JP2000113524A - 光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成方法 - Google Patents
光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面
形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパとその
作成装置及びその作成方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 光ディスク複製用スタンパ（１）のマス
ター（１ａ）に施してなる微細な凹凸パターンからなる
信号面（１ａ１）を凸面形状にしてから、上記マスター
（１ａ）の上記信号面（１ａ１）の凸面形状による、上
記光ディスク複製用スタンパ（１）のマザー（１ｂ）の
微細な凹凸パターンが逆型である信号面（１ｂ１）又は
上記光ディスク複製用スタンパ（１）のサン（１ｃ）の
信号面（１ｃ１）の凹凸面形状を矯正するようにして、
上記マスター（１ａ）により上記マザー（１ｂ）を、上
記マザー（１ｂ）により上記サン（１ｃ）をそれぞれ作
成することからなる。
形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパとその
作成装置及びその作成方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 光ディスク複製用スタンパ（１）のマス
ター（１ａ）に施してなる微細な凹凸パターンからなる
信号面（１ａ１）を凸面形状にしてから、上記マスター
（１ａ）の上記信号面（１ａ１）の凸面形状による、上
記光ディスク複製用スタンパ（１）のマザー（１ｂ）の
微細な凹凸パターンが逆型である信号面（１ｂ１）又は
上記光ディスク複製用スタンパ（１）のサン（１ｃ）の
信号面（１ｃ１）の凹凸面形状を矯正するようにして、
上記マスター（１ａ）により上記マザー（１ｂ）を、上
記マザー（１ｂ）により上記サン（１ｃ）をそれぞれ作
成することからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク複製用
スタンパと光ディスク複製用スタンパの作成装置及び光
ディスク複製用スタンパの作成方法に関し、特に、微細
な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク
複製用スタンパと光ディスク複製用スタンパの作成装置
及び光ディスク複製用スタンパの作成方法に関する。
スタンパと光ディスク複製用スタンパの作成装置及び光
ディスク複製用スタンパの作成方法に関し、特に、微細
な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク
複製用スタンパと光ディスク複製用スタンパの作成装置
及び光ディスク複製用スタンパの作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク複製用スタンパの作成方法
は、ガラス基板からフォトリソグラフィー方法により、
微細な凹凸パターンを形成し、導電性皮膜を施してなる
ガラス原盤にＮｉを電鋳して、マスターが作成される。
このマスターを、剥離皮膜処理後、Ｎｉを電鋳すること
によりマスターと微細パターンの凹凸が逆型であるマザ
ーが作成される。次に、マザーをマスターと同様に剥離
皮膜処理後、Ｎｉを電鋳することによりマスターと微細
パターンの凹凸が同型であるサンが作成される。得られ
たサンを裏面研磨、内外径加工、信号・欠陥検査によ
り、スタンパ規格を満足したサンから、射出成形、記録
材料形成、保護層形成等により光ディスクメデアが完成
する。
は、ガラス基板からフォトリソグラフィー方法により、
微細な凹凸パターンを形成し、導電性皮膜を施してなる
ガラス原盤にＮｉを電鋳して、マスターが作成される。
このマスターを、剥離皮膜処理後、Ｎｉを電鋳すること
によりマスターと微細パターンの凹凸が逆型であるマザ
ーが作成される。次に、マザーをマスターと同様に剥離
皮膜処理後、Ｎｉを電鋳することによりマスターと微細
パターンの凹凸が同型であるサンが作成される。得られ
たサンを裏面研磨、内外径加工、信号・欠陥検査によ
り、スタンパ規格を満足したサンから、射出成形、記録
材料形成、保護層形成等により光ディスクメデアが完成
する。
【０００３】マザーを電鋳で複製する場合、マスターを
電鋳治具にセットする際に、マスター表面の外周部分
を、電鋳治具の一部であるワークホルダに具備されたＯ
リングで押圧することにより、マスターの裏面や、複製
中のマスターとマザー間への電鋳液の染み込み、及びそ
れによる欠陥の発生、あるいはマスターとマザー同士が
接触することによる微細パターンの損傷を防止するよう
にしている。
電鋳治具にセットする際に、マスター表面の外周部分
を、電鋳治具の一部であるワークホルダに具備されたＯ
リングで押圧することにより、マスターの裏面や、複製
中のマスターとマザー間への電鋳液の染み込み、及びそ
れによる欠陥の発生、あるいはマスターとマザー同士が
接触することによる微細パターンの損傷を防止するよう
にしている。
【０００４】然し、マスター表面の外周部をＯリングで
押圧すると、マスターの平面度が変化していた。複製し
て作成されるマザーの平面度は、Ｏリングで押圧した際
のマスターの平面度と、マザー自身が有する電鋳時の内
部応力とのバランスで決定されるから、従来のマザー及
びサンは凹凸の微細パターンの存在する側の信号面が、
数（ｍｍ）の凹面形状が発生して、サンの信号面の平面
度が平坦か、やや凸面形状の高品質の光ディスク形成用
スタンパを作成することは困難であった。
押圧すると、マスターの平面度が変化していた。複製し
て作成されるマザーの平面度は、Ｏリングで押圧した際
のマスターの平面度と、マザー自身が有する電鋳時の内
部応力とのバランスで決定されるから、従来のマザー及
びサンは凹凸の微細パターンの存在する側の信号面が、
数（ｍｍ）の凹面形状が発生して、サンの信号面の平面
度が平坦か、やや凸面形状の高品質の光ディスク形成用
スタンパを作成することは困難であった。
【０００５】図８において、特に、このような、凹凸の
微細パターンの存在する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍ
ｍ）の凹面形状が発生したサン１０１ｃの裏面研磨で
は、研磨残りが発生していた。中心部分の白地部分は研
磨しない領域であるが、図示の矢印Ｘで図示する中央部
分の白地部分が研磨残りの部分であって、ニッケル金属
色を呈している。図示の矢印Ｙで図示する黒地部分は、
充分に研磨されて鏡面になって、銀色を呈している。
微細パターンの存在する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍ
ｍ）の凹面形状が発生したサン１０１ｃの裏面研磨で
は、研磨残りが発生していた。中心部分の白地部分は研
磨しない領域であるが、図示の矢印Ｘで図示する中央部
分の白地部分が研磨残りの部分であって、ニッケル金属
色を呈している。図示の矢印Ｙで図示する黒地部分は、
充分に研磨されて鏡面になって、銀色を呈している。
【０００６】図９において、凹凸の微細パターンの存在
する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍｍ）の凹面形状が発
生した、即ち、研磨面が数（ｍｍ）の凸面形状が発生し
たサン１０１ｃは、研磨台１０７に貼り付けて固定する
と、外周部分と中央部分がしっかり張り付くために、外
周部分と中央部分に対して半径位置の５０ｍｍ付近が最
も高くなり、その結果、半径位置の３０ｍｍ付近が図示
しない研磨部材に強く接触できず、研磨残りの部分とな
る（図８を参照）。
する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍｍ）の凹面形状が発
生した、即ち、研磨面が数（ｍｍ）の凸面形状が発生し
たサン１０１ｃは、研磨台１０７に貼り付けて固定する
と、外周部分と中央部分がしっかり張り付くために、外
周部分と中央部分に対して半径位置の５０ｍｍ付近が最
も高くなり、その結果、半径位置の３０ｍｍ付近が図示
しない研磨部材に強く接触できず、研磨残りの部分とな
る（図８を参照）。
【０００７】内外径加工では、治具のテーブルにチャッ
キングする際に、反っているために、正確な内外径の加
工が出来なかった。又、射出成形時にも同様で、外周部
でのスタンパの固定が不十分となり、スタンパが振動し
たりすることにより、成形基板の反り、機械特性、微細
パターンの転写性などが不良となってしまうと言う不具
合が生じていた。
キングする際に、反っているために、正確な内外径の加
工が出来なかった。又、射出成形時にも同様で、外周部
でのスタンパの固定が不十分となり、スタンパが振動し
たりすることにより、成形基板の反り、機械特性、微細
パターンの転写性などが不良となってしまうと言う不具
合が生じていた。
【０００８】ガラス基板の両面について各種処理を行っ
てスタンパを作成して、１枚のガラス基板２枚のスタン
パを同時に得るようにして、コストダウンを図り、両面
処理によりバランスがとれたガラス基板に反り等の変形
を生じにくくすることも公知である（特開平１−１６５
０５３号の公報を参照）。
てスタンパを作成して、１枚のガラス基板２枚のスタン
パを同時に得るようにして、コストダウンを図り、両面
処理によりバランスがとれたガラス基板に反り等の変形
を生じにくくすることも公知である（特開平１−１６５
０５３号の公報を参照）。
【０００９】光ディスク形成用スタンパ及びその製造方
法において、スタンパの平面度を浴温度で調整すること
も公知である（特開平９−１２８８２１号の公報を参
照）。然し、この方法でも、１ｍｍ以上の反りが発生す
る場合が多くて、サンの信号面の平面度が平坦か、やや
凸面形状の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成す
ることは困難であった。
法において、スタンパの平面度を浴温度で調整すること
も公知である（特開平９−１２８８２１号の公報を参
照）。然し、この方法でも、１ｍｍ以上の反りが発生す
る場合が多くて、サンの信号面の平面度が平坦か、やや
凸面形状の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成す
ることは困難であった。
【００１０】更に、Ｎｉ電鋳層を信号ピット付ガラス原
板に直接張り付けた状態で裏面研磨することも公知であ
る（特開平９−２３１６２４号の公報を参照）。然し、
電鋳応力による反りは抑制出来ない。仮に、ガラスの厚
みで反りを押さえ込んでも、応力が溜まった状態で、機
械特性に影響を及ぼす歪み、シャドーむらの発生の原因
となり、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状
の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは
困難であった。
板に直接張り付けた状態で裏面研磨することも公知であ
る（特開平９−２３１６２４号の公報を参照）。然し、
電鋳応力による反りは抑制出来ない。仮に、ガラスの厚
みで反りを押さえ込んでも、応力が溜まった状態で、機
械特性に影響を及ぼす歪み、シャドーむらの発生の原因
となり、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状
の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは
困難であった。
【００１１】従って、従来の光ディスク複製用スタンパ
とその作成装置及びその作成方法では、サンの信号面の
平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光デ
ィスク形成用スタンパを作成することは困難であると言
う不具合が生じていた。
とその作成装置及びその作成方法では、サンの信号面の
平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光デ
ィスク形成用スタンパを作成することは困難であると言
う不具合が生じていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来のかかる
光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成
方法は、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形
状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを作成す
ることは困難であると言う問題があった。
光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成
方法は、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形
状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを作成す
ることは困難であると言う問題があった。
【００１３】そこで本発明の課題は、このような問題点
を解決するものである。即ち、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパとその作成装置及びその作成方法を提供
することを目的とする。
を解決するものである。即ち、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパとその作成装置及びその作成方法を提供
することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の本発明は、微細な凹凸パターンからなる
信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパを作成す
る光ディスク複製用スタンパの作成方法において、光デ
ィスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹
凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、上記
マスターの上記信号面の凸面形状による、上記光ディス
ク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型
である信号面又は上記光ディスク複製用スタンパのサン
の信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、上記マス
ターにより上記マザーを、上記マザーにより上記サンを
それぞれ作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法
であることを最も主要な特徴とする。
に、請求項１の本発明は、微細な凹凸パターンからなる
