JP2000141600A - スクリーン印刷装置及び印刷方法 - Google Patents
スクリーン印刷装置及び印刷方法Info
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- JP2000141600A JP2000141600A JP31361398A JP31361398A JP2000141600A JP 2000141600 A JP2000141600 A JP 2000141600A JP 31361398 A JP31361398 A JP 31361398A JP 31361398 A JP31361398 A JP 31361398A JP 2000141600 A JP2000141600 A JP 2000141600A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 用いるペーストによらず安定して印刷膜を形
成することができるスクリーン印刷装置および印刷方法
を提供する。 【解決手段】 形成しようとする印刷膜の形状と一致し
たパターンの貫通孔を有するスクリーンマスク、スクリ
ーンマスクの上面を摺動するスキージ、スクリーンマス
ク上に供給されたペーストの物性を検出するペースト物
性検出手段、得られたペーストの物性に応じてスキージ
の摺動条件を決定する演算手段、および演算手段が決定
した摺動条件にしたがってスキージを駆動する駆動手段
を具備する。
成することができるスクリーン印刷装置および印刷方法
を提供する。 【解決手段】 形成しようとする印刷膜の形状と一致し
たパターンの貫通孔を有するスクリーンマスク、スクリ
ーンマスクの上面を摺動するスキージ、スクリーンマス
ク上に供給されたペーストの物性を検出するペースト物
性検出手段、得られたペーストの物性に応じてスキージ
の摺動条件を決定する演算手段、および演算手段が決定
した摺動条件にしたがってスキージを駆動する駆動手段
を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路形成にお
いて基板表面に所定形状の印刷膜を形成するスクリーン
印刷に関するものであり、特に、プリント回路基板のラ
ンド上に電子部品を実装するためのクリームはんだを塗
布するスクリーン印刷に関するものである。
いて基板表面に所定形状の印刷膜を形成するスクリーン
印刷に関するものであり、特に、プリント回路基板のラ
ンド上に電子部品を実装するためのクリームはんだを塗
布するスクリーン印刷に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】スクリーン印刷法の一例として、プリン
ト回路基板のランド上にクリームはんだを印刷する方法
を図１を用いて説明する。図１の（ａ）に示すように、
所定パターンに配置された貫通孔１ａを有するスクリー
ンマスク（メタルマスク）１を、印刷しようとする基板
２上の所定位置に配置する。このとき、スクリーンマス
ク１は、その貫通孔１ａが基板２のランド２ａの上方に
位置するように配される。ついで、スクリーンマスク１
の上面の端部にクリームはんだ４を供給する。次に、
（ｂ）に示すように、スキージ３をスクリーンマスク１
の上面で下方に押さえつけるようにして摺動させる。こ
れにより、クリームはんだ４は、スクリーンマスク１の
貫通孔１ａに充填されるとともに、ランド２ａに塗着さ
れる。このステップを以下、ペースト充填工程とする。
ト回路基板のランド上にクリームはんだを印刷する方法
を図１を用いて説明する。図１の（ａ）に示すように、
所定パターンに配置された貫通孔１ａを有するスクリー
ンマスク（メタルマスク）１を、印刷しようとする基板
２上の所定位置に配置する。このとき、スクリーンマス
ク１は、その貫通孔１ａが基板２のランド２ａの上方に
位置するように配される。ついで、スクリーンマスク１
の上面の端部にクリームはんだ４を供給する。次に、
（ｂ）に示すように、スキージ３をスクリーンマスク１
の上面で下方に押さえつけるようにして摺動させる。こ
れにより、クリームはんだ４は、スクリーンマスク１の
貫通孔１ａに充填されるとともに、ランド２ａに塗着さ
れる。このステップを以下、ペースト充填工程とする。
【０００３】その後、（ｃ）に示すように基板２を下方
に移動させるか、またはスクリーンマスク１を上方に移
動させて、スクリーンマスク１と基板２を分離すると、
スクリーンマスク１の貫通孔１ａに充填されたクリーム
はんだ４は、基板２のランド２ａ上に転写されて、
（ｄ）に示すように貫通孔１ａのパターンに応じた印刷
膜５が形成される。このステップを以下、版離れ工程と
する。このようなスクリーン印刷は、銅張積層板に回路
を形成するためのエッチングレジストを印刷する工程や
回路基板のランドにクリームはんだを印刷する工程に広
く用いられている。
に移動させるか、またはスクリーンマスク１を上方に移
動させて、スクリーンマスク１と基板２を分離すると、
スクリーンマスク１の貫通孔１ａに充填されたクリーム
はんだ４は、基板２のランド２ａ上に転写されて、
（ｄ）に示すように貫通孔１ａのパターンに応じた印刷
膜５が形成される。このステップを以下、版離れ工程と
する。このようなスクリーン印刷は、銅張積層板に回路
を形成するためのエッチングレジストを印刷する工程や
回路基板のランドにクリームはんだを印刷する工程に広
く用いられている。
【０００４】スクリーン印刷によると、印刷条件によっ
ては、得られた印刷膜の形状が安定しない。たとえば、
粘度が異なるペーストを用いると、ペースト充填工程に
おけるスキージの移動速度や版離れ工程におけるスクリ
ーンマスクが被印刷体から離れる速度（以下、版離れ速
度とする）が等しくても、形成される印刷膜の形状は安
定しない。ペースト充填工程においては、充填時のペー
ストの粘度を適性に保つ必要がある。ペーストはチクソ
性を有することから、スキージの移動速度により充填時
の粘度が変化する。充填時のペーストの粘度が高いと、
スクリーンマスクの貫通孔に十分にペーストが充填され
ず、形成された印刷膜の一部が欠けたりする。版離れ工
程においても、スクリーンマスクを基板から離すとき
に、基板に塗着したペーストの周縁部がスクリーンマス
クに引っ張られることから、いわゆるつの立ちやブリッ
ジを防ぐためには、ペーストの物性（特に粘性特性）に
応じた版離れ速度を設定する必要がある。
ては、得られた印刷膜の形状が安定しない。たとえば、
粘度が異なるペーストを用いると、ペースト充填工程に
おけるスキージの移動速度や版離れ工程におけるスクリ
