した。ハロゲン化ガスの分解効率（％）は、
次の式により求めた。 〔１−（排出ガス中の未分解ハロゲン化合物の量／導入
したハロゲン化合物の量）〕×１００
〜６で得られたハロゲン化ガス処理剤を用いてハロゲン
化ガスを処理した試験例及び比較試験例を示す。 ＜試験例及び比較試験例の基本操作＞反応器として、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ製のパイプを垂
直にセットし、各種処理剤を充填した反応器の底部から
上部へ、種々のハロゲン化ガスを希釈用窒素ガスを混合
して導入した。反応器は、電気炉で外部加熱し、内部温
度２００℃〜８００℃になるように温度を調節した。反
応器の入口側には、ハロゲン化ガスと窒素ガスの充填ボ
ンベを取り付け、圧力調整器で減圧し、混合ガスの流量
を５００ｍｌ／ｍｉｎとして、１０分間導入した。ま
た、反応器の出口には排出ガスを分析するために主幹ラ
インを分岐してサンプリングポートを設置した。サンプ
リングポートより採取した排出ガスは、ガスクロマトグ
ラフィーで分析した。導入ガスまたは排出ガスの流量
は、乾式ガスメーターで測定した。また、反応器への処
理剤の充填方法は、反応器の底部にＳＵＳメッシュ及び
金網を詰めた後、粒径３．５〜５．５ｍｍの処理剤７０
０ｇを充填した。ハロゲン化ガスの分解効率（％）は、
次の式により求めた。 〔１−（排出ガス中の未分解ハロゲン化合物の量／導入
したハロゲン化合物の量）〕×１００
【００５１】試験例１〜１２ 下記〔表３〕に示すハロゲン化ガス処理剤、ハロゲン化
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表３〕に示した。下記〔表３〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 ，Ｎ2 又はＳＯ2 及び
ＮＯ2 などであった。
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表３〕に示した。下記〔表３〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 ，Ｎ2 又はＳＯ2 及び
ＮＯ2 などであった。
【００５２】
【表３】
【００５３】試験例１３及び１４ 下記〔表４〕に示すハロゲン化ガス処理剤、ハロゲン化
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表４〕に示した。下記〔表４〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 などであっ
た。
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表４〕に示した。下記〔表４〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 などであっ
た。
【００５４】
【表４】
【００５５】比較試験例１〜５ 下記〔表５〕に示すハロゲン化ガス処理剤、ハロゲン化
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表５〕に示した。下記〔表５〕に示す結果
から明らかなように、上記比較例１〜５で得られたハロ
ゲン化ガス処理剤により処理された排ガスには、未分解
のＣＦ4 がガスクロマトグラフィーの分析で検出され
た。
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表５〕に示した。下記〔表５〕に示す結果
から明らかなように、上記比較例１〜５で得られたハロ
ゲン化ガス処理剤により処理された排ガスには、未分解
のＣＦ4 がガスクロマトグラフィーの分析で検出され
た。
【００５６】
【表５】
【００５７】試験例１５〜１７及び比較試験例６ 下記〔表６〕に示すハロゲン化ガス処理剤、ハロゲン化
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表６〕に示した。下記〔表６〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 などであっ
た。これに対し、上記比較例６で得られたハロゲン化ガ
ス処理剤により処理された排ガスには、未分解のＣＦ4
がガスクロマトグラフィーの分析で検出された。
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表６〕に示した。下記〔表６〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 などであっ
た。これに対し、上記比較例６で得られたハロゲン化ガ
ス処理剤により処理された排ガスには、未分解のＣＦ4
がガスクロマトグラフィーの分析で検出された。
【００５８】
【表６】
【００５９】試験例１８〜２８ 下記〔表７〕に示すハロゲン化ガス処理剤、ハロゲン化
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表７〕に示した。下記〔表７〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 又はＳＯ2 及
びＮＯ2 などであった。
ガス種、ハロゲン化ガス導入量、窒素導入量及び反応温
