JP2000150759A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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Abstract
の外部に引き出されたリード部を備える樹脂封止型半導
体装置において、アイランド部で発生する樹脂の剥離が
該リード部を伝わって樹脂の端部まで進行するのを防止
する。 【解決手段】 半導体装置100は、半導体素子1を搭
載した平板状のアイランド部21と、半導体素子1の電
極とワイヤ3により接続された複数本のリード部22、
23と、吊りリード24と、アイランド部21に接続さ
れた放熱用リード25とを有し、樹脂4にて包み込むよ
うにモールドされている。放熱用リード25は、一端部
がアイランド部21と一体に接続され、他端部が樹脂4
の外部に引き出されて回路基板5に接続されると共に、
樹脂4の内部にて2箇所に屈曲した屈曲部25a、25
bを有している。
Description
アイランド部に半導体素子を搭載し、半導体素子を樹脂
にて包み込むようにモールドしてなる樹脂封止型半導体
装置に関する。
面構成を図7に示す。半導体装置300は、半導体素子
J1を搭載した平板状のアイランド部J2と、半導体素
子J1の電極とワイヤJ3により接続された複数本のリ
ード部J4とを有し、半導体素子J1を搭載したアイラ
ンド部J2とリード部J4の一部とを樹脂J5(図中、
一点鎖線で図示)にて包み込むようにモールドしてな
る。
(図では2本)J6により支持され、吊りリードJ6は
モールド樹脂J5の端面にて切断されている。また、リ
ード部J4は、樹脂J5の端面から外部に延びて曲げ加
工され、その終端部が回路基板J7の導電部J71に接
続されている。さらに、一端部がアイランド部J2と一
体に接続されてアイランド部J2から樹脂J5の外部に
延びるとともに曲げ加工されて、その他端部が樹脂J5
の外部にて回路基板J7に接続される導出リードJ8が
設けられている。この導出リードJ8は、通常、銅合金
等の金属からなり、熱伝達係数が高く半導体素子J1で
発生する熱を、アイランド部J2から回路基板J7に逃
がす(放熱)させるものとして機能する。
J2に一体に接続されているが、樹脂5の端面部にて切
断されているため、吊りリードJ6のみによる放熱は不
十分である。従って、樹脂J5の外部まで引き出された
放熱用の導出リードJ8を設けることによって、特別な
放熱構造を付加することなく比較的放熱性の高い半導体
装置を実現できる。このような放熱用の導出部を設けた
半導体装置としては、例えば特開平6−21302号公
報に記載のものが提案されている。
半導体装置(モールドパッケージ)では、一般的に高温
と低温の温度変化を繰り返して、信頼性を測る温度サイ
クル試験等において、樹脂J5とリードフレーム材の熱
膨張係数の相違により、樹脂とリードフレームの界面に
すきまを生じる「剥離」現象が発生する。
きな場所では、熱膨張係数の相違による比較的大きな応
力が発生して剥離しやすい。特に、吊りリードJ6や導
出リードJ8はアイランド部J2に比べてその幅が狭
く、しかもアイランド部J2に直接接続されているの
で、アイランド部J2からの剥離の影響によって他のリ
ード部J4より、それらリードJ6、J8の界面剥離が
進行しやすい。
界面で剥離が発生すると、その剥離は、吊りリードJ6
及び導出リードJ8と樹脂J5との界面に沿って進行し
てゆく。そして、吊りリードJ6や導出リードJ8は、
少なくともモールド(樹脂J5)内部においてストレー
ト形状であり、各リードと樹脂との界面も同じくストレ
ート形状である。そのため、図7の矢印に示す様に、ア
イランド部J2から吊りリードJ6や導出リードJ8に
進行してきた剥離による応力は、より進行しやすい。
J2との接続部分から樹脂J5の端部までの長さが、吊
りリードJ6に比して非常に短いので、アイランド部J
2で発生した剥離が、導出リードJ8を伝わって樹脂J
5の端面まで達することがある。この場合、剥離部分は
外部に開口し、そこから異物(水分、埃等)が侵入す
る。侵入した異物が剥離部分から導出リードJ8に沿っ
て半導体素子1へ達すると、素子の配線層を腐食させる
等の不具合が生じ、装置の信頼性を低下させる。
搭載するアイランド部から樹脂の外部に引き出されたリ
ード部を備える樹脂封止型半導体装置において、アイラ
ンド部で発生する樹脂の剥離が該リード部を伝わって樹
脂の端部まで進行するのを防止することを目的とする。
ンド部から樹脂の外部に引き出されたリード部(上記図
7では、導出リードJ8)が剥離を進行させやすい形状
