JP2000155774A - データ処理方法および装置、パターン形成方法および装置、情報記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回路要素を階層構造で表現した回路データか
らイメージデータを生成する処理の効率を改善する。 【解決手段】 取得する回路データの集積回路の全体の
領域を検出して複数に分割し、その各々に存在する回路
要素を領域データにより検出し、検出された回路要素の
回路データを複数の分割領域ごとに展開して中間データ
を生成する。この中間データを複数の分割領域ごとにソ
ートする。ソートされた複数の分割領域の中間データを
マージして一つの全体領域のイメージデータを生成す
る。基準のＮ倍の回路データを一個のままソートすると
所用時間は略Ｎ・logＮ倍となるが、Ｎ個に分割して順
番にソートすると全体の所用時間は略Ｎ倍にしかならな
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の各種の
回路要素が階層構造で表現されている回路データから回
路パターンの形成に必要なイメージデータを生成するデ
ータ処理方法および装置、このデータ処理方法および装
置により生成されたイメージデータで回路素材に回路パ
ターンを形成するパターン形成方法および装置、回路デ
ータからイメージデータを生成する処理動作をコンピュ
ータに実行させるためのプログラムがソフトウェアとし
て格納されている情報記憶媒体、に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩ(Large Scale Integrated
Circuit)などの集積回路装置が各種用途に多用されてお
り、このような集積回路装置を良好な生産性で大量生産
することが要望されている。集積回路装置を製造する場
合、集積回路の各種の回路要素が階層構造で表現されて
いる回路データを作成し、この回路データを実際の集積
回路の回路パターンに対応したイメージデータに変換す
る。

【０００３】例えば、製造する集積回路装置がＲＡＭ(R
andom Access Memory)の場合、回路要素として同一構造
の多数のメモリセルが配列される。このため、ＲＡＭの
回路データでは、メモリセルは一個のみデータ定義して
存在領域を示す領域データを組み合わせることによりデ
ータ容量を削減しているが、これがイメージデータでは
実際に多数のメモリセルの回路パターンを繰り返したイ
メージデータとされる。

【０００４】このデータ処理方法を一従来例として図１
０ないし図１３を参照して以下に説明する。なお、図１
０は集積回路装置の回路パターンの階層構造を示す模式
図、図１２は回路データのデータ構造を示す模式図、図
１１は一つの回路要素である回路セルの内部構造を示す
模式図、図１３は従来のデータ処理方法を示す模式図、
である。

【０００５】一般的に集積回路装置は複数の回路要素か
らなり、図１０および図１１に示すように、このような
回路要素は回路セル“Ａ〜Ｅ…”や素子要素“ｘ，ｙ
…，Ｘ，Ｙ…”からなる。つまり、回路要素とは回路セ
ルや素子要素の総称であり、集積回路装置での回路要素
の相互関係は階層構造で表現することができる。

【０００６】例えば、ここで例示する集積回路装置で
は、図１０に示すように、全体領域“ＴＯＰ”に二つの
回路セル“Ａ，Ｂ”が内包されており、回路セル“Ａ”
には二つの回路セル“Ｃ，Ｄ”が内包されている。回路
セル“Ｄ”には最下層の回路セル“Ｅ”が内包されてお
り、図１１に示すように、この最下層の回路セル“Ｅ”
には複数の素子要素“ｘ，ｙ…，Ｘ，Ｙ…”が内包され
ている。

【０００７】本例の場合、回路セル“Ａ，Ｂ…”の原点
座標は自身の座標と上位セルの座標とで“[０，０]＝
(Ａx，Ａy)，[０，０]＝(Ｂx，Ｂy)…”のように表現さ
れており、素子要素“ｘ，ｙ…，Ｘ，Ｙ…”の原点座標
は“(ａ，ｂ)，(ｃ，ｄ)…，(Ａ，Ｂ)，(Ｃ，Ｄ)…”と
表現されている。

【０００８】そこで、このような集積回路の各種要素を
階層構造で表現した回路データは、図１２に示すよう
に、回路セルごとに下位の回路セルとの関係が定義され
ており、回路セルの各々に存在領域を示す領域データが
個々に設定されている。ただし、この回路セルの領域デ
ータは上位の回路セルにおける相対座標で表現されてい
るので、実際に回路パターンを形成するときには全体領
域における絶対座標に変換する必要がある。

【０００９】例えば、図１１に示すように、最下位の回
路セル“Ｅ”に三個のトランジスタ素子が存在し、その
素子要素である拡散層“ｘ，ｙ，ｚ”の要素座標が
“(ａ，ｂ)，(ｃ，ｄ)，(ｅ，ｆ)”で、素子要素である
ゲート層“Ｘ，Ｙ，Ｚ”の要素座標が“(Ａ，Ｂ)，
(Ｃ，Ｄ)，(Ｅ，Ｆ)”の場合、これらは回路セル“Ｅ”
のセル座標(０，０)からの相対座標なので、回路パター
ンの形成時には全体領域“ＴＯＰ”の原点座標(０，０)
からの絶対座標に変換する必要がある。

【００１０】そこで、従来のデータ処理装置のデータ処
理方法では、図１３に示すように、前述のように各種の
回路要素が階層構造で表現された回路データを取得し
(ステップＳ１)、この取得された回路データから階層構
造や定義情報を読み取り(ステップＳ２，Ｓ３)、回路デ
ータの階層構造を展開処理して展開データを生成する
(ステップＳ４，Ｓ５)。

【００１１】これは回路データの階層構造を展開処理し
て集積回路の回路パターンのイメージデータに相当する
中間データを生成する既存の処理で、例えば、特開平４
−２５７０７２号公報や特開平４−２６７３２３号公報
や特開平４−３０２４５１号公報などに詳述されてい
る。

【００１２】上述のように生成された展開データは回路
パターンのイメージデータに相当するが、この段階の展
開データはデータ内容が回路セルごとの順番に配列され
ている。このため、パターン形成装置であるＥＢ(Elect
ron Beam)露光装置やマスク製造装置などで実際に集積
回路やフォトマスクを形成する場合には、回路パターン
をｘｙ方向に絶対座標で順次走査する。

【００１３】一般的なＥＢ露光装置は、形成する回路パ
ターンのディストーションを所定の基準以下とするた
め、回路パターンを一度に形成する単位領域は所定範囲
に制限されている。このため、ＥＢ露光装置が大型の回
路パターンを形成する場合、イメージデータの全体領域
を複数の単位領域に分割し、その単位領域ごとに回路パ
ターンを順次形成する必要がある。

【００１４】従って、大型の回路パターンのイメージデ
ータをＥＢ露光装置に供給する場合、その複数の単位領
域にイメージデータを分割してから順番に供給すること
が好適である。さらに、回路要素の相対座標がイメージ
データの絶対座標に変換されていれば、ＥＢ露光装置は
回路パターンを順次走査により効率的に形成することが
できる。

【００１５】そこで、従来のデータ処理装置のデータ処
理方法では、全体領域に展開した展開データを保存して
からソート処理を実行する(ステップＳ６，Ｓ７)。この
ソート処理では、回路要素が要素座標に基づいて絶対座
標の順番に変換されるので、回路パターンの順次走査に
対応したソートデータが生成される(ステップＳ８)。

