JP2000150986A5 - ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 - Google Patents
ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2000150986A5 JP2000150986A5 JP1998332082A JP33208298A JP2000150986A5 JP 2000150986 A5 JP2000150986 A5 JP 2000150986A5 JP 1998332082 A JP1998332082 A JP 1998332082A JP 33208298 A JP33208298 A JP 33208298A JP 2000150986 A5 JP2000150986 A5 JP 2000150986A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- outer ring
- peripheral surface
- rotor
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims description 10
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims description 10
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 11
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 231100000078 corrosive Toxicity 0.000 claims description 6
- 231100001010 corrosive Toxicity 0.000 claims description 6
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハロゲンガスを含むガスレーザ装置に関し、より詳細には貫流ファンを支承する磁気軸受及び貫流ファンを駆動するモータに関する。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハロゲンガスを含むガスレーザ装置に関し、より詳細には貫流ファンを支承する磁気軸受及び貫流ファンを駆動するモータに関する。
【００１１】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータと、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記外輪電磁コイル及び前記ステータの内周側をカバーし、レーザガスが前記外輪電磁コイル及び前記ステータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
前記内輪磁性体及び前記ロータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記内輪磁性体及び前記ロータの外周側をカバーし、レーザガスが前記内輪磁性体及び前記ロータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
を備えている。
また、第２構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体、前記ロータ及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータと、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記外輪電磁コイル及び前記ステータの内周側をカバーし、レーザガスが前記外輪電磁コイル及び前記ステータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
前記内輪磁性体及び前記ロータとは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記内輪磁性体及び前記ロータの外周側をカバーし、レーザガスが前記内輪磁性体及び前記ロータと接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁と、
を備えている。
また、第２構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体、前記ロータ及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
第１、第２構成に記載の発明によれば、外輪電磁コイル、内輪磁性体、ロータ、及びステータのそれぞれが、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収納されているか、又はバルク材料からの加工によって形成され、それらの表面に、レーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングを施されるかしている。これにより、磁気軸受やモータを構成する部品がレーザガスと接触することがなく、腐食したりレーザガスを汚損したりすることがない。従って、エキシマレーザ装置の故障が少なくなるとともに、レーザガスの長寿命化が達成される。
また、第３構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータは、前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材で、かつレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、かつ前記外輪電磁コイルの内周側をカバーする薄い円筒状隔壁により、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収容され、
前記前記内輪磁性体は、Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
また、第４構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル及び前記ステータは、前記外輪電磁コイル及び前記ステータとは別の部材で、かつレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、かつ前記外輪電磁コイルの内周側をカバーする薄い円筒状隔壁により、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収容され、
前記前記内輪磁性体は、Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
また、第４構成の発明に係るハロゲンガスを含むガスレーザ装置は、
チャンバ内に設置され、翼部を回転軸回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファンと、
前記チャンバ内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイルと、前記回転軸外周面の前記翼部両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイルの内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体とを有し、前記外輪電磁コイル及び前記内輪磁性体により生じる磁力により前記回転軸を回転自在に支承する磁気軸受と、
前記チャンバ内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータと、前記回転軸の外周面に装着され、かつ前記ステータの内周面に所定の間隙を介して対向するロータとを有し、前記ステータの回転磁界によりロータを回転させて前記貫流ファンを直接回転駆動するモータとを備え、
前記外輪電磁コイル、前記内輪磁性体及び前記ステータは、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータは、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されている。
第３、第４構成に記載の発明によれば、外輪電磁コイル、内輪磁性体、及びステータを、第１構成と同様にレーザガスから遮蔽しており、かつロータを籠型形状として、その表面に耐フッ素性のコーティングを施している。これにより、ロータを着磁処理する必要がなく、着磁処理の手間が省略される。また、ロータの磁力が弱くなってモータの駆動力が弱くなるということがなく、常に一定の駆動力が確保される。さらに、ロータが籠型であるので、軽量化でき、モータを駆動する電力が省力化される。
Claims (4)
- チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)と、
前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)とは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)の内周側をカバーし、レーザガスが前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)と接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁(24)と、
前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)とは別の部材であり、またレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、また前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)の外周側をカバーし、レーザガスが前記内輪磁性体(10,10)及び前記ロータ(48)と接触することを防止する薄い円筒状の外輪隔壁(29)と、
