JP2000081701A - カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物 - Google Patents

カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物

Info

Publication number
JP2000081701A
JP2000081701A JP24946898A JP24946898A JP2000081701A JP 2000081701 A JP2000081701 A JP 2000081701A JP 24946898 A JP24946898 A JP 24946898A JP 24946898 A JP24946898 A JP 24946898A JP 2000081701 A JP2000081701 A JP 2000081701A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
spacer
ether
radiation
methyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24946898A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000081701A5 (ja
Inventor
Shoji Ogasawara
昭二 小笠原
Takanori Nakano
孝徳 中野
Masayuki Endo
昌之 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Priority to JP24946898A priority Critical patent/JP2000081701A/ja
Publication of JP2000081701A publication Critical patent/JP2000081701A/ja
Publication of JP2000081701A5 publication Critical patent/JP2000081701A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ギャップ制御用柱状スペーサーを有する保護
膜を形成するのに好適な感放射線性樹脂組成物を提供す
ること。 【解決手段】 [A](a1)不飽和カルボン酸および
/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基
含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および
(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物、の共重合
体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合
物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有するカラー
フィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用の
カラーフィルター保護膜として好適な感放射線性樹脂組
成物に関する。特にギャップ制御用柱状スペーサーを有
する保護膜を形成するのに好適な感放射線性樹脂組成物
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶パネルには2枚の基板の間隔
を一定に保つために所定の粒径を有するガラスビーズ、
プラスチックビーズ等のスペーサー粒子が使用されてい
る。これらスペーサー粒子は、ガラス基板上にランダム
に散布されるため、有効画素部内に上記スペーサーが存
在すると、スペーサーの写り込みがあったり、入射光が
散乱を受け液晶パネルのコントラストが低下するという
問題があった。これらの問題を解決するためにスペーサ
ーをフォトリソグラフィーにより形成する方法が提案さ
れた。この方法によれば、感光性樹脂を基板に塗布し所
定のマスクを介し紫外線を照射した後、現像してドット
状やストライプ状のスペーサーを形成することができ
る。これによると有効画素部以外の場所にスペーサーを
形成することができ上記問題を解決できる。さらにこの
方法では、セルギャップを感光性樹脂の塗布膜厚により
コントロールできるためギャップ幅のコントロールが容
易で、精度が高いという特徴もある。
【0003】フォトリソグラフィーによりスペーサーを
カラーフィルター上に形成する場合、カラーフィルター
保護膜とスペーサーの密着性が低く、現像時にスペーサ
ーが剥離したり、配向膜ラビング時にスペーサーが剥が
れるという問題が生じることがある。
【0004】この問題を解決する一つの手段として保護
膜とスペーサーを同時に形成する方法が提案されている
(特開平8−114809号公報参照)。この方法によ
り形成されたスペーサーは保護膜と一体化しているため
上述した問題の有効な解決策と考えられる。
【0005】カラーフィルター上に設けられた柱状スペ
ーサーを有する保護膜には、ラビングによってスペーサ
ー部が剥がれたり、削れたりして表示不良が生じないよ
うラビング耐性が高いことが求められる。
【0006】さらに、上記のスペーサーを有する保護膜
には、透明電極を成膜する時の熱により形状が変化しな
いよう耐熱寸法安定性や、液晶パネルにかかる外部圧力
により形状が変化しないよう圧縮強度が必要とされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】それ故、本発明の目的
は、ラビングにより表示不良が生じないようラビング耐
性が高く、さらに、熱により形状が変化しないよう耐熱
寸法安定性が高くそして、液晶パネルにかかる外部圧力
により形状が変化しないよう圧縮強度が高い、ギャップ
制御用柱状スペーサーを有する保護膜を形成するのに好
適な感放射線性樹脂組成物を提供することにある。本発
明の他の目的および利点は以下の説明から明らかになろ
う。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の上記目的および利点は、
【0009】[A](a1)不飽和カルボン酸および/
または不飽和カルボン酸無水物(以下、「化合物(a
1)」ともいう。)、(a2)エポキシ基含有不飽和化
合物(以下、「化合物(a2)」ともいう。)および
(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン
系不飽和化合物(以下、「化合物(a3)」ともい
う。)、の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有
する重合性化合物(以下、「重合性化合物[B]」とも
いう。)、並びに[C]感放射線重合開始剤(以下、
「重合開始剤[C]」ともいう。)を含有することを特
徴とするカラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成
物により達成される。
【0010】以下、本発明のカラーフィルター保護膜用
感放射線性樹脂組成物について詳述する。本発明のカラ
ーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物は、上記の
とおり、共重合体[A]、重合性化合物[B]および重
合開始剤[C]からなることを特徴とする。
【0011】共重合体[A] 共重合体[A]は、化合物(a1)、化合物(a2)お
よび化合物(a3)を溶媒中で、重合開始剤の存在下に
ラジカル重合することによって製造することができる。
【0012】本発明で用いられる共重合体[A]は、化
合物(a1)から誘導される構成単位を、好ましくは3
〜25重量%、特に好ましくは5〜20重量%含有して
いる。この構成単位が3重量%未満である共重合体は、
アルカリ水溶液に溶解しにくくなり、一方25重量%を
超える共重合体はアルカリ水溶液に対する溶解性が大き
くなりすぎる傾向にあり、保護膜の膜厚およびスペーサ
ーの高さのコントロールが困難になる。化合物(a1)
としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸などのモノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シト
ラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン
酸;およびこれらジカルボン酸の無水物が挙げられる。
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイ
ン酸などが共重合反応性、アルカリ水溶液に対する溶解
性および入手が容易である点から好ましく用いられる。
これらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
【0013】本発明で用いられる共重合体[A]は、化
合物(a2)から誘導される構成単位を、好ましくは1
0〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量%含有
している。この構成単位が10重量%未満の場合は得ら
れるスペーサーの強度が低下する傾向にあり、一方70
重量%を超える場合は共重合体の保存安定性が低下する