【００１６】このソート処理を図１１に例示した最下位
の回路セル“Ｅ”を参照して以下に具体的に説明する。
まず、素子要素は製造工程ごとに階層分けする必要があ
るので、回路セル“Ｅ”のトランジスタ素子の場合には
拡散層“ｘ，ｙ，ｚ”とゲート層“Ｘ，Ｙ，Ｚ”とに階
層分けされる。

【００１７】このように階層分けされた素子要素を、そ
の要素座標のｙ座標の数値で昇順にソートし、ｙ座標の
数値が同一の場合にはｘ座標の数値で昇順にソートす
る。このように回路セル“Ｅ”のトランジスタ素子でソ
ート処理を実行すると、拡散層“ｘ，ｙ，ｚ”の順番は
“ｙ(ｃ，ｄ)，ｚ(ｅ，ｆ)，ｘ(ａ，ｂ)”となり、ゲー
ト層“Ｘ，Ｙ，Ｚ”の順番は“Ｙ(Ｃ，Ｄ)，Ｚ(Ｅ，
Ｆ)，Ｘ(Ａ，Ｂ)”となる。

【００１８】上述のようなソート処理によりソートデー
タが生成されると、このソートデータは所定フォーマッ
トのイメージデータとして保存され、所定の単位領域ご
とに分割されてＥＢ露光装置などに供給される(ステッ
プＳ９，Ｓ１０)。ＥＢ露光装置は、単位領域ごとに外
部入力されるイメージデータに対応した順次走査で回路
素材であるシリコンウェハやマスク基板に回路パターン
を形成し、集積回路やフォトマスクを製造することがで
きる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上述したデータ処理装
置のデータ処理方法では、階層構造の回路データからイ
メージデータを生成するので、このイメージデータに対
応した順次走査により回路パターンを形成することがで
きる。

【００２０】しかし、回路データからイメージデータを
生成するとき、回路データの階層構造を展開処理した全
域の展開データを一括にソート処理するので、大容量の
展開データを一時保存する必要があり、また、ソート処
理のデータ容量が膨大で処理負担が過大である。

【００２１】一般にデータ容量が“Ｎ”倍となるとソー
ト処理の所用時間は“Ｎ・logＮ”倍となるので、回路
規模が過大で要素個数が膨大な現在の高集積度のＵＬＳ
Ｉ(Ultra LSI)などの場合、回路データを展開データに
展開処理してソート処理すると処理に多大な時間が必要
である。

【００２２】さらに、上述のように大容量の展開データ
をデータ処理するために従来のデータ処理装置は大容量
のワークメモリを必要としており、このワークメモリに
大容量の展開データを読み書きする必要もあるので、回
路データからイメージデータを生成する能率が低下して
いる。例えば、処理時間を短縮するために処理速度が高
速なデータ処理装置を使用することも想定できるが、こ
れは製品投資の負担が大きく好ましくない。

【００２３】本発明は上述のような課題に鑑みてなされ
たものであり、階層構造の回路データからイメージデー
タを効率的に生成できて大容量のデータメモリも必要と
しないデータ処理方法および装置、階層構造の回路デー
タに基づいて回路パターンを効率的に形成できて大容量
のデータメモリも必要としないパターン形成方法および
装置、回路データからイメージデータを生成する処理動
作をコンピュータに効率的に実行させるためのプログラ
ムがソフトウェアとして格納されている情報記憶媒体、
を提供することを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の第一のデータ処
理装置は、集積回路の各種の回路要素が階層構造で表現
されている回路データを展開処理してイメージデータを
生成するデータ処理装置であって、前記回路データを複
数の分割領域に分割処理する領域分割手段と、該領域分
割手段により分割処理された複数の分割領域の回路デー
タを個々に展開処理して展開データを生成するデータ展
開手段と、該データ展開手段により生成された複数の分
割領域の展開データを個々にソート処理して複数のソー
トデータを生成するデータソート手段と、を具備してい
る。

【００２５】本発明の第二のデータ処理装置は、前記回
路データを取得する構造取得手段と、該構造取得手段に
より取得された回路データの集積回路の全体の領域を検
出して複数に分割処理する領域分割手段と、該領域分割
手段により生成された複数の分割領域の各々に存在する
前記回路要素を検出する要素検出手段と、該要素検出手
段により検出された回路要素の回路データを複数の分割
領域ごとに展開処理して展開データを生成するデータ展
開手段と、該データ展開手段により生成された展開デー
タを複数の分割領域ごとにソート処理するデータソート
手段と、を具備している。

【００２６】上述のようなデータ処理装置において、前
記回路データは、階層構造で表現されている各種の回路
要素の各々に存在領域を示す領域データが個々に設定さ
れており、前記要素検出手段は、領域データにより複数
の分割領域の各々に存在する前記回路要素を検出するこ
とも可能である。

【００２７】上述のようなデータ処理装置において、個
々にソート処理された複数の分割領域のソートデータを
マージ処理して一つの全体領域のイメージデータを生成
するデータマージ手段も具備していることも可能であ
る。

【００２８】上述のようなデータ処理装置において、前
記イメージデータはパターン形成装置での所定の単位領
域ごとの回路パターンの形成に利用されるものであり、
前記領域分割手段は、前記パターン形成装置の単位領域
に対応した分割領域に回路データを分割処理することも
可能である。

【００２９】本発明の第一のパターン形成装置は、集積
回路の各種の回路要素が階層構造で表現されている回路
データを展開処理してイメージデータを生成し、このイ
メージデータで回路素材に回路パターンを形成するパタ
ーン形成装置であって、前記回路データを複数の分割領
域に分割処理する領域分割手段と、該領域分割手段によ
り分割処理された複数の分割領域の回路データを個々に
展開処理して展開データを生成するデータ展開手段と、
該データ展開手段により生成された複数の分割領域の展
開データを個々にソート処理して複数のソートデータを
生成するデータソート手段と、を具備している。

【００３０】本発明の第二のパターン形成装置は、前記
回路データを取得する構造取得手段と、該構造取得手段
により取得された回路データの集積回路の全体の領域を
検出して複数に分割処理する領域分割手段と、該領域分
割手段により生成された複数の分割領域の各々に存在す
る前記回路要素を検出する要素検出手段と、該要素検出
手段により検出された回路要素の回路データを複数の分
割領域ごとに展開処理して展開データを生成するデータ
展開手段と、該データ展開手段により生成された展開デ
ータを複数の分割領域ごとにソート処理するデータソー
ト手段と、を具備している。

【００３１】上述のようなパターン形成装置において、
前記回路データは、階層構造で表現されている各種の回
路要素の各々に存在領域を示す領域データが個々に設定
されており、前記要素検出手段は、領域データにより複
数の分割領域の各々に存在することも可能である。

【００３２】上述のようなパターン形成装置において、
個々にソート処理された複数の分割領域のソートデータ
をマージ処理して一つの全体領域のイメージデータを生
成するデータマージ手段と、該データマージ手段により
生成された一つのイメージデータで回路素材に回路パタ
ーンを形成するパターン形成手段と、を具備しているこ
とも可能である。

【００３３】上述のようなパターン形成装置において、
前記パターン形成手段は、前記回路パターンの形成を前
記イメージデータの所定の単位領域ごとに実行し、前記
領域分割手段は、前記パターン形成手段の単位領域に対
応した分割領域に回路データを分割処理することも可能
である。

