JP2000156171A - マグネトロン装置およびその製造方法 - Google Patents
マグネトロン装置およびその製造方法Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/14—Leading-in arrangements; Seals therefor
- H01J23/15—Means for preventing wave energy leakage structurally associated with tube leading-in arrangements, e.g. filters, chokes, attenuating devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/005—Cooling methods or arrangements
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノイズ防止性能の劣化を低減し、かつ小型化
できるマグネトロン装置およびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 マグネトロン部８と、マグネトロン部８
の筒状陽極１１の両端側に配置した磁石２２ａ、２２ｂ
と、筒状陽極１１および磁石２２ａ、２２ｂを囲むヨー
ク２５ａ、２５ｂからなる磁気回路部９と、フィルター
ケース２６ａ、２６ｂ内にチョークコイル２８ａ、２８
ｂおよびコンデンサー２７を有する電波漏洩防止部１０
とを備え、少なくともフィルターケース２６ａ、２６ｂ
内に絶縁性冷却液３０が収容されている。
できるマグネトロン装置およびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 マグネトロン部８と、マグネトロン部８
の筒状陽極１１の両端側に配置した磁石２２ａ、２２ｂ
と、筒状陽極１１および磁石２２ａ、２２ｂを囲むヨー
ク２５ａ、２５ｂからなる磁気回路部９と、フィルター
ケース２６ａ、２６ｂ内にチョークコイル２８ａ、２８
ｂおよびコンデンサー２７を有する電波漏洩防止部１０
とを備え、少なくともフィルターケース２６ａ、２６ｂ
内に絶縁性冷却液３０が収容されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子レンジ等のマ
イクロ波加熱機または工業用加熱機或いはガス励起装置
等に用いられるマグネトロン装置およびその製造方法に
関する。
イクロ波加熱機または工業用加熱機或いはガス励起装置
等に用いられるマグネトロン装置およびその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマグネトロン装置は、図８に示す
ように、マグネトロン部１と、マグネトロン部１の筒状
陽極２の両端側に磁石３ａ、３ｂを配置し、かつ、筒状
陽極２および磁石３ａ、３ｂを囲むヨーク４からなる磁
気回路部と、フィルターケース５内にコンデンサー６等
を有する電波漏洩防止部とを備えたものである。そし
て、筒状陽極２および磁石３ａ、３ｂの温度上昇を防止
し、特性変化の少ないマグネトロン装置を提供するため
に、ヨーク４の内側が密封され、かつヨーク４内に水か
らなる冷却液７が収容されている（特開平４−４５４４
号公報）。
ように、マグネトロン部１と、マグネトロン部１の筒状
陽極２の両端側に磁石３ａ、３ｂを配置し、かつ、筒状
陽極２および磁石３ａ、３ｂを囲むヨーク４からなる磁
気回路部と、フィルターケース５内にコンデンサー６等
を有する電波漏洩防止部とを備えたものである。そし
て、筒状陽極２および磁石３ａ、３ｂの温度上昇を防止
し、特性変化の少ないマグネトロン装置を提供するため
に、ヨーク４の内側が密封され、かつヨーク４内に水か
らなる冷却液７が収容されている（特開平４−４５４４
号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記マ
グネトロン装置では、動作時の印加電圧が一般的に４〜
５ｋＶであるため、電波漏洩防止部においてフィルター
ケース５（陰極電位側）とコンデンサー６等（陽極電位
側）との対向距離を前記印加電圧に耐え得るだけの十分
な距離を確保しなければならず、この距離（以下、「絶
縁距離」という）が不十分な場合には、動作時にフィル
ターケース５とコンデンサー６との間で放電現象が生
じ、装置の動作不良が発生して装置の小型化に制限があ
るという問題ある。また、動作時において、電波漏洩防
止部のコンデンサー６等の部品が１２０〜１５０℃の高
温になるため、マグネトロン装置のノイズ防止性能が劣
化するという問題があった。
グネトロン装置では、動作時の印加電圧が一般的に４〜
５ｋＶであるため、電波漏洩防止部においてフィルター
ケース５（陰極電位側）とコンデンサー６等（陽極電位
側）との対向距離を前記印加電圧に耐え得るだけの十分
な距離を確保しなければならず、この距離（以下、「絶
縁距離」という）が不十分な場合には、動作時にフィル
ターケース５とコンデンサー６との間で放電現象が生
じ、装置の動作不良が発生して装置の小型化に制限があ
るという問題ある。また、動作時において、電波漏洩防
止部のコンデンサー６等の部品が１２０〜１５０℃の高
温になるため、マグネトロン装置のノイズ防止性能が劣
化するという問題があった。
【０００４】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、ノイズ防止性能の劣化を低減し、かつ小型化できる
マグネトロン装置およびその製造方法を提供するもので
ある。
で、ノイズ防止性能の劣化を低減し、かつ小型化できる
マグネトロン装置およびその製造方法を提供するもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のマグネトロン装
置は、マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽
極の両端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前
記磁石を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルター
ケース内にチョークコイルおよびコンデンサーを有する
電波漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケ
ース内に絶縁性冷却液が収容されている。
置は、マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽
極の両端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前