傾向にある。
【0014】化合物(a2)としては、例えばアクリル
酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルア
クリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリ
シジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリ
ル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−
エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチ
ル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エ
チルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエー
テルなどが挙げられる。これらのうち、メタクリル酸グ
リシジル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、
o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシ
ジルエーテルなどが共重合反応性および得られるスペー
サーの強度を高める点から好ましく用いられる。これら
は、単独であるいは組み合わせて用いられる。
【0015】本発明で用いられる共重合体[A]は、化
合物(a3)から誘導される構成単位を、好ましくは1
0〜70重量%、特に好ましくは20〜50重量%含有
している。この構成単位が10重量%未満の場合は、共
重合体[A]の保存安定性が低下する傾向にあり、一方
70重量%を超える場合は共重合体[A]がアルカリ水
溶液に溶解しにくくなる。
【0016】化合物(a3)としては、例えばメチルメ
タクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタ
クリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチ
ルメタクリレートなどのメタクリル酸アルキルエステ
ル;メチルアクリレート、イソプロピルアクリレートな
どのアクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシルメタ
クリレート、2−メチルシクロヘキシルメタクリレー
ト、ジシクロペンタニルメタクリレート、ジシクロペン
タニルオキシエチルメタクリレート、イソボロニルメタ
クリレートなどのメタクリル酸環状アルキルエステル;
シクロヘキシルアクリレート、2−メチルシクロヘキシ
ルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジ
シクロペンタオキシエチルアクリレート、イソボロニル
アクリレートなどのアクリル酸環状アルキルエステル;
フェニルメタクリレート、ベンジルメタクリレートなど
のメタクリル酸アリールエステル;フェニルアクリレー
ト、ベンジルアクリレートなどのアクリル酸アリールエ
ステル;マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタ
コン酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル;2−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ルメタクリレートなどのヒドロキシアルキルエステル;
およびスチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチ
レン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メト
キシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メ
タクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イ
ソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエンなどが
挙げられる。
【0017】これらのうち、スチレン、t−ブチルメタ
クリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、p−
メトキシスチレン、2−メチルシクロヘキシルアクリレ
ート、1,3−ブタジエンなどが共重合反応性およびア
ルカリ水溶液に対する溶解性の点から好ましい。これら
は、単独であるいは組み合わせて用いられる。
【0018】上記のように本発明で用いられる共重合体
[A]は、カルボキシル基および/またはカルボン酸無
水物基ならびにエポキシ基とを有しており、アルカリ水
溶液に対して適切な溶解性を有するとともに、特別な硬
化剤を併用しなくとも加熱により容易に硬化させること
ができる。
【0019】上記の共重合体[A]を含む感放射線性樹
脂組成物は、現像する際に良好なアルカリ溶解性を示
し、また膜べりすることなく、容易に所定パターンの保
護膜とスペーサーを備えたカラーフィルター保護膜を形
成することができる。
【0020】共重合体[A]の製造に用いられる溶媒と
しては、具体的には、例えばメタノール、エタノールな
どのアルコール類;テトラヒドロフランなどのエーテル
類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテ
ル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテル
アセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチ
ルエーテルなどのジエチレングリコール類;プロピレン
グリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチ
ルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、
プロピレングリコールブチルエーテルなどのプロピレン
グリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
エチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロ
ピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチル
エーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類;プロピレングリコールメチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピ
ルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチ
ルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコール
アルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレンな
どの芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘ
キサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノ
ンなどのケトン類;および酢酸メチル、酢酸エチル、酢
酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸
エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチ
ル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、
ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロ
キシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピ
ル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、
3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプ
ロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチ
ル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メト
キシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プ
ロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エ
トキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢
酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチ
ル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、
ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢
酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピ
オン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−
メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオ
ン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エ
トキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸
プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブト
キシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エ
チル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキ
シプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチ
ル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチ
ル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシ
プロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチ
ル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポ
キシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メ
チル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシ
プロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチ
ルなどのエステル類が挙げられる。
【0021】共重合体[A]の製造に用いられる重合開
始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知ら
れているものが使用でき、例えば2,2’−アゾビスイ
ソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメ
チルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メ
トキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)などのアゾ
化合物;ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキ
シド、t−ブチルペルオキシピバレート、1,1’−ビ
ス−(t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンなどの有
機過酸化物;および過酸化水素が挙げられる。ラジカル
重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、過酸化物
を還元剤とともに用いてレドックス型開始剤としてもよ
い。
【0022】本発明で用いられる共重合体[A]は、ポ
リスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う)が、通常、2×103〜5×105、好ましくは5×
103〜1×105であることが望ましい。Mwが2×1
3未満であると、得られる被膜は、現像性、残膜率な
どが低下したり、またパターン形状、耐熱性などに劣る
ことがあり、一方5×105を超えると、アルカリ溶解
性が低下しすぎたりパターン形状に劣ることがある。
【0023】重合性化合物[B] 本発明で用いられる重合性化合物[B]としては、単官
能、2官能または3官能以上の(メタ)アクリレート
が、重合性が良好であり、得られるスペーサーの強度が
向上する点から好ましく用いられる。
【0024】上記単官能(メタ)アクリレートとして
は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、カルビトール(メタ)アクリレート、イソボルニル
(メタ)アクリレート、3−メトキシブチル(メタ)ア
クリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−
2−ヒドロキシプロピルフタレートなどが挙げられ、そ
の市販品としては、例えばアロニックスM−101、同
M−111、同M−114(東亜合成化学工業(株)
製)、KAYARAD TC−110S、同TC−12
0S(日本化薬(株)製)、ビスコート158、同23
11(大阪有機化学工業(株)製)が挙げられる。
【0025】上記2官能(メタ)アクリレートとして
は、例えばエチレングリコール(メタ)アクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,
9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキ
シエタノールフルオレンジアクリレートなどが挙げら
れ、その市販品としては、例えばアロニックスM−21
0、同M−240、同M−6200(東亜合成化学工業
(株)製)、KAYARAD HDDA、同HX−22
0、同R−604(日本化薬(株)製)、ビスコート2
60、同312、同335HP(大阪有機化学工業
(株)製)などが挙げられる。
【0026】上記3官能以上の(メタ)アクリレートと
しては、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)ア
クリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ
レート、トリ((メタ)アクリロイロキシエチル)フォ
スフェート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アク
リレートなどが挙げられ、その市販品としては、例えば
アロニックスM−309、同M−400、同M−40
2、同M−405、同M−450、同M−7100、同
M−8030、同M−8060(東亜合成化学工業
(株)製)、KAYARAD TMPTA、同DPH
A、同DPCA−20、同DPCA−30、同DPCA
−60、同DPCA−120(日本化薬(株)製)、ビ
スコート295、同300、同360、同GPT、同3
PA、同400(大阪有機化学工業(株)製)などが挙
げられる。これらの単官能、2官能または3官能以上の
(メタ)アクリレートは、単独であるいは組み合わせて
用いられる。
【0027】重合開始剤[C] 本発明において重合開始剤[C]としては、感放射線ラ
ジカル重合開始剤、感放射線カチオン重合開始剤などを
使用することができる。
【0028】これら重合開始剤の使用に際しては、放射
線照射条件が酸素雰囲気下であるか、無酸素雰囲気下で
あるかを考慮することが必要である。放射線照射を無酸
素雰囲気下で行う場合には、一般的なあらゆる種類の感
放射線ラジカル重合開始剤および感放射線カチオン重合
開始剤を使用することができる。一方、酸素雰囲気下で
放射線照射を行うときには、感放射線ラジカル重合開始
剤の種類によっては、酸素によりラジカルが失活し、感
度の低下が起こり、スペーサーとなる放射線照射部分の
残膜率、圧縮強度などが充分に得られない場合があり、
感放射線ラジカル重合開始剤を選択して使用する必要が
ある。しかし、感放射線カチオン重合開始剤は、酸素に
よる活性種の失活はほとんどなく、酸素雰囲気下でも、
無酸素雰囲気下でも区別なく自由に使用できる。
【0029】感放射線ラジカル重合開始剤としては、例
えばベンジル、ジアセチルなどのα−ジケトン類;ベン
ゾインなどのアシロイン類;ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピ
ルエーテルなどのアシロインエーテル類;チオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサントン
−4−スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどのベンゾフェノ
ン類;アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェ
ノン、α,α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノ
ン、2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プ
ロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンなど
のアセトフェノン類;アントラキノン、1,4−ナフト
キノンなどのキノン類;フェナシルクロライド、トリブ
ロモメチルフェニルスルホン、トリス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジンなどのハロゲン化合物;2,4,6
−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイ
ドなどのアシルホスフィンオキサイド;およびジ−t−
ブチルパーオキサイドなどの過酸化物が挙げられる。
【0030】この感放射線ラジカル重合開始剤の市販品
としては、たとえばIRGACURE−184、同36
9、同500、同651、同907、同1700、同8
19、同1000、同2959、同149、同180
0、同1850、Darocur−1173、同111
6、同2959、同1664、同4043(チバ・スペ
シャルティ・ケミカルズ社製)、KAYACURE−D
ETX 、同 MBP、同 DMBI 、同 EPA、
同 OA(日本化薬(株)製)、VICURE−10、
同55(STAUFFER Co.LTD 製)、TR
IGONALP1(AKZO Co.LTD 製)、S
ANDORAY 1000(SANDOZCo.LTD
製)、DEAP(APJOHN Co.LTD
製)、QUANTACURE−PDO、同 ITX、同
EPD(WARD BLEKINSOP Co.LT
D 製)等が挙げられる。
【0031】さらに、感放射線カチオン重合開始剤とし
ては、例えばフェニルジアゾニウムテトラフルオロボレ
ート、フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスホネー
ト、フェニルジアゾニウムヘキサフルオロアルセネー
ト、フェニルジアゾニウムトリフルオロメタンスルホナ
ート、フェニルジアゾニウムトリフルオロアセテート、
フェニルジアゾニウム−p−トルエンスルホナ塩類;お
よび(1−6−η−クメン)(η−シクロペンタジエニ
ル)鉄(1+)六フッ化リン酸(1−)などのメタロセ
ン化合物が挙げられる。
【0032】この感放射線カチオン重合開始剤の市販品
としては、例えばジアゾニウム塩であるアデカウルトラ
セットPP−33(旭電化工業(株)製)、スルホニウ
ム塩であるOPTOMER SP−150、同−170
(旭電化工業(株)製)、およびメタロセン化合物であ
るIrgacure261(チバ・スペシャルティ・ケ
ミカルズ社製)などが挙げられる。
【0033】また、これら感放射線ラジカル重合開始剤
または感放射線カチオン重合開始剤と感放射線増感剤と
を併用することによって酸素による失活の少ない、高感
度の感放射線性樹脂組成物を得ることも可能である。使
用される放射線としては、可視光線、紫外線、遠紫外
線、電子線、X線等を使用できるが、波長が190〜4
50nmの範囲にある放射線が好ましく、特に360n
mの放射線(紫外線)が好ましい。
【0034】感放射線性樹脂組成物 本発明の感放射線性樹脂組成物は、上記の共重合体
[A]、重合性化合物[B]および重合開始剤[C]の
各成分を均一に混合することによって調製される。通
常、本発明の感放射線性樹脂組成物は、適当な溶媒に溶
解されて溶液状態で用いられる。例えば共重合体
[A]、重合性化合物[B]、重合開始剤[C]および
その他の配合剤を、所定の割合で混合することにより、
溶液状態の感放射線性樹脂組成物を調製することができ
る。
【0035】本発明の感放射線性樹脂組成物は、共重合
体[A]100重量部に対して、重合性化合物[B]
を、好ましくは10〜150重量部、より好ましくは2
0〜120重量部、および重合開始剤[C]を、好まし
くは1〜50重量部、より好ましくは5〜30重量部の
割合で含有している。
【0036】重合性化合物[B]が10重量部未満の場
合は得られるスペーサーの膜べりや強度の低下を生じや
すく、150重量部を超える場合は得られるスペーサー
と保護膜の膜厚のコントロールが困難になる。また重合
開始剤[C]の量が1重量部未満の場合は得られるスペ
ーサーの膜べりや強度の低下を生じやすく、50重量部
を超える場合は液晶中への溶出物が増加し電圧保持率が
低下しやすい。
【0037】本発明の感放射線性樹脂組成物の調製に用
いられる溶媒としては、共重合体[A]、重合性化合物
[B]および重合開始剤[C]の各成分を均一に溶解
し、各成分と反応しないものが用いられる。
【0038】具体的には、例えばメタノール、エタノー
ルなどのアルコール類;テトラヒドロフランなどのエー
テル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエ
ーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエー
テルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテルなどのジエチレン
グリコール類;プロピレングリコールメチルエーテル、
プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリ
コールプロピルエーテル、プロピレングリコールブチル
エーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエー
テル類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、
プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プ
ロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのプ
ロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プ
ロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プ
ロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プ
ロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、
プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートな
どのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート
類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;メチ
ルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−
4−メチル−2−ペンタノンなどのケトン類;および酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2
−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2
−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メ
チルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒド
ロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチ
ル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒド
ロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン
酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−
ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオ
ン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−
ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエステル類が挙げら
れる。
【0039】これらの溶剤の中で、溶解性、各成分との
反応性および塗膜の形成のしやすさから、グリコールエ
ーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテ
ート類、エステル類およびジエチレングリコール類が好
ましく用いられる。
【0040】さらに前記溶媒とともに高沸点溶媒を併用
することもできる。併用できる高沸点溶媒としては、例
えばN−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルム
アミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセト
アミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピ
ロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエー
テル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソ
ホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、
1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、
安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテートなどが挙げられる。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、本発明の目的を損な
