JP2000129067A - 紫外線硬化性樹脂組成物、紫外線硬化性シート及び該シートを用いたパターン形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】湿式工程を伴うことなく微細なパターン形成が
容易で、焼成残渣が少ないため低い焼成温度が可能で生
産性が高くかつ安価に微細パターン形成が可能な紫外線
硬化性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた紫外線硬化性
シート及び該シートを用いたパターン形成方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】メタクリレートを含有する重合体と、メタ
クリレート成分を含む反応性成分を含有してなる紫外線
硬化性樹脂組成物であることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光部が硬化する
紫外線硬化性樹脂組成物、該組成物を用いた紫外線硬化
性シート及び該シートを用いて被着体上に微細なパター
ン状の樹脂硬化物を形成するパターン形成方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から微細なパターンを形成する方法
としてフォトレジスト法が知られている。該方法による
導電性パターンの形成法は、金属箔上にレジストを形成
しフォトマスクパターンを用い紫外線（ＵＶ）によりパ
ターン露光した後、水又は弱アルカリ水溶液により現像
し、エッチングによりパターン形成する方法である。該
レジストは一般的に高分子からなり、紫外線照射部分が
溶解するポジ型、逆に不溶性になるネガ型がある。ま
た、レジストに金属微粒子を含有させフォトレジスト法
により微細パターンを形成し、焼成によりレジストの樹
脂分を焼きとばし微細な配線パターンを形成する方法も
提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、フォトレジ
スト法は湿式のエッチング工程が不可欠であり、湿式を
好まない製造物には不向きである。また現像やエッチン
グをするための製造設備、現像する際に使用するアルカ
リ等現像廃液の処理設備も必要となる。さらに、湿式工
程には洗浄、乾燥工程が伴うため製造工程が複雑かつ長
時間を要し製造コストが高いものとなり生産性の点でも
問題がある。またレジストに微粒子を含有させる方法で
は透光性のない微粒子を使用した場合、膜厚が厚いと紫
外線の透過が不充分で底部が硬化不足となるため微粒子
の含有量が制限される。また、樹脂量が多いために焼成
に高温度、長時間を要するうえ、樹脂分が残存しやすく
配線パターン等の導電不良が起こりやすい。本発明は、
上記の問題を解決すべく鋭意努力した結果見いだしたも
のであり、湿式工程を伴うことなく微細なパターン形成
が容易で、生産性が高く安価に微細パターン形成が可能
な紫外線硬化性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた紫外
線硬化性シート及び該シートを用いたパターン形成方法
を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決する手段】本発明の第１のものは、メタク
リレートの単独重合体または共重合体と、メタクリレー
トモノマーおよび／またはメタクリレートオリゴマーを
含む反応性成分を含有する紫外線硬化性樹脂組成物であ
る。本発明の第２のものは、紫外線透過性を有する支持
体の一面に、前記紫外線硬化性樹脂組成物からなる樹脂
組成物層が形成してなる紫外線硬化性シートである。本
発明の第３のものは、前記紫外線硬化性シートの樹脂組
成物層に対してその厚さ方向に切り込みを入れる工程、
該シートを被着体に貼着する工程、該シートに紫外線を
照射して樹脂硬化物を形成する工程、該シートの支持体
を未露光部分とともに剥離して該樹脂硬化物を被着体に
残存させる工程からなることを特徴とするパターン形成
方法である。本発明の第４のものは、前記紫外線硬化性
シートの樹脂組成物層に対してその厚さ方向に切り込み
を入れる工程、該シートを被着体に貼着する工程、該シ
ートに紫外線を照射して樹脂硬化物を形成する工程、該
シートの支持体を未露光部分とともに剥離して該樹脂硬
化物を被着体に残存させる工程、該樹脂硬化物を焼成す
る工程からなることを特徴とするパターン形成方法であ
る。

【０００５】

【発明の実施形態】以下、本発明の実施の形態について
詳細に説明する。本発明の紫外線硬化性樹脂組成物は、
メタクリレートの単独重合体または共重合体及び反応性
成分を含有してなる紫外線硬化性樹脂組成物である。該
共重合体中を占めるメタクリレート成分は、６０〜１０
０重量％であることが好ましく、より好ましくは８０〜
１００重量％、さらに好ましくは９０〜１００重量％、
最適には１００重量％である。また、前記単独重合体ま
たは共重合体に使用されるメタクリレート成分の具体例
としては、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリ
レート、ｎ−プロピルメタアクリレート、イソプロピル
メタアクリレート、ｎ−ブチルメタアクリレート、イソ
ブチルメタアクリレート、ペンチルメタアクリレート、
ｎ−ヘキシルメタアクリレート、シクロヘキシルメタア
クリレート、２−エチルヘキシルメタアクリレート、ｎ
−オクチルメタアクリレート、イソオクチルメタアクリ
レート、ラウリルメタアクリレートなどが挙げられ、こ
れらは単独または２種類以上組み合わせて用いることが
できる。