信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパを作成す
る光ディスク複製用スタンパの作成方法において、光デ
ィスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹
凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、上記
マスターの上記信号面の凸面形状による、上記光ディス
ク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型
である信号面又は上記光ディスク複製用スタンパのサン
の信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、上記マス
ターにより上記マザーを、上記マザーにより上記サンを
それぞれ作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法
であることを最も主要な特徴とする。
【００１５】請求項２の本発明は、請求項１記載の光デ
ィスク複製用スタンパの作成方法において、マスターの
信号面を、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にした光
ディスク複製用スタンパの作成方法であることを主要な
特徴とする。
ィスク複製用スタンパの作成方法において、マスターの
信号面を、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にした光
ディスク複製用スタンパの作成方法であることを主要な
特徴とする。
【００１６】請求項３の本発明は、請求項１又は２記載
の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マザ
ーの信号面を凹面形状にした光ディスク複製用スタンパ
の作成方法であることを主要な特徴とする。
の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マザ
ーの信号面を凹面形状にした光ディスク複製用スタンパ
の作成方法であることを主要な特徴とする。
【００１７】請求項４の本発明は、請求項１、２又は３
記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、
マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に
した光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを
主要な特徴とする。
記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、
マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に
した光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを
主要な特徴とする。
【００１８】請求項５の本発明は、請求項１、２、３又
は４記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法におい
て、マスターをプレートに載置してから、上記マスター
によりマザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作
成方法であることを主要な特徴とする。
は４記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法におい
て、マスターをプレートに載置してから、上記マスター
によりマザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作
成方法であることを主要な特徴とする。
【００１９】請求項６の本発明は、請求項１、２、３又
は４記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法におい
て、マザーを座グリプレートに載置してから、上記マザ
ーによりサンを作成する光ディスク複製用スタンパの作
成方法であることを主要な特徴とする。
は４記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法におい
て、マザーを座グリプレートに載置してから、上記マザ
ーによりサンを作成する光ディスク複製用スタンパの作
成方法であることを主要な特徴とする。
【００２０】請求項７の本発明は、請求項５記載の光デ
ィスク複製用スタンパの作成方法において、マスター
を、平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置し
てから、上記マスターによりマザーを作成する光ディス
ク複製用スタンパの作成方法であることを主要な特徴と
する。
ィスク複製用スタンパの作成方法において、マスター
を、平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置し
てから、上記マスターによりマザーを作成する光ディス
ク複製用スタンパの作成方法であることを主要な特徴と
する。
【００２１】請求項８の本発明は、請求項６記載の光デ
ィスク複製用スタンパの作成方法について、マザーを、
座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面
との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプ
レートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方法
であることを主要な特徴とする。
ィスク複製用スタンパの作成方法について、マザーを、
座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面
との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプ
レートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方法
であることを主要な特徴とする。
【００２２】請求項９の本発明は、請求項５又は７記載
の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マス
ターを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる
プレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方
法であることを主要な特徴とする。
の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マス
ターを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる
プレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方
法であることを主要な特徴とする。
【００２３】請求項１０の本発明は、請求項６又は８記
載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マ
ザーを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる
座グリプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの
作成方法であることを主要な特徴とする。
載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マ
ザーを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる
座グリプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの
作成方法であることを主要な特徴とする。
【００２４】請求項１１の本発明は、微細な凹凸パター
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら光ディス
ク複製用スタンパを作成する光ディスク複製用スタンパ
の作成装置において、マスターを載置するプレートと、
上記プレートに載置された上記マスターの信号面を押圧
して上記信号面を凸面形状にするマスター用ワークホル
ダとからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であ
ることを最も主要な特徴とする。
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら光ディス
ク複製用スタンパを作成する光ディスク複製用スタンパ
の作成装置において、マスターを載置するプレートと、
上記プレートに載置された上記マスターの信号面を押圧
して上記信号面を凸面形状にするマスター用ワークホル
ダとからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であ
ることを最も主要な特徴とする。
【００２５】請求項１２の本発明は、請求項１１記載の
光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスタ
ー用ワークホルダは、マスターの信号面の外側を押圧し
て、上記信号面を凸面形状にするＯリングらなる光ディ
スク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴
とする。
光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスタ
ー用ワークホルダは、マスターの信号面の外側を押圧し
て、上記信号面を凸面形状にするＯリングらなる光ディ
スク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴
とする。
【００２６】請求項１３の本発明は、微細な凹凸パター
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら光ディス
ク複製用スタンパを作成する光ディスク複製用スタンパ
の作成装置において、マザーを載置する座グリプレート
と、上記座グリプレートに載置された上記マザーを押圧
して信号面を凹面形状にするマザー用ワークホルダとか
らなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であること
を主要な特徴とする。
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら光ディス
ク複製用スタンパを作成する光ディスク複製用スタンパ
の作成装置において、マザーを載置する座グリプレート
と、上記座グリプレートに載置された上記マザーを押圧
して信号面を凹面形状にするマザー用ワークホルダとか
らなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であること
を主要な特徴とする。
【００２７】請求項１４の本発明は、請求項１３記載の
光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザー
用ワークホルダは、マザーを押圧して、信号面を凹面形
状にするＯリングからなる光ディスク複製用スタンパの
作成装置であることを主要な特徴とする。
光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザー
用ワークホルダは、マザーを押圧して、信号面を凹面形
状にするＯリングからなる光ディスク複製用スタンパの
作成装置であることを主要な特徴とする。
【００２８】請求項１５の本発明は、微細な凹凸パター
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、マスターの信号
面が凸面形状である光ディスク複製用スタンパであるこ
とを最も主要な特徴とする。
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、マスターの信号
面が凸面形状である光ディスク複製用スタンパであるこ
とを最も主要な特徴とする。
【００２９】請求項１６の本発明は、請求項１５記載の
光ディスク複製用スタンパにおいて、マスターの信号面
が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状である光ディスク
複製用スタンパであることを主要な特徴とする。
光ディスク複製用スタンパにおいて、マスターの信号面
が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状である光ディスク
複製用スタンパであることを主要な特徴とする。
【００３０】請求項１７の本発明は、微細な凹凸パター
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、マザーの信号面
が凹面形状である光ディスク複製用スタンパであること
を最も主要な特徴とする。
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、マザーの信号面
が凹面形状である光ディスク複製用スタンパであること
を最も主要な特徴とする。
【００３１】請求項１８の本発明は、請求項１７記載の
光ディスク複製用スタンパにおいて、マザーの信号面が
０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状である光ディスク複
製用スタンパであることを主要な特徴とする。
光ディスク複製用スタンパにおいて、マザーの信号面が
０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状である光ディスク複
製用スタンパであることを主要な特徴とする。
【００３２】請求項１９の本発明は、微細な凹凸パター
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、サンの信号面が
平坦か、やや凸面形状である光ディスク複製用スタンパ
であることを最も主要な特徴とする。
ンからなる信号面の凹凸面形状を矯正しながら作成され
る光ディスク複製用スタンパにおいて、サンの信号面が
平坦か、やや凸面形状である光ディスク複製用スタンパ
であることを最も主要な特徴とする。
【００３３】請求項２０の本発明は、請求項１９記載の
光ディスク複製用スタンパにおいて、サンの信号面が
０．５ｍｍ以下の凸面形状である光ディスク複製用スタ
ンパであることを主要な特徴とする。
光ディスク複製用スタンパにおいて、サンの信号面が
０．５ｍｍ以下の凸面形状である光ディスク複製用スタ
ンパであることを主要な特徴とする。
【００３４】
【作用】上記のように構成された光ディスク複製用スタ