であったことに着目し、該リード部の形状を工夫するこ
とでなされたものである。即ち、請求項1記載の発明で
は、樹脂封止型半導体装置において、リードフレーム
(2)のリード部(22〜25)のうち一端部がアイラ
ンド部(21)と一体に接続されて他端部が樹脂(4)
の外部に引き出されている導出リード部(25)が、樹
脂(4)の内部にて少なくとも一回屈曲した屈曲部(2
5a、25b)を有することを特徴としている。
発生し導出リード部(25)に進行した剥離は、屈曲部
(25a、25b)で抑制されるため、アイランド部
(21)で発生する樹脂(4)の剥離が導出リード部
(25)を伝わって樹脂(4)の端部まで進行するのを
防止することができる。また、請求項2記載の発明で
は、導出リード部(25)の屈曲部(25a、25b)
を、2回以上曲がったものとすることにより、請求項1
の発明の効果をより高めることができる。
ド部(25)において、一端部から導出リード部(2
5)に沿って他端部に向かう方向を引き出し方向とし、
屈曲部(25a)の屈曲点を起点として引き出し方向と
は反対方向に延びる部位と引き出し方向に延びる部位と
のなす角度(θ)を屈曲角度としたとき、屈曲部(25
a)は、90°以下の屈曲角度で曲がっていることを特
徴としている。
曲部(25a)の手前から屈曲部(25a)に向かう方
向の剥離の応力には、屈曲部(25a)以降にて導出リ
ード部(25)即ち界面が延びる方向の応力成分が殆ど
含まれない。従って、屈曲部(25a)以降の剥離の応
力は大幅に軽減され、より確実に剥離の進行を防止する
ことができる。
ランド部(21)が平板状であるものにおいて、導出リ
ード部(25)の屈曲部(25a、25b)は、アイラ
ンド部(21)の平面方向に屈曲していることは、請求
項1の発明の作用効果を奏するためには、好ましい。ま
た、請求項5記載の発明では、導出リード部(25)
は、樹脂(4)の内部にて、その表面から凹んだ凹部
(27)を有することを特徴としており、この凹部(2
7)の部分では、導出リード部(25)に樹脂(4)が
食い込むため、密着性が向上し、剥離しにくくできる。
型半導体装置において、リードフレーム(2)のリード
部(22〜25)のうち一端部がアイランド部(21)
と一体に接続されて他端部が樹脂(4)の外部に引き出
されている導出リード部(25)が、樹脂(4)の内部
にて、アイランド部(21)と樹脂(4)との界面に剥
離が発生した時この剥離の進行方向と異なる方向に屈曲
した屈曲部(25a、25b)を有することを特徴とし
ており、請求項1の発明と同様の作用効果を発揮するこ
とができる。
子(1)が搭載された平板状のアイランド部(21)
と、半導体素子(1)の電極とワイヤ(3)により接続
された複数本のインナーリード部(22)と、半導体素
子(1)が搭載されたアイランド部(21)及びインナ
ーリード部(22)を包み込むようにモールドした樹脂
(4)と、インナーリード(22)部と一体に接続形成
され樹脂(4)の外部に引き出されているアウターリー
ド部(23)と、一端部がアイランド部(21)と一体
に接続されて他端部が樹脂(4)の外部に引き出されて
いる導出リード部(25)と、を備え、導出リード部
(25)は、樹脂(4)の内部にてアイランド部(2
1)の平面方向に少なくとも一回屈曲した屈曲部(25
a、25b)を有することを特徴している。
板状のアイランド部(21)の平面方向に屈曲した屈曲
部(25a、25b)を有するから、請求項4の発明と
同等の作用効果を奏する。なお、上記した括弧内の符号
は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を
示す一例である。
の実施形態に係る樹脂封止型半導体装置(以下、単に装
置という)100の平面構成図、図2は図1のA−A断
面図である。本実施形態はモノリシックICのプラスチ
ックパッケージとして適用される。
プ)1を搭載した平板状のアイランド部21と、半導体
素子1の電極とワイヤ3により接続された複数本のイン
ナーリード部22と、該インナーリード部22と一体に
接続形成されたアウターリード部23、アイランド部2
1を支持するための吊りリード24、上記図7に示した
導出リード8に相当する放熱用リード(導出リード)2
5とを有している。
22〜25によりリードフレーム2が構成され、各リー
ド部22〜25は、アイランド部21の略平面上に位置
する板状をなす。そして、半導体素子1を搭載したアイ
ランド部21、インナーリード部22、吊りリード24
の全部、及び放熱用リード25の一部が、モールド用樹
脂4(図1中、一点鎖線で図示)にて包み込むようにモ
ールドされている。ここで、図1中に示すアイランド部