ーンマスクが被印刷体から離れる速度（以下、版離れ速
度とする）が等しくても、形成される印刷膜の形状は安
定しない。ペースト充填工程においては、充填時のペー
ストの粘度を適性に保つ必要がある。ペーストはチクソ
性を有することから、スキージの移動速度により充填時
の粘度が変化する。充填時のペーストの粘度が高いと、
スクリーンマスクの貫通孔に十分にペーストが充填され
ず、形成された印刷膜の一部が欠けたりする。版離れ工
程においても、スクリーンマスクを基板から離すとき
に、基板に塗着したペーストの周縁部がスクリーンマス
クに引っ張られることから、いわゆるつの立ちやブリッ
ジを防ぐためには、ペーストの物性（特に粘性特性）に
応じた版離れ速度を設定する必要がある。
【０００５】したがって、スクリーン印刷においては、
用いるペーストの物性を考慮して、印刷に用いるスクリ
ーンマスクの張力、スキージの移動速度、版離れ速度等
の印刷条件を決定する必要がある。しかしながら、従
来、あらかじめ設定された条件にしたがって印刷を行
い、印刷不良が多発する場合には経験則にしたがって印
刷条件を微調整していた。このような印刷不良は、同一
のペーストを用いて連続して印刷する場合にも、たとえ
ば温度の変化や溶媒（または分散媒）の揮発によるペー
ストの粘度の変化によって生じることがあるため、安定
して印刷膜を形成することは困難であった。
用いるペーストの物性を考慮して、印刷に用いるスクリ
ーンマスクの張力、スキージの移動速度、版離れ速度等
の印刷条件を決定する必要がある。しかしながら、従
来、あらかじめ設定された条件にしたがって印刷を行
い、印刷不良が多発する場合には経験則にしたがって印
刷条件を微調整していた。このような印刷不良は、同一
のペーストを用いて連続して印刷する場合にも、たとえ
ば温度の変化や溶媒（または分散媒）の揮発によるペー
ストの粘度の変化によって生じることがあるため、安定
して印刷膜を形成することは困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、用いるペー
ストの物性が変化しても安定して印刷膜を形成すること
ができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する
ことを目的とする。
ストの物性が変化しても安定して印刷膜を形成すること
ができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、印刷しようと
するペーストの物性をリアルタイムで測定し、印刷条件
を逐次得られた物性に最も適したものに変更しながら印
刷するものである。
するペーストの物性をリアルタイムで測定し、印刷条件
を逐次得られた物性に最も適したものに変更しながら印
刷するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明のスクリーン印刷装置は、
形成しようとする印刷膜の形状と一致したパターンの貫
通孔を有するスクリーンマスク、スクリーンマスクの上
面を摺動するスキージ、スクリーンマスク上に供給され
たペーストの物性を検出するペースト物性検出手段、得
られたペーストの物性に応じてスキージの摺動条件を決
定する演算手段、および演算手段が決定した摺動条件に
したがってスキージを駆動する駆動手段を具備する。本
発明の好ましい態様において、ペーストの物性が、加え
られたせん断力に対してペーストが及ぼす抗力である。
本発明の他の好ましい態様において、ペースト物性検出
手段が、圧力センサである。圧力センサは、たとえばス
キージの表面に配され、ペースト充填時にペーストより
スキージに加わる圧力を検出する。このスキージに加わ
る圧力は、ペーストの粘性特性に関係する。したがっ
て、スキージに加わる圧力を検出しながら、スキージの
移動速度を調整することにより、ペースト充填工程にお
けるペーストの粘度を適正な値に調整することができ
る。また、スキージを互いに異なる複数の速度で摺動さ
せ、それぞれペーストの物性を検出すると、ペーストの
降伏値等の有用な情報を得ることができる。
形成しようとする印刷膜の形状と一致したパターンの貫
通孔を有するスクリーンマスク、スクリーンマスクの上
面を摺動するスキージ、スクリーンマスク上に供給され
たペーストの物性を検出するペースト物性検出手段、得
られたペーストの物性に応じてスキージの摺動条件を決
定する演算手段、および演算手段が決定した摺動条件に
したがってスキージを駆動する駆動手段を具備する。本
発明の好ましい態様において、ペーストの物性が、加え
られたせん断力に対してペーストが及ぼす抗力である。
本発明の他の好ましい態様において、ペースト物性検出
手段が、圧力センサである。圧力センサは、たとえばス
キージの表面に配され、ペースト充填時にペーストより
スキージに加わる圧力を検出する。このスキージに加わ
る圧力は、ペーストの粘性特性に関係する。したがっ
て、スキージに加わる圧力を検出しながら、スキージの
移動速度を調整することにより、ペースト充填工程にお
けるペーストの粘度を適正な値に調整することができ
る。また、スキージを互いに異なる複数の速度で摺動さ
せ、それぞれペーストの物性を検出すると、ペーストの
降伏値等の有用な情報を得ることができる。
【０００９】本発明の他のスクリーン印刷装置は、印刷
しようとする基板を保持する基板保持手段、基板に印刷
しようとする形状と一致したパターンの貫通孔を有する
スクリーンマスク、スクリーンマスクの上面を摺動する
スキージ、スキージを駆動する駆動手段、前記スクリー
ンマスクの変位を検出する変位検出手段、スクリーンマ
スクと基板の間隔を変化させる昇降手段、変位検出手段
が検出したスクリーンマスクの変位よりスクリーンマス
クの変位の速度を算出する演算手段、および演算手段に
より得られた変位の速度に応じて昇降手段の駆動速度を
制御する制御手段を具備する。
しようとする基板を保持する基板保持手段、基板に印刷
しようとする形状と一致したパターンの貫通孔を有する
スクリーンマスク、スクリーンマスクの上面を摺動する
スキージ、スキージを駆動する駆動手段、前記スクリー
ンマスクの変位を検出する変位検出手段、スクリーンマ
スクと基板の間隔を変化させる昇降手段、変位検出手段
が検出したスクリーンマスクの変位よりスクリーンマス
クの変位の速度を算出する演算手段、および演算手段に
より得られた変位の速度に応じて昇降手段の駆動速度を
制御する制御手段を具備する。
【００１０】本発明によれば、印刷ペーストの物性に応
じて、最も適した状態で版離れを制御することができ