ンパとその作成装置及びその作成方法は、請求項１にお
いては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施して
なる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にし
てから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディス
ク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型
である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサン
の信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成方法を提供することが出来るようにする。
ンパとその作成装置及びその作成方法は、請求項１にお
いては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施して
なる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にし
てから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディス
ク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型
である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサン
の信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成方法を提供することが出来るようにする。
【００３５】請求項２においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にして
から、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸
面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微
細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディス
ク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正す
るようにして、マスターによりマザーを、マザーにより
サンをそれぞれ作成するようにして、信号面が適切な平
面度の凸面形状のマスターが作成され、作成されるサン
の信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状と
なる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を
提供することが出来るようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にして
から、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸
面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微
細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディス
ク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正す
るようにして、マスターによりマザーを、マザーにより
サンをそれぞれ作成するようにして、信号面が適切な平
面度の凸面形状のマスターが作成され、作成されるサン
の信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状と
なる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を
提供することが出来るようにする。
【００３６】請求項３においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーに
よりサンをそれぞれ作成するようにして、信号面が凹面
形状のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平
面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディ
スク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来る
ようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーに
よりサンをそれぞれ作成するようにして、信号面が凹面
形状のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平
面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディ
スク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来る
ようにする。
【００３７】請求項４においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、信号面が適切な平面度の凹面形状のマザー
が作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実
に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るよう
にする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、信号面が適切な平面度の凹面形状のマザー
が作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実
に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るよう
にする。
【００３８】請求項５においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターをプレートに載置してから、
マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ
作成するようにして、簡単な作成作業によって、マザー
の信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル
方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信
号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質
の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供すること
が出来るようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターをプレートに載置してから、
マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ
作成するようにして、簡単な作成作業によって、マザー
の信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル
方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信
号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質
の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供すること
が出来るようにする。
【００３９】請求項６において、光ディスク複製用スタ
ンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからな
る信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸
面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微
細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディス
ク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正す
るようにして、マスターによりマザーを、マザーを座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにして、簡単な作成作業によってサンの
信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方
向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号
面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の
光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが
出来るようにする。
ンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからな
る信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸
面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微
細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディス
ク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正す
るようにして、マスターによりマザーを、マザーを座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにして、簡単な作成作業によってサンの
信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方
向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号
面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の
光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが
出来るようにする。
【００４０】請求項７においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下
であるプレートに載置してから、マスターによりマザー
を、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、
簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向
の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャ
ル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、
作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、
やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタン
パの作成方法を提供することが出来るようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下
であるプレートに載置してから、マスターによりマザー
を、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、
簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向
の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャ
ル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、
作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、
やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタン
パの作成方法を提供することが出来るようにする。
【００４１】請求項８においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、、マスターによりマザーを、マザーを
座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面
との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプ
レートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作
成するようにして、簡単な作成作業によってサンの信号
面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及
びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の面ぶれの
調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度
が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出
来るようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、、マスターによりマザーを、マザーを
座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面
との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプ
レートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作
成するようにして、簡単な作成作業によってサンの信号
面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及
びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の面ぶれの
調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度