【０００６】一方、前記共重合体を形成するメタクリレ
ート成分のコモノマーとしては、メチルアクリレート、
エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチルア
クリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、２−エチルヘ
キシルアクリレート、ｎ−オクチルアクリレート、ラウ
リルアクリレート等のアクリレート系や、官能基を有す
るアクリレート系モノマーが好ましく使用することがで
きる。該官能基をもつモノマーとしては、カルボキシル
基を有するメタアクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、
クロトン酸など、ヒドロキシル基を有するアクリル酸−
２−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸−２−ヒド
ロキシプロピルエステル、２−ヒドロキシビニルエーテ
ルなど、アミノ基を有するＮ・Ｎ−ジメチルアミノエチ
ルアクリレート、Ｎ−ターシャリーブチルアミノエチル
アクリレートなど、エポキシ基を有するグリシジルアク
リレート、グリシジルメタクリレートなどが挙げられ、
これらは単独または２種類以上組み合わせて用いること
が出来る。本発明を構成する紫外線硬化性樹脂組成物に
は、前記メタクリレート成分以外にその他の重合性モノ
マーを単独重合体として、または共重合体として共存さ
せることができる。

【０００７】この重合体は、ラジカル重合による重合方
法で製造されたものであれば水系、溶剤系いずれでも使
用できる。好ましくは、溶液重合法、懸濁重合法、乳化
重合法である。また、前記重合体の望ましい分子量はゲ
ルパーミュエーションクロマトグラフィーによる数平均
分子量で１０,０００〜１,０００,０００、好ましくは
５０,０００〜５００,０００、さらに好ましくは１０,
００００〜４００,０００である。数平均分子量が１０,
０００未満では樹脂組成物層の均一形成が困難等層形成
性に問題があり、また、１,０００,０００を超えると弾
性が高いために塗工量のコントロールが困難等製造上の
問題がある。

【０００８】前記反応性成分は、反応性樹脂成分として
のメタクリレートモノマーまたはメタクリレートオリゴ
マーを含有し、かつ樹脂組成物に紫外線硬化性を付与す
るための光重合開始剤等を含有する。本発明で特定する
反応性成分に含有するメタクリレートモノマーまたはメ
タクリレートオリゴマーの具体例としては、例えば、反
応性を有する変性メタアクリレート、分子内に２個以上
の不飽和二重結合を有する多官能メタアクリレートモノ
マーまたはオリゴマーなどが挙げられ、このうち分子内
に２個以上の不飽和二重結合を有する多官能メタアクリ
レートモノマーまたはオリゴマーが好ましく使用され
る。具体的にはジシクロペンテニルメタアクリレート、
ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート、
１,３−ブタンジオールジメタアクリレート、１,４−ブ
タンジオールジメタアクリレート、ジエチレングリコー
ルジメタアクリレート、１,６−ヘキサンジオールジメ
タアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアク
リレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラメタアクリレート、
ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート等が挙げ
られ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用
することができる。前記反応性樹脂成分は、前記重合体
１００重量部に対して５〜１５０重量部含有することが
好ましく、さらに好ましくは１０〜１００重量部であ
る。５重量部未満だと紫外線硬化性が不十分で、１５０
重量部を超えると樹脂の凝集力が低下する。

【０００９】前記光重合開始剤としては、紫外線でラジ
カルを発生するものであれば使用することができる。具
体的には、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ
−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベン
ジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシル
−フェニルケトン、アリールケトン混合物、２−メチル
−２−モルホリノ（４−チオメチルフェニル）プロパン
−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）ブタノン、２−ヒドロキシ
−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニ
ル〕プロパノンのオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイ
ンイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ
ル、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、
４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４´−
メチル−ジフェニルサルファイド、３，３´，４，４´
−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシルカルボニル）ベンゾ
フェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、２
−イソプロピルチオキサントン・４−イソプロピルチオ
キサントン混合物、２，４−ジエチルチオキサントン、
２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プ
ロポキシチオキサントン、２−（３−ジメチルアミノ−
２−ヒドロキシプロポキシ）−３，４−ジメチル−９Ｈ
−チオキサントン−９−オンメソクロライドなどが挙げ
られ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用
することができる。該光重合開始剤は前記反応性樹脂成
分１００重量部に対して、０．１〜２０重量部、好まし
くは０．５〜１０重量部使用することができる。