る。これにより、印刷ペーストが基板上に安定して供給
され、印刷不良を減少させることができる。
じて、最も適した状態で版離れを制御することができ
る。これにより、印刷ペーストが基板上に安定して供給
され、印刷不良を減少させることができる。
【００１１】
【実施例】スクリーン印刷は、ペースト充填工程と版離
れ工程に大別することができる。以下、ペースト充填工
程と版離れ工程のそれぞれについて、クリームはんだを
用いたスクリーン印刷を例に、本発明の好ましい実施例
を図面を用いて詳細に説明する。
れ工程に大別することができる。以下、ペースト充填工
程と版離れ工程のそれぞれについて、クリームはんだを
用いたスクリーン印刷を例に、本発明の好ましい実施例
を図面を用いて詳細に説明する。
【００１２】《実施例１》本実施例では、ペースト充填
工程の最適化について説明する。ペースト充填工程にお
いては、充填するペーストの粘度が得られる印刷膜の状
態に大きな影響を及ぼす。一般に、クリームはんだ等の
ペーストはチクソ性を有することから、スキージの移動
速度を適正値に設定し、スクリーンマスクへ充填してい
るときのペーストの粘度を最適に保つことが重要にな
る。そこで、本発明では、印刷しようとするペーストの
粘度をリアルタイムで測定し、スキージの移動速度を調
整しながら印刷する。
工程の最適化について説明する。ペースト充填工程にお
いては、充填するペーストの粘度が得られる印刷膜の状
態に大きな影響を及ぼす。一般に、クリームはんだ等の
ペーストはチクソ性を有することから、スキージの移動
速度を適正値に設定し、スクリーンマスクへ充填してい
るときのペーストの粘度を最適に保つことが重要にな
る。そこで、本発明では、印刷しようとするペーストの
粘度をリアルタイムで測定し、スキージの移動速度を調
整しながら印刷する。
【００１３】本実施例の印刷装置を図２に示す。（ａ）
に示すように、スキージ３はスキージ保持部６に保持さ
れる。スキージ保持部６は、コントローラ９からの指令
信号によりガイドレール７上を図中矢印方向に移動す
る。基板サポートテーブル８は、その上面に印刷しよう
とする基板２を保持する。スキージ３の移動方向に対し
て前方側の表面には、（ｂ）に示すように、圧力センサ
１０が取り付けられている。圧力センサ１０は、スクリ
ーンマスク１の表面にクリームはんだ４を供給してスキ
ージ３を移動させる際に、その測定面が供給されたクリ
ームはんだ４と当接するように配されている。図３に示
すように、スクリーンマスク１上のクリームはんだ４を
押し出しながら、スキージ３を矢印の方向に速度ｖで移
動させるとき、圧力センサ１０により検出されるスキー
ジ３の表面に加わる圧力（すなわちクリームはんだ４が
及ぼす抗力）Ｐとペーストの粘度ηの関係は、以下の式
（１）で表される。
に示すように、スキージ３はスキージ保持部６に保持さ
れる。スキージ保持部６は、コントローラ９からの指令
信号によりガイドレール７上を図中矢印方向に移動す
る。基板サポートテーブル８は、その上面に印刷しよう
とする基板２を保持する。スキージ３の移動方向に対し
て前方側の表面には、（ｂ）に示すように、圧力センサ
１０が取り付けられている。圧力センサ１０は、スクリ
ーンマスク１の表面にクリームはんだ４を供給してスキ
ージ３を移動させる際に、その測定面が供給されたクリ
ームはんだ４と当接するように配されている。図３に示
すように、スクリーンマスク１上のクリームはんだ４を
押し出しながら、スキージ３を矢印の方向に速度ｖで移
動させるとき、圧力センサ１０により検出されるスキー
ジ３の表面に加わる圧力（すなわちクリームはんだ４が
及ぼす抗力）Ｐとペーストの粘度ηの関係は、以下の式
（１）で表される。
【００１４】
【数１】
【００１５】したがって、圧力Ｐを測定することによ
り、ペーストの粘度を求めることができる。
り、ペーストの粘度を求めることができる。
【００１６】圧力センサ１０は、検出した圧力Ｐに関す
る信号をコントローラ９の演算部９ｂに出力する。演算
部９ｂは圧力Ｐよりペーストの粘度を算出し、さらにメ
モリ部９ａに記録されたデータベースに基づいてペース
ト充填時に最適な粘度を得ることができるスキージ移動
速度を算出する。制御部９ｃは、演算部９ｂの出力信号
に基づいてスキージ保持部６を駆動させる。
る信号をコントローラ９の演算部９ｂに出力する。演算
部９ｂは圧力Ｐよりペーストの粘度を算出し、さらにメ
モリ部９ａに記録されたデータベースに基づいてペース
ト充填時に最適な粘度を得ることができるスキージ移動
速度を算出する。制御部９ｃは、演算部９ｂの出力信号
に基づいてスキージ保持部６を駆動させる。
【００１７】このスキージ３を用いて、プリント回路板
の表面に形成されたランド上にクリームはんだをスクリ
ーン印刷した。このとき圧力センサ１０により検出され
た圧力Ｐの挙動を、図４に示す。このように、スキージ
の表面に圧力センサを取り付けることにより、ペースト
充填工程においてスキージの表面に加わる圧力を安定し
て測定できることがわかる。つぎに、粘度が異なる複数
のクリームはんだを、それぞれ同様にプリント回路板の
表面にスクリーン印刷した。これらの測定で得られたス
キージ３の表面に加わる圧力Ｐと、ペーストの粘度ηの
関係を図５に示す。このときの相関係数は０．９８と高
く、両者は高い直線関係にあることがわかる。このよう
に、スキージの表面に取り付けた圧力センサにより、ク
リームはんだの粘度を的確に測定することができる。
の表面に形成されたランド上にクリームはんだをスクリ
ーン印刷した。このとき圧力センサ１０により検出され
た圧力Ｐの挙動を、図４に示す。このように、スキージ
の表面に圧力センサを取り付けることにより、ペースト
充填工程においてスキージの表面に加わる圧力を安定し
て測定できることがわかる。つぎに、粘度が異なる複数
のクリームはんだを、それぞれ同様にプリント回路板の
表面にスクリーン印刷した。これらの測定で得られたス
キージ３の表面に加わる圧力Ｐと、ペーストの粘度ηの
関係を図５に示す。このときの相関係数は０．９８と高
く、両者は高い直線関係にあることがわかる。このよう
に、スキージの表面に取り付けた圧力センサにより、ク
リームはんだの粘度を的確に測定することができる。
【００１８】実際に、スキージ３の移動速度を４０、１
００および２００ｍｍ／ｓとして、それぞれスクリーン
印刷を行い、そのときにスキージ３の表面に加わる圧力
を測定した。このときのスキージ移動速度ｖと得られた
圧力Ｐの関係を図６に示す。このようにスキージ移動速