21の寸法a及びbは、例えば各々、5.70mm、
3.38mmとでき、また、アイランド部21の端面と
樹脂4の端面との間の寸法c及びdは、例えば各々、
2.36mm、1.06mmとできる。
樹脂もしくは半田等の接着部材(図示せず)を介してア
イランド部21に搭載され、その電極は、ワイヤボンデ
ィングされたワイヤ3により、インナーリード部22に
接続されている。そして、各リード部22、23及びワ
イヤ3を介して、半導体素子1と装置100の周囲に配
設された外部の回路基板5との電気信号のやり取りが可
能となっている。
リード(図では2本)24は、樹脂4の端面にて切断さ
れている。また、樹脂4の端面から外部に延びるアウタ
ーリード部23は、曲げ加工後、その終端部が回路基板
5の導電部51に半田付け等により接続されている。放
熱用リード25は、一端部がアイランド部21と一体に
接続されてアイランド部21から樹脂4の外部に延びる
とともに曲げ加工されて、他端部が樹脂4の外部にて回
路基板5に半田付け等により接続されており、半導体素
子1で発生する熱を、アイランド部21から回路基板5
に逃がす(放熱)させるものとして機能する。
にて2箇所に屈曲した屈曲部25a、25bを有し、ア
イランド部21で発生する樹脂4の剥離が放熱用リード
25を伝わって樹脂4の端部まで進行するのを防止する
ようになっている。これら屈曲部25a、25bは、平
板状のアイランド部21に対して、その平面方向に屈曲
しており、少なくとも一方(本例では屈曲部25a)は
90°以下の屈曲角度で曲がっていることが好ましい。
ンド部21、各リード部22〜25は、樹脂4の内部に
て少なくとも1箇所に、その一面側から凹んだ溝(凹
部)27を有する。なお、溝27は図1では斜線ハッチ
ングにて示す。溝27では、樹脂4が食い込んでいるた
め、リードフレーム2と樹脂4との密着性が向上し、剥
離しにくくできる。
ーム2の部位には、両面を貫通するロックホール28が
設けられており、このロックホール28は、リードフレ
ーム2と樹脂4の密着性を高め、強度を出すものであ
る。かかる構成を有する装置100は、鉄合金等の薄板
を両面からエッチングすることによりパターニング形成
されたリードフレーム2を用意し、アイランド部21に
半導体素子1を接着し、半導体素子1の電極とインナー
リード部22とをワイヤボンディングにて接続(ワイヤ
3を形成)し、成形金型内に入れ、樹脂4を射出成形す
ることにより作られる。
金等の薄板を片面からのみエッチングするハーフエッチ
又はスタンピングにより形成できる。次に、本実施形態
の作用について説明する。従来、アイランド部から樹脂
の外部に引き出されたリードが樹脂(モールド)内にお
いてストレート形状であったのに対して、本実施形態で
は、放熱用リード25を、樹脂4の内部にて2箇所に屈
曲した屈曲部25a、25bを有するものとし、アイラ
ンド部21で発生する樹脂4の剥離が放熱用リード25
を伝わって樹脂4の端部まで進行するのを抑制すること
が、主たる特徴である。
は、屈曲部25a、25bにおける作用を説明するた
め、各部分を模式的に示した説明図であり、半導体素子
1やワイヤ3等は省略してある。なお、図1において接
続されている隣接する放熱用リード25は、図3におい
ては、分離したものとしているが、作用としては同様で
あり、実際に分離した形態としてもよい。
の大きいアイランド部21において、樹脂3とリードフ
レーム2の熱膨張係数の違いによる界面の応力により発
生する。この剥離は、図3の矢印に示す様に界面に沿っ
て、アイランド部21と接続した放熱用リード25へ進
行する。ここで、放熱用リード25において、一端部か
ら放熱用リード25に沿って他端部に向かう方向を引き
出し方向とすると、図4に示す様に、放熱用リード25
は、アイランド部25からY方向に引き出されており、
屈曲部25aにてX方向へと大きく屈曲している。そし
て、屈曲部25aにおいて、放熱用リード25と樹脂4
との界面も、アイランド部21の平面内にて同形状に屈
曲している。
離は、まず、屈曲部25aの手前から放熱用リード25
の引き出し方向(図4に示すY方向)に進み、屈曲部2
5aに到達する。屈曲部25a以降の界面は、それまで
の進行方向とは異なる方向に延びているため、それ以
降、剥離は進行しにくくなり、剥離が樹脂4の端部まで
進行するのを防止することができる。なお、屈曲部25
aについて述べたが、もう一つの屈曲部25bについて
も、屈曲部25aと同様の作用効果が得られることは勿
論である。
屈曲部25aの屈曲点Kを起点として引き出し方向とは
反対方向に延びる部位と前記引き出し方向に延びる部位