が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出
来るようにする。
【００４２】請求項９においては、光ディスク複製用ス
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターを材質がオーテスナイト系ス
テンレス鋼からなるプレートに載置してから、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易
で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、
作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面
形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成
方法を提供することが出来るようにする。
タンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンから
なる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の
凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの
微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディ
スク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正
するようにして、マスターを材質がオーテスナイト系ス
テンレス鋼からなるプレートに載置してから、マスター
によりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成する
ようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易
で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、
作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面
形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成
方法を提供することが出来るようにする。
【００４３】請求項１０においては、光ディスク複製用
スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンか
らなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面
の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザー
の微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光デ
ィスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを
材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプ
レートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作
成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理
が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能と
なり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、や
や凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパ
の作成方法を提供することが出来るようにする。
スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンか
らなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面
の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザー
の微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光デ
ィスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを
材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプ
レートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作
成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理
が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能と
なり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、や
や凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパ
の作成方法を提供することが出来るようにする。
【００４４】請求項１１においては、マスター用ワーク
ホルダによって、プレート上に載置されたマスターを押
圧して、信号面を凸面形状にするようにして、マスター
の信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
にする。
ホルダによって、プレート上に載置されたマスターを押
圧して、信号面を凸面形状にするようにして、マスター
の信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
にする。
【００４５】請求項１２においては、マスター用ワーク
ホルダのＯリングによって、プレート上に載置されたマ
スターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形状に
するようにして、簡単な作業でマスターの信号面の平面
度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
ホルダのＯリングによって、プレート上に載置されたマ
スターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形状に
するようにして、簡単な作業でマスターの信号面の平面
度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
【００４６】請求項１３においては、マザー用ワークホ
ルダによって、座グリプレート上に載置されたマザーを
押圧して、信号面を凹面形状にするようにして、マザー
の信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
にする。
ルダによって、座グリプレート上に載置されたマザーを
押圧して、信号面を凹面形状にするようにして、マザー
の信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
にする。
【００４７】請求項１４においては、マザー用ワークホ
ルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置され
たマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面形状
にするようにして、簡単な作業でマザーの信号面の平面
度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状とな、る高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
ルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置され
たマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面形状
にするようにして、簡単な作業でマザーの信号面の平面
度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦
か、やや凸面形状とな、る高品質の光ディスク形成用ス
タンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
【００４８】請求項１５においては、マスターの信号面
を凸面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が
平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
を凸面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が
平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
【００４９】請求項１６において、マスターの信号面を
１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにして、
サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍ
の平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の
面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提
供することが出来るようにする。
１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにして、
サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍ
の平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の
面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提
供することが出来るようにする。
【００５０】請求項１７においては、マザーの信号面を
凹面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が平
坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
凹面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が平
坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
【００５１】請求項１８においては、マザーの信号面を
０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにして、
サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍ
の平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の
面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提
供することが出来るようにする。
０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにして、
サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍ
の平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の
面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提
供することが出来るようにする。
【００５２】請求項１９においては、サンの信号面を平
坦かやや凸面形状になるようにして、裏面研磨時に研磨
残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキ
ングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャ
ル方向の面ぶれを低減する、高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
坦かやや凸面形状になるようにして、裏面研磨時に研磨
残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキ
ングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャ
ル方向の面ぶれを低減する、高品質の光ディスク形成用
スタンパを提供することが出来るようにする。
【００５３】請求項２０においては、サンの信号面を
０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにして、裏面研磨
時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実
にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジ
ェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する、高品質の光
ディスク形成用スタンパを提供することが出来るように
する
０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにして、裏面研磨
時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実
にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジ
ェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する、高品質の光
ディスク形成用スタンパを提供することが出来るように
する
【００５４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。図１において、光ディスク
複製用スタンパ１は、マスター１ａ、マザー１ｂ、サン
１ｃからなる。上記マスター１ａは、図示しないガラス
基板に形成したプリグルーブパターン上に導体化膜を形
成後に、上記導体化膜を陰極としてＮｉ電鋳を行い、ガ
ラス基板を剥離して作成される。
を参照して詳細に説明する。図１において、光ディスク
複製用スタンパ１は、マスター１ａ、マザー１ｂ、サン
１ｃからなる。上記マスター１ａは、図示しないガラス
基板に形成したプリグルーブパターン上に導体化膜を形