度（すなわち剪断速度）ｖに応じて検出される圧力Ｐが
変化する。ここで、両者がほぼ比例関係にあることか
ら、ペーストに加わる剪断応力が圧力センサによって正
確に検出されていることがわかる。なお、スキージ移動
速度ｖに対する圧力Ｐの挙動が若干上に凸な曲線をとる
のは、クリームはんだがチクソ性を有することによる。
この圧力Ｐをスキージ移動速度ｖで割ることでクリーム
はんだの粘度ηが得られる。クリームはんだは、上記の
ようにチクソ性を有し、剪断速度が小さいときは粘度η
は大きくなる。したがって、ペースト充填工程におい
て、圧力Ｐを検出しながら、ペーストの充填に適した粘
度が得られるようにスキージ移動速度ｖを調整すること
により、クリームはんだの過充填や充填不足を防ぐこと
ができる。したがって、良質の印刷膜を形成することが
可能になる。
００および２００ｍｍ／ｓとして、それぞれスクリーン
印刷を行い、そのときにスキージ３の表面に加わる圧力
を測定した。このときのスキージ移動速度ｖと得られた
圧力Ｐの関係を図６に示す。このようにスキージ移動速
度（すなわち剪断速度）ｖに応じて検出される圧力Ｐが
変化する。ここで、両者がほぼ比例関係にあることか
ら、ペーストに加わる剪断応力が圧力センサによって正
確に検出されていることがわかる。なお、スキージ移動
速度ｖに対する圧力Ｐの挙動が若干上に凸な曲線をとる
のは、クリームはんだがチクソ性を有することによる。
この圧力Ｐをスキージ移動速度ｖで割ることでクリーム
はんだの粘度ηが得られる。クリームはんだは、上記の
ようにチクソ性を有し、剪断速度が小さいときは粘度η
は大きくなる。したがって、ペースト充填工程におい
て、圧力Ｐを検出しながら、ペーストの充填に適した粘
度が得られるようにスキージ移動速度ｖを調整すること
により、クリームはんだの過充填や充填不足を防ぐこと
ができる。したがって、良質の印刷膜を形成することが
可能になる。
【００１９】スキージ移動速度の制御方法の一例を、図
７に示すフローチャートを用いて説明する。まず、用い
るペーストの種類等に応じてスキージ移動速度Ｖ0を初
期設定する（ステップ１０１）。ついで、スクリーンマ
スク１の上にクリームはんだを供給し（ステップ１０
２）、さらにスキージ３の移動を開始して、その表面に
配された圧力センサ１０により圧力Ｐの測定を開始する
（ステップ１０３）。印刷装置の演算部９ｂは、得られ
た圧力Ｐよりクリームはんだの粘度ηを算出し（ステッ
プ１０４）、この値が所定の範囲内にあるかどうかを判
定する（ステップ１０５）。ここで、粘度ηがその範囲
より外れていれば、スキージ移動速度Ｖ0が変更される
（ステップ１０６）。一方、粘度ηが範囲内にあれば、
そのままスキージ３が摺動して、スクリーンマスク１の
貫通孔１ａにクリームはんだが充填される（ステップ１
０７）。
７に示すフローチャートを用いて説明する。まず、用い
るペーストの種類等に応じてスキージ移動速度Ｖ0を初
期設定する（ステップ１０１）。ついで、スクリーンマ
スク１の上にクリームはんだを供給し（ステップ１０
２）、さらにスキージ３の移動を開始して、その表面に
配された圧力センサ１０により圧力Ｐの測定を開始する
（ステップ１０３）。印刷装置の演算部９ｂは、得られ
た圧力Ｐよりクリームはんだの粘度ηを算出し（ステッ
プ１０４）、この値が所定の範囲内にあるかどうかを判
定する（ステップ１０５）。ここで、粘度ηがその範囲
より外れていれば、スキージ移動速度Ｖ0が変更される
（ステップ１０６）。一方、粘度ηが範囲内にあれば、
そのままスキージ３が摺動して、スクリーンマスク１の
貫通孔１ａにクリームはんだが充填される（ステップ１
０７）。
【００２０】《実施例２》本実施例では、版離れ工程の
最適化について説明する。版離れ工程は、静止状態から
動き出す工程であり、ペーストの物性の中でも特に静的
な粘性特性たとえば降伏値（剪断速度がゼロのときの応
力値）の影響を大きく受ける。図８に示すように、ペー
ストを用いたスクリーン印刷によると、その降伏値は、
印刷不良の発生率と高い相関がある。版離れ工程におい
て、スクリーンマスクは、図９に示すような挙動をと
る。ペースト充填工程において、スクリーンマスクは、
印刷しようとする基板に押圧されていて、基板と当接し
ない状態でのその位置ｚ2よりも、上方の位置ｚ0にあ
る。スキージをスクリーンマスク上で摺動させる充填工
程が終了すると、時点ｔ0において基板を保持する保持
台を所定の速度で降下させる。これにより、スクリーン
マスクは、その貫通孔に充填されたペーストとともに基
板に引きずられて降下し、時点ｔ1において基板と引き
離される。基板から引き離されたスクリーンマスクは、
基板から受ける力から開放され、時点ｔ2において元の
状態(位置ｚ2)に回復する。
最適化について説明する。版離れ工程は、静止状態から
動き出す工程であり、ペーストの物性の中でも特に静的
な粘性特性たとえば降伏値（剪断速度がゼロのときの応
力値）の影響を大きく受ける。図８に示すように、ペー
ストを用いたスクリーン印刷によると、その降伏値は、
印刷不良の発生率と高い相関がある。版離れ工程におい
て、スクリーンマスクは、図９に示すような挙動をと
る。ペースト充填工程において、スクリーンマスクは、
印刷しようとする基板に押圧されていて、基板と当接し
ない状態でのその位置ｚ2よりも、上方の位置ｚ0にあ
る。スキージをスクリーンマスク上で摺動させる充填工
程が終了すると、時点ｔ0において基板を保持する保持
台を所定の速度で降下させる。これにより、スクリーン
マスクは、その貫通孔に充填されたペーストとともに基
板に引きずられて降下し、時点ｔ1において基板と引き
離される。基板から引き離されたスクリーンマスクは、
基板から受ける力から開放され、時点ｔ2において元の
状態(位置ｚ2)に回復する。
【００２１】実際にクリームはんだを用いたスクリーン
印刷の版離れ工程でのスクリーンマスクの挙動を図１０
に示す。（ａ）および（ｂ）は、それぞれ降伏値が３０
０Ｐａおよび６００Ｐａのクリームはんだを用いて、版
離れ速度すなわち保持台を降下させる速度を０．５ｍｍ
／秒としたときのスクリーンマスクの挙動を、スクリー
ンマスク上の２点（ＸおよびＹ）で測定したもので、
（ｂ）では正常な印刷膜が得られたのに対し、（ａ）で
は、同じ版離れ速度に設定したにもかかわらず、点Ｙの
周囲において印刷膜に不良（つの立ち）が発生した。図
１０に示すスクリーンマスクの変位の挙動より、スクリ
ーンマスクと基板が切り離される瞬間（時点ｔ1）ま
で、スクリーンマスクの変位が基板の変位に追随するこ
とが重要であると考えられる。したがって、降伏値に応