とのなす角度、即ちY方向とX方向のなす角度θを屈曲
角度とし、その屈曲角度を90°以下の鋭角としてい
る。そのため、屈曲部25aの手前から屈曲部25aに
向かう方向の剥離の応力(Y方向の応力)には、屈曲部
25a以降にて放熱用リード25が延びる方向の応力成
分(X方向の応力成分)が殆ど含まれない。従って、放
熱用リード25における屈曲部25a以降の剥離の応力
は、大幅に軽減され、より確実に剥離の進行を防止す
る。ちなみに、剥離は、ほぼ図4に示す破線B付近で止
まり、X方向へはほとんど剥離しない。
進行を防止するには、屈曲部において90°以下の屈曲
角度を確保することが好ましいが、現実には、放熱用リ
ード25にはある程度の幅があるために、応力の方向が
完全にY方向成分のみにはならない。できるだけY方向
の応力成分のみとするには、できる限り細いリード幅で
且つ屈曲角度も90°以下にするのが望ましい。図1で
は、放熱用リード25における、アイランド部21から
の引き出し部分及び屈曲部25aの部分を、他の部分よ
りも細いリード幅かつ屈曲角度を90°以下の鋭角とし
ている。
が平板状であり、剥離が発生するアイランド部21の界
面も、アイランド部21の平面方向に沿って広がってい
る。そして、放熱用リード25の屈曲部25a、25b
は、アイランド部21の平面方向に屈曲させている。こ
こで、屈曲部をアイランド部21の平面方向と交差する
方向に屈曲させた場合でも、屈曲部以降の放熱用リード
25を剥離の進行方向とは異なる方向にでき、屈曲部に
おける剥離進行防止の効果は期待できる。
つながる放熱用リード25における界面も、アイランド
部21における界面とできるだけ同一平面に近いほう
が、界面に余分な応力がかからず好ましいと考えられる
ため、本実施形態では、好ましい形態として、屈曲部2
5a、25bを、アイランド部21の平面方向に屈曲さ
せている。
リード25が、樹脂4の内部にて、アイランド部21と
樹脂4との界面に剥離が発生した時この剥離の進行方向
と異なる方向に屈曲した屈曲部25a、25bを有する
ことによって、アイランド部21で発生する樹脂4の剥
離が放熱用リード25を伝わって樹脂4の端部まで進行
するのを防止することができる。
25は、樹脂4の内部にて少なくとも1箇所に、その表
面から凹んだ溝(凹部)27を有しているため、この溝
27の部分では、放熱用リード25に樹脂4が食い込む
ため、密着性が向上し、より剥離しにくくできる。な
お、溝27は、図5の変形例に示す様に、屈曲部25a
の近傍に設けてもよく、またリードフレーム2上のどの
部分形成してもよい。
の剥離が樹脂4の端部まで進行するのを防止するために
は、放熱用リード25の屈曲部は少なくとも1回屈曲し
たものであればよいが、本実施形態によれば、樹脂4の
内部にて2回屈曲させた屈曲部25a、25bとしてい
るから、上記剥離の進行防止効果をより高いレベルにて
実現することができる。
ただけのものであると放熱用リードの引き出し方向が変
わってしまい、例えば、インナーリード部等、他の部材
との配置関係を工夫する必要があるが、2回の曲げによ
り引き出し方向を軌道修正できるので、装置100の回
路基板5に対する配置構成を変える等の必要が無くなり
簡単な装置構成が実現できる。なお、屈曲部を3回以上
屈曲させたものとしてもよいことは勿論である。
ランド部21と一体に接続され他端部が樹脂4の端面に
て切断された吊りリード24は、実質ストレート形状と
なっているが、図1に示す様に、吊りリード24の寸法
cを導出リード25の寸法dよりも十分長くすること
で、アイランド部21からの剥離進行が、樹脂4の端部
に達し難くしている。
ド25のときと同様、樹脂4の内部にて屈曲した屈曲部
を設けて同様の剥離進行防止機能を持たせることが好ま
しい。 (第2実施形態)本第2実施形態を図6に示す。本実施
形態の装置200は、上記第1実施形態を変形したもの
であり、半導体素子1の電極を放熱用リード25にもワ
イヤ3にて接続し、放熱用リード25の他端部を回路基
板5の電極に半田付け等により接続したことが異なる。
なお、他の部分は上記第1実施形態と同一であり、図
中、同一符号を付して、説明を省略する。
放熱用リード25にワイヤ3にて接続することにより、
半導体素子1の回路を動作させるための電源経路が形成
される。本実施形態では、上記第1実施形態と同様の作
用効果に加えて、放熱用リード25におけるワイヤ3の
ボンディング部が屈曲部25a、25bよりも樹脂3の
端面側に位置するため、該ボンディング部にまで剥離が
進行しないという作用効果がある。
剥離が進行しない場合でも、剥離現象が、上記ワイヤ3
のボンディング部で発生すると、剥離により発生したす