わない範囲で、必要に応じて上記以外に他の成分を含有
していてもよい。
【0041】ここで、他の成分としては、塗布性を向上
するための界面活性剤を挙げることができる。その市販
品としては、例えばBM−1000、BM−1100
(BMCHEMIE社製)、メガファックF142D、
同F172、同F173、同F183(大日本インキ化
学工業(株)製)、フロラードFC−135、同FC−
170C、同FC−430、同FC−431(住友スリ
ーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−11
3、同S−131、同S−141、同S−145、同S
−382、同SC−101、同SC−102、同SC−
103、同SC−104、同SC−105、同SC−1
06(旭硝子(株)製)、エフトップEF301、同3
03、同352(新秋田化成(株)製)、SH−28P
A、SH−190、SH−193、SZ−6032、S
F−8428、DC−57、DC−190(東レシリコ
ーン(株)製)などフッ素およびシリコーン系界面活性
剤が挙げられる。
【0042】その他にも、ポリオキシエチレンラウリル
エーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル
類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチ
レンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキ
ルエステル類などのノニオン系界面活性剤;オルガノシ
ロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)
製)、(メタ)アクリル酸系共重合体ポリフローNo.
57、95(共栄社油脂化学工業(株)製)などが挙げ
られる。
【0043】これらの界面活性剤は、共重合体[A]1
00重量部に対して、好ましくは5重量部以下、より好
ましくは2重量部以下で用いられる。界面活性剤の量が
5重量部を超える場合は、塗布時の膜あれが生じやすく
なる。
【0044】また基体との接着性を向上させるために接
着助剤を使用することもできる。このような接着助剤と
しては、官能性シランカップリング剤が好ましく使用さ
れ、例えばカルボキシル基、メタクリロイル基、イソシ
アネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有するシ
ランカップリング剤が挙げられる。具体的にはトリメト
キシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリ
メトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニル
トリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリ
エトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エ
チルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【0045】このような接着助剤は、共重合体[A]1
00重量部に対して、好ましくは20重量部以下、より
好ましくは10重量部以下の量で用いられる。接着助剤
の量が20重量部を超える場合は、現像残りが生じやす
くなる。また上記のように調製された組成物溶液は、孔
径0.5μm程度のミリポアフィルタなどを用いて濾過
した後、使用に供することもできる。
【0046】スペーサーを有する保護膜の形成 本発明の感放射線性樹脂組成物によりスペーサーを有す
る保護膜を形成するには、該組成物を下地基板表面に塗
布し、プレベークにより溶媒を除去することによって塗
膜を形成する。このときプレベークの温度、時間を調整
することで保護膜の膜厚をコントロールすることもでき
る。
【0047】次に所定のマスクを介してスペーサー部の
みを露光後、スペーサーおよび保護膜が所定の膜厚にな
るように使用する現像液の種類、現像液濃度、現像時
間、現像方法を選択し現像する。その後ポストベークを
行い塗膜を硬化させる。ポストベークの前に全面を露光
し未架橋の保護膜部を光架橋させてもよい。また、スペ
ーサー部を露光した後、スペーサー部よりも低い露光量
で保護膜部を露光してもよい。
【0048】本発明の感放射線性樹脂組成物の塗布方法
として、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布
法などの各種の方法を採用することができる。また、プ
レベークの条件は、各成分の種類、配合割合などによっ
ても異なるが、通常70〜120℃で1〜15分間程度
である。次にプレベークされた塗膜に所定パターンマス
クを介して紫外線などの放射線を照射し、さらに現像液
により現像し、不要な部分を除去して所定パターンを形
成する。現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワ
ー法などのいずれでもよく、現像時間は通常10〜18
0秒間である。
【0049】上記現像液としては、アルカリ水溶液、例
えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモ
ニアなどの無機アルカリ類;エチルアミン、n−プロピ
ルアミンなどの1級アミン類;ジエチルアミン、ジ−n
−プロピルアミンなどの2級アミン類;トリメチルアミ
ン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、ト
リエチルアミンなどの3級アミン類;ジメチルエタノー
ルアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノール
アミンなどの3級アミン類;ピロール、ピペリジン、N
−メチルピペリジン、N−メチルピロリジン、1,8−
ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5
−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネンなどの環状
3級アミン類;ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリ
ンなどの芳香族3級アミン類;テトラメチルアンモニウ
ムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシ
ドなどの4級アンモニウム塩の水溶液を使用することが
できる。また上記アルカリ水溶液に、メタノール、エタ
ノールなどの水溶性有機溶媒および/または界面活性剤
を適当量添加した水溶液を現像液として使用することも
できる。
【0050】現像後、流水洗浄を30〜90秒間行い、
さらに圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、
スペーサーを有する保護膜が形成される。その後このパ
ターンを、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置に
より、所定温度、例えば150〜250℃で、所定時
間、例えばホットプレート上なら5〜30分間、オーブ
ン中では30〜90分間加熱処理をすることにより目的
とするスペーサーを有する保護膜を得ることができる。
【0051】
【実施例】以下に合成例、実施例および比較例を示し
て、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下
の実施例に限定されるものではない。
【0052】合成例1 冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7重量部および
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル200重量
部を仕込んだ。引き続きスチレン25重量部、メタクリ
ル酸10重量部、メタクリル酸ジシクロペンタニル20
重量部、メタクリル酸およびグリシジル45重量部を仕
込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の
温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重
合体[A−1]を含む重合体溶液を得た。得られた重合
体溶液の固形分濃度は33.0重量%であり、重合体の
重量平均分子量は、24,000であった(重量平均分
子量はGPC(ゲルパーミエイションクロマトグラフィ
ー) HLC−8020(東ソー(株)製)を用いて測
定したポリスチレン換算分子量である)。
【0053】合成例2 冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7重量部および
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル200重量
部を仕込んだ。引き続きスチレン21重量部、メタクリ
ル酸16重量部、メタクリル酸ジシクロペンタニル18
重量部およびメタクリル酸グリシジル45重量部を仕込
み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温
度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合