じて適正な版離れ速度を設定することで良好な印刷膜を
安定して形成することができる。
印刷の版離れ工程でのスクリーンマスクの挙動を図１０
に示す。（ａ）および（ｂ）は、それぞれ降伏値が３０
０Ｐａおよび６００Ｐａのクリームはんだを用いて、版
離れ速度すなわち保持台を降下させる速度を０．５ｍｍ
／秒としたときのスクリーンマスクの挙動を、スクリー
ンマスク上の２点（ＸおよびＹ）で測定したもので、
（ｂ）では正常な印刷膜が得られたのに対し、（ａ）で
は、同じ版離れ速度に設定したにもかかわらず、点Ｙの
周囲において印刷膜に不良（つの立ち）が発生した。図
１０に示すスクリーンマスクの変位の挙動より、スクリ
ーンマスクと基板が切り離される瞬間（時点ｔ1）ま
で、スクリーンマスクの変位が基板の変位に追随するこ
とが重要であると考えられる。したがって、降伏値に応
じて適正な版離れ速度を設定することで良好な印刷膜を
安定して形成することができる。
【００２２】そこで、印刷工程において用いるペースト
の降伏値を測定し、その測定値に基づいて版離れをコン
トロールする。ペーストの降伏値は、実施例１の印刷装
置を用いても得ることができる。たとえば図６に示す曲
線を外挿することにより得られる。実際に、実施例１の
印刷装置を用いて粘度の異なるクリームはんだの降伏値
をそれぞれ求めた。なお、この降伏値（以下、疑似降伏
値とする）は、スキージ３の移動速度を４０、１００お
よび２００ｍｍ／ｓとしたときにそれぞれスキージ３に
加わる圧力から図６と同様の曲線を求め、これを外挿し
て得られたものである。一方、同様にこれらのクリーム
はんだの降伏値を、精密測定器を用いて求めた。以上の
ようにして得られた疑似降伏値と精密測定器により求め
た降伏値の関係を図１１に示す。図中直線で近似した両
者の相関係数は０．９８であり、両者は高い直線関係に
あることがわかる。すなわち、実施例１の印刷装置を用
いて求めたスキージに加わる圧力より、ペーストの降伏
値を的確に測定できる。
の降伏値を測定し、その測定値に基づいて版離れをコン
トロールする。ペーストの降伏値は、実施例１の印刷装
置を用いても得ることができる。たとえば図６に示す曲
線を外挿することにより得られる。実際に、実施例１の
印刷装置を用いて粘度の異なるクリームはんだの降伏値
をそれぞれ求めた。なお、この降伏値（以下、疑似降伏
値とする）は、スキージ３の移動速度を４０、１００お
よび２００ｍｍ／ｓとしたときにそれぞれスキージ３に
加わる圧力から図６と同様の曲線を求め、これを外挿し
て得られたものである。一方、同様にこれらのクリーム
はんだの降伏値を、精密測定器を用いて求めた。以上の
ようにして得られた疑似降伏値と精密測定器により求め
た降伏値の関係を図１１に示す。図中直線で近似した両
者の相関係数は０．９８であり、両者は高い直線関係に
あることがわかる。すなわち、実施例１の印刷装置を用
いて求めたスキージに加わる圧力より、ペーストの降伏
値を的確に測定できる。
【００２３】以下、クリームはんだをプリント回路板の
ランドに印刷する場合を例にとって説明する。本実施例
で用いた印刷装置の構成を図１２に示す。印刷しようと
する基板２は、基板サポートテーブル１４の上に固定さ
れる。さらにその上方にはスクリーンマスク１が配され
る。スクリーンマスク１の上方には、印刷中のスクリー
ンマスク１の上下の変位を測定するスクリーン変位測定
手段１１が配される。スクリーン変位測定手段１１は、
スクリーンマスク１からの距離を随時測定し、そのデー
タをコントローラ１２に出力する。なお、スクリーン変
位測定手段１１には、渦電流式変位計、レーザ変位計等
の非接触で変位を測定できる変位計を用いることが望ま
しい。このうち、渦巻き電流式変位計は、測定可能距離
が約１０〜３０ｍｍ程度と短く、使用の際にはスクリー
ンマスク１上面の近傍に配する必要がある。一方、レー
ザ式変位計は、その焦点距離が長いことから使いやす
い。コントローラ１２は、スクリーン変位測定手段１１
の出力データに基づいて、スクリーンマスク１の変位お
よびその速度を算出する。コントローラ１２には、クリ
ームはんだの降伏値と版離れ速度の印刷性に関する相関
データベースがあらかじめ記憶されていて、算出された
スクリーンマスク１の変位速度をこのデータベースと比
較し、最適な版離れ速度すなわち基板サポートテーブル
１４の下降速度を算出する。昇降機１３は、コントロー
ラ１２の指令により、基板サポートテーブル１４を上下
に移動させる。
ランドに印刷する場合を例にとって説明する。本実施例
で用いた印刷装置の構成を図１２に示す。印刷しようと
する基板２は、基板サポートテーブル１４の上に固定さ
れる。さらにその上方にはスクリーンマスク１が配され
る。スクリーンマスク１の上方には、印刷中のスクリー
ンマスク１の上下の変位を測定するスクリーン変位測定
手段１１が配される。スクリーン変位測定手段１１は、
スクリーンマスク１からの距離を随時測定し、そのデー
タをコントローラ１２に出力する。なお、スクリーン変
位測定手段１１には、渦電流式変位計、レーザ変位計等
の非接触で変位を測定できる変位計を用いることが望ま
しい。このうち、渦巻き電流式変位計は、測定可能距離
が約１０〜３０ｍｍ程度と短く、使用の際にはスクリー
ンマスク１上面の近傍に配する必要がある。一方、レー
ザ式変位計は、その焦点距離が長いことから使いやす
い。コントローラ１２は、スクリーン変位測定手段１１
の出力データに基づいて、スクリーンマスク１の変位お
よびその速度を算出する。コントローラ１２には、クリ
ームはんだの降伏値と版離れ速度の印刷性に関する相関
データベースがあらかじめ記憶されていて、算出された
スクリーンマスク１の変位速度をこのデータベースと比
較し、最適な版離れ速度すなわち基板サポートテーブル
１４の下降速度を算出する。昇降機１３は、コントロー
ラ１２の指令により、基板サポートテーブル１４を上下
に移動させる。
【００２４】本実施例における版離れ工程のフローを図
１３に示す。まず、クリームはんだの特性値、特に版離
れ工程で大きく影響する降伏値を測定する（ステップ２
０１）。たとえば、実施例１と同様のペースト充填工程
において、スキージをスクリーンマスクの貫通孔を有さ
ない箇所で摺動させる際に、その移動速度を変化させて
測定した値を用いることができる。もちろん、あらかじ
め測定器で測定して得られた値を用いてもよい。つい
で、得られた降伏値の値に基づいて最適な版離れ速度Ｖ
soを選択し、その値を、コントローラ１２に設定する
（ステップ２０２）。基板の上に配されたスクリーンマ