【００３４】本発明の第一の情報記憶媒体は、コンピュ
ータが読取自在なソフトウェアが格納されている情報記
憶媒体において、集積回路の各種の回路要素が階層構造
で表現されている回路データを取得するステップと、こ
の取得された回路データを複数の分割領域に分割処理す
るステップと、この分割処理された複数の分割領域の回
路データを個々に展開処理して展開データを生成するス
テップと、この生成された複数の分割領域の展開データ
を個々にソート処理して複数のソートデータを生成する
ステップと、を前記コンピュータに実行させるためのプ
ログラムが格納されている。

【００３５】本発明の第二の情報記憶媒体は、集積回路
の各種の回路要素が階層構造で表現されている回路デー
タを取得するステップと、この取得された回路データの
集積回路の全体の領域を検出して複数に分割処理するス
テップと、この生成された複数の分割領域の各々に存在
する前記回路要素を検出するステップと、この検出され
た回路要素の回路データを複数の分割領域ごとに展開処
理して展開データを生成するステップと、この生成され
た展開データを複数の分割領域ごとにソート処理するス
テップと、を前記コンピュータに実行させるためのプロ
グラムが格納されている。

【００３６】上述のような情報記憶媒体において、前記
回路データは、階層構造で表現されている各種の回路要
素の各々に存在領域を示す領域データが個々に設定され
ており、この領域データにより複数の分割領域の各々に
存在する前記回路要素を検出するステップを前記コンピ
ュータに実行させるためのプログラムが格納されている
ことも可能である。

【００３７】上述のようなパターン形成装置において、
個々にソート処理された複数の分割領域のソートデータ
をマージ処理して一つの全体領域のイメージデータを生
成するステップを前記コンピュータに実行させるための
プログラムが格納されていることも可能である。

【００３８】上述のようなパターン形成装置において、
前記イメージデータはパターン形成装置での所定の単位
領域ごとの回路パターンの形成に利用されるものであ
り、前記分割領域は前記パターン形成装置の単位領域に
対応していることも可能である。

【００３９】本発明のデータ処理装置は上述のような構
成を具備するため、そのデータ処理方法では、階層構造
の回路データを構造取得手段が取得すると、この回路デ
ータの集積回路の全体の領域を領域分割手段が検出して
複数に分割処理する。この複数の分割領域の各々に存在
する回路要素を要素検出手段が領域データにより検出
し、この検出された回路要素の回路データをデータ展開
手段が複数の分割領域ごとに展開処理して展開データを
生成する。このように生成された展開データをデータソ
ート手段が複数の分割領域ごとにソート処理し、このソ
ート処理された複数の分割領域のソートデータをデータ
マージ手段がマージ処理して一つの全体領域のイメージ
データを生成する。これにより、各種の回路要素を階層
構造で表現した回路データから、実際の集積回路の回路
パターンを反映したイメージデータが生成される。ただ
し、本発明のデータ処理装置のデータ処理方法では、従
来技術とは相違して、回路データを複数の領域に分割処
理してから個々に展開処理してソート処理する。例え
ば、データ容量が基準の“Ｎ”倍でも“Ｎ”個に分割処
理して順番にソート処理すると、複数のソート処理の個
々の所用時間は基準と同等で全体の所用時間は基準の略
“Ｎ”倍にしかならない。

【００４０】本発明のパターン形成装置によるパターン
形成方法では、階層構造の回路データを構造取得手段が
取得すると、この回路データの集積回路の全体の領域を
領域分割手段が検出して複数に分割処理する。この複数
の分割領域の各々に存在する回路要素を要素検出手段が
領域データにより検出し、この検出された回路要素の回
路データをデータ展開手段が複数の分割領域ごとに展開
処理して展開データを生成する。このように生成された
展開データをデータソート手段が複数の分割領域ごとに
ソート処理し、このソート処理された複数の分割領域の
ソートデータをデータマージ手段がマージ処理して一つ
の全体領域のイメージデータを生成する。このように生
成された一つのイメージデータでパターン形成手段が回
路素材に回路パターンを形成するので、各種の回路要素
を階層構造で表現した回路データに基づいて集積回路の
回路パターンが回路素材に形成される。ただし、本発明
のパターン形成装置によるパターン形成方法では、従来
技術とは相違して、回路データを複数の領域に分割処理
してから個々に展開処理してソート処理する。例えば、
データ容量が基準の“Ｎ”倍でも“Ｎ”個に分割処理し
て順番にソート処理すると、複数のソート処理の個々の
所用時間は基準と同等で全体の所用時間は基準の略
“Ｎ”倍にしかならない。

【００４１】なお、本発明で言う各種手段は、その機能
を実現するように形成されていれば良く、例えば、専用
のハードウェア、適正な機能がプログラムにより付与さ
れたコンピュータ、適正なプログラムによりコンピュー
タの内部に実現された機能、これらの組み合わせ、等を
許容する。

【００４２】また、本発明で言う回路データの取得と
は、回路データを取り扱える状態になることを意味して
おり、例えば、メモリ装置に登録されている回路データ
の読み出し、Ｉ／Ｆ(Interface)から外部入力される回
路データの受け付け、キーボードにより入力操作される
回路データの受け付け、等を許容する。

【００４３】本発明の情報記憶媒体に格納されているプ
ログラムをコンピュータに読み取らせて対応する処理動
作を実行させると、このコンピュータは、階層構造の回
路データを取得し、その集積回路の全体の領域を検出し
て複数の領域に分割処理する。この複数の分割領域の各
々に存在する回路要素を領域データにより検出し、この
検出された回路要素の回路データを複数の分割領域ごと
に展開処理して展開データを生成する。このように生成
された展開データを複数の分割領域ごとにソート処理し
てソートデータを生成し、このソート処理された複数の
分割領域のソートデータをマージ処理して一つの全体領
域のイメージデータを生成する。このようにして各種の
回路要素を階層構造で表現した回路データから、実際の
集積回路の回路パターンを反映したイメージデータが生
成される。ただし、本発明の情報記憶媒体に格納されて
いるプログラムによるコンピュータの処理動作では、従
来とは相違して、回路データを複数の領域に分割処理し
てから個々に展開処理してソート処理する。例えば、デ
ータ容量が基準の“Ｎ”倍でも“Ｎ”個に分割処理して
順番にソート処理すると、複数のソート処理の個々の所
用時間は基準と同等で全体の所用時間は基準の略“Ｎ”
倍にしかならない。

【００４４】なお、本発明で言う情報記憶媒体とは、コ
ンピュータに各種処理を実行させるためのプログラムが
ソフトウェアとして事前に格納されたものであれば良
く、例えば、コンピュータを一部とする装置に固定され
ているＲＯＭ(Read Only Memory)やＨＤＤ(Hard Disc D
rive)、コンピュータを一部とする装置に着脱自在に装
填されるＣＤ(Compact Disc)−ＲＯＭやＦＤ(Floppy Di
sc)、等を許容する。

【００４５】また、本発明で言うコンピュータとは、ソ
フトウェアからなるプログラムを読み取って対応する処
理動作を実行できる装置であれば良く、例えば、ＣＰＵ
(Central Processing Unit)を主体として、これにＲＯ
ＭやＲＡＭやＩ／Ｆ等の各種デバイスが必要により接続
された装置などを許容する。なお、本発明でコンピュー
タにソフトウェアに対応した各種動作を実行させること
は、各種デバイスをコンピュータに動作制御させること
なども許容する。

【００４６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図１ない
し図９を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形
態に関して前述した一従来例と同一の部分は、同一の名
称を使用して詳細な説明は省略する。

