JP2000127009A - 板状物の研磨装置 - Google Patents
板状物の研磨装置Info
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- JP2000127009A JP2000127009A JP10301253A JP30125398A JP2000127009A JP 2000127009 A JP2000127009 A JP 2000127009A JP 10301253 A JP10301253 A JP 10301253A JP 30125398 A JP30125398 A JP 30125398A JP 2000127009 A JP2000127009 A JP 2000127009A
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- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- plate
- platen
- holding
- cushion material
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 特に厳しい表面精度が要求される液晶用ガラ
ス基板のような板ガラスの全面を均等に研磨でき、平坦
性に優れた板ガラスを得ることが可能な研磨装置を提供
することを目的とする。 【解決手段】 クッション材３０のＰＥＴシート３０ｂ
側の面の周縁部には段部２５ｃが形成され、この面が保
持定盤２４に両面テープ２８で貼り付けられている。こ
の段部２５ｃは、ポリウレタン樹脂からなり、スクリー
ン印刷によってクッション材２５の内側部に向かって連
続的に下方に傾斜するように形成されている。またポリ
ウレタン発泡体層２５ｂ側の面には、板ガラス素材Ｇが
保持される。
ス基板のような板ガラスの全面を均等に研磨でき、平坦
性に優れた板ガラスを得ることが可能な研磨装置を提供
することを目的とする。 【解決手段】 クッション材３０のＰＥＴシート３０ｂ
側の面の周縁部には段部２５ｃが形成され、この面が保
持定盤２４に両面テープ２８で貼り付けられている。こ
の段部２５ｃは、ポリウレタン樹脂からなり、スクリー
ン印刷によってクッション材２５の内側部に向かって連
続的に下方に傾斜するように形成されている。またポリ
ウレタン発泡体層２５ｂ側の面には、板ガラス素材Ｇが
保持される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板状物の研磨装置に関
し、特に液晶用ガラス基板やプラズマディスプレー用板
ガラス、その他、薄板状で、厳しい表面平坦度が要求さ
れる各種電子部品用板ガラス等に用いられる板ガラス素
材を高精度の平坦面に研磨するのに適した板状物の研磨
装置に関するものである。
し、特に液晶用ガラス基板やプラズマディスプレー用板
ガラス、その他、薄板状で、厳しい表面平坦度が要求さ
れる各種電子部品用板ガラス等に用いられる板ガラス素
材を高精度の平坦面に研磨するのに適した板状物の研磨
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、成形された板ガラス素材は、表
面に微小な凹凸が残っており、前記した用途に適用する
には、研磨が必要となる。そこで従来から連続式片面研
磨装置やオスカー式研磨装置等を使用して板ガラス素材
の表面を研磨している。
面に微小な凹凸が残っており、前記した用途に適用する
には、研磨が必要となる。そこで従来から連続式片面研
磨装置やオスカー式研磨装置等を使用して板ガラス素材
の表面を研磨している。
【０００３】連続式片面研磨装置は、一般に図３に示す
ように、板ガラス素材Ｇを、その上面を突出させて位置
決め固定するための保持定盤１０と、この保持定盤１０
を連続的に研磨工程へ搬送させるベルトコンベア１１
と、研磨工程で板ガラス素材Ｇの上面を研磨する複数の
研磨定盤（加圧研磨定盤）１２とを備えてなり、板ガラ
ス素材Ｇを研磨定盤１２の研磨面に形成された研磨パッ
ドに圧接させた状態で、研磨面に酸化セリウム等の研磨
剤を含む研磨スラリーを供給しながら研磨定盤１２を回