度により、上記基本操作をそれぞれ実施し、サンプリン
グポートより採取した排出ガスをガスクロマトグラフィ
ーで分析して、ハロゲン化ガスの分解率を求めた。その
結果を下記〔表７〕に示した。下記〔表７〕に示す結果
から明らかなように、本発明のハロゲン化ガス処理剤に
より処理された排ガスには、ハロゲン化合物はガスクロ
マトグラフィーの分析で検出されず（検出下限：０．０
１％）、排ガスの主成分はＣＯ2 及びＮ2 又はＳＯ2 及
びＮＯ2 などであった。
【００６０】
【表７】
【００６１】
【発明の効果】本発明のハロゲン化ガス処理剤は、ＰＦ
Ｃｓ，ＨＦＣｓ，ＨＣＦＣｓ及びＣＦＣｓなどのハロゲ
ンを含む化合物を効率良くしかも比較的低温で分解で
き、且つその分解生成物である有害物質も無害化でき、
また除害装置と組み合わせることにより、長期間にわた
り運転が可能で、ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係
無く連続的に処理できる。
Ｃｓ，ＨＦＣｓ，ＨＣＦＣｓ及びＣＦＣｓなどのハロゲ
ンを含む化合物を効率良くしかも比較的低温で分解で
き、且つその分解生成物である有害物質も無害化でき、
また除害装置と組み合わせることにより、長期間にわた
り運転が可能で、ガス中のハロゲン化合物の濃度に関係
無く連続的に処理できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福島 守之 群馬県渋川市大崎1497番地 関東電化工業 株式会社渋川工場内 Ｆターム(参考） 4D002 AA17 AA22 AC10 BA03 BA15 CA07 DA02 DA03 DA05 DA06 DA11 DA12 DA16 DA17 EA06 GA01 GA02 GB01 GB03 GB04 GB08 GB12 HA03 4G076 AA02 AB06 AB09 AC04 BA39 BC08 BD02 CA02 DA29
Claims (4)
- 【請求項１】 アルカリ金属塩化物、アルカリ土類金属
塩化物及びアルカリ金属フッ化物からなる群から選択さ
れる少なくとも１種の化合物を含有し、窒素雰囲気下で
焼成することによって調製した酸化カルシウムまたは酸
化マグネシウムからなる、ハロゲン化ガス処理剤。 - 【請求項２】 請求項１記載の処理剤により処理される
ハロゲン化ガスが、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＣＨ
Ｆ3 ，ＣＣｌ2 Ｆ2 ，ＣＨＣｌＦ2 ，ＳＦ6及びＮＦ3
のうちの少なくとも１種を含むものである請求項１記載
の処理剤。 - 【請求項３】 炭酸カルシウム若しくは水酸化カルシウ
ム、または、炭酸マグネシウム若しくは水酸化マグネシ
ウムを原料とし、該原料に、塩化ナトリウム、塩化カリ
ウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化ナト
リウム、フッ化カリウム及びフッ化リチウムからなる群
から選択される少なくとも１種の化合物を、０．０１〜
１０重量％の範囲で添加して、窒素雰囲気下で焼成する
ことを特徴とする請求項１記載の処理剤の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の処理剤の少なくとも１種
を、除害装置に充填し、２００〜９００℃にてハロゲン
化ガスと接触させることを特徴とするハロゲン化ガスの
無害化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33372598A JP4357018B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | ハロゲン化ガスの処理剤を用いた無害化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33372598A JP4357018B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | ハロゲン化ガスの処理剤を用いた無害化方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009066179A Division JP5074439B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | ハロゲンガスの処理剤及びその製造方法並びにこれを用いた無害化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000157837A true JP2000157837A (ja) | 2000-06-13 |
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ID=18269269
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33372598A Expired - Lifetime JP4357018B2 (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | ハロゲン化ガスの処理剤を用いた無害化方法 |
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