きまに水分等の異物が侵入し、ワイヤ3を腐食させ破断
に至るなど、信頼性の低下が懸念される。本実施形態で
は、そのようなことはなく、ワイヤ3のボンディング部
における信頼性を高めることができる。
25は必ずしも放熱の機能を有するものでなくともよ
く、最低限、半導体素子1と回路基板5との電気信号の
やり取りを行う電源経路の一部として機能すればよい。
また、アイランド部21と放熱用リード25との接続部
分に、溝27があるため、半導体素子1のペーストから
流れ出る異物(オイル)を遮断して、ワイヤ3のボンデ
ィング部に達しないようにできる。この異物は、例えば
ボンディング部に達するとボンディング部の強度を低下
させるなどの不具合の原因となる。
に、隣接する放熱用リード25を接続しているが、それ
によって、ワイヤボンドする領域を効率的に広げること
ができ、ワイヤボンドの自由度が向上する。以上述べて
きたように、本発明は、半導体素子を搭載するアイラン
ド部から樹脂の外部に引き出されたリード部を備える樹
脂封止型半導体装置において、該リード部が、樹脂の内
部にて少なくとも1回屈曲した屈曲部を有するものとし
たことを特徴としており、他の部分については適宜設計
変更してもよい。
装置の平面構成図である。
装置の平面構成図である。
る。
板、21…アイランド部、22…インナーリード、23
…アウターリード、24…吊りリード、25…放熱用リ
ード、25a、25b…屈曲部、27…溝。
Claims (8)
- 【請求項1】 リードフレーム(2)のアイランド部
(21)に半導体素子(1)を搭載し、前記半導体素子
(1)を樹脂(4)にて包み込むようにモールドしてな
る樹脂封止型半導体装置において、 前記リードフレーム(2)のリード部(22〜25)の
うち一端部が前記アイランド部(21)と一体に接続さ
れて他端部が前記樹脂(4)の外部に引き出されている
導出リード部(25)が、前記樹脂(4)の内部にて少
なくとも一回屈曲した屈曲部(25a、25b)を有す
ることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項2】 前記導出リード部(25)の屈曲部(2
5a、25b)は、前記樹脂(4)の内部にて2回以上
曲がっていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封
止型半導体装置。 - 【請求項3】 前記導出リード部(25)において、前
記一端部から前記導出リード部(25)に沿って前記他
端部に向かう方向を引き出し方向とし、 前記屈曲部(25a)の屈曲点を起点として前記引き出
し方向とは反対方向に延びる部位と前記引き出し方向に
延びる部位とのなす角度(θ)を屈曲角度としたとき、 前記屈曲部(25a)は、90°以下の屈曲角度で曲が
っていることを特徴とする請求項1または2に記載の樹
脂封止型半導体装置。 - 【請求項4】 前記アイランド部(21)は平板状であ
り、 前記導出リード部(25)の屈曲部(25a、25b)
は、前記アイランド部(21)の平面方向に屈曲してい
ることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに
記載の樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項5】 前記導出リード部(25)は、前記樹脂
(4)の内部にて、その表面から凹んだ凹部(27)を
有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1
つに記載の樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項6】 リードフレーム(2)のアイランド部
(21)に半導体素子(1)を搭載し、前記半導体素子
(1)を樹脂(4)にて包み込むようにモールドしてな
る樹脂封止型半導体装置において、 前記リードフレーム(2)のリード部(22〜25)の
うち一端部が前記アイランド部(21)と一体に接続さ
れて他端部が前記樹脂(4)の外部に引き出されている
導出リード部(25)が、前記樹脂(4)の内部にて、
前記アイランド部(21)と前記樹脂(4)との界面に
剥離が発生した時この剥離の進行方向と異なる方向に屈
曲した屈曲部(25a、25b)を有することを特徴と
する樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項7】 半導体素子(1)が搭載された平板状の
アイランド部(21)と、 前記半導体素子(1)の電極とワイヤ(3)により接続
された複数本のインナーリード部(22)と、 前記半導体素子(1)が搭載された前記アイランド部