【００１０】本発明の紫外線硬化性樹脂組成物に照射す
る好ましい紫外線の波長は１０〜４５０ｎｍ、更に好ま
しくは２００〜４５０ｎｍである。また、該樹脂組成物
の紫外線硬化物は、４５０℃で焼成した際、樹脂残留分
が３重量％以下であることが好ましい。本発明の紫外線
硬化性樹脂組成物には平均粒径１００μｍ以下の無機微
粒子を１０〜９５重量％含有することが好ましい。平均
粒径は０．１〜５０μｍがさらに好ましく、含有量は１
５〜７０重量％がさらに好ましい。含有量が１０重量％
未満では添加した無機微粒子の特性が発揮されない、ま
た、９５重量％を超えると紫外線硬化性や粘接着性が悪
化する。この場合の平均粒径は電子顕微鏡による粒径測
定値である。含有させることができる無機微粒子として
は、金、白金、銀、銅、アルミニウム、鉄、ニッケル、
スズ、チタン、パラジウム、これらの合金等の金属類と
金属酸化物類、ソーダガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガ
ラスなどのガラス類、硫酸塩、硝酸塩などの無機塩類、
酸化物、窒化物、硫化物、シリカなどの珪素化合物等が
ある。これらの粉体を用途に応じて単独または２種類以
上組み合わせて前記範囲内で含有させればよい。目的に
応じて導電性微粒子、絶縁性微粒子が選択できるが、導
電性微粒子が好ましく使用できる。さらに、融点が４５
０℃以下の低融点無機微粒子を少なくとも１種含有させ
ることが好ましい。

【００１１】本発明の紫外線硬化性樹脂組成物には必要
に応じて架橋剤を添加することができる。具体的な架橋
剤としては、多官能イソシアネート系架橋剤であるトリ
レンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアナー
ト、トリメチロールプロパン変成トリレンジイソシアナ
ートなど、多官能エポキシ架橋剤であるエチレングリコ
ールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグ
リシジルエーテルなど、多官能アジリジン系架橋剤であ
るＮ,Ｎ'−ヘキサメチレン−１,６−ビス（１−アジリ
ジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン−ト
リ−β−アジリジニルプロピオネートなど、金属キレー
ト系架橋剤であるアルミニウムのアセチルアセトン錯
体、過酸化物であるベンゾイルパーオキサイド、メラミ
ン系架橋剤などが挙げられ、これらは単独または２種類
以上組み合わせて使用することができ、樹脂組成物１０
０重量部に対して０．１〜５重量部添加することが好ま
しい。

【００１２】本発明の第２のもの（請求項６）に用いる
支持体は、紫外線透過性を有することが必要である。支
持体として、具体的にはセルロース系フィルム、ポリア
クリル系樹脂フィルム、ポリカーボネート系フィルム、
ポリエステル系フィルム、ポリエーテル系フィルム、ポ
リ塩化ビニルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプ
ロピレンフィルム等が挙げられ、使用する温度等により
最適な支持体を適宜選択する。支持体はその表面に剥離
処理を施したものが好ましく使用され、該支持体の好ま
しい厚さは２５〜１０００μｍ、さらに好ましくは３８
〜１００μｍである。前記支持体の一面に前記紫外線硬
化性樹脂組成物からなる樹脂組成物層を形成して本発明
の紫外線硬化性シートが得られる。該シートの樹脂組成
物層の厚さは５〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μ
ｍである。紫外線硬化性樹脂組成物からなる樹脂組成物
層は、２０〜１５０℃で粘接着性を発現することが好ま
しい。当該温度で粘接着性を発現することにより、以下
に述べるパターン形成方法の被着体への貼着工程が容易
になされる。また、本発明の紫外線硬化性シートを構成
する樹脂組成物層の露出面には剥離処理を施した保護フ
ィルムが必要に応じて貼着される。保護フィルムには上
記支持体の材質のものが好ましく使用される。