スク１の上面にクリームはんだを供給し、スクリーンマ
スク１表面でスキージ３を摺動させる（ステップ２０
３）。ついで、スクリーン変位測定手段１１により、ス
クリーンの変位の測定を開始し（ステップ２０４）、設
定された速度Ｖsoで基板サポートテーブル１４を降下さ
せる（ステップ２０５）。スクリーン変位測定手段１１
は、スクリーンマスク１の変位の測定を開始し、得られ
たデータを随時、コントローラ１２に送る。
１３に示す。まず、クリームはんだの特性値、特に版離
れ工程で大きく影響する降伏値を測定する（ステップ２
０１）。たとえば、実施例１と同様のペースト充填工程
において、スキージをスクリーンマスクの貫通孔を有さ
ない箇所で摺動させる際に、その移動速度を変化させて
測定した値を用いることができる。もちろん、あらかじ
め測定器で測定して得られた値を用いてもよい。つい
で、得られた降伏値の値に基づいて最適な版離れ速度Ｖ
soを選択し、その値を、コントローラ１２に設定する
（ステップ２０２）。基板の上に配されたスクリーンマ
スク１の上面にクリームはんだを供給し、スクリーンマ
スク１表面でスキージ３を摺動させる（ステップ２０
３）。ついで、スクリーン変位測定手段１１により、ス
クリーンの変位の測定を開始し（ステップ２０４）、設
定された速度Ｖsoで基板サポートテーブル１４を降下さ
せる（ステップ２０５）。スクリーン変位測定手段１１
は、スクリーンマスク１の変位の測定を開始し、得られ
たデータを随時、コントローラ１２に送る。
【００２５】コントローラ１２は、スクリーン変位測定
手段１１からの測定データに基づいて実際の版離れ速度
Ｖを算出し（ステップ２０６）、この値を設定値Ｖsoと
比較する（ステップ２０７）。ここで、版離れ速度の実
測値Ｖが設定値Ｖsoより小さければ、その測定点におい
てはすでにスクリーンマスク１が基板２より分離されて
いるものの、他の箇所においてはスクリーンマスク１と
基板２が切り離されていないことを示す。このような状
態では、基板２に塗着したクリームはんだのうちスクリ
ーンマスク１とつながったままの箇所に負荷がかかり、
形成される印刷膜に形状不良が発生することになる。そ
こでコントローラ１２は、設定値Ｖsoと版離れ速度Ｖの
差が所定の値よりも大きければ、時間当たりの両者の差
ｄｖ（ｔ）＝ｄＶso−ｄＶ（ｔ）がゼロになるように新
たな版離れ速度Ｖsoを設定する（ステップ２０８）。ｄ
ｖ（ｔ）が所定値以下であれば、そのまま基板サポート
テーブル１４を降下させ、スクリーン印刷が終了する
（ステップ２０９）。
手段１１からの測定データに基づいて実際の版離れ速度
Ｖを算出し（ステップ２０６）、この値を設定値Ｖsoと
比較する（ステップ２０７）。ここで、版離れ速度の実
測値Ｖが設定値Ｖsoより小さければ、その測定点におい
てはすでにスクリーンマスク１が基板２より分離されて
いるものの、他の箇所においてはスクリーンマスク１と
基板２が切り離されていないことを示す。このような状
態では、基板２に塗着したクリームはんだのうちスクリ
ーンマスク１とつながったままの箇所に負荷がかかり、
形成される印刷膜に形状不良が発生することになる。そ
こでコントローラ１２は、設定値Ｖsoと版離れ速度Ｖの
差が所定の値よりも大きければ、時間当たりの両者の差
ｄｖ（ｔ）＝ｄＶso−ｄＶ（ｔ）がゼロになるように新
たな版離れ速度Ｖsoを設定する（ステップ２０８）。ｄ
ｖ（ｔ）が所定値以下であれば、そのまま基板サポート
テーブル１４を降下させ、スクリーン印刷が終了する
（ステップ２０９）。
【００２６】実際に、同装置において版離れ速度Ｖsoす
なわち基板サポートテーブル１４の降下速度を設定した
ときの版離れ速度の実測値Ｖを図１４に示す。図１４よ
り明らかなように、基板サポートテーブル１４の降下速
度を制御することにより、所望の版離れ速度を設定する
ことができる。このように、版離れ速度を検出しながら
常に最適値に保つことで、基板上に所定形状の印刷膜を
安定して形成することができる。なお、版離れ工程は、
時間的に非常に短い工程であるから、測定及び演算は高
速で処理することが要求される。具体的には、版離れ工
程に要する時間（プロセスタイム）は、最短で０．１秒
程度であるため、測定系の応答時間および演算時間は、
ともにせいぜい１〜２ミリ秒程度である必要がある。こ
のような処理時間の短い測定系は、公知の技術により容
易に達成できる。
なわち基板サポートテーブル１４の降下速度を設定した
ときの版離れ速度の実測値Ｖを図１４に示す。図１４よ
り明らかなように、基板サポートテーブル１４の降下速
度を制御することにより、所望の版離れ速度を設定する
ことができる。このように、版離れ速度を検出しながら
常に最適値に保つことで、基板上に所定形状の印刷膜を
安定して形成することができる。なお、版離れ工程は、
時間的に非常に短い工程であるから、測定及び演算は高
速で処理することが要求される。具体的には、版離れ工
程に要する時間（プロセスタイム）は、最短で０．１秒
程度であるため、測定系の応答時間および演算時間は、
ともにせいぜい１〜２ミリ秒程度である必要がある。こ
のような処理時間の短い測定系は、公知の技術により容
易に達成できる。
【００２７】ここで、スクリーンマスク上の複数の箇所
においてスクリーンの変位を測定する必要はなく、スク
リーンマスク上の任意の１点、例えば微細なパターンを
有する箇所においてその変位を測定し、その変位に基づ
いて基板サポートテーブルの下降速度を制御しても良
い。また、スクリーンマスクの中央部において変位を測
定すると、その箇所が最下点であるという仮定の下でス
クリーンマスクのたわみを予測することができる。スク
リーンマスク上の複数の点において変位を測定する場合
には、各点での測定値の平均値を演算し、これに基づい
て基板サポートテーブルの降下速度を制御しても良い。
なお、スクリーン変位測定手段１１は、スキージ駆動手
段と一体化して配することができる。また、たとえば印
刷装置の架台フレームにアームを介して配置してもよ
い。
においてスクリーンの変位を測定する必要はなく、スク
リーンマスク上の任意の１点、例えば微細なパターンを
有する箇所においてその変位を測定し、その変位に基づ
いて基板サポートテーブルの下降速度を制御しても良
い。また、スクリーンマスクの中央部において変位を測
定すると、その箇所が最下点であるという仮定の下でス
クリーンマスクのたわみを予測することができる。スク
リーンマスク上の複数の点において変位を測定する場合
には、各点での測定値の平均値を演算し、これに基づい