【００４７】なお、図１は本実施の形態のパターン形成
装置である電子描画システムの論理構造を示す模式図、
図２はパターン形成装置でありパターン形成手段でもあ
る電子描画ユニットの内部構造を示す模式的な縦断正面
図、図３はデータ処理装置であるコンピュータユニット
の物理構造を示すブロック図、図４は電子描画システム
の詳細な論理構造を示す模式図、図５は階層構造の回路
データと領域分割との関係を示す模式図、図６は最下位
まで展開処理した回路データと一個の分割領域との関係
を示す模式図、図７は分割領域ごとに回路セルの回路デ
ータを一時保存した状態を示す模式図、図８はコンピュ
ータユニットのデータ処理のメインルーチンを示すフロ
ーチャート、図９は回路要素の検出処理のサブルーチン
を示すフローチャート、である。

【００４８】本実施の形態の電子描画システム１は、図
１および図２に示すように、データ処理装置であるコン
ピュータユニット１００とパターン形成装置でありパタ
ーン形成手段でもある電子描画ユニット２００とを具備
しており、これらのユニット１００，２００が通信ケー
ブル４００により結線されている。

【００４９】電子描画ユニット２００は、図２に示すよ
うに、密閉容器となる縦長の本体ハウジング２０１を具
備しており、この本体ハウジング２０１の内部上方に電
子銃２０２が配置されている。この電子銃２０２より下
方には、第一アパーチャ２０３、成型偏向器２０４、第
二アパーチャ２０５、縮小レンズ２０６、対物レンズ２
０７、主偏向器２０８、副偏向器２０９、等が配置され
ており、これらを介して電子銃２０２に下方から対向す
る位置に素材保持手段であるｘｙステージ２１０が配置
されている。

【００５０】このｘｙステージ２１０は、回路素材であ
るシリコンウェハ４０１を水平方向であるｘｙ方向に移
動自在に保持し、電子銃２０２は、このように保持され
たシリコンウェハ４０１の表面にエネルギビームである
電子ビームを照射する。主／副偏向器２０８，２０９
は、コンピュータユニット１００から外部入力されるイ
メージデータに対応して電子ビームを偏向走査するの
で、これでシリコンウェハ４０１の表面に回路パターン
が電子描画される。

【００５１】コンピュータユニット１００は、図３に示
すように、コンピュータの主体となるハードウェアとし
てＣＰＵ１０１を具備しており、このＣＰＵ１０１に
は、バスライン１０２により、ＲＯＭ１０３、ＲＡＭ１
０４、ＨＤＤ１０５、ＦＤ１０６が装填されるＦＤＤ(F
D Drive)１０７、ＣＤ−ＲＯＭ１０８が装填されるＣＤ
ドライブ１０９、キーボード１１０、マウス１１１、デ
ィスプレイ１１２、通信Ｉ／Ｆ１１３、等が接続されて
おり、この通信Ｉ／Ｆ１１３に通信ケーブル４００で電
子描画ユニット２００が接続されている。

【００５２】本実施の形態の電子描画システム１のコン
ピュータユニット１００では、ＲＯＭ１０３、ＲＡＭ１
０４、ＨＤＤ１０５、ＦＤ１０６、ＣＤ−ＲＯＭ１０８
等が情報記憶媒体に相当し、これらに各種動作に必要な
プログラムやデータがソフトウェアとして記憶されてい
る。

【００５３】例えば、ＣＰＵ１０１に各種の処理動作を
実行させる制御プログラムは、ＦＤ１０６やＣＤ−ＲＯ
Ｍ１０８に事前に格納されている。このようなソフトウ
ェアはＨＤＤ１０５に事前にインストールされており、
電子描画システム１の起動時にＲＡＭ１０４に複写され
てＣＰＵ１０１に読み取られる。

【００５４】このようにＣＰＵ１０１が適正なプログラ
ムを読み取って各種の処理動作を実行することにより、
コンピュータユニット１００には、図１に示すように、
構造取得手段１２１、領域分割手段１２２、要素検出手
段１２３、データ展開手段１２４、データソート手段１
２５、データマージ手段１２６、等を論理的に具備して
いる。

【００５５】構造取得手段１２１は、例えば、ＲＡＭ１
０４に実装されている制御プログラムに対応して動作す
るＣＰＵ１０１がＨＤＤ１０５の登録データを読み出す
ことにより、回路データを取得する。この回路データ
は、前述のように集積回路の各種の回路要素が階層構造
で表現されており、このような回路要素の各々には存在
領域を示す領域データが個々に設定されている。

【００５６】領域分割手段１２２は、ＲＡＭ１０４に実
装されている制御プログラムに対応したＣＰＵ１０１の
データ処理により、図５に示すように、構造取得手段１
２１により取得された回路データの集積回路の全体の領
域を検出して複数の領域に分割処理する。このように分
割処理する。

【００５７】以下同様にＲＡＭ１０４に実装されている
制御プログラムに対応したＣＰＵ１０１のデータ処理に
より、要素検出手段１２３は、図６および図７に示すよ
うに、領域分割手段１２２により生成された複数の分割
領域の各々に存在する回路要素を領域データにより検出
する。

【００５８】データ展開手段１２４は、要素検出手段１
２３により検出された回路要素の回路データを複数の分
割領域ごとに展開処理して展開データを生成し、データ
ソート手段１２５は、データ展開手段１２４により生成
された展開データを複数の分割領域ごとにソート処理し
てソートデータを生成する。

【００５９】データマージ手段１２６は、データソート
手段１２５によりソート処理された複数の分割領域のソ
ートデータを絶対座標の順番にマージ処理して一つの全
体領域のイメージデータを生成し、このイメージデータ
をＣＰＵ１０１のデータ処理により通信Ｉ／Ｆ１１３か
ら電子描画ユニット２００に所定フォーマットで外部出
力する。

【００６０】なお、上述のように各種処理を実行する各
種手段１２１〜１２６には、その処理途中や処理結果の
各種データを一時記憶する各種手段が論理的に接続され
ている。そこで、この各種データを一時記憶する各種手
段も明示して、コンピュータユニット１００の論理構造
を図４を参照して以下に説明する。

【００６１】まず、構造取得手段１２１には構造分析手
段１３０が論理的なリンクにより接続されており、この
構造分析手段１３０には、セル領域とセル階層と素子要
素との記憶手段１３１〜１３３が接続されている。セル
領域記憶手段１３１は領域分割手段１２２に接続されて
おり、この領域分割手段１２２にはブロックサイズ記憶
手段１３４と領域データ記憶手段１３５も接続されてい
る。

【００６２】各種の記憶手段１３１〜１３３，１３５は
要素検出手段１２３に接続されており、この要素検出手
段１２３には分割要素記憶手段１３６と分割階層記憶手
段１３７とが接続されている。これらの記憶手段１３
６，１３７はセル領域記憶手段１３１とともにデータ展
開手段１３７に接続されており、このデータ展開手段１
２４には展開データ記憶手段１３８が接続されている。

【００６３】この展開データ記憶手段１３８はデータソ
ート手段１２５に接続されており、このデータソート手
段１２５はソートデータ記憶手段１３９を介してデータ
マージ手段１２６に接続されている。上述の各種の記憶
手段１３１〜１３９は、例えば、ＲＡＭ１０４やＨＤＤ
１０５などの情報記憶媒体の所定の記憶領域からなり、
ＣＰＵ１０１により特定されて各種データが読み書きさ
れる。