【００１３】本発明の第３のもの（請求項８）であるパ
ターン形成方法を図１〜６を用いて詳述する。図１は紫
外線硬化性シートの一例の断面図であり、紫外線透過性
を有する支持体１の一面に紫外線硬化性の樹脂組成物層
２が形成され、該樹脂組成物層２には保護フィルム７が
貼着されている。本発明のパターン形成方法において、
紫外線硬化性シートの樹脂組成物層に対してその厚さ方
向に切り込みを入れる工程は、図２に示したように支持
体１および樹脂組成物層２からなる紫外線硬化性シート
の樹脂組成物層２に、切り込み用部材３を押し当てるこ
とにより該紫外線硬化性シートの樹脂組成物層２に切り
込みを入れる。その後、図３に示したように切り込み用
部材３を樹脂組成物層２から抜去して樹脂組成物層に切
り込み２−１を形成する。該紫外線硬化性シートを被着
体に貼着する工程は、図４に示したように樹脂組成物層
２が粘接着性を発現する好ましい温度で被着体５に貼着
する。該シートに紫外線を照射して樹脂硬化物を形成す
る工程は、図５に示したように被着体５に貼着した紫外
線硬化性シートの支持体１の表面にフォトマスク４を所
定の位置にセットし紫外線照射装置により紫外線（Ｕ
Ｖ）を照射し樹脂組成物層２の中の露光部にパターン状
の樹脂硬化物６を形成する。該シートの支持体を未露光
部分とともに剥離して該樹脂硬化物を被着体に残存させ
る工程は、図６に示したように支持体１を未露光の樹脂
組成物層２とともに剥離することで、硬化部と未硬化部
を分離し被着体５の表面にパターン状の樹脂硬化物６を
形成せしめる。

【００１４】前記した切り込み用部材には凹凸を設けた
基板、打ち抜き刃等が好ましく使用される。該凹凸を設
けた基板の材質は金属、ガラス、セラミックス、プラス
チックス等が用いられ、露光するパターン状に合わせて
凹凸を設けたものが好ましい。特に凹凸を設けた基板を
用いて切り込みを入れることが微細なパターン形成が容
易で好ましい。この切り込み深さは、樹脂組成物層の全
厚さでも層厚さの一部でもかまわない。好ましくは樹脂
組成物層の厚さの１／２以上全厚さまでの範囲である。
本発明の紫外線硬化性シートに紫外線を照射してパター
ン状硬化物を形成する工程は、前記したフォトマスクを
用いて所望のパターン形成してもよいし、レーザー等に
よるパターン走査を行ってもよい。本発明の紫外線硬化
性シートを構成する樹脂組成物層は、紫外線の照射によ
り硬化することにより支持体との粘接着力が著しく低下
する。該樹脂組成物層の支持体に対する粘接着力をＡ、
被着体に対する粘接着力をＢとしたとき、該粘接着力の
関係はＡ＞Ｂであるが、紫外線照射後の樹脂硬化物と支
持体および被着体の粘接着力の関係は、樹脂硬化物の支
持体に対する粘接着力をＣ、被着体に対する粘接着力を
Ｄとしたとき、 該粘接着力の関係がＣ＜Ｄになること
が必要である。Ｃ＞Ｄでは該シートの支持体を被着体か
ら剥離する際に被着体に樹脂硬化物を残存させることが
できない。

【００１５】次に、本発明の第４のもの（請求項９）で
あるパターン形成方法は、図１〜６にて説明した請求項
８のパターン形成方法の工程にさらに被着体の表面に残
存する樹脂硬化物に対して焼成する工程を付加したもの
である。焼成は有機物成分すなわち樹脂成分を揮散させ
ることができる温度であれば限定されない。好ましくは
３００〜２０００℃、さらに好ましくは３５０〜１２０
０℃、最適には４００〜８００℃である。さらに、酸素
の存在下で焼成することが好ましい。なお、焼成工程を
ともなう本発明のパターン形成方法に適用する被着体
は、焼成温度で固体状が維持されることが必要で、例え
ば、金属、金属酸化物、セラミック等である。この請求
項９の本発明の方法により得られた被着体上のパターン
は、焼成工程により樹脂成分残渣がほとんどなく、それ
に含有する無機成分の焼結体により微細なパターンを形
成することができる。以下、実施例に基づき詳述する。