成後に、上記導体化膜を陰極としてＮｉ電鋳を行い、ガ
ラス基板を剥離して作成される。
【００５５】上記マスター１ａは、剥離皮膜処理後、光
ディスク複製用スタンパの作成装置０の一部であるバッ
クプレート６にセットする。この際、上記バックプレー
ト６上にプレート２をセットして、上記プレート２上に
上記マスター１ａがセットされる（図１ａを参照）。上
記プレート２は、オーテスナイト系ステンレス鋼である
ＳＵＳ３０４の丸板で、平面度は０．０５ｍｍ以下であ
る。
ディスク複製用スタンパの作成装置０の一部であるバッ
クプレート６にセットする。この際、上記バックプレー
ト６上にプレート２をセットして、上記プレート２上に
上記マスター１ａがセットされる（図１ａを参照）。上
記プレート２は、オーテスナイト系ステンレス鋼である
ＳＵＳ３０４の丸板で、平面度は０．０５ｍｍ以下であ
る。
【００５６】上記プレート２上にセットされた上記マス
ター１ａは、図示しない駆動手段で図示の矢印Ａ方向に
移動する、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０
に保持されているマスター用ワークホルダ４のＯリング
４ａによって押圧されて、信号面１ａ１ が１．０ｍｍ
〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにクランプすると同
時に、大径Ｏリング４ｂも同様に図示の矢印Ａ方向に移
動して、上記バックプレート６の突起リング６ａに当接
して電鋳液の漏洩等を防止するようになっている（図１
ｂを参照）。
ター１ａは、図示しない駆動手段で図示の矢印Ａ方向に
移動する、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０
に保持されているマスター用ワークホルダ４のＯリング
４ａによって押圧されて、信号面１ａ１ が１．０ｍｍ
〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにクランプすると同
時に、大径Ｏリング４ｂも同様に図示の矢印Ａ方向に移
動して、上記バックプレート６の突起リング６ａに当接
して電鋳液の漏洩等を防止するようになっている（図１
ｂを参照）。
【００５７】上記プレート２上でクランプされて、Ｎｉ
電鋳で複製され、上記マザー１ｂの信号面１ｂ１が矯正
されて作成される（図１ｃを参照）。Ｎｉ電鋳複製後、
上記マスター１ａから剥離して上記マザー１ｂが得られ
る（図１ｄを参照）。
電鋳で複製され、上記マザー１ｂの信号面１ｂ１が矯正
されて作成される（図１ｃを参照）。Ｎｉ電鋳複製後、
上記マスター１ａから剥離して上記マザー１ｂが得られ
る（図１ｄを参照）。
【００５８】次に、上記マザー１ｂは、上記光ディスク
複製用スタンパの作成装置０の一部である上記バックプ
レート６にセットする。この際、上記バックプレート６
上に座グリプレート３をセットして、上記座グリプレー
ト３上に上記マザー１ｂがセットされる。上記座グリプ
レート３上にセットされた上記マザー１ｂは、図示しな
い駆動手段で図示の矢印Ｂ方向に移動する、上記光ディ
スク複製用スタンパの作成装置０に保持されているマザ
ー用ワークホルダ５のＯリング５ａによって押圧され
て、信号面１ｂ１ が０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形
状になるようにクランプすると同時に、大径Ｏリング５
ｂも同様に図示の矢印Ｂ方向に移動して、上記バックプ
レート６の上記突起リング６ａに当接して電鋳液の漏洩
等を防止するようになっている（図１ｅを参照）。
複製用スタンパの作成装置０の一部である上記バックプ
レート６にセットする。この際、上記バックプレート６
上に座グリプレート３をセットして、上記座グリプレー
ト３上に上記マザー１ｂがセットされる。上記座グリプ
レート３上にセットされた上記マザー１ｂは、図示しな
い駆動手段で図示の矢印Ｂ方向に移動する、上記光ディ
スク複製用スタンパの作成装置０に保持されているマザ
ー用ワークホルダ５のＯリング５ａによって押圧され
て、信号面１ｂ１ が０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形
状になるようにクランプすると同時に、大径Ｏリング５
ｂも同様に図示の矢印Ｂ方向に移動して、上記バックプ
レート６の上記突起リング６ａに当接して電鋳液の漏洩
等を防止するようになっている（図１ｅを参照）。
【００５９】高品質の上記光ディスク形成用スタンパ１
の上記サン１ｃは、裏面研磨、内外径加工、基板成形の
ために、信号面１ｃ１の平面度が平坦か、やや凸面形状
となる。従って、上記マザー１ｂのラジアル方向の平面
度が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凹面形状となるように、
上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、平行度を
調整して、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリング
５ａで押圧される。
の上記サン１ｃは、裏面研磨、内外径加工、基板成形の
ために、信号面１ｃ１の平面度が平坦か、やや凸面形状
となる。従って、上記マザー１ｂのラジアル方向の平面
度が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凹面形状となるように、
上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、平行度を
調整して、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリング
５ａで押圧される。
【００６０】加えて、図示しない成形基板の１００μｍ
以下の面振れは、上記光ディスク形成用スタンパ１のタ
ンジェンシャル方向の面振れを転写することとなるた
め、上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、基準
面に対する平行度をを０．０５ｍｍ以下となるように調
整される。逆に、上記座グリプレート３の座グリ丸板に
セットされる上記マザー１ｂのラジアル方向の平面度
は、上記座グリプレート３の座グリ丸板の座グリ量以上
に反るようになっている。従って、上記マザー１ｂのラ
ジアル方向の平面が凹面形状となるように、及び、上記
マスター１ｃのラジアル方向の平面度が凸面形状となる
ように、上記マスター用ワークホルダ４の上記Ｏリング
４ａ、及び、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリン
グ５ａで押圧される。
以下の面振れは、上記光ディスク形成用スタンパ１のタ
ンジェンシャル方向の面振れを転写することとなるた
め、上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、基準
面に対する平行度をを０．０５ｍｍ以下となるように調
整される。逆に、上記座グリプレート３の座グリ丸板に
セットされる上記マザー１ｂのラジアル方向の平面度
は、上記座グリプレート３の座グリ丸板の座グリ量以上
に反るようになっている。従って、上記マザー１ｂのラ
ジアル方向の平面が凹面形状となるように、及び、上記
マスター１ｃのラジアル方向の平面度が凸面形状となる
ように、上記マスター用ワークホルダ４の上記Ｏリング
４ａ、及び、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリン
グ５ａで押圧される。
【００６１】上記座グリプレート３は、外径（Ｌ）は２
４０ｍｍ、内径（ｌ）は２００ｍｍ、オーテスナイト系
ステンレス鋼であるＳＵＳ３０４の座グリ丸板で、座グ
リ量（ｃ）が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度（ｄ）及
び基準面（Ｆ）との平行度（ｅ）がそれぞれ０．０５ｍ
ｍ以下である（図２を参照）。
４０ｍｍ、内径（ｌ）は２００ｍｍ、オーテスナイト系
ステンレス鋼であるＳＵＳ３０４の座グリ丸板で、座グ
リ量（ｃ）が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度（ｄ）及
び基準面（Ｆ）との平行度（ｅ）がそれぞれ０．０５ｍ
ｍ以下である（図２を参照）。
【００６２】上記座グリプレート３上でクランプされ
て、Ｎｉ電鋳で複製され、上記サン１ｃの信号面１ｃ１
が矯正されて作成される（図１ｆを参照）。Ｎｉ電鋳複
製後、上記マザー１ｂから剥離して上記サン１ｃが得ら
れる（図１ｇを参照）。
て、Ｎｉ電鋳で複製され、上記サン１ｃの信号面１ｃ１
が矯正されて作成される（図１ｆを参照）。Ｎｉ電鋳複
製後、上記マザー１ｂから剥離して上記サン１ｃが得ら
れる（図１ｇを参照）。
【００６３】図３において、上記光ディスク複製用スタ
ンパの作成装置０は、上記バックプレート６側に上記マ
スタ１ａ（上記マザー１ｂ）と上記プレート２（上記座
グリプレート３）の通電ＳＵＳ板を積載した直上から、
上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワークホ
ルダ５）に具備された上記Ｏリング４ａ（上記Ｏリング
５ａ）で押圧されてクランプされるようになっている。
ンパの作成装置０は、上記バックプレート６側に上記マ
スタ１ａ（上記マザー１ｂ）と上記プレート２（上記座
グリプレート３）の通電ＳＵＳ板を積載した直上から、
上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワークホ
ルダ５）に具備された上記Ｏリング４ａ（上記Ｏリング
５ａ）で押圧されてクランプされるようになっている。
【００６４】上記バックプレート６の縁に、材質がポリ
プロピレンからなる上記突起リング６ａが配置されてお
り、上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワー
クホルダ５）に具備された、上記Ｏリング４ａ（上記Ｏ
リング５ａ）と同心円状で、上記マスター１ａ（上記マ
ザー１ｂ）の外形より大径である上記大径Ｏリング４ｂ
（凶器大径Ｏリング５ｂ）で押圧されるようになってい
る。
プロピレンからなる上記突起リング６ａが配置されてお
り、上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワー
クホルダ５）に具備された、上記Ｏリング４ａ（上記Ｏ
リング５ａ）と同心円状で、上記マスター１ａ（上記マ
ザー１ｂ）の外形より大径である上記大径Ｏリング４ｂ
（凶器大径Ｏリング５ｂ）で押圧されるようになってい
る。
【００６５】[比較例１]図４において、複製して作成さ
れたマザー１０１ｂのタンジェンシャル方向の平面度
は、プレート１０２の丸板の平面度をそのまま転写す
る。平面度０．５ｍｍと１．０ｍｍの上記プレート１０
２の丸板で、上記マザー１０１ｂを複製して作成した結
果、上記プレート１０２の丸板と同様のタンジェンシャ
ル方向の平面度となった。このようなことは、サン１０
１ｃを複製して作成する場合でも同様で、射出成形され
た図示しない基板のタンジェンシャル方向の平面度は同
等か、それ以上となり、基板の品質規格を満足しなくな
った。
れたマザー１０１ｂのタンジェンシャル方向の平面度
は、プレート１０２の丸板の平面度をそのまま転写す
る。平面度０．５ｍｍと１．０ｍｍの上記プレート１０
２の丸板で、上記マザー１０１ｂを複製して作成した結
果、上記プレート１０２の丸板と同様のタンジェンシャ
ル方向の平面度となった。このようなことは、サン１０
１ｃを複製して作成する場合でも同様で、射出成形され
た図示しない基板のタンジェンシャル方向の平面度は同
等か、それ以上となり、基板の品質規格を満足しなくな
った。
【００６６】[比較例２]図５において、上記実施例と同
様の方法で、図示しないマスター１０１ａから上記マザ
ー１０１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サ
ン１０１ｃを電鋳の複製をして作成した。但し、図示し
ない上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして、作成時の座
グリプレート１０３の座グリ量（ｃ）を可変させたとこ
ろ、座グリ量（ｃ）が０．５ｍｍ以下では問題ない品質
規格を満足したが、１ｍｍ以上になると、図示しない成
形基板のラジアル方向の平面度の反り量が、品質規格を
満足しなくなった。
様の方法で、図示しないマスター１０１ａから上記マザ
ー１０１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サ
ン１０１ｃを電鋳の複製をして作成した。但し、図示し
ない上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして、作成時の座
グリプレート１０３の座グリ量（ｃ）を可変させたとこ
ろ、座グリ量（ｃ）が０．５ｍｍ以下では問題ない品質
規格を満足したが、１ｍｍ以上になると、図示しない成
形基板のラジアル方向の平面度の反り量が、品質規格を
満足しなくなった。
【００６７】[比較例３]図６において、上記実施例と同
様の方法で、上記マスター１０１ａから上記マザー１０
１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サン１０
１ｃを電鋳の複製をして作成した。但し、上記マザー１
０１ｂ及び図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製す
る作成時に、スペーサとして上記プレート１０２を用い
た。その結果は、上記マザー１０１ｂの信号面１０１ｂ
１の平面度は凹面形状になったが、図示しない上記サン
１０１ｃ１の平面度も上記マザー１０１ｂと同様の凹面
形状になって、裏面研磨時に研磨残りが発生した（図３
を参照）。
様の方法で、上記マスター１０１ａから上記マザー１０
１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サン１０
１ｃを電鋳の複製をして作成した。但し、上記マザー１
０１ｂ及び図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製す
る作成時に、スペーサとして上記プレート１０２を用い
た。その結果は、上記マザー１０１ｂの信号面１０１ｂ
１の平面度は凹面形状になったが、図示しない上記サン
１０１ｃ１の平面度も上記マザー１０１ｂと同様の凹面
形状になって、裏面研磨時に研磨残りが発生した（図３
を参照）。
【００６８】[比較例４]図７において、上記実施例と同
様の方法で、光ディスク複製用スタンパ１０１を、上記
マスター１０１ａから上記マザー１０１ｂ、上記マザー
１０１ｂから上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして作成
した。但し、上記プレート１０２及び上記座グリプレー