記磁石を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルター
ケース内にチョークコイルおよびコンデンサーを有する
電波漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケ
ース内に絶縁性冷却液が収容されている。
【０００６】この構成、すなわち、絶縁性冷却液によ
り、チョークコイルおよびコンデンサーが冷却され、か
つチョークコイルおよびコンデンサーとフィルターケー
スとの絶縁距離が短縮される。
り、チョークコイルおよびコンデンサーが冷却され、か
つチョークコイルおよびコンデンサーとフィルターケー
スとの絶縁距離が短縮される。
【０００７】また、フィルターケース内に絶縁性冷却液
が導入されるよう構成している。この構成により、絶縁
性冷却液の導入をマグネトロン装置の最終工程またはマ
グネトロン装置をマイクロ波応用機器へ取り付ける際に
行うことができる。
が導入されるよう構成している。この構成により、絶縁
性冷却液の導入をマグネトロン装置の最終工程またはマ
グネトロン装置をマイクロ波応用機器へ取り付ける際に
行うことができる。
【０００８】また、フィルターケース内に絶縁性冷却液
が導入され、かつフィルターケース内の絶縁性冷却液が
導出されるよう構成している。
が導入され、かつフィルターケース内の絶縁性冷却液が
導出されるよう構成している。
【０００９】この構成により、フィルターケース内の絶
縁性冷却液が外部との間で循環され、チョークコイルお
よびコンデンサーがさらに冷却される。
縁性冷却液が外部との間で循環され、チョークコイルお
よびコンデンサーがさらに冷却される。
【００１０】また、ヨーク内に絶縁性冷却液が収容され
ている。この構成により、筒状陽極および磁石が冷却さ
れる。
ている。この構成により、筒状陽極および磁石が冷却さ
れる。
【００１１】また、絶縁性冷却液が磁気回路部と電波漏
洩防止部とを入出する連通部を有している。
洩防止部とを入出する連通部を有している。
【００１２】この構成、すなわち、装置動作時において
磁気回路部内と電波漏洩防止部内の絶縁性冷却液の温度
差により、絶縁性冷却液が磁気回路部内と電波漏洩防止
部内との間で循環運動する。
磁気回路部内と電波漏洩防止部内の絶縁性冷却液の温度
差により、絶縁性冷却液が磁気回路部内と電波漏洩防止
部内との間で循環運動する。
【００１３】また、連通部に電波漏洩防止部側の磁石の
中央孔を利用している。この構成により、電波漏洩防止
部側の磁石が冷却される。
中央孔を利用している。この構成により、電波漏洩防止
部側の磁石が冷却される。
【００１４】また、フィルターケースにより、磁気回路
部および電波漏洩防止部を包囲している。
部および電波漏洩防止部を包囲している。
【００１５】この構成により、マグネトロン部、磁気回
路部等の従来の主要部品を変更することがない。
路部等の従来の主要部品を変更することがない。
【００１６】また、マグネトロン部の筒状陽極がその外
周部に冷却用フィンを有している。この構成により、筒
状陽極および磁石の温度上昇をさらに低減することがで
きる。
周部に冷却用フィンを有している。この構成により、筒
状陽極および磁石の温度上昇をさらに低減することがで
きる。
【００１７】本発明のマグネトロン装置の製造方法は、
マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両
端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前記磁石
を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース
内にチョークコイルおよびコンデンサーを有する電波漏
洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース内
に絶縁性冷却液が収容されているマグネトロン装置の製
造において、前記磁気回路部と前記電波漏洩防止部とを
連結した後、前記電波漏洩防止部のフィルターケース内
に前記絶縁性冷却液を注入している。
マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両
端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前記磁石
を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース
内にチョークコイルおよびコンデンサーを有する電波漏
洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース内
に絶縁性冷却液が収容されているマグネトロン装置の製
造において、前記磁気回路部と前記電波漏洩防止部とを
連結した後、前記電波漏洩防止部のフィルターケース内
に前記絶縁性冷却液を注入している。
【００１８】この方法より、絶縁性冷却液の注入をマグ
ネトロン装置の最終工程またはマグネトロン装置をマイ
クロ波応用機器へ取り付ける際に行うことができるの
で、最終工程の前工程において絶縁性冷却液のこぼれ、
飛散による汚染が生じるのを防止することができる。
ネトロン装置の最終工程またはマグネトロン装置をマイ
クロ波応用機器へ取り付ける際に行うことができるの
で、最終工程の前工程において絶縁性冷却液のこぼれ、
飛散による汚染が生じるのを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００２０】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態のマグネトロン装置は、図１および図２に示すよ
うに、マグネトロン部８と磁気回路部９と電波漏洩防止
部１０とを備えたものである。
の形態のマグネトロン装置は、図１および図２に示すよ
うに、マグネトロン部８と磁気回路部９と電波漏洩防止
部１０とを備えたものである。
【００２１】マグネトロン部８は、円形の筒状陽極１１
の内面に配設された復数枚の陽極ベイン１２と、この陽
極ベイン１２から延出された出力導線１３と、筒状陽極
１１の両端部に配設された磁極片１４、１５と、この磁
極片１４、１５を覆うように、一端側にフランジ部１６
ａ、１７ａを有するハトメ状管１６、１７と、出力導線
１３側のハトメ状管１６上に順次重ねて設けられた絶縁
リング１８および、出力導線１３の端部が電気的に接続
されている出力アンテナ１９と、ハトメ状管１７の端部
に設けられ、かつタングステン線からなる陰極フィラメ
ント２０を有する一対の陰極リード２１ａ、２１ｂの一
端を保持するキャップ状の陰極ステム２３と、筒状陽極
１１の外周部に設けられた複数枚の冷却用フィン２４と
から構成されている。
の内面に配設された復数枚の陽極ベイン１２と、この陽
極ベイン１２から延出された出力導線１３と、筒状陽極