【００１６】

【実施例】（紫外線硬化性樹脂組成物の作成） 合成例１ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中に、ｎ−ヘキシルメタクリレート１００重量部、
過酸化ベンゾイル０．３３重量部、酢酸エチル４０重量
部、トルエン６０重量部を投入し、窒素導入管より窒素
を導入しフラスコ内を窒素雰囲気とした後、６５℃に加
温して１０時間重合反応を行い重合体溶液を得た。この
溶液に該重合体１００重量部に対してトリメチロールプ
ロパントリメタクリレート３０重量部及び２−ベンジル
−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニ
ル）ブタノンからなる光重合開始剤（Ｃｉｂａ Ｇｅｉ
ｇｙ社製商品名ＩＲＵＧＡＣＵＲＥ３６９）３重量部を
加えて本発明の紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を得た。
なお、重合体の数平均分子量は１５万であった。

【００１７】合成例２ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中に、ラウリルメタクリレート５０重量部、ｎ−ヘ
キシルメタクリレート４８重量部、アクリル酸−２−ヒ
ドロキシエチルエステル２重量部、過酸化ベンゾイル
０．３重量部、酢酸エチル４０重量部、トルエン６０重
量部を投入し、窒素導入管より窒素を導入しフラスコ内
を窒素雰囲気とした後、６５℃に加温して１０時間重合
反応を行い重合体溶液を得た。この溶液に該重合体１０
０重量部に対してトリメチロールプロパントリメタクリ
レート３０重量部、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ
−１−（４−モルホリノフェニル）ブタノンからなる光
重合開始剤（Ｃｉｂａ Ｇｅｉｇｙ社製商品名ＩＲＵＧ
ＡＣＵＲＥ３６９）３重量部及びポリイソシアネート
（日本ポリウレタン社製、商品名：コロネートＬ）１重
量部を加えて本発明の紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を
得た。なお、重合体の数平均分子量は２３万であった。

【００１８】合成例３ ラウリルメタクリレート５０重量部を８０重量部に、ｎ
−ヘキシルメタクリレート４８重量部をエチルアクリレ
ート１８重量部に代えた以外は合成例２と同様にして本
発明の紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を得た。なお、重
合体の数平均分子量は２５万であった。

【００１９】合成例４ 合成例２で得られた重合体溶液に、該重合体１００重量
部に対してペンタエリスリトールテトラメタクリレート
３０重量部、ジエチレングリコールジメタクリレート２
０重量部、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）ブタノンからなる光重合開
始剤（Ｃｉｂａ Ｇｅｉｇｙ社製商品名ＩＲＵＧＡＣＵ
ＲＥ３６９）３重量部及びポリイソシアネート（日本ポ
リウレタン社製商品名コロネートＬ）１重量部を加えて
本発明の紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を得た。なお、
重合体の数平均分子量は２３万であった。

【００２０】比較合成例１ ラウリルメタクリレート５０重量部、ｎ−ヘキシルメタ
クリレート４８重量部、アクリル酸−２−ヒドロキシエ
チルエステル２重量部を、ブチルアクリレート９５重量
部、アクリル酸３重量部、アクリル酸−２−ヒドロキシ
エチルエステル２重量部に代えた以外は合成例２と同様
にして比較用の紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を得た。
なお、重合体の数平均分子量は２８万であった。

【００２１】比較合成例２ ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート３０重量
部、ジエチレングリコールジメタアクリレート２０重量
部を、トリメチロールプロパントリアクリレート５０重
量部に代えた以外は合成例４と同様にして比較用の紫外
線硬化性樹脂組成物の溶液を得た。なお、重合体の数平
均分子量は２３万であった。

【００２２】（紫外線硬化性シートの作製） 実施例１ 紫外線透過性を有する厚さ３８μｍの片面剥離処理した
ポリエチレンテレフタレートフィルム（以後、剥離ＰＥ
Ｔフィルムと略す。）からなる支持体の剥離面に、合成
例１で得られた紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を乾燥後
の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥して、樹脂組
成物層を形成した。次に、該樹脂組成物層上に、保護フ
ィルムとして厚さ３８μｍの剥離ＰＥＴフィルムを圧着
して本発明の紫外線硬化性シートを作製した。 実施例２〜４ 合成例２で得られた紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を使
用して、実施例１と同様にして実施例２による本発明の
紫外線硬化性シートを作製した。同様にして、合成例３
の溶液を用いて実施例３の、また合成例４の溶液を用い
て実施例４の紫外線硬化性シートを作製した。なお、実
施例１〜４の紫外線硬化性シートは常温で粘接着性を発
現していた。 比較例１〜２ 比較合成例１で得られた紫外線硬化性樹脂組成物の溶液
を用いて、実施例１と同様にして比較例１による紫外線
硬化性シートを作製した。同様にして比較合成例２の溶
液を用いて比較例２の紫外線硬化性シートを作製した。