体[A−2]を含む重合体溶液を得た。得られた重合体
溶液の固形分濃度は33.2重量%であり、重合体の重
量平均分子量は、27,000であった。
【0054】合成例3 冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部および
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル150重量
部を仕込んだ。引き続きスチレン21重量部、メタクリ
ル酸16重量部、メタクリル酸ジシクロペンタニル18
重量部およびメタクリル酸グリシジル40重量部を仕込
み窒素置換した後、さらに1,3−ブタジエンを5重量
部仕込みゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を70℃
に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体[A−
3]を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固
形分濃度は32.5重量%であり、重合体の重量平均分
子量は、30,000であった。
【0055】実施例1 感放射線性樹脂組成物の調製 合成例1で得られた共重合体[A−1] 100重量部
(固形分)と、成分[B]としてのKAYARAD D
PHA(日本化薬(株)製)50重量部と、成分[C]
としての2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニ
ル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(イルガキ
ュア907;チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社
製)30重量部とを混合し、固形分濃度が33重量%に
なるようにジエチレングリコールメチルエチルエーテル
に溶解させた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで
濾過して感放射線性樹脂組成物の溶液(S−1)を調製
した。
【0056】(I)スペーサー付き保護膜の形成 ガラス基板上にスピンナーを用いて、上記組成物溶液
(S−1)を塗布した後、90℃で3分間ホットプレー
ト上でプレベークして塗膜を形成した。上記で得られた
塗膜に所定パターンマスクを用いて、365nmでの強
度が10mW/cm2である紫外線をスペーサー部に3
0秒間照射した。この際の紫外線照射は酸素雰囲気下
(空気中)で行った。次いでテトラメチルアンモニウム
ヒドロキシド0.1重量%水溶液で25℃で90秒間現
像した後、純水で1分間リンスした。これらの操作によ
り、パターン底部が12μm×12μm角のスペーサー
パターンを形成することができた。次いで、365nm
での強度が10mW/cm2である紫外線を全面に30
秒間照射した。
【0057】上記で形成されたスペーサー付き薄膜をオ
ーブン中で220℃で60分間加熱し硬化させスペーサ
ーの高さ3.5μmで保護膜の膜厚が1.5μmのスペ
ーサー付き薄膜を得た(ここでのスペーサーの高さとは
保護膜上面からスペーサー上部までの高さを言う)。
【0058】(II)スペーサー強度の評価 上記(I)で得られたスペーサー付き薄膜のスペーサー
部の圧縮強度を微小圧縮試験機(MCTM−200、島
津製作所製)を用いて評価した。直径50μmの平面圧
子により、一定速度でスペーサー部に荷重を加え(0.
27gf/sec.)、スペーサーに割れ、破壊が生じ
たときの荷重(破壊荷重)、歪み(破壊歪み:破壊時の
圧縮変位をスペーサー高で割った値を%で表したもの)
を測定した(測定温度:23℃)。結果を表1に示す。
【0059】(III)スペーサー付き薄膜の断面形状の
評価 上記(I)で形成したスペーサー付き薄膜の断面形状を
走査型電子顕微鏡で観察した。断面形状の評価基準を図
1に示す。形状がAやBのように長方形あるいは台形の
スペーサーが薄膜上に形成された場合を良好(○)と
し、Cのようにスペーサー部と薄膜の境界部に歪みが生
じたり、Dのように薄膜部に膜荒れが見られたときは不
良(×)とした。
【0060】(IV)耐熱変形の評価 上記(I)で形成したスペーサー付き薄膜パターンをオ
ーブン中、250℃で60分加熱した。スペーサーの高
さおよび保護膜部膜厚の寸法変化率が加熱前後で5%以
内で断面形状に変化がない時を○、寸法変化率が5%を
越える時、あるいは、パターンの断面形状が上記(II
I)においてA,B以外に変形したときを×とした。
【0061】(V)透明性の評価 分光光度計(150−20型ダブルビーム(日立製作所
(株)製))を用いて保護膜部の400〜800nmの透
過率を測定した。このとき最低透過率が97%を超えた
場合を[○]、90〜97%の場合を[△]、90%未
満の場合を[×]とした。
【0062】(VI)耐熱変色性の評価 測定基板を250℃のオーブンで1時間加熱し、加熱前
後における保護膜部の透過率の変化により耐熱変色性を
評価した。このときの変化率が5%未満である場合を
[○]、5〜10%である場合を[△]、10%を超え
た場合を[×]とした。なお透過率は(V)透明性の評
価と同様にして求めた。
【0063】(VII)密着性の評価 プレッシャークッカー試験(120℃、湿度100%、
4時間)後の碁盤目テープ剥離試験により評価した。評
価結果は碁盤目100個中、残った碁盤目の数で表し
た。
【0064】(VIII)ラビング耐性の評価 上記(I)で得られた基板に、液晶配向剤としてAL30
46(ジェイ・エス・アール製)を液晶配向膜塗布用印
刷機により塗布し、180℃で1時間乾燥し、乾燥膜厚
0.05μmの塗膜を形成した。この塗膜に、ナイロン
製の布を巻き付けたロールを有するラビングマシーンに
より、ロールの回転数500rpm、ステージの移動速
度1cm/秒でラビング処理を行った。この時、スペー
サーパターンが剥がれたり、スペーサーが削られてスペ
ーサー高が低くなった場合を不良(×)、剥がれや、削
れがなかった場合を良好(○)としてラビング耐性の評
価を行った。
【0065】実施例2 実施例1において、成分[C]としての2−メチル−1
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ
プロパン−1−オン(イルガキュア907;チバ・スペ
シャルティー・ケミカルズ社製)30重量部の代わりに
ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフ
ォスフィンオキサイド(イルガキュア819;チバ・ス
ペシャルティー・ケミカルズ社製)25重量部を使用し
た他は、実施例1と同様にして組成物溶液(S−2)を
調製し評価した。結果を表1に示す。
【0066】実施例3 実施例2において、共重合体[A−1]の代わりに共重
合体[A−2]を用いた他は、実施例2と同様にして組
成物溶液(S−3)を調製し、評価した。結果を表1に
示す。
【0067】実施例4 実施例1において、共重合体[A−1]の代わりに共重
合体[A−3]を用いた他は、実施例2と同様にして組
成物溶液(S−4)を調製し評価した。結果を表1に示
す。
【0068】実施例5 実施例2において、スペーサー部の露光に次いで、36
5nmでの強度が10mW/cm2である紫外線を全面
に3秒間照射した他は、実施例2と同様の処理を行いス
ペーサー付き保護膜を得た。結果を表1に示す。
【0069】実施例6 実施例2において、現像時間を60秒とした他は、実施
例2と同様の処理を行いスペーサー付き保護膜を得た。
結果を表1に示す。
【0070】
【表1】
【0071】
【発明の効果】本発明によれば、ラビングにより表示不
良が生じないようラビング耐性が高く、さらに、熱によ
り形状の変化や変色がないよう耐熱性や、液晶パネルに
かかる外部圧力により形状が変化しないよう圧縮強度の
高い、ギャップ制御用柱状スペーサーを有する保護膜を
形成するのに好適な感放射線性樹脂組成物を得ることが
できる。本発明の組成物はカラーフィルターのスペーサ
ー付き保護膜以外にも、薄膜トランジスタ(TFT)型
液晶表示素子に層状に配置される配線の間を絶縁するた
めの層間絶縁膜(ギャップ制御用柱状スペーサーを有す
る)としても使用できる。また、TFT液晶表示素子の
層間絶縁膜を着色層で形成する場合においては、本発明
の組成物を使用してギャップ制御用柱状スペーサーを有
する保護膜を着色層からなる層間絶縁膜上に形成するこ
とが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】スペーサーを有する保護膜の断面形状を示した
説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 昌之 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA00 AA10 AB13 AC04 AD01 BC12 BC31 CB06 CB08 CB43 2H048 BB37 BB42 4J011 QA03 QA12 QA13 QA22 QA23 QA34 QB02 QB03 QB16 QB19 RA11 RA12 SA01 SA21 SA41 SA63 SA76 SA90 TA07 UA01 UA03 UA04 UA06 VA01 WA01