１１の両端部に配設された磁極片１４、１５と、この磁
極片１４、１５を覆うように、一端側にフランジ部１６
ａ、１７ａを有するハトメ状管１６、１７と、出力導線
１３側のハトメ状管１６上に順次重ねて設けられた絶縁
リング１８および、出力導線１３の端部が電気的に接続
されている出力アンテナ１９と、ハトメ状管１７の端部
に設けられ、かつタングステン線からなる陰極フィラメ
ント２０を有する一対の陰極リード２１ａ、２１ｂの一
端を保持するキャップ状の陰極ステム２３と、筒状陽極
１１の外周部に設けられた複数枚の冷却用フィン２４と
から構成されている。
【００２２】磁気回路部９は、マグネトロン部８の筒状
陽極１１の両端側に配置されたリング状の磁石２２ａ、
２２ｂと、筒状陽極１１および磁石２２ａ、２２ｂを囲
む鉄製のヨーク２５ａ、２５ｂと、機械的締め付けによ
りマイクロ波応用機器の導波管３８と電気的に接続する
ためのリング状のガスケット３９とから構成されてい
る。また、磁石２２ａ、２２ｂはストロンチュームとバ
リウムとからなるフェライト製の永久磁石で形成したも
のである。ガスケット３９は真鍮、ステンレス鋼材等の
金属メッシュで形成したものであり、ハトメ状管１６の
外径と接触する部分のリング状の内径を、ハトメ状管１
６の外径よりも小さくしたものである。
陽極１１の両端側に配置されたリング状の磁石２２ａ、
２２ｂと、筒状陽極１１および磁石２２ａ、２２ｂを囲
む鉄製のヨーク２５ａ、２５ｂと、機械的締め付けによ
りマイクロ波応用機器の導波管３８と電気的に接続する
ためのリング状のガスケット３９とから構成されてい
る。また、磁石２２ａ、２２ｂはストロンチュームとバ
リウムとからなるフェライト製の永久磁石で形成したも
のである。ガスケット３９は真鍮、ステンレス鋼材等の
金属メッシュで形成したものであり、ハトメ状管１６の
外径と接触する部分のリング状の内径を、ハトメ状管１
６の外径よりも小さくしたものである。
【００２３】電波漏洩防止部１０は、フィルターケース
２６ａ、２６ｂ内に、一対のステム端子２１ｃ、２１ｄ
を有する陰極ステム２３と、フィルターケース２６ａに
設けられた端子２７ａ、２７ｂを有する高圧コンデンサ
ー２７と、ステム端子２１ｃ、２１ｄと高圧コンデンサ
ー２７の端子２７ａ、２７ｂとの間に設けられた一対の
チョークコイル２８ａ、２８ｂとを備えている。フィル
ターケース２６ａ、２６ｂは、その内部空間が密封さ
れ、かつフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷
却液３０が導入される構成、例えば供給口２９ａより、
フィルターケース２６ａ、２６ｂ内に高絶縁耐力のクー
ラント液や高圧トランスに使用されているトランスオイ
ル等の絶縁性冷却液３０をフィルターケース２６ａ、２
６ｂ内に注入する構成にしている。この構成により、絶
縁性冷却液３０がフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に
収容される。また、リング状のゴムパッキン３１、シリ
コン系の接着剤等により、フィルターケース２６ａとマ
グネトロン部８との隙間をなくしている。
２６ａ、２６ｂ内に、一対のステム端子２１ｃ、２１ｄ
を有する陰極ステム２３と、フィルターケース２６ａに
設けられた端子２７ａ、２７ｂを有する高圧コンデンサ
ー２７と、ステム端子２１ｃ、２１ｄと高圧コンデンサ
ー２７の端子２７ａ、２７ｂとの間に設けられた一対の
チョークコイル２８ａ、２８ｂとを備えている。フィル
ターケース２６ａ、２６ｂは、その内部空間が密封さ
れ、かつフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷
却液３０が導入される構成、例えば供給口２９ａより、
フィルターケース２６ａ、２６ｂ内に高絶縁耐力のクー
ラント液や高圧トランスに使用されているトランスオイ
ル等の絶縁性冷却液３０をフィルターケース２６ａ、２
６ｂ内に注入する構成にしている。この構成により、絶
縁性冷却液３０がフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に
収容される。また、リング状のゴムパッキン３１、シリ
コン系の接着剤等により、フィルターケース２６ａとマ
グネトロン部８との隙間をなくしている。
【００２４】なお、高圧コンデンサー２７およびチョー
クコイル２８ａ、２８ｂ等の冷却効果を向上するため
に、上記実施の形態の供給口２９ａに加え、一点鎖線で
示す排出口２９ｂをフィルターケース２６ａに設け、例
えば外部に設けられた冷却液収容タンク（図示せず）に
供給口２９ａおよび排出口２９ｂを接続し、供給口２９
ａと排出口２９ｂとにより絶縁性冷却液３０を導出入で
きるようにしてもよい。
クコイル２８ａ、２８ｂ等の冷却効果を向上するため
に、上記実施の形態の供給口２９ａに加え、一点鎖線で
示す排出口２９ｂをフィルターケース２６ａに設け、例
えば外部に設けられた冷却液収容タンク（図示せず）に
供給口２９ａおよび排出口２９ｂを接続し、供給口２９
ａと排出口２９ｂとにより絶縁性冷却液３０を導出入で
きるようにしてもよい。
【００２５】本発明のマグネトロン装置の製造方法は、
図３に示すように、磁気回路部９を形成する磁気回路部
工程３２と、電波漏洩防止部１０を形成する電波漏洩防
止部工程３３と、磁気回路部工程３２と電波漏洩防止部
工程３３と連結する連結工程３４と、フィルターケース
２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液３０を注入する冷却液
注入工程３５とを備えている。
図３に示すように、磁気回路部９を形成する磁気回路部
工程３２と、電波漏洩防止部１０を形成する電波漏洩防
止部工程３３と、磁気回路部工程３２と電波漏洩防止部
工程３３と連結する連結工程３４と、フィルターケース
２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液３０を注入する冷却液
注入工程３５とを備えている。
【００２６】次に、図１および図２に示すマグネトロン
装置を用いて、上記製造方法について説明する。
装置を用いて、上記製造方法について説明する。
【００２７】始めに、磁気回路部工程３２において、組
立治具上（図示せず）にヨーク２５ａ、磁石２２ａ、マ
グネトロン部８、磁石２２ｂおよびヨーク２５ｂを順次
重ねて設けた後、ヨーク２５ａとヨーク２５ｂとをネジ
等の締結用部品によって固定して磁気回路部９を形成す
る。その後、マグネトロン部８のハトメ状管１６にガス
ケット３９を挿入してヨーク２５ａ上に設置する。
立治具上（図示せず）にヨーク２５ａ、磁石２２ａ、マ
グネトロン部８、磁石２２ｂおよびヨーク２５ｂを順次
重ねて設けた後、ヨーク２５ａとヨーク２５ｂとをネジ
等の締結用部品によって固定して磁気回路部９を形成す
る。その後、マグネトロン部８のハトメ状管１６にガス