【００６４】構造分析手段１３０は、構造取得手段１２
１により取得された回路データを分析処理し、回路セル
の階層構造を示す階層構造データ、回路セルごとの領域
データ、最下層の回路セルの素子要素を示す素子要素デ
ータ、を抽出する。そこで、セル領域記憶手段１３１は
回路セルごとの領域データを一時記憶し、セル階層記憶
手段１３２は階層構造データを一時記憶し、素子要素記
憶手段１３３は素子要素データを一時記憶する。

【００６５】ブロックサイズ記憶手段１３４には、電子
描画ユニット２００が一度に回路パターンを形成する単
位領域に対応したブロックサイズが事前にデータ登録さ
れており、このブロックサイズを領域分割手段１２２に
分割領域としてデータ提供する。

【００６６】領域分割手段１２２は、セル領域記憶手段
１３１からデータ提供される回路セルごとの領域データ
から回路データの集積回路の全体領域を検出し、これを
ブロックサイズ記憶手段１３４からデータ提供されるブ
ロックサイズごとに複数の分割領域に分割処理し、領域
データ記憶手段１３５は、分割処理された複数の分割領
域の領域データを一時記憶する。

【００６７】要素検出手段１２３は、セル領域記憶手段
１３１に一時記憶された回路セルごとの領域データ、セ
ル階層記憶手段１３２に一時記憶された階層構造デー
タ、素子要素記憶手段１３３一時記憶された素子要素デ
ータ、領域データ記憶手段１３５に一時記憶された分割
領域の領域データ、を参照して複数の分割領域の各々に
存在する回路要素を検出する。

【００６８】つまり、複数の分割領域の領域データと回
路セルごとの領域データとを対応させ、階層構造データ
と素子要素データとを複数の分割領域ごとに検出する。
分割要素記憶手段１３６は、複数の分割領域ごとに検出
された素子要素データを一時記憶し、分割階層記憶手段
１３７は、複数の分割領域ごとに検出された回路要素の
階層構造データを一時記憶する。

【００６９】データ展開手段１２４は、セル領域記憶手
段１３１に一時記憶された回路セルごとの領域データ、
分割要素記憶手段１３６に一時記憶された複数の分割領
域ごとの素子要素データ、分割階層記憶手段１３７に一
時記憶された複数の分割領域ごとの階層構造データ、を
参照して複数の分割領域ごとに展開データを生成する。

【００７０】展開データ記憶手段１３８は、複数の分割
領域ごとの展開データを一時記憶し、データソート手段
１２５は、複数の分割領域ごとに展開データをソート処
理してソートデータを生成し、ソートデータ記憶手段１
３９は、複数の分割領域ごとのソートデータを一時記憶
する。

【００７１】上述のような各種手段は、必要により通信
Ｉ／Ｆ１１３等のハードウェアを利用して実現される
が、その主体はＲＡＭ１０４等の情報記憶媒体に格納さ
れたソフトウェアに対応して、ハードウェアからなるコ
ンピュータであるＣＰＵ１０１が動作することにより実
現されている。

【００７２】このようなソフトウェアは、例えば、階層
構造の回路データを取得すること、この取得された回路
データの集積回路の全体の領域を検出して複数に分割処
理すること、この生成された複数の分割領域の各々に存
在する回路要素を領域データにより検出すること、この
検出された回路要素の回路データを複数の分割領域ごと
に展開処理して展開データを生成すること、この生成さ
れた展開データを複数の分割領域ごとにソート処理する
こと、このソート処理された複数の分割領域のソートデ
ータをマージ処理して一つの全体領域のイメージデータ
を生成すること、このイメージデータを所定フォーマッ
トで外部出力すること、等の処理動作をＣＰＵ１０１に
実行させるための制御プログラムとしてＲＡＭ１０４の
情報記憶媒体に格納されている。

【００７３】上述のような構成において、本実施の形態
の電子描画システム１も、従来の装置と同様に、コンピ
ュータユニット１００により階層構造の回路データから
集積回路のイメージデータを生成し、このイメージデー
タで電子描画ユニット２００によりシリコンウェハ４０
１に回路パターンを電子描画して集積回路を製造する。

【００７４】その場合、コンピュータユニット１００の
データ処理方法としては、図８に示すように、ＨＤＤ１
０５の登録データをＣＰＵ１０１が読み出すなどして階
層構造の回路データを取得し(ステップＴ１)、このよう
に取得した回路データの集積回路の全体の領域を検出し
て複数に分割処理する(ステップＴ２)。

【００７５】この複数の分割領域から未処理の一個を選
択し(ステップＴ３)、この選択された分割領域に存在す
る回路要素を領域データにより検出する(ステップＴ
４)。より詳細には、このように選択された分割領域に
存在する回路要素を検出する場合、図９に示すように、
選択された分割領域の領域データＸを検出し(ステップ
Ｅ１)、最初に処理階層を最上位に初期設定する(ステッ
プＥ２)。

【００７６】つぎに、設定された処理階層に存在する回
路セルの領域データを領域データＸと比較し、その処理
階層で領域データＸを内包する回路セルＹを検出する
(ステップＥ３)。この回路セルの検出が完了すると(ス
テップＥ４)、その処理階層が最下位でないことが確認
され(ステップＥ５)、これが確認されると処理階層が一
段だけ低下される(ステップＥ６)。

【００７７】上述のように領域データＸを内包する回路
セルＹが全部の階層ごとに検出されると、最後に最下位
の回路セルＹから領域データＸを内包する素子要素が検
出され(ステップＥ７)、この素子要素が階層構造ととも
にデータ取得される(ステップＥ８)。

【００７８】これで選択された分割領域に存在する回路
要素の回路データが検出されたことになるので、図８に
示すように、この回路要素の回路データを複数の分割領
域ごとに展開処理して展開データを生成し(ステップＴ
５)、このように生成された展開データを複数の分割領
域ごとにソート処理する(ステップＴ６)。

【００７９】上述のような処理動作を複数の分割領域で
順番に実行し、複数の分割領域の全部で展開処理とソー
ト処理とが完了すると(ステップＴ７)、このソート処理
された複数の分割領域のソートデータをマージ処理して
一つの全体領域のイメージデータを生成する(ステップ
Ｔ８)。

【００８０】このように生成された一つのイメージデー
タはコンピュータユニット１００から電子描画ユニット
２００に外部出力されるので(ステップＴ９)、この電子
描画ユニット２００は、外部入力されるイメージデータ
でシリコンウェハ４０１に回路パターンを形成する。

【００８１】本実施の形態の電子描画システム１では、
上述のように各種の回路要素を階層構造で表現した回路
データに基づいて、集積回路の回路パターンをシリコン
ウェハ４０１に電子描画して集積回路装置を製造すると
き、回路データを複数の領域に分割処理してから個々に
展開処理してソート処理している。

【００８２】このため、大容量の回路データの全体を一
括してソート処理する必要がないので、その処理負担を
軽減して処理速度を向上させることができ、展開データ
を一時保存するＲＡＭ１０４やＨＤＤ１０５等のデータ
メモリの容量も節約することができる。

【００８３】本実施の形態の電子描画システム１では、
回路データを複数の分割領域に分割処理し、回路データ
のソート処理を複数の分割領域ごとに順番に実行してい
る。例えば、基準の“Ｎ”倍の容量のデータを“Ｎ”個
に分割処理して順番にソート処理すると、複数のソート
処理の個々の所用時間は基準と同等で全体の所用時間は
基準の略“Ｎ”倍にしかならない。