転させることによって板ガラス素材Ｇの片面を研磨する
ものである。尚、図３中、１１ａはローラ、１１ｂは搬
送ベルト、１３はベルト受台、１４は搬入用ローラコン
ベア、１５は搬出用ローラコンベアである。
ように、板ガラス素材Ｇを、その上面を突出させて位置
決め固定するための保持定盤１０と、この保持定盤１０
を連続的に研磨工程へ搬送させるベルトコンベア１１
と、研磨工程で板ガラス素材Ｇの上面を研磨する複数の
研磨定盤（加圧研磨定盤）１２とを備えてなり、板ガラ
ス素材Ｇを研磨定盤１２の研磨面に形成された研磨パッ
ドに圧接させた状態で、研磨面に酸化セリウム等の研磨
剤を含む研磨スラリーを供給しながら研磨定盤１２を回
転させることによって板ガラス素材Ｇの片面を研磨する
ものである。尚、図３中、１１ａはローラ、１１ｂは搬
送ベルト、１３はベルト受台、１４は搬入用ローラコン
ベア、１５は搬出用ローラコンベアである。
【０００４】またオスカー式研磨装置は、一般に図４に
示すように、研磨面である上面に研磨パッドを取り付け
た研磨定盤１６と、この研磨定盤１６の上方に対向して
配置され、板ガラス素材Ｇを保持する保持定盤（加圧定
盤）１７とを備えてなり、この保持定盤１７を揺動腕１
８の先端部に垂下した支持軸１９の下端部に回転自在に
支持し、板ガラス素材Ｇを研磨定盤１６の研磨パッドに
圧接した状態で、研磨面に研磨スラリーを供給しながら
研磨定盤１６を一定速度で回転させ、保持定盤１７を研
磨定盤１６の回転を利用して、或いは積極的に回転させ
ながら研磨定盤１６の上で矢印Ａで示すように揺動させ
ることにより、板ガラス素材Ｇの片面を研磨するもので
ある。
示すように、研磨面である上面に研磨パッドを取り付け
た研磨定盤１６と、この研磨定盤１６の上方に対向して
配置され、板ガラス素材Ｇを保持する保持定盤（加圧定
盤）１７とを備えてなり、この保持定盤１７を揺動腕１
８の先端部に垂下した支持軸１９の下端部に回転自在に
支持し、板ガラス素材Ｇを研磨定盤１６の研磨パッドに
圧接した状態で、研磨面に研磨スラリーを供給しながら
研磨定盤１６を一定速度で回転させ、保持定盤１７を研
磨定盤１６の回転を利用して、或いは積極的に回転させ
ながら研磨定盤１６の上で矢印Ａで示すように揺動させ
ることにより、板ガラス素材Ｇの片面を研磨するもので
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記した連続
式片面研磨装置やオスカー式研磨定盤の保持定盤１０、
１７には、板ガラス素材Ｇを保持するためのクッション
材が貼り付けられている。
式片面研磨装置やオスカー式研磨定盤の保持定盤１０、
１７には、板ガラス素材Ｇを保持するためのクッション
材が貼り付けられている。
【０００６】図５は、図３の連続式片面研磨装置の保持
定盤１０を示す概略断面図であるが、保持定盤１０の上
面には、両面テープ２０によって一定の弾性を有するク
ッション材２１が貼り付けられ、また、このクッション
材２１の周囲には、両面テープ２２によって保持枠体２
３が貼り付けられている。
定盤１０を示す概略断面図であるが、保持定盤１０の上
面には、両面テープ２０によって一定の弾性を有するク
ッション材２１が貼り付けられ、また、このクッション
材２１の周囲には、両面テープ２２によって保持枠体２
３が貼り付けられている。
【０００７】板ガラス素材Ｇは、クッション材２１に保
持された状態で図３に示す研磨定盤１２の研磨パッドに
押しつけられて研磨されるが、研磨中、板ガラス素材Ｇ
の周縁部は内側部に比べてたわみやすく、そのため周縁
部が研磨されにくく、肉厚が大きくなり、平坦性が損な
われやすくなる。この現象は、研磨量が多くなるほど顕
著となる。
持された状態で図３に示す研磨定盤１２の研磨パッドに
押しつけられて研磨されるが、研磨中、板ガラス素材Ｇ
の周縁部は内側部に比べてたわみやすく、そのため周縁
部が研磨されにくく、肉厚が大きくなり、平坦性が損な
われやすくなる。この現象は、研磨量が多くなるほど顕
著となる。
【０００８】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、特に厳しい表面精度が要求される液晶用ガラス基
板のような板ガラスの全面を均等に研磨でき、平坦性に