ケット３９を挿入してヨーク２５ａ上に設置する。
【００２８】並行して、電波漏洩防止部工程３３では、
フィルターケース２６ａの一側面の指定された位置に、
高圧コンデンサー２７とチョークコイル２８ａ、２８ｂ
とを接続して設ける。
フィルターケース２６ａの一側面の指定された位置に、
高圧コンデンサー２７とチョークコイル２８ａ、２８ｂ
とを接続して設ける。
【００２９】次の連結工程３４では磁気回路部９のヨー
ク２５ｂに高圧コンデンサー２７等を有するフィルター
ケース２６ａをカシメピン、ネジ等の締結用部品で固定
した後、フィルターケース２６ａとマグネトロン部８と
の隙間をゴムパッキン３１、シリコン系の接着剤等でな
くしている。続いて、チョークコイル２８ａ、２８ｂの
一端をステム端子２１ｃ、２１ｄに接続した後、フィル
ターケース２６ａにフィルターケース２６ｂを合わせ、
その合わせ面４０を溶接することで、供給口２９ａを除
くフィルターケース２６ａ、２６ｂ内を密封する。
ク２５ｂに高圧コンデンサー２７等を有するフィルター
ケース２６ａをカシメピン、ネジ等の締結用部品で固定
した後、フィルターケース２６ａとマグネトロン部８と
の隙間をゴムパッキン３１、シリコン系の接着剤等でな
くしている。続いて、チョークコイル２８ａ、２８ｂの
一端をステム端子２１ｃ、２１ｄに接続した後、フィル
ターケース２６ａにフィルターケース２６ｂを合わせ、
その合わせ面４０を溶接することで、供給口２９ａを除
くフィルターケース２６ａ、２６ｂ内を密封する。
【００３０】最後工程である冷却液注入工程３５では、
供給口２９ａより絶縁性冷却液３０をフィルターケース
２６ａ、２６ｂ内に注入した後、供給口２９ａに栓（図
示せず）をする。
供給口２９ａより絶縁性冷却液３０をフィルターケース
２６ａ、２６ｂ内に注入した後、供給口２９ａに栓（図
示せず）をする。
【００３１】次に、上記本発明の第１の実施の形態の作
用効果について説明する。本発明の第１の実施の形態の
マグネトロン装置は、フィルターケース２６ａ、２６ｂ
内が密封され、かつフィルターケース２６ａ、２６ｂ内
に絶縁性冷却液３０が収容されているので、チョークコ
イル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷却
され、かつチョークコイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コ
ンデンサー２７とフィルターケース２６ａ、２６ｂとの
絶縁距離Ｌ１、Ｌ２が短縮される。その結果、チョーク
コイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７の部
品が冷却されることにより、その部品焼けを防止できる
と共にマグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減
することができる。また、絶縁距離Ｌ１、Ｌ２が短縮さ
れることにより、マグネトロン装置の電波漏洩防止部１
０を小型化することができる。
用効果について説明する。本発明の第１の実施の形態の
マグネトロン装置は、フィルターケース２６ａ、２６ｂ
内が密封され、かつフィルターケース２６ａ、２６ｂ内
に絶縁性冷却液３０が収容されているので、チョークコ
イル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷却
され、かつチョークコイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コ
ンデンサー２７とフィルターケース２６ａ、２６ｂとの
絶縁距離Ｌ１、Ｌ２が短縮される。その結果、チョーク
コイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７の部
品が冷却されることにより、その部品焼けを防止できる
と共にマグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減
することができる。また、絶縁距離Ｌ１、Ｌ２が短縮さ
れることにより、マグネトロン装置の電波漏洩防止部１
０を小型化することができる。
【００３２】また、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内
に絶縁性冷却液３０を導入する供給口２９ａを設けてい
るので、絶縁性冷却液３０の導入をマグネトロン装置の
最終工程（冷却液注入工程３５）で行うことができる。
その結果、最終工程の前工程において、絶縁性冷却液３
０のこぼれ、飛散による汚染が生じるのを防止すること
ができる。
に絶縁性冷却液３０を導入する供給口２９ａを設けてい
るので、絶縁性冷却液３０の導入をマグネトロン装置の
最終工程（冷却液注入工程３５）で行うことができる。
その結果、最終工程の前工程において、絶縁性冷却液３
０のこぼれ、飛散による汚染が生じるのを防止すること
ができる。
【００３３】また、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内
の絶縁性冷却液３０を導出する排出口２９ｂをフィルタ
ーケース２６ａに設けた場合、例えば供給口２９ａおよ
び排出口２９ｂと外部に設けられた循環ポンプを有する
絶縁性冷却液３０の収容タンク（図示せず）とが接続さ
れた場合には、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内と収
容タンクとの間で絶縁性冷却液３０を強制的に循環する
ことができるので、チョークコイル２８ａ、２８ｂおよ
び高圧コンデンサー２７の部品がさらに冷却される。そ
の結果、さらにその部品焼けを防止できると共にマグネ
トロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減することがで
きる。
の絶縁性冷却液３０を導出する排出口２９ｂをフィルタ
ーケース２６ａに設けた場合、例えば供給口２９ａおよ
び排出口２９ｂと外部に設けられた循環ポンプを有する
絶縁性冷却液３０の収容タンク（図示せず）とが接続さ
れた場合には、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内と収
容タンクとの間で絶縁性冷却液３０を強制的に循環する
ことができるので、チョークコイル２８ａ、２８ｂおよ
び高圧コンデンサー２７の部品がさらに冷却される。そ
の結果、さらにその部品焼けを防止できると共にマグネ
トロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減することがで
きる。
【００３４】また、ガスケット３９をヨーク２５ａを介
して磁石２２ａ上に設けているので、マグネトロン装置
をマイクロ波応用機器に取付けた際、マイクロ波応用機
器の導波管３８側からの締付け力が直接に磁石２２ａに