【００２３】（焼成性の評価）実施例１〜４及び比較例
１〜２で作製したシートに、紫外線露光機（株式会社オ
ーク製作所製機種名ＥＸＭ−１１８９−Ａ００、光源５
００ｗ水銀ショートアークランプ）により５００ｍＪ／
ｃｍ²の紫外線（主波長３７０ｎｍ）を照射し樹脂組成
物層を硬化して樹脂硬化物を形成した。次に該硬化物
を、ＴＧ−ＤＴＡ（セイコー電子工業株式会社製機種名
ＴＧ−ＤＴＡ３２０）による昇温に基づく重量変化を測
定し、４５０℃における残渣の重量％を表１に記した。
なお昇温条件は３０℃から４５０℃まで毎分１０℃昇温
である。

【００２４】表１から明らかなとおりメタクリレート成
分の重合体を含有した本発明の紫外線硬化性樹脂組成物
の樹脂硬化物は、２重量％以下の焼成残渣で良好な焼成
性を示したのに対し、比較用の樹脂組成物のそれは６重
量％以上を示し焼成性の不良を示した。これにより本発
明の紫外線硬化性樹脂組成物を金属微粒子の共存に基づ
く配線パターンの形成に応用した場合、良好な導電性パ
ターンが得られる可能性を確認した。

【００２５】

【表１】

【００２６】（無機微粒子入り紫外線硬化性樹脂組成物
および紫外線硬化性シートの作製） 実施例５ 合成例１で得られた紫外線硬化性樹脂組成物の溶液の、
樹脂固形分１００重量部相当量に対して平均粒径５μｍ
の銀粉（同和鉱業社製商品名ＦＡ−２）３８４重量部及
び平均粒径１μｍの酸化鉛１６重量部を添加、攪拌して
無機微粒子の分散した紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を
作製した。次いで、紫外線透過性を有する厚さ２５μｍ
の剥離ＰＥＴフィルムからなる支持体の剥離面に、無機
微粒子の分散した紫外線硬化性樹脂組成物溶液を乾燥後
の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥して樹脂組成
物層を形成し、その上に、保護フィルムとして厚さ３８
μｍの剥離ＰＥＴフィルムを圧着して本発明の紫外線硬
化性シートを作製した。 実施例６〜８ 合成例２で得られた紫外線硬化性樹脂組成物の溶液を使
用して、実施例５と同様にして実施例６による本発明の
紫外線硬化性シートを作製した。同様にして合成例３の
溶液を用いて実施例７の、また合成例４の溶液を用いて
実施例８の紫外線硬化性シートを作製した。

【００２７】（導電性パターンの形成）実施例５〜８で
得られた紫外線硬化性シートの保護フィルムを剥がし、
図７に示したように露光部の線幅、すなわち凹部内径
（Ｘ）が１２０μｍ、凸部高さ（Ｙ）が１００μｍおよ
び凸部厚さ（Ｚ）が５０μｍの凹凸を有するガラス板を
該紫外線硬化性シートの樹脂組成物層の表面に押し当
て、樹脂組成物層の厚さ方向に貫通するよう切り込みを
入れた後、ガラス板を取り外した。次いで、切り込みを
入れた樹脂組成物層面を平坦なガラス板（ソーダガラス
製厚さ２ｍｍ）からなる被着体に貼り合わせた後、図５
の手順に従って該シートに線幅１２０μｍのパターン状
フォトマスクをセットし紫外線露光機（株式会社オーク
製作所製機種名ＥＸＭ−１１８９−Ａ００ 光源５００
ｗ水銀ショートアークランプ）により５００ｍＪ／ｃｍ
²の紫外線（主波長３７０ｎｍ）を照射した。しかる
後、被着体から該シートの支持体を未硬化の樹脂組成物
層とともに剥がし、被着体面に線幅１２０μｍのパター
ン状の樹脂硬化物層を形成した。次いで、パターン状の
樹脂硬化物を形成した被着体をオーブン（タバイエスペ
ック社製機種名ＳＳＰＨ−１０１）内で下記条件により
焼成した。放冷後、得られたガラス板には線幅１２０μ
ｍの導電性パターンが形成できた。 焼成条件：常温から４５０℃まで昇温、４５０℃で３０
分間保持した後、常温まで放冷。