を備えたハロゲンガスを含むガスレーザ装置。 - チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)、前記内輪磁性体(10,10)、前記ロータ(48)及び前記ステータ(47)は、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。 - チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)は、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記ステータ(47)とは別の部材で、かつレーザガスに対して非腐蝕性材料からなり、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周側をカバーする薄い円筒状隔壁(24)により、レーザガスから遮蔽された遮蔽空間内に収容され、
前記前記内輪磁性体(10,10)は、Ｆｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータ(48)は、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。 - チャンバ(2)内に設置され、翼部(3)を回転軸(9)回りに回転させてレーザガスを循環させる貫流ファン(1)と、
前記チャンバ(2)内壁の両端近傍に装着された外輪電磁コイル(11,11)と、前記回転軸(9)外周面の前記翼部(3)両側外方部に装着され、かつ前記外輪電磁コイル(11,11)の内周面に所定の間隙を介して対向する内輪磁性体(10,10)とを有し、前記外輪電磁コイル(11,11)及び前記内輪磁性体(10,10)により生じる磁力により前記回転軸(9)を回転自在に支承する磁気軸受(12,12)と、
前記チャンバ(2)内壁の端部近傍に装着され、可変となる所定の周波数で回転磁界を発生するステータ(47)と、前記回転軸(9)の外周面に装着され、かつ前記ステータ(47)の内周面に所定の間隙を介して対向するロータ(48)とを有し、前記ステータ(47)の回転磁界によりロータ(48)を回転させて前記貫流ファン(1)を直接回転駆動するモータ(49)とを備え、
前記外輪電磁コイル(11,11)、前記内輪磁性体(10,10)及び前記ステータ(47)は、それぞれＦｅ−Ｎｉ系磁性合金バルク材料から形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施され、
前記ロータ(48)は、導電性材質で籠型に形成され、かつ表面にレーザガスに対して耐腐食性を有するコーティングが施されているハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33208298A JP3927327B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 |
| US09/434,055 US6535539B1 (en) | 1998-11-06 | 1999-11-04 | Excimer laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33208298A JP3927327B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000150986A JP2000150986A (ja) | 2000-05-30 |
| JP2000150986A5 true JP2000150986A5 (ja) | 2005-09-08 |
| JP3927327B2 JP3927327B2 (ja) | 2007-06-06 |
Family
ID=18250955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33208298A Expired - Lifetime JP3927327B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6535539B1 (ja) |
| JP (1) | JP3927327B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001352114A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Ebara Corp | エキシマレーザ装置用磁気軸受装置 |
| EP1188932A3 (en) * | 2000-09-19 | 2003-05-02 | Ntn Corporation | Bearing structure for laser fan |
| US7535150B1 (en) | 2006-05-08 | 2009-05-19 | Prc Laser Corporation | Centrifugal turbine blower with gas foil bearings |
| US8847450B2 (en) * | 2007-03-08 | 2014-09-30 | General Electric Company | Encapsulated magnet assembly and process for making |
| JP2010272670A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | ガスレーザ発振装置の制御方法およびガスレーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| CN115663570B (zh) * | 2022-12-14 | 2023-03-31 | 成都量芯集成科技有限公司 | 一种激光光点散布调整结构及方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5009963A (en) * | 1988-07-20 | 1991-04-23 | Tadahiro Ohmi | Metal material with film passivated by fluorination and apparatus composed of the metal material |
| US4975925A (en) * | 1989-11-01 | 1990-12-04 | The Spectranetics Corporation | Unlubricated bearings for gas lasers |
| US5020070A (en) * | 1989-12-14 | 1991-05-28 | I. L. Med., Inc. | Gas laser |
| JPH0427179A (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
| JPH04218985A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | エキシマレーザ装置 |
| US6215806B1 (en) * | 1996-03-07 | 2001-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Excimer laser generator provided with a laser chamber with a fluoride passivated inner surface |
-
1998
- 1998-11-06 JP JP33208298A patent/JP3927327B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-11-04 US US09/434,055 patent/US6535539B1/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09182369A (ja) | 洗濯物を前側から出し入れされる洗濯機の駆動装置 | |
| JP2001050161A (ja) | 気体移送機 | |
| EP2432683B1 (en) | Support of propeller unit for a vessel | |
| JP2000150986A5 (ja) | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 | |
| JP2001234929A (ja) | 磁気軸受及び循環ファン装置 | |
| JP2000069734A (ja) | 直流トルクモ―タ及びその製造方法 | |
| JP6361259B2 (ja) | 回転電機 | |
| KR20000077056A (ko) | 엑시머 레이저장치 | |
| JP2000138404A (ja) | エキシマレーザ装置用の貫流ファン | |
| EP1056171B1 (en) | Discharge-pumped excimer laser device | |
| JP2660865B2 (ja) | 二重反転プロペラ装置の駆動装置 | |
| JP3927327B2 (ja) | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 | |
| JP2003333818A (ja) | ブラシレスモータ | |
| JP4049531B2 (ja) | 磁気軸受モータおよびエキシマレーザ装置 | |
| US6404794B1 (en) | Excimer laser apparatus | |
| JP2010141991A (ja) | 回転モーター | |
| JPH0654497A (ja) | 回転電機 | |
| JP2020148143A (ja) | 送風機 | |
| JPH1084655A (ja) | 磁気浮上モータ | |
| JP2003134733A (ja) | 磁気軸受モータ及び該モータを使用したエキシマレーザ装置 | |
| JP2004068986A (ja) | 発電機軸受用オイルミスト遮断装置 | |
| JP2001210896A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP4427828B2 (ja) | 磁気軸受 | |
| JPH0937504A (ja) | 電気モータ | |
| JP3355515B2 (ja) | 磁気結合ポンプ |