加わることがない。その結果、磁石２２ａの割れ等の損
傷を防止することができる。
して磁石２２ａ上に設けているので、マグネトロン装置
をマイクロ波応用機器に取付けた際、マイクロ波応用機
器の導波管３８側からの締付け力が直接に磁石２２ａに
加わることがない。その結果、磁石２２ａの割れ等の損
傷を防止することができる。
【００３５】上記第１の実施形態のマグネトロン装置に
おける製造方法は、図３に示すように連結工程３４によ
り磁気回路部工程３２と電波漏洩防止部工程３３とを連
結した後、冷却液注入工程３５により電波漏洩防止部１
０のフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液
３０を注入している。すなわち、絶縁性冷却液３０の注
入をマグネトロン装置の最終工程で行うことができるの
で、最終工程の前工程において絶縁性冷却液３０のこぼ
れ、飛散による汚染が生じるのを防止することができ
る。その結果、最終工程の前工程での絶縁性冷却液３０
の汚染対策、例えば前工程において汚染防止用のカバー
を設置したり、或いは製造ライン上、床等に付着した絶
縁性冷却液３０を清掃したりする必要がなくなるのでマ
グネトロン装置を容易に製造することができる。
おける製造方法は、図３に示すように連結工程３４によ
り磁気回路部工程３２と電波漏洩防止部工程３３とを連
結した後、冷却液注入工程３５により電波漏洩防止部１
０のフィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液
３０を注入している。すなわち、絶縁性冷却液３０の注
入をマグネトロン装置の最終工程で行うことができるの
で、最終工程の前工程において絶縁性冷却液３０のこぼ
れ、飛散による汚染が生じるのを防止することができ
る。その結果、最終工程の前工程での絶縁性冷却液３０
の汚染対策、例えば前工程において汚染防止用のカバー
を設置したり、或いは製造ライン上、床等に付着した絶
縁性冷却液３０を清掃したりする必要がなくなるのでマ
グネトロン装置を容易に製造することができる。
【００３６】
【実施例】次に、本発明の効果を確認した実施例につい
て説明する。
て説明する。
【００３７】図１および図２に示す本発明第１の実施の
形態のマグネトロン装置（以下、「本発明品」という）
は、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液
３０として、クーラント液（住友スリーエム社製パーフ
ロロカーボンクーラントＦＸ−３３００）を用い、ま
た、装置の動作時の印加電圧を５ｋＶに設定したものを
用いた。
形態のマグネトロン装置（以下、「本発明品」という）
は、フィルターケース２６ａ、２６ｂ内に絶縁性冷却液
３０として、クーラント液（住友スリーエム社製パーフ
ロロカーボンクーラントＦＸ−３３００）を用い、ま
た、装置の動作時の印加電圧を５ｋＶに設定したものを
用いた。
【００３８】これと比較するため、フィルターケース２
６ａ、２６ｂ内の絶縁性冷却液３０を取除き、他の仕様
を上記同様としたマグネトロン装置も製作した（以下、
「比較品」という）。
６ａ、２６ｂ内の絶縁性冷却液３０を取除き、他の仕様
を上記同様としたマグネトロン装置も製作した（以下、
「比較品」という）。
【００３９】続いて、本発明品および比較品について、
チョークコイル２８ａ、２８ｂと対向するフィルターケ
ース２６ａ、２６ｂの内面に高さの異なる金属片（図示
せず）を接続固定し、チョークコイル２８ａ、２８ｂと
フィルターケース２６ａ、２６ｂとの絶縁距離Ｌ１、Ｌ
２を調べたところ、以下の結果が得られた。
チョークコイル２８ａ、２８ｂと対向するフィルターケ
ース２６ａ、２６ｂの内面に高さの異なる金属片（図示
せず）を接続固定し、チョークコイル２８ａ、２８ｂと
フィルターケース２６ａ、２６ｂとの絶縁距離Ｌ１、Ｌ
２を調べたところ、以下の結果が得られた。
【００４０】本発明品は、絶縁距離Ｌ１およびＬ２が２
２〜２６ｍｍであったのに対し、比較品は５１〜６０ｍ
ｍであった。したがって、本発明品は比較品と比較して
絶縁距離Ｌ１およびＬ２を約１／２に短縮することがで
きることがわかる。
２〜２６ｍｍであったのに対し、比較品は５１〜６０ｍ
ｍであった。したがって、本発明品は比較品と比較して
絶縁距離Ｌ１およびＬ２を約１／２に短縮することがで
きることがわかる。
【００４１】（第２の実施の形態）図４および図５は本
発明の第２の実施の形態を示し、この実施形態は、上記
第１の実施の形態とは、電波漏洩防止部１０のフィルタ
ーケース２６ａ、２６ｂにより磁気回路部９も包囲し
て、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９の磁石２２ａ、２
２ｂ、筒状陽極１１および冷却用フィン２４等と接触す
るように構成するようにした点、図５に示すように供給
口２９ａを複数枚の冷却用フィン２４の端面と対向する
位置に設けて、絶縁性冷却液３０が冷却用フィン２４の
隙間に容易に通過できるように配置している点および、
フィルターケース２６ａの中央部に密閉を考慮した絞り
加工部４１ａを設け、絞り加工部４１ａにマグネトロン
部８のハトメ状管１６を圧入した後、ろう付け、溶接等
により密閉している点が相違している。
発明の第２の実施の形態を示し、この実施形態は、上記
第１の実施の形態とは、電波漏洩防止部１０のフィルタ
ーケース２６ａ、２６ｂにより磁気回路部９も包囲し
て、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９の磁石２２ａ、２
２ｂ、筒状陽極１１および冷却用フィン２４等と接触す
るように構成するようにした点、図５に示すように供給
口２９ａを複数枚の冷却用フィン２４の端面と対向する
位置に設けて、絶縁性冷却液３０が冷却用フィン２４の
隙間に容易に通過できるように配置している点および、
フィルターケース２６ａの中央部に密閉を考慮した絞り
加工部４１ａを設け、絞り加工部４１ａにマグネトロン
部８のハトメ状管１６を圧入した後、ろう付け、溶接等
により密閉している点が相違している。
【００４２】この実施形態によれば、絶縁性冷却液３０
によりフィルターケース２６ａ、２６ｂ内のチョークコ
イル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷却
されることはもちろんのこと、ヨーク２５ａ、２５ｂ内
の磁石２２ａ、２２ｂおよび筒状陽極１１も冷却される
ので、マグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減
することはもちろんのこと、マグネトロン装置の出力低
下も低減することができる。
によりフィルターケース２６ａ、２６ｂ内のチョークコ
イル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷却