ト１０３のスペーサの材質をマルテンサイト系ステンレ
ス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２を使用した。その結果、使
用初期段階は、平面度の平坦な上記光ディスク複製用ス
タンパ１０１の上記サン１０１ｃの複製をして作成する
ことが可能であったが、上記プレート１０２及び上記座
グリプレート１０３のスペーサの材質が耐食性が低いた
め、強酸である電鋳液に冒されステンレス鋼の構成元素
であるＭｎ、Ｐ、Ｃｒ等が電鋳浴中に溶解し、これらが
複製する上記光ディスク複製用スタンパ１０１中に取り
込まれ、応力増加、欠陥の発生などが現れ、平面度が不
安定になった。
様の方法で、光ディスク複製用スタンパ１０１を、上記
マスター１０１ａから上記マザー１０１ｂ、上記マザー
１０１ｂから上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして作成
した。但し、上記プレート１０２及び上記座グリプレー
ト１０３のスペーサの材質をマルテンサイト系ステンレ
ス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２を使用した。その結果、使
用初期段階は、平面度の平坦な上記光ディスク複製用ス
タンパ１０１の上記サン１０１ｃの複製をして作成する
ことが可能であったが、上記プレート１０２及び上記座
グリプレート１０３のスペーサの材質が耐食性が低いた
め、強酸である電鋳液に冒されステンレス鋼の構成元素
であるＭｎ、Ｐ、Ｃｒ等が電鋳浴中に溶解し、これらが
複製する上記光ディスク複製用スタンパ１０１中に取り
込まれ、応力増加、欠陥の発生などが現れ、平面度が不
安定になった。
【００６９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、請求項１の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザー
によりサンをそれぞれ作成するようにしたので、作成さ
れるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状と
なる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を
提供することが出来るようになった。
ているので、請求項１の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザー
によりサンをそれぞれ作成するようにしたので、作成さ
れるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状と
なる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を
提供することが出来るようになった。
【００７０】請求項２の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状に
してから、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍ
の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザー
の微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光デ
ィスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーに
よりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号面が
適切な平面度の凸面形状のマスターが作成され、作成さ
れるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸
面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作
成方法を提供することが出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状に
してから、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍ
の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザー
の微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光デ
ィスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯
正するようにして、マスターによりマザーを、マザーに
よりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号面が
適切な平面度の凸面形状のマスターが作成され、作成さ
れるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸
面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作
成方法を提供することが出来るようになった。
【００７１】請求項３の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹面形状
を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザ
ーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号
面が凹面形状のマザーが作成され、作成されるサンの信
号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質
の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供すること
が出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹面形状
を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザ
ーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号
面が凹面形状のマザーが作成され、作成されるサンの信
号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質
の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供すること
が出来るようになった。
【００７２】請求項４の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍ
ｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マス
ターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成
するようにしたので、信号面が適切な平面度の凹面形状
のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平面度
が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出
来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍ
ｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マス
ターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成
するようにしたので、信号面が適切な平面度の凹面形状
のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平面度
が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出
来るようになった。
【００７３】請求項５の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターをプレートに載置してか
ら、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれ
ぞれ作成するようにしたので、簡単な作成作業によって
マザーの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェン
シャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサ
ンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、
高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供す
ることが出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターをプレートに載置してか
ら、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれ
ぞれ作成するようにしたので、簡単な作成作業によって
マザーの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェン
シャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサ
ンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、
高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供す
ることが出来るようになった。
【００７４】請求項６の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザー
を座グリプレートに載置してから、マザーによりサンを
それぞれ作成するようにしたので、簡単な作成作業によ
ってサンの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェ
ンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成される
サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状とな
る、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提
供することが出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザー
を座グリプレートに載置してから、マザーによりサンを
それぞれ作成するようにしたので、簡単な作成作業によ
ってサンの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェ
ンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成される
サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状とな
る、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提
供することが出来るようになった。
【００７５】請求項７の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ
以下であるプレートに載置してから、マスターによりマ
ザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにし
たので、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジ
アル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジ
ェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能
となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、
平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成
用スタンパの作成方法を提供することが出来るようにな
った。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ
以下であるプレートに載置してから、マスターによりマ
ザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにし
たので、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジ
アル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジ
ェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能
となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、
平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成
用スタンパの作成方法を提供することが出来るようにな
った。
【００７６】請求項８の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、、マスターによりマザーを、マザ
ーを座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基
準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにしたので、簡単な作成作業によってサ
ンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの
平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の
面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の
平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品
質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供するこ
とが出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、、マスターによりマザーを、マザ
ーを座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基