優れた板ガラスを得ることが可能な研磨装置を提供する
ことを目的とする。
あり、特に厳しい表面精度が要求される液晶用ガラス基
板のような板ガラスの全面を均等に研磨でき、平坦性に
優れた板ガラスを得ることが可能な研磨装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の板状物の研磨装
置は、板状物を保持するためのクッション材とクッショ
ン材を取り囲む保持枠体を有する保持定盤と、研磨パッ
ドを有する研磨定盤とを具備し、保持定盤のクッション
材で保持した板状物を、研磨定盤の研磨パッドに圧接し
つつ、研磨定盤を回転させることによって、板状物の片
面を研磨するようにした研磨装置であって、前記クッシ
ョン材の片面の周縁部には段部が形成され、この面が保
持定盤に貼り付けられてなることを特徴とする。
置は、板状物を保持するためのクッション材とクッショ
ン材を取り囲む保持枠体を有する保持定盤と、研磨パッ
ドを有する研磨定盤とを具備し、保持定盤のクッション
材で保持した板状物を、研磨定盤の研磨パッドに圧接し
つつ、研磨定盤を回転させることによって、板状物の片
面を研磨するようにした研磨装置であって、前記クッシ
ョン材の片面の周縁部には段部が形成され、この面が保
持定盤に貼り付けられてなることを特徴とする。
【００１０】本発明においては、クッション材の片面の
周縁部に段部が形成されてなるため、板状物を研磨する
際、クッション材の周縁部の押圧力が増すことによっ
て、板状物の周縁部のたわみが小さくなり、板状物全体
が均等に研磨されることになる。
周縁部に段部が形成されてなるため、板状物を研磨する
際、クッション材の周縁部の押圧力が増すことによっ
て、板状物の周縁部のたわみが小さくなり、板状物全体
が均等に研磨されることになる。
【００１１】この段部は、スクリーン印刷によって形成
したり、テープを貼り付けることによって形成すること
ができるが、段部の幅や厚みの調整が容易であり、位置
合わせもしやすいという理由から、スクリーン印刷によ
って形成するのが好ましい。スクリーン印刷の場合に
は、所望の硬度が得られるように、樹脂の配合割合や粘
度を調整すれば良い。
したり、テープを貼り付けることによって形成すること
ができるが、段部の幅や厚みの調整が容易であり、位置
合わせもしやすいという理由から、スクリーン印刷によ
って形成するのが好ましい。スクリーン印刷の場合に
は、所望の硬度が得られるように、樹脂の配合割合や粘
度を調整すれば良い。
【００１２】また段部の厚みが一定以上になると、段部
と、それ以外の部分との段差によって、却って板状物の
平坦性が損なわれる虞れが生じるため、段差を減じる目
的で、段部をクッション材の内側部に向かって下方に傾
斜させるようにすることが好ましい。しかも一般にクッ
ション材は、両面テープを用いて保持定盤に貼り付けら
れるが、段部が傾斜している方が、両面テープを貼り付
ける際にエアーの入り込みが少なく、高い接着力が得ら
れるため好ましい。段部は、連続的（テーパー状）に傾
斜するものでも、段階的（階段状）に傾斜するものでも
良い。段部の形状は、板状物の表面精度や研磨量によっ
て適宜調整されるが、一般に液晶用ガラス基板を研磨す
る場合の段部の幅としては、３〜１０ｍｍ程度が適当で
あり、また最大厚みとしては、５〜１００μｍ程度が適
当である。
と、それ以外の部分との段差によって、却って板状物の
平坦性が損なわれる虞れが生じるため、段差を減じる目
的で、段部をクッション材の内側部に向かって下方に傾
斜させるようにすることが好ましい。しかも一般にクッ
ション材は、両面テープを用いて保持定盤に貼り付けら
れるが、段部が傾斜している方が、両面テープを貼り付
ける際にエアーの入り込みが少なく、高い接着力が得ら
れるため好ましい。段部は、連続的（テーパー状）に傾
斜するものでも、段階的（階段状）に傾斜するものでも
良い。段部の形状は、板状物の表面精度や研磨量によっ
て適宜調整されるが、一般に液晶用ガラス基板を研磨す
る場合の段部の幅としては、３〜１０ｍｍ程度が適当で
あり、また最大厚みとしては、５〜１００μｍ程度が適
当である。
【００１３】さらにクッション材として、研磨側となる
面にポリウレタン発泡体層が形成されたＰＥＴシートを