【００８４】従来の手法により基準の“Ｎ”倍の容量の
データを一括してソート処理すると所用時間は“Ｎ・lo
gＮ”倍となるので、本実施の形態の電子描画システム
１は従来の“logＮ”分の一の所用時間でソート処理を
完了できることになる。なお、実際には分割処理やマー
ジ処理が追加されているので単純に従来の“logＮ”分
の一とはならないが、分割領域が適正であれば確実に従
来より処理時間を短縮することができる。

【００８５】例えば、本発明者が実際に上述のようなコ
ンピュータユニット１００を試作して適当な回路データ
で実験を実行したところ、分割からマージまでの所用時
間が従来のソート処理の二分の一から三分の一程度とな
り、ＲＡＭ１０４やＨＤＤ１０５の使用容量が従来の二
分の一から四分の一程度となることが確認された。

【００８６】なお、ＨＤＤ１０５から回路データをＲＡ
Ｍ１０４のワーク領域に複写して各種処理を実行し、こ
れで生成されたイメージデータをＨＤＤ１０５に一時保
存して回路データを消去するとき、ＨＤＤ１０５とＲＡ
Ｍ１０４との使用容量はバーターの関係にあるが、例え
ば、分割領域を適正に設定することでＨＤＤ１０５とＲ
ＡＭ１０４との両方の使用容量を従来の数分の一とする
ことも可能である。

【００８７】なお、本発明は上記形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許
容する。例えば、上記形態では回路データからイメージ
データを生成して回路パターンを形成することを例示し
たが、このようなイメージデータを回路パターンの形成
でなく検証に利用することも可能である。

【００８８】また、上記形態ではコンピュータユニット
１００が回路データから生成するイメージデータで電子
描画ユニット２００がシリコンウェハ４０１に回路パタ
ーンを電子描画して集積回路を直接に形成することを例
示した。しかし、このような回路パターンの形成を回路
素材であるマスク基板に実行して集積回路でなくフォト
マスクを製造することも可能であり、回路パターンを電
子描画でなく光学走査で形成することも可能である。

【００８９】さらに、上記形態ではコンピュータユニッ
ト１００に着脱自在な情報記憶媒体としてＦＤ１０６や
ＣＤ−ＲＯＭ１０８を例示したが、例えば、大容量のイ
メージデータをコンピュータユニット１００から電子描
画ユニット２００にオフラインで移送するような場合に
は、ＭＴ(Magnetic Tape)などの大容量で着脱自在かつ
書換自在な情報記憶媒体を利用することも可能である。

【００９０】また、上記形態ではコンピュータユニット
１００が一つの回路データから複数の分割領域ごとに生
成したソートデータを一つにマージ処理してから電子描
画ユニット２００にデータ転送することを例示した。し
かし、この電子描画ユニット２００が一度に回路パター
ンを形成する単位領域に対応してコンピュータユニット
１００に分割領域をデータ設定しておけば、このコンピ
ュータユニット１００は複数の分割領域ごとのソートデ
ータを一つにマージ処理することなく電子描画ユニット
２００に順番に供給することが可能である。

【００９１】さらに、上記形態ではＲＡＭ１０４等にソ
フトウェアとして格納されている制御プログラムに従っ
てＣＰＵ１０１が動作することにより、コンピュータユ
ニット１００の各種機能として各種手段が論理的に実現
されることを例示した。しかし、このような各種機能の
各々を固有のハードウェアとして形成することも可能で
あり、一部をソフトウェアとしてＲＡＭ１０４等に格納
するとともに一部をハードウェアとして形成することも
可能である。

【００９２】また、上記形態ではＣＤ−ＲＯＭ１０８等
からＨＤＤ１０５に事前にインストールされているソフ
トウェアがコンピュータユニット１００の起動時にＲＡ
Ｍ１０４に複写され、このようにＲＡＭ１０４に格納さ
れたソフトウェアをＣＰＵ１０１が読み取ることを想定
したが、このようなソフトウェアをＨＤＤ１０５に格納
したままＣＰＵ１０１に利用させることや、ＲＯＭ１０
３に事前に固定的に格納しておくことも可能である。

【００９３】さらに、単体で取り扱える情報記憶媒体で
あるＦＤ１０６やＣＤ−ＲＯＭ１０８にソフトウェアを
格納しておき、このＦＤ１０６等からＨＤＤ１０５やＲ
ＡＭ１０４にソフトウェアをインストールすることも可
能であるが、このようなインストールを実行することな
くＦＤ１０６等からＣＰＵ１０１がソフトウェアを直接
に読み取って処理動作を実行することも可能である。

【００９４】つまり、コンピュータユニット１００の各
種手段をソフトウェアにより実現する場合、そのソフト
ウェアはＣＰＵ１０１が読み取って対応する動作を実行
できる状態に有れば良い。また、上述のような各種手段
を実現する制御プログラムを、複数のソフトウェアの組
み合わせで形成することも可能であり、その場合、単体
の製品となる情報記憶媒体には、コンピュータユニット
１００を実現するための必要最小限のソフトウェアのみ
を格納しておけば良い。

【００９５】例えば、既存のオペレーティングシステム
が実装されているコンピュータユニット１００に、ＣＤ
−ＲＯＭ１０８等の情報記憶媒体によりアプリケーショ
ンソフトを提供するような場合、前述の各種手段を実現
するソフトウェアは、アプリケーションソフトとオペレ
ーティングシステムとの組み合わせで実現されるので、
オペレーティングシステムに依存する部分のソフトウェ
アは情報記憶媒体のアプリケーションソフトから省略す
ることができる。

【００９６】また、このように情報記憶媒体に記述した
ソフトウェアをＣＰＵ１０１に供給する手法は、その情
報記憶媒体をコンピュータユニット１００に直接に装填
することに限定されない。例えば、上述のようなソフト
ウェアをホストコンピュータの情報記憶媒体に格納して
おき、このホストコンピュータを通信ネットワークで端
末コンピュータに接続し、ホストコンピュータから端末
コンピュータにデータ通信でソフトウェアを供給するこ
とも可能である。

【００９７】上述のような場合、端末コンピュータが自
信の情報記憶媒体にソフトウェアをダウンロードした状
態でスタンドアロンの処理動作を実行することも可能で
あるが、ソフトウェアをダウンロードすることなくホス
トコンピュータとのリアルタイムのデータ通信により処
理動作を実行することも可能である。この場合、ホスト
コンピュータと端末コンピュータとを通信ネットワーク
で接続したシステム全体が、本発明のデータ処理装置に
相当することになる。

【００９８】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００９９】本発明のデータ処理装置によるデータ処理
方法では、階層構造の回路データを構造取得手段が取得
し、この回路データの集積回路の全体の領域を領域分割
手段が検出して複数に分割処理し、この複数の分割領域
の各々に存在する回路要素を要素検出手段が領域データ
により検出し、この検出された回路要素の回路データを
データ展開手段が複数の分割領域ごとに展開処理して展
開データを生成し、このように生成された展開データを
データソート手段が複数の分割領域ごとにソート処理
し、このソート処理された複数の分割領域のソートデー
タをデータマージ手段がマージ処理して一つの全体領域
のイメージデータを生成することにより、従来と同様に
階層構造の回路データからイメージデータを生成するこ
とができ、その処理過程で展開データのソート処理に必
要な所用時間と一時保存に必要なデータ容量とを従来の
数分の一にすることができるので、膨大な容量のデータ
メモリを必要とすることなく、大容量の回路データから
イメージデータを迅速に生成することができる。