準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにしたので、簡単な作成作業によってサ
ンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの
平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の
面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の
平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品
質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供するこ
とが出来るようになった。
【００７７】請求項９の発明によれば、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターを材質がオーテスナイト
系ステンレス鋼からなるプレートに載置してから、マス
ターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成
するようにしたので、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管
理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能
となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、
やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタン
パの作成方法を提供することが出来るようになった。
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号
面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザ
ーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光
ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を
矯正するようにして、マスターを材質がオーテスナイト
系ステンレス鋼からなるプレートに載置してから、マス
ターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成
するようにしたので、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管
理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能
となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、
やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタン
パの作成方法を提供することが出来るようになった。
【００７８】請求項１０の発明によれば、光ディスク複
製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パター
ンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信
号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマ
ザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、
光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状
を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザ
ーを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにしたので、通電性が劣化せず、電鋳厚
みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使
用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平
坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用
スタンパの作成方法を提供することが出来るようになっ
た。
製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パター
ンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信
号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマ
ザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、
光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状
を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザ
ーを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グ
リプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞ
れ作成するようにしたので、通電性が劣化せず、電鋳厚
みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使
用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平
坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用
スタンパの作成方法を提供することが出来るようになっ
た。
【００７９】請求項１１の発明によれば、マスター用ワ
ークホルダによって、プレート上に載置されたマスター
を押圧して、信号面を凸面形状にするようにしたので、
マスターの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の
平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光デ
ィスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来
るようになった。
ークホルダによって、プレート上に載置されたマスター
を押圧して、信号面を凸面形状にするようにしたので、
マスターの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の
平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光デ
ィスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来
るようになった。
【００８０】請求項１２の発明によれば、マスター用ワ
ークホルダのＯリングによって、プレート上に載置され
たマスターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形
状にするようにしたので、簡単な作業でマスターの信号
面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
になった。
ークホルダのＯリングによって、プレート上に載置され
たマスターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形
状にするようにしたので、簡単な作業でマスターの信号
面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
になった。
【００８１】請求項１３の発明によれば、マザー用ワー
クホルダによって、座グリプレート上に載置されたマザ
ーを押圧して、信号面を凹面形状にするようにしたの
で、マザーの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面
の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出
来るようになった。
クホルダによって、座グリプレート上に載置されたマザ
ーを押圧して、信号面を凹面形状にするようにしたの
で、マザーの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面
の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光
ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出
来るようになった。
【００８２】請求項１４の発明によれば、マザー用ワー
クホルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置
されたマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面
形状にするようにしたので、簡単な作業でマザーの信号
面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状とな、る高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
になった。
クホルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置
されたマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面
形状にするようにしたので、簡単な作業でマザーの信号
面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度
が、平坦か、やや凸面形状とな、る高品質の光ディスク
形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るよう
になった。
【００８３】請求項１５の発明によれば、マスターの信
号面を凸面形状になるようにしたので、サンの信号面の
平面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディス
ク形成用スタンパを提供することが出来るようになっ
た。
号面を凸面形状になるようにしたので、サンの信号面の
平面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディス
ク形成用スタンパを提供することが出来るようになっ
た。
【００８４】請求項１６の発明によれば、マスターの信
号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるように
したので、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００
μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパを提供することが出来るようになった。
号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるように
したので、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００
μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパを提供することが出来るようになった。
【００８５】請求項１７の発明によれば、マザーの信号
面を凹面形状になるようにしたので、サンの信号面の平
面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク
形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
面を凹面形状になるようにしたので、サンの信号面の平
面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク
形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
【００８６】請求項１８の発明によれば、マザーの信号
面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにし
たので、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００
μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパを提供することが出来るようになった。
面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにし
たので、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜
０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００
μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用ス
タンパを提供することが出来るようになった。
【００８７】請求項１９の発明によれば、サンの信号面
を平坦かやや凸面形状になるようにしたので、裏面研磨
時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実
にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジ
ェンシャル方向の面ぶれを低減する高品質の光ディスク
形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
を平坦かやや凸面形状になるようにしたので、裏面研磨
時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実
にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジ
ェンシャル方向の面ぶれを低減する高品質の光ディスク
形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
【００８８】請求項２０の発明によれば、サンの信号面
を０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにしたので、裏
面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時に