使用すると、脆弱な板ガラス表面を研磨する場合でも、
ガラスに傷を付けにくく、しかも寸法精度に優れたクッ
ション材が得られるため好ましい。
面にポリウレタン発泡体層が形成されたＰＥＴシートを
使用すると、脆弱な板ガラス表面を研磨する場合でも、
ガラスに傷を付けにくく、しかも寸法精度に優れたクッ
ション材が得られるため好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、図３のような連続式片面
研磨装置に使用される本発明における保持定盤の概略断
面図、図２は、図１の保持定盤のクッション材を示す概
略斜視図である。
を参照して説明する。図１は、図３のような連続式片面
研磨装置に使用される本発明における保持定盤の概略断
面図、図２は、図１の保持定盤のクッション材を示す概
略斜視図である。
【００１５】保持定盤２４の上面には、研磨する板ガラ
スＧとほぼ同じ縦横寸法を有するＰＥＴシート２５ａの
研磨側となる面にポリウレタン発泡体層２５ｂが形成さ
れたクッション材２５が貼り付けられ、その周囲には保
持枠体２６が両面テープ２７によって貼り付けられてい
る。
スＧとほぼ同じ縦横寸法を有するＰＥＴシート２５ａの
研磨側となる面にポリウレタン発泡体層２５ｂが形成さ
れたクッション材２５が貼り付けられ、その周囲には保
持枠体２６が両面テープ２７によって貼り付けられてい
る。
【００１６】このクッション材２５のＰＥＴシート２５
ａ側の面の周縁部には段部２５ｃが形成され、この面が
保持定盤２４に両面テープ２８で貼り付けられている。
この段部２５ｃは、ポリウレタン樹脂からなり、スクリ
ーン印刷によってクッション材２５の内側部に向かって
連続的に下方に傾斜するように形成されている。またポ
リウレタン発泡体層２５ｂ側の面には、板ガラス素材Ｇ
が保持される。
ａ側の面の周縁部には段部２５ｃが形成され、この面が
保持定盤２４に両面テープ２８で貼り付けられている。
この段部２５ｃは、ポリウレタン樹脂からなり、スクリ
ーン印刷によってクッション材２５の内側部に向かって
連続的に下方に傾斜するように形成されている。またポ
リウレタン発泡体層２５ｂ側の面には、板ガラス素材Ｇ
が保持される。
【００１７】尚、板ガラス素材Ｇは、図面では、矩形の
場合を例示しているが、円形、その他の形状でもよい。
場合を例示しているが、円形、その他の形状でもよい。
【００１８】また本発明で使用するクッション材は、上
記した連続式片面研磨装置を用いて板ガラス素材Ｇを研
磨する以外にも、オスカー式研磨装置にも適用できる
し、また板ガラス以外の半導体ウェハ等の研磨にも適用
することが可能である。
記した連続式片面研磨装置を用いて板ガラス素材Ｇを研
磨する以外にも、オスカー式研磨装置にも適用できる
し、また板ガラス以外の半導体ウェハ等の研磨にも適用
することが可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明の板状物の研磨装置
を使用すると、板状物の全面を均等に研磨でき、平坦性
に優れた板状物を作製することができるため、特に薄板
状で、厳しい表面平坦度が要求される液晶用ガラス基板
やプラズマディスプレイ用板ガラス等の各種電子部品用
板ガラスの研磨に好適である。
を使用すると、板状物の全面を均等に研磨でき、平坦性
に優れた板状物を作製することができるため、特に薄板
状で、厳しい表面平坦度が要求される液晶用ガラス基板
やプラズマディスプレイ用板ガラス等の各種電子部品用
板ガラスの研磨に好適である。
【図１】本発明における保持定盤を示す概略断面図であ
る。
る。
【図２】図１の保持定盤のクッション材を示す概略斜視
図である。
図である。
【図３】連続式片面研磨装置を示す側面図である。
【図４】オスカー式研磨装置を示す平面図である。
【図５】図３の連続式片面研磨装置の保持定盤を示す概
略断面図である。
略断面図である。
１０、１７、２４ 保持定盤 １２、１６ 研磨定盤 ２０、２２、２７、２８ 両面テープ ２１、２５ クッション材 ２３、２６ 保持枠体 ２５ａ ＰＥＴシート ２５ｂ ポリウレタン発泡体層 ２５ｃ 段部 Ｇ 板ガラス素材
Claims (4)
- 【請求項１】 板状物を保持するためのクッション材と