【０１００】本発明のパターン形成装置によるパターン
形成方法では、階層構造の回路データを構造取得手段が
取得し、この回路データの集積回路の全体の領域を領域
分割手段が検出して複数に分割処理し、この複数の分割
領域の各々に存在する回路要素を要素検出手段が領域デ
ータにより検出し、この検出された回路要素の回路デー
タをデータ展開手段が複数の分割領域ごとに展開処理し
て展開データを生成し、このように生成された展開デー
タをデータソート手段が複数の分割領域ごとにソート処
理し、このソート処理された複数の分割領域のソートデ
ータをデータマージ手段がマージ処理して一つの全体領
域のイメージデータを生成し、このように生成された一
つのイメージデータでパターン形成手段が回路素材に回
路パターンを形成することにより、従来と同様に階層構
造の回路データからイメージデータを生成して回路パタ
ーンを形成することができるが、その処理過程で展開デ
ータのソート処理に必要な所用時間と一時保存に必要な
データ容量とを従来の数分の一にすることができるの
で、膨大な容量のデータメモリを必要とすることなく、
大容量の回路データからイメージデータを迅速に生成す
ることができる。

【０１０１】本発明の情報記憶媒体に格納されているプ
ログラムをコンピュータに読み取らせて対応する処理動
作を実行させると、このコンピュータは、階層構造の回
路データを取得し、その集積回路の全体の領域を検出し
て複数に分割処理し、この複数の分割領域の各々に存在
する回路要素を領域データにより検出し、この検出され
た回路要素の回路データを複数の分割領域ごとに展開処
理して展開データを生成し、このように生成された展開
データを複数の分割領域ごとにソート処理してソートデ
ータを生成し、このソート処理された複数の分割領域の
ソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイメー
ジデータを生成することにより、従来と同様に階層構造
の回路データからイメージデータを生成することがで
き、その処理過程で展開データのソート処理に必要な所
用時間と一時保存に必要なデータ容量とを従来の数分の
一にすることができるので、膨大な容量のデータメモリ
を必要とすることなく、大容量の回路データからイメー
ジデータを迅速に生成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のパターン形成装置の実施の一形態であ
る電子描画システムの論理構造を示す模式図である。

【図２】パターン形成装置でありパターン形成手段でも
ある電子描画ユニットの内部構造を示す模式的な縦断正
面図である。

【図３】データ処理装置であるコンピュータユニットの
物理構造を示すブロック図である。

【図４】より詳細な電子描画システムの論理構造を示す
模式図である。

【図５】階層構造の回路データと領域分割との関係を示
す模式図である。

【図６】最下位まで展開処理した回路データと一個の分
割領域との関係を示す模式図である。

【図７】分割領域ごとに回路セルの回路データを一時保
存した状態を示す模式図である。

【図８】コンピュータユニットのデータ処理のメインル
ーチンを示すフローチャートである。

【図９】回路要素の検出処理のサブルーチンを示すフロ
ーチャートを示すフローチャートである。

【図１０】集積回路装置の回路パターンを示す模式図で
ある。

【図１１】一つの回路要素の内部構造を示す模式図であ
る。

【図１２】回路データのデータ構造を示す模式図であ
る。

【図１３】従来のデータ処理方法を示す模式図である。

【符号の説明】

１ 電子描画装置である電子描画システム １００ データ処理装置であるコンピュータユニット １０１ コンピュータであるＣＰＵ １０３ 情報記憶媒体であるＲＯＭ １０４ 情報記憶媒体であるＲＡＭ １０５ 情報記憶媒体であるＨＤＤ １０６ 情報記憶媒体であるＦＤ １０８ 情報記憶媒体であるＣＤ−ＲＯＭ １２１ 構造取得手段 １２２ 領域分割手段 １２３ 要素検出手段 １２４ データ展開手段 １２５ データソート手段 １２６ データマージ手段 ２００ パターン形成装置でありパターン形成手段で
もある電子描画ユニット ４０１ 回路素材であるシリコンウェハ