て基板サポートテーブルの降下速度を制御しても良い。
なお、スクリーン変位測定手段１１は、スキージ駆動手
段と一体化して配することができる。また、たとえば印
刷装置の架台フレームにアームを介して配置してもよ
い。
【００２８】この版離れ速度制御方式を用いると、様々
な版離れ制御パターンを実現することができる。例えば
版離れ開始後０．１ｍｍのストロークを０．１ｍｍ／ｓ
の速度で行い、その後版離れ完了まで１．０ｍｍ／ｓの
速度で版離れを行うなど、予めコントローラに条件を設
定しておけば、自動的に設定値通りの動作をすることが
可能である。
な版離れ制御パターンを実現することができる。例えば
版離れ開始後０．１ｍｍのストロークを０．１ｍｍ／ｓ
の速度で行い、その後版離れ完了まで１．０ｍｍ／ｓの
速度で版離れを行うなど、予めコントローラに条件を設
定しておけば、自動的に設定値通りの動作をすることが
可能である。
【００２９】また、この変位測定手段を設けることによ
り、ペースト充填時の基板とスクリーンマスクの間のギ
ャップの最小化も容易になる。実際の印刷工程において
は、基板の印刷面とスクリーンマスクの下面を接触さよ
うとすると、図１５の（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、両者の間にギャップδ2が生じる。図１６に示すよ
うに、ギャップ量が大きくなると印刷不良が発生しやす
いため、ギャップは極力小さくする必要がある。そこ
で、ギャップδ2は、基板２を保持した基板サポートテ
ーブル１４を上下に移動させて調整する。このギャップ
は、以下のように簡単な計算式で決定することができ
る。
り、ペースト充填時の基板とスクリーンマスクの間のギ
ャップの最小化も容易になる。実際の印刷工程において
は、基板の印刷面とスクリーンマスクの下面を接触さよ
うとすると、図１５の（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、両者の間にギャップδ2が生じる。図１６に示すよ
うに、ギャップ量が大きくなると印刷不良が発生しやす
いため、ギャップは極力小さくする必要がある。そこ
で、ギャップδ2は、基板２を保持した基板サポートテ
ーブル１４を上下に移動させて調整する。このギャップ
は、以下のように簡単な計算式で決定することができ
る。
【００３０】図１７に示す原点からのスクリーン変位測
定手段１１の高さＨは、以下の式（３）で表される。こ
こで、スクリーン変位測定手段１１の測定データδ1、
スクリーンマスク１の厚さｈ、および基板サポートテー
ブルの上昇ストロークｚ1を用いて以下のように表され
る。 Ｈ＝ｚ1＋δ2＋ｈ＋δ1 （３） したがって、サポートテーブルの上昇ストロークｚ1を
以下の式（４）のようにすれば、ギャップδ2を最小に
することができる。 ｚ1＝（Ｈ−ｈ）−δ1 （４）
定手段１１の高さＨは、以下の式（３）で表される。こ
こで、スクリーン変位測定手段１１の測定データδ1、
スクリーンマスク１の厚さｈ、および基板サポートテー
ブルの上昇ストロークｚ1を用いて以下のように表され
る。 Ｈ＝ｚ1＋δ2＋ｈ＋δ1 （３） したがって、サポートテーブルの上昇ストロークｚ1を
以下の式（４）のようにすれば、ギャップδ2を最小に
することができる。 ｚ1＝（Ｈ−ｈ）−δ1 （４）
【００３１】以上のように、スクリーンマスクの貫通孔
に充填されたペーストを、基板等の被印刷体に転写する
版離れ工程において、ペーストをその物性に適した条件
で安定して引きちぎることができるため、品質の高い印
刷膜を安定して形成することができる。したがって、ブ
リッジを引き起こすこともなく、また、クリームはんだ
がスクリーンマスク側に残って印刷にじみの原因となる
こともない。
に充填されたペーストを、基板等の被印刷体に転写する
版離れ工程において、ペーストをその物性に適した条件
で安定して引きちぎることができるため、品質の高い印
刷膜を安定して形成することができる。したがって、ブ
リッジを引き起こすこともなく、また、クリームはんだ
がスクリーンマスク側に残って印刷にじみの原因となる
こともない。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、用いるペーストの物性
に最適な条件で印刷することができる印刷方法を提供す
ることができる。
に最適な条件で印刷することができる印刷方法を提供す
ることができる。
【図１】スクリーン印刷法の各段階の状態を示す図であ
って、（ａ）はスクリーンマスク上にペーストを供給し
た状態、（ｂ）は、スキージをスクリーンマスク上で摺
動させている状態、（ｃ）はスクリーンマスクの開口部
にペーストを充填された状態、（ｄ）は、スクリーンマ
スクを基板より切り離した状態をそれぞれ示す。
って、（ａ）はスクリーンマスク上にペーストを供給し
た状態、（ｂ）は、スキージをスクリーンマスク上で摺
動させている状態、（ｃ）はスクリーンマスクの開口部
にペーストを充填された状態、（ｄ）は、スクリーンマ
スクを基板より切り離した状態をそれぞれ示す。
【図２】本発明の一実施例の印刷装置を示す図であっ
て、（ａ）は全体の概略図であり、（ｂ）は要部の縦断
面図である。
て、（ａ）は全体の概略図であり、（ｂ）は要部の縦断
面図である。
【図３】同印刷装置のスキージにかかる圧力と印刷条件
との関係を示すモデル図である。
との関係を示すモデル図である。
【図４】同ペースト充填工程においてスキージにかかる
圧力の時間変化を示した特性図である。
圧力の時間変化を示した特性図である。
【図５】同ペーストの粘度とスキージにかかる圧力との
関係を示す特性図である。
関係を示す特性図である。
【図６】同スキージの移動速度とスキージにかかる圧力
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
【図７】同ペースト充填工程の流れを示すフローチャー
トである。
トである。
【図８】クリームはんだの降伏値とそれを用いたスクリ
ーン印刷の不良発生率の関係を示す相関図である。
ーン印刷の不良発生率の関係を示す相関図である。
【図９】版離れ工程におけるスクリーンマスクの挙動を
示すモデル図である。
示すモデル図である。
【図１０】同実測したチャートであって、（ａ）は印刷
不良が発生したときのスクリーンマスクの挙動をを示
し、（ｂ）は印刷不良が発生したときのスクリーンマス
クの挙動を状態を示す。
不良が発生したときのスクリーンマスクの挙動をを示
し、（ｂ）は印刷不良が発生したときのスクリーンマス
クの挙動を状態を示す。