クッション材を取り囲む保持枠体を有する保持定盤と、
研磨パッドを有する研磨定盤とを具備し、保持定盤のク
ッション材で保持した板状物を、研磨定盤の研磨パッド
に圧接しつつ、研磨定盤を回転させることによって、板
状物の片面を研磨するようにした研磨装置であって、前
記クッション材の片面の周縁部には段部が形成され、こ
の面が保持定盤に貼り付けられてなることを特徴とする
板状物の研磨装置。 - 【請求項２】 段部が、スクリーン印刷によって形成さ
れてなることを特徴とする請求項１記載の板状物の研磨
装置。 - 【請求項３】 段部が、クッション材の内側部に向かっ
て下方に傾斜してなることを特徴とする請求項１、２記
載の板状物の研磨装置。 - 【請求項４】 クッション材が、片面にポリウレタン発
泡体層が形成されたＰＥＴシートから構成されてなるこ
とを特徴とする請求項１〜３記載の板状物の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301253A JP2000127009A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 板状物の研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301253A JP2000127009A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 板状物の研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000127009A true JP2000127009A (ja) | 2000-05-09 |
Family
ID=17894610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10301253A Pending JP2000127009A (ja) | 1998-10-22 | 1998-10-22 | 板状物の研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000127009A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100396435B1 (ko) * | 2001-03-06 | 2003-09-03 | 주식회사 유아이디 | 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더 |
| JP2010149228A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の研磨方法 |
| KR101357879B1 (ko) * | 2013-07-16 | 2014-02-05 | 진용남 | 합지의 재활용 장치 |
| WO2016060346A1 (ko) * | 2014-10-13 | 2016-04-21 | 주식회사 세미다린 | 스마트폰 액정 연마장치 |
-
1998
- 1998-10-22 JP JP10301253A patent/JP2000127009A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100396435B1 (ko) * | 2001-03-06 | 2003-09-03 | 주식회사 유아이디 | 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더 |
| JP2010149228A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の研磨方法 |
| KR101357879B1 (ko) * | 2013-07-16 | 2014-02-05 | 진용남 | 합지의 재활용 장치 |
| WO2016060346A1 (ko) * | 2014-10-13 | 2016-04-21 | 주식회사 세미다린 | 스마트폰 액정 연마장치 |
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