されることはもちろんのこと、ヨーク２５ａ、２５ｂ内
の磁石２２ａ、２２ｂおよび筒状陽極１１も冷却される
ので、マグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減
することはもちろんのこと、マグネトロン装置の出力低
下も低減することができる。
【００４３】また、フィルターケース２６ａ、２６ｂに
より、磁気回路部９および電波漏洩防止部１０を包囲し
ているので、マグネトロン部８、磁気回路部９等の従来
の主要部品を変更することがない。その結果、前記主要
部品の金型等の設備を新たに製作する必要がなくなる。
より、磁気回路部９および電波漏洩防止部１０を包囲し
ているので、マグネトロン部８、磁気回路部９等の従来
の主要部品を変更することがない。その結果、前記主要
部品の金型等の設備を新たに製作する必要がなくなる。
【００４４】また、筒状陽極１１の外周部に設けられた
複数枚の冷却用フィン２４を有しているので、絶縁性冷
却液３０により磁石２２ａ、２２ｂおよび筒状陽極１１
がさらに冷却される。
複数枚の冷却用フィン２４を有しているので、絶縁性冷
却液３０により磁石２２ａ、２２ｂおよび筒状陽極１１
がさらに冷却される。
【００４５】また、供給口２９ａを冷却用フィン２４の
端面と対向する位置に設けているので、絶縁性冷却液３
０が冷却用フィン２４の隙間に容易に通過でき、冷却用
フィン２４による放熱効果がさらに向上することができ
る。
端面と対向する位置に設けているので、絶縁性冷却液３
０が冷却用フィン２４の隙間に容易に通過でき、冷却用
フィン２４による放熱効果がさらに向上することができ
る。
【００４６】さらに、フィルターケース２６ａ、２６ｂ
により磁気回路部９も包囲しているので、上記第１の実
施の形態において必要であったゴムパッキン３１等を不
要にすることができる。
により磁気回路部９も包囲しているので、上記第１の実
施の形態において必要であったゴムパッキン３１等を不
要にすることができる。
【００４７】なお、第２の実施の形態では、フィルター
ケース２６ａに供給口２９ａおよび排出口２９ｂを設け
たもので説明したが、これに限らず、フィルターケース
２６ａに供給口２９ａだけのものでもよい。また、供給
口２９ａおよび排出口２９ｂをフィルターケース２６ａ
の同一側面に設けたもので説明したが、これに限らず、
フィルターケース２６ａの別々の側面に設けたもの、或
いはフィルターケース２６ｂ等に設けたものでもよい。
ケース２６ａに供給口２９ａおよび排出口２９ｂを設け
たもので説明したが、これに限らず、フィルターケース
２６ａに供給口２９ａだけのものでもよい。また、供給
口２９ａおよび排出口２９ｂをフィルターケース２６ａ
の同一側面に設けたもので説明したが、これに限らず、
フィルターケース２６ａの別々の側面に設けたもの、或
いはフィルターケース２６ｂ等に設けたものでもよい。
【００４８】（第３の実施の形態）図６および図７は本
発明の第３の実施の形態を示し、この実施形態は、上記
第１の実施の形態とは、ヨークを兼ねた鉄製のフィルタ
ーケース２５ｃ、２５ｄ内に、筒状陽極１１、磁石２２
ａ、２２ｂ等を囲んで磁気回路部９を形成している点、
フィルターケース２５ｃ、２５ｄ、２５ｅで包囲された
領域内に、高圧コンデンサー２７およびチョークコイル
２８ａ、２８ｂ等を備え、フィルターケース２５ｃ、２
５ｅ内が密封され、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９の
磁石２２ａ、２２ｂ、筒状陽極１１および冷却用フィン
２４等と接触するように構成するようにした点、図７に
示すように供給口２９ａを複数枚の冷却用フィン２４の
端面と対向する位置に設けて、絶縁性冷却液３０が冷却
用フィン２４の隙間に容易に通過できるように配置して
いる点、フィルターケース２５ｃの中央部に密閉を考慮
した絞り加工部４１ｂを設け、絞り加工部４１ｂにマグ
ネトロン部８のハトメ状管１６を圧入した後、ろう付
け、溶接等により密閉している点および、絶縁性冷却液
３０をフィルターケース２５ｃ、フィルターケース２５
ｅ内に対し導出入しやすくするために、磁気回路部９内
と電波漏洩防止部１０内との間のフィルターケース２５
ｄに連通部４２を設けている点が相違している。なお、
連通部４２にマグネトロン部８の挿入孔４３および磁石
２２ｂの中央孔４４を利用している。
発明の第３の実施の形態を示し、この実施形態は、上記
第１の実施の形態とは、ヨークを兼ねた鉄製のフィルタ
ーケース２５ｃ、２５ｄ内に、筒状陽極１１、磁石２２
ａ、２２ｂ等を囲んで磁気回路部９を形成している点、
フィルターケース２５ｃ、２５ｄ、２５ｅで包囲された
領域内に、高圧コンデンサー２７およびチョークコイル
２８ａ、２８ｂ等を備え、フィルターケース２５ｃ、２
５ｅ内が密封され、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９の
磁石２２ａ、２２ｂ、筒状陽極１１および冷却用フィン
２４等と接触するように構成するようにした点、図７に
示すように供給口２９ａを複数枚の冷却用フィン２４の
端面と対向する位置に設けて、絶縁性冷却液３０が冷却
用フィン２４の隙間に容易に通過できるように配置して
いる点、フィルターケース２５ｃの中央部に密閉を考慮
した絞り加工部４１ｂを設け、絞り加工部４１ｂにマグ
ネトロン部８のハトメ状管１６を圧入した後、ろう付
け、溶接等により密閉している点および、絶縁性冷却液
３０をフィルターケース２５ｃ、フィルターケース２５
ｅ内に対し導出入しやすくするために、磁気回路部９内
と電波漏洩防止部１０内との間のフィルターケース２５
ｄに連通部４２を設けている点が相違している。なお、
連通部４２にマグネトロン部８の挿入孔４３および磁石
２２ｂの中央孔４４を利用している。
【００４９】この実施形態によれば、フィルターケース
２５ｃ、２５ｄがフィルターケースを兼ねているので、
部品点数が削減できるばかりでなく、装置の重量も軽量
化することができる。
２５ｃ、２５ｄがフィルターケースを兼ねているので、
部品点数が削減できるばかりでなく、装置の重量も軽量
化することができる。
【００５０】また、フィルターケース２５ｃ、フィルタ
ーケース２５ｅ内の絶縁性冷却液３０により、チョーク
コイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷
却されることはもちろんのこと、磁石２２ａ、２２ｂお
よび筒状陽極１１も冷却されるので、マグネトロン装置
のノイズ防止性能の劣化を低減することはもちろんのこ
と、マグネトロン装置の出力低下も低減することができ
る。
ーケース２５ｅ内の絶縁性冷却液３０により、チョーク
コイル２８ａ、２８ｂおよび高圧コンデンサー２７が冷
却されることはもちろんのこと、磁石２２ａ、２２ｂお