【図１１】同実施例におけるスキージにかかる圧力から
求めたペーストの降伏値と精密測定器を用いて求めた同
ペーストの降伏値との相関図である。
求めたペーストの降伏値と精密測定器を用いて求めた同
ペーストの降伏値との相関図である。
【図１２】本発明の他の実施例の印刷装置の構成を示す
概略図である。
概略図である。
【図１３】同版離れ工程の流れを示すフローチャートで
ある。
ある。
【図１４】同版離れ速度の設定値と実測値の相関図であ
る。
る。
【図１５】スクリーンマスクと基板とのギャップを示す
モデル図である。
モデル図である。
【図１６】同ギャップ量と印刷不良の発生率との関係を
示す相関図である。
示す相関図である。
【図１７】同印刷装置においてギャップを調整する手段
を示したモデル図である。
を示したモデル図である。
１ スクリーンマスク １ａ 貫通孔 ２ 基板 ２ａ ランド ３ スキージ ４ クリームはんだ ５ 印刷膜 ６ スキージ保持部 ７ ガイドレール ８、１４ 基板サポートテーブル ９ コントローラ ９ａ メモリ部 ９ｂ 演算部 ９ｃ 制御部 １０ 圧力センサ １１ スクリーン変位測定手段 １２ コントローラ １３ 昇降機
フロントページの続き (72)発明者 大西 浩昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA29 FC07 FC10 FD00 FD01 FF26 5E319 BB05 CD29
Claims (9)
- 【請求項１】 形成しようとする印刷膜の形状と一致し
たパターンの貫通孔を有するスクリーンマスク、前記ス
クリーンマスクの上面を摺動するスキージ、前記スクリ
ーンマスク上に供給されたペーストの物性を検出するペ
ースト物性検出手段、得られた前記ペーストの物性に応
じて前記スキージの摺動条件を決定する演算手段、およ
び前記演算手段が決定した摺動条件にしたがって前記ス
キージを駆動する駆動手段を具備するスクリーン印刷装
置。 - 【請求項２】 前記ペーストの物性が、加えられたせん
断力に対して前記ペーストが及ぼす抗力である請求項１
記載のスクリーン印刷装置。 - 【請求項３】 前記ペースト物性検出手段が、圧力セン
サである請求項１記載のスクリーン印刷装置。 - 【請求項４】 前記圧力センサが、前記スキージの表面
に配された請求項３記載のスクリーン印刷装置。 - 【請求項５】 印刷しようとする基板を保持する基板保
持手段、前記基板上に形成しようとする印刷膜の形状と
一致したパターンの貫通孔を有するスクリーンマスク、
前記スクリーンマスクの上面を摺動するスキージ、前記
スキージを駆動する駆動手段、前記スクリーンマスクの
変位を検出する変位検出手段、前記スクリーンマスクと
前記基板の間隔を変化させる昇降手段、前記変位検出手
段が検出した前記スクリーンマスクの変位より前記スク
リーンマスクの変位速度を算出する演算手段、および前
記演算手段により得られた変位速度に応じて前記昇降手
段の駆動速度を制御する制御手段を具備するスクリーン
印刷装置。 - 【請求項６】 形成しようとする印刷膜の形状と一致し
たパターンの貫通孔を有するスクリーンマスクを被印刷
体の上方に配置する工程と、ペーストを前記スクリーン
マスク上に供給する工程と、前記ペーストの物性を検出
しながら、得られた前記ペーストの物性に応じた速度で
スキージを前記スクリーンマスクの上面で摺動させる工
程を具備する印刷方法。 - 【請求項７】 検出する前記ペーストの物性が、前記ス
キージを摺動させたときに前記ペーストが及ぼす抗力で
ある請求項６記載の印刷方法。 - 【請求項８】 前記スキージを複数の速度で摺動させた
ときの前記ペーストの物性をそれぞれ検出する請求項６
記載の印刷方法。 - 【請求項９】 形成しようとする印刷膜の形状と一致し
たパターンの貫通孔を有するスクリーンマスクを被印刷
体の上方に配置する工程と、ペーストを前記スクリーン
マスク上に供給する工程と、スキージを前記スクリーン
マスクの上面で摺動させる工程を具備し、前記スクリー
ンマスクの前記被印刷体に対する変位を検出し、両者の
相対速度が所定の値になるようにスキージの駆動条件を
変化させる印刷方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31361398A JP3998350B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | スクリーン印刷装置及び印刷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31361398A JP3998350B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | スクリーン印刷装置及び印刷方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000141600A true JP2000141600A (ja) | 2000-05-23 |
| JP3998350B2 JP3998350B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=18043436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31361398A Expired - Fee Related JP3998350B2 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | スクリーン印刷装置及び印刷方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3998350B2 (ja) |
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| CN102371752A (zh) * | 2010-08-23 | 2012-03-14 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 印刷装置 |
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-
1998
- 1998-11-04 JP JP31361398A patent/JP3998350B2/ja not_active Expired - Fee Related
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