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積回路の各種の回路要素が階層構造で
   表現されている回路データを展開処理してイメージデー
   タを生成するようにしたデータ処理方法であって、 前記回路データを複数の分割領域に分割処理し、 この分割処理された複数の分割領域の回路データを個々
   に展開処理して展開データを生成し、 この生成された複数の分割領域の展開データを個々にソ
   ート処理して複数のソートデータを生成するようにした
   データ処理方法。
2. 【請求項２】 集積回路の各種の回路要素が階層構造で
   表現されている回路データを展開処理してイメージデー
   タを生成するようにしたデータ処理方法であって、 前記回路データを取得し、 この取得された回路データの全体の領域を検出して複数
   に分割処理し、 この分割処理された複数の分割領域の各々に存在する前
   記回路要素を検出し、 この検出された回路要素の回路データを複数の分割領域
   ごとに展開処理して展開データを生成し、 この生成された複数の分割領域の展開データを個々にソ
   ート処理して複数のソートデータを生成するようにした
   データ処理方法。
3. 【請求項３】 前記回路データは、階層構造で表現され
   ている各種の回路要素の各々に存在領域を示す領域デー
   タが個々に設定されており、 この領域データにより複数の分割領域の各々に存在する
   前記回路要素を検出するようにした請求項２記載のデー
   タ処理方法。
4. 【請求項４】 個々にソート処理された複数の分割領域
   のソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイメ
   ージデータを生成するようにした請求項１ないし３の何
   れか一記載のデータ処理方法。
5. 【請求項５】 前記イメージデータはパターン形成装置
   での所定の単位領域ごとの回路パターンの形成に利用さ
   れるものであり、 前記分割領域は前記パターン形成装置の単位領域に対応
   している請求項１ないし４の何れか一記載のデータ処理
   方法。
6. 【請求項６】 集積回路の各種の回路要素が階層構造で
   表現されている回路データを展開処理してイメージデー
   タを生成するデータ処理装置であって、 前記回路データを複数の分割領域に分割処理する領域分
   割手段と、 該領域分割手段により分割処理された複数の分割領域の
   回路データを個々に展開処理して展開データを生成する
   データ展開手段と、 該データ展開手段により生成された複数の分割領域の展
   開データを個々にソート処理して複数のソートデータを
   生成するデータソート手段と、を具備しているデータ処
   理装置。
7. 【請求項７】 集積回路の各種の回路要素が階層構造で
   表現されている回路データを展開処理してイメージデー
   タを生成するデータ処理装置であって、 前記回路データを取得する構造取得手段と、 該構造取得手段により取得された回路データの集積回路
   の全体の領域を検出して複数に分割処理する領域分割手
   段と、 該領域分割手段により生成された複数の分割領域の各々
   に存在する前記回路要素を検出する要素検出手段と、 該要素検出手段により検出された回路要素の回路データ
   を複数の分割領域ごとに展開処理して展開データを生成
   するデータ展開手段と、 該データ展開手段により生成された展開データを複数の
   分割領域ごとにソート処理するデータソート手段と、を
   具備しているデータ処理装置。
8. 【請求項８】 前記回路データは、階層構造で表現され
   ている各種の回路要素の各々に存在領域を示す領域デー
   タが個々に設定されており、 前記要素検出手段は、領域データにより複数の分割領域
   の各々に存在する前記回路要素を検出する請求項７記載
   のデータ処理装置。
9. 【請求項９】 個々にソート処理された複数の分割領域
   のソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイメ
   ージデータを生成するデータマージ手段も具備している
   請求項６ないし８の何れか一記載のデータ処理装置。
10. 【請求項１０】 前記イメージデータはパターン形成装
    置での所定の単位領域ごとの回路パターンの形成に利用
    されるものであり、 前記領域分割手段は、前記パターン形成装置の単位領域
    に対応した分割領域に回路データを分割処理する請求項
    ６ないし９の何れか一記載のデータ処理装置。
11. 【請求項１１】 集積回路の各種の回路要素が階層構造
    で表現されている回路データを展開処理してイメージデ
    ータを生成し、このイメージデータで回路素材に回路パ
    ターンを形成するようにしたパターン形成方法であっ
    て、 前記回路データを複数の分割領域に分割処理し、 この分割処理された複数の分割領域の回路データを個々
    に展開処理して展開データを生成し、 この生成された複数の分割領域の展開データを個々にソ
    ート処理して複数のソートデータを生成するようにした
    パターン形成方法。
12. 【請求項１２】 集積回路の各種の回路要素が階層構造
    で表現されている回路データを展開処理してイメージデ
    ータを生成し、このイメージデータで回路素材に回路パ
    ターンを形成するようにしたパターン形成方法であっ
    て、 前記回路データを取得し、 この取得された回路データの全体の領域を検出して複数
    に分割処理し、 この分割処理された複数の分割領域の各々に存在する前
    記回路要素を検出し、 この検出された回路要素の回路データを複数の分割領域
    ごとに展開処理して展開データを生成し、 この生成された複数の分割領域の展開データを個々にソ
    ート処理して複数のソートデータを生成するようにした
    パターン形成方法。
13. 【請求項１３】 前記回路データは、階層構造で表現さ
    れている各種の回路要素の各々に存在領域を示す領域デ
    ータが個々に設定されており、 この領域データにより複数の分割領域の各々に存在する
    前記回路要素を検出するようにした請求項１２記載のパ
    ターン形成方法。
14. 【請求項１４】 個々にソート処理された複数の分割領
    域のソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイ
    メージデータを生成し、 このイメージデータで回路素材に回路パターンを形成す
    るようにした請求項１１ないし１３の何れか一記載のパ
    ターン形成方法。
15. 【請求項１５】 前記回路パターンの形成は前記イメー
    ジデータの所定の単位領域ごとに実行され、 前記分割領域は前記単位領域に対応している請求項１４
    記載のパターン形成方法。
16. 【請求項１６】 集積回路の各種の回路要素が階層構造
    で表現されている回路データを展開処理してイメージデ
    ータを生成し、このイメージデータで回路素材に回路パ
    ターンを形成するパターン形成装置であって、 前記回路データを複数の分割領域に分割処理する領域分
    割手段と、 該領域分割手段により分割処理された複数の分割領域の
    回路データを個々に展開処理して展開データを生成する
    データ展開手段と、 該データ展開手段により生成された複数の分割領域の展
    開データを個々にソート処理して複数のソートデータを
    生成するデータソート手段と、を具備しているパターン
    形成装置。
17. 【請求項１７】 集積回路の各種の回路要素が階層構造
    で表現されている回路データを展開処理してイメージデ
    ータを生成し、このイメージデータで回路素材に回路パ
    ターンを形成するパターン形成装置であって、 前記回路データを取得する構造取得手段と、 該構造取得手段により取得された回路データの集積回路
    の全体の領域を検出して複数に分割処理する領域分割手
    段と、 該領域分割手段により生成された複数の分割領域の各々
    に存在する前記回路要素を検出する要素検出手段と、 該要素検出手段により検出された回路要素の回路データ
    を複数の分割領域ごとに展開処理して展開データを生成
    するデータ展開手段と、 該データ展開手段により生成された展開データを複数の
    分割領域ごとにソート処理するデータソート手段と、を
    具備しているパターン形成装置。
18. 【請求項１８】 前記回路データは、階層構造で表現さ
    れている各種の回路要素の各々に存在領域を示す領域デ
    ータが個々に設定されており、 前記要素検出手段は、領域データにより複数の分割領域
    の各々に存在する前記回路要素を検出する請求項１７記
    載のパターン形成装置。
19. 【請求項１９】 個々にソート処理された複数の分割領
    域のソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイ
    メージデータを生成するデータマージ手段と、 該データマージ手段により生成された一つのイメージデ
    ータで回路素材に回路パターンを形成するパターン形成
    手段と、も具備している請求項１６ないし１８の何れか
    一記載のパターン形成装置。
20. 【請求項２０】 前記パターン形成手段は、前記回路パ
    ターンの形成を前記イメージデータの所定の単位領域ご
    とに実行し、 前記領域分割手段は、前記パターン形成手段の単位領域
    に対応した分割領域に回路データを分割処理する請求項
    １６ないし１９の何れか一記載のパターン形成装置。
21. 【請求項２１】 コンピュータが読取自在なソフトウェ
    アが格納されている情報記憶媒体において、 集積回路の各種の回路要素が階層構造で表現されている
    回路データを取得するステップと、 この取得された回路データを複数の分割領域に分割処理
    するステップと、 この分割処理された複数の分割領域の回路データを個々
    に展開処理して展開データを生成するステップと、 この生成された複数の分割領域の展開データを個々にソ
    ート処理して複数のソートデータを生成するステップ
    と、を前記コンピュータに実行させるためのプログラム
    が格納されていることを特徴とする情報記憶媒体。
22. 【請求項２２】 コンピュータが読取自在なソフトウェ
    アが格納されている情報記憶媒体において、 集積回路の各種の回路要素が階層構造で表現されている
    回路データを取得するステップと、 この取得された回路データの集積回路の全体の領域を検
    出して複数に分割処理するステップと、 この生成された複数の分割領域の各々に存在する前記回
    路要素を検出するステップと、 この検出された回路要素の回路データを複数の分割領域
    ごとに展開処理して展開データを生成するステップと、 この生成された展開データを複数の分割領域ごとにソー
    ト処理するステップと、を前記コンピュータに実行させ
    るためのプログラムが格納されていることを特徴とする
    情報記憶媒体。
23. 【請求項２３】 前記回路データは、階層構造で表現さ
    れている各種の回路要素の各々に存在領域を示す領域デ
    ータが個々に設定されており、 この領域データにより複数の分割領域の各々に存在する
    前記回路要素を検出するステップを前記コンピュータに
    実行させるためのプログラムも格納されている請求項２
    ２記載の情報記憶媒体。
24. 【請求項２４】 個々にソート処理された複数の分割領
    域のソートデータをマージ処理して一つの全体領域のイ
    メージデータを生成するステップを前記コンピュータに
    実行させるためのプログラムも格納されている請求項２
    １ないし２３の何れか一記載の情報記憶媒体。
25. 【請求項２５】 前記イメージデータはパターン形成装
    置での所定の単位領域ごとの回路パターンの形成に利用
    されるものであり、 前記分割領域は前記パターン形成装置の単位領域に対応
    している請求項２１ないし２４の何れか一記載の情報記
    憶媒体。