も確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及び
タンジェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する高品質
の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るよ
うになった
を０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにしたので、裏
面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時に
も確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及び
タンジェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する高品質
の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るよ
うになった
【図１】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用
スタンパとその作成装置及びその作成方法を説明する作
成工程図である。
スタンパとその作成装置及びその作成方法を説明する作
成工程図である。
【図２】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用
スタンパの作成装置の主要部を説明する説明図である。
スタンパの作成装置の主要部を説明する説明図である。
【図３】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用
スタンパの作成装置の他の主要部を説明する説明図であ
る。
スタンパの作成装置の他の主要部を説明する説明図であ
る。
【図４】本発明との比較例１を説明する説明図である。
【図５】本発明との比較例２を説明する説明図である。
【図６】本発明との比較例３を説明する説明図である。
【図７】本発明との比較例４を説明する説明図である。
【図８】従来の光ディスク複製用スタンパの主要部の加
工状態を説明する斜視図である。
工状態を説明する斜視図である。
【図９】従来の光ディスク複製用スタンパの加工時にお
ける主要部の平面度（ｍｍ）と半径位置（ｍｍ）との特
性を説明するグラフである。
ける主要部の平面度（ｍｍ）と半径位置（ｍｍ）との特
性を説明するグラフである。
０ 光ディスク複製用スタンパの作成装置 １ 光ディスク複製用スタンパ、１ａ マスター、１ａ
１ 信号面、１ｂ マザー、１ｂ１ 信号面、１ｃ サ
ン、１ｃ１ 信号面 ２ プレート ３ 座グリプレート ４ マスター用ワークホルダ、４ａ Ｏリング、４ｂ
大径Ｏリング ５ マザー用ワークホルダ、５ａ Ｏリング、５ｂ 大
径Ｏリング ６ バックプレート、６ａ 突起リング １０１ 光ディスク複製用スタンパ、１０１ａ マスタ
ー、１０１ａ１ 信号面 １０１ｂ マザー、１０１ｂ１ 信号面 １０１ｃ サン、１０１ｃ１ 信号面 １０２ プレート １０３ 座グリプレート １０７ 研磨台
１ 信号面、１ｂ マザー、１ｂ１ 信号面、１ｃ サ
ン、１ｃ１ 信号面 ２ プレート ３ 座グリプレート ４ マスター用ワークホルダ、４ａ Ｏリング、４ｂ
大径Ｏリング ５ マザー用ワークホルダ、５ａ Ｏリング、５ｂ 大
径Ｏリング ６ バックプレート、６ａ 突起リング １０１ 光ディスク複製用スタンパ、１０１ａ マスタ
ー、１０１ａ１ 信号面 １０１ｂ マザー、１０１ｂ１ 信号面 １０１ｃ サン、１０１ｃ１ 信号面 １０２ プレート １０３ 座グリプレート １０７ 研磨台
Claims (20)
- 【請求項１】 微細な凹凸パターンからなる信号面を施
してなる光ディスク複製用スタンパを作成する光ディス
ク複製用スタンパの作成方法において、光ディスク複製
用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターン
からなる信号面を凸面形状にしてから、上記マスターの
上記信号面の凸面形状による、上記光ディスク複製用ス
タンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号
面又は上記光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の
凹凸面形状を矯正するようにして、上記マスターにより
上記マザーを、上記マザーにより上記サンをそれぞれ作
成することを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作
成方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の光ディスク複製用スタン
パの作成方法において、マスターの信号面を、１．０ｍ
ｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にしたことを特徴とする光デ
ィスク複製用スタンパの作成方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の光ディスク複製用
スタンパの作成方法において、マザーの信号面を凹面形
状にしたことを特徴とする光ディスク複製用スタンパの
作成方法。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の光ディスク複
製用スタンパの作成方法において、マザーの信号面を
０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状にしたことを特徴と
する光ディスク複製用スタンパの作成方法。 - 【請求項５】 請求項１、２、３又は４記載の光ディス
ク複製用スタンパの作成方法において、マスターをプレ
ートに載置してから、上記マスターによりマザーを作成
することを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成
方法。 - 【請求項６】 請求項１、２、３又は４記載の光ディス
ク複製用スタンパの作成方法において、マザーを座グリ
プレートに載置してから、上記マザーによりサンを作成
することを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成
方法。 - 【請求項７】 請求項５記載の光ディスク複製用スタン
パの作成方法において、マスターを、平面度が０．０５
ｍｍ以下であるプレートに載置してから、上記マスター
によりマザーを作成することを特徴とする光ディスク複
製用スタンパの作成方法。 - 【請求項８】 請求項６記載の光ディスク複製用スタン
パの作成方法について、マザーを、座グリ量が０．１ｍ
ｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞ
れ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置するこ
とを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成方法。 - 【請求項９】 請求項５又は７記載の光ディスク複製用
スタンパの作成方法において、マスターを、材質がオー
テスナイト系ステンレス鋼からなるプレートに載置する
ことを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成方
法。 - 【請求項１０】 請求項６又は８記載の光ディスク複製
用スタンパの作成方法において、マザーを、材質がオー
テスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプレートに載
置することを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作
成方法。 - 【請求項１１】 微細な凹凸パターンからなる信号面の
凹凸面形状を矯正しながら光ディスク複製用スタンパを
作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置におい
て、マスターを載置するプレートと、上記プレートに載
置された上記マスターの信号面を押圧して上記信号面を
凸面形状にするマスター用ワークホルダとからなること
を特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の光ディスク複製用ス
タンパの作成装置において、マスター用ワークホルダ
は、マスターの信号面の外側を押圧して、上記信号面を
凸面形状にするＯリングからなることを特徴とする光デ
ィスク複製用スタンパの作成装置。 - 【請求項１３】 微細な凹凸パターンからなる信号面の
凹凸面形状を矯正しながら光ディスク複製用スタンパを
作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置におい
て、マザーを載置する座グリプレートと、上記座グリプ
レートに載置された上記マザーを押圧して信号面を凹面
形状にするマザー用ワークホルダとからなることを特徴
とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。 - 【請求項１４】 請求項１３記載の光ディスク複製用ス
タンパの作成装置において、マザー用ワークホルダは、
マザーを押圧して、信号面を凹面形状にするＯリングか
らなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作
成装置。 - 【請求項１５】 微細な凹凸パターンからなる信号面の
凹凸面形状を矯正しながら作成される光ディスク複製用
スタンパにおいて、マスターの信号面が凸面形状である
ことを特徴とする光ディスク複製用スタンパ。 - 【請求項１６】 請求項１５記載の光ディスク複製用ス
タンパにおいて、マスターの信号面が１．０ｍｍ〜２．
０ｍｍの凸面形状であることを特徴とする光ディスク複
製用スタンパ。 - 【請求項１７】 微細な凹凸パターンからなる信号面の
凹凸面形状を矯正しながら作成される光ディスク複製用
スタンパにおいて、マザーの信号面が凹面形状であるこ
とを特徴とする光ディスク複製用スタンパ。 - 【請求項１８】 請求項１７記載の光ディスク複製用ス
タンパにおいて、マザーの信号面が０．０ｍｍ〜０．５
ｍｍの凹面形状であることを特徴とする光ディスク複製
用スタンパ。 - 【請求項１９】 微細な凹凸パターンからなる信号面の
凹凸面形状を矯正しながら作成される光ディスク複製用
スタンパにおいて、サンの信号面が平坦か、やや凸面形
状であることを特徴とする光ディスク複製用スタンパ。 - 【請求項２０】 請求項１９記載の光ディスク複製用ス
タンパにおいて、サンの信号面が０．５ｍｍ以下の凸面
形状であることを特徴とする光ディスク複製用スタン
パ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28696098A JP3666631B2 (ja) | 1998-10-08 | 1998-10-08 | 光ディスク複製用スタンパの作成方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28696098A JP3666631B2 (ja) | 1998-10-08 | 1998-10-08 | 光ディスク複製用スタンパの作成方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000113524A true JP2000113524A (ja) | 2000-04-21 |
| JP3666631B2 JP3666631B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=17711190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28696098A Expired - Fee Related JP3666631B2 (ja) | 1998-10-08 | 1998-10-08 | 光ディスク複製用スタンパの作成方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3666631B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1628298A1 (en) * | 2003-05-29 | 2006-02-22 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Stamper substrate and process for producing the same |
| JP2006510782A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-03-30 | ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド | 重合大環状オリゴマーナノ複合材料組成物 |
-
1998
- 1998-10-08 JP JP28696098A patent/JP3666631B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006510782A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-03-30 | ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド | 重合大環状オリゴマーナノ複合材料組成物 |
| EP1628298A1 (en) * | 2003-05-29 | 2006-02-22 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Stamper substrate and process for producing the same |
| EP1628298A4 (en) * | 2003-05-29 | 2008-08-27 | Sumitomo Metal Ind | STAMPER SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
| US7641169B2 (en) | 2003-05-29 | 2010-01-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Substrate for a stamper |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3666631B2 (ja) | 2005-06-29 |
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