よび筒状陽極１１も冷却されるので、マグネトロン装置
のノイズ防止性能の劣化を低減することはもちろんのこ
と、マグネトロン装置の出力低下も低減することができ
る。
【００５１】また、フィルターケース２５ｃ、２５ｄに
より、磁気回路部９および電波漏洩防止部１０を包囲し
ているので、マグネトロン部８、磁石２２ａ、２２ｂ等
の従来の主要部品を変更することがない。その結果、前
記主要部品の金型等の設備を新たに製作する必要がなく
なる。
より、磁気回路部９および電波漏洩防止部１０を包囲し
ているので、マグネトロン部８、磁石２２ａ、２２ｂ等
の従来の主要部品を変更することがない。その結果、前
記主要部品の金型等の設備を新たに製作する必要がなく
なる。
【００５２】また、フィルターケース２５ｄに連通部４
２を設け、かつその連通部４２に磁石２２ｂの中央孔４
４を利用しているので、装置の動作時において磁気回路
部９内と電波漏洩防止部１０内の絶縁性冷却液３０の温
度差により、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９内と電波
漏洩防止部１０内との間で循環運動（対流）し、磁気回
路部９内および電波漏洩防止部１０内の絶縁性冷却液３
０を常に一定にした温度に保つことができ、かつ磁石２
２ｂが冷却される。その結果、マグネトロン装置のノイ
ズ防止性能およびマグネトロン装置の出力性能を安定す
ることができる。
２を設け、かつその連通部４２に磁石２２ｂの中央孔４
４を利用しているので、装置の動作時において磁気回路
部９内と電波漏洩防止部１０内の絶縁性冷却液３０の温
度差により、絶縁性冷却液３０が磁気回路部９内と電波
漏洩防止部１０内との間で循環運動（対流）し、磁気回
路部９内および電波漏洩防止部１０内の絶縁性冷却液３
０を常に一定にした温度に保つことができ、かつ磁石２
２ｂが冷却される。その結果、マグネトロン装置のノイ
ズ防止性能およびマグネトロン装置の出力性能を安定す
ることができる。
【００５３】なお、第３の実施の形態では、連通部４２
が磁石２２ｂの中央孔４４を利用したものであるが、こ
れに限らず、磁石２２ｂが接触する側のフィルターケー
ス２５ｄ面に例えば１個以上の孔を設けたもの、或いは
例えば図１に示すリング状のゴムパッキン３１、シリコ
ン系の接着剤等を用いて連通部４２をなくしてもよい。
が磁石２２ｂの中央孔４４を利用したものであるが、こ
れに限らず、磁石２２ｂが接触する側のフィルターケー
ス２５ｄ面に例えば１個以上の孔を設けたもの、或いは
例えば図１に示すリング状のゴムパッキン３１、シリコ
ン系の接着剤等を用いて連通部４２をなくしてもよい。
【００５４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、マグ
ネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両端側
に磁石を配置し、かつ、前記筒状陽極および前記磁石を
囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース内
にチョークコイルおよびコンデンサーーを有する電波漏
洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース内
が密封され、かつ前記フィルターケース内に絶縁性冷却
液が収容されているので、チョークコイルおよびコンデ
ンサーの部品焼けを防止できると共にマグネトロン装置
のノイズ防止性能の劣化を低減することができ、かつマ
グネトロン装置を小型化することができる。
ネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両端側
に磁石を配置し、かつ、前記筒状陽極および前記磁石を
囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース内
にチョークコイルおよびコンデンサーーを有する電波漏
洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース内
が密封され、かつ前記フィルターケース内に絶縁性冷却
液が収容されているので、チョークコイルおよびコンデ
ンサーの部品焼けを防止できると共にマグネトロン装置
のノイズ防止性能の劣化を低減することができ、かつマ
グネトロン装置を小型化することができる。
【００５５】また、フィルターケース内に絶縁性冷却液
が導入されるよう構成しているので、最終工程の前工程
において、絶縁性冷却液のこぼれ、飛散による汚染が生
じるのを防止することができる。
が導入されるよう構成しているので、最終工程の前工程
において、絶縁性冷却液のこぼれ、飛散による汚染が生
じるのを防止することができる。
【００５６】また、フィルターケース内に絶縁性冷却液
が導入され、かつフィルターケース内の絶縁性冷却液が
導出されるよう構成しているので、さらに、チョークコ
イルおよびコンデンサーの部品焼けを防止できると共に
マグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減するこ
とができる。
が導入され、かつフィルターケース内の絶縁性冷却液が
導出されるよう構成しているので、さらに、チョークコ
イルおよびコンデンサーの部品焼けを防止できると共に
マグネトロン装置のノイズ防止性能の劣化を低減するこ
とができる。
【００５７】また、ヨーク内に絶縁性冷却液が収容され
ているので、マグネトロン装置の出力低下を低減するこ
とができる。
ているので、マグネトロン装置の出力低下を低減するこ
とができる。
【００５８】また、絶縁性冷却液が磁気回路部と電波漏
洩防止部とを入出する連通部を有しているので、磁気回
路部内および電波漏洩防止部内の絶縁性冷却液を常に一
定にした温度に保つことができ、マグネトロン装置のノ
イズ防止性能およびマグネトロン装置の出力性能を安定
することができる。
洩防止部とを入出する連通部を有しているので、磁気回
路部内および電波漏洩防止部内の絶縁性冷却液を常に一
定にした温度に保つことができ、マグネトロン装置のノ
イズ防止性能およびマグネトロン装置の出力性能を安定
することができる。
【００５９】また、連通部が電波漏洩防止部側の磁石の
中央孔を利用しているので、電波漏洩防止部側の磁石が
冷却されてマグネトロン装置の出力性能を安定すること
ができる。
中央孔を利用しているので、電波漏洩防止部側の磁石が
冷却されてマグネトロン装置の出力性能を安定すること
ができる。
【００６０】また、フィルターケースにより、磁気回路
部および電波漏洩防止部を包囲しているので、マグネト
ロン部、磁気回路部の磁石等の従来の主要部品の金型等
の設備を新たに製作する必要がなくなる。
部および電波漏洩防止部を包囲しているので、マグネト
ロン部、磁気回路部の磁石等の従来の主要部品の金型等
の設備を新たに製作する必要がなくなる。