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 [A](a1)不飽和カルボン酸および
    /または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基
    含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および
    (a2)以外のオレフィン系不飽和化合物、の共重合
    体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合
    物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有することを
    特徴とするカラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組
    成物。
JP24946898A 1998-09-03 1998-09-03 カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物 Pending JP2000081701A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24946898A JP2000081701A (ja) 1998-09-03 1998-09-03 カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24946898A JP2000081701A (ja) 1998-09-03 1998-09-03 カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000081701A true JP2000081701A (ja) 2000-03-21
JP2000081701A5 JP2000081701A5 (ja) 2005-06-30

Family

ID=17193416

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24946898A Pending JP2000081701A (ja) 1998-09-03 1998-09-03 カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000081701A (ja)

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001222107A (ja) * 2000-02-10 2001-08-17 Dainippon Printing Co Ltd パターン形成用の感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ
JP2002303976A (ja) * 2001-04-04 2002-10-18 Jsr Corp 感放射線性組成物、スペーサーおよびカラー液晶表示装置
WO2005109100A1 (ja) * 2004-05-06 2005-11-17 Jsr Corporation 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP2006098947A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタおよびそれを用いた表示装置
JP2007094164A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Dainippon Printing Co Ltd 液晶表示装置用硬化膜
JP2007102070A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 Jsr Corp スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP2007114457A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Toppan Printing Co Ltd 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
JP2007121389A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Toppan Printing Co Ltd 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
JP2008026430A (ja) * 2006-07-19 2008-02-07 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2008075011A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Dainippon Printing Co Ltd 光硬化性樹脂組成物
WO2008090640A1 (ja) 2007-01-23 2008-07-31 Fujifilm Corporation オキシム化合物、感光性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示素子
WO2008138732A1 (en) 2007-05-11 2008-11-20 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2010108835A1 (en) 2009-03-23 2010-09-30 Basf Se Photoresist composition
EP2402315A1 (en) 2007-05-11 2012-01-04 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2012045736A1 (en) 2010-10-05 2012-04-12 Basf Se Oxime ester derivatives of benzocarbazole compounds and their use as photoinitiators in photopolymerizable compositions
WO2012101245A1 (en) 2011-01-28 2012-08-02 Basf Se Polymerizable composition comprising an oxime sulfonate as thermal curing agent
WO2012113829A1 (en) 2011-02-23 2012-08-30 Basf Se Sulfonium sulfates, their preparation and use
WO2013083505A1 (en) 2011-12-07 2013-06-13 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2013156509A2 (en) 2012-04-19 2013-10-24 Basf Se Sulfonium compounds, their preparation and use
WO2013167515A1 (en) 2012-05-09 2013-11-14 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2015004565A1 (en) 2013-07-08 2015-01-15 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2015036910A1 (en) 2013-09-10 2015-03-19 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US9051397B2 (en) 2010-10-05 2015-06-09 Basf Se Oxime ester
WO2016124493A1 (en) 2015-02-02 2016-08-11 Basf Se Latent acids and their use
US10487050B2 (en) 2014-08-29 2019-11-26 Basf Se Oxime sulfonate derivatives
WO2020152120A1 (en) 2019-01-23 2020-07-30 Basf Se Oxime ester photoinitiators having a special aroyl chromophore
WO2021175855A1 (en) 2020-03-04 2021-09-10 Basf Se Oxime ester photoinitiators