【００２８】

【発明の効果】本発明により得られたパターンは、湿式
工程を伴うことなく微細なパターンを形成することがで
き、また、使用される紫外線硬化性樹脂組成物が焼成後
の樹脂分残渣がきわめて少ないためパターン形成時の焼
成温度を低くすることができ、生産性に優れるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の紫外線硬化性シートの一例の断面図で
ある。

【図２】本発明の紫外線硬化性シートの樹脂組成物層に
切り込みを入れる工程の一例の概念図である。

【図３】本発明の紫外線硬化性シートの樹脂組成物層に
切り込みを入れた後の状態を示す概念図である。

【図４】切り込みを入れた紫外線硬化性シートの樹脂組
成物層の表面に被着体を貼着した状態を示す概念図であ
る。

【図５】本発明の紫外線硬化性シートに紫外線を照射し
て樹脂硬化物を形成する工程の一例の概念図である。

【図６】本発明の紫外線硬化性シートの支持体を未露光
部分とともに剥離して樹脂硬化物を被着体に残存させる
工程の一例の概念図である。

【図７】導電性パターンの形成に用いた切り込み用部材
の一例を示す図である。

【符号の簡単な説明】

１…支持体、２…樹脂組成物層、３…切り込み用部材、
４…フォトマスク、５…被着体、６…樹脂硬化物、７…
保護フィルム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０３Ｆ 7/027 ５１１ Ｇ０３Ｆ 7/027 ５１１ 7/34 7/34 // Ｂ３２Ｂ 27/30 Ｂ３２Ｂ 27/30 Ａ

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 メタクリレートの単独重合体または共重
   合体と、メタクリレートモノマーおよび／またはメタク
   リレートオリゴマーを含む反応性成分を含有することを
   特徴とする紫外線硬化性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 前記共重合体中のメタクリレート成分が
   ６０重量％以上であることを特徴とする請求項１記載の
   紫外線硬化性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 前記単独重合体または共重合体の数平均
   分子量が１０,０００〜１,０００,０００であることを
   特徴とする請求項１記載の紫外線硬化繊維硬化性樹脂組
   成物。
4. 【請求項４】 前記単独重合体または共重合体１００重
   量部に対して、前記反応性成分を５〜１５０重量部含有
   することを特徴とする請求項１記載の紫外線硬化性樹脂
   組成物。
5. 【請求項５】 前記紫外線硬化性樹脂組成物中に、平均
   粒径１００μｍ以下の無機微粒子を１０〜９５重量％含
   有することを特徴とする請求項１記載の紫外線硬化性樹
   脂組成物。
6. 【請求項６】 紫外線透過性を有する支持体の一面に、
   請求項１記載の紫外線硬化性樹脂組成物からなる樹脂組
   成物層が形成してなることを特徴とする紫外線硬化性シ
   ート。
7. 【請求項７】 前記樹脂組成物層が２０〜１５０℃で粘
   接着性を発現することを特徴とする請求項６記載の紫外
   線硬化性シート。
8. 【請求項８】 請求項６に記載の紫外線硬化性シートの
   樹脂組成物層に対してその厚さ方向に切り込みを入れる
   工程、該シートを被着体に貼着する工程、該シートに紫
   外線を照射して樹脂硬化物を形成する工程、該シートの
   支持体を未露光部分とともに剥離して該樹脂硬化物を被
   着体に残存させる工程からなることを特徴とするパター
   ン形成方法。
9. 【請求項９】 請求項６に記載の紫外線硬化性シートの
   樹脂組成物層に対してその厚さ方向に切り込みを入れる
   工程、該シートを被着体に貼着する工程、該シートに紫
   外線を照射して樹脂硬化物を形成する工程、該シートの
   支持体を未露光部分とともに剥離して該樹脂硬化物を被
   着体に残存させる工程、該樹脂硬化物を焼成する工程か
   らなることを特徴とするパターン形成方法。
10. 【請求項１０】 前記紫外線硬化性シートの樹脂組成物
    層が２０〜１５０℃で粘接着性を発現することを特徴と
    する請求項８または請求項９に記載のパターン形成方
    法。