(21)及び前記インナーリード部(22)を包み込む
ようにモールドした樹脂(4)と、 前記インナーリード(22)部と一体に接続形成され前
記樹脂(4)の外部に引き出されているアウターリード
部(23)と、 一端部が前記アイランド部(21)と一体に接続されて
他端部が前記樹脂(4)の外部に引き出されている導出
リード部(25)と、を備え、 前記導出リード部(25)は、前記樹脂(4)の内部に
て前記アイランド部(21)の平面方向に少なくとも一
回屈曲した屈曲部(25a、25b)を有することを特
徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項8】 前記導出リード部(25)は、他端部が
前記樹脂(4)の外部にて回路基板(5)に接続され、
前記アイランド部(21)からの熱を前記回路基板
(5)に逃がすための放熱部材として構成されているこ
とを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載
の樹脂封止型半導体装置。
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---|---|---|---|
JP31371898A JP3566109B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP31371898A JP3566109B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2000150759A true JP2000150759A (ja) | 2000-05-30 |
JP3566109B2 JP3566109B2 (ja) | 2004-09-15 |
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ID=18044688
Family Applications (1)
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JP31371898A Expired - Fee Related JP3566109B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 樹脂封止型半導体装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3566109B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006094398A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力波発生装置 |
JP2007305671A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リードフレーム及びそれを用いた半導体装置 |
KR101468188B1 (ko) * | 2012-07-20 | 2014-12-02 | 엘에스파워세미텍 주식회사 | 스트레스를 분산시키는 리드프레임 및 반도체 패키지 |
-
1998
- 1998-11-04 JP JP31371898A patent/JP3566109B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2006094398A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力波発生装置 |
JP4525273B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2010-08-18 | パナソニック電工株式会社 | 圧力波発生装置 |
JP2007305671A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リードフレーム及びそれを用いた半導体装置 |
JP4705881B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-06-22 | パナソニック株式会社 | リードフレーム及びそれを用いた半導体装置 |
KR101468188B1 (ko) * | 2012-07-20 | 2014-12-02 | 엘에스파워세미텍 주식회사 | 스트레스를 분산시키는 리드프레임 및 반도체 패키지 |
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