JP2000138404A5 - - Google Patents
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Description
【００１０】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向外側に少なくとも１個配置している。
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向外側に少なくとも１個配置している。
第１構成記載の発明によれば、磁気軸受をロータの外側に配置している。これにより、大重量を有するロータが、回転軸を支承する磁気軸受の内側に配置されるので、ロータの重量を安定に支承することが可能になり、貫流ファンの振動が小さくなる。
また、第２の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置している。
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
翼部の回転によってチャンバ 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、回転軸を支える磁気軸受を、ロータの軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置している。
第２構成記載の発明によれば、ロータの両側に磁気軸受を配置している。これにより、駆動源であり、かつ大重量を有するロータを２個の磁気軸受の内側に配置しているので、ロータがより安定に支承され、その振動が小さくなる。
また、第３の発明は、
第２構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
第２構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
第３構成記載の発明によれば、ロータと翼部の間に、他の磁気軸受よりも磁力が強力な磁気軸受を配置している。
即ち、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
即ち、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第４の発明は、
第３構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第３構成記載の貫流ファンにおいて、
ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第４構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第５の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン。
第５構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第６の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第６構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第７発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受(を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第７構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも
大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、この磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をさらに効果的に抑えることが可能となる。
また、第５の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン。
第５構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央部付近に、最も強力な磁力の磁気軸受を配置しているので回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第６の発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第６構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をより効果的に抑えることが可能となる。
また、第７発明は、
複数の翼を有する翼部と、
翼部を回転させる回転軸と、
回転軸を非接触で回転自在に支承する磁気軸受とを備え、
チャンバ内に内装され、かつ回転軸を回転駆動するモータのロータを、回転軸の外周部に装着し、翼部の回転によってチャンバ内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファンにおいて、
回転軸を支える磁気軸受(を、翼部の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
第７構成記載の発明によれば、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、ロータと翼部との間に配置された磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしている。
これにより、回転軸の振動の振幅が最も大きく、かつ他の磁気軸受よりも
大重量がかかる回転軸の中央付近に配置した磁気軸受の磁力を、他の磁気軸受の磁力よりも大きくするとともに、この磁気軸受の軸方向長さを、他の磁気軸受の軸方向長さよりも大きくしているので、回転軸の振動をさらに効果的に抑えることが可能となる。
Claims (7)
- 複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、ロータ(21)の軸方向外側に少なくとも１個配置したことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。 - 複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、ロータ(21)の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置したことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。 - 請求項２記載の貫流ファン(1) において、
ロータ(21)と翼部(6) との間に配置された磁気軸受(7) の磁力を、他の磁気軸受(7,7) の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用貫流ファン(1) 。 - 請求項２記載の貫流ファン(1) において、
ロータ(21)と翼部(6) との間に配置された磁気軸受(7) の軸方向長さを、他の磁気軸受(7,7) の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。 - 複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の磁力を、他の磁気軸受（7,7）の磁力よりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。 - 複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の軸方向長さを、他の磁気軸受（7,7）の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。 - 複数の翼を有する翼部(6) と、
翼部(6) を回転させる回転軸(4) と、
回転軸(4) を非接触で回転自在に支承する磁気軸受(7) とを備え、
チャンバ(2) 内に内装され、かつ回転軸(4) を回転駆動するモータ(23)のロータ(21)を、回転軸(4) の外周部に装着し、翼部(6) の回転によってチャンバ(2) 内に封入されたレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) において、
回転軸(4) を支える磁気軸受(7,7) を、翼部（6）の軸方向両側に少なくとも１個ずつ配置し、かつ、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の磁力を、他の磁気軸受（7,7）の磁力よりも大きくするとともに、ロータ（21）と翼部（6）との間に配置された磁気軸受（7）の軸方向長さを、他の磁気軸受（7,7）の軸方向長さよりも大きくしたことを特徴とするエキシマレーザ装置用の貫流ファン(1) 。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10324574A JP2000138404A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | エキシマレーザ装置用の貫流ファン |
| US09/422,857 US6337872B1 (en) | 1998-10-29 | 1999-10-25 | Once through fan for excimer laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10324574A JP2000138404A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | エキシマレーザ装置用の貫流ファン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000138404A JP2000138404A (ja) | 2000-05-16 |
| JP2000138404A5 true JP2000138404A5 (ja) | 2005-08-25 |
Family
ID=18167343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10324574A Pending JP2000138404A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | エキシマレーザ装置用の貫流ファン |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6337872B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000138404A (ja) |
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| JP2000183436A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Komatsu Ltd | エキシマレ―ザ装置 |
| JP2001077446A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Nsk Ltd | エキシマレーザ装置 |
| JP3389912B2 (ja) * | 2000-02-08 | 2003-03-24 | ウシオ電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
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| US6597719B1 (en) * | 2000-08-21 | 2003-07-22 | Komatsu Ltd. | Once through fan for gas laser apparatus and gas laser apparatus therewith |
| EP1188932A3 (en) * | 2000-09-19 | 2003-05-02 | Ntn Corporation | Bearing structure for laser fan |
| JP2003056489A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Ntn Corp | エキシマレーザ装置のガス循環ファン |
| DE102010001538A1 (de) * | 2010-02-03 | 2011-08-04 | Trumpf Maschinen Ag | Gaslaser mit Radial- und Axialgaslager |
| JP2015213150A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| US10923986B2 (en) * | 2017-06-15 | 2021-02-16 | Dbb Technology Llc | Magnetic anti-lock device |
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| JPH10173259A (ja) | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
| US5848089A (en) * | 1997-07-11 | 1998-12-08 | Cymer, Inc. | Excimer laser with magnetic bearings supporting fan |
| US6018537A (en) * | 1997-07-18 | 2000-01-25 | Cymer, Inc. | Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate F2 laser |
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- 1998-10-29 JP JP10324574A patent/JP2000138404A/ja active Pending
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1999
- 1999-10-25 US US09/422,857 patent/US6337872B1/en not_active Expired - Lifetime
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