Cited By (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001222107A (ja) * 2000-02-10 2001-08-17 Dainippon Printing Co Ltd パターン形成用の感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ
JP2002303976A (ja) * 2001-04-04 2002-10-18 Jsr Corp 感放射線性組成物、スペーサーおよびカラー液晶表示装置
JPWO2005109100A1 (ja) * 2004-05-06 2008-03-21 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
WO2005109100A1 (ja) * 2004-05-06 2005-11-17 Jsr Corporation 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP4650638B2 (ja) * 2004-05-06 2011-03-16 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP2006098947A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタおよびそれを用いた表示装置
JP4531511B2 (ja) * 2004-09-30 2010-08-25 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法
JP2007094164A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Dainippon Printing Co Ltd 液晶表示装置用硬化膜
JP4736679B2 (ja) * 2005-09-29 2011-07-27 大日本印刷株式会社 液晶表示装置用硬化膜
JP2007102070A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 Jsr Corp スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP4650630B2 (ja) * 2005-10-07 2011-03-16 Jsr株式会社 スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP2007114457A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Toppan Printing Co Ltd 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
JP2007121389A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Toppan Printing Co Ltd 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
JP2008026430A (ja) * 2006-07-19 2008-02-07 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2008075011A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Dainippon Printing Co Ltd 光硬化性樹脂組成物
WO2008090640A1 (ja) 2007-01-23 2008-07-31 Fujifilm Corporation オキシム化合物、感光性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示素子
WO2008138732A1 (en) 2007-05-11 2008-11-20 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP2402315A1 (en) 2007-05-11 2012-01-04 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2010108835A1 (en) 2009-03-23 2010-09-30 Basf Se Photoresist composition
US8916621B2 (en) 2009-03-23 2014-12-23 Basf Se Photoresist compositions
WO2012045736A1 (en) 2010-10-05 2012-04-12 Basf Se Oxime ester derivatives of benzocarbazole compounds and their use as photoinitiators in photopolymerizable compositions
US9051397B2 (en) 2010-10-05 2015-06-09 Basf Se Oxime ester
WO2012101245A1 (en) 2011-01-28 2012-08-02 Basf Se Polymerizable composition comprising an oxime sulfonate as thermal curing agent
WO2012113829A1 (en) 2011-02-23 2012-08-30 Basf Se Sulfonium sulfates, their preparation and use
WO2013083505A1 (en) 2011-12-07 2013-06-13 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US9365515B2 (en) 2011-12-07 2016-06-14 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2013156509A2 (en) 2012-04-19 2013-10-24 Basf Se Sulfonium compounds, their preparation and use
US9631048B2 (en) 2012-04-19 2017-04-25 Basf Se Sulfonium compounds, their preparation and use
US9864273B2 (en) 2012-05-09 2018-01-09 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP3354641A1 (en) 2012-05-09 2018-08-01 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP2963015A1 (en) 2012-05-09 2016-01-06 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP2963014A1 (en) 2012-05-09 2016-01-06 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US11209733B2 (en) 2012-05-09 2021-12-28 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US11209734B2 (en) 2012-05-09 2021-12-28 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US10488756B2 (en) 2012-05-09 2019-11-26 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2013167515A1 (en) 2012-05-09 2013-11-14 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US11204554B2 (en) 2012-05-09 2021-12-21 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP2963016A1 (en) 2012-05-09 2016-01-06 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2015004565A1 (en) 2013-07-08 2015-01-15 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US9957258B2 (en) 2013-09-10 2018-05-01 Basf Se Oxime ester photoinitiators
WO2015036910A1 (en) 2013-09-10 2015-03-19 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US10793555B2 (en) 2013-09-10 2020-10-06 Basf Se Oxime ester photoinitiators
US10487050B2 (en) 2014-08-29 2019-11-26 Basf Se Oxime sulfonate derivatives
US9994538B2 (en) 2015-02-02 2018-06-12 Basf Se Latent acids and their use
WO2016124493A1 (en) 2015-02-02 2016-08-11 Basf Se Latent acids and their use
WO2020152120A1 (en) 2019-01-23 2020-07-30 Basf Se Oxime ester photoinitiators having a special aroyl chromophore
WO2021175855A1 (en) 2020-03-04 2021-09-10 Basf Se Oxime ester photoinitiators

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000081701A (ja) カラーフィルター保護膜用感放射線性樹脂組成物
JPH11133600A (ja) 表示パネルスペーサー用感放射線性樹脂組成物
JP4650638B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
JP2961722B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物
JP2000347397A (ja) 感放射線性樹脂組成物およびその層間絶縁膜への使用
JP2001354822A5 (ja)
JP3991349B2 (ja) 熱硬化性樹脂組成物
JP2003066604A (ja) スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサーおよび液晶表示素子
JP4117668B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物
JP3484808B2 (ja) 層間絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物並びに層間絶縁膜およびその製造方法
TWI387850B (zh) 感放射線性樹脂組合物、突起、間隔物、垂直配向型液晶顯示元件、以及突起及/或間隔物之形成方法
JP4539165B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法、並びに液晶表示素子
JP3981968B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物
JP4306060B2 (ja) スペーサー用感放射線性樹脂組成物およびスペーサー
JP4748323B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法
JP3101986B2 (ja) 耐熱性感放射線性樹脂組成物
JP3575095B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物およびそれから形成された光デバイス用保護膜
JP2000327875A (ja) カラーフィルター保護膜またはtft層間絶縁膜と一体となったスペーサー用感放射線性樹脂組成物
JP2001261761A (ja) 感放射線性樹脂組成物および表示パネル用スペーサー
JP4660990B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物、それから形成された突起材およびスペーサー、ならびにそれらを具備する液晶表示素子
JP4016893B2 (ja) 表示パネル用スペーサーの形成に使用される感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子
JP2000319354A (ja) 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびスペーサー
JP2003302642A (ja) インクジェット方式によるスペーサー形成に用いる感放射線性樹脂組成物、スペーサー、および液晶表示素子
JP3642048B2 (ja) 光拡散反射膜形成用組成物、光拡散反射膜および液晶表示素子
JP2001172339A (ja) 光散乱性膜形成用組成物および光散乱性膜

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041020

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041022

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070601

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070611

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071022