【００６１】また、マグネトロン部の筒状陽極がその外
周部に冷却用フィンを有しているので、さらにマグネト
ロン装置の出力低下を低減することができる。
周部に冷却用フィンを有しているので、さらにマグネト
ロン装置の出力低下を低減することができる。
【００６２】本発明のマグネトロン装置の製造方法は、
マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両
端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前記磁石
を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース
内にチョークコイルおよびコンデンサーーを有する電波
漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース
内に絶縁性冷却液が収容されているマグネトロン装置の
製造において、前記磁気回路部と前記電波漏洩防止部と
を連結した後、前記電波漏洩防止部のフィルターケース
内に前記絶縁性冷却液を注入しているので、マグネトロ
ン装置を容易に製造することができる。
マグネトロン部と、前記マグネトロン部の筒状陽極の両
端側に配置された磁石と、前記筒状陽極および前記磁石
を囲むヨークからなる磁気回路部と、フィルターケース
内にチョークコイルおよびコンデンサーーを有する電波
漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィルターケース
内に絶縁性冷却液が収容されているマグネトロン装置の
製造において、前記磁気回路部と前記電波漏洩防止部と
を連結した後、前記電波漏洩防止部のフィルターケース
内に前記絶縁性冷却液を注入しているので、マグネトロ
ン装置を容易に製造することができる。
【図１】本発明の第１の実施例の形態のマグネトロン装
置を示す断面図
置を示す断面図
【図２】同マグネトロン装置を示す下面図
【図３】同マグネトロン装置における製造方法を示すブ
ロック図
ロック図
【図４】本発明の第２の実施例の形態のマグネトロン装
置を示す断面図
置を示す断面図
【図５】同マグネトロン装置を示す斜視図
【図６】本発明の第３の実施例の形態のマグネトロン装
置を示す断面図
置を示す断面図
【図７】同マグネトロン装置を示す斜視図
【図８】従来のマグネトロン装置を示す半断面図
８ マグネトロン部 ９ 磁気回路部 １０ 電波漏洩防止部 １１ 筒状陽極 ２２ａ、２２ｂ 磁石 ２５ａ、２５ｂ ヨーク ２６ａ、２６ｂ フィルターケース ２７ コンデンサー ２８ａ、２８ｂ チョークコイル ３０ 絶縁性冷却液 ３２ 磁気回路部工程 ３３ 電波漏洩防止部工程 ３４ 連結工程 ３５ 冷却液注入工程
Claims (9)
- 【請求項１】 マグネトロン部と、前記マグネトロン部
の筒状陽極の両端側に配置された磁石と、前記筒状陽極
および前記磁石を囲むヨークからなる磁気回路部と、フ
ィルターケース内にチョークコイルおよびコンデンサー
を有する電波漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィ
ルターケース内に絶縁性冷却液が収容されていることを
特徴とするマグネトロン装置。 - 【請求項２】 フィルターケース内に絶縁性冷却液が導
入されるよう構成していることを特徴とする請求項１記
載のマグネトロン装置。 - 【請求項３】 フィルターケース内の絶縁性冷却液が導
出されるよう構成していることを特徴とする請求項２記
載のマグネトロン装置。 - 【請求項４】 ヨーク内に絶縁性冷却液が収容されてい
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマ
グネトロン装置。 - 【請求項５】 絶縁性冷却液が磁気回路部と電波漏洩防
止部とを入出する連通部を有していることを特徴とする
請求項４記載のマグネトロン装置。 - 【請求項６】 連通部に電波漏洩防止部側の磁石の中央
孔を利用していることを特徴とする請求項５記載のマグ
ネトロン装置。 - 【請求項７】 フィルターケースにより、磁気回路部お
よび電波漏洩防止部を包囲していることを特徴とする請
求項１〜３のいずれかに記載のマグネトロン装置。 - 【請求項８】 マグネトロン部の筒状陽極がその外周部
に冷却用フィンを有していることを特徴とする請求項１
〜７のいずれかに記載のマグネトロン装置。 - 【請求項９】 マグネトロン部と、前記マグネトロン部
の筒状陽極の両端側に配置された磁石と、前記筒状陽極
および前記磁石を囲むヨークからなる磁気回路部と、フ
ィルターケース内にチョークコイルおよびコンデンサー
を有する電波漏洩防止部とを備え、少なくとも前記フィ
ルターケース内に絶縁性冷却液が収容されているマグネ
トロン装置の製造において、前記磁気回路部と前記電波
漏洩防止部とを連結した後、前記電波漏洩防止部のフィ
ルターケース内に前記絶縁性冷却液を注入していること
を特徴とするマグネトロン装置の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327812A JP2000156171A (ja) | 1998-11-18 | 1998-11-18 | マグネトロン装置およびその製造方法 |
| US09/432,436 US6351071B1 (en) | 1998-11-18 | 1999-11-02 | Magnetron apparatus and manufacturing method therefor |
| DE69917735T DE69917735T2 (de) | 1998-11-18 | 1999-11-16 | Magnetrongerät und Herstellungsverfahren |
| EP99122076A EP1003198B1 (en) | 1998-11-18 | 1999-11-16 | Magnetron apparatus and manufacturing method therefor |
| CNB991248651A CN1290142C (zh) | 1998-11-18 | 1999-11-18 | 磁电管装置及其制造方法 |
| KR1019990051303A KR20000035553A (ko) | 1998-11-18 | 1999-11-18 | 마그네트론장치 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327812A JP2000156171A (ja) | 1998-11-18 | 1998-11-18 | マグネトロン装置およびその製造方法 |
Publications (1)
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